JP2000198068A - 枚葉式研磨機 - Google Patents
枚葉式研磨機Info
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- JP2000198068A JP2000198068A JP191599A JP191599A JP2000198068A JP 2000198068 A JP2000198068 A JP 2000198068A JP 191599 A JP191599 A JP 191599A JP 191599 A JP191599 A JP 191599A JP 2000198068 A JP2000198068 A JP 2000198068A
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- JP
- Japan
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- polishing
- surface plate
- polishing machine
- plate
- work
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 単一の研磨機で粗研磨と仕上げ研磨を可能と
して、生産効率の向上を実現する。 【解決手段】 対向する内周側定盤１Ａ，１Ｂと外周側
定盤２Ａ，２Ｂをそれぞれ、回転可能でかつ軸方向へ移
動可能な回転軸４Ａ，４Ｂと５Ａ，５Ｂで支持し、かつ
内周側定盤１Ａ，１Ｂの対向面１１に粗研磨パッド３１
を接合するとともに、外周側定盤２Ａ，２Ｂの対向面２
１に仕上げ研磨パッド３２を接合する。
して、生産効率の向上を実現する。 【解決手段】 対向する内周側定盤１Ａ，１Ｂと外周側
定盤２Ａ，２Ｂをそれぞれ、回転可能でかつ軸方向へ移
動可能な回転軸４Ａ，４Ｂと５Ａ，５Ｂで支持し、かつ
内周側定盤１Ａ，１Ｂの対向面１１に粗研磨パッド３１
を接合するとともに、外周側定盤２Ａ，２Ｂの対向面２
１に仕上げ研磨パッド３２を接合する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は一対の定盤間にワー
クを挟んで研磨する枚葉式研磨機の構造改良に関するも
のである。
クを挟んで研磨する枚葉式研磨機の構造改良に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図３〜図５に従来の枚葉式研磨機の一例
を示す。各図において、円形の定盤７Ａ，７Ｂが所定の
間隙で対向して設けられており、各定盤７Ａ，７Ｂは中
心の回転軸７１，７２に支持されて図３の矢印で示すよ
うに同方向へ回転している。定盤７Ａ，７Ｂの対向面に
は凹状となった内周部（図４）を除いて研磨パッド８１
が接合されており、研磨パッド８１間にガラス基板等の
円環状の板状ワークＷがその略上半部を挟持されてい
る。上記ワークＷは外周を二ヶ所でローラ９１，９２
（図５）によって支持されており、定盤７Ａ，７Ｂの回
転方向とは反対方向へ図３の矢印のように回転させられ
ている。これにより、研磨パッド８１がワークＷの板面
各部を交差方向へ相対移動してワーク板面が均一に研磨
される。
を示す。各図において、円形の定盤７Ａ，７Ｂが所定の
間隙で対向して設けられており、各定盤７Ａ，７Ｂは中
心の回転軸７１，７２に支持されて図３の矢印で示すよ
うに同方向へ回転している。定盤７Ａ，７Ｂの対向面に
は凹状となった内周部（図４）を除いて研磨パッド８１
が接合されており、研磨パッド８１間にガラス基板等の
円環状の板状ワークＷがその略上半部を挟持されてい
る。上記ワークＷは外周を二ヶ所でローラ９１，９２
（図５）によって支持されており、定盤７Ａ，７Ｂの回
転方向とは反対方向へ図３の矢印のように回転させられ
ている。これにより、研磨パッド８１がワークＷの板面
各部を交差方向へ相対移動してワーク板面が均一に研磨
