CN102549923A - 弹性表面波装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能谋求弹性表面波的音速的高速化以及机电耦合系数(k2)的增大，进而能提高反射系数的弹性表面波装置。弹性表面波装置(1)具备压电基板、和形成于压电基板上且由金属构成的电极(3)，其中，所述压电基板具有：r面、a面或m面的蓝宝石基板(2a)、和形成于蓝宝石基板(2a)上且欧拉角(
θ，ψ)为(90°，90°，-15°～15°)或者(0°，90°，-15°～15°)的linbo3膜(2b)。
Description
技术领域
本发明涉及使用于谐振器或频带滤波器等中的弹性表面波装置，更详细地，涉及使用了在蓝宝石基板上层叠了外延LiNbO3膜的压电基板的弹性表面波装置。
背景技术
近年来，伴随着通信设备等中的高频化，在弹性表面波装置中也寻求高频化。另外，在弹性表面波滤波器等中还强烈寻求宽频带化。
为了谋求高频化以及宽频带化，需要较大的弹性表面波的音速以及机电耦合系数k2。
因此，在下面的专利文献1中，为了满足上述的要求，公开了图32所示的弹性表面波装置1001。
在弹性表面波装置1001中，使用在(012)蓝宝石基板1002上层叠有(100)LiNbO3膜1003的压电基板1004。在压电基板1004上设有输入电极1005以及输出电极1006。蓝宝石基板1002上的c轴的投影线方向与LiNbO3膜1003的c轴方向平行。因此，通过控制弹性表面波的传播方向，能提高弹性表面波的音速以及机电耦合系数k2。
另一方面，在下面的专利文献2中，公开了一种弹性表面波装置，该弹性表面波装置使用在(012)蓝宝石基板上层叠(012)LiNbO3膜而构成的压电基板、和在(012)蓝宝石基板上层叠(100)LiNbO3膜而构成的压电基板。
先行技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开平10-322158号公报
专利文献2：WO98/56109
发明的概要
发明要解决的课题
在专利文献1和专利文献2所记载的弹性表面波装置中，通过使用在(012)蓝宝石基板即R面蓝宝石基板上层叠(100)LiNbO3膜或(012)LiNbO3膜而构成的压电基板，能谋求提高弹性表面波的速度和机电耦合系数。但是，近年来，寻求进一步的高频化和宽频带化，进一步强烈寻求弹性表面波的音速以及机电耦合系数k2的增大。
另外，为了谋求弹性表面波装置的小型化，还强烈寻求提高反射系数。
发明内容
鉴于上述的现有技术的现状，本发明的目的在于提供一种弹性表面波装置，与现有的弹性表面波装置相比，能谋求进一步提高弹性表面波的音速以及增大机电耦合系数k2，进而能提高反射系数。
本发明的发明者为了实现弹性表面波装置中的弹性表面波的高速化而始终研究的结果是，在使用在R面、a面或m面的蓝宝石基板上层叠有LiNbO3膜而构成的压电基板的构成中，在组合了特定的结晶方位的蓝宝石基板和特定的结晶方位的LiNbO3膜的情况下，发现有效地提高了弹性表面波的音速，从而达成本发明。
即，通过使用上述特定的蓝宝石基板和上述特定的LiNbO3膜而能提高弹性表面波的音速，在本申请时不能由本领域技术人员预测，通过使用本发明的特定的组合才能初次有效地提高弹性表面波的音速。
根据本发明的某广泛的局面，提供一种弹性表面波装置，具备压电基板和电极，其中，所述压电基板具有：R面、a面或m面的蓝宝石基板；和形成于上述蓝宝石基板上且欧拉角(
θ，ψ)为(90°，90°，-15°～15°)的LiNbO3膜；所述电极形成于所述压电基板上，且由金属构成。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的某特定的局面中，在利用弹性表面波的一次模式并设弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°以上且为+5°以下的情况下即在0°±5°的范围内的情况下，LiNbO3的膜厚在0.1λ～1.6λ的范围内，优选在0.15λ～0.9λ的范围内，在ψ为-15°以上且不足-5°、或者ψ为大于+5°且为+15°以下的情况下，LiNbO3的膜厚在0.18λ～0.75λ的范围内。由此，进一步提高了弹性表面波的音速且进一步增大了机电耦合系数k2。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的其它特定的局面中，在利用弹性表面波的二次模式并设所述弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°～5°的情况下，LiNbO3的膜厚在0.4λ～1.6λ的范围内，优选在0.6λ～1.6λ的范围内。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的再其它特定的局面中，在利用弹性表面波的三次模式并设所述弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°～5°的情况下，LiNbO3的膜厚在0.6λ～1.6λ的范围内。这种情况下，通过利用三次模式，能谋求进一步的高频化且能进一步谋求弹性表面波的音速的提高以及机电耦合系数k2的增大。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的另外特定的局面中，在所述电极由Al构成并设所述弹性表面波的波长为λ时，由Al构成的电极的厚度在0.02λ～0.16λ的范围内。这种情况下，能进一步增大机电耦合系数k2，且提高反射系数。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的再其它特定的局面中，所述电极的金属化率在0.2～0.7的范围内。由此，能进一步提高反射系数，且提高机电耦合系数k2。
根据本发明的其它的广泛的局面，提供一种弹性表面波装置，具备压电基板和电极，其中，所述压电基板具有：R面、a面或m面的蓝宝石基板；和形成于上述蓝宝石基板上且欧拉角(
θ，ψ)为(0°，90°，-15°～15°)的LiNbO3膜；所述电极形成于所述压电基板上，且由金属构成。
