JPS60145907A - シラン化合物の連続的製造方法 - Google Patents
シラン化合物の連続的製造方法Info
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- JPS60145907A JPS60145907A JP59003034A JP303484A JPS60145907A JP S60145907 A JPS60145907 A JP S60145907A JP 59003034 A JP59003034 A JP 59003034A JP 303484 A JP303484 A JP 303484A JP S60145907 A JPS60145907 A JP S60145907A
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- B01J31/00—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds
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- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J31/00—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds
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- B01J31/0235—Nitrogen containing compounds
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
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- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/04—Hydrides of silicon
- C01B33/043—Monosilane
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は水素化塩化珪素を反応塔に供給して、特定の触
媒の存在下で不均斉化反応させると共に蒸留効果による
分離を同時に行わせて、ジクロルシラン、モノクロルシ
ラン、モノシラン等のシラン化合物を連続的に取得する
シラン化合物の連続的製法に関するものである。
媒の存在下で不均斉化反応させると共に蒸留効果による
分離を同時に行わせて、ジクロルシラン、モノクロルシ
ラン、モノシラン等のシラン化合物を連続的に取得する
シラン化合物の連続的製法に関するものである。
ジクロルシラン、モノクロルシラン及びモノシラン等は
半導体や太陽電池等の素子に使用される高純度シリコン
の原料として益々需要の増加が見込まれており、特にシ
クロルシランおよびモノシランを大量に効率よく製造す
ることが要望されている。
半導体や太陽電池等の素子に使用される高純度シリコン
の原料として益々需要の増加が見込まれており、特にシ
クロルシランおよびモノシランを大量に効率よく製造す
ることが要望されている。
従来からクロルシラン類の不均斉化反応は公知であり、
またその触媒についてはいろいろ提案されている、例え
ば第６級アミン又は第４級アンモニウムを含む網目状陰
イオン交換樹脂、Ｎ＼メチル２ピロリドン、−メチルイ
ミダゾール、テトラメチル尿素、ジメチルシアナミド、
テトラメチルグアニジン、トリメチルシリルイミダゾー
ル、ベンゾチアゾール、ＮＮジメチルアセトアミド等が
あげられる。これらの触媒と例えばトリクロルシランと
接触させると、次のｆｉ＋、 ｆ２＋及び（３１式の不
均斉化反応式に従ってジクロルシラン、モノクロルシラ
ンおよびモノシランが生成する。
またその触媒についてはいろいろ提案されている、例え
ば第６級アミン又は第４級アンモニウムを含む網目状陰
イオン交換樹脂、Ｎ＼メチル２ピロリドン、−メチルイ
ミダゾール、テトラメチル尿素、ジメチルシアナミド、
テトラメチルグアニジン、トリメチルシリルイミダゾー
ル、ベンゾチアゾール、ＮＮジメチルアセトアミド等が
あげられる。これらの触媒と例えばトリクロルシランと
接触させると、次のｆｉ＋、 ｆ２＋及び（３１式の不
均斉化反応式に従ってジクロルシラン、モノクロルシラ
ンおよびモノシランが生成する。
