JP2008098523A - 磁気抵抗効果素子および磁気メモリ - Google Patents
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Abstract
【課題】熱的安定性を向上させ、かつ磁化反転の際の反転電流密度をより低減する。
【解決手段】磁気抵抗効果素子は、磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつスピン偏極した電子の作用により磁化の方向が変化し、かつ(001)面が配向したfct型の結晶構造を有する磁化自由層12と、磁化自由層12を挟むように設けられ、かつ正方晶型或いは立方晶型の結晶構造を有する第1および第2の非磁性層13,14と、磁化自由層12の一方の側のみに設けられ、かつ第1の非磁性層13の磁化自由層12が設けられた面と反対面に設けられ、かつ磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつ磁化の方向が固着された磁化固着層11とを含む。
【選択図】 図1
【解決手段】磁気抵抗効果素子は、磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつスピン偏極した電子の作用により磁化の方向が変化し、かつ(001)面が配向したfct型の結晶構造を有する磁化自由層12と、磁化自由層12を挟むように設けられ、かつ正方晶型或いは立方晶型の結晶構造を有する第1および第2の非磁性層13,14と、磁化自由層12の一方の側のみに設けられ、かつ第1の非磁性層13の磁化自由層12が設けられた面と反対面に設けられ、かつ磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつ磁化の方向が固着された磁化固着層11とを含む。
【選択図】 図1
Description
本発明は、磁気抵抗効果素子および磁気メモリに係り、例えば電流を供給することで情報を記録することが可能な磁気抵抗効果素子および磁気メモリに関する。
強磁性体を用いた磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM:Magnetic Random Access Memory)、以下、磁気メモリともいう)は、不揮発性、高速動作、大容量、低消費電力を備えた不揮発性メモリとして期待されている。MRAMは、トンネル磁気抵抗(TMR:Tunneling Magnetoresistive)効果を利用するMTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子を記憶素子として備え、このMTJ素子の磁化状態により情報を記憶する。
従来型の配線電流による磁場で書き込みを行なうMRAMにおいては、微細化に伴い配線に流すことのできる電流値が減少するために、十分な電流磁場を供給することが困難になる。さらに、MTJ素子に情報を記録するために必要とする電流磁場の大きさは微細化に伴い増加するため、126Mbits〜256Mbits世代で配線電流による磁場で書き込みを行なう方式を有するMRAMの原理的な限界が来ると考えられている。
そこで、スピン角運動量移動(SMT:Spin Momentum Transfer)を利用した書き込み方式を用いたMRAMが提案されている(例えば、特許文献1)。スピン角運動量移動(以下、スピン注入と称する)による磁化反転は、素子を微細化しても、磁化反転に必要な電流密度の大きさはほとんど増加しないため、高効率な書き込みが可能である利点を有している。
米国特許第6,256,223号明細書
本発明は、熱的安定性を向上させることができ、かつ磁化反転の際の反転電流密度をより低減することが可能な磁気抵抗効果素子及びそれを用いた磁気メモリを提供する。
本発明の第1の視点に係る磁気抵抗効果素子は、磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつスピン偏極した電子の作用により磁化の方向が変化し、かつ(001)面が配向したfct型の結晶構造を有する磁化自由層と、前記磁化自由層を挟むように設けられ、かつ正方晶型或いは立方晶型の結晶構造を有する第1および第2の非磁性層と、前記磁化自由層の一方の側のみに設けられ、かつ前記第1の非磁性層の前記磁化自由層が設けられた面と反対面に設けられ、かつ磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつ磁化の方向が固着された磁化固着層とを具備する。
本発明の第2の視点に係る磁気抵抗効果素子は、磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつスピン偏極した電子の作用により磁化の方向が変化し、かつ(001)面が配向したfct型の結晶構造を有する磁化自由層と、前記磁化自由層を挟むように設けられ、かつ正方晶型或いは立方晶型の結晶構造を有する第1および第2の非磁性層と、前記第1の非磁性層の前記磁化自由層が設けられた面と反対面に設けられ、かつ磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつ磁化の方向が固着された第1の磁化固着層と、前記第2の非磁性層の前記磁化自由層が設けられた面と反対面に設けられ、かつ磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつ磁化の方向が固着された第2の磁化固着層とを具備する。前記第1の非磁性層の抵抗値は、前記第2の非磁性層の抵抗値と異なる。
本発明の第3の視点に係る磁気メモリは、上記磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子に対して通電を行なう第1および第2の電極とを含むメモリセルを具備する。
本発明によれば、熱的安定性を向上させることができ、かつ磁化反転の際の反転電流密度をより低減することが可能な磁気抵抗効果素子及びそれを用いた磁気メモリを提供することができる。
MRAMの大容量化のためには、強磁性体をセル集積度に応じたセルサイズに微細化しなければならい。例えば1GbitsMRAMの設計ではセルサイズ100nm以下になることが想定され、さらに大容量化を試みるにはさらなる微細化が必要となる。一方、強磁性体のセルサイズを小さくしていくと、熱ゆらぎ磁気余効により熱振動の影響を受け、磁化が自由に向きを変えるようになる。1軸磁気異方性をもつ単磁区粒子を例に熱ゆらぎ磁気余効の影響について説明する。
磁気異方性エネルギーUは、磁気異方性エネルギー密度をKu、強磁性体の体積をVとすると、U=KuVで表される。ある温度Tにおいて原子は熱振動エネルギーKBTを有しているため、熱振動エネルギーが磁気異方性エネルギーUより大きくなると、磁化の反転が起こりやすくなる。つまり、KuV<KBT(若しくは、KuV/KBT<1)になると、強磁性体セルの磁化は常磁性のように振る舞うようになる。常磁性体になると磁化を一方向に保持できなくなるため、記憶素子としての機能を果たさなくなる。よって、KuV/KBT>1を満たすことが最低限必要となる。
さらに、記憶素子に用いられる強磁性体は、磁化情報を数年間保持できなければならず、KuV/KBT>1の条件には時間の情報が含まれていないため、例えば1Gビットのメモリセルにおいて、10年間で磁化の方向が反転する確立を1ビット以下にする場合を考えると、KuV/KBT>60以上の値が必要となる。
磁気異方性エネルギーUは磁気異方性エネルギー密度Kuと強磁性体の体積Vとの積に正比例するため、素子サイズを微細化していくと素子の体積Vが減少する。一方、強磁性体セルに不揮発な情報を記憶させるためにはKuV/KBT>60の条件を満たす必要があるため、体積Vの減少を補うために磁気異方性エネルギー密度Kuを大きくしなければならない。膜厚が3nmの時、素子サイズが100nmになるとKuは1×105erg/cc以上の値が必要となり、さらに40nmになるとKuは6×105erg/cc以上の値が必要となる。
MRAMにおいては、磁気異方性エネルギーを確保する方法として、形状磁気異方性エネルギー若しくは結晶磁気異方性エネルギーを利用する2通りの方法が検討されている。形状磁気異方性エネルギーは平面形状、膜厚、素子幅等に比例することが知られている。40nm以下の素子サイズにおいて形状磁気異方性を用いて磁気異方性エネルギーを確保しようとすると平面形状を細長く設計するか、素子膜厚を厚く設計する必要がある。
膜厚を3nmに固定し平面形状のみで磁気異方性エネルギーを確保しようとするとアスペクト比が3以上必要となり、大容量化が困難になる。また、平面形状をアスペクト比が2の楕円に固定し、膜厚を厚くすることによって磁気異方性エネルギーを確保しようとすると膜厚は4nm以上必要となる。膜厚の増大はスピン注入電流の増大を引き起こすため、数十nm以下の微細な強磁性体における磁気異方性エネルギーを形状磁気異方性で補うことは困難である。
一方、磁気異方性エネルギーを結晶磁気異方性エネルギーで確保するケースを考える。結晶磁気異方性は結晶の対象性から生じるため、結晶構造の違いによって1軸磁気異方性以外の複数の軸に異方性を持つ場合も存在する。強磁性体に2値の情報を与える場合、磁化の方向は0°方向(“1”値と仮定)、180°方向(“0”値と仮定)の2方向を安定な状態として持つことが望ましい。しかし、結晶磁気異方性の方向が2つ以上存在する場合の磁化は2つ以上の安定な状態を持ち得る。
例えばX、Yそれぞれの方向に磁気異方性を持つ強磁性体の場合、強磁性体のN極の方向は+X、+Y、−X、−Y方向の4方向を安定な状態として向くことが可能となる。スピン注入によって反転できる磁化の方向は+X方向と−X方向との2方向のみであることが望ましいため、+Y方向と−Y方向とは存在してはならない。しかし、+Y方向も−Y方向も向くことは可能であるため磁化反転中に何らかの不良によって+Y方向若しくはY方向に磁化が固定されてしまう可能性がある。その結果、“1”、“0”の情報を正確に記憶することが不可能となる。
つまり、磁気異方性エネルギーに結晶磁気異方性を用いる場合は、1軸磁気異方性を持つ材料を用いることが必要となる。1軸磁気異方性を面内磁化型の構成で用いる場合、大きな結晶磁気異方性エネルギー密度を有する材料として例えば、ハードディスク媒体で用いられるようなCoCr合金を用いた場合、結晶軸が面内に大きく分散してしまうため、MR(Magnetic Resistance)の低下、インコーヒーレントな歳差運動が誘発され、結果としてスピン注入反転電流が増加してしまう。
一方、結晶軸を垂直方向に向けた場合、結晶軸はz軸しか存在しないため、結晶軸の分散を抑制できる。z方向に結晶軸を向けるには、異なる材料の膜を積層し、この積層膜の界面に誘導される異方性を用いる方法、六方晶構造を膜面に対して〔001〕方向に成長させ、結晶の対象性から誘起される結晶磁気異方性を用いる方法や、面内方向と垂直方向との結晶格子の大きさを変える、若しくは磁歪を利用するなどの方法を用いれば作製することができる。
垂直磁気異方性を有する材料の中で高い結晶磁気異方性を持つ材料としては、L10型のFePt規則合金があげられる。L10型のFePt規則合金は、計算上、結晶磁気異方性が7×107erg/ccになることが見出されている。また、実験的にも7×108erg/ccに近い磁気異方性が得られている。4×107erg/ccの結晶磁気異方性があれば、MTJ素子を数nmまで微細化することが可能となる。
一方、単結晶の酸化マグネシウム(MgO)をトンネルバリア層に用いたFe(001)/MgO(001)/Fe(100)のエピタキシャルMTJ素子に関する第一原理計算によって、1000%を越える巨大なTMR効果が理論的に予測されている。高いMRが得られるMTJ素子では高いスピン分極率が得られることが期待される。スピン注入磁化反転の挙動を解析的に解いたSloncewskiの式によれば、スピン注入磁化反転電流はスピン分極率の増加と伴に低減することが知られている。このため、MgOをMTJ素子のトンネルバリア層に用いればMRAMの低電流化が期待できる。
