JPS5845205B2 - メサ型水晶振動子の製造方法 - Google Patents

メサ型水晶振動子の製造方法

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JPS5845205B2
JPS5845205B2 JP49096845A JP9684574A JPS5845205B2 JP S5845205 B2 JPS5845205 B2 JP S5845205B2 JP 49096845 A JP49096845 A JP 49096845A JP 9684574 A JP9684574 A JP 9684574A JP S5845205 B2 JPS5845205 B2 JP S5845205B2
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JP
Japan
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crystal resonator
mesa
thin film
crystal
type
Prior art date
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Expired
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JP49096845A
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English (en)
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JPS5124892A (ja
Inventor
俊昭 尾形
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Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Suwa Seikosha KK
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はメサ型水晶振動子のメサ部の形成方法に関する
。
本発明の目的は数ＭＨｚの周波数をもつ小型で高性能な
腕時計用水晶振動子を安く提供することにある。
近年、ＩＣ製造技術の発達によって数ＭＨｚの周波数を
もつ水晶振動子の発振、分周が以前に比べ非常に小さな
消費電力で行えるようになり、１個の銀電池で１年以上
の連続運転が可能になってきた。
従って水晶振動子を周波数標準とする腕時計−いわゆる
水晶腕時計の分野においても従来の屈曲型水晶振動子に
換えて、温度特性、長期安定性耐衝撃性等多くの特性に
おいて優れているＡＴカット水晶振動子を周波数標準と
して使用する傾向が現われ始めている。
以下、図に依って説明する。
第１図ａはコンベックス型ＡＴカット水晶振動子を、ｂ
はベベル型ＡＴカット水晶振動子を示す図である。
図の１，４は水晶振動子を、図の２゜３．５．６はそれ
ぞれ電極を示す。
ＡＴカット水晶振動子は広い温度範囲にわたって温度特
性が良く、またエージング特性、耐震性にも優れたもの
をもっている為、腕時計用水晶振動子として優れている
。
しかし腕時計に使用可能な直径数ミリメートル厚さ十分
の数ミリの水晶振動子に、第１図ａ、ｂに示されたコン
ベックスあるいはベベル加工を施すことは、非常に手数
のかかる作業であり水晶振動子のコストが非常に高くな
ってしまう。
従って腕時計用水晶振動子としては製造の容易さから、
第２図に示されるメサ型ＡＴカット水晶振動子の方が優
れていると考える。
第２図ａは電極によって振動を閉じ込めたＡＴカット水
晶振動子と、ｂは周辺部と化学的処理によって溶解せし
めることによって振動を閉じ込めたＡＴカット水晶振動
子を示す。
図の７，１０は水晶振動子を、図の８．９．ｌＬ１２は
それぞれ電極を示す。
一般に１０ＭＨｚ以上では図のａの方法が用いられ、１
０ＭＨｚ以下では図のｂの方法が用いられている。
従って消費電力等の制約から、現在腕時計用水晶振動子
の周波数として使用可能な数ＭＨｚ以下の振動子をつく
るには、第２図すに示された振動子の外周部分を溶解し
てメサを形成する方法が用いられる。
第３図は化学的処理によって外周部を溶解して、メサ型
水晶振動子を作製する従来の方法を示す図である。
第３図Ａのように上下面を研磨された水晶円板の中央部
にマスク１３がＢのように形成された後、フッ化水素あ
るいはフッ化アンモンもしくはこれらの混合液によって
、マスクのない外周部が溶解せられたメサ部分がＣに示
すように形成される。
その後不必要になったマスクがＤのように剥離され、上
下面に電極をつけることによって第２図すのメサ型水晶
振動子が完成される。
以上述べたように従来のメサ形成方法では電極膜形成と
は別に、マスクを形成する必要があり、工程数が多くな
るため、コストが充分には低くならない。
本発明はこのような欠点を除去したものである。
第４図は本発明によるメサ型ＡＴカット水晶振動子の製
造と形状を示す図である。
本発明による振動子は電極膜としてつけられたＡｕ薄膜
１５゜１６をメサ形成のマスクとして使用する。
その為に作業工程が非常に簡単になる。
本発明による振動子は従来の化学的処理方法によってつ
くられたメサ型水晶振動子と違って、電極の取出し部１
７がメサ部と同じ厚さになるが将来上力ることはない。
図の１４は水晶振動子を図の１５．１６は電極膜を示す
。
本発明によるメサ型水晶振動子は、従来のメサ型ＡＴカ
ッ１−水晶振動子と同様の優れた特性をもち、しかも製
造工程が簡素化されコストが安くなる為、腕時計用水晶
振動子としての今後の使用が大いに期待できる。
【図面の簡単な説明】
第１図ａは、コンベックス型ＡＴカット水晶振動子と、
ｂはベベル型ＡＴカット水晶振動子を示す図である。 第２図ａは、従来の電極によって振動を閉じ込めるメサ
型水晶振動子を、ｂは従来の化学的処理方法によってつ
くられたメサ型水晶振動子を示す。 第３図は、従来のメサ部を化学的処理によって形成する
方法を示す図である。 従来の方法では電極膜以外に化学的処理のためのマスク
図の１３を形成する必要があった。 第４図は、本発明による化学的処理によるメサ部の形成
方法と本発明によるメサ型ＡＴカット水晶振動子を示す
図である。 本発明による方法においては電極膜１５．１６を化学的
処理マスクとして用いるため作業が非常に簡単になる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 上下面を研磨された水晶円板の中央部に励振電極を
    Ａｕ薄膜で形成するとともに、前記薄膜の一部を電極取
    り出し部として前記水晶円板外周部まで線状に延長させ
    、次いで前記Ａｕ薄膜をマスクとして前記水晶円板の上
    下面をエツチングによって溶解することにより、前記Ａ
    ｕ薄膜と対向する部分が他の部分に比べて厚くなるよう
    形成して成り、且つ前記励振電極部と前記電極取り出し
    部の水晶板厚が等しくなるよう形成することを特徴とす
    るメサ型水晶振動子の製造方法。
JP49096845A 1974-08-23 1974-08-23 メサ型水晶振動子の製造方法 Expired JPS5845205B2 (ja)

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JPS5124892A JPS5124892A (ja) 1976-02-28
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