２５ｉＨＣ／３？ ５ｉＣＡ’、 ＋ ５ｉＨ２（Ｊ２
（工１２５ＩＨ２ｃｚ２（−ブ ５ｉＨＣ１３＋ ５ｉ
Ｈ３Ｃ／ （２１２５ｉＨ３Ｃｌ＃５ｉＨ２ＣＩ２ ＋
５ｉＨｔ （３１このようにして塩素原子の多い原料
水素化塩化珪素から、塩素原子の少ないシラン化合物を
取得することができる。さらに詳しく説明すると、例え
ば触媒として第３級アミンを含む陰イオン交換樹脂を充
填した固定床式の反応塔において、反応ルシラン、ジク
ロルシラン、トリクロルシラン及び四塩化珪素からなる
反恋生成物が得られる。しかし前記不均斉化反応式（１
１，（２＋および（３）式は平衡反応であるので、たと
え反応時間を大きくとったにしても原料水素化塩化珪素
を１００チ反応完結させることは出来ない。例えば、ト
リクロルシランおよびジクロルシランを原料として不均
斉化反応させた場合に反応が平衡状態に到達した時のそ
れぞれモノシラン、モノクロルシラン、ジクロルシラン
、トリクロルシランおよび四塩化珪素の温度８０℃にお
ける不均斉化反応平衡組成を表に示すと次のとおりであ
る。
（工１２５ＩＨ２ｃｚ２（−ブ ５ｉＨＣ１３＋ ５ｉ
Ｈ３Ｃ／ （２１２５ｉＨ３Ｃｌ＃５ｉＨ２ＣＩ２ ＋
５ｉＨｔ （３１このようにして塩素原子の多い原料
水素化塩化珪素から、塩素原子の少ないシラン化合物を
取得することができる。さらに詳しく説明すると、例え
ば触媒として第３級アミンを含む陰イオン交換樹脂を充
填した固定床式の反応塔において、反応ルシラン、ジク
ロルシラン、トリクロルシラン及び四塩化珪素からなる
反恋生成物が得られる。しかし前記不均斉化反応式（１
１，（２＋および（３）式は平衡反応であるので、たと
え反応時間を大きくとったにしても原料水素化塩化珪素
を１００チ反応完結させることは出来ない。例えば、ト
リクロルシランおよびジクロルシランを原料として不均
斉化反応させた場合に反応が平衡状態に到達した時のそ
れぞれモノシラン、モノクロルシラン、ジクロルシラン
、トリクロルシランおよび四塩化珪素の温度８０℃にお
ける不均斉化反応平衡組成を表に示すと次のとおりであ
る。
また、トリクロルシランを原料として不均斉化反応を平
衡状態にまで到達させたとしても、反応生成物に含まれ
るモノシランおよびモノクロルシランはそれぞれ０．０
４モルチおよび肌５２モルチであり、１段反応ではモノ
クロルシランあるいはモノシランを製造するにはあまり
にも反応率が低い。そこで例えばトリクロルシランを原
料としてモノシランを製造する場合には１段目の反応器
の反応生成物を蒸留装置にかけジクロルシランが主成分
であるモノシラン、モノクロルシラン及びジクロルシラ
ンの混合物（へ組成物）とトリクロルシラン及び四塩化
珪素混合物（Ｂ組成物）とに分離し、次いでへ組成物を
２段目の反応器に供給すると、その不均斉化反応の平衡
組成は表から明かなようにモノシラン１０／２モル係含
有するものであるので、この反応生成物を蒸留装置に供
給するとモノシランを分離回収することができる。［２
かし不均斉化反応の反応率が低いために未反応物乞大量
に循還使用せねばならず、反応器および蒸留塔の運転に
多大なエネルギーを必要と′１−る欠点があった。
衡状態にまで到達させたとしても、反応生成物に含まれ
るモノシランおよびモノクロルシランはそれぞれ０．０
４モルチおよび肌５２モルチであり、１段反応ではモノ
クロルシランあるいはモノシランを製造するにはあまり
にも反応率が低い。そこで例えばトリクロルシランを原
料としてモノシランを製造する場合には１段目の反応器
の反応生成物を蒸留装置にかけジクロルシランが主成分
であるモノシラン、モノクロルシラン及びジクロルシラ
ンの混合物（へ組成物）とトリクロルシラン及び四塩化
珪素混合物（Ｂ組成物）とに分離し、次いでへ組成物を
２段目の反応器に供給すると、その不均斉化反応の平衡
組成は表から明かなようにモノシラン１０／２モル係含
有するものであるので、この反応生成物を蒸留装置に供
給するとモノシランを分離回収することができる。［２
かし不均斉化反応の反応率が低いために未反応物乞大量
に循還使用せねばならず、反応器および蒸留塔の運転に
多大なエネルギーを必要と′１−る欠点があった。
例えばＮメチル２′ｅ！′ロリドン、メチルイミダゾー
ル、テトラメチル尿素、ジメチルシアナミド、テトラメ
チルグアニジン、トリメチルシリルイミダゾール、ベン
ゾチアゾール、ＮＮジメチルアセトアミド等はシラン化
合物の不均斉化反応に触媒作用を示すが、そのもの自体
