JP2009194631A - ウエハ、ウエハ研磨装置、ウエハ研磨方法、圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電振動子の原材料として用いられる略角形状で板状のウエハである。略角形状における全ての角部D1、D2、D3、D4が、曲率を付与する面取り加工によって曲面状に形成されている。これら曲面状の角部D1、D2、D3、D4は、異なる曲率もしくは同じ曲率で面取り加工された第1曲面部と第2曲面部とを少なくとも有している。原材料における結晶方位の基準面が、第1曲面部又は第2曲面部によって特定されている。
【選択図】 図5
Description
ところで、この圧電振動片は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の各種の圧電体から形成されている。具体的には、圧電体の原石を切断してウエハにした後、該ウエハを所定の厚みまで研磨加工する。そして、研磨加工されたウエハを洗浄、乾燥させた後、フォトリソ技術によりエッチング加工して圧電振動片の外形を形成すると共に、所定の金属膜をパターニングして電極を形成する。これにより、1枚のウエハから一度に複数の圧電振動片を作製することができる。
また、この研磨加工は、一般的に研磨装置を利用して行われている。ここで、従来の研磨装置について図28から図31を参照して簡単に説明する。
また、このようなキャリア203は、上定盤204と下定盤205との間において所定角度毎に複数個配置されるようになっており、したがって研磨装置200では、1バッチの研磨で複数枚のウエハS1を同時に研磨できるようになっている。
また、上定盤204には、図29及び図31に示すように、該上定盤204を貫通して両定盤204、205の間に研磨液Wを供給するための、供給路204aが複数(数十個)形成されている。具体的には、半径raの内側円、半径rbの中間円、半径rcの外側円に沿って所定間隔毎に形成されている。そして、図示しない供給ホースを介して研磨液Wが供給路204aに供給されるようになっている。これにより、両定盤204、205の間に各供給路204aを介して研磨液Wを供給することができ、研磨液Wを利用してウエハS1を研磨することができるようになっている。
まず、上定盤204と下定盤205とを離間させた状態で、下定盤205上に各キャリア203をセットする。また、このようにしてセットした各キャリア203の保持孔203AにそれぞれウエハS1をセットする。このようにしてセット工程を終了した後、上定盤204を下降させてウエハS1の上面に該上定盤204を所定の荷重で押し付け、該ウエハS1を両定盤204、205で挟み込む。
前記ウエハS1については、一枚からの取り個数を増やして量産性を向上するべく、前記したように大型化が進んでいる。一方、圧電振動子の小型化の要求に対応するため、ウエハS1は薄厚化も進んでいる。このように、ウエハS1には大型化、薄厚化が同時に求められていることから、図30に示した形態で研磨加工を行った場合に、特にその角部において割れや欠けといった破損が生じ易くなってしまい、その結果歩留まりが低下してしまう。
また、別の目的としては、ウエハ研磨方法を利用して圧電振動子を製造する圧電振動子の製造方法、該製造方法で製造された圧電振動子、該圧電振動子を有する発振器、電子機器及び電波時計を提供することである。
本発明に係るウエハは、圧電振動子の原材料として用いられる略角形状で板状のウエハであって、
略角形状における全ての角部が、曲率を付与する面取り加工によって曲面状に形成され、かつ、前記曲面状の角部は、異なる曲率もしくは同じ曲率で面取り加工された第1曲面部と第2曲面部とを少なくとも有してなり、
前記原材料における結晶方位の基準面が、前記第1曲面部又は前記第2曲面部によって特定されてなることを特徴としている。
また、異なる曲率もしくは同じ曲率の第1曲面部と第2曲面部とを有しているので、特にこれら第1曲面部と第2曲面部とを異なる曲率にし、もしくは、これら第1曲面部及び第2曲面部の曲線部分の長さ、すなわち平面視した際の円弧部分の長さを互いに異なるようにしておけば、これら第1曲面部又は第2曲面部によって原材料における結晶方位の基準面が特定されるようになり、したがって、この基準面がどこにあるか容易に識別可能となる。
このように構成すれば、前記基準面がより容易に識別可能になる。
外周縁がギア部とされ、前記ウエハが収納される保持孔が形成された円板状のキャリアと、
前記ギア部を介して前記キャリアに噛合され、該キャリアを自転させながら軸線回りに公転させる遊星歯車機構と、
