JP2012129735A - 弾性表面波装置及び磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上面と下面とを有し、上面に溝が形成されている水晶基板2と、前記溝内に充填されている金属層3aを有し、該金属層3aがアルミニウムよりも密度の重い金属からなるIDT電極4とを備え、SH波を利用している弾性表面波装置1。
【選択図】図1
Description
のため、反射係数が充分に高い実用的な弾性表面波装置を得ることができないという問題があった。
層をさらに備える。この場合には、反射係数を高めることができる。
。それによって、図1(b)に示す電極構造が形成されている。この電極構造は、IDT電極4と、IDT電極4の弾性表面波伝搬方向両側に配置された反射器5,6とを有する。
数k2を高め得ることがわかる。特に、この広い膜厚範囲において、第1及び体2の構造例によれば、電気機械結合係数k2を0.0025以上と高くし得ることもわかる。よって、電極膜厚を増大することにより電気的抵抗損失を低めた場合であっても、電気機械結合係数k2を0.0025以上と大きくすることができる。より具体的には、第1の構造例では、電極膜厚が、0.015λ以上、0.16λ以下の範囲内において、電気機械結合係数k2を0.0025以上とすることができ、第2の構造例では、0.014λ〜0.16λの範囲内で、電気機械結合係数k2を0.0025以上と高くすることができる。
ある。
した1ポート型共振子構造に限定されるものではない。
2…水晶基板
2a…溝
3a…第1の金属層
3b…第2の金属層
4…IDT電極
5,6…反射器
Claims (9)
- 上面と下面とを有し、上面に溝が形成されている水晶基板と、
前記溝内に充填されている第1の金属層を有し、該第1の金属層がアルミニウムよりも密度の大きい金属からなるIDT電極とを備え、SH波を利用している弾性表面波装置。 - 前記IDT電極が、前記溝内に充填されている前記第1の金属層上に積層されており、前記溝外に位置している第2の金属層をさらに備える、請求項1に記載の弾性表面波装置。
- 前記第1の金属層と前記第2の金属層とが同じ金属からなる、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
- 前記第1の金属層と、前記第2の金属層とが、異なる金属からなる、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
- 前記水晶基板のオイラー角が、(0°,110°〜170°,90°±5°)の範囲にある、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
- 前記第1の金属層が、Ni、Ag、Pt、Au、Ta及びMoからなる群から選択された少なくとも1種の金属または該金属を主体とする合金、あるいは複数の前記金属が積層された層からなる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性表面波装置。
- 前記第1の金属層が、CuまたはWもしくはこれらを主体とする合金、あるいは複数の前記金属が積層された層からなる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性表面波装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性表面波装置からなる磁気センサであって、前記IDT電極を構成している金属が、NiまたはNiを主体とする合金からなる、磁気センサ。
- 前記IDT電極の弾性表面波伝搬方向両側に配置された一対の反射器をさらに備える、請求項8に記載の磁気センサ。
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