[001]方向に結晶化したMgO、[001]方向に結晶化したFe、Pt、Feを順にモノレイヤーごとに積層すれば、結果的に垂直磁気異方性を持つFePtが作製できる。この構造は高効率なスピン注入トルクおよび高い熱擾乱耐性が期待できるため、大容量かつ低消費電力で駆動できるメモリセルへの応用が期待される。
しかし、FePt薄膜をスパッタ法などの気相急冷法で成膜すると、固相に存在する熱力学的な不規則―規則変態点を通過しないため、成膜直後では準安定なfcc(face-centered cubic)不規則相(A1相)が形成される。この準安定A1相をL10規則変態させるためには、原子の体拡散が必要となるのでFePt合金の融点の半分に相当する600℃程度での熱処理が必要となる。
しかし、強磁性体セルはMOSトランジスタをFEOL配線上に作製するため、MOSトランジスタへのダメージおよびFEOL(Front End Of Line)配線へのダメージを考えるとこのような高温熱処理を加えることは多くの困難がある。このために低温での熱処理により、A1相をL10構造に規則化させる必要がある。
不規則―規則変態は、FeとPtとの相互拡散が必要となる。加えて、FePt規則合金はfct(face-centered tetragonal)構造を有しc軸方向に縮んでいるため、変態時にはc軸に縮む弾性エネルギーの克服が必要となる。つまり、不規則―規則変態温度を下げるためにはFeとPtとの相互拡散における活性化エネルギーの低減、またはFeとPtとの間に生じる弾性エネルギーを低減させるアプローチが必要となる。
以下に、このような知見に基づいて構成された本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、同一の機能および構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行なう。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。図中の矢印は、磁化の方向を示している。本実施形態では、シングルピン層構造(1つの記録層と1つの固定層とが非磁性層を介して配置される構造)を有するMTJ素子10について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。図中の矢印は、磁化の方向を示している。本実施形態では、シングルピン層構造(1つの記録層と1つの固定層とが非磁性層を介して配置される構造)を有するMTJ素子10について説明する。
MTJ素子10は、結晶配向用下地層15、固定層(或いは、磁化固着層、ピン層ともいう)11、トンネルバリア層(非磁性層)13、記録層(或いは、磁化自由層、フリー層ともいう)12、キャップ層14が順に積層された積層構造を有する。なお、この積層構造は、積層順序が逆転していても構わない。そして、結晶配向用下地層15の底面に下部電極16が設けられ、キャップ層14の上面に上部電極17が設けられている。
固定層11は、磁化(或いはスピン)の方向が固着されている。記録層12は、磁化の方向が変化(反転)する。また、固定層11および記録層12の容易磁化方向は膜面(或いは積層面)に対して垂直である(以下、垂直磁化と称する)。すなわち、MTJ素子10は、固定層11の磁化の方向および記録層12の磁化の方向が膜面に対して垂直方向を向く、いわゆる垂直磁化型MTJ素子である。
なお、容易磁化方向とは、あるマクロなサイズの強磁性体を想定して、外部磁界のない状態で自発磁化がその方向を向くと最も内部エネルギーが低くなる方向である。困難磁化方向とは、あるマクロなサイズの強磁性体を想定して、外部磁界のない状態で自発磁化がその方向を向くと最も内部エネルギーが大きくなる方向である。
MTJ素子10において、固定層11として反転電流の大きな磁性層を用い、記録層12として固定層11よりも反転電流の小さい磁性層を用いることによって、高性能なMTJ素子10を実現することができる。スピン偏極した電子により磁化反転を起こす場合、その反転電流は飽和磁化、異方性磁界、体積に比例するため、これらを適切に調整して、記録層12と固定層11との反転電流に差をつけることができる。
垂直磁化を実現する記録層12および固定層11としては、(001)面が配向したfct(face-centered tetragonal)構造を基本構造とするL10型構造、或いはL12型構造を有する磁性材料が用いられる。また、この磁性材料としては、例えば5×105erg/cc以上の高い結晶磁気異方性エネルギー密度を有する材料が望ましい。
記録層12および固定層11を構成する磁性材料の具体例としては、Fe(鉄)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)、Mn(マンガン)、Cr(クロム)のうち1つ以上の元素と、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Rh(ロジウム)、Au(金)、Hg(水銀)、Al(アルミニウム)のうち1つ以上の元素とを含む合金からなり、かつ結晶構造がL10型の規則合金があげられる。
例えば、Fe50Pt50、Fe50Pd50、Co50Pt50、Co50Pd50、Fe30Ni20Pt50、Co30Fe20Pt50、Co30Ni20Pt50、Mn50Al50、Fe50Ni50、等の規則合金があげられる。これらの規則合金の組成比は一例であり、上記組成比に限定されない。なお、これらの規則合金に、Cu(銅)、Zn(亜鉛)、Ag(銀)、Ni(ニッケル)、Co(コバルト)、Fe(鉄)、Mn(マンガン)、Cr、(クロム)、V(バナジウム)、Ti(チタン)、Os(オスミウム)等の不純物元素或いはその合金、絶縁物を加えて磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を低く調整することができる。同様に組成比を調整することによってL12型の規則合金を用いても良い。
記録層12として例えば膜厚4nm程度のFe50Pt50を用い、固定層11も同様にFe50Pt50を用いた場合、固定層11は、記録層12に比べ磁化反転電流が大きくなければならないので、記録層12の膜厚より厚くする必要がある。例えば10〜20nmの膜厚を用いれば、情報の書き込み時に磁化の方向が反転しない固定層11として用いることができる。
固定層11に必要となる条件は記録層12より異方性磁界が大きい、飽和磁化が大きい、膜厚が厚い、減衰定数が大きい、これら条件のどれか一つ若しくは、複数の条件を満たせば良いので、Fe50Pt50の他に、記録層12より膜厚が厚いL10型の結晶材料、L12型の結晶材料を用いても良い。また、固定層11の磁性材料としては下記(1)〜(3)の材料を用いることも可能である。
(1)不規則合金
Co(コバルト)を主成分とし、Cr(クロム)、Ta(タンタル)、Nb(ニオブ)、V(バナジウム)、W(タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ti(チタン)、Zr(ジルコニウム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Fe(鉄)、Ni(ニッケル)のうち1つ以上の元素を含む合金。例えば、CoCr合金、CoPt合金、CoCrTa合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、CoCrNb合金等があげられる。これらの合金は、非磁性元素の割合を増加させて磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
Co(コバルト)を主成分とし、Cr(クロム)、Ta(タンタル)、Nb(ニオブ)、V(バナジウム)、W(タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ti(チタン)、Zr(ジルコニウム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Fe(鉄)、Ni(ニッケル)のうち1つ以上の元素を含む合金。例えば、CoCr合金、CoPt合金、CoCrTa合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、CoCrNb合金等があげられる。これらの合金は、非磁性元素の割合を増加させて磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
(2)人工格子
Fe(鉄)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)のうちいずれか1つの元素或いは1つ以上の元素を含む合金と、Cr(クロム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ir(イリジウム)、Rh(ロジウム)、Ru(ルテニウム)、Os(オスミウム)、Re(レニウム)、Au(金)、Cu(銅)のうちいずれか1つの元素或いは1つ以上の元素を含む合金とが交互に積層された積層膜。例えば、Co/Pt人工格子、Co/Pd人工格子、CoCr/Pt人工格子、Co/Ru人工格子、Co/Os人工格子、Co/Au、Ni/Cu人工格子等があげられる。これらの人工格子は、磁性層への元素の添加、磁性層と非磁性層との膜厚比を調整することで、磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
Fe(鉄)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)のうちいずれか1つの元素或いは1つ以上の元素を含む合金と、Cr(クロム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ir(イリジウム)、Rh(ロジウム)、Ru(ルテニウム)、Os(オスミウム)、Re(レニウム)、Au(金)、Cu(銅)のうちいずれか1つの元素或いは1つ以上の元素を含む合金とが交互に積層された積層膜。例えば、Co/Pt人工格子、Co/Pd人工格子、CoCr/Pt人工格子、Co/Ru人工格子、Co/Os人工格子、Co/Au、Ni/Cu人工格子等があげられる。これらの人工格子は、磁性層への元素の添加、磁性層と非磁性層との膜厚比を調整することで、磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
(3)フェリ磁性体
希土類金属と遷移金属との合金からなるフェリ磁性体。例えば、Tb(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)、Gd(ガドリニウム)と、遷移金属のうち1つ以上の元素とからなるアモルファス合金。例えば、TbFe、TbCo、TbFeCo、DyTbFeCo、GdTbCo等があげられる。これらの合金は、組成比を調整することで磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
希土類金属と遷移金属との合金からなるフェリ磁性体。例えば、Tb(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)、Gd(ガドリニウム)と、遷移金属のうち1つ以上の元素とからなるアモルファス合金。例えば、TbFe、TbCo、TbFeCo、DyTbFeCo、GdTbCo等があげられる。これらの合金は、組成比を調整することで磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
トンネルバリア層13およびキャップ層14としては、正方晶型、或いは正方晶型の結晶構造を有する非磁性材料が用いられる。トンネルバリア層13としては、Li(リチウム)、Be(ベリリウム)、Na(ナトリウム)、Mg(マグネシウム)、Nb(ニオブ)、Ti(チタン)、V(バナジウム)、Ta(タンタル)、Ba(バリウム)のうち1つ以上の元素を含む酸化物、或いはTi(チタン)、V(バナジウム)のうち1つ以上の元素を含む窒化物が用いられる。