中心が刳り貫かれた円板状に形成され、前記キャリアの上下に配置されて、前記保持孔に収納された前記ウエハに所定の荷重を加えつつ、該ウエハの両面を挟み込む上定盤及び下定盤と、
前記上定盤と前記下定盤との間に前記研磨液を供給する研磨液供給手段と、を備え、
前記キャリアは、前記保持孔が円形の開口を有してなり、該開口における円形の曲率が、前記ウエハの角部の曲率のうち、最も小さい曲率と同じかそれより小さいことを特徴としている。
前記キャリアとして、前記保持孔が円形の開口を有し、該開口における円形の曲率が、前記ウエハの角部の曲率のうち、最も小さい曲率と同じかそれより小さいものを用いることを特徴としている。
このようにしてキャリア及びウエハをセットしたら、研磨工程を行うべく、まず、上定盤を下降させ、キャリアの保持孔内に収納されたウエハの両面を、上定盤と下定盤とで所定の荷重を加えながら挟み込む。
次いで、研磨液供給手段から研磨液を供給しつつ、両定盤でウエハの両面を研磨加工して、ウエハを所定の厚みに調整する。
つまり、曲面部となっている角部は、キャリアの保持孔の円形開口の内周面に接触した際、点(線)接触でなくほぼ面接触となることから、局部的に大きな負荷(衝撃)がかかることなく、負荷が分散される。したがって、局部的な大きな負荷によって起こる割れや欠けといった破損を、防止することができる。
また、本発明に係るウエハ研磨方法は、前記本発明のウエハ研磨方法において、前記キャリアとして、前記保持孔の開口における円形の曲率が、前記ウエハの角部の曲率のうちの最も小さい曲率に対して、100%以下で90%以上の大きさであるものを用いるのが好ましい。
このように構成すれば、ウエハの角部の曲率が保持孔の内周面の曲率以上となり、かつ、この内周面の曲率に十分に近くなるので、このウエハの曲面部となっている角部が、キャリアの保持孔の内周面に接触した際、より面接触に近くなる。したがって、負荷をより良好に分散させることができ、これによって局部的な大きな負荷による割れや欠けといった破損を確実に防止することができる。
次いで、複数の圧電振動片の外表面上に電極膜をパターニングして、励振電極、引き出し電極及びマウント電極の各電極をそれぞれ形成する電極形成工程を行う。そして、複数の圧電振動片をウエハから切り離して固片化する切断工程を行う。これにより、所定の厚みに調整されたウエハから、励振電極、引き出し電極及びマウント電極が外表面上に形成された圧電振動片を一度に複数製造することができる。
このような圧電振動子の製造方法によれば、前記のウエハ研磨方法により、割れや欠けといった破損が防止された状態で、良好に研磨されたウエハを利用しているので、製造工程全体で見ると、生産性を改善して歩留まりを向上することができ、したがって生産コストの低減化を図ることができる。
また、前記ウエハは、原材料における結晶方位の基準面がどこにあるか容易に識別可能となっているので、このウエハに圧電振動片の外形形状をパターニングする外形形成工程などにおいて、マスクの位置決めなどが容易になる。
この発明に係る圧電振動子によれば、前述した製造方法により製造されているので、従来のものに比べて、生産コストが低減化されたものとなる。
また、本発明に係る電子機器は、前記本発明の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とするものである。
また、本発明に係る電波時計は、前記本発明の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とするものである。
この発明に係る発振器、電子機器及び電波時計においては、前述した圧電振動子を備えているので、従来のものに比べて生産コストが低減化されたものとなる。
本発明に係るウエハ研磨装置及びウエハ研磨方法によれば、ウエハの角部、すなわち曲面部での割れや欠けといった破損を防止することができるため、生産性を改善して歩留まりを向上し、生産コストの低減化を図ることができる。
また、本発明に係る圧電振動子の製造方法によれば、前述したウエハ研磨方法で研磨されたウエハを利用するので、製造工程全体で見ると、生産コストの低減化を図ることができる。
また、本発明に係る圧電振動子によれば、前述した製造方法により製造されているので、従来のものに比べて生産コストが低減化されたものとなる。
また、本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計によれば、前記圧電振動子を備えているので、従来のものに比べて生産コストが低減化されたものとなる。
