JPS608185B2 - 両面研磨装置 - Google Patents
両面研磨装置Info
- Publication number
- JPS608185B2 JPS608185B2 JP51088854A JP8885476A JPS608185B2 JP S608185 B2 JPS608185 B2 JP S608185B2 JP 51088854 A JP51088854 A JP 51088854A JP 8885476 A JP8885476 A JP 8885476A JP S608185 B2 JPS608185 B2 JP S608185B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- carrier
- double
- plates
- sided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、エレクトロニクス工業に広く使用されている
単結晶材料などのウェハの両面を同時に平坦な鏡面（光
学的平滑面）に仕上げることができる両面研摩装置に関
するものである。
単結晶材料などのウェハの両面を同時に平坦な鏡面（光
学的平滑面）に仕上げることができる両面研摩装置に関
するものである。
第１図は、従来の両面研摩装置の一例を示す図で、ａは
平面図、ｂは断面図である。
平面図、ｂは断面図である。
第１図において、１は基板２に固定された円形状下みが
き皿、３は円形状上みがき皿、４は薄片状加工物である
単結晶ウェハ、５は下みがき皿１‘こ教遣されかつ単結
晶ウェハ４を数個同時に保持するための穴を有する外周
部に歯車が製作されている円板状のキャリア、６は上下
みがき皿１，３の中心に位置しキャリア５の歯車と噛合
うように組立てられた駆動歯車軸、７は上下みがき皿１
，３の外側に位置しキャリア５の歯車と噛合うように組
立てられたリング状歯車、８はリング状歯車７を駆動す
るための摩擦車、９はリング状歯車７が回転できるよう
に摩擦車８と共に保持する構造で摩擦車８と同様な形状
を有する案内ローラ、１川ま砥粒と水や油などの混合液
からなる研摩液１１を入れるタンク、１２は上みがき皿
３を保持するアーム、１３はアーム１２を取付けるため
の支柱で基板２に固定されている。駆動歯車軸６と摩擦
車８は、摩擦車８の方が高速でモータなどにより回転さ
れる構造になっており、従って摩擦車８と接触している
リング状歯車７は駆動歯車軸６より速く回転する。その
結果キャリア５はリング状歯車７と駆動歯車軸６の間で
自転しながら駆動歯車軸６の周りを公転しいわゆる遊星
運動を行なうため、キャリア内に挿入された単結晶ゥヱ
ハ４は上下みがき皿１，３と遊星摺動連動し、両者の表
面間に研摩液１１が上みがき皿３の穴から供給されて両
面研摩が行なわれる。第１図のような両面研摩装置は、
単結晶ゥヱハを保持するキャリアの外周部に歯車を設け
る必要があり製作が困難かつ材質は剛性のある金属材料
やセラミック材料を用いなければならないこと、キャリ
アは下みがき皿と接触しており研摩されるため消耗が激
しいこと、上下みがき皿が固定されているため単結晶ゥ
ェハとの摺動相対速度が小さく従って加工速度が遅いこ
と、単結晶ウェハの厚さが極めて薄くなった場合当然キ
ャリアも薄くする必要があり約０．１肋以下のキャリア
は剛性が弱く変形を生じキャリアの役目を果せないこと
、などの欠点がある。
き皿、３は円形状上みがき皿、４は薄片状加工物である
単結晶ウェハ、５は下みがき皿１‘こ教遣されかつ単結
晶ウェハ４を数個同時に保持するための穴を有する外周
部に歯車が製作されている円板状のキャリア、６は上下
みがき皿１，３の中心に位置しキャリア５の歯車と噛合
うように組立てられた駆動歯車軸、７は上下みがき皿１
，３の外側に位置しキャリア５の歯車と噛合うように組
立てられたリング状歯車、８はリング状歯車７を駆動す
るための摩擦車、９はリング状歯車７が回転できるよう
に摩擦車８と共に保持する構造で摩擦車８と同様な形状
を有する案内ローラ、１川ま砥粒と水や油などの混合液
からなる研摩液１１を入れるタンク、１２は上みがき皿
３を保持するアーム、１３はアーム１２を取付けるため