キャップ層14としては、下記(1)〜(6)の非磁性材料をあげることができる。
(1)Li(リチウム)、Be(ベリリウム)、Na(ナトリウム)、Mg(マグネシウム)、Nb(ニオブ)、Ti(チタン)、V(バナジウム)、Ta(タンタル)、Ba(バリウム)のうち1つ以上の元素を含む酸化物
(2)Ti(チタン)、V(バナジウム)のうち1つ以上の元素を含む窒化物
(3)V(バナジウム)を含む炭化物
(4)Li(リチウム)、Pd(パラジウム)のうち1つ以上の元素を含む水素化物
(5)Zr(ジルコニウム)、Ho(ホルミウム)のうち1つ以上の元素を含むセレン化合物
(6)Al(アルミニウム)、Au(金)、As(ヒ素)、Ag(銀)、Be(ベリリウム)、Ga(ガリウム)、P(リン)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ir(イリジウム)、Rh(ロジウム)、Cu(銅)、V(バナジウム)、Cr(クロム)、Nb(ニオブ)、Mo(モリブデン)、Ta(タンタル)、W(タングステン)のうち1つ以上の元素を含む金属若しくは金属間化合物
下地層15は、この下地層15の上層の結晶配向性或いは結晶性を制御するために設けられている。固定層11が垂直磁気異方性を発現するには、この固定層11は(001)面が配向したfct構造を有する必要がある。そのためには、下地層15として、数nm程度のMgO(酸化マグネシウム)を用いれば良い。他にも、下地層15として、格子定数が2.8Å、4Å、5.6Å程度のfcc構造、bcc(body-centered cubic)構造を持つ元素、化合物、例えば、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ag(銀)、Au(金)、Al(アルミニウム)、Cr(クロム)等、或いはそれらを主成分とした合金を用いることができる。下部電極16および上部電極17としては、例えばTa(タンタル)が用いられる。
(1)Li(リチウム)、Be(ベリリウム)、Na(ナトリウム)、Mg(マグネシウム)、Nb(ニオブ)、Ti(チタン)、V(バナジウム)、Ta(タンタル)、Ba(バリウム)のうち1つ以上の元素を含む酸化物
(2)Ti(チタン)、V(バナジウム)のうち1つ以上の元素を含む窒化物
(3)V(バナジウム)を含む炭化物
(4)Li(リチウム)、Pd(パラジウム)のうち1つ以上の元素を含む水素化物
(5)Zr(ジルコニウム)、Ho(ホルミウム)のうち1つ以上の元素を含むセレン化合物
(6)Al(アルミニウム)、Au(金)、As(ヒ素)、Ag(銀)、Be(ベリリウム)、Ga(ガリウム)、P(リン)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ir(イリジウム)、Rh(ロジウム)、Cu(銅)、V(バナジウム)、Cr(クロム)、Nb(ニオブ)、Mo(モリブデン)、Ta(タンタル)、W(タングステン)のうち1つ以上の元素を含む金属若しくは金属間化合物
下地層15は、この下地層15の上層の結晶配向性或いは結晶性を制御するために設けられている。固定層11が垂直磁気異方性を発現するには、この固定層11は(001)面が配向したfct構造を有する必要がある。そのためには、下地層15として、数nm程度のMgO(酸化マグネシウム)を用いれば良い。他にも、下地層15として、格子定数が2.8Å、4Å、5.6Å程度のfcc構造、bcc(body-centered cubic)構造を持つ元素、化合物、例えば、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ag(銀)、Au(金)、Al(アルミニウム)、Cr(クロム)等、或いはそれらを主成分とした合金を用いることができる。下部電極16および上部電極17としては、例えばTa(タンタル)が用いられる。
このように構成されたMTJ素子10において、情報の書き込みは、以下のように行われる。先ず、MTJ素子10は、膜面(或いは積層面)に垂直な方向において、双方向に電流通電される。
固定層11側から電子(すなわち、固定層11から記録層12へ向かう電子)を供給した場合、固定層11の容易磁化方向と同じ方向にスピン偏極された電子が記録層12に注入される。この場合、記録層12の磁化の方向は、固定層11の容易磁化方向と同じ方向に揃えられる。これにより、固定層11と記録層12との磁化の方向が平行配列となる。この平行配列のときはMTJ素子10の抵抗値は最も小さくなり、この場合をデータ“0”と規定する。
一方、記録層12側から電子(すなわち、記録層12から固定層11へ向かう電子)を供給した場合、固定層11により反射されることで固定層11の容易磁化方向と反対方向にスピン偏極された電子が記録層12に注入される。この場合、記録層12の磁化の方向は、固定層11の容易磁化方向と反対方向に揃えられる。これにより、固定層11と記録層12との磁化の方向が反平行配列となる。この反平行配列のときはMTJ素子10の抵抗値は最も大きくなり、この場合をデータ“1”と規定する。
また、データの読み出しは、MTJ素子10に読み出し電流を供給することで行われる。この読み出し電流は、書き込み電流よりも小さい値に設定される。MTJ素子10は、磁気抵抗効果により、固定層11と記録層12との磁化の方向が平行配列か反平行配列かで異なる抵抗値を有する。この抵抗値の変化を読み出し電流に基づいて検出する。
次に、MTJ素子10の製造方法の一例について説明する。室温で記録層12としてのFePtを成膜すると、このFePt合金は不規則相となる。従って、FePtを規則化させるために、300℃程度の温度での加熱成膜、若しくはFe、Ptを順に成膜した後に400℃程度の温度で加熱することにより、FePt合金を規則化させることができる。また、記録層12に垂直磁気異方性を発現させるためには、記録層12をfct構造の(001)面に配向させる必要がある。(001)面が配向した記録層12は、(100)面が配向したMgOトンネルバリア層13を利用することによって作製することができる。
先ず、図2に示すように、基板(図示せず)上に、下部電極16(例えば、膜厚100nm程度のTa)、下地層15を順に成膜する。次に、この下地層15上に、固定層11として例えばFePtを膜厚10nm程度成膜し、固定層11を(001)面に配向させる。なお、固定層11は、FePt合金を加熱成膜することにより、規則化させることができる。或いは、FeとPtとを順に成膜した後、この積層膜を加熱することにより、固定層11を規則化させることができる。
次に、図3に示すように、基板を室温付近まで冷却した後に、トンネルバリア層13としてのMgOを膜厚0.4〜1.0nm程度成膜する。或いは、固定相11の酸化を抑制するために、トンネルバリア層13は、膜厚0.4nm程度のMg、膜厚0.6nm程度のMgOを順に成膜して形成しても良い。これにより、MgOは(100)面に配向する。なお、MgOを成膜した後、このMgOの結晶性を向上させるために300℃程度で加熱しても良い。また、固定層11とトンネルバリア層13との間には、スピン分極率を向上させる目的で、Fe、或いはCoを主成分とする界面層を膜厚0.4〜3nmの範囲で挿入しても良い。
次に、トンネルバリア層13上に、第1の磁性層12−1として、(100)面が配向したbcc(body-centered cubic)構造を有するFeを膜厚2nm程度成膜する。次に、第1の磁性層12−1上に、第2の磁性層12−2として、(100)面が配向したfcc(face-centered cubic)構造を有するPtを膜厚2nm程度成膜する。このFe層およびPt層は、後に記録層12となる。なお、第2の磁性層12−2としては、FePt合金を用いても良い。ただし、12−2で用いるFePt合金はPtの濃度が多い方が望ましい。なお、記録層12を形成する際、Pt層およびFe層の積層順序は逆でも構わない。すなわち、Pt層、Fe層の順で積層してもよい。しかし、Fe層を先に堆積した方が、MgOとの格子ミスフィットが小さくなるので好ましい。
次に、第2の磁性層12−2上に、キャップ層14としてのMgOを膜厚0.4〜0.9nm程度成膜する。或いは、記録層12の酸化を抑制するために、キャップ層14は、膜厚0.4nm程度のMg、膜厚0.5nm程度のMgOを順に成膜して形成しても良い。その後、この積層膜に400℃以上の熱を付加すると、記録層12としてのFePt合金は、L10型の規則合金に規則化する。また、後述するように、FePt合金の面内方向の格子を広げる効果により、規則化が促進される。これにより、記録層12は、高い垂直磁化異方性を得ることができる。なお、400℃程度の熱処理の前に、キャップ層14としてのMgOの結晶性を向上させるために400℃以下の温度、例えば300℃程度の温度で積層膜を加熱することもFePtの規則化には効果的である。
次に、基板を室温付近まで冷却した後、キャップ層14上に、上部電極17として膜厚100nm程度のTaを成膜する。このとき、Taは、薄いMgOキャップ層14を通して記録層12中に拡散してしまう。このため、キャップ層14と上部電極17との間に、拡散防止層としてRu(ルテニウム)、Au(金)、Ag(銀)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Rh(ロジウム)、Ir(イリジウム)などの層を挿入すると良い。このようにして、図1に示したMTJ素子10が形成される。
ところで、FeとPtとを2nmずつ積層してから熱処理によるFeとPtとの相互拡散を利用してFePt規則化合金を作製しているのは、MgOとFePtとの格子ミスフィットが8.6%程度あることに原因がある。また、記録層12の膜厚が増加すると、記録層12の磁化を反転させるために必要とする電流値が増大する。また、記録層12の膜厚がスピン拡散長より長くなると、記録層12中でスピントルクが緩和してしまい、記録層12の磁化を反転させるために必要な電流値が増加してしまう。このため、記録層12の膜厚は10nm以下であることが好ましい。
一方、先に述べたようにL10型に規則化したFePt合金とNaCl型の結晶構造を有するMgO(すなわち、トンネルバリア層13およびキャップ層14に対応する)との格子ミスフィットは8.6%程度にも及ぶため、記録層12を薄膜化していくと、FePt合金が粒状に分離してしまう。FePt合金が粒状になると記録層12の熱擾乱耐性が低下するため、熱擾乱耐性の向上が必要となり、結果として記録層12の磁化反転電流値が増大する。
しかし、(100)面が配向したbcc−FeとMgOとの格子ミスフィットは3.7%程度、さらに(100)面が配向したfcc−Ptと(100)面が配向したbcc−Feとの格子ミスフィットは3.2%程度であるため、記録層12を薄膜化しても膜の粒状化を抑制することができる。さらに、FePt積層膜の上部にキャップ層14としてのMgOを成膜した後に熱処理を施すことによって、FeとPtとは相互拡散し、L10型に規則化したFePt合金が形成される。記録層に対して格子整合性の良いトンネルバリア層13とキャップ層14を用いることは均一なFePtを得るためには効果的な手段であると言える。
ここで、FePt合金の規則化温度を低減するためには、不規則相と規則相とのギブスの自由エネルギーの差を増大させる、FeおよびPtの拡散の活性化エネルギーを増大させる、さらにはFeおよびPtの2相界面近傍の濃度勾配を高くすること等の方法がある。本実施形態では、FeとPtとを積層することによって、2相界面近傍での原子の濃度勾配を高くすることができる。これにより、FePt合金の規則化が促進されるため、規則化温度を低減することができる。
また、MgOとFePt合金との格子ミスフィットは、FePt規則相の面内の格子を広げる。このため、FePt不規則相とFePt規則相とのギブスの自由エネルギーの差の増大を引き起こし、FePt合金の規則化が促進される。その結果、FePt合金の規則化温度が低減される。トンネルバリア層13およびキャップ層14としてのMgOはそれぞれ、不規則相と規則相とのギブスの自由エネルギーの差の増大による規則化温度低減の効果を果たしている。