本実施形態の圧電振動子1は、図1から図4に示すように、圧電振動片2と、該圧電振動片2を内部に収納するケース3と、圧電振動片2をケース3内に密閉させる気密端子であるプラグ4と、を備えている。
この圧電振動片2は、平行に配置された一対の振動腕部10、11と、該一対の振動腕部10、11の基端側を一体的に固定する基部12と、一対の振動腕部10、11の外表面上に形成されて一対の振動腕部10、11を振動させる第1の励振電極13と第2の励振電極14とからなる励振電極15と、第1の励振電極13及び第2の励振電極14に電気的に接続されたマウント電極16、17とを有している。
また、本実施形態の圧電振動片2は、一対の振動腕部10、11の両主面上に、該振動腕部10、11の長手方向Xに沿ってそれぞれ形成された溝部18を備えている。この溝部18は、振動腕部10、11の基端側から略中間付近まで形成されている。
なお、前述した励振電極15、マウント電極16、17及び引き出し電極19、20は、例えば、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)やチタン(Ti)等の導電性膜(電極膜)の被膜により形成されたものである。
ステム30は、金属材料で環状に形成されたものである。また、充填材32の材料としては、例えばホウ珪酸ガラスが用いられている。また、リード端子31の表面及びステム30の外周には、それぞれ同材料の図示しないメッキが施されている。
リード端子31の直径は例えば約0.12mmであり、リード端子31の母材の材質としては、コバール(FeNiCo合金)が慣用されている。また、リード端子31の外表面及びステム30の外周に被膜させるメッキの材質としては、下地金属膜としてはCuが用いられ、仕上金属膜としては、耐熱ハンダメッキ(錫と鉛の合金で、その重量比が1:9)や、銀(Ag)や錫銅合金(SnCu)や金錫合金(AuSn)等が用いられる。
また、ステム30の外周に被膜された金属膜(メッキ層)を介在させながらケース3の内周に真空中で冷間圧接させることにより、ケース3の内部を真空状態で気密封止できるようになっている。
図5は、本発明に係るウエハの一実施形態を示す図である。図5においてウエハSは、本発明に係るキャリア41の保持孔41bに保持された状態となっている。このウエハSは、略矩形状の板状体であって、その四つの角部全てが、曲率を付与する面取り加工、すなわちR面取り加工によって曲面状に形成されている。
また、本実施形態では、これら第1曲面部と第2曲面部とは同じ曲率を有しているものの、その平面視した際の曲線部分の長さ、すなわち平面視した際の円弧部分の長さは、互いに異なって形成されている。(本実施形態では、第1の曲面部の方が第2の曲面部より長くなっている。)このような構成により、第1曲面部と第2曲面部とは、互いに異なっているのが容易に視認でき、したがってこれら第1曲面部と第2曲面部とを容易に識別できるようになっている。
なお、曲率Rは(1/r;ただし、rは円の半径)によって定義され、したがって第1曲面部における曲率R1は(1/r1)となり、第2曲面部における曲率R2は(1/r2)となっている。そして、R1≦R2、すなわちr1≧r2となっている。
また、第1曲面部間の端面が基準面となっているので、研磨処理後もこの基準面が容易に識別可能になっている。
前記ウエハSの作製工程では、まず、原石をR面取り加工すると共に、該原石を切断して所定の厚さのウエハSにする。すなわち、横断面矩形状の角柱状の原石を用意すると共に、X線回析法等により原石の切断角度(カット角)の測定を行う(S1)。詳細には、原石のZ面のX軸回りの角度が指定の角度になるようにX線を用いて測定する。測定後、ベースとなるガラス上に接着剤を用いて原石を固定する。なお、本実施形態では原石として水晶を用い、この水晶における基準面が、形成するウエハの端面となるようにする。
なお、本実施形態では、形成するウエハSの最大長を約95mmとする。また、前記切断の際、ワイヤーソーの送り速度を、毎分40mmから50mmに制御する。さらに、切削液としては、砥粒にラッピングオイルを適量配合した液を使用する。この砥粒としては、平均粒径が約12μm程度の炭化珪素(SiC)が慣用される。なお、切削液については、常温を保つように温度管理する。
キャリア41は、図5に示したように、外縁をギア部41aとし、内部に保持孔41bを一つ有したもので、保持孔41bの円形開口の曲率R3が、前記ウエハSの角部D1〜D4の曲率(R1、R2)のうち、最も小さい曲率R1(R2)と同じかそれより小さく形成されたものである。具体的には、前記保持孔41bの曲率R3は、前記ウエハSの曲率R1(R2)に対して、100%以下で90%以上の大きさに形成されている。