の支柱で基板２に固定されている。駆動歯車軸６と摩擦
車８は、摩擦車８の方が高速でモータなどにより回転さ
れる構造になっており、従って摩擦車８と接触している
リング状歯車７は駆動歯車軸６より速く回転する。その
結果キャリア５はリング状歯車７と駆動歯車軸６の間で
自転しながら駆動歯車軸６の周りを公転しいわゆる遊星
運動を行なうため、キャリア内に挿入された単結晶ゥヱ
ハ４は上下みがき皿１，３と遊星摺動連動し、両者の表
面間に研摩液１１が上みがき皿３の穴から供給されて両
面研摩が行なわれる。第１図のような両面研摩装置は、
単結晶ゥヱハを保持するキャリアの外周部に歯車を設け
る必要があり製作が困難かつ材質は剛性のある金属材料
やセラミック材料を用いなければならないこと、キャリ
アは下みがき皿と接触しており研摩されるため消耗が激
しいこと、上下みがき皿が固定されているため単結晶ゥ
ェハとの摺動相対速度が小さく従って加工速度が遅いこ
と、単結晶ウェハの厚さが極めて薄くなった場合当然キ
ャリアも薄くする必要があり約０．１肋以下のキャリア
は剛性が弱く変形を生じキャリアの役目を果せないこと
、などの欠点がある。
本発明の目的は、キャリアの製作が容易で材質的にも強
度が弱くかつ剛性のないプラスチック類が使用でき、極
めて薄い単結晶ウェハが研摩できることを目指した両面
研摩装置を提供することにある。本発明は、キャリアを
リング状ホルダによって保持するため剛性のない材質ま
たは変形しやすい薄いキャリアでも均一に保持できるこ
と、上下みがき皿を回転させるためゥェハとの相対沼動
速度が大きくでき加工速度が増すこと、キャリアを上下
みがき皿に対して遠く動かすことによりウェハの平面度
が向上すること、キャリアは上下みがき皿と接触しない
ので研摩されず寿命が長いことなどの利点がある。
度が弱くかつ剛性のないプラスチック類が使用でき、極
めて薄い単結晶ウェハが研摩できることを目指した両面
研摩装置を提供することにある。本発明は、キャリアを
リング状ホルダによって保持するため剛性のない材質ま
たは変形しやすい薄いキャリアでも均一に保持できるこ
と、上下みがき皿を回転させるためゥェハとの相対沼動
速度が大きくでき加工速度が増すこと、キャリアを上下
みがき皿に対して遠く動かすことによりウェハの平面度
が向上すること、キャリアは上下みがき皿と接触しない
ので研摩されず寿命が長いことなどの利点がある。
第２図は、本発明の両面研摩装置の一実施例であるキャ
リアを揺動運動させる場合の説明図で、ａは平面図、ｂ
は断面図である。
リアを揺動運動させる場合の説明図で、ａは平面図、ｂ
は断面図である。
第２図において、４′は単結晶ゥェハ、１０′はタンク
、１１′は研摩液、１４はモー夕などにより一定速度で
回転できるように組立てられた中央部に円形の凹みを有
する円板状の下みがき皿、１５は下みがき皿１４と同様
に回転できるような構造で研摩液１１′を供給するため
の穴が設けられている円板状の上みがき皿、１６は単結
晶ウェハ４′を数個同時に保持できる穴が同心円上に設
けられ単結晶ゥェハ４′よりも厚さ寸法が小さな円板状
のキャリアで上下みがき皿１４，１５の間に挿入されか
つ両者のみがき皿表面に接触しないように組立てられて
いる。
、１１′は研摩液、１４はモー夕などにより一定速度で
回転できるように組立てられた中央部に円形の凹みを有
する円板状の下みがき皿、１５は下みがき皿１４と同様
に回転できるような構造で研摩液１１′を供給するため
の穴が設けられている円板状の上みがき皿、１６は単結
晶ウェハ４′を数個同時に保持できる穴が同心円上に設
けられ単結晶ゥェハ４′よりも厚さ寸法が小さな円板状
のキャリアで上下みがき皿１４，１５の間に挿入されか
つ両者のみがき皿表面に接触しないように組立てられて
いる。
１７と１８は、キャリア１６の外周部分を両側からはさ
んでねじで縦付けるためのりング、１９はキャリア１６
とりング１７，１８からなる集合体を上下みがき皿１４
，１５に対して揺動運動できるように保持するための揺
動アーム、２０は基板２′に固定され揺動アーム１９を
回転可能に取付けるための支軸、２１はモータなどによ
り回転される偏心車、２２は揺動アーム１９と偏心車２
