JPH0373265A - 被研磨物保持用キャリヤ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、シリコンウェハ、ガリウム砒素ウェハといっ
た半導体ウェハのほか、薄物ガラス、セラミック、人工
水晶、金属板等の被研磨物の両面を研削研磨する場合に
使用されるキャリヤに関するものである。

【従来の技術】

半導体ウェハの両面を両面研磨盤を使用して研磨するに
は、両面研磨盤の上定盤と下定盤の対向面に各々ポリッ
シングパッドを貼り付け、該両面研磨盤の太陽ギヤとイ
ンターナルギヤとに噛合する歯を周辺に形成した複数枚
のキャリヤを上記のギヤに噛合するように配設し、研磨
すべき半導体ウェハを各キャリヤに形成した被研磨物嵌
挿孔に挿入してから上下定盤で半導体ウェハを挾圧し、
上下定盤間に研磨液を流しながら太陽ギヤおよびインタ
ーナルギヤを回転させてキャリヤを自転公転させること
で半導体ウェハを定盤間で螺旋運動させつつ回転させ、
同時に上下定盤を回転させることでポリッシングパッド
と半導体ウェハの研磨面を擦り合わせて両面が研磨され
る。 上記した半導体ウェハの厚さは近年薄くなり、これに伴
ってキャリヤの厚さも薄いものが要望され、また１枚の
キャリヤで多数の被加工物を研磨したいとか、キャリヤ
の大口径化が要望されている。従来のキャリヤは殆どが
ガラス繊維強化プラスチツク板かブルースチール板で作
られていた。

【発明が解決しようとする課題】

ところが、ガラス繊維強化エポキシ板で厚みの薄いキャ
リヤを作ると厚みの精度も悪いし、そのソリ率は２〜３
％という値を示し、研磨中に半導体ウェハが上記被加工
物嵌挿孔から飛び出して破損する恐れがあった。厚さの
薄いガラス繊維強化エポキシ板でソリ率を上記した２〜
３％よりも低減させることは実際問題として非常に困難
なことであった。 一方、ブルースチール板で作ったキャリヤは歯の強度、
厚みの精度は優れているが、この場合も厚みが薄くなる
と板自体の反りが生じ易くなって上述した被加工物の飛
び出しによる破損や、被加工物とキャリヤとの衝突によ
って被加工物周辺にチッピングが発生したり、金属面に
直接接触するため、被加工物の材質にもよるが金属イオ
ンによる汚染の心配があった。 本発明の車たる目的は、軟土のような従来の実情に鑑み
、厚みが薄くてもソリ率が小さく、厚み精度が勝れてい
るばかりか、強度も充分にある新規なキャリヤとその製
造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

この発明は上記した目的を遠戚するためになされたもの
であって、第１の発明は熱硬化性樹脂を含浸硬化させた
集成マイカ積層板からなり、その外周に両面研磨盤の太
陽ギヤとインターナルギヤに噛合する歯を形成しその円
板面に複数の被研磨物嵌挿孔を形成したものである。 第２の発明は、上記した単一の集成マイカ積層板に代え
て、集成マイカ積層板と、該集成マイカ積層板の円周辺
縁内側部分に埋設した金属環状板との積層材料となしそ
の外周に両面研磨盤の太陽ギヤとインターナルギヤに噛
合する歯を形成しその円板面に複数の被研磨物嵌挿孔を
形成したものである。 第３の発明は、該マイカ積層板の円周辺縁内側部分から
上記複数の被加工物嵌挿孔の円周辺縁内側部分に亘って
埋設した穴あき金属板との積層材料となし、上記の歯お
よび金属板の孔より径の小さい被研磨物嵌挿孔を形成（
７たものである。 第４の発明は、円形の集成マイカ板の両面に、これより
も大きな径の熱硬化性樹脂含浸繊維層が積層接着され、
この外周には第１発明と同じ歯及び被研磨物嵌挿孔を形
成したものである。 第５の発明は、第４発明に於ける接着層としての熱硬化
