JPS6339764A - ラツプ盤におけるキヤリアの構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、研削盤などで精密に仕上げた平面などを更に
平らで滑らかに仕上げるためのラップ盤に使用するキャ
リアに関するものである。

（従来技術） 第６図に示す通称フォアウェイという両面平面ラップ盤
では、回転する上下のラッピング定盤１．２の間に、第
７図に示すようなキャリア６が挾み込まれている。

このキャリア３は、ラッピング定盤２側の回転する内歯
車４と回転する中心の外歯車５の両方に噛み合い、第８
図に示すようにその面上の点はキャリア６の公転及び自
転により遊星運動をする。

このキャリア乙には、被加工物の外形形状に合致する孔
が設けられており、これにより被加工物をガイドしなが
ら、極めて多方向のラッピング加工を施し、高精度、高
能率に仕上げることを特色としている０ （発明が解決しようとする問題点） 近年、ＩＣ等の精密な部品の素材として、あるいは加工
工程中の回路パターンの写真焼付用原板として極めて薄
い板の精密加工を必要とするようになり、更に生産性向
上のために、これらの板のサイズは年々大形化する傾向
にある。

従って、ラップ加工する際には、大きな面積に強圧が加
えられることになる。

このため、大面積強圧力のラップ加工に抗してキャリア
を強制的に回転せしめることが必要となり、キャリア６
の外周に設けられた駆動歯車に加わる力は増大すること
になる。

このように、キャリア３の駆動歯車に大きな力が加わる
と、被加工物に無理々力が加わらないようにファイバー
入りプラスチックを使用したキャリアにあっては、間々
歯車が破損することがあった。

キャリアの歯車が破損すると、被加工物は破損、破壊さ
れ、ラッピング定盤又はポリシングラミネートは使用不
能となり、この修復に要する人手や時間、作業中断によ
る生産の低下等はコストアップ、生産の乱れ等多大な損
失となっていた。

（問題点を解決するための手＄） 本発明は、被加工物を保持する保持部をファイバー入り
プラスチック等の軟質材にて形成し、該保持部の外周に
設けられた歯車部をステンレス等の高強度材にて形成し
たことを特徴とし、内外二重材質構造としたものである
。

（実施例） 第１図は本発明の第１実施例を示す図である。

図に示すキャリア１０は、被加工物を保持するだめの円
板状の保持部１１と、外周に歯口ａが形成された円板状
の歯車部１２とから構成されている〇この保持部１１は
、ファイバー入りプラスチック等の軟質材からなり、ま
た歯車部１２はステンレス等の高強度材からなるもので
ある。

この保持部１１と歯車部１２ば、それらの中心１１ａ、
１２ｃがずれた偏心円形になるように設けられた歯車部
１２の穴１２ｂ内に保持部１１をはめ込むことにより組
み合わされている。

この保持部１１と歯車部１２は、互いに回転可能であり
、このようなキャリア１０をラップ盤に装着した場合、
歯車部１２が回転すると、保持部１１はその中−Ｃｒ　
１２　ｃの周囲を公転することになり、このため保持部
１１に作用するラッピング力のバランスが変わり保持部
１１は更に自転することになる。

従って、被加工物を保持する保持部１１の動きは極めて
複雑になり、優れたラッピング加工を施すことができる
。

第２図は本発明の第２実施例を示す図であり、第１実施
例と同一部分には同一符号が付しである。

図に示すように、本実施例においては歯車部１２の穴１
２ｂの周面に凹部１２ｄを設け、また保持部１１の外周
に凹部１２ｄに適合するスプロケット状の凸部１１ｂを
設けて、保持部１１を歯車部１２の穴１２ｂにはめ込む
ことによりこの凹部１２ｄに凸部１１ｂをはめ込み、保
持部１１と歯車部１２が同じ自転をするようにしたもの
である。

第３図は本発明の第３実施例を示す図であり、第２実施
例と同一部分には同一の符号が付しである。

本実施例においては保持部１１と歯車部１２の中心１１
ａ、１２ｃの位置を同一に設定している。

このため、歯車部１２に対して保持部１１を大きくとる
ことができる。

従って、本実施例におけるキャリア１０は、機械能カ一
杯の大形の加工物を扱い得ることができるものである。

第４図は本発明の第４実施例を示す図であり、上記他の
実施例と同一部分には同一の符号が付しである。　　本
実施例においては、歯車部１２を放射状に分割した歯車
片１２ｅを複数組合わせることにより、歯車部１２を形
成している。

即ち、この歯車片１２ｅには、その回転方向の一方の端
面に先端が径大な突起１２ｆが設けられており、他方の
端面にはその突起１２ｆに合致する形状の凹部１２１が
設けられている。

この突起１２ｆと凹部１２７とをはめ合わせることによ
り歯車片１２ｅを連結して歯車部１２を形成している。

このように歯車部１２を分割することにより、外径以上
の大きさの一枚板から歯車部１２を形成する必要がなく
なり、製造コストを下げることができるものである。

第５図は本発明の第５実施例を示す図であり、上記他の
実施例と同一部分には同一の符号が付しである。

本実施例における歯車部１２には、複数の加工物をガイ
ドするための穴１２ｈ、１２ｉ等が設けられており、そ
の中にクツションとして作用するように保持部１１をは
め込んでいる。

（発明の効果） 本発明によれば、強い力が加わる歯車部を高強度材によ
り形成し、また被加工物に直接触れる保持部を軟質材に
より形成することにより、容易に破損することかなく、
また被加工物に無理な力が加わることもない。

さらに、歯車部又は保持部が摩滅した場合にも、その部
品のみを交換することができ経済的である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す図、第２図は本発明
の第２実施例を示す図、第３図は本発明の第６実施例を
示す図、第４図は本発明の第４実施例を示す図、第５図
は本発明の第５実施例を示す図、第６図はラップ盤を示
す図、第７図はキャリアを示す図、第８図は第７図に示
すキャリアの動きを示す図である。・１０・・・キャリ
ア、１１・・・保持部、１２・・・歯車部。 Ｐｔ、＋ａ 算２　図 第３図 ｚ １４図 第６■

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被加工物を保持する保持部をファイバー入りプラスチッ
   ク等の軟質材にて形成し、該保持部の外周に設けられた
   歯車部をステンレス等の高強度材にて形成したことを特
   徴とするラップ盤におけるキャリアの構造。