される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ガラス基板
等の研磨は大きく分けて、クラックやうねり成分等の除
去を目的とした、硬質の発泡ウレタンパッド等を使用す
る粗研磨と、粗研磨で生じた微細な表面傷の除去を目的
とした、軟質のポリウレタンパッド等を使用する仕上げ
研磨に分けられ、従来はこの粗研磨と仕上げ研磨を、そ
れぞれ異なる研磨パッドを接合した別体の枚葉式研磨機
で行なっている。このため、研磨機からのワークの取り
外しや取り付け等の段取りに時間を要し、生産効率が悪
いという問題があった。
等の研磨は大きく分けて、クラックやうねり成分等の除
去を目的とした、硬質の発泡ウレタンパッド等を使用す
る粗研磨と、粗研磨で生じた微細な表面傷の除去を目的
とした、軟質のポリウレタンパッド等を使用する仕上げ
研磨に分けられ、従来はこの粗研磨と仕上げ研磨を、そ
れぞれ異なる研磨パッドを接合した別体の枚葉式研磨機
で行なっている。このため、研磨機からのワークの取り
外しや取り付け等の段取りに時間を要し、生産効率が悪
いという問題があった。
【０００４】そこで、本発明はこのような課題を解決す
るもので、単一の研磨機で粗研磨と仕上げ研磨を可能と
して、生産効率の向上を実現した枚葉式研磨機を提供す
ることを目的とする。
るもので、単一の研磨機で粗研磨と仕上げ研磨を可能と
して、生産効率の向上を実現した枚葉式研磨機を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、回転する一対の定盤の対向面にそれぞ
れ接合された研磨パッドでワークを両面から挟んで研磨
する枚葉式研磨機において、各定盤を内外周で分割して
内周側定盤（１Ａ，１Ｂ）と外周側定盤（２Ａ，２Ｂ）
となし、これら対向する内周側定盤（１Ａ，１Ｂ）と外
周側定盤（２Ａ，２Ｂ）をそれぞれ、回転可能でかつ軸
方向へ移動可能な回転軸（４Ａ，４Ｂと５Ａ，５Ｂ）で
支持し、かつ内周側定盤（１Ａ，１Ｂ）の対向面（１
１）および外周側定盤（２Ａ，２Ｂ）の対向面（２１）
の一方に粗研磨パッド（３１）を接合するとともに、内
周側定盤（１Ａ，１Ｂ）の対向面（１１）および外周側
定盤（２Ａ，２Ｂ）の対向面（２１）の他方に仕上げ研
磨パッド（３２）を接合する。
め、本発明では、回転する一対の定盤の対向面にそれぞ
れ接合された研磨パッドでワークを両面から挟んで研磨
する枚葉式研磨機において、各定盤を内外周で分割して
内周側定盤（１Ａ，１Ｂ）と外周側定盤（２Ａ，２Ｂ）
となし、これら対向する内周側定盤（１Ａ，１Ｂ）と外
周側定盤（２Ａ，２Ｂ）をそれぞれ、回転可能でかつ軸
方向へ移動可能な回転軸（４Ａ，４Ｂと５Ａ，５Ｂ）で
支持し、かつ内周側定盤（１Ａ，１Ｂ）の対向面（１
１）および外周側定盤（２Ａ，２Ｂ）の対向面（２１）
の一方に粗研磨パッド（３１）を接合するとともに、内
周側定盤（１Ａ，１Ｂ）の対向面（１１）および外周側
定盤（２Ａ，２Ｂ）の対向面（２１）の他方に仕上げ研
磨パッド（３２）を接合する。
【０００６】本発明において、粗研磨を行なう場合に
は、内周側定盤ないし外周側定盤の一方の対を互いに近
接する方向へ移動させ、粗研磨パッドでワークを挟持し
て研磨する。これにより、均一な粗研磨を行なうことが
できる。仕上げ研磨を行なう場合には、上記一方の対に
代えて、内周側定盤ないし外周側定盤の他方の対を互い
に近接する方向へ移動させて、仕上げ研磨パッドでワー
クを挟持して研磨する。これにより、均一な仕上げ研磨
を行なうことができる。このように、単一の研磨機で粗
研磨と仕上げ研磨を連続して行なうことができるから、
ワークの取り付けや取り外しの手間が不要となり、生産
効率を大幅に向上させることができる。
は、内周側定盤ないし外周側定盤の一方の対を互いに近
接する方向へ移動させ、粗研磨パッドでワークを挟持し
て研磨する。これにより、均一な粗研磨を行なうことが
できる。仕上げ研磨を行なう場合には、上記一方の対に
