JPS5850046B2 - 水晶ユニット - Google Patents

水晶ユニット

Info

Publication number
JPS5850046B2
JPS5850046B2 JP51041684A JP4168476A JPS5850046B2 JP S5850046 B2 JPS5850046 B2 JP S5850046B2 JP 51041684 A JP51041684 A JP 51041684A JP 4168476 A JP4168476 A JP 4168476A JP S5850046 B2 JPS5850046 B2 JP S5850046B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tuning fork
crystal resonator
fork type
type crystal
crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP51041684A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS52124891A (en
Inventor
宏文 川島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP51041684A priority Critical patent/JPS5850046B2/ja
Publication of JPS52124891A publication Critical patent/JPS52124891A/ja
Publication of JPS5850046B2 publication Critical patent/JPS5850046B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21Crystal tuning forks
    • H03H9/215Crystal tuning forks consisting of quartz

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Electric Clocks (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は水晶腕時計等に用いられる水晶ユニットに関す
る。
特に超小型、高性能水晶ユニットを提供することにより
、超小型、高精度水晶腕時計の実用化を図る。
近年、水晶振動子の小型化が進み、これらの振動子を水
晶時計の時間標準として使われるようになった。
これらの振動子に要求される条件は高精度、小型でしか
も安価であることである。
しかしこれらの条件を充すには色々な点で問題が有り実
用化が難しかった。
第1図は従来の+5°Xカツト音叉型水晶振動子の概観
図を示し、第2図はその電極配置を示す。
1は音叉型水晶、2は一方の電極、3は他の一方の電極
、ダイヤモンドホイールカッターや超音波加工等の機械
的加工方法によって音叉型水晶振動子は成形されている
この種の水晶振動子は側面に電極を有するので、水晶振
動子の動インピーダンスを低くすることができるが、水
晶振動子を形成する際、電極分割工程を要するため作業
時間が多くかかりコストダウンできないのが現状である
しかし最近ICの技術を利用したフォトマスクを利用し
てエツチングによって音叉型水晶振動子を加工する方法
が見い出された。
第3図はエツチングによって成形されたNTカット音叉
型水晶振動子の概観図とその切り出し角を示し、第4図
はその電極配置を示す。
4は音叉型水晶、5は一方の電極、6は他の一方の電極
で振動子はX板をZ軸を回転軸としてα0回転させ、さ
らにY′軸を回転軸として10回転させた板より成形さ
れる。
通常αは08〜15°、βは600〜75°に選ばれる
X、YおよびZ軸は各々水晶の電気軸、機械軸および光
軸である。
今仮に電極5,6に正負の電圧が印加されたとすると電
界は第4図に示したように電極5から電極6の方向に働
く。
しかし実際に音叉型水晶振動子を励振させるのはX軸方
向の成分であるからβが大きくなるとX軸方向の成分は
小さくなり水晶振動子の動インピーダンスは大きくなる
ので発振回路との結合が難しくなる。
β=900のときはX軸方向の電界成分が零となるため
共振しない。
即ちβを小さくすれば動インピーダンスを小さくするこ
とが可能であるが、βを小さくすると周波数一温度特性
の変曲点が負の方向に移動するため時計用振動子として
は使用できなくなる。
通常周波数一温度特性の変曲点は15℃〜30℃位に選
ばれる。
以上述べたようにNTカットをエツチングによって音叉
型水晶振動子を成形することは容易に可能でありコスト
ダウンを図ることができるが従来のNTカットの励振方
法では特性が悪く時計用振動子としては不適当であった
第5図は電極形状を変えることによって上記NTカット
の欠点をなくした本発明に係る薄い音叉型水晶振動子の
概観図である。
第6図はその電極配置を示す。7は音叉型水晶、8は一
方の電極、9は他の一方の電極である。
第5図はZ板をZ軸を回転軸としてα0回転させた板よ
り切り出されている。
通常は00〜15°に選ばれる。
X、YおよびZ軸は水晶の結晶軸である。
今仮に電極8,9に正負の電圧が印加されたとすると電
界の方向は第6図に示した矢印方向に働く。
このとき音叉腕の中心を境にして右側半分と左側半分で
は電界方向が逆であるから一方が伸びの歪を生じれば他
方は縮みの歪を生じるため音叉腕は屈曲を引き起す。
交流電圧を加えれば対称屈曲振動を起す。
この電極構造ではX軸方向の゛電界成分が従来のNTカ
ットに比し非常に大きいため水晶振動子の動インピーダ
ンスを小さくすることができる。
しかもこの音叉型水晶振動子の切り出し角度は従来のN
Tカットのβ−900に相当するため周波数一温度特性
の彎曲点を前記した15°C〜30℃に選ぶことができ
、特性の良い振動子を作ることができる。
同時にエツチングによって成形できるためコストダウン
が可能である。
第7図は水晶振動子の電気機械結合係数kによる周波数
変化(△f/f)と容量(C)との関係である。
電気機械結合係数によって周波数−容量特性の傾きは異
なってくる。
水晶腕時計として要求される特性の一つとして消費電流
特性がある。
即ち水晶腕時計の寿命を長く維持するにはできるだけ消
費電流を低く押えるのは当然であるが、これは発振回路
での容量Cと非常に密接な関係を持ち消費電流iはiα
Cの関係を有する。
消費電流を小さくするには使用する容量を小さくすれば
良い。
しかし第7図で容量を小さくするとkが大きい場合傾き
が急であるため容量当りの周波数変化が大きく歩度不安
定の原因となり好ましくない。
本発明では電気機械結合係数を適当に選ぶことによって