が固体かあるいはトリクロルシラン、シクロルシラン等
のシラン化合物と接触すると粉末固体となり、不均斉化
反応で生じたシラン化合物との分離が困難で工業的生産
規模として実施は困難である。
ル、テトラメチル尿素、ジメチルシアナミド、テトラメ
チルグアニジン、トリメチルシリルイミダゾール、ベン
ゾチアゾール、ＮＮジメチルアセトアミド等はシラン化
合物の不均斉化反応に触媒作用を示すが、そのもの自体
が固体かあるいはトリクロルシラン、シクロルシラン等
のシラン化合物と接触すると粉末固体となり、不均斉化
反応で生じたシラン化合物との分離が困難で工業的生産
規模として実施は困難である。
本発明はこれらの欠点を解決したもので、涼科水素化塩
化珪素を反応塔に供給し、その塔内において不均斉化反
応させながら蒸留効果により沸点゛の低いモノシラン、
モノクロルシランおよび又はジクロルシランを反応塔の
塔頂から取得し、一方、塔底から四塩化珪素およびトリ
クロルシランを含む触媒混合溶液を抜き取り、次いで前
記混合溶液からシラン化合物と触媒液とを分離し、さら
にその触媒液を反応塔に循還させるモノシラン、モノク
ロルシラン又はジクロルシラン等のシラン化合物を連続
的に製造する方法を提供しようとするものである。すな
わち本発明は、トリクロルシラン等の水素化塩化珪素を
不均斉化反応させてモノシランあるいはシクロルシラン
等のシラン化合物Ｖ連続的に製造するのにあたり不均斉
化反応触媒として下記一般式で示される第６級脂肪族炭
化水素置換アミンを存在させた蒸留機能を有する反応塔
に原料水素化塩化珪素を供給して反応塔の上部より原料
ｌ水素化塩化珪素より水素原子の多いシラン化合物を取
得し、一方反応塔の底部より副生ずる塩素原子の多いシ
ラン化合物及び触媒からなる混合溶液を抜き取り次いで
、前記混合溶液中のシラン、化合物と触媒とを分離し、
さらに分離された触媒を反応塔に循還することを特徴と
するシラン化合物、の連続的製造方法である。
化珪素を反応塔に供給し、その塔内において不均斉化反
応させながら蒸留効果により沸点゛の低いモノシラン、
モノクロルシランおよび又はジクロルシランを反応塔の
塔頂から取得し、一方、塔底から四塩化珪素およびトリ
クロルシランを含む触媒混合溶液を抜き取り、次いで前
記混合溶液からシラン化合物と触媒液とを分離し、さら
にその触媒液を反応塔に循還させるモノシラン、モノク
ロルシラン又はジクロルシラン等のシラン化合物を連続
的に製造する方法を提供しようとするものである。すな
わち本発明は、トリクロルシラン等の水素化塩化珪素を
不均斉化反応させてモノシランあるいはシクロルシラン
等のシラン化合物Ｖ連続的に製造するのにあたり不均斉
化反応触媒として下記一般式で示される第６級脂肪族炭
化水素置換アミンを存在させた蒸留機能を有する反応塔
に原料水素化塩化珪素を供給して反応塔の上部より原料
ｌ水素化塩化珪素より水素原子の多いシラン化合物を取
得し、一方反応塔の底部より副生ずる塩素原子の多いシ
ラン化合物及び触媒からなる混合溶液を抜き取り次いで
、前記混合溶液中のシラン、化合物と触媒とを分離し、
さらに分離された触媒を反応塔に循還することを特徴と
するシラン化合物、の連続的製造方法である。
一般式
（但し、式中Ｒ１ｒ Ｒ２＊ Ｒ３は脂肪族炭化水素基
、そのＲ工、Ｒ２，及びＲ３の炭素数の和が１０以上で
あり、しかもそのＲ１゜Ｒ２＋ ”３はそれぞれ同種又
は異種のものである。） 以下さらに本発明について詳しく説明する。本発明にお
いて一水素化塩化珪素とはモノクロルシラン（５ｉＨ３
ＣＪｌ ）、ジクロルシラン（５ｉＨ２ＣＪ２）又はト
リクロルシラン（Ｓｊ、ＨＣＪ３’）等である。又本れ
る第３級脂肪族炭化水素置換アミンである。
、そのＲ工、Ｒ２，及びＲ３の炭素数の和が１０以上で
あり、しかもそのＲ１゜Ｒ２＋ ”３はそれぞれ同種又
は異種のものである。） 以下さらに本発明について詳しく説明する。本発明にお
いて一水素化塩化珪素とはモノクロルシラン（５ｉＨ３
ＣＪｌ ）、ジクロルシラン（５ｉＨ２ＣＪ２）又はト
リクロルシラン（Ｓｊ、ＨＣＪ３’）等である。又本れ
る第３級脂肪族炭化水素置換アミンである。
（但１一式中のＲ１，Ｒ２，Ｒ３は脂肪族炭化水素基、
そのＲ１，Ｒ２及びＲ３の炭素数の和が１０以上であり
、しかもそのＲ，、Ｒ２およびＲ３，は同種又は譬ν 異種のものである。）その具体例としてはｍ気− ｎ−オクチルアミン、トリブチルアミン等があげ′△ られる。脂肪族炭化水素基の炭素数の和が１０以上と限
