JPS6190870A - 両面研摩装置 - Google Patents
両面研摩装置Info
- Publication number
- JPS6190870A JPS6190870A JP59211938A JP21193884A JPS6190870A JP S6190870 A JPS6190870 A JP S6190870A JP 59211938 A JP59211938 A JP 59211938A JP 21193884 A JP21193884 A JP 21193884A JP S6190870 A JPS6190870 A JP S6190870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- workpieces
- internal gear
- surface plate
- drive shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、極薄のワークの両面加工に好適な両面研摩装
置に関するものである。
置に関するものである。
［従来の技術］
従来より公知のラップ盤等の両面研摩装置は、中心に位
置する太陽歯車とその回りの内歯歯車とに複数のキャリ
ヤを噛合させ、太陽歯車と内歯歯車とを回転させて該キ
ャリヤにｍ星連ｊ（じさせることにより、該キャリヤに
保持させたワークをＬ下の定盤によって両面加工するよ
うに構成しているが、ワークより薄いキャリヤが必要で
あるため、半導体ウェハのような薄物のワークの加工時
には非常に薄いキャリヤを使用しなければならなし１
。
置する太陽歯車とその回りの内歯歯車とに複数のキャリ
ヤを噛合させ、太陽歯車と内歯歯車とを回転させて該キ
ャリヤにｍ星連ｊ（じさせることにより、該キャリヤに
保持させたワークをＬ下の定盤によって両面加工するよ
うに構成しているが、ワークより薄いキャリヤが必要で
あるため、半導体ウェハのような薄物のワークの加工時
には非常に薄いキャリヤを使用しなければならなし１
。
ところが、キャリヤの肉厚が薄くなると、必然的にその
強度が低下し、特にその回りに切設した歯の強度が低下
して破損を生じ易くなり、キャリヤを低速で駆動しても
破損により加工が困難になるケースか多い。
強度が低下し、特にその回りに切設した歯の強度が低下
して破損を生じ易くなり、キャリヤを低速で駆動しても
破損により加工が困難になるケースか多い。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明の課題は、キャリヤの構造及び駆動方法を改善す
ることによってその薄肉化を可能にし、これによって極
薄のワークの加工を可能ならしめることにある。
ることによってその薄肉化を可能にし、これによって極
薄のワークの加工を可能ならしめることにある。
［問題点を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明の両面加工装、買にお
いては、ワークの上下面を研摩するための回転自在の上
下の定盤と、上記定盤の回りに同心状に配置δされ、回
転に対して、は固定的に取付けられた内歯歯車と、上記
定盤より大径をなす円環状のキャリヤ本体にワークの支
持穴を設け、定盤の研摩面より外れた位置において該キ
ャリヤ本体の外周に上記内歯歯車と噛合するリング状歯
車を取付けると共にキャリヤ本体の内周に内リングを取
付けてなるキャリヤと、定盤の中心に位置するキャリヤ
用駆動軸に取付けられ、上記キャリヤの内リングに内接
して偏心回転することにより該キャリヤを揺動させる駆
動部材と、を備えたものとして構成するという技４Ｖｊ
的手段を講じている。
いては、ワークの上下面を研摩するための回転自在の上
下の定盤と、上記定盤の回りに同心状に配置δされ、回
転に対して、は固定的に取付けられた内歯歯車と、上記
定盤より大径をなす円環状のキャリヤ本体にワークの支
持穴を設け、定盤の研摩面より外れた位置において該キ
ャリヤ本体の外周に上記内歯歯車と噛合するリング状歯
車を取付けると共にキャリヤ本体の内周に内リングを取
付けてなるキャリヤと、定盤の中心に位置するキャリヤ
用駆動軸に取付けられ、上記キャリヤの内リングに内接
して偏心回転することにより該キャリヤを揺動させる駆
動部材と、を備えたものとして構成するという技４Ｖｊ
的手段を講じている。
［作 用コ
キャリヤの内リングに内接する駆動部材がキャリヤ用駆
動軸により偏心回転せしめられると、キャリヤは、内歯
歯車との噛合位置を変えなから揺動運動し、リング状歯
車と内歯歯車との歯数差に基づく速度で回転する。従っ
て、該キャリヤに保持されたワークは、キャリヤと共に
揺動をくり返しながら上記駆動軸の回りを回転し、上下
の定盤によって両面加工される。
動軸により偏心回転せしめられると、キャリヤは、内歯
歯車との噛合位置を変えなから揺動運動し、リング状歯
車と内歯歯車との歯数差に基づく速度で回転する。従っ
て、該キャリヤに保持されたワークは、キャリヤと共に
揺動をくり返しながら上記駆動軸の回りを回転し、上下
の定盤によって両面加工される。
［効 果］
キャリヤ本体の外周及び内周に別形成のリング状歯車及
び内リングを取付けることによりキャリヤを形成するよ
うにしたので、駆動時に大きな力が作用するキャリヤの