１に各々ピン２３で結合され、偏心車２１の回転運動を
支鞠２０を中心とした揺動運動に変えるための連接板で
ある。
んでねじで縦付けるためのりング、１９はキャリア１６
とりング１７，１８からなる集合体を上下みがき皿１４
，１５に対して揺動運動できるように保持するための揺
動アーム、２０は基板２′に固定され揺動アーム１９を
回転可能に取付けるための支軸、２１はモータなどによ
り回転される偏心車、２２は揺動アーム１９と偏心車２
１に各々ピン２３で結合され、偏心車２１の回転運動を
支鞠２０を中心とした揺動運動に変えるための連接板で
ある。
上下みがき皿１４，１５を同方向あるいは逆方向に回転
させながらキャリア１６内にある単結晶ウェハ４′は上
下みがき皿１４，１５の両者の全面にわたって摺動し従
って単結晶ウェハ４′と上下みがき皿１４，１５の間に
研摩液１１′を供給して両面研摩が同時に行なわれる。
なお、キャリア１６の揺動運動の代りに往復動を行なっ
ても上下みがき皿１４，１５の両者の全面にわたって単
結晶ウェハ４′が摺動するため両面研摩が可能である。
図において、上下みがき皿１４，１５をお互に反対方向
に回転することにより単結晶ゥヱハ４′の上面と下面の
摺動抵抗を釣合わせながらキャリア１６を動かせばキャ
リア１６に作用する力を軽減できるため強度の小さい材
質あるいは極めて薄いキャリアでも研摩できる。
させながらキャリア１６内にある単結晶ウェハ４′は上
下みがき皿１４，１５の両者の全面にわたって摺動し従
って単結晶ウェハ４′と上下みがき皿１４，１５の間に
研摩液１１′を供給して両面研摩が同時に行なわれる。
なお、キャリア１６の揺動運動の代りに往復動を行なっ
ても上下みがき皿１４，１５の両者の全面にわたって単
結晶ウェハ４′が摺動するため両面研摩が可能である。
図において、上下みがき皿１４，１５をお互に反対方向
に回転することにより単結晶ゥヱハ４′の上面と下面の
摺動抵抗を釣合わせながらキャリア１６を動かせばキャ
リア１６に作用する力を軽減できるため強度の小さい材
質あるいは極めて薄いキャリアでも研摩できる。
また、キャリア１６を取付けるリング１８が堰の役目を
して研摩液１１を貯える働きをするため研摩液の損失を
防止し加工面に対して円滑な供給が可能となる。第２図
のような両面研摩装置は、第１図のような従来の両面研
摩装置の前記問題点をすべて解消しキャリアの製作が容
易でかつキャリアの材質、板厚を任意に選ぶことが可能
であること、キャリアは上下みがき皿と接触しないため
寿命が長いこと、上下みがき皿が回転する構造のため単
結晶ウヱハとの相対摺動速度が大きく加工速度が増大す
ることなど両面研摩に有効である。
して研摩液１１を貯える働きをするため研摩液の損失を
防止し加工面に対して円滑な供給が可能となる。第２図
のような両面研摩装置は、第１図のような従来の両面研
摩装置の前記問題点をすべて解消しキャリアの製作が容
易でかつキャリアの材質、板厚を任意に選ぶことが可能
であること、キャリアは上下みがき皿と接触しないため
寿命が長いこと、上下みがき皿が回転する構造のため単
結晶ウヱハとの相対摺動速度が大きく加工速度が増大す
ることなど両面研摩に有効である。
特に化学薬品溶液を研摩液として用いる場合の両面研摩
には、キャリア材質を耐食性のあるプラスチックが使用
できるので有益である。以上述べたように本発明は、装
置上の構造が簡単でキャリアの製作工数を大中に減少し
、数十仏の単結晶ウェハの両面研摩も可能である。
には、キャリア材質を耐食性のあるプラスチックが使用
できるので有益である。以上述べたように本発明は、装
置上の構造が簡単でキャリアの製作工数を大中に減少し
、数十仏の単結晶ウェハの両面研摩も可能である。
第１図は従来の両面研摩装置の一例を示す説明図で、ａ
は平面図、ｂは断面図であり、第２図は本発明の両面研
摩装置の一実施例を示す説明図で、ａは平面図、ｂは断
面図である。 図中「 １は下みがき皿、２，２′は基板、３は上みが
き皿、４，４′は単結晶ウェハ、５は歯車状のキャリア
、６は駆動歯車軸、７はリング状歯車、８は摩擦車、９
は案内ローラ、１０，１０′はタンク、１１，１１′は
研摩液、１２はアーム、１３は支柱、１４は回転する下
みがき皿、１５は回転する上みがき皿、１６は円板状キ
ャリア、１７と１８は縦付リング、１９は揺動アーム、
２０は支軸、２１は偏心車、２２は連接板、２３はピン
である。オー図 才２図
は平面図、ｂは断面図であり、第２図は本発明の両面研
摩装置の一実施例を示す説明図で、ａは平面図、ｂは断
面図である。 図中「 １は下みがき皿、２，２′は基板、３は上みが
き皿、４，４′は単結晶ウェハ、５は歯車状のキャリア
、６は駆動歯車軸、７はリング状歯車、８は摩擦車、９
は案内ローラ、１０，１０′はタンク、１１，１１′は
研摩液、１２はアーム、１３は支柱、１４は回転する下
みがき皿、１５は回転する上みがき皿、１６は円板状キ
ャリア、１７と１８は縦付リング、１９は揺動アーム、
２０は支軸、２１は偏心車、２２は連接板、２３はピン
である。オー図 才２図
Claims (1)
- １ 上下みがき皿を各々独立に同方向あるいは逆方向に
回転させながら、上下みがき皿の間に挿入された薄片状
加工物をキヤリアによって保持しながら両面を同時に鏡
面仕上げする装置において、ホルダーで外周部を固定さ
れた剛性と強度の弱いキヤリアを上下みがき皿に対して
往復運動させるように構成したことを特徴とする両面研
磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51088854A JPS608185B2 (ja) | 1976-07-26 | 1976-07-26 | 両面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51088854A JPS608185B2 (ja) | 1976-07-26 | 1976-07-26 | 両面研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5314491A JPS5314491A (en) | 1978-02-09 |
| JPS608185B2 true JPS608185B2 (ja) | 1985-03-01 |
Family
ID=13954563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51088854A Expired JPS608185B2 (ja) | 1976-07-26 | 1976-07-26 | 両面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608185B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6190870A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-09 | Akiyama Akira | 両面研摩装置 |
| JP2006239809A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Ota Kogaku Kenkyusho:Kk | 両面研磨装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS501313U (ja) * | 1973-04-27 | 1975-01-08 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5431433Y2 (ja) * | 1974-07-22 | 1979-10-01 |
-
1976
- 1976-07-26 JP JP51088854A patent/JPS608185B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS501313U (ja) * | 1973-04-27 | 1975-01-08 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5314491A (en) | 1978-02-09 |
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