性樹脂に無機質充填材を混合してなるものである。 第６の発明は、第４及び第５の発明に係る被研磨物保持
用キャリヤを製造する方法に関するものであって、集成
マイカ板に熱硬化性樹脂からなるワニスをコーティング
、乾燥した円形のプリプレグの両面に、これよりも大き
い径の熱硬化性樹脂含浸繊維層からなるプリプレグを積
層し、これを加熱加圧して集成マイカ仮にコーティング
した熱硬化性樹脂の一部を集成マイカ板の外周に押出す
とともに該熱硬化性樹脂を硬化させることにまり集成マ
イカ板を両面から熱硬化性樹脂含浸繊維層で挾んで積層
体となし、集成マイカ板の外周に第４発明と同じ歯及び
被研磨物嵌挿孔を形成する方法である。

【作　用］ マイカの襞間性を利用して鱗片状とするとアスペクト比
（面の長さ／厚さ）の非常に大きい鱗片状マイカとなる
から、これに熱硬化性樹脂を含浸硬化させて作った集成
マイカ板乃至は集成マイカ積層板はそれぞれ平行した面
同士が接着している。接着用の熱硬化性樹脂量を少量で
済むようにしてマイカの特性を損なわずに一体化できる
ので、厚さの薄い板でも厚さの精度がよく得られ、厚さ
が薄くても反りが殆どないものができる。 又、第４、第５の発明によるものでは、上記第１乃至第
３の発明の作用に加え、使用中に歯に欠損や摩耗を生じ
ないすぐれた耐久性を付与できる。 【実施例】 以下に図面とともに実施例を示し、この発明を更に具体
的に説明する。 以下、単に１部」とあるのは「重量部」を意味する。尚
、以下の各実施例に於ける物性は次の測定方法によるも
のである。 （１）ソリ率：　　　ＪＩＳ　Ｋ８９１１による。 （２）衝撃強度：　アイゾツト衝撃試験機を用いて振り
降し角度１５″及び３０″で１０回繰返し衝撃を加え、
端縁の浸食深さを 測定しその値を以て衝撃強度とした。 く第１実施例〉 第１図Ａに示した第１実施例のキャリヤは厚さが０．３
５＋ｇ＋ｇと薄い集成マイカ積層板１の円状外周縁に、
両面研磨盤の太陽ギヤとインターナルギヤに噛合する歯
２が常法の歯切加工によってピッチ円の直径２２９ｎｖ
、歯のピッチ７ｍｍ５歯丈５ＩＩＩＩｌこ形成され、板
面部分には四個の丸い直径７７ｍ５の被加工物嵌挿孔３
がコールドパンチング法によって形成されている。第１
図Ｂの一部拡大断面図に明らかとしたように、この場合
の集成マイカ積層板１は５枚の集成マイ力板１ａの積層
構造品であるが、これはっぎのようにして作られる。ま
ず、マイカ原鉱をジェット水流により叩解して得たマイ
カ鱗片を抄紙機で厚み０゜１問、大きさ５００　ｘ　１
０００＋＋ｖに抄造し、これに下記配合の熱硬化性樹脂
溶液７０ｇを含浸して、１２０℃、５分間乾燥し、エポ
キシ集成マイカのプリプレグとする。 工Ｉ牛シＩ！（住友化学ＩＩＩス；エポキシＥし＾１２
８）　　　　　　１２５　　部硬化ｆｉｌ（住友化学工
■三弗化ｌｉモノエチルＴ；ン〉　　　　　　　４　部
ト　　　ル　　　エ　　　ン　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　１２４　　部メ　　　タ　　　）　　
　−　　　ル　　　　　　　　　　　　　　　　１２３
　部メチルエチルケトン　　　　　　　１２４部樹脂濃
度２５％　　　　　　　　　５００部その集成マイカの
プリプレグを５枚重ね合わせて１８０℃、４０ｋｇ　／
　ｃｄ　、　１時間熱プレスすることで上記した０、３
５ｍ１ｍ厚の集成マイカ積層板１となる。 上記のようにマイカの襞間性を利用して鱗片状微少マイ
カ片とすると、そのアスペクト比は１００〜２００と非
常に大きい。これを抄造すると鱗片状微少マイカ片のそ
れぞれの面が平行に配列する。これに熱硬化性樹脂を含
