JP2012049717A - 二端子対弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】二端子対SAW共振子は、オイラー角(−1°≦φ≦1°,117°≦θ≦142°,42.79°≦|ψ|≦49.57°)の水晶基板30を用い、ストップバンド上端モードのSAWを励振するIDT12A,12Bと、IDT12A,12Bを構成する電極指18間に位置する基板を窪ませた溝32を有する二端子対SAW共振子10Aであって、SAWの波長をλ、溝32の深さをGとした場合に、
を満たし、かつ、IDT12のライン占有率をηとした場合に、溝32の深さGと前記ライン占有率ηとが
の関係を満たす。
【選択図】図39
Description
[適用例1]オイラー角(−1.5°≦φ≦1.5°,117°≦θ≦142°,41.9°≦|ψ|≦49.5749°)の水晶基板上に設けられ、ストップバンド上端モードの弾性表面波を励振するIDTと、前記IDTを構成する電極指間に位置する基板を窪ませた電極指間溝を有する二端子対弾性表面波共振子であって、前記弾性表面波の波長をλ、前記電極指間溝の深さをGとした場合に、
このような特徴を持つ二端子対弾性表面波共振子によれば、周波数温度特性の向上を図ることができる。
適用例3における電極膜厚の範囲内において数式(8)を満たすようにηを定めることで、二次温度係数を略、±0.01ppm/℃2以内に収めることが可能となる。
電極指間溝の深さGと電極膜厚Hとの和を上記のように定めることで、従来の弾性表面波共振子よりも高いQ値を得ることができる。
まず、図1を参照して、一端子対の弾性表面波(SAW)共振子に係る実施形態について説明する。なお図1において、図1(A)はSAW共振子の平面図であり、図1(B)は部分拡大断面図、図1(C)は同図(B)における詳細を説明するための拡大図である。
つまり、本実施形態に係る効果は、電極膜を除いた水晶基板30単体における弾性表面波の伝播においても奏することができるということが言える。
・本実施形態に係るSAW共振子10の基本データ
H:0.02λ
G:変化
IDTライン占有率ηi:0.6
反射器ライン占有率ηr:0.8
オイラー角(0°,123°,43.5°)
対数:120
交差幅:40λ(λ=10μm)
反射器本数(片側あたり):60
電極指の傾斜角度なし
・従来のSAW共振子の基本データ
H:変化
G:ゼロ
IDTライン占有率ηi:0.4
反射器ライン占有率ηr:0.3
オイラー角(0°,123°,43.5°)
対数:120
交差幅:40λ(λ=10μm)
反射器本数(片側あたり):60
電極指の傾斜角度なし
二端子対SAW共振子10Aは、水晶基板30と、水晶基板30の主面上の弾性表面波の伝搬方向に沿って配列された2つのIDT12A、12Bと、IDT12A、12Bの両側に配置された2つの反射器20とを基本として構成される。IDT12Aは一対の櫛歯状電極14c、14dで構成され、IDT12Bは一対の櫛歯状電極14e、14fで構成されている。櫛歯状電極14c、14d、櫛歯状電極14e、14fは、互いに間挿し合う複数の電極指18を有している。IDT12Aの一方の櫛歯状電極14cは入力端子INに接続され、他方の櫛歯状電極14dは接地されている。IDT12Bの一方の櫛歯状電極14fは出力端子OUTに接続され、他方の櫛歯状電極14eは接地されている。水晶基板30主面上における、IDT12A、12Bの電極指18間および反射器20の導体ストリップ22間には、溝32が設けられている。
(1)交差幅:40λ、総対数:120(1つのIDTの対数が60)
(2)交差幅:40λ、総対数:180(1つのIDTの対数が90)
(3)交差幅:40λ、総対数:300(1つのIDTの対数が150)
(4)交差幅:80λ、総対数:180(1つのIDTの対数が90)
なお、SAW共振子10に替えて二端子対SAW共振子10Aをパッケージ56に収容して、SAW発振器としてもよい。
Claims (10)
- 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の二端子対弾性表面波共振子であって、
前記反射器を構成する導体ストリップ間に導体ストリップ間溝を設け、
前記電極指間溝よりも前記導体ストリップ間溝の深さの方が浅いことを特徴とする二端子対弾性表面波共振子。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の二端子対弾性表面波共振子を備えたことを特徴とする弾性表面波発振器。
- 請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の二端子対弾性表面波共振子を備えたことを特徴とする電子機器。
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