JP2008513325A - シランを製造する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
HxSiCl4−x+HySiCl4−y→Hx+1SiCl4−x−1+Hy−1SiCl4−y+1 (I)
この場合にxは0〜3であってもよく、yは1〜4であってもよい。反応式(I)によるこの反応の例はTCSからのDCSの製造である(反応式Iにおいてx=y=1である)(欧州特許第0474265号)。
表1:クロロシランとモノシランの物理的データ
Claims (19)
- 触媒の存在で、少なくとも1個の比較的高度に塩素化されたシランの不均化により一般式HnSiCl4−n(nは1,2,3および/または4である)のシランを製造する装置であり、前記装置は、塔底部(1.1)および塔頭部(1.2)を有する少なくとも1つの蒸留塔(1)、触媒床(3)を有する少なくとも1つの側面反応器(2)、少なくとも1つの供給物入口(1.3)、生成物取り出し口(1.4)および少なくとも1つの他の生成物取り出し口(1.5または1.8)をベースとする装置であり、蒸留塔(1)が少なくとも1つの煙突トレー(4)を備えており、少なくとも1つの側面反応器(2)が少なくとも3個の管(5,6,7)により蒸留塔(1)に接続され、煙突トレー(4、4.1)からの凝縮物を排出するための蒸留塔(1)への管(5)の接続位置が触媒床(3、3.1または3.2)の上側端部より高い位置にあり、側面反応器(2)から液相を排出するための管(6)が蒸留塔(1)に煙突トレー(4)より下で開口し(6.1)、この開口(6、6.1)が触媒床(3、3.1または3.2)の上側端部より低い位置にあり、結合した側面反応器(2)から気相を排出するための管(7)が蒸留塔(1)に、煙突トレー(4)の高さ(4.1)より高い位置で開口する(7.1)ことを特徴とするシランを製造する装置。
- 加熱可能な塔底部(1.6、1.1)を有する請求項1記載の装置。
- 塔頭部(1.2)に低温冷却器(1.7)を有する請求項1または2記載の装置。
- 2個、3個、4個または5個の反応器装置を有し、1つの反応器装置が少なくともサブユニット(2)、(3)、(4)、(5)、(6)および(7)を有する請求項1から3までのいずれか1項記載の装置。
- 反応器装置1個当たり並列に接続された2個または3個の反応器(2,3)を有する請求項4記載の装置。
- 少なくとも1個の塔充填物(8)を有する請求項1から5までのいずれか1項記載の装置。
- 少なくとも1個の付加的な生成物取り出し口(1.5)を有する請求項1から6までのいずれか1項記載の装置。
- 触媒が触媒床(3)にばらばらにまたは整列した形で存在する請求項1から7までのいずれか1項記載の装置。
- 触媒が触媒床(3)に構造化されたメッシュ充填物の形でまたはメッシュから形成される充填部品の形で存在するかまたは触媒床(3)が触媒活性材料から形成される充填部品または内装部品を有する請求項8記載の装置。
- 触媒床(3)に少なくとも1個の遮蔽管または遮蔽物を有する支持体格子を有する請求項1から9までのいずれか1項記載の装置。
- 触媒床(3)への流れ(5.1)が下から管(5)により流れるように、側面反応器(2)、触媒床(3)、管(5)、(6)および(7)が煙突トレー(4)および蒸留塔(1)に関して配置される請求項1から10までのいずれか1項記載の装置。
- 運転装置の充填、運転、排出および洗浄のための付加的な管および調節装置を有する請求項1から11までのいずれか1項記載の装置。
- 請求項1から12までのいずれか1項記載の装置中で、触媒の存在で、−120〜180℃の範囲の温度および0.1〜30バールの圧力で、高級クロロシランの不均化により一般式HnSiCl4−n(nは1,2,3および/または4である)のシランを製造する方法において、液体水素クロロシランが触媒と接触するように、前記装置に少なくとも触媒床の高さまで液体水素クロロシランを充填し、出発物質を塔入口により装置から排出される生成物の量に相当する量で連続的に導入することを特徴とするシランの製造方法。
- 使用される触媒が第三級アミノ基を有するマクロポアーのイオン交換樹脂またはアルキルアミノトリアルコキシシランで変性または含浸された多孔質支持体である請求項13記載の方法。
- 触媒が完全にまたは部分的に液体で湿潤にされている請求項13または14記載の方法。
- 出発物質を直接蒸留塔におよび/または少なくとも1個の側面反応器に供給する請求項13から15までのいずれか1項記載の方法。
- 出発物質を蒸留塔の中央部分に供給する請求項16記載の方法。
- 側面反応器の触媒床が−80〜120℃の温度で運転する請求項13から17までのいずれか1項記載の方法。
- (i)高級クロロシランとしてトリクロロシランを使用し、生成物として実質的にモノシラン、モノクロロシラン、ジクロロシラン、およびテトラクロロシランまたはこれらの化合物の少なくとも2個の混合物が得られ、または(ii)ジクロロシランを使用し、モノシラン、モノクロロシラン、トリクロロシラン、および四塩化珪素、またはこれらの化合物の少なくとも2個の混合物が得られる請求項13から18までのいずれか1項記載の方法。
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