代えて、内周側定盤ないし外周側定盤の他方の対を互い
に近接する方向へ移動させて、仕上げ研磨パッドでワー
クを挟持して研磨する。これにより、均一な仕上げ研磨
を行なうことができる。このように、単一の研磨機で粗
研磨と仕上げ研磨を連続して行なうことができるから、
ワークの取り付けや取り外しの手間が不要となり、生産
効率を大幅に向上させることができる。
【０００７】なお、上記カッコ内の符号は、後述する実
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。
施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１および図２に本発明の枚葉式
研磨機の一例を示す。各図において、左右一対の各定盤
は内周側定盤１Ａ，１Ｂと外周側定盤２Ａ，２Ｂに分割
されており、内周側定盤１Ａ，１Ｂは厚肉の円板形で、
これら内周側定盤１Ａ，１Ｂの対向面１１には円形に凹
陥した内周部を除いて一定厚の硬質研磨パッド３１が接
合されている。一方、一対の外周側定盤２Ａ，２Ｂはそ
れぞれ内周側定盤１Ａ，１Ｂの外側を覆うような円形容
器状に成形されており、その開口周面２１が、内周側定
盤１Ａ，１Ｂの外方位置でこれらの対向面１１と同一面
に位置している。そして、外周側定盤２Ａ，２Ｂの上記
開口周面２１には一定厚の軟質研磨パッド３２が接合さ
れている。
研磨機の一例を示す。各図において、左右一対の各定盤
は内周側定盤１Ａ，１Ｂと外周側定盤２Ａ，２Ｂに分割
されており、内周側定盤１Ａ，１Ｂは厚肉の円板形で、
これら内周側定盤１Ａ，１Ｂの対向面１１には円形に凹
陥した内周部を除いて一定厚の硬質研磨パッド３１が接
合されている。一方、一対の外周側定盤２Ａ，２Ｂはそ
れぞれ内周側定盤１Ａ，１Ｂの外側を覆うような円形容
器状に成形されており、その開口周面２１が、内周側定
盤１Ａ，１Ｂの外方位置でこれらの対向面１１と同一面
に位置している。そして、外周側定盤２Ａ，２Ｂの上記
開口周面２１には一定厚の軟質研磨パッド３２が接合さ
れている。
【０００９】各外周側定盤２Ａ，２Ｂはそれぞれ背面の
中心部が筒状の回転軸５Ａ，５Ｂに支持されて図１の矢
印で示すように互いに同速で同方向へ回転するようにな
っている。一方、各内周側定盤はそれぞれ背面の中心部
が回転軸４Ａ，４Ｂに支持されて図１の矢印で示すよう
に互いに同速で同一方向へ回転するようになっている。
回転軸４Ａ，４Ｂは外側定盤の中心を貫通し、筒状とな
った上記回転軸５Ａ，５Ｂの内部に挿通されている。回
転軸４Ａ，４Ｂは図１の矢印で示すように軸方向へ同量
だけ互いに反対向きに移動できるようになっており、こ
れによって内側定盤１Ａ，１Ｂの対向間隔を変更するこ
とができる。回転軸２Ａ，２Ｂについても同様であり、
これによって外側定盤２Ａ，２Ｂの対向間隔を変更する
ことができる。
中心部が筒状の回転軸５Ａ，５Ｂに支持されて図１の矢
印で示すように互いに同速で同方向へ回転するようにな
っている。一方、各内周側定盤はそれぞれ背面の中心部
が回転軸４Ａ，４Ｂに支持されて図１の矢印で示すよう
に互いに同速で同一方向へ回転するようになっている。
回転軸４Ａ，４Ｂは外側定盤の中心を貫通し、筒状とな
った上記回転軸５Ａ，５Ｂの内部に挿通されている。回
転軸４Ａ，４Ｂは図１の矢印で示すように軸方向へ同量
だけ互いに反対向きに移動できるようになっており、こ
れによって内側定盤１Ａ，１Ｂの対向間隔を変更するこ
とができる。回転軸２Ａ，２Ｂについても同様であり、
これによって外側定盤２Ａ，２Ｂの対向間隔を変更する
ことができる。
【００１０】図１に示す状態では、内周側定盤１Ａ，１
Ｂの硬質研磨パッド３１間にガラス基板等の円環状の板
状ワークＷの略上半部（図２）が挟持されている。ワー
クＷは外周を二ヶ所でローラ６１，６２によって支持さ
れており、内周側定盤１Ａ，１Ｂの回転方向とは反対方
向へ図２の矢印のように回転させられている。これによ
り、硬質研磨パッド３１がワークＷの板面各部を交差方