在上述弹性表面波装置的某特定的局面中，在利用弹性表面波的一次模式并设所述弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°以上且为+5°以下的情况下，LiNbO3的膜厚在0.1λ～1.6λ的范围内，优选为在0.12λ～1.2λ的范围内，在ψ为-15°以上且不足-5°、或者ψ为大于+5°且为+15°以下的情况下，LiNbO3的膜厚在0.17λ～0.8λ的范围内。这种情况下，能进一步谋求弹性表面波的音速的提高以及机电耦合系数k2的增大。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的再其它的特定的局面中，在利用弹性表面波的二次模式并设所述弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°～5°的情况下，LiNbO3的膜厚在0.4λ～1.6λ的范围内。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的另外的特定的局面中，在利用弹性表面波的三次模式并设所述弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°～5°的情况下，LiNbO3的膜厚在0.6λ～1.0λ的范围内。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的其它的特定的局面中，在电极由Al构成并设所述弹性表面波的波长为λ时，由Al构成的电极的厚度在0.02λ～0.16λ的范围内，优选在0.04λ～0.14λ的范围内。这种情况下，能提高反射系数，且进一步提高机电耦合系数k2。
在由本发明的第2局面所提供的弹性表面波装置的其它的特定的局面中，所述电极的金属化率在0.2～0.7的范围内。在该情况下，能提高反射系数，能进一步提高机电耦合系数k2。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的另外的特定的局面中，利用弹性表面波的一次模式，所述压电基板还具备短路电极，该短路电极设置在所述R面、a面或m面的蓝宝石基板和所述LiNbO3膜之间。由此，能进一步提高音速。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的另外的特定的局面中，在设所述弹性表面波的波长为λ时，LiNbO3的膜厚在0.15λ～1.6λ的范围内，优选在0.2λ～0.75λ的范围内。由此，能进一步提高音速。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的另外的特定的局面中，利用弹性表面波的二次模式，所述压电基板还具备短路电极，该短路电极设置在所述R面、a面或m面的蓝宝石基板和所述LiNbO3膜之间。由此，能进一步提高音速。
在本发明所涉及的弹性表面波装置的另外的特定的局面中，在设所述弹性表面波的波长为λ时，LiNbO3的膜厚在0.4λ～1.6λ的范围内，优选在0.6λ～1.6λ的范围内。由此，能进一步提高音速。
发明的效果
根据由第1广泛的局面所提供的弹性表面波装置，由于使用了在R面、a面或m面的蓝宝石基板上形成有欧拉角(90°，90°，-15°～15°)的LiNbO3的压电基板，因此能加快所使用的弹性表面波的音速，且使机电耦合系数k2充分大。因此，能谋求弹性表面波装置的高频化以及宽频带化。
根据由第2广泛的局面所提供的弹性表面波装置，由于使用了在R面、a面或m面的蓝宝石基板上形成有欧拉角为(0°，90°，-15°～15°)的LiNbO3的压电基板，因此能加快所使用的弹性表面波的音速，且使机电耦合系数k2充分大。因此，能谋求弹性表面波装置的高频化以及宽频带化。
另外，在下面，根据情况有时将LiNbO3略称为LN。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式所涉及的弹性表面波装置的正视截面图。
图2是表示(90°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、与弹性表面波的音速之间的关系的图。
图3是表示(90°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板以及(90°，90°，0°)LN膜/短路电极/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板(图1和图33的两个构造)中的LN膜的厚度、与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图4是表示(90°，90°，5°)LN膜/(0°，122°23′，5°)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、与弹性表面波的音速之间的关系的图。
图5是表示(90°，90°，5°)LN膜/(0°，122°23′，5°)R面蓝宝石构成的压电基板(图1的构造)中的LN膜的厚度、与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图6是表示(90°，90°，ψ)LN膜/(0°，122°23′，ψ)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、传播方向ψ、和一次的弹性表面波的音速之间的关系的图。
图7是表示(90°，90°，ψ)LN膜/(0°，122°23′，ψ)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、传播方向ψ、和一次的弹性表面波的机电耦合系数k2之间的关系的图。
图8是表示(0°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、与弹性表面波的音速之间的关系的图。
图9是表示(0°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图10是表示(0°，90°，5°)LN膜/(0°，122°23′，5°)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、与弹性表面波的音速之间的关系的图。
图11是表示(0°，90°，5°)LN膜/(0°，122°23′，5°)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图12是表示(0°，90°，ψ)LN膜/(0°，122°23′，ψ)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、传播方向ψ、和一次的弹性表面波的音速之间的关系的图。
图13是表示(0°，90°，ψ)LN膜/(0°，122°23′，ψ)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度、传播方向ψ、和一次的弹性表面波的机电耦合系数k2之间的关系的图。
图14是表示在(90°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板上层叠有Al膜的帘状电极的一次的弹性表面波装置中的LN膜的厚度、Al膜的帘状电极的厚度、和反射系数之间的关系的图。
