JP2005521066A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. 試験プローブの組を基板上の接触領域に整列させるための試験プローブ整列装置であって、該基板が、試験プローブ整列装置に隣接し、平面内を移動するよう駆動され、かつ回転移動を防止するよう拘束されているチャック上に支持されている試験プローブ整列装置において、
   試験プローブ整列装置が、
   チャックの移動平面に実質的に垂直な回転軸を有する回転可能ステージで、回転可能ステージを一緒に動かすことなく該平面内をチャックが移動できるようにチャックから切り離された回転可能ステージと、
   回転可能ステージと共に回転するよう回転可能ステージ上に支持された台で、試験プローブの組を支持するよう適合された台と、
   該台と動作可能に嵌合し、かつ回転可能ステージの回転軸に沿って回転可能ステージに対して該台を直線的に並進運動することによって試験プローブを接触領域に嵌合させるよう駆動される並進運動ステージとを具え、
   回転可能ステージの回転によって、試験プローブの組を回転軸の周りに回転させて、試験プローブが接触領域と嵌合する前に、試験プローブを接触領域と整列させることを特徴とする試験プローブ整列装置。
2. チャックが前記平面内の２つの直交する軸に沿って移動可能であり、基板が所定の配列パターンに配置された回路の配列を含んでおり、各回路が接触領域の組を含んでおり、配列パターンが前記直交軸に対して角度ずれを有しており、
   試験プローブ整列装置が、
   配列パターンに対応するインデックス計画を格納するよう適合されたコンピュータ読み取り可能なデータ記憶媒体で、インデックス計画が、１対以上の配列回路の接触領域の組の間の空間的オフセットを表す移動ベクトルの組を含むデータ記憶媒体と、
   配列パターンの角度ずれを測定する位置センサーと、
   データ記憶媒体及びセンサーと通信する動作コントローラーで、位置センサーにより測定された配列パターンの角度ずれに基づいて移動ベクトルの座標変換を行うコンピュータプロセッサーを含む動作コントローラーとをさらに具える、請求項１に記載の試験プローブ整列装置。
3. 位置センサーがカメラを含む、請求項２に記載の試験プローブ整列装置。
4. コンピュータ読み取り可能なデータ記憶媒体がメモリーを含む、請求項２に記載の試験プローブ整列装置。
5. チャックを支持し、前記平面内で移動するよう駆動されるワーク位置決めステージをさらに具える、請求項１に記載の試験プローブ整列装置。
6. 回転可能ステージがリングベアリングを含む、請求項１に記載の試験プローブ整列装置。
7. 回転可能ステージと動作可能に嵌合して、回転可能ステージを回転可能に駆動するトートバンド機構をさらに具える、請求項１に記載の試験プローブ整列装置。
8. 並進運動ステージが回転可能ステージ上に支持されており、これと一緒に移動する、請求項１に記載の試験プローブ整列装置。
9. 台及び回転可能ステージに動作可能に相互接続されて、回転可能ステージに対して台を付勢する抗反動バネをさらに具える、請求項１に記載の試験プローブ整列装置。
10. プローブの組を基板上の接触領域に整列させるプローブ整列装置であって、該基板が、プローブ整列装置と分離しており、平面内を移動するよう駆動され、かつ回転移動を防止するよう拘束されている独立移動可能なＸ−Ｙステージ上に支持されているプローブ整列装置において、
    Ｘ−Ｙステージの移動平面に実質的に垂直な回転軸を有するθステージで、Ｘ−Ｙステージの移動によってθステージの移動が生じず、かつθステージの移動によってＸ−Ｙステージの移動が生じないように、Ｘ−Ｙステージから分離されたθステージと、
    θステージと共に回転するようθステージに連結された台で、プローブの組を支持するよう適合された台と、
    該台と動作可能に嵌合され、θステージの回転軸に沿ってθステージに対して直線的に台を駆動し、これによってプローブを移動して接触領域と嵌合させるＺステージとを具え、