定した理由は１０未満の第６級脂肪族炭化水素置換アミ
ンとトリクロルシラン、シクロルシラン、四塩化珪素等
のシラン化合物と接触すると触媒作用を有するが固型物
なり易い。しかし本発明に用いる反応塔は蒸留機能を有
する段塔又は充填塔であるのでこれらの固型物はこれら
の段あるいは充填物を閉塞させ、円滑な連続運転が行う
ことができない。脂肪族炭化水素基の炭素数の和が１０
以上であれば固型物の生成が少なく使用可能であるが、
炭素数の和が１２〜４０であるものが好ましめ。又この
触媒量は原料水素化塩化珪素１００モル部に対して１〜
１００モル部である。
そのＲ１，Ｒ２及びＲ３の炭素数の和が１０以上であり
、しかもそのＲ，、Ｒ２およびＲ３，は同種又は譬ν 異種のものである。）その具体例としてはｍ気− ｎ−オクチルアミン、トリブチルアミン等があげ′△ られる。脂肪族炭化水素基の炭素数の和が１０以上と限
定した理由は１０未満の第６級脂肪族炭化水素置換アミ
ンとトリクロルシラン、シクロルシラン、四塩化珪素等
のシラン化合物と接触すると触媒作用を有するが固型物
なり易い。しかし本発明に用いる反応塔は蒸留機能を有
する段塔又は充填塔であるのでこれらの固型物はこれら
の段あるいは充填物を閉塞させ、円滑な連続運転が行う
ことができない。脂肪族炭化水素基の炭素数の和が１０
以上であれば固型物の生成が少なく使用可能であるが、
炭素数の和が１２〜４０であるものが好ましめ。又この
触媒量は原料水素化塩化珪素１００モル部に対して１〜
１００モル部である。
本発明で使用される反応塔は蒸留塔形式の反応塔であり
、例えばシーブトレイあるいはバブルキャップトレイ等
で仕切られた段塔あるｂはラシヒリングあるいはポール
リング等の充填物を充填した充填塔である。これら蒸留
機能を有する反応塔であればどんな構造のものでもよい
が、本発明に関するシラン化合物の不均斉化反応が液相
反応であるので、液ホールドアツプの大きい黛な云溝力
反応塔が望ましい。
、例えばシーブトレイあるいはバブルキャップトレイ等
で仕切られた段塔あるｂはラシヒリングあるいはポール
リング等の充填物を充填した充填塔である。これら蒸留
機能を有する反応塔であればどんな構造のものでもよい
が、本発明に関するシラン化合物の不均斉化反応が液相
反応であるので、液ホールドアツプの大きい黛な云溝力
反応塔が望ましい。
本発明の反応塔内は反応と同時に蒸留による分、離操作
を行わせ、るので、塔頂部の温度は低く、塔底部の温度
は高くなり反応塔内に温度分布が生ずるので、反応温度
も一定でないが、２０〜３００’Ｃの範囲で行われる。
を行わせ、るので、塔頂部の温度は低く、塔底部の温度
は高くなり反応塔内に温度分布が生ずるので、反応温度
も一定でないが、２０〜３００’Ｃの範囲で行われる。
温度２０℃未満では反応速度力′ζ低く不均斉化反応が
笑質的に進行せず、又３００℃をこえると触媒として使
用される第６級脂肪族炭化水素置換アミンの熱分解が生
じ易く好ましく記反応温度て保つためには加圧にする心
安があり、圧力はデージ圧力で０〜４０ａｔｍで行われ
る。
笑質的に進行せず、又３００℃をこえると触媒として使
用される第６級脂肪族炭化水素置換アミンの熱分解が生
じ易く好ましく記反応温度て保つためには加圧にする心
安があり、圧力はデージ圧力で０〜４０ａｔｍで行われ
る。
前記した触媒を蒸留機能？有する反応塔に存在させて水
素化塩化珪素を不均斉化反応させると、前述した不均斉
化反応式ｔｌｌ、 ＋２１および（３；が同時に進行シ
、モノシラン、モノクロルシラン、ジクロルシラン、ト
リクロルシラン及び四塩化珪素が生成する。その沸点は
それぞれ一１１８℃、−６０°Ｃ１８°Ｇ、３２℃及び
５６℃であり、又反応器自体が蒸留機能を有しているの
で、反応塔の上からモノシラン、モノクロルシラン、ジ
クロルシラン、トリクロルシラン、四塩化珪素の順序に
濃度分布が生ずる。それ故同−反応塔内で反応と分離が
同時に起っているので表に示した如き平衡組成の制限を
受けず、従来法よりはるかに大きな反応率が幕 得られるばかりか、数基の反応塊と数基の蒸留塔を組合
わせる必要もなく、分離回収のエネルギー１は大巾に少
なくて済む利点を有する。
素化塩化珪素を不均斉化反応させると、前述した不均斉
化反応式ｔｌｌ、 ＋２１および（３；が同時に進行シ
、モノシラン、モノクロルシラン、ジクロルシラン、ト
リクロルシラン及び四塩化珪素が生成する。その沸点は
それぞれ一１１８℃、−６０°Ｃ１８°Ｇ、３２℃及び
