JPH11156707A - 研磨装置用ワークキャリヤ - Google Patents
研磨装置用ワークキャリヤInfo
- Publication number
- JPH11156707A JPH11156707A JP9329190A JP32919097A JPH11156707A JP H11156707 A JPH11156707 A JP H11156707A JP 9329190 A JP9329190 A JP 9329190A JP 32919097 A JP32919097 A JP 32919097A JP H11156707 A JPH11156707 A JP H11156707A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circular
- carrier
- work
- works
- carriers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 非円形ワークの加工精度を向上できるワーク
キャリヤを提供する。 【解決手段】 第２円形キャリヤ２を自転しながら公転
させることにより、その円形ホール２ａ内の偏心した第
１円形キャリヤ１が該円形ホール２ａに内接しながら第
２円形キャリヤ２の回転とは逆方向へ回転し、これに保
持された非円形薄板状ワークＡを回転させる。
キャリヤを提供する。 【解決手段】 第２円形キャリヤ２を自転しながら公転
させることにより、その円形ホール２ａ内の偏心した第
１円形キャリヤ１が該円形ホール２ａに内接しながら第
２円形キャリヤ２の回転とは逆方向へ回転し、これに保
持された非円形薄板状ワークＡを回転させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば矩形や楕円
等の非円形薄板に形成されたセラミックス、石英マス
ク、フェライト磁石、水晶等からなるワーク（被加工
物）を研磨加工する際に使用される研磨装置用ワークキ
ャリヤ、詳しくは複数枚又は単数枚の非円形薄板状ワー
クを１枚のキャリヤに保持し、このキャリヤが自転しな
がら公転することにより該ワークの両面を同時に研磨す
るものに関する。ここでいう研磨加工とは、比較的粗い
粒子の研磨剤（例えば１２μｍサイズ）を使用する場合
のラッピング加工と称されるものと、微粒子研磨剤（例
えば０．０２μｍ）を使用する場合の研磨加工と称され
る両者を含むものである。
等の非円形薄板に形成されたセラミックス、石英マス
ク、フェライト磁石、水晶等からなるワーク（被加工
物）を研磨加工する際に使用される研磨装置用ワークキ
ャリヤ、詳しくは複数枚又は単数枚の非円形薄板状ワー
クを１枚のキャリヤに保持し、このキャリヤが自転しな
がら公転することにより該ワークの両面を同時に研磨す
るものに関する。ここでいう研磨加工とは、比較的粗い
粒子の研磨剤（例えば１２μｍサイズ）を使用する場合
のラッピング加工と称されるものと、微粒子研磨剤（例
えば０．０２μｍ）を使用する場合の研磨加工と称され
る両者を含むものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、非円形薄板状のワークの両面を同
時に研磨加工する場合は、研磨装置の回転するサンギア
とインターナルギアに噛み合うようなモジュールを有す
る円形キャリヤに、そのワークの外形形状に合せて開設
された複数又は単数のホールにワークを保持し、上下一
対の金属定盤又は研磨布が貼り付けられた金属定盤の間
に挟んで加圧すると共に研磨剤を供給することにより、
キャリヤと共にワークが自転しながら公転して、該ワー
クの両面を同時に研磨している。また、上記ワークを保
持するホールは、キャリヤの中心ではなくて外周部に配
置されており、仮にワークの外形形状が円形で、この円
形ワークの外周面とホールの内周面との間に間隙がある
と円形ワークはホールに対しても回転する。これにより
キャリヤの中心から半径方向へ生ずる「厚さ勾配」を解
消すると共にワークの任意点において同一の軌跡を描か
ず、その結果として研磨加工特有の極めて良好な加工精
度を得ていた。
時に研磨加工する場合は、研磨装置の回転するサンギア
とインターナルギアに噛み合うようなモジュールを有す
る円形キャリヤに、そのワークの外形形状に合せて開設
された複数又は単数のホールにワークを保持し、上下一
対の金属定盤又は研磨布が貼り付けられた金属定盤の間
に挟んで加圧すると共に研磨剤を供給することにより、
キャリヤと共にワークが自転しながら公転して、該ワー
クの両面を同時に研磨している。また、上記ワークを保