なお、本実施形態では、図9に示すように、ウエハ研磨装置40が前記構成のキャリア41を5枚備えているものとして説明する。
また、リングプレート56には、複数のパウダーホース(供給ホース)58の基端側が固定されている。この際、各パウダーホース58は、溝部55a内に連通した状態で固定されている。これにより、溝部55a内に一旦貯留された研磨液Wは、溝部55aからパウダーホース58内に流れ、パウダーホース58の先端に向かって流れるようになっている。
なお、前述した研磨液Wは、研磨材(砥粒)が含有された液である。研磨材(砥粒)としては、このラッピングの際には炭化珪素(SiC)が慣用され、平均砥粒が6μmから9μm程度のより粒径の細かいものが使用される。
また、前記の両定盤43、44には、後述するポリッシング工程を行うときとは異なり、研磨パッドPを取り付けることなく外しておき、これを使用せずにラッピング(研磨)を行う。
つまり、曲面部となっている角部D1〜D4は、キャリア41の保持孔41bの円形開口の内周面に接触した際、点(線)接触でなくほぼ面接触となることから、局部的に大きな負荷(衝撃)がかかることなく、負荷が分散される。したがって、局部的な大きな負荷によって起こる割れや欠けといった破損が防止される。よって、特にこのラッピング工程では、ウエハSの角部D1〜D4での破損を防止できるため、生産性を改善して歩留まりを向上し、生産コストの低減化を図ることができる。
また、第1曲面部間、すなわち角部D1、D2間の端面が基準面となっているので、ラッピング後もこの基準面が容易に識別可能になっている。
また、両定盤43、44の間に供給された研磨液Wは、最終的には図7に示すように、回収パン61によって回収される。そして、回収パン61によって回収された研磨液W及び研磨加工粉は、フィルタ67を通過した後、研磨液槽62に溜まる。フィルタ67を通過する際に、研磨加工粉は除去されるため、研磨液槽62には清浄な研磨液Wだけが溜まるようになる。そして、回収された研磨液Wは、再度ポンプ64によって送り出され、再使用される。
また、研磨液Wについては、研磨材が含有された液が用いられ、研磨材としては、一般的に酸化セリウム(CeO2)が慣用される。したがって、研磨液Wとしては、例えば酸化セリウムと防錆材と水とからなるスラリーが用いられる。
さらに、ウエハ研磨装置40の動作については、前記ラッピング時と同様にして行う。
このようにしてポリッシングを行っても、前記ラッピング時と同様にウエハSの角部D1〜D4が曲面状となっているので、これらウエハSの角部D1〜D4での割れや欠けといった破損が防止される。よって、このポリッシング工程でも、ウエハSの角部D1〜D4での破損を防止できるため、生産性を改善して歩留まりを向上し、生産コストの低減化を図ることができる。
また、第1曲面部間、すなわち角部D1、D2間の端面が基準面となっているので、ポリッシング後もこの基準面が容易に識別可能になっている。
次いで、ウエハSをバスケットに収納した後、純水や60℃程度の温度に加熱した温純水や超純水にバスケットを漬浸して、ウエハSの洗浄を行う(S11)。洗浄した後、ウエハSをスピン乾燥機等で脱水する。脱水後、真空中でウエハSを加熱して、吸着した水分を脱利させて乾燥させる。なお、乾燥後は、窒素を封入したデシケータ中にウエハSを保管するのが好ましい。
本実施形態の圧電振動子1の製造方法は、外形形成工程と、電極形成工程と、切断工程と、マウント工程と、封止工程とを順次行って、製造する方法である。これら各工程について、以下に詳細に説明する。
始めに、ポリッシングが終了したウエハSを準備(S21)した後、図12に示すようにウエハSの両面にエッチング保護膜70をそれぞれ成膜する(S22)。このエッチング保護膜70としては、例えば、クロム(Cr)を数μm成膜する。次いで、エッチング保護膜70上に図示しないフォトレジスト膜を、フォトリソグラフィ技術によってパターニングする。この際、圧電振動片2の周囲を囲むようにパターニングする。そして、このフォトレジスト膜をマスクとしてエッチング加工を行い、マスクされていないエッチング保護膜70を選択的に除去する。
なお、前記ウエハSは、結晶方位についての基準面が容易に識別可能となっているので、前記パターニングを行う際、マスクの位置決めなどが容易になっている。