浸して熱プレスすると、マイカ鱗片が平行になるため、
接着剤量も少なくてすみ、マイカの特性を消失させず、
反り、捩じれが非常に少なく、厚みの精度も非常に勝れ
たものになる。接着剤の量は５〜４０重量％、好ましく
は１０〜２５重量％がよい。因みに同一厚さの市販のガ
ラス繊維強化エポキシ注：厚みの測定法はＪＩＳ　Ｃ２
１１６５，１によるものである。 第１実施例のキャリヤと、市販のガラス繊維強化エポキ
シ板製キャリヤとの比較研磨試験を両面研磨機（スピー
ドファム社製　型式５ＦＤＬ−９Ｂ−５ｐ）を用い、直
径７６１のガリウム砒素ウェハで行った結果は、キャリ
ヤの耐久性が従来品では８０時間であったのに対して第
１実施例では８０時間、ガリウム砒素ウェハの割れ発生
枚数は４０枚試験して従来品は１枚であったのに対して
第１実施例では零であった。 く第２実施例〉 キャリヤの径が比較的小さいときには、キャリヤを回転
させるための歯２に加わる力は差して大きくないから、
その歯２の部分を含め全部が集成マイカ積層板１である
第１実施例の構成でも同等支障はない。ところがキャリ
ヤの大口径化に伴って歯２の部分に加わる力が増大する
と、集成マイカ積層板１では強度的に不足気味となる。 この場合には歯２の部分の強度を増強するため第２図Ａ
に示した第２実施例のように、熱硬化性樹脂を含浸硬化
した集成マイカ積層板１の円周辺縁内側部分に金属環状
板４を埋設した積層材料製とするとよい。その製作例を
第２図Ｂで説明すると、厚さ０．２■、外径２５３１１
１１％内径２１３ｎ＋ｍのステンレス板製金属環状板４
の内側に同厚同径の３層の集成マイカ積層板１ｂを置き
、その上下全面を０．０７５ＩＷＩ＋１の集成マイカｌ
ｃ、ｌｃで挾むように接着剤（セメダイン製ＥＰ−３３
０）で一体化する。そして外周に歯２を切り、その円板
面に４個の被加工物嵌挿孔３を形成する。歯２の強度は
金属環状板４と集成マイカｌｃ、ｌｃによって増強され
る。 この第２実施例のキャリヤのソリ率、厚みの精度は前記
第１実施例と殆ど変わりなく、またこのキャリヤを使っ
て直径７６ａｖのガリウム砒素ウェハにより第１実施例
で行ったと同様の比較研磨試験を行った結果は、キャリ
ヤの耐久性が従来品では７０時間であったのに対して本
発明品では１５０時間以上、ガリウム砒素ウニ／）の割
れ発生枚数は４０枚試験して従来品は２枚であったのに
対して本発明品では１枚であった。 く第３実施例〉 歯２の部分のみならずキャリヤ全体の強度増強を図るに
は、第３図Ａに示した第３実施例のように、集成マイカ
積層板１の円周辺縁内側部分から上記複数の被加工物嵌
挿孔３の円周辺縁内側部分に及ぶ穴あき金属板５を集成
マイカ積層板１の中層部に埋設した積層材料とするとよ
い。その製作例を第３図Ｂで説明すると、厚さ０．２ｅ
＋ａ、外径４４８ｍｍの円板内側に予め直径１０６１１
１１１の孔６を７個穿設したステンレス製穴あき金属板
５を用意し、各孔６内に同厚同径の３層の集成マイカ積
層板１ｄを置き、その上下全面を０．０７５＋ｎ＋の集
成マイ力板１ｅ、ｌｅで挾むように接着剤で一体化し、
孔６の個所に金属板５の孔６より径の小さい直径１０１
ｍｍの被加工物嵌挿孔３をあけ、外周に歯２を切った。 この第３実施例のキャリヤのソリ率、厚みの精度も、ま
た、前記第１実施例や第２実施例と殆ど変わりない。直
径１０ｈａのシリコンウェハで前記と同様の比較研磨試
験を行ってみると、キャリヤ耐久性は従来品が約７０時
間であるのに対して第３実施例では１５０時間以上、シ
リコンウェハの割れ発生枚数は７０枚試験して従来品は
１枚であったのに対して第３実施例では零であった。 く第４実施例〉 第４図Ａは第４発明に係る実施例を示すもので、その構