图15是表示在(90°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板上层叠有Al膜的帘状电极的一次的弹性表面波装置中的LN膜的厚度、Al膜的帘状电极的厚度、和机电耦合系数k2之间的关系的图。
图16是表示在(0°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板上层叠有Al膜的一次的弹性表面波装置中的LN膜的厚度、Al膜的帘状电极的厚度、和反射系数之间的关系的图。
图17是表示在(0°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板上层叠有Al膜的帘状电极的一次的弹性表面波装置中的LN膜的厚度、Al膜的帘状电极的厚度、和机电耦合系数k2之间的关系的图。
图18是表示在(90°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板上，LN膜的厚度为0.15λ、在压电基板上所形成的Al膜的帘状电极的厚度为0.02λ的弹性表面波装置中的电极的金属化率与反射系数之间的关系的图。
图19是表示在(90°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板上，LN膜的厚度为0.15λ、在压电基板上所形成的Al膜的帘状电极的厚度为0.02λ的弹性表面波装置中的电极的金属化率与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图20是表示在(0°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板上，LN膜的厚度为0.14λ、在压电基板上所形成的Al膜的帘状电极的厚度为0.019λ的弹性表面波装置中的电极的金属化率与反射系数之间的关系的图。
图21是表示在(0°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板上，LN膜的厚度为0.14λ、在压电基板上所形成的Al膜的厚度为0.019λ的弹性表面波装置中的电极的金属化率与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图22是表示(90°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与频率温度系数TCF之间的关系的图。
图23是表示(0°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与频率温度系数TCF之间的关系的图。
图24是表示(0°，90°，0°)LN膜/(0°，90°，0°)a面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与弹性表面波的音速之间的关系的图。
图25是表示(0°，90°，0°)LN膜/(0°，90°，0°)a面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图26是表示(90°，90°，0°)LN膜/(0°，90°，0°)a面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与弹性表面波的音速之间的关系的图。
图27是表示(90°，90°，0°)LN膜/(0°，90°，0°)a面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图28是表示(0°，90°，0°)LN膜/(90°，90°，0°)m面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与弹性表面波的音速之间的关系的图。
图29是表示(0°，90°，0°)LN膜/(90°，90°，0°)m面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图30是表示(90°，90°，0°)LN膜/(90°，90°，0°)m面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与弹性表面波的音速之间的关系的图。
图31是表示(90°，90°，0°)LN膜/(90°，90°，0°)m面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与机电耦合系数k2之间的关系的图。
图32是表示现有的弹性表面波装置的立体图。
图33是帘状电极/LN膜/短路电极/蓝宝石构造的正视截面图。
具体实施方式
下面，详细说明本发明。
图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的弹性表面波装置的正视截面图。弹性表面波装置1具有压电基板2。压电基板2具有：R面、a面或m面的蓝宝石基板2a；和层叠在R面、a面或m面的蓝宝石基板2a上的LiNbO3膜2b。上述LiNbO3膜2b若用欧拉角(θ，ψ)来表现，则为(90°，90°，-15°～15°)或者(0°，90°，-15°～15°)的LiNbO3膜。
在LiNbO3膜2b上形成有由金属构成的电极3。电极3具有用于激励弹性表面波的至少1个帘状的电极。电极3的构造并没有特别的限定，能采用与弹性表面波振荡器或弹性表面波滤波器等的弹性表面波装置的功能相应的适宜的电极构造。
另外，关于电极3的材料，能使用适宜的金属，优选使用Al。如后所述，能通过将由Al构成的电极的厚度和金属化率设定为特定的范围来谋求表面波的音速的提高以及/或者反射系数的增大。
下面，基于具体的实验例来明确上述的弹性表面波装置1的构成以及效果。
另外，在下面，用欧拉角来表示蓝宝石基板以及LiNbO3的结晶方位。R面蓝宝石是欧拉角为(0°，122°23′，ψ)的蓝宝石，m面蓝宝石是欧拉角为(90°，90°，ψ)的蓝宝石，a面蓝宝石是欧拉角为(0°，90°，ψ)的蓝宝石。
另外，为了表示蓝宝石基板和LiNbO3等的结晶方位，除了欧拉角以外，还常用密勒指数等。关于欧拉角以及密勒指数(Miller′s index)之间的关系如下所述。
R面蓝宝石：欧拉角(0°，122°23′，0°)＝密勒指数(012)，在密勒指数中也表示为(01-12)。
另外，还有如下关系：欧拉角(90°，90°，0°)＝密勒指数(100)，欧拉角(0°，90°，0°)＝密勒指数(010)。
另外，图33是表示在图1的构造的蓝宝石基板2a与LiNbO3膜2b之间插入短路电极4的变形例的构造的正视截面图。在此，电极材料为Al，但只要能发生电短路，则也可以是Al以外的金属。
[LiNbO3/R面蓝宝石]