また、金属膜同士に比較して金属膜と絶縁膜とは相互拡散が少ないため、高温で熱処理してもFePt積層膜へのMgOの拡散による影響が小さい。このため、結晶性の絶縁膜MgOをキャップ層14に用いてFePt積層膜を熱処理により不規則−規則変態させることで、低温規則化、均一FePt膜の作製、磁気特性の向上が可能となる。
また、バルク値においてL10型に規則化したFe50Pt50合金とNaCl型の結晶構造を持つMgOとの(100)面での格子ミスフィットは8.6%程度になる。しかし、作製したFePt合金とMgOとの格子については、FePt合金の面内方向の格子は広がり、MgOの面内方向の格子は縮むため、格子ミスフィットは8.6%未満に抑えられる。
また、キャップ層14に絶縁体を用いると、MTJ素子10のMR比の低下を引き起こす可能性がある。このためキャップ層14の抵抗値R2はトンネルバリア層13の抵抗値R1より小さいことが望ましい。R1>R2とする方法の一例として、キャップ層14のMgO中にCuを混入させ、キャップ層14の抵抗値R2を低減させても良い。或いは、キャップ層14としてMgOの膜厚をトンネルバリア層13の膜厚より薄くすることによってR1>R2とする方法もある。或いは、キャップ層14としてトンネルバリア層13より抵抗が小さい半導体或は金属を用いる方法もある。ただしキャップ層14に用いる材料は記録層12に対して格子整合性が良い材料を用いることが望ましい。
さらに、下記の(1)〜(6)の方法を用いることで、磁性材料からなる記録層12の規則化が促進され、この結果、記録層12の規則化温度を低減することができる。
(1)記録層12の主成分である磁性材料からなる合金の融点を低くすることで、規則化温度を低減することができる。具体的には、Be(ベリリウム)、Mn(マンガン)、Cu(銅)、Sm(サマリウム)、Au(金)、Nd(ネオジム)、Ag(銀)、Pr(プラセオジム)、La(ランタン)、Ca(カルシウム)、Yb(イッテルビウム)、Eu(ユーロビウム)、Ce(セリウム)、Sr(ストロンチウム)、Ba(バリウム)、Al(アルミニウム)、Mg(マグネシウム)、Zn(亜鉛)、Pb(鉛)、Cd(カドミウム)、Sn(すず)、In(インジウム)のうち1つ以上の元素を上記合金(例えば、FePt合金)に添加する。これにより、FePt合金の規則化温度を低減することができる。
(2)原子の拡散の活性化エネルギーを低減する方法としては、何らかの方法により記録層12の主成分である磁性材料からなる合金(例えば、FePt)中に空格子を介在させることにより、拡散時の活性化エネルギーを低減する方法が考えられる。具体的には、Fe或いはPt等と固溶しにくいSn(すず)、Sb(アンチモン)、Pb(鉛)、Bi(ビスマス)などの元素をFePt内に強制固溶させ、それらが熱処理時に外方向拡散或いは析出する際に生じる空格子の存在により、記録層12の規則化温度を低減することができる。
(3)イオン化傾向が大きい材料を記録層12に添加することで、記録層12の規則化が促進される。具体的には、Li(リチウム)、Na(ナトリウム)、K(カリウム)、Be(ベリリウム)、Mg(マグネシウム)、Ca(カルシウム)、Sc(スカンジウム)のうち1つ以上の元素を、記録層12の主成分である磁性材料に添加する。これにより、記録層12の規則化温度を低減することができる。
(4)不規則−規則変態時の弾性エネルギーの増加を抑制する方法としては、B(ほう素)やC(炭素)などの進入型元素を記録層12の主成分である磁性材料に添加することが有効である。これは、BがL10構造のc軸に沿って優先的に進入することによってc軸の格子変形を抑え、不規則―規則変態が生じる時の活性化エネルギーが減少するためである。これにより、記録層12の規則化温度を低減することができる。
(5)記録層12の酸素の含有量を低減することで、規則化温度の低温化が可能となる。具体的には、記録層12は、Fe、Co、Ni、Mn、Crのうち1つ以上の元素と、Pt、Pd、Rh、Au、Hg、Alのうち1つ以上の第2の元素とからなる合金を主成分とし、かつ第1の元素と第2の元素との組成比がそれぞれ40から60原子%の間にある合金において、この合金の酸素の含有量が1%以下である。これは、記録層12の熱処理を例えば真空中で行なうことで達成される。
(6)高Ar(アルゴン)ガス中で記録層12を成膜することによりc軸を縮ませ弾性エネルギーの増加を抑制する方法によって、記録層12の規則化温度の低温化が可能になる。
また、記録層12を酸化させることで、磁気異方性エネルギー密度Kuを高くすることができる。具体的には、記録層12は、Fe、Co、Ni、Mn、Crのうち1つ以上の元素と、Pt、Pd、Rh、Au、Hg、Alのうち1つ以上の第2の元素とからなる合金を主成分とし、かつ第1の元素の含有量が第2の元素の含有量より少ない合金で構成され、かつこの合金の酸素の含有量が10%以上である。このようにして記録層12を構成することで、記録層12の高Ku化が可能となる。
以上詳述したように本実施形態によれば、磁性材料からなる記録層12を薄膜化した場合でも、記録層12の垂直磁気異方性、および熱擾乱耐性(或いは、熱的安定性)を向上させることができる。また、垂直磁気異方性が向上する結果、非常に小さな電流で記録層12を磁化反転させることができるため、磁化反転に必要な書き込み電流を低減することが可能となる。
また、記録層12としての磁性材料の規則化温度を低減することができる。すなわち、低温熱処理で高い信頼性を有する垂直磁化型MTJ素子10(具体的には、垂直磁化の記録層)を作製することができる。これにより、MTJ素子10の周辺回路へのダメージ(MOSトランジスタへのダメージおよびFEOL(Front End Of Line)配線へのダメージ)を抑制することができる。
なお、NaCl型の結晶構造を有する(001)面が配向したMgOと(001)面が配向したFePtとの格子ミスフィットは8.6%にも及ぶため、不規則―規則変態が生じるときに格子ミスフィットを低減しようとFePt内に双晶が形成され、その結果、結晶軸が分散して垂直磁気異方性が劣化する。また、FePtとMgOとの格子ミスフィットを低減するためにMgOの格子が歪み、トンネル電流の特性を劣化させてしまう。同様に、格子ミスフィットを低減しようとFePtが粒状化し、磁性体の実効的な体積が減少して熱擾乱耐性が劣化してしまう。
しかし、本実施形態では、磁性材料からなる記録層12を薄膜化した場合でも、記録層12の粒状化を抑制することができる。さらに、記録層12内に双晶が形成されるのを抑制することができるため、結晶軸が分散しない。これにより、記録層12の垂直磁気異方性、および熱擾乱耐性を向上させることができる。
また、記録層12および固定層11に垂直磁化膜を用いている。すなわち、記録層12および固定層11が熱的に安定するのに必要な異方性磁界は、結晶磁気異方性により得られる。これにより、MTJ素子10のアスペクト比を小さくすることができるため、MTJ素子10の微細化が可能である。
また、MTJ素子10を微細化しても反転電流密度が増加しないため、従来の磁気ランダムアクセスメモリでは実現できなかった90nm以下の微細なMTJ素子10を有する大容量(例えば256Mビット以上)の磁気ランダムアクセスメモリを具現化することができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態は、固定層11とトンネルバリア層13との間に、このトンネルバリア層13の結晶性を制御する磁性層を挿入することで、トンネルバリア層13および記録層12の結晶性を向上させるようにしている。
第2の実施形態は、固定層11とトンネルバリア層13との間に、このトンネルバリア層13の結晶性を制御する磁性層を挿入することで、トンネルバリア層13および記録層12の結晶性を向上させるようにしている。
図4は、本発明の第2の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。本実施形態では、シングルピン層構造を有するMTJ素子10について説明する。
MTJ素子10は、結晶配向用下地層15、固定層11A、界面固定層11B、トンネルバリア層13、記録層12、キャップ層14が順に積層された積層構造を有する。なお、この積層構造は、積層順序が逆転していても構わない。そして、結晶配向用下地層15の底面に下部電極16が設けられ、キャップ層14の上面に上部電極17が設けられている。
本実施形態の固定層11は、固定層11Aと界面固定層11Bとが積層されて構成されている。図4に示した固定層11Aは、上記第1の実施形態で示した固定層11と同じ磁性材料が用いられる。固定層11Aに(001)面が配向したL10構造を有するFePtを膜厚10〜20nmで用いた場合、FePtの上部界面は一部、(111)面が配向した双晶が形成される可能性がある。さらに、固定層11Aの上面にトンネルバリア層13としてのMgOを成膜すると、MgOの配向性が劣化し、さらに記録層12に用いるFePtの(001)面配向性も劣化する。その結果、磁気特性が劣化し、記録層12の信頼性が失われてしまう。
本実施形態では、固定層11Aとトンネルバリア層13との間に、界面固定層11Bを挿入する。界面固定層11Bとしては、膜厚0.4〜4nm程度のCoFeB合金などが用いられる。これにより、界面固定層11Bが無い場合と比較して、MgOの結晶性が向上し、この結果、記録層12の結晶性も向上する。また、界面固定層11BとしてCoFeB合金、FeB合金、CoFeNiB合金等のFe、Co、Niのうち1つ以上の元素を含む合金からなる膜を用いることによって、高いMRおよび高いスピン注入効率を得ることができる。
(第3の実施形態)
第3の実施形態は、記録層12とトンネルバリア層13との間に、磁気抵抗効果を増大させるための磁性層を挿入することで、MTJ素子10の特性を向上させるようにしている。
第3の実施形態は、記録層12とトンネルバリア層13との間に、磁気抵抗効果を増大させるための磁性層を挿入することで、MTJ素子10の特性を向上させるようにしている。
図5は、本発明の第3の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。本実施形態では、シングルピン層構造を有するMTJ素子10について説明する。
MTJ素子10は、結晶配向用下地層15、固定層11、トンネルバリア層13、界面記録層12B、記録層12A、キャップ層14が順に積層された積層構造を有する。なお、この積層構造は、積層順序が逆転していても構わない。そして、結晶配向用下地層15の底面に下部電極16が設けられ、キャップ層14の上面に上部電極17が設けられている。
本実施形態の記録層12は、界面記録層12Bと記録層12Aとが積層されて構成されている。図5に示した記録層12Aには、上記第1の実施形態で示した記録層12と同じ磁性材料が用いられる。
界面記録層12Bとしては、分極率の大きい強磁性体が用いられ、具体的には、(100)面が配向したfcc−Co、或いは(100)面が配向したbcc−Feなどを主成分とする磁性材料が用いられる。界面記録層12Bは、磁気抵抗効果を増大させる効果があり、さらには、スピン注入書き込み時に書き込み電流を低減する効果がある。
記録層12は、以下のように形成される。トンネルバリア層13上に、膜厚0.4〜3nm程度の上記材料からなる界面記録層12Bを成膜する。その後、界面記録層12B上に、300℃の加熱成膜によって規則化したFePt(001)を膜厚1〜10nm程度成膜する。そして、記録層12上に、MgOからなるキャップ層14を成膜する。
このように構成されたMTJ素子10では、記録層12Aによって高い熱擾乱耐性を得ることができる。また、界面記録層12Bによって、分極率の向上、および減衰定数の低減効果を得ることができる。この結果、MTJ素子10は、低電流での磁化反転を実現することができる。