成は第４図Ｂに示したように、熱硬化性樹脂を含浸させ
た円形の集成マイ力板１の両面に、熱硬化性樹脂９．９
を介して、該集成マイ力板１よりも大きい径の熱硬化性
樹脂含浸繊維層７．７からなる補強層が積層され、集成
マイ力板１の外周８は補強層同志が熱硬化性樹脂９を介
して接着されている。この外１．’１８には両面研磨盤
の太陽ギヤとインターナルギヤに噛合するｍ２が実施例
１と同様にして形成され、更にその円板面には４個の被
研磨物嵌揮孔３を設けた。 このキャリヤは、Ｆ記のようにして製造されたものであ
る。 工Ｉキンｌ１ｌ（油化ンエルエプキシ社製、商品名工ピ
コ−）１００１）　　　　　４０ｍ硬化促進網（住友化
学社聾、商品名ＢＦ３−　４００　）　　　　　　　　
　１．２部トルエン　　　　　　　　　　　　　　　　
３０部メチルエチルケトン　　　　　　　　　３０部を
コーティング用タンク内で混合して固形分２０〜５０重
量％のエポキシワニスを調合する。このエポキシワニス
に第１実施例と同じ方法で製したエポキシ集成マイカの
プリプレグを加熱加圧し、含浸された熱硬化性樹脂が硬
化されてなる集成マイカｌ１ｉｉ、（厚さＯ，Ｉａｖ）
を浸漬する。その後、乾燥機内で１２０℃で約２０分間
乾燥し、常温で粘着性を示さなくなったエポキシワニス
（Ｈさ杓０．１ａｌｌ）で覆われた集成マイカ板を得、
これを円形に打抜いてワニス被覆集成マイ力板１とした
。 一方、ガラス繊維（４５０デニール）を縦方向５０本／
２５ａ＋１１．横方向５３本／２５開の打込本数で重さ
　１．０８ｇ／ｄ、厚さ　０．１１のガラスクロスを竪
を自動浸漬乾燥機を通過させながら、このガラスクロス
に上記と同じエポキシワニスを含浸乾燥して補強材のプ
リプレグを製した。この補強材のプリプレグを上記集成
マイ力板１よりも大きな径の円形に打抜いたものを２枚
準備し、この熱硬化性樹脂含浸繊維層７．７て以て上記
集成マイ力板１を両面から挾み、１６０℃、５０ｋｇ／
ｃｄの圧力で１時間加熱加圧し、冷却後取り出して熱硬
化製樹脂含浸繊維層と集成マイカ板との積層体を得た。 この積層体は２枚の補強材のプリプレグとその間に挾ま
れた集成マイカ板とを加熱加圧する際に集成マイカ板表
面のエポキシワニスが流動性を生して、集成マイカ板の
外周８に押し出され、その外周の補強材の間を満たした
状態となって補強材同志を接合し硬化していた。この外
周８に両面研磨盤の太陽ギヤとインターナルギヤに噛合
する歯２を形成し、積層体の円板面に複数（本実施例で
は４個）の被研磨物嵌挿孔３を設け、被研磨物保持用キ
ャリヤとした。 このものは従来のガラス繊維強化エポキシ板に比べ、ソ
リ率、■げ変形量が少なく、シリコンウェハで研磨試験
の結果、耐久性は　１５０時間以上であり、更に、歯の
端縁にマイカを含む層かないため、衝撃によってマイカ
微粉末の飛散が全くなく、このため被研磨物に対して悪
影響を与えるおそれは皆無であった。物性の測定結果を
表−１に示す。 く第５実施例〉 第４実施例で用いた熱硬化性樹脂９に無機質充填材とし
て酸化チタンが添加されている以外は第４実施例と同じ
構成としたキャリヤである。 これは以下のようにして製造した。 ニブ牛シＩ！！（油化シェルエポキシ社製、商品名エピ
コート１００＋）　　　　３００部硬化促進調（住友化
学社製、商品名Ｂｈ　　−４００）　　　　　　　　　
　　２０部酸化チタン（東洋インキ社製、商品名工ｆキ
シネワイト１００３）　　　　　　１００部トルエン　
　　　　　　　　　　　　　　２００部メチルエチルケ
トン　　　　　　　　　２００部メタノール　　　　　
　　　　　　　　１００部を均一に混じたエポキシワニ
スに、第４実施例で用いたのと同じ集成マイカ板（厚さ
約０．Ｉｍｍ）を浸漬後、乾燥して無機質充填材を含む
エポキシワニスで覆われた集成マイカ板を製した。この
集成マイカ板と第４実施例で用いたのと同じ補強材のプ
リプレグを用い、第４実施例と同様にしてキャリヤを得
た。 このものは、歯の部分では２枚の補強層が無機質充填材
を含むエポキシ樹脂で接着されているので、歯の耐摩耗
性がシリコンウエノ＼で研磨試験を行ったところ３００
時間以上で特にすぐれていた。又、マイカ微粉末の飛散
も全くなかった。物性の測定結果を表−１に示す。 好適な無機質充填材としては、酸化チタン以外に、炭酸
カルシウム、酸化アルミニウム、グラファイト等が挙げ
られ、これ等の１種又は２種以上を混合使用してもよい
。 以上の第１乃至第５実施例で示した構成の他、キャリヤ
板としてのソリ率を少なくし、被研磨物がキャリヤの金
属と接触することを避ける手段としては、例えば第５図
に示すように、集成マイ力板１ｃと厚さ３０μのステン
レスペーパーｌ「とを交互に重ね、圧力４０Ｋｇｒ／ｃ
ｄ、１６０℃で１時間加熱加圧し、冷却後に厚さ０．３
５１！１ｍの積層板としたものとすれば、従来のガラス
繊維強化エポキシ板に比べ同じ厚さでもソリ率の小さい
ものが得られる。上記積層板をコールドパンチにより周
囲の歯と研磨物被嵌神孔を形成し、エポキシ樹脂１００
部、硬化促進剤４０部からなる硬化性樹脂組成物を該嵌
挿孔内周面に塗布し、２４時間放置して硬化させれば、
該嵌挿孔内周面には金属が露出せず、被研磨物が金属と
接触することによる悪影響を避けることができる。 上記熱硬化性樹脂組成物を嵌挿孔内周面に塗布、硬化さ
せるかわりに、別途集成マイカ板を数枚重ねて加熱加圧
して製した集成マイカ積層板を外径が上記嵌挿孔の内径
とほぼ等しいリング状に打抜いてリングｌＯとなし、嵌
挿孔内周面に接着剤を塗布して該リングＩＯを嵌め込ん
でもよい。 また、歯の耐摩耗性をよくするには、例えば第２及び第
３実施例に示されるような歯の表面を覆う集成マイ力板
１ｃ、１ｅを金属板４．５の端部よりも内方まで設けて
、歯の端部では金属だけが露出した状態とすればよい。 表−１ （注）　測定値は何れも５回繰り返し測定した平均値で
ある。

【発明の効果】

本発明に係るキャリヤは熱硬化性樹脂を含浸硬化させた
集成マイカ積層板を使用したから、アスペクト比の大き
な鱗片状マイカ片のそれぞれの面が平行に配列した状態
で一体化されているため、薄くてもコシが強く、その厚
さの精度は０．３５±０．０２ｍｍで良好である。また
厚さを薄くしてもソリ率１．５％以下とすることが可能
である。 更にまた面状接着であるために１０〜２０重量％程度の
少量の熱硬化性樹脂含浸量で一体化ができるから、マイ
カの特性である大きな弾性係数（６，５〜７．ＯＸＩＯ
，）が消失せず、かかる集成マイカ積層板に接触する被
加工物の破損を発生させない効果がある。そのほか従来
より長時間使用に耐え、また厚さが約１．８ｍ以下では
コールドパンチング法によって打抜加工ができるので低
コスト化に寄与することになる。 更に、集成マイカ積層板と金属環状板との積層材料とす
ることで歯部の強度を増すことが、集成マイカ積層板と
穴あき金属板との積層材料とすることによって歯部を含
めた全体の強度を増すと共に、金属板の孔周辺を集成マ
イカ積層板で強力に保護させたことで被加工研磨物が直
接金属板に接することが防せげ、その破損を防止する効
果もある。 又、集成マイカ板の両面が熱硬化性樹脂を介して熱硬化
性樹脂含浸繊維層で積層され、該集成マイカ板の外周の
歯の部分が上記繊維層同志で接合されているものに於て
は、従来のガラス繊維強化エポキシ板に比べ、反り率、
曲げ変形量が少なく、歯の耐摩耗性がすぐれている。そ
