JP2010240550A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010240550A5 JP2010240550A5 JP2009090925A JP2009090925A JP2010240550A5 JP 2010240550 A5 JP2010240550 A5 JP 2010240550A5 JP 2009090925 A JP2009090925 A JP 2009090925A JP 2009090925 A JP2009090925 A JP 2009090925A JP 2010240550 A5 JP2010240550 A5 JP 2010240550A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- liquid
- processing apparatus
- substrate processing
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 25
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 22
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009090925A JP2010240550A (ja) | 2009-04-03 | 2009-04-03 | 基板処理装置 |
| TW099105336A TWI399822B (zh) | 2009-04-03 | 2010-02-24 | 基板處理裝置 |
| KR1020100024260A KR101202141B1 (ko) | 2009-04-03 | 2010-03-18 | 기판 처리 장치 |
| CN2010101495018A CN101856646B (zh) | 2009-04-03 | 2010-03-25 | 基板处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009090925A JP2010240550A (ja) | 2009-04-03 | 2009-04-03 | 基板処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010240550A JP2010240550A (ja) | 2010-10-28 |
| JP2010240550A5 true JP2010240550A5 (enExample) | 2010-12-09 |
Family
ID=42942939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009090925A Abandoned JP2010240550A (ja) | 2009-04-03 | 2009-04-03 | 基板処理装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2010240550A (enExample) |
| KR (1) | KR101202141B1 (enExample) |
| CN (1) | CN101856646B (enExample) |
| TW (1) | TWI399822B (enExample) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101842824B1 (ko) * | 2014-03-10 | 2018-03-27 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 시스템 및 배관 세정 방법 |
| KR102250362B1 (ko) * | 2014-07-08 | 2021-05-12 | 세메스 주식회사 | 예비 토출 유닛, 이를 가지는 기판 처리 장치 및 방법 |
| JP6347708B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-06-27 | 株式会社Screenホールディングス | 塗布装置および洗浄方法 |
| JP6697324B2 (ja) * | 2016-05-26 | 2020-05-20 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 |
| CN106427219B (zh) * | 2016-11-18 | 2018-07-06 | 深圳华云数码有限公司 | 清洗机构、喷墨打印机以及清洗方法 |
| JP6905830B2 (ja) * | 2017-01-11 | 2021-07-21 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
| TWI640369B (zh) * | 2017-05-26 | 2018-11-11 | 弘塑科技股份有限公司 | 基板處理裝置、噴頭清洗裝置和噴頭清洗方法 |
| CN108933092A (zh) * | 2017-05-26 | 2018-12-04 | 弘塑科技股份有限公司 | 基板处理装置、喷头清洗装置和喷头清洗方法 |
| JP7018323B2 (ja) * | 2018-01-22 | 2022-02-10 | Towa株式会社 | 加工装置、及び製品の製造方法 |
| JP6939627B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2021-09-22 | 株式会社アイシン | 塗布装置 |
| JP7279096B2 (ja) * | 2021-02-26 | 2023-05-22 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置 |
| CN113733274B (zh) * | 2021-09-22 | 2022-04-26 | 淮阴工学院 | 一种工业设计用木工加工装置 |
| KR102629496B1 (ko) * | 2021-12-24 | 2024-01-29 | 세메스 주식회사 | 홈 포트 및 기판 처리 장치 |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3518948B2 (ja) * | 1995-08-24 | 2004-04-12 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板の回転処理装置 |
| JP2001310147A (ja) * | 2000-05-02 | 2001-11-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットコータの予備吐出装置および予備吐出方法 |
| JP3940054B2 (ja) * | 2002-10-07 | 2007-07-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズル清掃装置およびこのノズル清掃装置を備えた基板処理装置 |
| JP2004175525A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Showa Mfg Co Ltd | 薄型パネルの起立装置 |
| JP4315787B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2009-08-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置、並びに被充填体における液体充填度および気体混入度判定構造 |
| JP4490797B2 (ja) * | 2004-01-23 | 2010-06-30 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4455102B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2010-04-21 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4451175B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2010-04-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズル洗浄装置および基板処理装置 |
| JP4526288B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2010-08-18 | 東京応化工業株式会社 | スリットノズル先端の調整装置及び調整方法 |
| JP4417205B2 (ja) * | 2004-08-27 | 2010-02-17 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4324538B2 (ja) * | 2004-10-04 | 2009-09-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
| TWI263542B (en) * | 2004-10-04 | 2006-10-11 | Dainippon Screen Mfg | Apparatus for and method of processing substrate |
| JP4725273B2 (ja) | 2005-09-29 | 2011-07-13 | 凸版印刷株式会社 | 予備吐出部を有するスピンレスコート装置及びそれを用いたカラーフィルタの製造方法 |
| JP2007165554A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| JP4472630B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2010-06-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP4986490B2 (ja) | 2006-03-31 | 2012-07-25 | 東京応化工業株式会社 | 予備吐出装置 |
| JP4859242B2 (ja) * | 2006-07-27 | 2012-01-25 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板の処理装置 |
| JP2008114106A (ja) | 2006-11-01 | 2008-05-22 | Seiko Epson Corp | 吐出方法及び液滴吐出装置 |
| JP4717782B2 (ja) * | 2006-11-13 | 2011-07-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
-
2009
- 2009-04-03 JP JP2009090925A patent/JP2010240550A/ja not_active Abandoned
-
2010
- 2010-02-24 TW TW099105336A patent/TWI399822B/zh active
- 2010-03-18 KR KR1020100024260A patent/KR101202141B1/ko active Active
- 2010-03-25 CN CN2010101495018A patent/CN101856646B/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2010240550A5 (enExample) | ||
| JP4429073B2 (ja) | スリットコータの予備吐出装置 | |
| JP2008174246A (ja) | 容器の水滴除去装置及び水滴除去装置用のリング状エアノズル | |
| WO2009154743A3 (en) | Toilet bowl cleaning and/or deodorizing device | |
| JP2011167852A5 (enExample) | ||
| WO2009001464A1 (ja) | 洗浄装置、洗浄ノズルの詰り検知方法及び自動分析装置 | |
| CN103177986B (zh) | 涂布装置 | |
| WO2009078379A1 (ja) | 洗浄装置および自動分析装置 | |
| JP2015101942A (ja) | 衛生洗浄装置 | |
| JP2013153141A5 (enExample) | ||
| CN205032430U (zh) | 一种用于再制造的零部件清洗装置及应用该装置的清洗系统 | |
| SG140459A1 (en) | Cleaning apparatus | |
| CN204182648U (zh) | 一种痕量检测用试剂瓶清洗器 | |
| CN103989191B (zh) | 泡爪口感提升装置及其使用方法 | |
| TW200901303A (en) | Substrate processing apparatus | |
| CN204892524U (zh) | 一种氢氧化铝分解槽冲洗装置 | |
| CN203916420U (zh) | 一种酸雾净化装置 | |
| KR101346949B1 (ko) | Pcb기판 제조 공정 중 pcb기판 세척 공정에 사용되는 pcb기판 세척장치 | |
| JP2012124308A5 (enExample) | ||
| CN217912017U (zh) | 一种三甲氧基硅烷釜残处理装置 | |
| EP3739134A3 (en) | Sanitary cleaning device | |
| CN202994554U (zh) | 冷酸洗自动化环保腐蚀机 | |
| JP2003209337A (ja) | 印刷配線板用現像装置の洗浄方法 | |
| CN204237868U (zh) | 薄钢板自动除油装置 | |
| CN211322970U (zh) | 气泡清洗机 |