持するホールは、キャリヤの中心ではなくて外周部に配
置されており、仮にワークの外形形状が円形で、この円
形ワークの外周面とホールの内周面との間に間隙がある
と円形ワークはホールに対しても回転する。これにより
キャリヤの中心から半径方向へ生ずる「厚さ勾配」を解
消すると共にワークの任意点において同一の軌跡を描か
ず、その結果として研磨加工特有の極めて良好な加工精
度を得ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし乍ら、従来の研
磨装置用ワークキャリヤは、ワークの外形形状が、例え
ば矩形や多角形等の非円形の場合はキャリヤホールに対
し自由に回転可能に保持できないため、極めて良好な加
工精度が得られないという問題がある。
磨装置用ワークキャリヤは、ワークの外形形状が、例え
ば矩形や多角形等の非円形の場合はキャリヤホールに対
し自由に回転可能に保持できないため、極めて良好な加
工精度が得られないという問題がある。
【０００４】本発明のうち請求項１及び２記載の発明
は、厚さ勾配を解消しながらワークの任意点において同
一の軌跡をとらないようにすることを目的としたもので
ある。更に請求項３記載の発明は、請求項１または請求
項２に記載の発明をより効果的に行うため、最適な加工
条件を設定できることを目的としたものである。
は、厚さ勾配を解消しながらワークの任意点において同
一の軌跡をとらないようにすることを目的としたもので
ある。更に請求項３記載の発明は、請求項１または請求
項２に記載の発明をより効果的に行うため、最適な加工
条件を設定できることを目的としたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうち請求項１記載の発明は、非円形薄
板状ワークを１枚保持する第１円形キャリヤと、複数枚
の第１円形キャリヤを夫々回転自在に保持するために円
形ホールが開設された第２円形キャリヤとを備え、上記
円形ホールの中心を第２円形キャリヤの中心より同一の
距離に配置したことを特徴とするものである。また請求
項２記載の発明は、非円形薄板状ワークを１枚保持する
１枚の第１円形キャリヤと、この第１円形キャリヤを回
転自在に保持するために１個の円形ホールが開設された
第２円形キャリヤとを備え、上記円形ホールの中心を第
２円形キャリヤの中心より偏心させて配置したことを特
徴とするものである。更に請求項３記載の発明は、請求
項１または２記載の発明の構成に、前記第１円形キャリ
ヤの外周端を第２円形キャリヤの円形ホール内周面に接
触させた時に反対側で生じる間隙が、０．５〜１０ｍｍ
の範囲内である構成を加えたことを特徴とする。
ために、本発明のうち請求項１記載の発明は、非円形薄
板状ワークを１枚保持する第１円形キャリヤと、複数枚
の第１円形キャリヤを夫々回転自在に保持するために円
形ホールが開設された第２円形キャリヤとを備え、上記
円形ホールの中心を第２円形キャリヤの中心より同一の
距離に配置したことを特徴とするものである。また請求
項２記載の発明は、非円形薄板状ワークを１枚保持する
１枚の第１円形キャリヤと、この第１円形キャリヤを回
転自在に保持するために１個の円形ホールが開設された
第２円形キャリヤとを備え、上記円形ホールの中心を第
２円形キャリヤの中心より偏心させて配置したことを特
徴とするものである。更に請求項３記載の発明は、請求
項１または２記載の発明の構成に、前記第１円形キャリ
ヤの外周端を第２円形キャリヤの円形ホール内周面に接
触させた時に反対側で生じる間隙が、０．５〜１０ｍｍ
の範囲内である構成を加えたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】請求項１の発明は、第２円形キャリヤを自転さ
せながら公転させることにより、その円形ホール内で第
１円形キャリヤが該円形ホールに内接しながら第２円形
キャリヤの自転と逆方向へ自由に回転し、これに保持さ
れた非円形薄板状ワークも同様に回転する。請求項２の
発明は、第１円形キャリヤが第２円形キャリヤと偏心し
ていることによりワークの中心は定盤に対して同一の軌
跡（円）を描かないため加工精度が良好である。請求項
３の発明は、請求項２記載の構成に対して、前記第１円
形キャリヤの外周端を第２円形キャリヤの円形ホール内
周面に接触させた時に反対側で生じる間隙が、０．５〜
１０ｍｍの範囲内である構成を追加したので、非円形ワ
ークの材質、形状、大きさ及び加工装置条件に対応して
最適な間隙に選択することにより、ワークの回転数が調
整される。尚、０．５ｍｍ未満では十分な回転が得られ
ず、１０ｍｍを超えると過剰に回転し、かえって加工精