なお、本実施形態に上記第2の実施形態を適用することも可能である。すなわち、記録層12が記録層12Aと界面記録層12Bとから構成され、固定層11が固定層11Aと界面固定層11Bとから構成される。このようにしてMTJ素子10を構成することで、記録層12の結晶性が向上し、かつ低電流での磁化反転が可能となる。
(第4の実施形態)
第4の実施形態は、規則化を促進する非磁性材料からなる中間層を記録層12内に挿入することで、この記録層12の規則化を促進するようにしている。さらに、MTJ素子10の磁気特性を向上させるようにしている。
第4の実施形態は、規則化を促進する非磁性材料からなる中間層を記録層12内に挿入することで、この記録層12の規則化を促進するようにしている。さらに、MTJ素子10の磁気特性を向上させるようにしている。
図6は、本発明の第4の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。図中の矢印は、磁化の方向を示している。本実施形態では、シングルピン層構造を有するMTJ素子10について説明する。
記録層12は、トンネルバリア層13側から順に、第1の磁性層12−1、中間層12−3、第2の磁性層12−2が順に積層されて構成されている。その他の構成は、第1の実施形態で示したMTJ素子10(図1)と同じである。
中間層12−3としては、記録層12の主成分となる合金の規則化を促進する非磁性材料が用いられる。例えば、第1の磁性層12−1としてFe、第2の磁性層12−2としてPtを用いた場合、中間層12−3にはMgなどが用いられる。記録層12をこのように構成することで、高い磁気特性を得ることが可能となる。
このように構成されたMTJ素子10の製造方法の一例について説明する。トンネルバリア層13を形成するまでの工程は、上記第1の実施形態と同じである。
図7に示すように、トンネルバリア層13としてのMgO上に、第1の磁性層12−1としてのFeを膜厚1nm程度成膜する。次に、第1の磁性層12−1上に、中間層12−3としてのMgを膜厚1〜2nm程度成膜する。次に、中間層12−3上に、第2の磁性層12−2としてのPtを膜厚1nm程度成膜する。なお、第2の磁性層12−2としては、FePt合金であっても良い。
次に、第2の磁性層12−2上に、キャップ層14としてのMgOを膜厚1nm程度で成膜する。或いは、記録層12の酸化を抑制するために、キャップ層14は、膜厚0.5nm程度のMg、膜厚0.5nm程度のMgOを順に成膜して形成しても良い。その後、500℃の熱処理を施す。
この熱処理後のMTJ素子10の磁気特性を図8に示す。なお、図8には、中間層12−3の膜厚を0〜2nmで変化させた場合のMTJ素子10の磁気特性について示している。また、図8には、熱処理の条件として、500℃を2時間(H)、および400℃を2時間(H)の場合のMTJ素子10の磁気特性についても示している。
垂直磁化の反転磁場Hcの値は、FeとPtとの間に挿入されたMgの膜厚と共に増加する。これは、Mgの挿入によってFePtの相互拡散が促進されたためで、Mgの挿入によってFePtの規則化が促進され、磁気特性が向上している。
Mgの挿入によってFePtの相互拡散が促進されたのは以下の効果によるものと考えられる。MgはFeに対して非固溶、Ptに対しては固溶な材料である。Fe、Mg、Ptの積層膜に熱を加えると、PtがMgと混ざりながら拡散する。Mg中に拡散したPtがFeとMgの界面に到達すると、次はMgとFeが置き変わりながら拡散が進行しFePtが形成される。このとき、Mgの移動が空格子を形成し、FePtを形成するための拡散エネルギーを低減している。
次に、基板を室温付近まで冷却した後、キャップ層14上に、上部電極17として膜厚100nm程度のTaを成膜する。このとき、Taは、薄いMgOキャップ層14を通して記録層12中に拡散してしまう。このため、キャップ層14と上部電極17との間に、拡散防止層としてRu(ルテニウム)、Au(金)、Ag(銀)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Rh(ロジウム)、Ir(イリジウム)などの層を挿入すると良い。
このように、規則化を促進する非磁性材料をFeとPtとの間に挿入して熱処理を施すことにより、同じ熱量でも高い磁気特性を得ることが可能となる。この記録層12の構造は、上記第1および第2および第3の実施形態に適用することも可能である。
(第5の実施形態)
第5の実施形態は、記録層12に対して格子整合する材料をキャップ層14として用いることで、記録層12の磁気特性を向上させるようにしている。
第5の実施形態は、記録層12に対して格子整合する材料をキャップ層14として用いることで、記録層12の磁気特性を向上させるようにしている。
図9は、本発明の第5の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。本実施形態では、シングルピン層構造を有するMTJ素子10について説明する。
MTJ素子10は、結晶配向用下地層15、固定層11、トンネルバリア層13、記録層12、キャップ層14が順に積層された積層構造を有する。なお、この積層構造は、積層順序が逆転していても構わない。そして、結晶配向用下地層15の底面に下部電極16が設けられ、キャップ層14の上面に上部電極17が設けられている。
キャップ層14としては、Ru(ルテニウム)、Al(アルミニウム)、Au(金)、Ag(銀)、Cr(クロム)、Cu(銅)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Rh(ロジウム)、Ir(イリジウム)のうち1つ以上の元素を含む金属を用いることができる。このような材料をキャップ層14に用いることで、熱処理により記録層12が分断されるのを防ぐことができる。その他の構成は、上記第1の実施形態と同じである。
このように構成されたMTJ素子10の製造方法の一例について説明する。トンネルバリア層13を形成するまでの工程は、上記第1の実施形態と同じである。
図10に示すように、トンネルバリア層13上に、第1の磁性層12−1としてFe、第2の磁性層12−2としてPtを順に成膜する。その後、この積層膜を400℃程度の温度で加熱する。これにより、記録層12としてのFePt合金を規則化させることができる。或いは、トンネルバリア層13上に、FePt合金を300℃程度で過熱成膜する。このようにしても、記録層12としてのFePt合金を規則化させることができる。
次に、図9に示すように、基板を室温付近まで冷却した後に、記録層12上に、キャップ層14として膜厚5nm程度のAuを成膜する。次に、キャップ層14上に、上部電極17として膜厚100nm程度のTaを成膜する。
このように構成されたMTJ素子10では、記録層12に対して格子整合する金属をキャップ層14に用いているため、記録層12の規則化を促進することができる。これにより、記録層12の磁気特性を向上させることができる。その他の効果は、上記第1の実施形態と同じである。なお、本実施形態は、上記第2乃至第4の実施形態に適用することも可能である。
(第6の実施形態)
第6の実施形態は、デュアルピン層構造(すなわち、記録層の両側にそれぞれ非磁性層を介して2つの固定層が配置される構造)を有するMTJ素子10についての本発明の適用例である。図11は、本発明の第6の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。
第6の実施形態は、デュアルピン層構造(すなわち、記録層の両側にそれぞれ非磁性層を介して2つの固定層が配置される構造)を有するMTJ素子10についての本発明の適用例である。図11は、本発明の第6の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。
デュアルピン層構造では、膜面垂直方向のある方向に電流を通電した場合、スピン注入効果とスピン蓄積効果とを同時に利用できるため、磁化反転電流を低減することが可能となる。また、デュアルピン層構造の特徴は、記録層の両端に配置された2つの固定層の磁化の向きが逆であるため、記録層の磁化反転に必要な電流密度が電流の向きに依存せず、“0”データと“1”データとを書き込む場合の電流値を同じにできることである。このため書き込み回路が複雑にならずに済む。
MTJ素子10は、結晶配向用下地層15、第1の固定層11、第1のトンネルバリア層13、記録層12、第2のトンネルバリア層22、第2の固定層21、キャップ層14が順に積層された積層構造を有する。なお、この積層構造は、積層順序が逆転していても構わない。そして、結晶配向用下地層15の底面に下部電極16が設けられ、キャップ層14の上面に上部電極17が設けられている。
第1の固定層11および第2の固定層21は、磁化(或いはスピン)の方向が固着されている。記録層12は、磁化の方向が変化(反転)する。また、第1の固定層11、第2の固定層21、および記録層12の容易磁化方向は膜面(或いは積層面)に対して垂直である。すなわち、図11に示したMTJ素子10は、第1の固定層11、第2の固定層21、および記録層12の磁化の方向が膜面に対して垂直方向を向く、いわゆる垂直磁化型MTJ素子である。
垂直磁化を実現する第1の固定層11、第2の固定層21および記録層12としては、(001)面が配向したfct(face-centered tetragonal)構造を基本構造とするL10型構造、或いはL12型構造を有する磁性材料が用いられる。なお、第1の固定層11および記録層12の材料は、上記第1の実施形態と同様である。
第2の固定層21を構成する磁性材料の具体例としては、Fe(鉄)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)、Mn(マンガン)、Cr(クロム)のうち1つ以上の元素と、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Rh(ロジウム)、Au(金)、Hg(水銀)、Al(アルミニウム)のうち1つ以上の元素とを含む合金からなり、かつ結晶構造がL10型或いはL12型の規則合金があげられる。
第1の固定層11および第2の固定層21として反転電流の大きな磁性層を用い、記録層12として第1の固定層11(或いは、第2の固定層21)よりも反転電流の小さい磁性層を用いることによって、高性能なMTJ素子10を実現することができる。スピン偏極した電子により磁化反転を起こす場合、その反転電流は飽和磁化、異方性磁界、体積に比例するため、これらを適切に調整して、記録層12と第1の固定層11(或いは、第2の固定層21)との反転電流に差をつけることができる。
第1のトンネルバリア層13および第2のトンネルバリア層22としては、正方晶型、或いは正方晶型の結晶構造を有する非磁性材料が用いられる。トンネルバリア層13およびトンネルバリア層22としては、Li(リチウム)、Be(ベリリウム)、Na(ナトリウム)、Mg(マグネシウム)、Nb(ニオブ)、Ti(チタン)、V(バナジウム)、Ta(タンタル)、Ba(バリウム)のうち1つ以上の元素を含む酸化物、或いはTi(チタン)、V(バナジウム)のうち1つ以上の元素を含む窒化物が用いられる。
キャップ層14としては、磁気抵抗効果を劣化させないために、金属を用いることが望ましい。キャップ層14として、例えばRu(ルテニウム)、Al(アルミニウム)、Au(金)、Ag(銀)、Cr(クロム)、Cu(銅)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Rh(ロジウム)、Ir(イリジウム)などが用いられる。
なお、第1のトンネルバリア層13の抵抗R1と、第2のトンネルバリア層22の抵抗R2とは、R1>R2若しくはR2>R1の関係を満足するように設計する。第1のトンネルバリア層13と第2のトンネルバリア層22とに同じ非磁性材料を用いる場合は、第1のトンネルバリア層13の膜厚と第2のトンネルバリア層22の膜厚とが異なるようにする。或いは、第2のトンネルバリア層22と記録層12との間に、記録層12に対して格子整合しかつMR比が劣化しない材料からなる金属スペース層を挿入して、抵抗R1、R2、およびMRを調整しても良い。この金属スペース層としては、Au、Cuなどがあげられる。