向へ相対移動して均一な粗研磨がなされる。
Ｂの硬質研磨パッド３１間にガラス基板等の円環状の板
状ワークＷの略上半部（図２）が挟持されている。ワー
クＷは外周を二ヶ所でローラ６１，６２によって支持さ
れており、内周側定盤１Ａ，１Ｂの回転方向とは反対方
向へ図２の矢印のように回転させられている。これによ
り、硬質研磨パッド３１がワークＷの板面各部を交差方
向へ相対移動して均一な粗研磨がなされる。
【００１１】粗研磨に続いて仕上げ研磨を行なう場合に
は、外周側定盤２Ａ，２Ｂを互いに近接する方向へ移動
させて、その軟質研磨パッド３２をワークＷの上半部板
面に圧接させて挟持状態とする。この後、内周側定盤１
Ａ，１Ｂを互いに離間する方向へ移動させて粗研磨パッ
ド３１をワークＷの板面から離し、この状態で外周側定
盤２Ａ，２Ｂを回転させる。これにより、軟質研磨パッ
ド３２がワークＷの板面各部を交差方向へ相対移動して
均一な仕上げ研磨がなされる。
は、外周側定盤２Ａ，２Ｂを互いに近接する方向へ移動
させて、その軟質研磨パッド３２をワークＷの上半部板
面に圧接させて挟持状態とする。この後、内周側定盤１
Ａ，１Ｂを互いに離間する方向へ移動させて粗研磨パッ
ド３１をワークＷの板面から離し、この状態で外周側定
盤２Ａ，２Ｂを回転させる。これにより、軟質研磨パッ
ド３２がワークＷの板面各部を交差方向へ相対移動して
均一な仕上げ研磨がなされる。
【００１２】このように、本実施形態の枚葉式研磨機に
よれば、粗研磨と仕上げ研磨を同一の研磨機で連続して
行なうことができるから、粗研磨から仕上げ研磨への移
行が研磨機へのワークの取り付けや取り外しの手間を必
要とせずにスムーズに行なわれ、生産効率が大幅に向上
する。なお、上記実施形態では粗研磨パッドを内周側定
盤に、仕上げ研磨パッドを外周側定盤に設けたが、これ
を逆にすることもできる。
よれば、粗研磨と仕上げ研磨を同一の研磨機で連続して
行なうことができるから、粗研磨から仕上げ研磨への移
行が研磨機へのワークの取り付けや取り外しの手間を必
要とせずにスムーズに行なわれ、生産効率が大幅に向上
する。なお、上記実施形態では粗研磨パッドを内周側定
盤に、仕上げ研磨パッドを外周側定盤に設けたが、これ
を逆にすることもできる。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、本発明の枚葉式研磨機に
よれば、単一の研磨機で粗研磨と仕上げ研磨が可能であ
るから、ワークの取り付けや取り外し等の段取りに要す
る手間が省かれ、生産効率の向上が実現される。
よれば、単一の研磨機で粗研磨と仕上げ研磨が可能であ
るから、ワークの取り付けや取り外し等の段取りに要す
る手間が省かれ、生産効率の向上が実現される。
【図１】本発明の一実施形態を示す、枚葉式研磨機の縦
断面図である。
断面図である。
【図２】枚葉式研磨機の定盤の正面図である。
【図３】従来の枚葉式研磨機の斜視図である。
【図４】従来の枚葉式研磨機の縦断面図である。
【図５】従来の枚葉式研磨機の定盤の正面図である。
１Ａ,１Ｂ…内周側定盤、１１…対向面、２Ａ,２Ｂ…外
周側定盤、２１…対向面、３１…粗研磨パッド、３２…
仕上げ研磨パッド、４Ａ,４Ｂ,５Ａ,５Ｂ…回転軸。
周側定盤、２１…対向面、３１…粗研磨パッド、３２…
仕上げ研磨パッド、４Ａ,４Ｂ,５Ａ,５Ｂ…回転軸。
Claims (1)
- 【請求項１】 回転する一対の定盤の対向面にそれぞれ
接合された研磨パッドでワークを両面から挟んで研磨す
る枚葉式研磨機において、前記各定盤を内外周で分割し
て内周側定盤と外周側定盤となし、これら対向する内周
側定盤と外周側定盤をそれぞれ、回転可能でかつ軸方向
へ移動可能な回転軸で支持し、かつ前記内周側定盤の対
向面および外周側定盤の対向面の一方に粗研磨パッドを
接合するとともに、前記内周側定盤の対向面および外周
側定盤の対向面の他方に仕上げ研磨パッドを接合したこ