５６℃であり、又反応器自体が蒸留機能を有しているの
で、反応塔の上からモノシラン、モノクロルシラン、ジ
クロルシラン、トリクロルシラン、四塩化珪素の順序に
濃度分布が生ずる。それ故同−反応塔内で反応と分離が
同時に起っているので表に示した如き平衡組成の制限を
受けず、従来法よりはるかに大きな反応率が幕 得られるばかりか、数基の反応塊と数基の蒸留塔を組合
わせる必要もなく、分離回収のエネルギー１は大巾に少
なくて済む利点を有する。
以下図面に従ってさらに本発明を説明する。図面は本発
明の実施例に用いる装置の説明図である。
明の実施例に用いる装置の説明図である。
トリクロルシランあるいはジクロルシラン等の水垢化塩
化珪素を原料供給導管４を通して反応塔１の中上段部に
供給する。反応塔１は塔径８３ｍ７ｎ。
化珪素を原料供給導管４を通して反応塔１の中上段部に
供給する。反応塔１は塔径８３ｍ７ｎ。
高さ２，０００間で１８の段数乞有するステンレス鋼製
蒸留塔で、各トレイは孔径１．５朋の孔が３７あるシー
ブトレイである。反応塔１の上部に＆ｉミステンレス製
の凝縮器３を設けており、ジャケットに冷却水を通して
冷却出来るようになっている。
蒸留塔で、各トレイは孔径１．５朋の孔が３７あるシー
ブトレイである。反応塔１の上部に＆ｉミステンレス製
の凝縮器３を設けており、ジャケットに冷却水を通して
冷却出来るようになっている。
又反応塔１の下部には最大出力Ｉ ＫＷのヒーターを内
蔵するりボイラー２が設けられてしる。
蔵するりボイラー２が設けられてしる。
反応塔１では不均斉化反応と蒸留による分離が同時に起
り不均斉化反応で生じた低沸点成分に富んだガスは上方
に移動し凝縮器３で冷却され同伴する高沸点成分を凝縮
した後、液体窒素で冷却されたステンレス鋼製凝縮器６
で凝縮させ、液体で補集貯槽γに回収される。
り不均斉化反応で生じた低沸点成分に富んだガスは上方
に移動し凝縮器３で冷却され同伴する高沸点成分を凝縮
した後、液体窒素で冷却されたステンレス鋼製凝縮器６
で凝縮させ、液体で補集貯槽γに回収される。
一方不均斉化反応で生じたトリクロルシラン、四塩化珪
素等の高飾点成分は塔底に移行し、触媒と共にリボイラ
ー２よりその液面を調節しつつ蒸発槽９に抜取られる。
素等の高飾点成分は塔底に移行し、触媒と共にリボイラ
ー２よりその液面を調節しつつ蒸発槽９に抜取られる。
蒸発槽９は内容積３１！の攪拌機付ステンレス鋼製容器
からなりこれにジャケットを設けられている。それに加
熱された熱媒油を循環させ、触媒槽を加温されるように
なっている。この蒸発４１Ｉ９は不均斉化反応で生じｆ
こ四塩化珪素の沸点より高く、触媒の第３級脂肪族炭化
水素置換アミンより低い温度で操作され、リボイラー２
より抜取られたトリクロルシランおよび四塩化珪素は蒸
発し、メタノールトライアイスで冷却された凝縮器１１
で補集され、貯槽１２に回収される。蒸発槽９で蒸発し
残った第６級脂肪族炭化水素置換アミン触媒はボンｆ１
０により抜取られ、ト９ 図面に示す蒸発槽９に予め触媒として匙去級ｎ−オクチ
ルアミン’１ｘ２１光模し、蒸発槽９に設けられたジャ
ケットの熱媒油を加熱し触媒液温度を１００℃に保った
。又反応塔上部凝縮器３は一８℃の塩水を通水し冷却し
た。反応器下部リボイラー２を電気ヒーターにより加熱
し、反応塔１にトリクロルシランを２．０ ｋｇ／ ｈ
ｒの速度で原料供給導管４かも、又触媒循環ポンプ、１
０により蒸発槽９内の無寺囃ｎ−オクチルアミンを５３
０ 、ｌｉｌ ／ｈｒの速度で反応塔１に供給した。反
応塔１の内部圧力は調節弁５により調節しつつデージ圧
力で９ｋｇ／ｃＩＴＬ２に保った。又リボイラー２の液
面を調節弁８により一定になるように調節した。
からなりこれにジャケットを設けられている。それに加
熱された熱媒油を循環させ、触媒槽を加温されるように
なっている。この蒸発４１Ｉ９は不均斉化反応で生じｆ
こ四塩化珪素の沸点より高く、触媒の第３級脂肪族炭化
水素置換アミンより低い温度で操作され、リボイラー２
より抜取られたトリクロルシランおよび四塩化珪素は蒸
発し、メタノールトライアイスで冷却された凝縮器１１
で補集され、貯槽１２に回収される。蒸発槽９で蒸発し
残った第６級脂肪族炭化水素置換アミン触媒はボンｆ１
０により抜取られ、ト９ 図面に示す蒸発槽９に予め触媒として匙去級ｎ−オクチ
ルアミン’１ｘ２１光模し、蒸発槽９に設けられたジャ
ケットの熱媒油を加熱し触媒液温度を１００℃に保った