小さい容量範囲で安定な発振を維持するものである。
従来の水晶振動子ではに中0.04というのが一般的で
あった。
これは前述のように容量に対する周波数変化が大きくな
り、また周波数変化が小さい領域では容量が自動的に大
きくなってしまい消費電流が増大する。
本発明では、小さい容量でも周波数依存度が小さくなる
ような水晶振動子の電極形状の変更、並びに音叉の寸法
、水晶の切出し角度の選択によりkを小さくする。
すなわち、本発明では第5図に示す通り音叉型水晶振動
子の電極構造を改善することにより前記の目的を達する
ものであり、kの上限としてに=0.035以下であれ
ば、水晶発振回路でのコンデンサー依存度による安定性
を十分に維持し、同様に消費電流を小さくすることが可
能となる。
第3図に示した電極構造では前述したように電気機械変
換効率が小さい、即ちkが小さすぎると水晶振動子の動
インピーダンスが大きくなり、このような水晶振動子を
発振回路において安定発振を維持することは不可能に近
く。
極端な場合には発振しない場合がでてくる。
これを無理に励振させようとすると、ICの増巾率を極
めて大きくしなければならない。
すなわち消費電流が著しく大きくなり、特に時計用振動
子としては使用不可能となる。
本発明では第5図の電極構造によりkを0.025より
も大きくすることにより前記欠点を除去することができ
る。
第8図は従来の音叉型水晶振動子と本発明に係る音叉型
水晶振動子の真空度と水晶振動子の動インピーダンスR
8との関係を示す。
従来の音叉型水晶振動子の真空度−Ro特性(以下これ
を単に真空度特性と呼ぶ)は第8図のBに示したように
真空度曲線は比較的滑らかであるため、比較的低真空度
で水晶振動子を封止しても特性はあまり低下しなわった
しかし本発明の音叉型水晶振動子の真空度特性Aは真空
度に対するR8の変化が大きく低い真空度で水晶振動子
を封止した場合R8の上昇をまねき不具合を生じる。
即ち本発明は音叉型水晶振動子の真空度特性を充分に把
握することによって動インピーダンスR8の劣化を起こ
さない真空度で封止することにあり、本発明に係る音叉
型水晶振動子では0.1 mπH,9より高真空で封止
する必要がある。
第9図は従来の音叉型水晶振動子の支持構造の概観図を
示し、10は音叉型水晶振動子、11,12は吊線、1
3はプラグである。
従来の音叉型水晶振動子は側面に電極を有するため大き
な厚みとなるため質量が大きく第9図に示したような吊
線11,12で支持しないと外乱に対して弱い、すなわ
ち周波数変化が大きく問題である。
さらに小品振動子を真空中で封止する際、封止前後での
水晶振動子の周波数シフトを生じるという不具合があっ
た。
しかし外乱に対する周波数シフトは吊線の寸度、形状を
かえることによつて問題がなくなったが封止の際の周波
数シフトは今なお現在でも問題となっているのが現状で
ある。
本発明は水晶振動子の製造工程をかえることによって前
記欠点を除去した。
即ち従来の工程では周波数調整後封止されていたが、本
発明では封止後周波数調整を行なうため封正による周波
数シフトは問題がなくなり、要求した周波数に合せ込む
ことが可能となった。
第10図は本発明の一実施例の概観図を示し、14は音
叉型水晶振動子、15は支持線、16はプラグ、17の
点線はガラスを示す。
本発明の実施例では水晶振動子14はリード線15に半
田、接着剤等によって固着されている、プラグ16とガ
ラス17は真空中で半田等によって封止される。
封止された水晶ユニットは最後にレーザー光線によって
所望の周波数に調整される。
以上述べたように本発明は音叉型水晶振動子の電極構造
の改善により、特性の向上した音叉型水晶振動子をエツ
チングによって成形することができるためコストダウン
が可能となった。
さらに前記水晶振動子の電気機械結合係数を適当に選ぶ
ことにより水晶発振回路での安定性を充分に維持できし
かも消費電流を小さくすることができるので長寿命水晶
時計を提供することができる。
しかも高真空で前記振動子は封止されるため特性が安定
している。
さらに封止後周波数調整が行なわれるので周波数合せ込
み精度が抜群に良く、水晶時計のアセンブル工程が容易
になり、それ故前記水晶ユニットを提供することにより
超小型、高性能水晶腕時計の実用化が可能になった。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の音叉型水晶振動子の概観図、第2図は第
1図の音叉型水晶振動子の電極配置図、第3図は従来の
音叉型水晶振動子の概観図、第4図は第3図の音叉型水
晶振動子の電極配置図、第5図は本発明に係る音叉型水
晶振動子の概観図、第6図は第5図の音叉型水晶振動子
の電極配置図、第7図は容量と周波数変化との関係を示
す図、第8図は真空度と水晶振動子の動インピーダンス
を示す図、第9図は従来の音叉型水晶振動子の支持構造
を示す図、第10図は本発明の一実施例を示す概観図で
ある。 1.4,7,10,14・・・・・・水晶、2,3,5
゜6.8,9・・・・・・電極、α、β・・・・・・切
り出し角度、11.12・・・・・・吊線、・15・・
・・・・リード線、17・・・・・・ガラス、A・・・
・・・本発明の音叉型水晶振動子、B・・・・・・従来
の音叉型水晶振動子。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 音叉型水晶振動子を有する水晶ユニットにおいて、
    前記音叉型水晶振動子はエツチングによって形成され、
    前記音叉型水晶振動子の電気機械結合係数rが0.02
    5から0.035の範囲にあるとともに、振動子基部と
    リード線とが電気的、機械的に直接接続され、かつ、前
    記音叉型水晶振動子は真空度が0.1 mmHgより高
    い真空中で容器に封入されていることを特徴とする水晶
    ユニット。
JP51041684A 1976-04-13 1976-04-13 水晶ユニット Expired JPS5850046B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP51041684A JPS5850046B2 (ja) 1976-04-13 1976-04-13 水晶ユニット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP51041684A JPS5850046B2 (ja) 1976-04-13 1976-04-13 水晶ユニット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS52124891A JPS52124891A (en) 1977-10-20
JPS5850046B2 true JPS5850046B2 (ja) 1983-11-08