また、第2のトンネルバリア層22と第2の固定層21との間に、MR比が劣化しない材料からなる金属スペース層を挿入して、抵抗R1、R2、およびMRを調整しても良い。この金属スペース層としては、Au、Cuなどがあげられる。
このように構成されたMTJ素子10において、データの書き込みは、以下のように行われる。先ず、MTJ素子10は、膜面(或いは積層面)に垂直な方向において、双方向に電流通電される。
固定層11側から電子(すなわち、固定層11から記録層12へ向かう電子)を供給した場合、固定層11の容易磁化方向と同じ方向にスピン偏極された電子と、固定層21により反射されることで固定層21の容易磁化方向と反対方向にスピン偏極された電子とが記録層12に注入される。この場合、記録層12の磁化の方向は、固定層11の容易磁化方向と同じ方向に揃えられる。これにより、固定層11と記録層12との磁化の方向が平行配列となる。この平行配列のときはMTJ素子10の抵抗値は最も小さくなり、この場合をデータ“0”と規定する。
一方、固定層21側から電子(すなわち、固定層21から記録層12へ向かう電子)を供給した場合、固定層21の容易磁化方向と同じ方向にスピン偏極された電子と、固定層11により反射されることで固定層11の容易磁化方向と反対方向にスピン偏極された電子とが記録層12に注入される。この場合、記録層12の磁化の方向は、固定層11の容易磁化方向と反対方向に揃えられる。これにより、固定層11と記録層12との磁化の方向が反平行配列となる。この反平行配列のときはMTJ素子10の抵抗値は最も大きくなり、この場合をデータ“1”と規定する。
また、データの読み出しは、MTJ素子10に読み出し電流を流し、MTJ素子10の抵抗値の変化を検出する。この読み出し電流は、書き込み電流よりも小さい値に設定される。
このように構成されたMTJ素子10の製造方法の一例について説明する。先ず、図12に示すように、基板(図示せず)上に、下部電極16(例えば、膜厚100nm程度のTa)、下地層15を順に成膜する。次に、この下地層15上に、第1の固定層11として例えばFePtを膜厚10〜20nm程度成膜し、第1の固定層11を(001)面に配向させる。なお、第1の固定層11は、FePt合金を加熱成膜することにより、規則化させることができる。或いは、FeとPtとを順に成膜した後、この積層膜を加熱することにより、第1の固定層11を規則化させることもできる。
次に、図13に示すように、基板を室温付近まで冷却した後に、第1のトンネルバリア層13としてのMgOを膜厚0.4〜1.0nm程度で成膜する。或いは、固定層11の酸化を抑制するために、第1のトンネルバリア層13は、膜厚0.4nm程度のMg、膜厚0.6nm程度のMgOを順に成膜して形成しても良い。これにより、MgOは(100)面に配向する。なお、MgOを成膜した後、このMgOの結晶性を向上させるために300℃程度で加熱しても良い。また、第1の固定層11と第1のトンネルバリア層13との間には、スピン分極率を上げる目的でFe、或いはCoを主成分とする界面層を膜厚0.4〜3nmの範囲で挿入しても良い。
次に、第1のトンネルバリア層13上に、第1の磁性層12−1として、(100)面が配向したbcc(body-centered cubic)構造を有するFeを膜厚1〜3nm程度で成膜する。次に、第1の磁性層12−1上に、第2の磁性層12−2として、(100)面が配向したfcc(face-centered cubic)構造を有するPtを膜厚1〜3nm程度で成膜する。なお、第2の磁性層12−2としては、FePt合金を用いても良い。
次に、第2の磁性層12−2上に、第2のトンネルバリア層22としてのMgOを膜厚0.4〜1.0nm程度で成膜する。或いは、記録層12の酸化を抑制するために、第2のトンネルバリア層22は、膜厚0.4nm程度のMg、膜厚0.5nm程度のMgOを順に成膜して形成しても良い。その後、この積層膜に400℃以上の熱を付加すると、記録層12としてのFePt合金は、L10型の規則合金に規則化する。これにより、記録層12は、高い垂直磁化異方性を得ることができる。なお、400℃程度の熱処理の前に、第2のトンネルバリア層22としてのMgOの結晶性を向上させるために400℃以下の温度、例えば300℃程度の温度で積層膜を加熱することもFePtの規則化には効果的である。
次に、図14に示すように、第2のトンネルバリア層22上に、第2の固定層21として例えばFePtを膜厚10nm程度成膜し、第2の固定層21を(001)面に配向させる。この第2の固定層21は、例えば300℃程度の温度で加熱成膜される。次に、図11に示すように、基板を室温付近まで冷却した後、膜厚5nm程度のキャップ層14と、膜厚100nm程度の上部電極17(例えば、Ta)とを順に成膜する。
以上詳述したように、本発明をデュアルピン層構造に適用した場合でも、上記第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、本実施形態に上記第2および第4の実施形態を適用しても良い。
さらに、本実施形態に上記第2、3の実施形態を適用しても良い。すなわち、記録層12と第1のトンネルバリア層13との間、および記録層12と第2のトンネルバリア層22との間、および固定層11と第2のトンネルバリア層13との間、および固定層21と第2のトンネルバリア層22との間にそれぞれ、界面記録層を挿入してもよい。この界面記録層としては、分極率の大きい強磁性体が用いられる。これにより、MTJ素子10は、低電流での磁化反転を実現することができる。
(第7の実施形態)
第7の実施形態は、記録層12と第2の固定層21との間の非磁性層として金属を用いることで、MTJ素子10のMRを向上させるようにしている。さらに、この非磁性層として、記録層12に対して格子整合する非磁性材料を用いることで、記録層12の磁気特性を向上させるようにしている。
第7の実施形態は、記録層12と第2の固定層21との間の非磁性層として金属を用いることで、MTJ素子10のMRを向上させるようにしている。さらに、この非磁性層として、記録層12に対して格子整合する非磁性材料を用いることで、記録層12の磁気特性を向上させるようにしている。
図15は、本発明の第7の実施形態に係るMTJ素子10の構成を示す断面図である。本実施形態では、デュアルピン層構造を有するMTJ素子10について説明する。
MTJ素子10は、結晶配向用下地層15、第1の固定層11、トンネルバリア層13、記録層12、非磁性金属層23、第2の固定層21、キャップ層14が順に積層された積層構造を有する。なお、この積層構造は、積層順序が逆転していても構わない。そして、結晶配向用下地層15の底面に下部電極16が設けられ、キャップ層14の上面に上部電極17が設けられている。
非磁性金属層23としては、記録層12に対して格子整合する非磁性材料が用いられる。具体的には、非磁性金属層23としては、下記(1)〜(6)の非磁性材料をあげることができる。
(1)Li(リチウム)、Be(ベリリウム)、Na(ナトリウム)、Mg(マグネシウム)、Nb(ニオブ)、Ti(チタン)、V(バナジウム)、Ta(タンタル)、Ba(バリウム)のうち1つ以上の元素を含む酸化物
(2)Ti(チタン)、V(バナジウム)のうち1つ以上の元素を含む窒化物
(3)V(バナジウム)を含む炭化物
(4)Li(リチウム)、Pd(パラジウム)のうち1つ以上の元素を含む水素化物
(5)Zr(ジルコニウム)、Ho(ホルミウム)のうち1つ以上の元素を含むセレン化合物
(6)Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)のうち1つ以上の元素を含む金属
非磁性金属層23として金属を用いた場合、GMR(Giant Magnetoresistive)効果を利用することが可能となる。また、トンネルバリア層13の抵抗R1と、非磁性金属層23の抵抗R2とは、R1>R2若しくはR2>R1の関係を満足するように設計する。
(1)Li(リチウム)、Be(ベリリウム)、Na(ナトリウム)、Mg(マグネシウム)、Nb(ニオブ)、Ti(チタン)、V(バナジウム)、Ta(タンタル)、Ba(バリウム)のうち1つ以上の元素を含む酸化物
(2)Ti(チタン)、V(バナジウム)のうち1つ以上の元素を含む窒化物
(3)V(バナジウム)を含む炭化物
(4)Li(リチウム)、Pd(パラジウム)のうち1つ以上の元素を含む水素化物
(5)Zr(ジルコニウム)、Ho(ホルミウム)のうち1つ以上の元素を含むセレン化合物
(6)Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)のうち1つ以上の元素を含む金属
非磁性金属層23として金属を用いた場合、GMR(Giant Magnetoresistive)効果を利用することが可能となる。また、トンネルバリア層13の抵抗R1と、非磁性金属層23の抵抗R2とは、R1>R2若しくはR2>R1の関係を満足するように設計する。
第1の固定層11、トンネルバリア層13、および記録層12の構成については、上記第6の実施形態と同じである。第1の固定層11および第2の固定層21としては、上記第6の実施形態で示した磁性材料の他に、下記(1)〜(3)の材料を用いても良い。
(1)不規則合金
Co(コバルト)を主成分とし、Cr(クロム)、Ta(タンタル)、Nb(ニオブ)、V(バナジウム)、W(タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ti(チタン)、Zr(ジルコニウム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Fe(鉄)、Ni(ニッケル)のうち1つ以上の元素を含む合金。例えば、CoCr合金、CoPt合金、CoCrTa合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、CoCrNb合金等があげられる。これらの合金は、非磁性元素の割合を増加させて磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
Co(コバルト)を主成分とし、Cr(クロム)、Ta(タンタル)、Nb(ニオブ)、V(バナジウム)、W(タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ti(チタン)、Zr(ジルコニウム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Fe(鉄)、Ni(ニッケル)のうち1つ以上の元素を含む合金。例えば、CoCr合金、CoPt合金、CoCrTa合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、CoCrNb合金等があげられる。これらの合金は、非磁性元素の割合を増加させて磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
(2)人工格子
Fe(鉄)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)のうちいずれか1つの元素或いは1つ以上の元素を含む合金と、Cr(クロム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ir(イリジウム)、Rh(ロジウム)、Ru(ルテニウム)、Os(オスミウム)、Re(レニウム)、Au(金)、Cu(銅)のうちいずれか1つの元素或いは1つ以上の元素を含む合金とが交互に積層された積層膜。例えば、Co/Pt人工格子、Co/Pd人工格子、CoCr/Pt人工格子、Co/Ru人工格子、Co/Os人工格子、Co/Au、Ni/Cu人工格子等があげられる。これらの人工格子は、磁性層への元素の添加、磁性層と非磁性層との膜厚比を調整することで、磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