图2以及图3是分别表示使用在欧拉角(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石基板上以层叠的厚度来形成欧拉角(90°，90°，0°)的LiNbO3而构成的压电基板的情况下的LiNbO3膜的厚度、与弹性表面波的音速以及图1以及图33所示的两个构造的机电耦合系数k2之间的关系的图。图1和图33的构造的机电耦合系数k2的差异并不太大。
另外，在下面，将LiNbO3适宜地略称为LN膜。
在上述的压电基板上形成电极的构造中，如图2所示，零次的弹性表面波、和作为高次模式的弹性表面波的一次、二次、三次模式的弹性表面波被激励。如图3可知，与使用了零次的弹性表面波的情况相比，使用了一次的弹性表面波以及二次的弹性表面波的情况能获得较大的机电耦合系数。
通常，在使用LiNbO3基板的弹性表面波装置中，音速为4000m/秒程度。与此相对，根据图2可知，在使用(90°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石的情况下，若LN膜的厚度为1.6λ以下，则一次的弹性表面波的音速能显著提高到4600m/秒以上。同样地，关于二次的弹性表面波，也是可知在LN膜的膜厚为1.6λ以下，具体地为0.4λ～1.6λ的范围中，音速成为5100m/秒以上的非常高的高音速。进而，在三次弹性表面波中，LN膜的膜厚为0.6λ～1.6λ的范围内，弹性表面波的音速显著提高到5300m/秒以上。
另外，根据图3可知，在这样的音速的较快的范围内，与使用零次弹性表面波的情况相比，使用一次弹性表面波、二次弹性表面波、以及三次弹性表面波的情况能提高机电耦合系数k2。
特别是在使用一次的弹性表面波的情况下，可知，在LN膜的膜厚为0～1.6λ的整个范围内，与使用零次弹性表面波的情况相比，提高了机电耦合系数。优选，根据图3，通过将LN膜的膜厚设为0.1λ～1.6λ，能将机电耦合系数k2提高到0.1以上，更优选，通过将LN膜的膜厚设为0.15λ～0.9λ的范围，能使机电耦合系数k2为0.15以上。
在使用二次的弹性表面波的情况下，将LN膜的膜厚设为0.4λ～1.6λ的范围内能使机电耦合系数k2为0.025以上。更优选，通过将LN膜的膜厚设为0.6λ～1.6λ的范围，能使机电耦合系数k2为0.03以上。
另外，在使用三次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.1λ～1.6λ，能使机电耦合系数k2为0.03以上。
在图3中，示出了本发明的一个实施方式的图1的构造以及变形例的图33的构造的两者的构造下的机电耦合系数k2。变形例的图33的构造与实施方式的图1的构造的不同点在于，在蓝宝石基板与LN膜之间设有短路电极这一点。
在图3中，显示为一次、二次、三次SAW的是图1的构造的机电耦合系数k2。另外，显示为一次、二次、三次SAWvfm-vmm的是图33的构造的机电耦合系数k2。
如图3可知，在变形例的构造的一次、二次以及三次的弹性表面波中，通过使LN膜的膜厚为与实施方式大致相同的膜厚，能获得与实施方式大致相同大小的机电耦合系数k2。
在图2以及图3中，LN膜的欧拉角为(90°，90°，0°)，R面蓝宝石的欧拉角为(0°，122°23′，0°)，确认了在传播方位ψ变化的情况下如何进行变化。图4以及图5是表示LN膜的欧拉角为(90°，90°，5°)，R面蓝宝石的欧拉角为(0°，122°23′，5°)的情况下的LN膜的厚度、与弹性表面波的音速以及机电耦合系数k2之间的关系的图。
另外，图4中的vff意味着图1的构造的压电基板中的开放状态的弹性表面波的音速。同样地，后述的图6以及图7等中的vff表示图1的构造的压电基板中的开放状态的音速，vmf意味着短路状态的音速。
另外，图3中的vfm意味着图33的构造的压电基板中的开放状态的弹性表面波的音速。另外，vmm意味着图33的构造的压电基板中的短路状态的音速。
如图4以及图5所明示那样，在LN膜以及R面蓝宝石的欧拉角的传播方位ψ从0°改变到5°的情况下，图2以及图3也有相同的倾向。图4以及图5也相同地，使LN膜的传播方位ψ以及R面蓝宝石的传播方位ψ变化为0°、5°、10°、20°、40°或者70°，求取LN膜的厚度、与弹性表面波的音速和机电耦合系数k2之间的关系。结果如图6以及图7所示。如图7所示那样，ψ＝15°处于10°和20°的中间。
如图6所明确那样，可知在传播方位ψ为0°、5°、10°、20°、40°或者70°的任一者的情况下，弹性表面波的音速都会随着LN膜的变厚而降低，但在LN膜的厚度为0.8λ以下的范围中，不管在何种情况下，都能将弹性表面波的音速提高到4000m/秒以上。
可知，特别是若ψ比20°小，则在LN膜的厚度为0.8λ以下的范围中，弹性表面波的音速都为4300m/秒以上，优选通过将ψ设为10°以下，能使音速快到4400m/秒以上。
另外，如图7所明确那样，可知通过使传播方位ψ小于20°，能获得较大的机电耦合系数k2。优选，使传播方位ψ为15°以下，由此能提高机电耦合系数k2。根据图7，可知更优选，若将传播方位ψ设为5°以下，则能得到较大的机电耦合系数k2。
因此，如图4～图7所明确那样可知，在欧拉角(90°，90°，ψ)的LiNbO3/欧拉角(0°，122°23′，ψ)蓝宝石的层叠构造中，传播方位ψ小于20°，优选为15°以下，更优选为5°以下的范围，则能有效地提高弹性表面波的音速、且提高机电耦合系数k2。
更具体地，在欧拉角的ψ为-5°以上、+5°以下的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.1λ～1.6λ的范围，能有效地提高机电耦合系数k2，在ψ为-15°以上且不足-5°、或者大于+5°且为+15°以下的情况下，若将LN膜的膜厚设为0.18λ～0.75λ的范围，则能有效地提高机电耦合系数k2。
另外，即使传播方位ψ为负的值，也能得到与正的值相同的结果，因此，R面蓝宝石的欧拉角为(0°，122°23′，0°±15°)、换言之是(0°，122°23′，-15°～15°)的范围，优选(0°，122°23′，-5°～5°)即可。
[欧拉角(0°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石]
图8以及图9分别是表示使用了在欧拉角(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石基板上形成有欧拉角(0°，90°，0°)的LiNbO3膜而构成的压电基板的图1的构造的情况下的LiNbO3膜的厚度、与弹性表面波的音速以及机电耦合系数k2之间的关系的图。
在上述压电基板上形成电极的构造中，如图8所示，零次的弹性表面波和一次、二次、三次的弹性表面波被激励。如图中可知，与使用了零次的弹性表面波的情况相比，使用了一次的弹性表面波以及二次、三次的弹性表面波的情况能获得较大的机电耦合系数。
通常，在使用了LiNbO3的基板的弹性表面波装置中，音速为4000m/秒程度。与此相对，在使用(0°，90°，0°)LN膜/(0°，122°23′，0°)R面蓝宝石的情况下，若LN膜的厚度为1.6λ以下的整个范围，则一次弹性表面波的音速能显著提高到大约4400m/秒以上。同样地，关于二次的弹性表面波，也是可知在LN膜的膜厚为1.6λ以下，更具体地为0.4λ～1.6λ的范围中，音速为5300m/秒以上的非常高的高音速。进而，在三次弹性表面波中，LN膜的膜厚为0.65λ～0.9λ的范围内，弹性表面波的音速显著提高到4900m/秒以上。
另外，根据图9可知，在这样的音速的较快的范围内，与使用零次弹性表面波的情况相比，使用一次弹性表面波、二次弹性表面波、以及三次弹性表面波的情况能提高机电耦合系数k2。特别是在使用一次的弹性表面波的情况下，可知，在LN膜的膜厚为0～1.6λ的整个范围内，与使用零次弹性表面波的情况相比提高了机电耦合系数。优选，根据图9，通过将LN膜的膜厚设为0.1λ～1.6λ，能将机电耦合系数k2提高到0.1以上，更优选，通过将LN膜的膜厚设为0.14λ～1.2λ的范围，能使机电耦合系数k2为0.15λ以上。
在使用二次的弹性表面波的情况下，将LN膜的膜厚设为0.4λ～1.6λ的范围内能使机电耦合系数k2为0.025以上，更优选地，通过将LN膜的膜厚设为0.6λ～1.6λ的范围，能使机电耦合系数k2为0.03以上。
另外，在使用三次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.6λ～1.6λ的范围内能使机电耦合系数k2为0.02以上。
在图8以及图9中，LN膜的欧拉角为(0°，90°，0°)，R面蓝宝石的欧拉角为(0°，122°23′，0°)，确认了在传播方位ψ变化的情况下如何进行变化。图10以及图11是表示LN膜的欧拉角为(0°，90°，5°)、R面蓝宝石的欧拉角为(0°，122°23′，5°)的情况下的LN膜的厚度、与弹性表面波的音速以及机电耦合系数k2之间的关系的图。
如图10以及图11所明示那样，在LN膜以及R面蓝宝石的欧拉角的传播方位ψ从0°改变到5°的情况下，也具有与图8以及图9相同的倾向。与图10以及图11相同地，使LN膜的传播方位ψ以及R面蓝宝石的传播方位ψ变化为0°、5°、10°、20°、40°或者70°，求取LN膜的厚度、与弹性表面波的音速和机电耦合系数k2之间的关系。结果如图12以及图13所示。
如图12所明确那样，可知在传播方位ψ为0°、5°、10°、20°、40°或者70°的任一者的情况下，弹性表面波的音速都会随着LN膜的变厚而降低，但在LN膜的厚度为0.9λ以下的范围中，不管在何种情况下，都能将弹性表面波的音速提高到4000m/秒以上。可知，特别是若ψ比20°小，则在LN膜的厚度为0.9λ以下的整个范围中，能使弹性表面波的音速快到4400m/秒以上，更优选地，将ψ设为10°以下，能使音速快到4500m/秒以上。
另外，如图13所明确那样，可知通过使传播方位ψ小于20°，能获得较大的机电耦合系数k2。优选，使传播方位ψ为15°以下，由此能提高机电耦合系数k2。根据图7，可知更优选，若将传播方位ψ设为10°以下，则能得到较大的机电耦合系数k2。
因此，如图10～图13所明确那样可知，在欧拉角(0°，90°，ψ)的LiNbO3/欧拉角(0°，122°23′，ψ)R面蓝宝石的层叠构造中，传播方位ψ小于20°，优选为15°以下，更优选为10°以下的范围，则能有效地提高弹性表面波的音速、且提高机电耦合系数k2。
另外，即使传播方位ψ为负的值，也能得到与正的值相同的结果，因此，可知R面蓝宝石的欧拉角为(0°，122°23′，0°±15°)、换言之是(0°，122°23′，-15°～15°)的范围，优选(0°，122°23′，-5°～5°)即可。
更具体地，在欧拉角的ψ为-5°以上、+5°以下的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.1λ～1.6λ的范围，能有效地提高机电耦合系数k2，在ψ为-15°以上且不足-5°、或者大于+5°且为+15°以下的情况下，若将LN膜的膜厚设为0.18λ～0.75λ的范围，则能有效地提高机电耦合系数k2。
[使用LN膜/(0°，122°23′，0°)的R面蓝宝石的情况下的由Al构成的电极的厚度以及金属化率]
本申请发明者发现：如上述，若使用在欧拉角(0°，122°39′，-15°～15°)的R面蓝宝石上层叠有欧拉角(90°，90°，0°)或者(0°，90°，0°)的LN膜的压电基板，则能谋求弹性表面波的高音速化以及机电耦合系数k2的增大。进而发现，在使用Al的情况下，若将Al膜的厚度设为特定的范围内，则能提高反射系数和机电耦合系数k2。
图14以及图15是分别表示在欧拉角(90°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，122°23′，0°)的R面蓝宝石构成的压电基板上层叠了Al膜的弹性表面波装置中的Al膜的厚度、LN膜的厚度、和反射系数之间的关系的图以及Al膜的厚度、LN膜、和机电耦合系数k2之间的关系的图。图14以及图15是针对一次的弹性表面波的结果。
在图14以及图15中，设由Al构成的电极的金属化率为0.5。
从图14所示可知，在LN膜的厚度为0.15λ、0.2λ、0.3λ或0.8λ的任一者的情况下，反射系数都随着Al膜的厚度变厚而提高。特别是，可知若Al膜的厚度为0.02λ以上0.16λ以下，则能将机电耦合系数k2提高到0.08以上。
因此可知，为了获得0.1以上的较大的反射系数和0.08以上的机电耦合系数k2，将Al膜的厚度设为0.02λ～0.16λ范围内即可。更优选，通过将Al膜的厚设为0.04以上0.14以下，能使反射系数为0.15以上、使机电耦合系数k2为0.1以上。
图16以及图17是分别表示在欧拉角(0°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，122°23′，0°)的R面蓝宝石构成的压电基板上层叠了Al膜的弹性表面波装置中的Al膜的厚度、LN膜的厚度、和反射系数之间的关系的图以及Al膜的厚度、LN膜、和机电耦合系数k2之间的关系的图。图16以及图17是针对一次的弹性表面波的结果。
在图16以及图17中，设由Al构成的电极的金属化率为0.5。
从图16所示可知，在LN膜的厚度为0.14λ、0.19λ、0.3λ或0.8λ的任一者的情况下，反射系数都随着Al膜的厚度变厚而提高。特别是，根据图17可知，若Al膜的厚度为0.02λ以上0.16λ以下，则能将机电耦合系数k2提高到0.1以上。
因此可知，为了获得0.1的较大的反射系数和0.1以上的机电耦合系数k2，将Al膜的厚度设为0.02λ～0.16λ范围内即可。更优选，通过将Al膜的厚设为0.04λ以上0.13λ以下，能使反射系数为0.15以上、机电耦合系数k2为0.15以上。
图18以及图19是分别表示在欧拉角(90°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，122°23′，0°)的R面蓝宝石构成的压电基板上，设Al膜为0.15λ、在压电基板上形成由0.02λ的Al膜构成的电极的弹性表面波装置中的电极的金属化率与反射系数以及机电耦合系数k2之间的关系的图。
如图18所示可知，反射系数有随着金属化率的增大而降低的倾向。但是，若金属化率为0.2～0.7的范围内，则根据图18，从图19中可知，能将反射系数提高到0.06以上，并将机电耦合系数k2提高到0.16以上。即，可知，通过将金属化率设为0.2～0.7的范围内，不仅能提高反射系数，还能获得充分大的机电耦合系数k2。更优选，金属化率为0.2～0.65的范围，在这种情况下，可知能进一步将反射系数提高到0.07以上、将机电耦合系数k2提高到0.17以上。
图20以及图21是分别表示在欧拉角(0°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，122°23′，0°)的R面蓝宝石构成的压电基板上，设LN膜为0.14λ、在压电基板上形成由0.019λ的Al膜构成的电极的弹性表面波装置中的电极的金属化率与反射系数以及机电耦合系数k2之间的关系的图。
如图20所示可知，反射系数有随着金属化率的增大而降低的倾向。但是，若金属化率为0.2～0.7的范围内，则根据图20以及图21可知，能将反射系数提高到0.06以上，并能将机电耦合系数k2提高到0.155以上。即，可知，通过将金属化率设为0.2～0.7的范围内，不仅能提高反射系数，还能获得充分大的机电耦合系数k2。更优选，金属化率为0.2～0.62的范围，在这种情况下，可知能进一步将反射系数提高到0.07以上、将机电耦合系数k2提高到0.17以上。
[频率温度系数TCF]
图22是表示欧拉角(90°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，122°23′，0°)的R面蓝宝石构成的压电基板的LN膜的厚度与一次的弹性表面波的频率温度系数TCF之间的关系的图。
如图22所示可知，即使使LN膜的厚度在前述的优选的膜厚范围0.13λ～0.8λ的范围内变化，TCF也不怎么变化。因此可知，对于该特性，即使改变LN膜的膜厚也几乎不变化。
图23是表示欧拉角(0°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，122°23′，0°)的R面蓝宝石构成的压电基板的LN膜的厚度与弹性表面波的频率温度系数TCF之间的关系的图。
如图23所示可知，即使使LN膜的厚度在前述的优选的膜厚范围0.13λ～0.8λ的范围内变化，TCF也不怎么变化。因此可知，对于该特性，即使改变LN膜的的膜厚也几乎不变化。
[(0°，90°，0°)的LN膜/a面蓝宝石]
本申请的发明者发现：即使取代R面蓝宝石而使用a面蓝宝石的情况下，若将LN膜的结晶方位设为特定的方位，则能谋求弹性表面波的音速的提高以及机电耦合系数k2的增大。
图24以及图25分别是表示欧拉角(0°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，90°，0°)的a面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与弹性表面波的音速或机电耦合系数k2之间的关系的图。
如图24所示那样，与使用零次的弹性表面波的情况相比，使用一次、二次、以及三次的弹性表面波的情况下，LN膜的膜厚为1.6λ以下的范围内，不管LN膜的膜厚如何，都能加快弹性表面波的音速。
在使用一次弹性表面波的情况下，在LN膜的膜厚为1.6λ以下的整个范围内，能获得4500m/秒以上的音速，在二次的弹性表面情况下，能获得4800m/秒以上的音速，在三次的弹性表面情况下，能获得5100m/秒以上的高音速。
另一方面，如图25所示可知，在LN膜的膜厚为0.1λ以上1.6λ以下的整个范围中，使用了一次弹性表面波的情况下，能将机电耦合系数k2提高到0.1以上。
另外，在使用二次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.5λ以上1.6λ以下的厚度，能使机电耦合系数k2为0.025以上，在使用三次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.6λ以上1.6λ以下，能使机电耦合系数k2提高到0.02以上。
[(90°，90°，0°)的LN膜/a面蓝宝石]
图26以及图27分别是表示欧拉角(90°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(0°，90°，0°)的a面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与弹性表面波的音速或机电耦合系数k2之间的关系的图。
如图26所示那样，与使用零次的弹性表面波的情况相比，使用一次、二次、以及三次的弹性表面波的情况下，LN膜的膜厚为1.6λ以下的范围内，不管LN膜的膜厚如何，都能加快弹性表面波的音速。
在使用一次弹性表面波的情况下，在LN膜的膜厚为1.6λ以下的整个范围内，能获得4500m/秒以上的音速，在二次的弹性表面波的情况下，能获得4800m/秒以上的音速，在三次的弹性表面波的情况下，能获得5100m/秒以上的高音速。
另一方面，如图27所示可知，在LN膜的膜厚为0.1λ以上1.6λ以下的整个范围中，使用了一次弹性表面波的情况下，能将机电耦合系数k2提高到0.1以上。另外，在使用二次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.05λ以上1.6λ以下的厚度，能使机电耦合系数k2为0.02以上，在使用三次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.06λ以上1.6λ以下，能将机电耦合系数k2提高到0.02以上。
[(0°，90°，0°)的LN膜/m面蓝宝石]
本发明的发明者发现：不只是R面蓝宝石和a面蓝宝石，在使用在m面蓝宝石、即欧拉角(90°，90°，0°)的蓝宝石基板上层叠LN膜而构成的压电基板的情况下，通过将LN膜的结晶方位设为特定的方位，能获得较大的机电耦合系数以及高的音速。
图28以及图29分别是表示欧拉角(0°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(90°，90°，0°)的m面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与弹性表面波的音速或机电耦合系数k2之间的关系的图。
如图28所示那样，与使用零次的弹性表面波的情况相比，使用一次、二次、或三次的弹性表面波的情况下，LN膜的膜厚为1.6λ以下的范围内，不管LN膜的膜厚如何，都能加快弹性表面波的音速。
在使用一次弹性表面波的情况下，在LN膜的膜厚为1.6λ以下的整个范围内，能获得4500m/秒以上的音速，在二次的弹性表面波情况下，能获得4800m/秒以上的音速，在三次的弹性表面波情况下，能获得5100m/秒以上的高音速。
另一方面，如图29所示可知，在LN膜的膜厚为0.1λ以上1.6λ以下的整个范围中，使用了一次弹性表面波的情况下，能将机电耦合系数k2提高到0.1以上。另外，在使用二次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.5λ以上1.6λ以下的厚度，能使机电耦合系数k2为0.02以上，在使用三次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.06λ以上1.6λ以下，能将机电耦合系数k2提高到0.015以上。
[(90°，90°，0°)的LN膜/m面蓝宝石]
图30以及图31分别是表示欧拉角(90°，90°，0°)的LN膜/欧拉角(90°，90°，0°)的m面蓝宝石构成的压电基板中的LN膜的厚度与弹性表面波的音速或机电耦合系数k2之间的关系的图。
如图30所示那样，与使用零次的弹性表面波的情况相比，使用一次、二次、以及三次的弹性表面波的情况下，LN膜的膜厚为1.6λ以下的范围内，不管LN膜的膜厚如何，都能加快弹性表面波的音速。
在使用一次弹性表面波的情况下，在LN膜的膜厚为1.6λ以下的整个范围内，能获得4500m/秒以上的音速，在二次的弹性表面波情况下，能获得4800m/秒以上的音速，在三次的弹性表面波情况下，能获得5100m/秒以上的高音速。
另一方面，如图31所示可知，在LN膜的膜厚为0.1λ以上1.6λ以下的整个范围中，使用了一次弹性表面波的情况下，能将机电耦合系数k2提高到0.1以上。另外，在使用二次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.5λ以上1.6λ以下的厚度，能使机电耦合系数k2为0.04以上，在使用三次的弹性表面波的情况下，通过将LN膜的膜厚设为0.06λ以上1.6λ以下，能将机电耦合系数k2提高到0.03以上。
符号说明：
1 弹性表面波装置
2 压电基板
2a 蓝宝石基板
2b LiNbO3膜
3 电极
4 短路电极
Claims (16)
1.一种弹性表面波装置，其特征在于，具备压电基板和电极，其中，
所述压电基板具有：
R面、a面或m面的蓝宝石基板；和
形成于所述蓝宝石基板上且欧拉角(
θ，ψ)为(90°，90°，-15°～15°)的LiNbO3膜，
所述电极形成于所述压电基板上，且由金属构成。
2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在利用弹性表面波的一次模式并设弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°以上且为+5°以下的情况下，LiNbO3的膜厚在0.1λ～1.6λ的范围内，在ψ为-15°以上且不足-5°、或者ψ为大于+5°且为+15°以下的情况下，LiNbO3的膜厚在0.18λ～0.75λ的范围内。
3.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在利用弹性表面波的二次模式并设弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°～5°的情况下，LiNbO3的膜厚在0.4λ～1.6λ的范围内。
4.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在利用弹性表面波的三次模式并设弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°～5°的情况下，LiNbO3的膜厚在0.6λ～1.6λ的范围内。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在所述电极由Al构成并设弹性表面波的波长为λ时，由Al构成的电极的厚度在0.02λ～0.16λ的范围内。
6.根据权利要求5所述的弹性表面波装置，其特征在于，
所述电极的金属化率在0.2～0.7的范围内。
7.一种弹性表面波装置，其特征在于，具备压电基板和电极，其中，
所述压电基板具有：
R面、a面或m面的蓝宝石基板；和
形成于所述蓝宝石基板上且欧拉角(
θ，ψ)为(0°，90°，-15°～15°)的LiNbO3膜，
所述电极形成于所述压电基板上，且由金属构成。
8.根据权利要求7所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在利用弹性表面波的一次模式并设所述弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°以上且为+5°以下的情况下，LiNbO3的膜厚在0.1λ～1.6λ的范围内，在ψ为-15°以上且不足-5°、或者ψ为大于+5°且为+15°以下的情况下，LiNbO3的膜厚在0.17λ～0.8λ的范围内。
9.根据权利要求7所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在利用弹性表面波的二次模式并设所述弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°～5°的情况下，LiNbO3的膜厚在0.4λ～1.6λ的范围内。
10.根据权利要求7所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在利用弹性表面波的三次模式并设所述弹性表面波的波长为λ时，在欧拉角的ψ为-5°～5°的情况下，LiNbO3的膜厚在0.6λ～1.0λ的范围内。
11.根据权利要求7～10中任一项所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在所述电极由Al构成并设弹性表面波的波长为λ时，由Al构成的电极的厚度在0.02λ～0.16λ的范围内。
12.根据权利要求11所述的弹性表面波装置，其特征在于，
所述电极的金属化率在0.2～0.7的范围内。
13.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
利用弹性表面波的一次模式，
所述压电基板还具备短路电极，该短路电极设置在所述R面、a面或m面的蓝宝石基板和所述LiNbO3膜之间。
