JP2011259348A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2011259348A5
JP2011259348A5 JP2010133838A JP2010133838A JP2011259348A5 JP 2011259348 A5 JP2011259348 A5 JP 2011259348A5 JP 2010133838 A JP2010133838 A JP 2010133838A JP 2010133838 A JP2010133838 A JP 2010133838A JP 2011259348 A5 JP2011259348 A5 JP 2011259348A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thickness
frequency adjustment
adjustment film
range
quartz substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010133838A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5563378B2 (ja
JP2011259348A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010133838A priority Critical patent/JP5563378B2/ja
Priority claimed from JP2010133838A external-priority patent/JP5563378B2/ja
Publication of JP2011259348A publication Critical patent/JP2011259348A/ja
Publication of JP2011259348A5 publication Critical patent/JP2011259348A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5563378B2 publication Critical patent/JP5563378B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

また、本発明の弾性波素子は、基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角（０±２°、３５〜４０°、０±２°）によってカット形成された水晶基板と、この水晶基板の表面に板波を励振させる少なくとも１つの励振電極と、裏面に周波数の調整を行う周波数調整膜とを備え、前記水晶基板から位相速度が４５００〜６０００ｍ／ｓの範囲の板波を選択して振動モードとしたことを特徴とする。

Claims (7)

  1. 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角（０±２°、３５〜４０°、０±２°）によってカット形成された水晶基板と、この水晶基板の表面に板波を励振させる少なくとも１つの励振電極とを備え、前記水晶基板から位相速度が４５００〜６０００ｍ／ｓの範囲の板波を選択して振動モードとしたことを特徴とする弾性波素子。
  2. 基板内部を板波が伝搬するようにオイラー角（０±２°、３５〜４０°、０±２°）によってカット形成された水晶基板と、この水晶基板の表面に板波を励振させる少なくとも１つの励振電極と、裏面に周波数の調整を行う周波数調整膜とを備え、前記水晶基板から位相速度が４５００〜６０００ｍ／ｓの範囲の板波を選択して振動モードとしたことを特徴とする弾性波素子。
  3. 前記水晶基板の板厚をＨ、板波の波長をλとした場合に、
    規格化された板厚Ｈ／λが、１．０００＜Ｈ／λ＜１．３５０の範囲である請求項１又は２に記載の弾性波素子。
  4. 前記励振電極がＡｕを主成分とする材料からなり、
    この励振電極の膜厚をＨｓ、板波の波長をλとした場合に、
    規格化された励振電極の膜厚Ｈｓ／λが、０．００３＜Ｈｓ／λ＜０．０２０の範囲である請求項１又は２に記載の弾性波素子。
  5. 前記励振電極がＡｌを主成分とする材料からなり、
    この励振電極の膜厚をＨｓ、板波の波長をλとした場合に、
    規格化された励振電極の膜厚Ｈｓ／λが、０．０２０＜Ｈｓ／λ＜０．１５０の範囲である請求項１又は２に記載の弾性波素子。
  6. 前記周波数調整膜がＡｕを主成分とする材料からなり、
    この周波数調整膜の膜厚をＨｂ、板波の波長をλとした場合に、
    規格化された周波数調整膜の膜厚Ｈｂ／λが、０．００１＜Ｈｂ／λ＜０．０２０の範囲である請求項２に記載の弾性波素子。
  7. 前記周波数調整膜が金属材料又は誘電材料からなり、
    前記周波数調整膜の膜厚をＨｂ、板波の波長をλ、周波数調整膜の密度をρ（ｋｇ／ｍ３）とした場合に、
    規格化された周波数調整膜の膜厚密度ρＨｂ／λが、０＜ρＨｂ／λ≦３８６．４の範囲である請求項２に記載の弾性波素子。
JP2010133838A 2010-06-11 2010-06-11 弾性波素子 Active JP5563378B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010133838A JP5563378B2 (ja) 2010-06-11 2010-06-11 弾性波素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010133838A JP5563378B2 (ja) 2010-06-11 2010-06-11 弾性波素子

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011259348A JP2011259348A (ja) 2011-12-22
JP2011259348A5 true JP2011259348A5 (ja) 2013-07-25
JP5563378B2 JP5563378B2 (ja) 2014-07-30

Family

ID=45474999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010133838A Active JP5563378B2 (ja) 2010-06-11 2010-06-11 弾性波素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5563378B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5835765B2 (ja) * 2013-06-28 2015-12-24 リバーエレテック株式会社 弾性波素子
JP6233620B2 (ja) * 2015-09-28 2017-11-22 株式会社村田製作所 水晶片及び水晶振動子
JP7080671B2 (ja) * 2018-02-27 2022-06-06 ＮＤＫ ＳＡＷ ｄｅｖｉｃｅｓ株式会社 弾性表面波デバイス
GB2598165B (en) 2020-08-18 2022-08-24 River Eletec Corp Acoustic wave device

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5768925A (en) * 1980-10-17 1982-04-27 Fujitsu Ltd Piezoelectric device
JPH08340230A (ja) * 1995-06-13 1996-12-24 Meidensha Corp 水晶振動子
JP2003258596A (ja) * 2002-03-01 2003-09-12 Yasuhiko Nakagawa ラム波型高周波共振器、これを用いた発振装置、及びラム波を用いた高周波信号生成方法
JP4306668B2 (ja) * 2005-01-07 2009-08-05 セイコーエプソン株式会社 ラム波型高周波共振子
JP2008054163A (ja) * 2006-08-28 2008-03-06 Seiko Epson Corp ラム波型高周波共振子
JP2008098974A (ja) * 2006-10-12 2008-04-24 Seiko Epson Corp ラム波型高周波デバイス
JP4553047B2 (ja) * 2008-03-12 2010-09-29 セイコーエプソン株式会社 ラム波型共振子及び発振器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11539344B2 (en) Elastic wave device and method for producing the same
CN107615653B (zh) 弹性波装置
JP2011259348A5 (ja)
TW200738036A (en) Acoustic light-emitting device
JP2010062723A5 (ja)
JP2010028610A5 (ja)
JPWO2011030519A1 (ja) 弾性波素子と弾性波素子センサ
WO2008102577A1 (ja) 弾性表面波センサー装置
WO2010027615A3 (en) Asymmetric composite acoustic wave sensor
JP2009267905A (ja) 弾性波素子と、これを用いたフィルタ及び電子機器
JP2008098974A5 (ja)
JP2012049818A5 (ja)
JP5170311B2 (ja) 弾性表面波センサー
TW200624780A (en) FBAR-based sensing apparatus
Chen et al. Finite element analysis of anchor loss in AlN Lamb wave resonators
JP2010200197A (ja) 弾性表面波デバイス
JP2012160996A5 (ja)
US7583007B2 (en) Piezoelectric vibrator
JP2008224582A5 (ja)
Wu et al. Enhancing detection sensitivity of piezoelectric plate sensor by increasing transverse electromechanical coupling constant
JP5987153B2 (ja) 圧電振動子
JP2008193660A (ja) 輪郭振動子
WO2010146923A1 (ja) 弾性表面波センサー
JP2016096506A (ja) 弾性表面波素子
JP2011176546A5 (ja)