度を悪化させる。
せながら公転させることにより、その円形ホール内で第
１円形キャリヤが該円形ホールに内接しながら第２円形
キャリヤの自転と逆方向へ自由に回転し、これに保持さ
れた非円形薄板状ワークも同様に回転する。請求項２の
発明は、第１円形キャリヤが第２円形キャリヤと偏心し
ていることによりワークの中心は定盤に対して同一の軌
跡（円）を描かないため加工精度が良好である。請求項
３の発明は、請求項２記載の構成に対して、前記第１円
形キャリヤの外周端を第２円形キャリヤの円形ホール内
周面に接触させた時に反対側で生じる間隙が、０．５〜
１０ｍｍの範囲内である構成を追加したので、非円形ワ
ークの材質、形状、大きさ及び加工装置条件に対応して
最適な間隙に選択することにより、ワークの回転数が調
整される。尚、０．５ｍｍ未満では十分な回転が得られ
ず、１０ｍｍを超えると過剰に回転し、かえって加工精
度を悪化させる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明のラッピング加工の
実施例を図面に基づいて説明する。この実施例は、図１
及び図２に示す如く第１円形キャリヤ１に非円形薄板状
ワークＡの外形状に合った非円形ホール１ａを１個開設
し、この第１円形キャリヤ１の外径より大きな内径の円
形ホール２ａを第２円形キャリヤ２に複数個開設し、上
記円形ホール２ａの中心２ｂを第２円形キャリヤ２の中
心２ｃより同一の距離に配置したものである。図示例の
場合には、円形ホール２ａを３個開設している。
実施例を図面に基づいて説明する。この実施例は、図１
及び図２に示す如く第１円形キャリヤ１に非円形薄板状
ワークＡの外形状に合った非円形ホール１ａを１個開設
し、この第１円形キャリヤ１の外径より大きな内径の円
形ホール２ａを第２円形キャリヤ２に複数個開設し、上
記円形ホール２ａの中心２ｂを第２円形キャリヤ２の中
心２ｃより同一の距離に配置したものである。図示例の
場合には、円形ホール２ａを３個開設している。
【０００８】また、上記第２円形キャリヤ２の外周面に
は、サンギアＳとインターナルギアＩと噛み合うギア２
ｄを形成し、これらサンギアＳ及びインターナルギアＩ
を回転させることにより、該第２円形キャリヤ２が自転
しながら公転する。
は、サンギアＳとインターナルギアＩと噛み合うギア２
ｄを形成し、これらサンギアＳ及びインターナルギアＩ
を回転させることにより、該第２円形キャリヤ２が自転
しながら公転する。
【０００９】更に、第１円形キャリヤ１の外周端を第２
円形キャリヤ２の円形ホール２ａ内周面に接触させた時
に反対側で生じる間隙は、第１円形キャリヤ１の外径が
２５０φで、２ｍｍに選定してある。
円形キャリヤ２の円形ホール２ａ内周面に接触させた時
に反対側で生じる間隙は、第１円形キャリヤ１の外径が
２５０φで、２ｍｍに選定してある。
【００１０】次に、斯かる研磨装置用ワークキャリヤの
作用について説明する。先ず、前記第１円形キャリヤ１
の非円形ホール１ａ内に非円形ワークＡを保持し、これ
を第２円形キャリヤ２の円形ホール２ａ…内に夫々回転
自在に保持した状態で、研磨剤を供給しながらサンギア
ＳとインターナルギアＩを回転させると、第２円形キャ
リヤ２が自転しながら公転し、その円形ホール２ａ…内
の第１円形キャリヤ１…が、該円形ホール２ａ…に内接
しながら第２円形キャリヤの回転方向とは逆方向へ回転
し、これに保持された非円形ワークＡ…も同様に回転す
る。その結果、「厚さ勾配」が解消され、非円形ワーク
Ａであっても研磨加工特有の極めて良好な加工精度が得
られる。
作用について説明する。先ず、前記第１円形キャリヤ１
の非円形ホール１ａ内に非円形ワークＡを保持し、これ
を第２円形キャリヤ２の円形ホール２ａ…内に夫々回転
自在に保持した状態で、研磨剤を供給しながらサンギア
ＳとインターナルギアＩを回転させると、第２円形キャ
リヤ２が自転しながら公転し、その円形ホール２ａ…内
の第１円形キャリヤ１…が、該円形ホール２ａ…に内接
しながら第２円形キャリヤの回転方向とは逆方向へ回転
し、これに保持された非円形ワークＡ…も同様に回転す
る。その結果、「厚さ勾配」が解消され、非円形ワーク
Ａであっても研磨加工特有の極めて良好な加工精度が得
られる。
【００１１】一方、図３に示すものは、本発明の他の実
施例である。このものは、第１円形キャリヤ１１に非円
形薄板状ワークＡの外形状に合った非円形ホール１１ａ
を１個開設し、この第１円形キャリヤ１１の外径より大
きな内径の円形ホール１２ａを第２円形キャリヤ１２に
１個のみ開設し、上記円形ホール１２ａの中心１２ｂを
第２円形キャリヤ１２の中心１２ｃより偏心させて配置
した構成が、前記図１に示した実施例とは異なるが、そ
れ以外の構成は図１及び図２に示した実施例と同様であ
る。
施例である。このものは、第１円形キャリヤ１１に非円
形薄板状ワークＡの外形状に合った非円形ホール１１ａ
を１個開設し、この第１円形キャリヤ１１の外径より大
きな内径の円形ホール１２ａを第２円形キャリヤ１２に
１個のみ開設し、上記円形ホール１２ａの中心１２ｂを
第２円形キャリヤ１２の中心１２ｃより偏心させて配置
した構成が、前記図１に示した実施例とは異なるが、そ
れ以外の構成は図１及び図２に示した実施例と同様であ
る。
【００１２】従って、図３のものは、前記第１円形キャ
リヤ１１の非円形ホール１１ａ内に非円形薄板状ワーク
Ａを保持し、これを第２円形キャリヤ１２の円形ホール
１２ａ内に回転自在に保持した状態で、研磨剤を供給し
ながらサンギアＳとインターナルギアＩを回転させる
と、第２円形キャリヤ１２が自転しながら公転し、その
円形ホール１２ａ内の偏心した第１円形キャリヤ１１
が、該円形ホール１２ａに内接しながら上記第２円形キ
ャリヤの回転とは逆方向へ回転し、これに保持された非
円形薄板状ワークＡも同様に回転する。
リヤ１１の非円形ホール１１ａ内に非円形薄板状ワーク
Ａを保持し、これを第２円形キャリヤ１２の円形ホール
１２ａ内に回転自在に保持した状態で、研磨剤を供給し
ながらサンギアＳとインターナルギアＩを回転させる
と、第２円形キャリヤ１２が自転しながら公転し、その
円形ホール１２ａ内の偏心した第１円形キャリヤ１１
が、該円形ホール１２ａに内接しながら上記第２円形キ
ャリヤの回転とは逆方向へ回転し、これに保持された非
円形薄板状ワークＡも同様に回転する。
【００１３】その結果、「厚さ勾配」が解消され、非円
形ワークＡの中心においても同一の軌跡をとらず、キャ
リヤ１枚に対して１枚の非円形ワークＡであっても研磨
加工特有の極めて良好な加工精度が得られる。
形ワークＡの中心においても同一の軌跡をとらず、キャ
リヤ１枚に対して１枚の非円形ワークＡであっても研磨
加工特有の極めて良好な加工精度が得られる。
【００１４】また図１及び図２に示した実施例と同様
に、第１円形キャリヤ１の外周端を第２円形キャリヤ２
の円形ホール２ａ内周面に接触させた時に反対側で生じ
る間隙を０．５〜１０ｍｍの範囲内で、第１円形キャリ
ヤの外径が４５０φで５ｍｍに選定してある。
に、第１円形キャリヤ１の外周端を第２円形キャリヤ２
の円形ホール２ａ内周面に接触させた時に反対側で生じ
る間隙を０．５〜１０ｍｍの範囲内で、第１円形キャリ
ヤの外径が４５０φで５ｍｍに選定してある。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項１記載の発明は、第２円形キャリヤを自転しながら公
転させることにより、その円形ホール内の偏心した第１
円形キャリヤが該円形ホールに内接しながら第２円形キ
ャリヤの回転と逆方向へ回転し、これに保持された非円
形薄板状ワークも回転するので、「厚さ勾配」を解消で
きる。従って、非円形ワークでも研磨加工特有の極めて
良好な加工精度が得られる。
項１記載の発明は、第２円形キャリヤを自転しながら公
転させることにより、その円形ホール内の偏心した第１
円形キャリヤが該円形ホールに内接しながら第２円形キ
ャリヤの回転と逆方向へ回転し、これに保持された非円
形薄板状ワークも回転するので、「厚さ勾配」を解消で
きる。従って、非円形ワークでも研磨加工特有の極めて
良好な加工精度が得られる。
【００１６】また請求項２の発明は、第２円形キャリヤ
を自転しながら公転させることにより、その円形ホール
内の第１円形キャリヤが該円形ホールに内接しながら第
２円形キャリヤの回転と逆方向へ回転し、これに保持さ
れた非円形薄板状ワークも回転するので、厚さ勾配を解
消しながらワークの任意点において同一の軌跡をとらな
いようにできる。従って、キャリヤ１枚に対して１枚の
非円形ワークであっても研磨加工特有の極めて良好な加
工精度が得られる。
を自転しながら公転させることにより、その円形ホール
内の第１円形キャリヤが該円形ホールに内接しながら第
２円形キャリヤの回転と逆方向へ回転し、これに保持さ
れた非円形薄板状ワークも回転するので、厚さ勾配を解
消しながらワークの任意点において同一の軌跡をとらな
いようにできる。従って、キャリヤ１枚に対して１枚の
非円形ワークであっても研磨加工特有の極めて良好な加
工精度が得られる。
【００１７】更に請求項３の発明は、請求項１または２
の発明の効果に加えて、非円形ワークの材質、形状、大
きさ及び加工装置条件に対応して最適な間隙に選択する
ことにより、ワークの回転数が調整できるので精度の良
い加工が可能となる。
の発明の効果に加えて、非円形ワークの材質、形状、大
きさ及び加工装置条件に対応して最適な間隙に選択する
ことにより、ワークの回転数が調整できるので精度の良
い加工が可能となる。
【図１】 本発明の一実施例を示す研磨装置用ワークキ
ャリヤの正面図である。
ャリヤの正面図である。
【図２】 図１の（２）−（２）に沿える部分的な拡大
断面図である。
断面図である。
【図３】 本発明の他の実施例を示す研磨装置用ワーク
キャリヤの正面図である。
キャリヤの正面図である。
Ａ…非円形薄板状ワーク １，１１…第１円
形キャリヤ ２，１２…第２円形キャリヤ ２ａ，１２ａ…円
形ホール ２ｂ，１２ｂ…円形ホールの中心 ２ｃ，１２ｃ…第
２円形キャリヤの中心
形キャリヤ ２，１２…第２円形キャリヤ ２ａ，１２ａ…円
形ホール ２ｂ，１２ｂ…円形ホールの中心 ２ｃ，１２ｃ…第
２円形キャリヤの中心
Claims (3)
- 【請求項１】 複数枚の非円形薄板状ワークを１枚のキ
ャリヤに保持し、このキャリヤが自転しながら公転する
ことにより該ワークの両面を同時に研磨する研磨装置用
ワークキャリヤであって、前記非円形薄板状ワーク
（Ａ）を１枚保持する第１円形キャリヤ（１）と、複数
枚の第１円形キャリヤ（１）を夫々回転自在に保持する
ために円形ホール（２ａ）が開設された第２円形キャリ
ヤ（２）とを備え、上記円形ホール（２ａ）の中心（２
ｂ）を第２円形キャリヤ（２）の中心（２ｃ）より同一
の距離に配置したことを特徴とする研磨装置用ワークキ
ャリヤ。 - 【請求項２】 １枚の非円形薄板状ワークを１枚のキャ
リヤに保持し、このキャリヤが自転しながら公転するこ
とにより該ワークの両面を同時に研磨する研磨装置用ワ
ークキャリヤであって、前記非円形薄板状ワーク（Ａ）
を１枚保持する１枚の第１円形キャリヤ（１１）と、こ
の第１円形キャリヤ（１１）を回転自在に保持するため
に１個の円形ホール（１２ａ）が開設された第２円形キ
ャリヤ（１２）とを備え、上記円形ホール（１２ａ）の
中心（１２ｂ）を第２円形キャリヤ（１２）の中心（１
２ｃ）より偏心させて配置したことを特徴とする研磨装
置用ワークキャリヤ。 - 【請求項３】 前記第１円形キャリヤ（１，１１）の外
周端を第２円形キャリヤ（２，１２）の円形ホール（２
ａ，１２ａ）内周面に接触させた時に反対側で生じる間
隙が、０．５ｍｍ以上で１０ｍｍ以下の範囲内である請
求項１または請求項２記載の研磨装置用ワークキャリ
ヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9329190A JPH11156707A (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 研磨装置用ワークキャリヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9329190A JPH11156707A (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 研磨装置用ワークキャリヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11156707A true JPH11156707A (ja) | 1999-06-15 |
Family
ID=18218668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9329190A Pending JPH11156707A (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | 研磨装置用ワークキャリヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11156707A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009194631A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | ウエハ、ウエハ研磨装置、ウエハ研磨方法、圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP2011020239A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-03 | Kyocera Kinseki Corp | 研磨装置 |