。又反応塔上部凝縮器３は一８℃の塩水を通水し冷却し
た。反応器下部リボイラー２を電気ヒーターにより加熱
し、反応塔１にトリクロルシランを２．０ ｋｇ／ ｈ
ｒの速度で原料供給導管４かも、又触媒循環ポンプ、１
０により蒸発槽９内の無寺囃ｎ−オクチルアミンを５３
０ 、ｌｉｌ ／ｈｒの速度で反応塔１に供給した。反
応塔１の内部圧力は調節弁５により調節しつつデージ圧
力で９ｋｇ／ｃＩＴＬ２に保った。又リボイラー２の液
面を調節弁８により一定になるように調節した。
反応塔１の塔頂温度は５５℃、塔底のリボイラー２は１
４８℃に保持し２０時間連続運転を行す塔頂からはモノ
シラン８５％、モノクロルシラン８．５％、ジクロルシ
ラン６．５優の混合ガスが８０ｇ ／ ｈｒの速度で得
られた。又蒸発槽９で蒸発したクロルシランを凝縮器１
１で冷却し１−９２に９／ｈｒの速度で貯槽１２に回収
した。回収液の組成をガスクロマトグラフィーにより分
析したところトリクロルシラン５５襲、四塩化珪素４５
係の混合液が回収された。
４８℃に保持し２０時間連続運転を行す塔頂からはモノ
シラン８５％、モノクロルシラン８．５％、ジクロルシ
ラン６．５優の混合ガスが８０ｇ ／ ｈｒの速度で得
られた。又蒸発槽９で蒸発したクロルシランを凝縮器１
１で冷却し１−９２に９／ｈｒの速度で貯槽１２に回収
した。回収液の組成をガスクロマトグラフィーにより分
析したところトリクロルシラン５５襲、四塩化珪素４５
係の混合液が回収された。
実施例２
反応塔上部凝縮器３を２５℃の冷却水を通水し冷却し、
反応塔１の内部圧力をデージ圧力で６ ｋｇ／ｃＩｒＬ
２に保つ以外は実施例１と同様な方法で行った。なお、
反応塔１の塔頂温度は８２℃、塔底のリボイラ一温度は
１４１℃に保持した。塔頂からはモノクロルシラン１２
％、ジクロルシラン７ろチ、トリクロルシラ７１５％の
混合液が５６０９／ｂｒの速度で得られた。又蒸発槽９
で蒸発したクロルシランを凝縮器１１で連続的に貯槽１
２に回収したところトリクロルシラン４８チ、四塩化珪
素５２％の混合液が１，４７０ ！！ ／ ｈｒの速度
で回収された。
反応塔１の内部圧力をデージ圧力で６ ｋｇ／ｃＩｒＬ
２に保つ以外は実施例１と同様な方法で行った。なお、
反応塔１の塔頂温度は８２℃、塔底のリボイラ一温度は
１４１℃に保持した。塔頂からはモノクロルシラン１２
％、ジクロルシラン７ろチ、トリクロルシラ７１５％の
混合液が５６０９／ｂｒの速度で得られた。又蒸発槽９
で蒸発したクロルシランを凝縮器１１で連続的に貯槽１
２に回収したところトリクロルシラン４８チ、四塩化珪
素５２％の混合液が１，４７０ ！！ ／ ｈｒの速度
で回収された。
実施例６
第６級脂肪族炭化水素置換アミン触媒としてトリーブチ
ルアミンを２７８ ｇ／ ｈｒの速度で蒸発槽９′から
循還ポンプ１０により反応塔１に循還した以外は実施例
１と同様に行った。塔頂からはモノシラン８１％、モノ
クロルシラン１１．３％、ジクロルシラン７．７％の混
合液が７７ｇ／ｈｒの速度で得られた。又蒸発槽９より
蒸発したクロルシランを凝縮器１１で連続的に貯槽１２
に回収したところトリクロルシラン６１％四塩化珪素６
９チの混合液が１．９２ ｋｇ／ ｈｒの速度で回収さ
れた。
ルアミンを２７８ ｇ／ ｈｒの速度で蒸発槽９′から
循還ポンプ１０により反応塔１に循還した以外は実施例
１と同様に行った。塔頂からはモノシラン８１％、モノ
クロルシラン１１．３％、ジクロルシラン７．７％の混
合液が７７ｇ／ｈｒの速度で得られた。又蒸発槽９より
蒸発したクロルシランを凝縮器１１で連続的に貯槽１２
に回収したところトリクロルシラン６１％四塩化珪素６
９チの混合液が１．９２ ｋｇ／ ｈｒの速度で回収さ
れた。
図面は本発明の実施例に用いる装置の説明図である。
付号
１・・・反応塔 ２・・リボイラー
３ 凝縮器 ４・・原料供給導管
５ 調節弁 ６・・凝縮器
Ｔ・貯槽 ８・・調節弁
９・・蒸発槽 １０−ポンプ
１１・・凝縮器 １２・・貯槽
特許出願人 電気化学工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 トリクロルシラン等の水素化塩化珪素を不均斉化反応さ
せてモノシランあるいはゾクロルシラジ等のシラン化合
物を連続的に製造するのにあたり、不均斉化反応触媒と
して下記一般式で示される第６級脂肪族炭化水素置換ア
ミンを存在させた蒸留機能を有する反応塔に原料水素化
塩化珪素を供給して反応塔の上部より原料水素化塩化珪