とを特徴とする枚葉式研磨機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP191599A JP2000198068A (ja) | 1999-01-07 | 1999-01-07 | 枚葉式研磨機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP191599A JP2000198068A (ja) | 1999-01-07 | 1999-01-07 | 枚葉式研磨機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000198068A true JP2000198068A (ja) | 2000-07-18 |
Family
ID=11514892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP191599A Pending JP2000198068A (ja) | 1999-01-07 | 1999-01-07 | 枚葉式研磨機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000198068A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100421223C (zh) * | 2004-02-05 | 2008-09-24 | 硅电子股份公司 | 半导体晶片,生产半导体晶片的装置及方法 |
| CN103213061A (zh) * | 2012-01-18 | 2013-07-24 | 张卫兴 | 图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺 |
| CN103786076A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-05-14 | 绍兴市家度弹簧机械有限公司 | 一种弹簧高质量高效率磨削方法 |
| CN105500134A (zh) * | 2015-11-27 | 2016-04-20 | 芜湖银星汽车零部件有限公司 | 一种机油滤清器座端面磨削装置 |
| CN107020563A (zh) * | 2017-04-13 | 2017-08-08 | 金华职业技术学院 | 变频角磨电动工具 |
-
1999
- 1999-01-07 JP JP191599A patent/JP2000198068A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100421223C (zh) * | 2004-02-05 | 2008-09-24 | 硅电子股份公司 | 半导体晶片,生产半导体晶片的装置及方法 |
| CN103213061A (zh) * | 2012-01-18 | 2013-07-24 | 张卫兴 | 图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺 |
| CN103786076A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-05-14 | 绍兴市家度弹簧机械有限公司 | 一种弹簧高质量高效率磨削方法 |
| CN103786076B (zh) * | 2013-12-31 | 2017-01-25 | 绍兴市家度弹簧机械有限公司 | 一种弹簧高质量高效率磨削方法 |
| CN105500134A (zh) * | 2015-11-27 | 2016-04-20 | 芜湖银星汽车零部件有限公司 | 一种机油滤清器座端面磨削装置 |
| CN107020563A (zh) * | 2017-04-13 | 2017-08-08 | 金华职业技术学院 | 变频角磨电动工具 |
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