Family

ID=12615242

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51041684A Expired JPS5850046B2 (ja) 1976-04-13 1976-04-13 水晶ユニット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5850046B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6111446U (ja) * 1984-06-27 1986-01-23 河西工業株式会社 自動車用防音材
JPS63159358U (ja) * 1987-04-08 1988-10-19
JPH046387Y2 (ja) * 1986-03-06 1992-02-21

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS498212A (ja) * 1972-03-22 1974-01-24

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS498212A (ja) * 1972-03-22 1974-01-24

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6111446U (ja) * 1984-06-27 1986-01-23 河西工業株式会社 自動車用防音材
JPH046387Y2 (ja) * 1986-03-06 1992-02-21
JPS63159358U (ja) * 1987-04-08 1988-10-19

Also Published As

Publication number Publication date
JPS52124891A (en) 1977-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3969641A (en) Quartz crystal vibrator
US4377765A (en) Mode coupled tuning fork type quartz crystal vibrator and method of tuning
US4418299A (en) Face-shear mode quartz crystal vibrators and method of manufacture
US3128397A (en) Fork-shaped quartz oscillator for audible frequency
JPS583602B2 (ja) スイシヨウシンドウシ
JPH0232807B2 (ja)
KR20020038462A (ko) 라메 모드 수정 진동자
JPH03804B2 (ja)
JPS5851687B2 (ja) 音叉型水晶振動子
JPS5850046B2 (ja) 水晶ユニット
JP2007189492A (ja) 圧電基板の製造方法、圧電基板、圧電振動子、及び圧電発振器
JPS6367364B2 (ja)
JPS5851689B2 (ja) 音叉型水晶振動子
JPS581849B2 (ja) 水晶振動子
JP2864242B2 (ja) 水晶振動子
JPH0870232A (ja) 弾性表面波素子及び発振器
JPS59174010A (ja) 矩形状atカツト水晶振動子
JPS6038894B2 (ja) 水晶振動子
JPH0666631B2 (ja) 水晶振動子
JP2884569B2 (ja) オーバートーン用矩形状atカット水晶振動子の製造方法
JPS644694B2 (ja)
JPS6127221Y2 (ja)
JP2000040937A (ja) Scカットの水晶振動子
JPS6048928B2 (ja) 音叉型水晶振動子
JPS5851686B2 (ja) 音叉型水晶振動子