素より水素原子の多いシラン化合物を取得し、一方反応
塔の底部より副生ずる塩素原子の多いシラン化合物及び
触媒からなる混合溶液を抜き取り次いで、前記混合溶液
中のシラン化合物と触媒とを分離し、さらに分離された
触媒を反応塔に循還することを特徴とするシラン化合物
の連続的製造方法。 （但し、式中Ｒユ、 Ｒ３，Ｒ３は脂肪族炭化水素基、
そのＲ４＋ Ｒ２＋及びＲ３の炭素数の和が１０以上で
あり、しかもそのＲ１，Ｒ２゜Ｒ３はそれぞれ同種又は
異種のものである。）
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59003034A JPS60145907A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | シラン化合物の連続的製造方法 |
| DE19853500318 DE3500318A1 (de) | 1984-01-11 | 1985-01-07 | Disproportionierungskatalysator fuer silanverbindungen und verfahren zur kontinuierlichen herstellung von silanverbindungen |
| FR8500335A FR2563121B1 (fr) | 1984-01-11 | 1985-01-11 | Catalyseur de dismutation pour un compose silane et procede de production en continu d'un compose silane |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59003034A JPS60145907A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | シラン化合物の連続的製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60145907A true JPS60145907A (ja) | 1985-08-01 |
| JPS641406B2 JPS641406B2 (ja) | 1989-01-11 |
Family
ID=11546026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59003034A Granted JPS60145907A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | シラン化合物の連続的製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60145907A (ja) |
| DE (1) | DE3500318A1 (ja) |
| FR (1) | FR2563121B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4847958B2 (ja) * | 2004-09-17 | 2011-12-28 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | シランを製造する装置および方法 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3512402A1 (de) * | 1984-04-06 | 1985-10-24 | Denki Kagaku Kogyo K.K., Tokio/Tokyo | Chlorsilan-disproportionierungskatalysator und verfahren zur herstellung einer silanverbindung mittels des katalysators |
| BE1004983A3 (fr) * | 1991-06-20 | 1993-03-09 | Solvay | Systeme catalytique d'hydrochloration et procede de fabrication de chlorure de vinyle au depart d'acetylene et de chlorure d'hydrogene en presence de ce systeme catalytique. |
