JP4992968B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
「ZnO膜/水晶構造を用いた小型、低損失フィルタ」第31回EMシンポジウム、pp、87−94(2002/5)
=|ΔV/λ|/(V/λ)α|ΔF|/F…式(1)
上記比帯域幅0.85%を確保した上で、共振子型の弾性表面波フィルタ装置を小型化するには、IDT電極の電極指の反射係数を高めることが求められる。しかしながら、従来、共振子型の弾性表面波フィルタ装置において、反射係数を十分に高めることは困難であり、従って、上記のような要求に応える共振子型の弾性表面波フィルタ装置を実現することはできなかった。
2…圧電基板
3…IDT電極
4…圧電膜
5,6…反射器
Claims (7)
- オイラー角が(0°±5°,0°〜140°,0°±40°)である水晶からなる圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、かつ複数本の電極指を有するIDT電極と、
前記IDT電極を覆うように前記圧電基板上に形成されており、かつc軸配向のZnOからなる圧電膜とを備え、
前記圧電膜の表面が略平坦化されており、弾性表面波としてレイリー波が利用される弾性表面波装置において、
前記IDT電極が、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni及びMoからなる群から選択された少なくとも1種の金属を主体とする金属材料からなり、弾性表面波の波長λとした場合、前記IDT電極において主体となる金属と、前記IDT電極の弾性表面波の波長で規格化した規格化膜厚と、前記圧電膜の弾性表面波の波長で規格化した規格化膜厚とが、下記の表1で示す各組み合わせの範囲内とされていることを特徴とする、弾性表面波装置。
- 前記水晶からなる圧電基板のオイラー角が、(0°±5°,105°〜140°,0°±40°)の範囲内にある、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- 前記金属材料が、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni及びMoからなる群から選択した少なくとも1種の金属、または該金属を主成分とする合金である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- 前記金属材料が、複数の金属膜を積層した積層金属膜からなり、積層金属膜全体における主たる成分が、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni及びMoからなる群から選択された少なくとも1種の金属もしくは該金属を主成分とする合金である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- オイラー角が(0°±5°,105°〜140°,0°±40°)である水晶からなる圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、複数本の電極指を有するIDT電極と、
前記IDT電極を覆うように前記圧電基板上に形成されたc軸配向ZnOからなる圧電膜とを備え、
前記圧電膜の表面が略平坦化されており、
弾性表面波としてレイリー波が利用される弾性表面波装置において、
前記IDT電極が、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni及びMoからなる群から選択された複数の金属の積層金属膜からなり、
前記積層金属膜を構成する各金属膜の膜厚Tと各金属膜を構成している金属の密度との積の総和を、前記積層金属膜を構成する各金属膜の膜厚Tの総和で除算した商を平均密度とし、弾性表面波波長をλとすると、前記平均密度、前記IDT電極の規格化膜厚及び前記ZnO膜の規格化膜厚が、下記の表4に示す各組み合わせの範囲内であることを特徴とする、弾性表面波装置。
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