外周及び内周の強度をキャリヤ本体の肉厚とは無関係に
高めることができ、逆にキャリヤ本体はワークに応じた
任意の薄さに形成することができるため、極薄のワーク
でも確実に加工することができ、また、上記キャリヤを
内リングに内接する駆動部材の偏心回転によって駆動す
るようにしたので、従来のような太陽歯車が必要なく、
しかも、内歯歯車を駆動する必要がないため構造が非常
に簡単であり、さらに、一枚のキャリヤを使用する方式
であるため、該キャリヤ及びワークの装填及び取出し操
作が筒中で作業性が良い。
び内リングを取付けることによりキャリヤを形成するよ
うにしたので、駆動時に大きな力が作用するキャリヤの
外周及び内周の強度をキャリヤ本体の肉厚とは無関係に
高めることができ、逆にキャリヤ本体はワークに応じた
任意の薄さに形成することができるため、極薄のワーク
でも確実に加工することができ、また、上記キャリヤを
内リングに内接する駆動部材の偏心回転によって駆動す
るようにしたので、従来のような太陽歯車が必要なく、
しかも、内歯歯車を駆動する必要がないため構造が非常
に簡単であり、さらに、一枚のキャリヤを使用する方式
であるため、該キャリヤ及びワークの装填及び取出し操
作が筒中で作業性が良い。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
と、第１図において、ｌは研摩装置の機体、２．３は該
機体１上に回転自在に配設された円環状のＦ ”ｉｉｌ
ａ及び上定盤を示し、下定盤２は、定盤受け４上にピ
ン５で固定され、該定盤受け４に固定された下定盤用駆
動軸６を介して図示しない駆動源に連結されており、一
方、土足ａ３は、支持板７にねじ８で固定され、該支持
板７に係脱自在の係止板９及該係止板８に固定された上
定盤用駆動軸ｌＯを介して駆動源に連結されている。
と、第１図において、ｌは研摩装置の機体、２．３は該
機体１上に回転自在に配設された円環状のＦ ”ｉｉｌ
ａ及び上定盤を示し、下定盤２は、定盤受け４上にピ
ン５で固定され、該定盤受け４に固定された下定盤用駆
動軸６を介して図示しない駆動源に連結されており、一
方、土足ａ３は、支持板７にねじ８で固定され、該支持
板７に係脱自在の係止板９及該係止板８に固定された上
定盤用駆動軸ｌＯを介して駆動源に連結されている。
また、上記定盤２．３の回りには、それらと同心状に位
置する内歯歯車１１と円環状の受板１２とが、機体１上
に固定された架台１３の上端に固定的に取付けられ、下
定盤２上には、上記内歯歯車１１と噛合するキャリヤ１
４が配設されている。
置する内歯歯車１１と円環状の受板１２とが、機体１上
に固定された架台１３の上端に固定的に取付けられ、下
定盤２上には、上記内歯歯車１１と噛合するキャリヤ１
４が配設されている。
上記キャリヤ１４は、第２図及び第３図からも明らかな
ように、複数のワーク支持穴１６を備えた円環状のキャ
リヤ本体１５を定盤２，３より大径に形成し、該キャリ
ヤ本体１５の外周に定盤２．３の研摩面と重ならないよ
うに上記内歯歯車１１よりも（七数の少ないリング状歯
車１７を取付けると共に、キャリヤ本体１５の内周即ち
中心穴１８の縁部に定盤２．３の一些 研摩面と手ならないよりと内リング１８を取付けたもの
で、該キャリヤ１４を、リング状歯車１７が内歯歯型１
１と部分的に噛合しつつ受板１２によって下から支持さ
れた状態で下足ａ２上にセットし、各ワーク支持穴１Ｂ
内に加工すべきワーク２ｏを嵌合支持させている。この
とき、キャリヤ１４は、定盤２．３の中心に対して偏心
率Ｅだけ偏心することになる。
ように、複数のワーク支持穴１６を備えた円環状のキャ
リヤ本体１５を定盤２，３より大径に形成し、該キャリ
ヤ本体１５の外周に定盤２．３の研摩面と重ならないよ
うに上記内歯歯車１１よりも（七数の少ないリング状歯
車１７を取付けると共に、キャリヤ本体１５の内周即ち
中心穴１８の縁部に定盤２．３の一些 研摩面と手ならないよりと内リング１８を取付けたもの
で、該キャリヤ１４を、リング状歯車１７が内歯歯型１
１と部分的に噛合しつつ受板１２によって下から支持さ
れた状態で下足ａ２上にセットし、各ワーク支持穴１Ｂ
内に加工すべきワーク２ｏを嵌合支持させている。この
とき、キャリヤ１４は、定盤２．３の中心に対して偏心
率Ｅだけ偏心することになる。
上記キャリヤ１４を駆動するため、定盤２．３の中心部
に位置するキャリヤ用駆動軸２１には、円板状の駆動部
材２２を偏心状に固定し、該駆動部材２２に回転自在に
取付けられたローラ２３を上記内リング１８に内接させ
ている。
に位置するキャリヤ用駆動軸２１には、円板状の駆動部
材２２を偏心状に固定し、該駆動部材２２に回転自在に
取付けられたローラ２３を上記内リング１８に内接させ
ている。
上記構成を有する本発明の両面研摩装置において、キャ
リヤ用駆動軸２１を矢印Ａ方向に回転させて駆動部材２
２を偏心回転させれば、キャリヤ１４は、内歯歯車１１
との噛合位置を変えながら２Ｅの範囲で揺動し、内歯歯
車１１とリング状歯車１７との歯数差に基づく速度で矢
印Ｂ方向に回転することになり、該キャリヤ１４に保持
されたワーク２０は、キャリヤ１４と共に揺動しながら
上記駆動軸２１の回りを回転し、互いに逆方向に回転す
る上下の定盤２．３によってその上下面が加工される。