まず、図16に示すように、エッチング保護膜70上にフォトレジスト膜71をスプレー塗布等により成膜する(S31)。そして、このフォトレジスト膜71を、フォトリソグラフィ技術によってパターニングする。この際、図17に示すように、溝部18の領域を空けた状態で圧電振動片2の外形形状に沿ってパターニングする(S32)。そして、パターニングされたフォトレジスト膜71をマスクとしてエッチング加工を行い、マスクされていないエッチング保護膜70を選択的に除去する(S33)。そして、エッチング加工後にフォトレジスト膜71を除去する。これにより、図18に示すように、既にパターニングされたエッチング保護膜70を、溝部18の領域を空けた状態でさらにパターニングすることができる。
次いで、ウエハSと圧電振動片2とを連結していた連結部を切断して、複数の圧電振動片2をウエハSから切り離して固片化する切断工程を行う(S42)。これにより、所定の厚みに調整されたウエハSから、励振電極15、引き出し電極19、20及びマウント電極16、17の各電極が形成された圧電振動片2を一度に複数製造することができる。
次いで、ステム30内に、リード端子31及び充填材32をそれぞれセットするセット工程を行う(S52)。まず、作製したステム30を、図示しない専用の治具にセットした後、予めリング状に焼結された充填材32をステム30の内部にセットすると共に、充填材32を貫通するようにリード端子31をセットする。
このように、下地金属膜及び仕上金属膜からなる金属膜を被膜させることで、インナーリード31aと圧電振動片2との接続を可能にすることができる。また、圧電振動片2の接続だけでなく、ステム30の外周に被膜された金属膜が柔らかく弾性変形する特性を有しているので、ステム30とケース3との冷間圧接を可能にすることができ、気密接合を行うことができる。
なお、バンプ接続する際に、加熱・加圧を行ってマウントしたが、超音波を利用してバンプ接続を行っても構わない。
なお、この工程を行う前に、圧電振動片2、ケース3及びプラグ4を十分に加熱して、表面吸着水分等を脱離させておくことが好ましい。
スクリーニング終了後、内部の電気特性検査を行う(S68)。すなわち、圧電振動片2の共振周波数、共振抵抗値、ドライブレベル特性(共振周波数及び共振抵抗値の励振電力依存性)等を測定してチェックする。また、絶縁抵抗特性等を併せてチェックする。そして、最後に圧電振動子1の外観検査を行って、寸法や品質等を最終的にチェックする。この結果、図1に示す圧電振動子1を製造することができる。
また、本発明に係るキャリアについても、図5に示したように、保持孔41bを一つのみ形成したものについて例示したが、ウエハSを同時に複数保持するべく、保持孔41bを複数形成したものであってもよい。
例えば、図20に示すように、厚み滑り振動片(圧電振動片)81を有する厚み滑り振動子(圧電振動子)80であっても構わない。厚み滑り振動片81は、ウエハSから一定の厚みで板状に形成された圧電板82と、励振電極83、引き出し電極84、マウント電極85とを備えている。圧電板82は、例えば、外形が矩形状に形成されており、両面の略中央部分に励振電極83が対向するように形成されている。圧電板82の端部には、引き出し電極84を介して励振電極83に電気的に接続されたマウント電極85が形成されている。なお、マウント電極85は、一方の励振電極83に接続されたものと、他方の励振電極83に接続されたものとが、圧電板82の両面にそれぞれ形成されている。この際、圧電板82の一方の面に形成されたマウント電極85は、他方の面に形成されたマウント電極85に対して、圧電板82の側面上に形成された側面電極86を介して電気的に接続されている。
この圧電振動子90は、内部に凹部91aが形成されたベース91と、該ベース91の凹部91a内に収容される圧電振動片2と、圧電振動片2を収容した状態でベース91に固定されるリッド92と、を備えている。
また、ベース91は、蓋となるリッド92により、真空中で電子ビーム溶接や真空シーム溶接、或いは、低融点ガラスや共晶金属による接合等の各種手段を用いて真空気密封止されている。これにより、圧電振動片2は、内部に気密封止されている。すなわち、ベース91及びリッド92は、圧電振動片2を気密封止する封止部材94として機能する。