14.根据权利要求13所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在设弹性表面波的波长为λ时，LiNbO3的膜厚在0.15λ～1.6λ的范围内。
15.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
利用弹性表面波的二次模式，
所述压电基板还具备短路电极，该短路电极设置在所述R面、a面或m面的蓝宝石基板和所述LiNbO3膜之间。
16.根据权利要求15所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在设所述弹性表面波的波长为λ时，LiNbO3的膜厚在0.4λ～1.6λ的范围内，优选在0.6λ～1.6λ的范围内。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
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| US10128814B2 (en) * | 2016-01-28 | 2018-11-13 | Qorvo Us, Inc. | Guided surface acoustic wave device providing spurious mode rejection |
| JP2018182615A (ja) * | 2017-04-18 | 2018-11-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| JP7073392B2 (ja) * | 2017-10-23 | 2022-05-23 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
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| JP7401999B2 (ja) * | 2019-09-12 | 2023-12-20 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0832398A (ja) * | 1994-05-10 | 1996-02-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 表面弾性波素子 |
| JPH08316781A (ja) * | 1995-05-17 | 1996-11-29 | Yasutaka Shimizu | 弾性表面波素子 |
| JPH09208399A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Kyocera Corp | 圧電基体及び弾性表面波装置 |
| JPH10322158A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-04 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 圧電体基板とその製法及びそれを用いた弾性表面波機能素子 |
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Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2004186868A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波素子、それを有する送信フィルタ及び受信フィルタ、並びにそれらを有するデュプレクサ |
| JP4345328B2 (ja) * | 2003-03-13 | 2009-10-14 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波デバイス及びその製造方法 |
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| JP2004336503A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
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| JP4657002B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2011-03-23 | 信越化学工業株式会社 | 複合圧電基板 |
| JP4735840B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2011-07-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体積層体、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータ |
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0832398A (ja) * | 1994-05-10 | 1996-02-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 表面弾性波素子 |
| JPH08316781A (ja) * | 1995-05-17 | 1996-11-29 | Yasutaka Shimizu | 弾性表面波素子 |
| JPH09208399A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-12 | Kyocera Corp | 圧電基体及び弾性表面波装置 |
| JPH10322158A (ja) * | 1997-05-20 | 1998-12-04 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 圧電体基板とその製法及びそれを用いた弾性表面波機能素子 |
| CN1191677C (zh) * | 2000-10-27 | 2005-03-02 | 株式会社村田制作所 | 表面声波器件及其制造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11258427B2 (en) | 2016-11-25 | 2022-02-22 | Tohoku University | Acoustic wave devices |
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