Fe(鉄)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)のうちいずれか1つの元素或いは1つ以上の元素を含む合金と、Cr(クロム)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ir(イリジウム)、Rh(ロジウム)、Ru(ルテニウム)、Os(オスミウム)、Re(レニウム)、Au(金)、Cu(銅)のうちいずれか1つの元素或いは1つ以上の元素を含む合金とが交互に積層された積層膜。例えば、Co/Pt人工格子、Co/Pd人工格子、CoCr/Pt人工格子、Co/Ru人工格子、Co/Os人工格子、Co/Au、Ni/Cu人工格子等があげられる。これらの人工格子は、磁性層への元素の添加、磁性層と非磁性層との膜厚比を調整することで、磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
(3)フェリ磁性体
希土類金属と遷移金属との合金からなるフェリ磁性体。例えば、Tb(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)、Gd(ガドリニウム)と、遷移金属のうち1つ以上の元素とからなるアモルファス合金。例えば、TbFe、TbCo、TbFeCo、DyTbFeCo、GdTbCo等があげられる。これらの合金は、組成比を調整することで磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
希土類金属と遷移金属との合金からなるフェリ磁性体。例えば、Tb(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)、Gd(ガドリニウム)と、遷移金属のうち1つ以上の元素とからなるアモルファス合金。例えば、TbFe、TbCo、TbFeCo、DyTbFeCo、GdTbCo等があげられる。これらの合金は、組成比を調整することで磁気異方性エネルギー密度、飽和磁化を調整することができる。
このように構成されたMTJ素子10の製造方法の一例について説明する。トンネルバリア層13を形成するまでの工程は、上記第6の実施形態と同じである。
図16に示すように、トンネルバリア層13上に、第1の磁性層12−1としてFe、第2の磁性層12−2としてPtを順に成膜する。その後、この積層膜を400℃程度の温度で加熱する。これにより、記録層12としてのFePt合金を規則化させることができる。或いは、トンネルバリア層13上に、FePt合金を300℃程度で過熱成膜する。このようにしても、記録層12としてのFePt合金を規則化させることができる。
次に、図15に示すように、基板を室温付近まで冷却した後に、記録層12上に、非磁性金属層23として膜厚3nm程度のAuを成膜する。次に、非磁性金属層23上に、第2の固定層21として例えばFePtを膜厚10nm程度成膜し、第2の固定層21を(001)面に配向させる。この第2の固定層21は、例えば300℃程度の温度で加熱成膜される。次に、基板を室温付近まで冷却した後、膜厚5nm程度のキャップ層14(例えば、Au)と、膜厚100nm程度の上部電極17(例えば、Ta)とを順に成膜する。
このように構成されたMTJ素子10では、記録層12に対して格子整合する非磁性材料を非磁性金属層23に用いているため、記録層12の規則化を促進することができる。これにより、記録層12の磁気特性を向上させることができる。また、第2のトンネルバリア層として金属を用いることで、MTJ素子10のMRを向上させることができる。なお、本実施形態に上記第2乃至第4の実施形態を適用しても良い。
(第8の実施形態)
第8の実施形態は、前述したMTJ素子10を用いてMRAMを構成した場合の例について示している。
第8の実施形態は、前述したMTJ素子10を用いてMRAMを構成した場合の例について示している。
図17は、本発明の第8の実施形態に係るMRAMの構成を示す回路図である。MRAMは、マトリクス状に配列された複数のメモリセルMCを有するメモリセルアレイ30を備えている。メモリセルアレイ30には、それぞれが列(カラム)方向に延在するように、複数のビット線対BL,/BLが配置されている。また、メモリセルアレイ30には、それぞれが行(ロウ)方向に延在するように、複数のワード線WLが配置されている。
ビット線BLとワード線WLとの交差部分には、前述したメモリセルMCが配置されている。各メモリセルMCは、MTJ素子10と選択トランジスタ31とにより構成されている。MTJ素子10の一端は、ビット線BLに接続されている。MTJ素子10の他端は、選択トランジスタ31のドレイン端子に接続されている。選択トランジスタ31のゲート端子は、ワード線WLに接続されている。選択トランジスタ31のソース端子は、ビット線/BLに接続されている。
ワード線WLには、ロウデコーダ32が接続されている。ビット線対BL,/BLには、書き込み回路34および読み出し回路35が接続されている。書き込み回路34および読み出し回路35には、カラムデコーダ33が接続されている。各メモリセルMCは、ロウデコーダ32およびカラムデコーダ33により選択される。
メモリセルMCへのデータ書き込みは、以下のように行われる。先ず、データ書き込みを行なうメモリセルMCを選択するために、このメモリセルMCに接続されたワード線WLが活性化される。これにより、選択トランジスタ31がターンオンする。
ここで、MTJ素子10には、双方向の書き込み電流Iwが供給される。具体的には、MTJ素子10に左から右へ書き込み電流Iwを供給する場合、書き込み回路34は、ビット線BLに正の電位を印加し、ビット線/BLに接地電位を印加する。また、MTJ素子10に右から左へ書き込み電流Iwを供給する場合、書き込み回路34は、ビット線/BLに正の電位を印加し、ビット線BLに接地電位を印加する。このようにして、メモリセルMCにデータ“0”或いはデータ“1”を書き込むことができる。
メモリセルMCからのデータ読み出しは、以下のように行われる。先ず、メモリセルMCが選択される。読み出し回路35は、MTJ素子10に、例えば右から左へ流れる読み出し電流Irを供給する。そして、読み出し回路35は、この読み出し電流Irに基づいて、MTJ素子10の抵抗値を検出する。このようにして、MTJ素子10に記憶された情報を読み出すことができる。
以上詳述したように本実施形態によれば、上記第1乃至第7の実施形態で示したMTJ素子10を用いてMRAMを構成することができる。また、上記第1乃至第7の実施形態で示したMTJ素子10を用いることで、微細化が可能で、かつ反転電流密度を低減することが可能なMRAMを構成することができる。
なお、本発明の第1乃至第8の実施形態に係るMTJ素子10或いはMRAMは、様々な装置に適用することが可能である。これらのいくつかの適用例を図18乃至図24に示す。
(適用例1)
図18は、デジタル加入者線(DSL)用モデムのDSLデータパス部を抽出して示している。このモデムは、プログラマブルデジタルシグナルプロセッサ(DSP:Digital Signal Processor)100、アナログ−デジタル(A/D)コンバータ110、デジタル−アナログ(D/A)コンバータ120、送信ドライバ130、および受信機増幅器140などを含んでいる。
図18は、デジタル加入者線(DSL)用モデムのDSLデータパス部を抽出して示している。このモデムは、プログラマブルデジタルシグナルプロセッサ(DSP:Digital Signal Processor)100、アナログ−デジタル(A/D)コンバータ110、デジタル−アナログ(D/A)コンバータ120、送信ドライバ130、および受信機増幅器140などを含んでいる。
図18では、バンドパスフィルタを省略しており、その代わりに回線コードプログラム(DSPで実行される、コード化された加入者回線情報、伝送条件等(回線コード;QAM、CAP、RSK、FM、AM、PAM、DWMT等)に応じてモデムを選択、動作させるためのプログラム)を保持するための種々のタイプのオプションのメモリとして、本実施形態のMRAM170とEEPROM180とを示している。
なお、本適用例では、回線コードプログラムを保持するためのメモリとしてMRAM170とEEPROM180との2種類のメモリを用いているが、EEPROM180をMRAMに置き換えてもよい。すなわち、2種類のメモリを用いず、MRAMのみを用いるように構成してもよい。
(適用例2)
図19は、別の適用例として、携帯電話端末300を示している。通信機能を実現する通信部200は、送受信アンテナ201、アンテナ共用器202、受信部203、ベースバンド処理部204、音声コーデックとし用いられるDSP205、スピーカ(受話器)206、マイクロホン(送話器)207、送信部208、および周波数シンセサイザ209等を備えている。
図19は、別の適用例として、携帯電話端末300を示している。通信機能を実現する通信部200は、送受信アンテナ201、アンテナ共用器202、受信部203、ベースバンド処理部204、音声コーデックとし用いられるDSP205、スピーカ(受話器)206、マイクロホン(送話器)207、送信部208、および周波数シンセサイザ209等を備えている。
また、この携帯電話端末300には、当該携帯電話端末の各部を制御する制御部220が設けられている。制御部220は、CPU221、ROM222、本実施形態のMRAM223、およびフラッシュメモリ224がCPUバス225を介して接続されて形成されたマイクロコンピュータである。上記ROM222には、CPU221において実行されるプログラムや表示用のフォント等の必要となるデータが予め記憶されている。MRAM223は、主に作業領域として用いられるものであり、CPU221がプログラムの実行中において計算途中のデータなどを必要に応じて記憶したり、制御部220と各部との間でやり取りするデータを一時記憶したりする場合などに用いられる。また、フラッシュメモリ224は、携帯電話端末300の電源がオフされても、例えば直前の設定条件などを記憶しておき、次の電源オン時に同じ設定にするような使用方法をする場合に、それらの設定パラメータを記憶しておくものである。これによって、携帯電話端末の電源がオフにされても、記憶されている設定パラメータを消失してしまうことがない。
さらに、この携帯電話端末300には、オーディオ再生処理部211、外部出力端子212、LCDコントローラ213、表示用のLCD(液晶ディスプレイ)214、および呼び出し音を発生するリンガ215等が設けられている。上記オーディオ再生処理部211は、携帯電話端末300に入力されたオーディオ情報(あるいは後述する外部メモリ240に記憶されたオーディオ情報)を再生する。再生されたオーディオ情報は、外部出力端子212を介してヘッドフォンや携帯型スピーカ等に伝えることにより、外部に取り出すことが可能である。このように、オーディオ再生処理部211を設けることにより、オーディオ情報の再生が可能となる。上記LCDコントローラ213は、例えば上記CPU221からの表示情報をCPUバス225を介して受け取り、LCD214を制御するためのLCD制御情報に変換し、LCD214を駆動して表示を行わせる。
上記携帯電話端末300には、インターフェース回路(I/F)231,233,235、外部メモリ240、外部メモリスロット232、キー操作部234、および外部入出力端子236等が設けられている。上記外部メモリスロット232にはメモリカード等の外部メモリ240が挿入される。この外部メモリスロット232は、インターフェース回路(I/F)231を介してCPUバス225に接続される。このように、携帯電話端末300にスロット232を設けることにより、帯電話端末300の内部の情報を外部メモリ240に書き込んだり、あるいは外部メモリ240に記憶された情報(例えばオーディオ情報)を携帯電話端末300に入力したりすることが可能となる。上記キー操作部234は、インターフェース回路(I/F)233を介してCPUバス225に接続される。キー操作部234から入力されたキー入力情報は、例えばCPU221に伝えられる。上記外部入出力端子236は、インターフェース回路(I/F)233を介してCPUバス225に接続され、携帯電話端末300に外部から種々の情報を入力したり、あるいは携帯電話端末300から外部へ情報を出力したりする際の端子として機能する。