この表面実装型振動子100は、図23及び図24に示すように、圧電振動子1と、該圧電振動子1を所定の形状で固定するモールド樹脂部101と、一端側がアウターリード31bに電気的に接続されると共に、他端側がモールド樹脂部101の底面に露出して外部に電気的に接続される外部接続端子102と、を備えている。この外部接続端子102は、銅等の金属材料で断面コ形に形成されている。このように圧電振動子1をモールド樹脂部101で固めることで、回路基板等に安定して取り付けることができるので、より使用し易く、使い易さが向上する。特に、圧電振動子1は従来のものに比べて生産コストが低減化されているので、表面実装型振動子100自体に関しても生産コストが低減化されたものとなる。
本実施形態の発振器110は、図25に示すように、圧電振動子1を、集積回路111に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器110は、コンデンサ等の電子部品112が実装された基板113を備えている。基板113には、発振器用の前記集積回路111が実装されており、この集積回路111の近傍に、圧電振動子1の圧電振動片2が実装されている。これら電子部品112、集積回路111及び圧電振動子1は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
また、集積回路111の構成を、例えば、RTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
無線部127は、音声データ等の各種データを、アンテナ135を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部128は、無線部127又は増幅部130から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部130は、音声処理部128又は音声入出力部131から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部131は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
なお、呼制御メモリ部134は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部132は、例えば、0から9の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
なお、通信部124の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部136を備えることで、通信部124の機能をより確実に停止することができる。
本実施形態の電波時計140は、図27に示すように、フィルタ部141に電気的に接続された圧電振動子1を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県(40kHz)と佐賀県(60kHz)とに、標準の電波を送信する送信所(送信局)があり、それぞれ標準電波を送信している。40kHz若しくは60kHzのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、前述した2つの送信所で日本国内を全て網羅している。
アンテナ142は、40kHz若しくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHz若しくは60kHzの搬送波にAM変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ143によって増幅され、複数の圧電振動子1を有するフィルタ部141によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子1は、前記搬送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部148、149をそれぞれ備えている。
続いて、波形整形回路145を介してタイムコードが取り出され、CPU146でカウントされる。CPU146では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、RTC148に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、40kHz若しくは60kHzであるから、水晶振動子部148、149は、前述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
Claims (11)
- 圧電振動子の原材料として用いられる略角形状で板状のウエハであって、
略角形状における全ての角部が、曲率を付与する面取り加工によって曲面状に形成され、かつ、前記曲面状の角部は、異なる曲率もしくは同じ曲率で面取り加工された第1曲面部と第2曲面部とを少なくとも有してなり、
前記原材料における結晶方位の基準面が、前記第1曲面部又は前記第2曲面部によって特定されてなることを特徴とするウエハ。 - 請求項1に記載のウエハにおいて、
略矩形状であって、隣り合う二つの角部が第1曲面部とされ、他の二つの角部が第2曲面部とされ、
前記原材料における結晶方位の基準面が、前記第1曲面部間に形成される面、あるいは前記第2曲面部間に形成される端面であることを特徴とするウエハ。 - 請求項1又は2に記載のウエハの表裏両面を、研磨液を供給しつつ研磨して、該ウエハの厚みを所定の厚みに調整するウエハ研磨装置であって、
外周縁がギア部とされ、前記ウエハが収納される保持孔が形成された円板状のキャリアと、
前記ギア部を介して前記キャリアに噛合され、該キャリアを自転させながら軸線回りに公転させる遊星歯車機構と、
中心が刳り貫かれた円板状に形成され、前記キャリアの上下に配置されて、前記保持孔に収納された前記ウエハに所定の荷重を加えつつ、該ウエハの両面を挟み込む上定盤及び下定盤と、
前記上定盤と前記下定盤との間に前記研磨液を供給する研磨液供給手段と、を備え、
前記キャリアは、前記保持孔が円形の開口を有してなり、該開口における円形の曲率が、前記ウエハの角部の曲率のうち、最も小さい曲率と同じかそれより小さいことを特徴とするウエハ研磨装置。 - 請求項3に記載のウエハ研磨装置において、
前記キャリアは、前記保持孔の開口における円形の曲率が、前記ウエハの角部の曲率のうちの最も小さい曲率に対して、100%以下で90%以上の大きさであることを特徴とするウエハ研磨装置。 - 外周縁がギア部とされ、ウエハが収納される保持孔が形成された円板状のキャリアと、前記ギア部を介して前記キャリアに噛合され、該キャリアを自転させながら軸線回りに公転させる遊星歯車機構と、中心が刳り貫かれた円板状に形成され、前記キャリアの上下に配置されて、前記保持孔に収納された前記ウエハに所定の荷重を加えつつ、該ウエハの両面を挟み込む上定盤及び下定盤と、前記上定盤と前記下定盤との間に前記研磨液を供給する研磨液供給手段と、を備えるウエハ研磨装置により、前記研磨液供給手段から研磨液を供給しつつ、請求項1又は2に記載のウエハの表裏両面を研磨して、該ウエハの厚みを所定の厚みに調整する研磨工程を備えたウエハ研磨方法であって、
前記キャリアとして、前記保持孔が円形の開口を有し、該開口における円形の曲率が、前記ウエハの角部の曲率のうち、最も小さい曲率と同じかそれより小さいものを用いることを特徴とするウエハ研磨方法。 - 請求項5に記載のウエハ研磨方法において、
前記キャリアとして、前記保持孔の開口における円形の曲率が、前記ウエハの角部の曲率のうちの最も小さい曲率に対して、100%以下で90%以上の大きさであるものを用いることを特徴とするウエハ研磨装置。 - 請求項5又は6に記載のウエハ研磨方法により研磨されたウエハを利用して圧電振動子を一度に複数製造する方法であって、
研磨後の前記ウエハをフォトリソ技術によりエッチングして、該ウエハに複数の圧電振動片の外形形状をパターニングする外形形成工程と、
複数の前記圧電振動片の外表面上に電極膜をパターニングして、所定の電圧が印加されたときに圧電振動片を振動させる励振電極と、引き出し電極を介して励振電極に電気的に接続されるマウント電極と、をそれぞれ形成する電極形成工程と、
複数の前記圧電振動片を前記ウエハから切り離して固片化する切断工程と、
該切断工程後、固片化された前記圧電振動片の前記マウント電極を、一端側が外部に電気的に接続される外部接続端子の他端側に接合するマウント工程と、
該マウント工程後、前記圧電振動片を封止部材により気密封止する封止工程と、を備えていることを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 請求項7に記載の圧電振動子の製造方法により製造されたことを特徴とする圧電振動子。
- 請求項8に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
- 請求項8に記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
- 請求項8に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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