    θステージの回転によって、プローブの組を回転軸の周りに回転させて、プローブを移動して接触領域と嵌合させる前にプローブを接触領域と整列させることを特徴とするプローブ整列装置。
11. Ｘ−Ｙステージが前記平面内の２つの直交する軸に沿って移動可能であり、基板が所定の配列パターンに配置された回路の配列を含んでおり、各回路が接触領域の組を含んでおり、配列パターンが前記直交軸に対して角度ずれを有しており、
    プローブ整列装置が、
    配列パターンに対応するインデックス計画を格納するよう適合されたコンピュータ読み取り可能なデータ記憶媒体で、インデックス計画が、１対以上の配列回路の接触領域の組の間の空間的オフセットを表す移動ベクトルの組を含むデータ記憶媒体と、
    配列パターンの角度ずれを測定する位置センサーと、
    データ記憶媒体及びセンサーと通信するコンピュータプロセッサーで、位置センサーにより測定された配列パターンの角度ずれに基づいて移動ベクトルの座標変換を行うコンピュータプロセッサーと、
    コンピュータプロセッサーと通信して変換された移動ベクトルに基づいてＸ−Ｙステージの移動を制御する動作コントローラーをさらに具える、請求項１０に記載のプローブ整列装置。
12. 位置センサーがカメラを含む、請求項１１に記載のプローブ整列装置。
13. チャックを支持し、θステージの回転移動とは独立に前記平面内で移動するよう駆動されるワーク位置決めステージをさらに具える、請求項１０に記載のプローブ整列装置。
14. 回転可能ステージがリングベアリングを含む、請求項１０に記載のプローブ整列装置。
15. θステージと動作可能に嵌合してθステージを回転させるトートバンド機構をさらに具える、請求項１０に記載のプローブ整列装置。
16. 並進運動ステージがθステージ上に支持されており、これと一緒に移動する、請求項１０に記載のプローブ整列装置。
17. θステージに対して台を付勢し、Ｚステージでの反動効果を低減する手段をさらに具える、請求項１０に記載のプローブ整列装置。
18. 基板をその上に支持するチャックを含むワーク位置決めステージで、平面内で移動するよう調節可能であり、チャックの回転移動を防止するよう拘束されたワーク位置決めステージと、
    ワーク位置決めステージから分離し、かつワーク位置決めステージの移動面に実質的に垂直な回転軸を有する回転可能ステージで、回転可能ステージ及びワーク位置決めステージのそれぞれが他方の移動を生じることなく独立して調節可能である回転可能ステージと、
    回転ステージ上に支持され、これと共に回転するツールと、
    該ツールと動作可能に嵌合されており、回転可能ステージの回転軸に沿って回転可能ステージに対してツールが直線的に並進運動するよう駆動される並進運動ステージとを具え、
    回転可能ステージの回転によって、回転軸の周りにツールを回転させてツールを基板に整列させることを特徴とする、回路部品の試験に用いるための整列装置。
19. チャックが平面内の２つの直交する軸に沿って移動可能であり、基板が所定の配列パターンに配置された回路の配列を含んでおり、該配列パターンが、直交する軸に対して角度ずれを有しており、
    整列装置が、
    配列パターンに対応するインデックス計画を格納するよう適合されたコンピュータ読み取り可能なデータ記憶媒体で、インデックス計画が、１対以上の配列回路の接触領域の組の間の空間的オフセットを表す移動ベクトルの組を含むデータ記憶媒体と、
    配列パターンの角度ずれを測定する位置センサーと、
    データ記憶媒体及び位置センサーと通信するコンピュータプロセッサーで、位置センサーにより測定された配列パターンの角度ずれに基づいて移動ベクトルの座標変換を行うコンピュータプロセッサーとをさらに具える、請求項１８に記載の整列装置。
20. 回転可能ステージがリングベアリングを含む、請求項１８に記載の整列装置。
21. 並進運動ステージが回転可能ステージ上に支持されており、これと一緒に移動する、請求項１８に記載の整列装置。
22. 変換された移動ベクトルに基づいてワーク位置決めステージの動きを制御するよう操作可能な動作コントローラーをさらに具える、請求項１９に記載の整列装置。