リヤ用駆動軸２１を矢印Ａ方向に回転させて駆動部材２
２を偏心回転させれば、キャリヤ１４は、内歯歯車１１
との噛合位置を変えながら２Ｅの範囲で揺動し、内歯歯
車１１とリング状歯車１７との歯数差に基づく速度で矢
印Ｂ方向に回転することになり、該キャリヤ１４に保持
されたワーク２０は、キャリヤ１４と共に揺動しながら
上記駆動軸２１の回りを回転し、互いに逆方向に回転す
る上下の定盤２．３によってその上下面が加工される。
この場合、上記キャリヤ１４は、キャリヤ本体１５と、
駆動時に大きな力が作用するリング状歯東１７及び内リ
ング１８とを別部材として構成しているため、キャリヤ
本体１５のみをワーク２０に合わせて薄肉に形成するこ
とができ、これによって薄物のワークの加工が可能にな
る。
駆動時に大きな力が作用するリング状歯東１７及び内リ
ング１８とを別部材として構成しているため、キャリヤ
本体１５のみをワーク２０に合わせて薄肉に形成するこ
とができ、これによって薄物のワークの加工が可能にな
る。
上記キャリヤ１４の偏心率Ｅ及び回転数Ｎは、Ｚｌ：
内歯歯車の歯数 Ｚｏ： リング状歯車の歯数 Ｍ： モジュール ｎ： キャリヤ用駆動軸の回転数 とすれば、 Ｅ−（Ｚｌ Ｚｏ）ＸＭ で求めることかできる。
内歯歯車の歯数 Ｚｏ： リング状歯車の歯数 Ｍ： モジュール ｎ： キャリヤ用駆動軸の回転数 とすれば、 Ｅ−（Ｚｌ Ｚｏ）ＸＭ で求めることかできる。
上記第２式から分るように、キャリヤの回転数はキャリ
ヤ用駆動軸２１の゛回転数に比べて少ないが、キャリヤ
の揺動数がキャリヤ用駆動軸の回転数と同じであり、ま
た、互いに逆回転する上下の定盤２．３の研摩方向は、
ワーク２０に対して共に円周方向であるが、キャリヤ１
４即ちワーク２０の揺動が２Ｅの範囲で定６２．３の半
径方向に行われるため、非常に合理的な加工が行われる
ことになり、従って、ワーク２０が薄物であっても、そ
の両面を同時に高精度かつ高能率に加工することができ
る。
ヤ用駆動軸２１の゛回転数に比べて少ないが、キャリヤ
の揺動数がキャリヤ用駆動軸の回転数と同じであり、ま
た、互いに逆回転する上下の定盤２．３の研摩方向は、
ワーク２０に対して共に円周方向であるが、キャリヤ１
４即ちワーク２０の揺動が２Ｅの範囲で定６２．３の半
径方向に行われるため、非常に合理的な加工が行われる
ことになり、従って、ワーク２０が薄物であっても、そ
の両面を同時に高精度かつ高能率に加工することができ
る。
なお、加工の終了したワぐり２０の取出しは、上定盤３
をＬ昇させることにより行うことができ、この場合、内
歯歯車１１を下定盤２に対して相対的に下降可能に構成
しておくこともできる。
をＬ昇させることにより行うことができ、この場合、内
歯歯車１１を下定盤２に対して相対的に下降可能に構成
しておくこともできる。
第１図は本発明に係る両面研摩装置の要部断面図、第２
図はその上定盤を取外した状態での断面図、第３図はそ
の平面図である。 ２・・下定盤、 ３・・上定盤、１１・・内歯歯
車、 １４＠・キャリヤ、１５・争キャリ・ヤ本体
、 ｔｅ−−ワーク支持穴、１７・・リング状歯車、
１９−−内リング、２０・φワーク、 ２１・・キャリヤ用駆動軸。 ２２Φ０駆動部材。
図はその上定盤を取外した状態での断面図、第３図はそ
の平面図である。 ２・・下定盤、 ３・・上定盤、１１・・内歯歯
車、 １４＠・キャリヤ、１５・争キャリ・ヤ本体
、 ｔｅ−−ワーク支持穴、１７・・リング状歯車、
１９−−内リング、２０・φワーク、 ２１・・キャリヤ用駆動軸。 ２２Φ０駆動部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ワークの上下面を研摩するための回転自在の上下の定盤
と、 上記定盤の回りに同心状に配置され、回転に対しては固
定的に取付けられた内歯歯車と、 上記定盤より大径をなす円環状のキャリヤ本体にワーク
の支持穴を設け、定盤の研摩面より外れた位置において
キャリヤ本体の外周に上記内歯歯車と噛合するリング状
歯車を取付けると共にキャリヤ本体の内周に内リングを
取付けてなるキャリヤと、 定盤の中心に位置するキャリヤ用駆動軸に取付けられ、
上記キャリヤの内リングに内接して偏心回転することに
より該キャリヤを揺動させる駆動部材と、 を備えたことを特徴とする両面研摩装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59211938A JPS6190870A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 両面研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59211938A JPS6190870A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 両面研摩装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190870A true JPS6190870A (ja) | 1986-05-09 |
| JPH0258059B2 JPH0258059B2 (ja) | 1990-12-06 |
Family
ID=16614167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59211938A Granted JPS6190870A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | 両面研摩装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190870A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290053U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-17 | ||
| JP2004148425A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Shin Nippon Koki Co Ltd | 両面研磨装置 |
| JP2013000864A (ja) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 円盤状ワークの周面研磨方法、及び両面研磨機用キャリヤ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314491A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-09 | Nec Corp | Apparatus for grinding double surfaces |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP59211938A patent/JPS6190870A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314491A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-09 | Nec Corp | Apparatus for grinding double surfaces |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0290053U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-17 | ||
| JP2004148425A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Shin Nippon Koki Co Ltd | 両面研磨装置 |
| JP2013000864A (ja) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 円盤状ワークの周面研磨方法、及び両面研磨機用キャリヤ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0258059B2 (ja) | 1990-12-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2984263B1 (ja) | 研磨方法および研磨装置 | |
| JPS62176755A (ja) | 平面研磨装置 | |
| US6206767B1 (en) | Planetary gear system parallel planer | |
| JPS6190870A (ja) | 両面研摩装置 | |
| JP2000237953A (ja) | 両面研磨装置 | |
| JP2552305B2 (ja) | 両面研磨装置 | |
| JPH0373261A (ja) | 平面加工装置 | |
| JP4154526B2 (ja) | ラップ加工用キャリアの厚み加工方法 | |
| JPS61279462A (ja) | 両面研摩装置用キヤリヤ | |
| JP7240013B2 (ja) | 立型研削盤 | |
| JP3172313B2 (ja) | 平面研磨装置における定盤の修正方法及び装置 | |
| JPH03251363A (ja) | ラップ加工方法および両面ラップ盤 | |
| KR900001724B1 (ko) | 평면연마장치 | |
| JP3193989B2 (ja) | 両面研磨装置 | |
| JPH0222213Y2 (ja) | ||
| JP2003340712A (ja) | 傾斜形平面研磨装置 | |
| JPH0225746B2 (ja) | ||
| JP3963352B2 (ja) | 研磨装置 | |
| JPS6339764A (ja) | ラツプ盤におけるキヤリアの構造 | |
| JPH02292167A (ja) | 両面ラップ盤 | |
| JP4209576B2 (ja) | 修正方法及び修正装置 | |
| JP2013107151A (ja) | 両面研磨方法、及び両面研磨装置 | |
| JPH08127Y2 (ja) | ワークのラッピング装置 | |
| JP2002355751A (ja) | 研磨装置 | |
| JP2004106131A (ja) | 硬質脆性板の研磨装置 |