JP5435060B2 - 振動片 - Google Patents
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Description
本発明の別のある実施形態に係る振動片は、前記振動片の外形が、平面視で円形であることを特徴とする。
本発明の別のある実施形態に係る振動片は、前記振動片の外形が、平面視で矩形であることを特徴とする。
本発明の別のある実施形態に係る振動片は、前記突出部と、前記薄肉部の前記平坦部及び前記周縁部とが、表裏に設けられていることを特徴とする。
本発明の別のある実施形態に係る振動片は、前記振動部は厚み滑りで振動することを特徴とする。
本発明の別のある実施形態に係る振動片は、前記振動片が水晶からなることを特徴とする。
本発明の別のある実施形態に係る振動片は、前記水晶が、ATカット水晶、BTカット水晶、FCカット水晶、ITカット水晶、SCカット水晶、及びNYカット水晶の少なくともいずれかであることを特徴とする。
[適用例1]適用例1に係る圧電基板は、平板状の圧電基板の中央に上下に対向する所定の大きさの突起部を一体的に形成すると共に、該突起部の上面と、平板の周縁部の面とが同一球面状になるように圧電基板を構成することを特徴とする。
Claims (7)
- 主表面が曲面状である突出部を含む振動部と、
前記振動部の外周縁の全周に沿って設けられ、前記振動部よりも厚みの薄い薄肉部と、
を含み、
前記薄肉部は、
曲面状の周縁部と、
前記振動部と前記周縁部との間に設けられている平坦部と、
を含み、
前記突出部の前記主表面と前記周縁部とが同一球面状になるように構成されていることを特徴とする振動片。 - 請求項1において、
前記振動片の外形が、平面視で円形であることを特徴とする振動片。 - 請求項1において、
前記振動片の外形が、平面視で矩形であることを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記突出部と、前記薄肉部の前記平坦部及び前記周縁部とが、表裏に設けられていることを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至4のいずれか一項において、
前記振動部は厚み滑りで振動することを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至5のいずれか一項において、
前記振動片が水晶からなることを特徴とする振動片。 - 請求項6において、
前記水晶が、
ATカット水晶、BTカット水晶、FCカット水晶、ITカット水晶、SCカット水晶、及びNYカット水晶の少なくともいずれかであることを特徴とする振動片。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012068950A JP5435060B2 (ja) | 2005-05-16 | 2012-03-26 | 振動片 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143160 | 2005-05-16 | ||
JP2005143160 | 2005-05-16 | ||
JP2012068950A JP5435060B2 (ja) | 2005-05-16 | 2012-03-26 | 振動片 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006036078A Division JP4997780B2 (ja) | 2005-05-16 | 2006-02-14 | 圧電振動片の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012135043A JP2012135043A (ja) | 2012-07-12 |
JP5435060B2 true JP5435060B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=37425635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012068950A Expired - Fee Related JP5435060B2 (ja) | 2005-05-16 | 2012-03-26 | 振動片 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5435060B2 (ja) |
CN (1) | CN1866736A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9503045B2 (en) | 2015-01-19 | 2016-11-22 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
CN110379916B (zh) * | 2019-07-05 | 2020-10-27 | 中国科学院物理研究所 | 压电陶瓷元件的制备方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5845205B2 (ja) * | 1974-08-23 | 1983-10-07 | セイコーエプソン株式会社 | メサ型水晶振動子の製造方法 |
JPS5327384A (en) * | 1976-08-25 | 1978-03-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Supporting structure of thickness slide crystal vibrator |
JPS5769921A (en) * | 1980-10-20 | 1982-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thickness slip quartz oscillator |
JPS5847316A (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-19 | Seikosha Co Ltd | 厚みすべり圧電振動子およびその製法 |
JPS58141022A (ja) * | 1982-02-16 | 1983-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 厚みすべり水晶振動子 |
JPH03263908A (ja) * | 1989-12-20 | 1991-11-25 | Victor Co Of Japan Ltd | 電圧制御型水晶発振器用厚みすべり水晶振動子 |
JPH10107580A (ja) * | 1996-09-25 | 1998-04-24 | Daishinku Co | 厚みすべり水晶振動板 |
JP2001085970A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 高安定圧電発振器用振動子 |
-
2006
- 2006-05-16 CN CNA2006100802915A patent/CN1866736A/zh active Pending
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2012
- 2012-03-26 JP JP2012068950A patent/JP5435060B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012135043A (ja) | 2012-07-12 |
CN1866736A (zh) | 2006-11-22 |
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