して歯の端部にマイカが存在しないので、使用中に衝撃
によってマイカの微粉末が飛散することがなく、被研磨
物に対して悪影響を及ぼすことがない。更に、上記熱硬
化性樹脂に無機質充填材が混入されている場合は特に歯
の耐摩耗性が更にすぐれたものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａはこの発明の第１実施例を示す平面図、第１図
ＢはそのＩ−１’断面の一部拡大断面図、第２図Ａはこ
の発明の第２実施例を示す平面図、第２図Ｂはその■−
■′断面の一部拡大断面図、第３図Ａはこの発明の第３
実施例を示す平面図、第３図Ｂはそのｍ−ｍ’断面の一
部拡大断面図、第４図Ａは第４実施例を示す平面図、第
４図ＢはそのＩＶ−ＩＶ’断面の一部拡大断面図、第５
図は他の実施例の一部拡大断面図である。 １・・・熱硬化性樹脂を含浸硬化させた集成マイカ積層
板、２・・・歯、３・・・被加工物嵌挿孔、４・・・金
属環状板、５・・・穴あき金属板、７・・・熱硬化性樹
脂含浸繊維層。８・・・外周、９・・・熱硬化性樹脂。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、熱硬化性樹脂を含浸硬化させた集成マイカ積層板か
   らなり、その外周には両面研磨盤の太陽ギヤとインター
   ナルギヤに噛合する歯を形成し、その円板面には複数の
   被研磨物嵌挿孔を形成したことを特徴とする被研磨物保
   持用キャリヤ。 ２、熱硬化性樹脂を含浸硬化させた集成マイカ積層板と
   、該集成マイカ積層板の円周辺縁内側部分に埋設された
   金属環状板との積層材料からなり、その外周には両面研
   磨盤の太陽ギヤとインターナルギヤに噛合する歯を形成
   しその円板面には複数の被研磨物嵌挿孔を形成したこと
   を特徴とする被研磨物保持用キャリヤ。 ３、熱硬化性樹脂を含浸硬化させた集成マイカ積層板と
   、該集成マイカ積層板の中層部に埋設された穴あき金属
   板との積層材料からなり、その外周には両面研磨盤の太
   陽ギヤとインターナルギヤに噛合する歯を形成し、その
   円板面には上記穴あき金属板の穴の内側に被研磨物嵌挿
   孔を形成したことを特徴とする被研磨物保持用キャリヤ
   。 ４、熱硬化性樹脂を含浸硬化させた円形の集成マイカ板
   の両面及びその外周にわたり熱硬化性樹脂よりなる接着
   層を介して上記集成マイカ板より大きな径の熱硬化性樹
   脂含浸繊維層が積層接着され、その外周には両面研磨盤
   の太陽ギヤとインターナルギヤに噛合する歯を形成し、
   その円板面には複数の被研磨物嵌挿孔を形成したことを
   特徴とする被研磨物保持用キャリヤ。 ５、接着層を形成する熱硬化性樹脂に無機質充填材が混
   入されてなる特許請求の範囲第４項に記載の被研磨物保
   持用キャリヤ。 ８、熱硬化性樹脂を含浸硬化させた集成マイカ板に熱硬
   化性樹脂からなるワニスをコーティング、乾燥してプリ
   プレグを得る工程、 該プリプレグを円形に打抜く工程、 該プリプレグの両面にこれよりも大きい径 の熱硬化性樹脂含浸繊維層からなるプリプレグを積層し
   、加熱加圧して上記熱硬化性樹脂の一部をプリプレグの
   外周に押し出すとともに熱硬化性樹脂を硬化させること
   により集成マイカ板と熱硬化性樹脂含浸繊維層及び集成
   マイカ板の外周の熱硬化性樹脂含浸繊維層同志を接着す
   る工程、 熱硬化性樹脂含浸繊維層同志が接着されて なる部分に両面研磨盤の太陽ギヤとインターナルギヤに
   噛合する歯を形成し、且つ集成マイカ板を含む円板面に
   複数の被研磨物嵌挿孔を形成する工程 とからなる被研磨物保持用キャリヤの製造方法。