なお、本適用例では、ROM222、MRAM223およびフラッシュメモリ224を用いているが、フラッシュメモリ224をMRAMに置き換えてもよいし、さらにROM222もMRAMに置き換えることも可能である。
(適用例3)
図20乃至図24は、MRAMをスマートメディア等のメディアコンテンツを収納するカード(MRAMカード)に適用した例をそれぞれ示す。
図20乃至図24は、MRAMをスマートメディア等のメディアコンテンツを収納するカード(MRAMカード)に適用した例をそれぞれ示す。
図20に示すように、MRAMカード本体400には、MRAMチップ401が内蔵されている。このカード本体400には、MRAMチップ401に対応する位置に開口部402が形成され、MRAMチップ401が露出されている。この開口部402にはシャッター403が設けられており、当該MRAMカードの携帯時にMRAMチップ401がシャッター403で保護されるようになっている。このシャッター403は、外部磁場を遮蔽する効果のある材料、例えばセラミックからなっている。データを転写する場合には、シャッター403を開放してMRAMチップ401を露出させて行なう。外部端子404はMRAMカードに記憶されたコンテンツデータを外部に取り出すためのものである。
図21および図22は、上記MRAMカードにデータを転写するための、カード挿入型の転写装置の上面図および断面図を示している。エンドユーザの使用する第2MRAMカード450を、矢印で示すように転写装置500の挿入部510より挿入し、ストッパ520で止まるまで押し込む。このストッパ520は第1MRAM550と第2MRAMカード450を位置合わせするための部材としても働く。第2MRAMカード450が所定位置に配置されると、第1MRAMデータ書き換え制御部から外部端子530に制御信号が供給され、第1MRAM550に記憶されたデータが第2MRAMカード450に転写される。
図23には、はめ込み型の転写装置を示す。この転写装置は、矢印で示すように、ストッパ520を目標に、第1MRAM550上に第2MRAMカード450をはめ込むように載置するタイプである。転写方法についてはカード挿入型と同一であるので、説明を省略する。
図24には、スライド型の転写装置を示す。この転写装置は、CD−ROMドライブやDVDドライブと同様に、転写装置500に受け皿スライド560が設けられており、この受け皿スライド560が矢印で示すように移動する。受け皿スライド560が破線の位置に移動したときに第2MRAMカード450を受け皿スライド560に載置し、第2MRAMカード450を転写装置500の内部へ搬送する。ストッパ520に第2MRAMカード450の先端部が当接するように搬送される点、および転写方法についてはカード挿入型と同一であるので、説明を省略する。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、構成要素を変形して具体化できる。また、実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を構成することができる。例えば、実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
MC…メモリセル、BL,/BL…ビット線、WL…ワード線、10…MTJ素子、11,11A,21…固定層、12,12A…記録層、12B…界面記録層、13,22…トンネルバリア層、14…キャップ層、15…下地層、16…下部電極、17…上部電極、23…非磁性金属層、30…メモリセルアレイ、31…選択トランジスタ、32…ロウデコーダ、33…カラムデコーダ、34…書き込み回路、35…読み出し回路、100…DSP、110…A/Dコンバータ、120…D/Aコンバータ、130…送信ドライバ、140…受信機増幅器、170…MRAM、180…EEPROM、200…通信部、201…送受信アンテナ、202…アンテナ共用器、203…受信部、204…ベースバンド処理部、205…DSP、206…スピーカ、207…マイクロホン、208…送信部、209…周波数シンセサイザ、211…オーディオ再生処理部、212…外部出力端子、213…LCDコントローラ、214…LCD、215…リンガ、220…制御部、221…CPU、222…ROM、223…MRAM、224…フラッシュメモリ、225…CPUバス、231,233,235…インターフェース回路、232…外部メモリスロット、232…スロット、234…キー操作部、236…外部入出力端子、240…外部メモリ、300…携帯電話端末、400…MRAMカード本体、401…MRAMチップ、402…開口部、403…シャッター、404…外部端子、450…MRAMカード、500…転写装置、510…挿入部、520…ストッパ、530…外部端子、550…MRAM、560…受け皿スライド。
Claims (18)
- 磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつスピン偏極した電子の作用により磁化の方向が変化し、かつ(001)面が配向したfct型の結晶構造を有する磁化自由層と、
前記磁化自由層を挟むように設けられ、かつ正方晶型或いは立方晶型の結晶構造を有する第1および第2の非磁性層と、
前記磁化自由層の一方の側のみに設けられ、かつ前記第1の非磁性層の前記磁化自由層が設けられた面と反対面に設けられ、かつ磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつ磁化の方向が固着された磁化固着層と
を具備することを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつスピン偏極した電子の作用により磁化の方向が変化し、かつ(001)面が配向したfct型の結晶構造を有する磁化自由層と、
前記磁化自由層を挟むように設けられ、かつ正方晶型或いは立方晶型の結晶構造を有する第1および第2の非磁性層と、
前記第1の非磁性層の前記磁化自由層が設けられた面と反対面に設けられ、かつ磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつ磁化の方向が固着された第1の磁化固着層と、
前記第2の非磁性層の前記磁化自由層が設けられた面と反対面に設けられ、かつ磁性材料を含み、かつ膜面に対して垂直方向の磁化を有し、かつ磁化の方向が固着された第2の磁化固着層と
を具備し、
前記第1の非磁性層の抵抗値は、前記第2の非磁性層の抵抗値と異なることを特徴とする磁気抵抗効果素子。 - 前記第1の非磁性層は、Li、Be、Na、Mg、Nb、Ti、V、Ta、Baのうち1つ以上の元素を含む酸化物、或いはTi、Vのうち1つ以上の元素を含む窒化物からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第2の非磁性層は、Li、Be、Na、Mg、Nb、Ti、V、Ta、Baのうち1つ以上の元素を含む酸化物、或いはTi、Vのうち1つ以上の元素を含む窒化物、或いはVを含む炭化物、或いはLi、Pdのうち1つ以上の元素を含む水素化物、或いはZr、Hoのうち1つ以上の元素を含むセレン化合物、或いはAl、Au、As、Ag、Be、Ga、P、Pt、Pd、Ir、Rh、Cu、V、Cr、Nb、Mo、Ta、Wのうち1つ以上の元素を含む金属若しくは金属間化合物からなることを特徴とする請求項1に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記第2の非磁性層は、Li、Be、Na、Mg、Nb、Ti、V、Ta、Baのうち1つ以上の元素を含む酸化物、或いはTi、Vのうち1つ以上の元素を含む窒化物、或いはVを含む炭化物、Li、Pdのうち1つ以上の元素を含む水素化物、或いはZr、Hoのうち1つ以上の元素を含むセレン化合物、或いはAu、Ag、Cuのうち1つ以上の元素を含む金属からなることを特徴とする請求項2に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記磁化自由層の膜厚は、10nm以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記磁化自由層は、L10型、或いはL12型の結晶構造を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子
- 前記磁化自由層は、Fe、Co、Ni、Mn、Crのうち1つ以上の元素と、Pt、Pd、Rh、Au、Hg、Alのうち1つ以上の元素とからなる合金を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記磁化自由層は、その中間部分に挿入され、かつ非磁性材料からなる中間層を含み、
前記磁化自由層の磁性材料は、(001)面が配向したfct型の結晶構造を有することを特徴とする請求項8に記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記磁化自由層は、Be、Mn、Cu、Sm、Au、Nd、Ag、Pr、La、Ca、Yb、Eu、Ce、Sr、Ba、Al、Mg、Zn、Pb、Cd、Sn、Inのうち1つ以上の元素を含むことを特徴とする請求項8に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記磁化自由層は、Sn、Sb、Pb、Biのうち1つ以上の元素を含むことを特徴とする請求項8に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記磁化自由層は、Li、Na、K、Be、Mg、Ca、Scのうち1つ以上の元素を含むことを特徴とする請求項8に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記磁化自由層は、B、Cのうち1つ以上の元素を含むことを特徴とする請求項8に記載の磁気抵抗効果素子。
- 前記磁化自由層は、Fe、Co、Ni、Mn、Crのうち1つ以上の元素と、Pt、Pd、Rh、Au、Hg、Alのうち1つ以上の第2の元素とからなる合金を主成分とし、
前記第1の元素と前記第2の元素との組成比はそれぞれ、40乃至60原子%の間に設定され、
前記合金の酸素の含有量は、1%以下であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。 - 前記磁化自由層は、Fe、Co、Ni、Mn、Crのうち1つ以上の元素と、Pt、Pd、Rh、Au、Hg、Alのうち1つ以上の第2の元素とからなる合金を主成分とし、
前記第1の元素の含有量は、前記第2の元素の含有量より少なく、
前記合金の酸素の含有量は、10%以上であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子。 - 請求項1乃至15のいずれかに記載の磁気抵抗効果素子と、この磁気抵抗効果素子に対して通電を行なう第1および第2の電極とを含むメモリセルを具備することを特徴とする磁気メモリ。
- 前記第1の電極に電気的に接続された第1の配線と、
前記第2の電極に電気的に接続された第2の配線と、
前記第1および第2の配線に電気的に接続され、かつ前記磁気抵抗効果素子に電流を供給する書き込み回路とをさらに具備することを特徴とする請求項16に記載の磁気メモリ。 - 前記磁気抵抗効果素子の前記第2の電極と前記第2の配線との間に直列に接続された選択トランジスタと、
前記選択トランジスタのオン/オフを制御する第3の配線とをさらに具備することを特徴とする請求項17に記載の磁気メモリ。
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