JP2011222631A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 光電変換により画素信号を生成する複数の画素と、
   前記複数の画素により生成された画素信号が出力される複数の信号出力線と、
   前記信号出力線毎に設けられ、前記複数の信号出力線の画素信号を増幅する複数の増幅器とを有し、
   前記増幅器は、同一の電圧ノードにゲート電極が接続される第１及び第２の電界効果トランジスタと、前記電圧ノードと前記第１及び第２の電界効果トランジスタのゲート電極との間に接続される第１の配線とを有し、
   前記第１及び第２の電界効果トランジスタは、前記複数の増幅器が配列される方向に対して垂直方向に配列され、
   前記第１の配線の材料は、前記第１及び第２の電界効果トランジスタのゲート電極の材料より抵抗率が小さいことを特徴とする固体撮像装置。
2. 前記第１の配線は、
   前記電圧ノードに接続される第２の配線と、
   前記第２の配線に接続される第１のプラグと、
   前記第１のプラグに接続される第３の配線と、
   前記第３の配線及び前記第１の電界効果トランジスタのゲート電極間に接続される第２のプラグと、
   前記第３の配線及び前記第２の電界効果トランジスタのゲート電極間に接続される第３のプラグとを有することを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
3. 前記第３の配線上において、前記第１のプラグは、前記第２のプラグと前記第３のプラグとの間に配置されることを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置。
4. 前記第２の電界効果トランジスタのドレイン又はソースは、前記増幅器の出力端子に接続されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
5. 前記第２の電界効果トランジスタのゲート電極は、前記増幅器の出力端子と容量結合されていることを特徴とする請求項４記載の固体撮像装置。
6. 前記第１及び第２の電界効果トランジスタのチャネルは、同一方向に揃っていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
7. 前記同一方向は、前記複数の画素の列に沿った方向であることを特徴とする請求項６記載の固体撮像装置。