JP2015186089A - 圧電振動片の製造方法、圧電振動片及び圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円板状のウェハWの両面に圧電振動片のメサ部となる部分Sを区画する溝部Mを形成する工程と、互いに逆向きに回転する定盤の間でウェハWを挟み込み、ウェハWを回転させながら、研磨液を供給してウェハWの表面を研磨する工程と、ウェハWを所定の厚みとなるまで研磨した後に、ウェハWを溝部Mが形成された位置で圧電振動片となる部分C毎に分割する工程と、を含む。
【選択図】図1
Description
以上のような圧電振動片では、スプリアスの発生を抑制しながら、安定した振動特性を確保できる。
以上のような圧電振動子では、圧電振動片のスプリアスの発生を抑制できるため、安定した振動特性を確保することが可能である。
なお、以下の全ての図面においては、各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
先ず、本発明の一実施形態に係る圧電振動片の製造方法について、図1を参照しながら説明する。なお、図1は、圧電振動片の製造工程を説明するための断面図である。
次に、本発明の一実施形態として、例えば図7及び図8に示す圧電振動片1及び圧電振動子50について説明する。なお、図7は、圧電振動片1及び圧電振動子50の構成を示す分解斜視図である。図8は、図7中に示す線分A−Aによる断面図である。
例えば、本発明は、圧電振動片の中でもメサ型の水晶振動片に対して好適であるものの、その以外の圧電振動片に対しても本発明を適用することが可能である。また、圧電振動素子のパッケージについては、上記実施形態のものに限らず、様々な材料及び構造のパッケージを適用することが可能である。
101…下定盤 101a…回転軸 102…上定盤 102a…回転軸 103…キャリア 104…キャリア収納部 105…ギア部 106…サンギア 107…インターナルギア 108…ウェハ収納部 109…ダミー収納部 110…研磨液供給機構 111…ホース
W…ウェハ M…溝部 S…メサ部となる部分 K…曲面 C…圧電振動子となる部分(チップ) L…研磨液
Claims (4)
- 円板状のウェハの両面に圧電振動片のメサ部となる部分を区画する複数の溝部を形成する工程と、
互いに逆向きに回転する定盤の間で前記ウェハを挟み込み、前記ウェハを回転させながら、研磨液を供給して前記ウェハの表面を研磨する工程と、
前記ウェハを所定の厚みとなるまで研磨した後に、前記ウェハを前記複数の溝部が形成された位置で前記圧電振動片となる部分毎に分割する工程と、を含むことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記ウェハを研磨した後に、前記ウェハをポリッシングする工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。
- 請求項1又は2に記載の製造方法により製造される圧電振動片であって、
前記複数の溝部によって区画されたメサ部に曲面が付与されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項3に記載の圧電振動片を備える圧電振動子。
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