| BE1004984A3 (fr) * | 1991-06-20 | 1993-03-09 | Solvay | Systeme catalytique d'hydrochloration et procede de fabrication de chlorure de vinyle au depart d'acetylene et de chlorure d'hydrogene en presence de ce systeme catalytique. |
| DE19860146A1 (de) | 1998-12-24 | 2000-06-29 | Bayer Ag | Verfahren und Anlage zur Herstellung von Silan |
| DE10017168A1 (de) | 2000-04-07 | 2001-10-11 | Bayer Ag | Verfahren und Anlage zur Herstellung von Silan |
| DE10049012B4 (de) * | 2000-10-04 | 2013-10-17 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Reinigung von Silan enthaltenden Abgasströmen |
| DE10057522B4 (de) * | 2000-11-21 | 2009-04-16 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Silanen |
| DE10057521B4 (de) * | 2000-11-21 | 2009-04-16 | Evonik Degussa Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Silanen |
| DE102007028254A1 (de) * | 2007-06-20 | 2008-12-24 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Herstellung von SiH-haltigen Silanen |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2834648A (en) * | 1953-03-25 | 1958-05-13 | Union Carbide Corp | Disproportionation of chlorosilanes employing amine-type catalysts |
| GB761205A (en) * | 1953-11-13 | 1956-11-14 | Gen Electric | Improvements relating to the disproportionation of halogenosilanes |
-
1984
- 1984-01-11 JP JP59003034A patent/JPS60145907A/ja active Granted
-
1985
- 1985-01-07 DE DE19853500318 patent/DE3500318A1/de active Granted
- 1985-01-11 FR FR8500335A patent/FR2563121B1/fr not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4847958B2 (ja) * | 2004-09-17 | 2011-12-28 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | シランを製造する装置および方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2563121A1 (fr) | 1985-10-25 |
| JPS641406B2 (ja) | 1989-01-11 |
| FR2563121B1 (fr) | 1993-08-20 |
| DE3500318A1 (de) | 1985-08-01 |
| DE3500318C2 (ja) | 1987-06-19 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |