JP2006203408A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】水晶基板を用いたSAWデバイスにおいて、通電時の周波数変動を抑圧したSAWデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】圧電基板1と、圧電基板1上にAl又はAlを主成分とする合金の金属膜で形成したIDT2とを備え、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、圧電基板1は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、IDT2の電極指間スペースには溝12が形成され、溝12の深さをHp、金属膜11の膜厚をHmとした時に、弾性表面波の波長λで基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12(ただし、H=Hp+Hm)の範囲に設定する。
【選択図】 図1
【解決手段】圧電基板1と、圧電基板1上にAl又はAlを主成分とする合金の金属膜で形成したIDT2とを備え、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、圧電基板1は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、IDT2の電極指間スペースには溝12が形成され、溝12の深さをHp、金属膜11の膜厚をHmとした時に、弾性表面波の波長λで基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12(ただし、H=Hp+Hm)の範囲に設定する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、水晶基板を用いた弾性表面波デバイスにおいて、通電時の周波数変動を抑圧した弾性表面波デバイスに関する。
近年、弾性表面波(Surface Acoustic Wave:以下、SAW)デバイスは移動体通信用端末や車載用機器等の部品として幅広く利用され、小型で、Q値が高く、周波数温度特性が優れていること等が強く要求されている。
これらの要求を実現するSAWデバイスとして、STカット水晶基板を用いたSAWデバイスがある。STカット水晶基板は結晶X軸を回転軸としてXZ面を結晶Z軸より反時計方向に42.75°回転した面(XZ'面)を持つ水晶板のカット名であり、結晶X軸方向に伝搬するレイリー波と呼ばれる(P+SV)波であるSAW(以下、STカット水晶SAWと称す)を利用する。STカット水晶SAWデバイスの用途は、発振素子として用いられるSAW共振子や、移動体通信端末のRF段とIC間に配置されるIF用フィルタなど幅広く存在する。
STカット水晶SAWデバイスが小型でQ値の高いデバイスを実現できる理由として、SAWの反射を効率良く利用できる点が挙げられる。以下、図2に示すSTカット水晶SAW共振子を例に説明する。図2は(a)にSTカット水晶SAW共振子の平面図、(b)にIDTの断面図を示しており、STカット水晶基板101上にそれぞれ互いに間挿し合う複数本の電極指を有するくし形電極(以下、IDTと称す)102を配置し、該IDT102の両側にSAWを反射する為のグレーティング反射器103a、103bを配置している。STカット水晶SAWは圧電基板の表面に沿って伝搬する波であるので、グレーティング反射器103a、103bにより効率良く反射され、SAWのエネルギーをIDT102内に十分閉じ込めることができるので、小型で且つQ値の高いデバイスが得られる。
更に、SAWデバイスを使用する上で重要な要素に周波数温度特性がある。上述のSTカット水晶SAWにおいては、周波数温度特性の1次温度係数が零であり、その特性は2次曲線で表され、頂点温度を使用温度範囲の中心に位置するように調整すると周波数変動量が格段に小さくなるので周波数安定性に優れていることが一般的に知られている。
しかしながら、前記STカット水晶SAWデバイスは、1次温度係数は零であるが、2次温度係数は−0.034(ppm/℃2)と比較的大きいので、使用温度範囲を拡大すると周波数変動量が極端に大きくなってしまうという問題があった。
前記問題を解決する手法として、Meirion Lewis,“Surface Skimming Bulk Wave,SSBW”, IEEE Ultrasonics Symp. Proc.,pp.744〜752 (1977)及び特公昭62−016050号に開示されたSAWデバイスがある。このSAWデバイスは、図3に示すように回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−50°回転した付近に設定し、且つ、SAWの伝搬方向を結晶X軸に対して垂直方向(Z'軸方向)にしたことが特徴である。なお、前述のカット角をオイラー角で表示する場合は(0°,θ+90°,90°)=(0°,40°,90°)となる。このSAWデバイスは、圧電基板の表面直下を伝搬するSH波をIDTによって励起し、その振動エネルギーを電極直下に閉じ込めることを特徴としていて、周波数温度特性が3次曲線となり、使用温度範囲における周波数変動量が極めて少なくなるので良好な周波数温度特性が得られる。
しかしながら、前記SH波は基本的に基板内部に潜って進んでいく波である為、圧電基板表面に沿って伝搬するSTカット水晶SAWと比較してグレーティング反射器によるSAWの反射効率が悪い。従って、小型で高QなSAWデバイスを実現し難いという問題がある。また、前述の先行文献においてもSAWの反射を利用しない遅延線としての応用については開示されているものの、SAWの反射を利用したデバイスへの応用は提案されておらず、発振素子やフィルタ素子としての実用化は困難であると言われていた。
この問題を解決すべく、特公平01−034411号では、回転Yカット水晶基板のカット角θを−50°付近に設定し、SAWの伝搬方向を結晶X軸に対し垂直方向(Z'軸方向)にした圧電基板111上に800±200対もの多対のIDTを形成することにより、グレーティング反射器を利用せずIDT112自体の反射だけでSAWエネルギーを閉じ込め高Q化を図った所謂多対IDT型SAW共振子が開示されている。
しかしながら、前記多対IDT型SAW共振子はグレーティング反射器を設けたSAW共振子と比較して効率的なエネルギー閉じ込め効果が得られず、高いQ値を得るのに必要なIDT対数が800±200対と非常に多くなってしまうので、STカット水晶SAW共振子よりもデバイスサイズが大きくなってしまい、近年の小型化の要求に応えることができないという問題があった。
また、前記特公平01−034411号に開示されているSAW共振子においては、IDTにて励振されたSAWの波長をλとした時、電極膜厚を2%λ以上、好ましくは4%λ以下にすることによりQ値を高めることができるとされており、共振周波数200MHzの場合、4%λ付近でQ値が飽和に達するが、その時のQ値は20000程度しか得られずSTカット水晶SAW共振子と比較してもほぼ同等のQ値しか得られない。この原因として、膜厚が2%λ以上4%λ以下の範囲ではSAWが圧電基板表面に十分集まっていないので反射が効率良く利用できないことが考えられる。
そこで、本発明者は特願2004−310452号にて、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板上に、Al又はAlを主成分とする合金からなるIDTを形成し、該IDTのSAWの波長で基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12としたSAWデバイスを発明した。当該発明によれば、本来、圧電基板内部に潜って進んでいく波を基板表面に集中させてグレーティング反射器等によりSAWの反射を効率良く利用することができるので、従来のSTカット水晶SAWデバイスと比較して小型でQ値が高く、且つ周波数温度特性に優れたSAWデバイスが実現できる。
特公昭62−016050号
特公平01−034411号
特願2004−310452号
Meirion Lewis,"Surface Skimming Bulk Wave,SSBW", IEEE Ultrasonics Symp. Proc.,pp.744〜752 (1977)
ところで、特許文献3で提案しているSAWデバイスにおいて、共振周波数433MHzのSAW共振子を用いて通電試験を実施したところ、通電時の周波数変動が従来のSTカット水晶SAWデバイスよりも大きくなってしまうことが分かった。この原因として、特許文献3のSAWデバイスの電極膜厚は従来のSTカット水晶デバイスよりも電極膜厚を厚くすることを特徴としているが、電極膜厚を厚くすると成膜時に膜にかかる応力が増加し、この応力を緩和するようにAl原子が移動するストレスマイグレーションが生じ、これに起因して周波数変動が大きくなってしまうと考えられる。
また、周波数変動の増大を避けるべく電極膜厚を薄くすると、Q値が大幅に減少し、フィルタ等を構成したときに挿入損失が大きくなってしまうという問題が生じる。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、圧電基板に水晶基板を用いSH波を利用したSAWデバイスにおいて、Q値を高め、優れた周波数温度特性を実現すると共に、通電時の周波数変動を抑圧したSAWデバイスを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明に係るSAWデバイスの請求項1に記載の発明は、 圧電基板と、該圧電基板上にAl又はAlを主成分とする合金の金属膜で形成したIDTとを備え、励振波をSH波としたSAWデバイスであって、前記圧電基板は回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、SAWの伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、前記IDTの電極指間スペースには溝が形成され、溝の深さをHp、金属膜の膜厚をHmとした時に、SAWの波長λで基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12(ただし、H=Hp+Hm)の範囲に設定することを特徴としている。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の弾性表面波デバイスをモジュール装置、又は発振回路等に用いることを特徴としている。
本発明の請求項1によれば、IDTの電極指間スペースに溝を形成し、溝の深さをHp、金属膜の膜厚をHmとした時に、SAWの波長λで基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12(ただし、H=Hp+Hm)の範囲に設定することにより、特許文献3に記載のSAWデバイスと比較して金属膜の膜厚を薄くすることができるので、通電時のストレスマイグレーション等を起因とする周波数変動を抑圧できると共に、Q値が高く、周波数温度特性が優れたSAWデバイスを実現できる。
本発明の請求項2によれば、前記SAWデバイスをモジュール装置、又は発振回路に用いることにより、高性能なモジュール装置、又は発振回路を提供することができる。
以下、本発明を図面に図示した実施の形態例に基づいて詳細に説明する。図1(a)は本発明に係るSAW共振子の平面図、図1(b)は前記SAW共振子のIDTの断面図を示している。本発明のSAW共振子は、圧電基板1上に正電極指と負電極指とがそれぞれ互いに間挿し合うIDT2と、該IDT2の両側にSAWを反射する為のグレーティング反射器3a、3bとを配置する。そして、前記IDT2の入出力パッド4a、4bとパッケージ6の入出力用端子とを金属ワイヤ5a、5bにより電気的に導通し、パッケージ6の開口部を蓋(リッド)で気密封止する。圧電基板1は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°に設定し、SAWの伝搬方向を結晶X軸に対しほぼ垂直方向(90°±5°)にした水晶平板であって、励振するSAWはSH波である。なお、IDT2及びグレーティング反射器3a、3bの電極材料はAl又はAlを主成分とする合金としている。
本発明の特徴は、図1(b)に示すようにIDTの電極指間スペースの水晶基板の表面に溝12を形成したところにある。即ち、水晶基板の溝12の深さをHp、金属膜11の厚さをHmとした時に、見かけ上の電極膜厚Hは(Hp+Hm)となり、溝を形成することにより金属膜の膜厚を薄くできるので、通電時のストレスマイグレーション等を起因とする周波数変動を抑圧できる。ここで、SAWの波長λで基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12の範囲に設定すれば、特許文献3に記載のように従来のSTカット水晶デバイスよりQ値が高く、周波数温度特性の優れたSAWデバイスを実現できる。
次に、本発明のSAW共振子の製造方法について説明すると、水晶基板上にAl又はAlを主成分とする電極パターンを形成した後、CF4ガス雰囲気中でスパッタリングすることにより電極指間の水晶基板表面をエッチングし溝を形成している。Alは水晶に比べてエッチング速度が遅く、エッチングする際にAl電極がそのまま溝形成用のマスクとして利用できるので、容易に溝を形成できる。
ここで、水晶基板の溝の深さHpを0.03λ、金属膜の膜厚Hmを0.03λとし、電極膜厚H=Hp+Hmを0.06λとして実際に試作実験したところ、金属膜だけで0.06λの電極膜厚を形成した場合と比較して、通電時の周波数変動が減少することが確認された。
以上説明したように、本発明では特許文献3に記載のSAWデバイスにおいて、電極指間スペースに溝を形成することにより金属膜の膜厚を薄くしたので、通電時の周波数変動を抑圧できると共に、Q値が高く、優れた周波数温度特性を備えたSAWデバイスを実現できる。
これまで、図1に示すような1ポートのSAW共振子についてのみ言及してきたが、2ポートSAW共振子、SAW共振子の音響結合を利用した2重モードSAW(DMS)フィルタ、SAW共振子を直列腕と並列腕に梯子状に配置したラダー型SAWフィルタ、入力用IDTと出力用IDTを所定の間隙をあけて配置したトランスバーサル型SAWフィルタ等の種々の方式のSAWデバイスにおいても、本発明を適用すれば同様の効果が得られるのは言うまでもない。
更に、上述のSAWデバイスにおいて、IDTやグレーティング反射器上にSiO2等の保護膜を施したり、電極の上部あるいは下部に密着層あるいは耐電力向上等の目的で別の金属薄膜を形成した場合においても、本発明と同様の効果を得られることは明らかである。また、センサ装置やモジュール装置、電圧制御SAW発振器(VCSO)等の発振器に本発明のSAWデバイスが適用できることは言うまでもない。
また、本発明のSAWデバイスは、図1に示すようなSAWチップとパッケージをワイヤボンディングした構造以外でも良く、SAWチップの電極パッドとパッケージの端子とを金属バンプで接続したフリップチップボンディング(FCB)構造や、配線基板上にSAWチップをフリップチップボンディングしSAWチップの周囲を樹脂封止したCSP(Chip Size Package)構造、或いは、SAWチップ上に金属膜や樹脂層を形成することによりパッケージや配線基板を不要としたWLCSP(Wafer Level Chip Size Package)構造等にしても良い。更には、水晶デバイスを水晶又はガラス基板で挟んで積層封止したAQP(All Quartz Package)構造としても良い。前記AQP構造は、水晶又はガラス基板で挟んだだけの構造であるのでパッケージが不要で薄型化が可能であり、低融点ガラス封止や直接接合とすれば接着剤によるアウトガスが少なくなりエージング特性に優れた効果を奏する。
1:圧電基板
2:IDT
3a、3b:グレーティング反射器
4a、4b:入出力用パッド
5a、5b:金属ワイヤ
6:パッケージ
11:金属膜
12:溝
2:IDT
3a、3b:グレーティング反射器
4a、4b:入出力用パッド
5a、5b:金属ワイヤ
6:パッケージ
11:金属膜
12:溝
Claims (2)
- 圧電基板と、該圧電基板上にAl又はAlを主成分とする合金の金属膜で形成したIDTとを備え、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、
前記圧電基板は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、
前記IDTの電極指間スペースには溝が形成され、溝の深さをHp、金属膜の膜厚をHmとした時に、弾性表面波の波長λで基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12(ただし、H=Hp+Hm)の範囲に設定することを特徴とした弾性表面波デバイス。 - 請求項1に記載の弾性表面波デバイスを用いることを特徴としたモジュール装置、又は発振回路。
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