| JP2012091315A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-05-17 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、反射型マスクブランクの製造方法および反射型マスクの製造方法 |
| JP2015074057A (ja) * | 2013-10-10 | 2015-04-20 | 浜井産業株式会社 | ワークハンドリング装置 |
-
1997
- 1997-11-28 JP JP9329190A patent/JPH11156707A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009194631A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | ウエハ、ウエハ研磨装置、ウエハ研磨方法、圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP2011020239A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-03 | Kyocera Kinseki Corp | 研磨装置 |
| JP2012091315A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-05-17 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、反射型マスクブランクの製造方法および反射型マスクの製造方法 |
| JP2015074057A (ja) * | 2013-10-10 | 2015-04-20 | 浜井産業株式会社 | ワークハンドリング装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH09150366A (ja) | 両面研磨装置及び方法 | |
| JPS62176755A (ja) | 平面研磨装置 | |
| JPH11156707A (ja) | 研磨装置用ワークキャリヤ | |
| JP3613345B2 (ja) | 研磨装置および研磨装置用キャリア | |
| JPH1177515A (ja) | 平面研磨装置及び研磨装置に用いる研磨布 | |
| JP3077586B2 (ja) | 研磨装置 | |
| JP3821944B2 (ja) | ウェーハの枚葉式研磨方法とその装置 | |
| JP3587505B2 (ja) | 研磨用キャリア | |
| JPS60259372A (ja) | 両面ポリツシング方法 | |
| JP2000301451A (ja) | 研磨機用キャリア及びその製造方法 | |
| JPH0547723A (ja) | 両面研磨用キヤリア | |
| JP2001138221A (ja) | 半導体ウエハラッピング用キャリア | |
| JP3310924B2 (ja) | 両頭平面研削装置 | |
| JP2001179600A (ja) | ドレッサ | |
| JP2972866B2 (ja) | 研磨装置 | |
| JPH03154771A (ja) | 研磨装置 | |
| JP2608757B2 (ja) | 水晶振動子用水晶ウエハ | |
| JPH11333707A (ja) | キャリア | |
| JPH07178655A (ja) | ガラス板の研磨方法 | |
| JPH04360763A (ja) | 両面研磨装置 | |
| JPH08128Y2 (ja) | 両面研磨機 | |
| JP4352909B2 (ja) | 研磨装置、研磨装置用キャリアおよび研磨方法 | |
| JPH09155728A (ja) | 平面研磨方法 | |
| JP3172313B2 (ja) | 平面研磨装置における定盤の修正方法及び装置 | |
| JPS6339764A (ja) | ラツプ盤におけるキヤリアの構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071217 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081217 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091217 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |