TWI641841B - 用於測試一受試裝置之探針設備、經結構設計以在用於測試一受試裝置之一探針設備中使用之探針心及用於將一探針心閂至一裝置之方法 - Google Patents

用於測試一受試裝置之探針設備、經結構設計以在用於測試一受試裝置之一探針設備中使用之探針心及用於將一探針心閂至一裝置之方法 Download PDF

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TWI641841B
TWI641841B TW103146642A TW103146642A TWI641841B TW I641841 B TWI641841 B TW I641841B TW 103146642 A TW103146642 A TW 103146642A TW 103146642 A TW103146642 A TW 103146642A TW I641841 B TWI641841 B TW I641841B
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Abstract

本發明提供一種可相對於一電路板鎖定及解鎖一探針心之閂總成。該閂總成可與該探針心嚙合以相對於一電路板對準該探針心且藉由旋轉而將該探針心向下壓抵於該電路板以鎖定該探針心與該電路板。一安裝工具經提供以將該探針心夾持至一閂總成或一探針心載體或自該閂總成或該探針心載體釋放該探針心。該安裝工具可與該探針心及/或該閂總成對準以相對於一電路板鎖定及解鎖該探針心。

Description

用於測試一受試裝置之探針設備、經結構設計以在用於測試一受試裝置之一探針設備中使用之探針心及用於將一探針心閂至一裝置之方法
本發明大體上係關於特定言之用於測試一受試裝置(例如，一半導體裝置)之測試裝備。更特定言之，本發明係關於一種結構化為一探針心之探針設備，該探針心與測試裝備一起使用以用於電探測一受試裝置(諸如，一半導體晶圓)。
半導體工業持續需要存取一半導體晶圓上之許多電子裝置。隨著半導體工業發展且裝置變得愈來愈小且愈來愈複雜，必須(例如)針對洩露電流及極低操作電流對許多電裝置、最常見的半導體裝置及晶圓上電互連進行電測試，同時該等裝置呈晶圓形式。另外，通常需要在一寬溫度範圍內評估電流及裝置特性以理解溫度如何影響一裝置。同樣地，由於半導體技術之連續且迅速改變，因此半導體裝置之大小及其等電接觸墊變得愈來愈小。
為有效量測呈晶圓形式之半導體裝置，使用探針來接觸晶圓之表面上之導電墊。此等探針繼而電連接至測試儀器。通常，額外電互連組件(諸如，電路板)構成該等探針與測試儀器之間的連接之一部分。為最小化電量測之降級，該等探針及互連組件必須經設計以將量測信號與外部電幹擾、穿過介電材料之洩露電流、寄生電容、摩擦電雜訊、壓電雜訊及介電吸收等等隔離。
用於半導體裝置之晶圓級電測試之一典型探針卡可包含永久接合至一電路板之探針，該電路板經設計以介接至一特定測試儀器。接觸墊大小、接觸墊佈局或測試儀器介面之改變需要更換整個探針卡總成。一替代方法係使用介接至一電路板之一探針心，該電路板繼而經設計以介接至一特定測試儀器。接觸墊大小或接觸墊佈局之改變需要更換該探針心。測試儀器介面之改變需要更換該電路板。
據此，持續需要用於電探測半導體裝置(諸如，半導體晶圓)之經改良半導體測試裝備。
本發明大體上係關於特定言之用於測試一受試裝置(例如，一半導體裝置)之測試裝備。更特定言之，本發明係關於一種結構化為一探針心之探針設備，該探針心與測試裝備一起使用以用於電探測一受試裝置(諸如，一半導體晶圓)。
描述在(例如)測試一半導體裝置之系統中有用之測試裝備。更特定言之，描述可用以電探測一受試裝置(諸如，一半導體晶圓)之一探針設備。一般而言，該探針設備係可相對於另一測試裝備或組件(諸如，一電路板)鎖定及解鎖之一探針心，且其中該探針心具有可探測該裝置且電連接至可將信號自該探針心傳輸至(例如)其他測試裝備之觸點的一或多個探針。
本文中所描述之實施例提供可相對於一電路板鎖定及解鎖一探針心之一閂總成。該閂總成可藉由將該探針心準確地定位至該電路板而將該探針心配合至該電路板。在一些實施例中，該閂總成可與該探針心嚙合以相對於一電路板對準該探針心且藉由旋轉該閂總成之一或多個組件而將該探針心向下壓抵於該電路板以將該探針心與該電路板鎖定。
在一些實施例中，探針心探針可係線針，該等線針可具有至其 他測試裝備之電連接及觸點。
在一些實施例中，一探針心包含具有一嚙合元件之一頂板，該嚙合元件可與該閂總成對準且與該閂總成嚙合以藉由旋轉該閂總成之一或多個組件而被向下按壓。在一些實施例中，該嚙合元件可係一凸耳元件，該凸耳元件係自該探針心之一頂板徑向突出之一突出部。
在一些實施例中，提供一安裝工具以將一探針心夾持至一閂總成或一探針心載體或自該閂總成或該探針心載體釋放一探針心。該安裝工具可與該探針心及/或該閂總成對準以相對於一電路板鎖定及解鎖該探針心。在一些實施例中，該安裝工具可相對於一電路板或一載體解鎖該探針心且同時夾持該探針心。在一些實施例中，該安裝工具可將該探針心鎖定至該電路板或該載體且同時自該探針心釋放。
本文中所描述之實施例可允許以低損壞風險容易地安裝及移除一探針心。本文中所描述之實施例亦可提供可容易更換之探針心及該等探針心與一電路板之間的一中間介面而不使電量測降級。
揭示用於測試一受試裝置之一探針設備。該設備包含：一探針心，其包含一頂板、一線導、複數個探針線及一探針塊；一電路板；及一閂總成，其用於將該探針心可移除地固定至該電路板。該閂總成包含：一夾緊機構，其經結構設計以將該探針心壓抵於該電路板；及一導板，其安置於該夾緊機構與該電路板之間，該導板經結構設計以使該探針心相對於該電路板定向在一特定位置中。
揭示用於測試一受試裝置之一探針設備。該設備包含：一電路板，其具有一嚙合總成；及一探針心。該探針心包含：一頂板，其包含經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供該探針心相對於該電路板之一粗略對準之一或多個嚙合元件；一線導，其包含定位於該線導之一周邊處之一或多個凹口，該一或多個凹口經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供一精細對準；複數個探針線；及一探針 塊。該探針心可與該嚙合總成嚙合。
揭示經結構設計以在用於測試一受試裝置之一探針設備中使用之一探針心。該探針心包含：一頂板，其包含經結構設計以在該探針心夾緊至一電路板時提供該探針心相對於該電路板之一粗略對準之一或多個嚙合元件；一線導，其包含定位於該線導之一周邊處之一或多個凹口，該一或多個凹口經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供一精細對準；複數個探針線；及一探針塊。該探針心可與該嚙合總成嚙合。
揭示一種用於將一探針心閂至一裝置之方法。該方法包含：使用一安裝工具施加一力至一驅動板，該驅動板經結構設計以對應地旋轉一閂板；將該閂板迫抵於該探針心上之一嚙合元件以藉此將該探針心夾緊至該裝置；及在該探針心夾緊至該裝置時將該安裝工具自該探針心移除。
14‧‧‧上線導
16‧‧‧下線導
24‧‧‧驅動板
26‧‧‧閂板
28‧‧‧彈性元件
31‧‧‧手柄
32‧‧‧軸
33‧‧‧頂部部件
34‧‧‧棘爪
35‧‧‧保護套筒
35a‧‧‧內輪廓
35b‧‧‧外輪廓
36‧‧‧彈性元件
41‧‧‧盒
42‧‧‧上部件
43‧‧‧下部件
44‧‧‧閂盤
45‧‧‧凸起區域
46‧‧‧套筒對準特徵
47‧‧‧孔
100‧‧‧探針測試裝備
110‧‧‧探針心
110a至110e‧‧‧探針心
112‧‧‧探針塊
112a‧‧‧板
112b‧‧‧組件
113‧‧‧探針線
113’‧‧‧探針尾
113a‧‧‧第一端
113b‧‧‧第二端
114‧‧‧線導
114a至114c‧‧‧凹口
114a’至114c’‧‧‧凸塊
115‧‧‧頂板
115a至115c‧‧‧嚙合元件/凸耳元件
115a’至115c’‧‧‧凹口
116‧‧‧識別印刷佈線板
120‧‧‧閂總成
122‧‧‧電路板
122a‧‧‧特徵
123‧‧‧加固框架
124‧‧‧夾緊機構
125‧‧‧導板
128‧‧‧手柄
129‧‧‧腔
130‧‧‧安裝工具
140‧‧‧探針心載體
160‧‧‧對準開口
162‧‧‧對準銷
172‧‧‧凹坑
331‧‧‧銷
332‧‧‧銷
332’‧‧‧孔
351‧‧‧凹槽/狹槽
351a‧‧‧橫向部分
351b‧‧‧垂直部分
352‧‧‧套筒閂
354‧‧‧套筒導引特徵
524‧‧‧經輪廓化表面
524a‧‧‧小凹部
624‧‧‧支腿
624a‧‧‧滾珠軸承
626‧‧‧塑膠螺絲
1200a‧‧‧未夾緊位置
1200b‧‧‧中間位置
1200c‧‧‧夾緊位置
1210‧‧‧彈性元件
1212‧‧‧滾動元件
1215‧‧‧夾緊頂板
1220‧‧‧驅動板
1225‧‧‧閂板
1230‧‧‧聚四氟乙烯滑行墊
1235‧‧‧提升彈簧
1240‧‧‧導板
1255‧‧‧頂板
1265‧‧‧閂板止動銷
1270‧‧‧狹槽
1310a至1310c‧‧‧嚙合元件
A‧‧‧方向
參考形成本發明之一部分且圖解說明其中可實踐本說明書中所描述之系統及方法之實施例之附圖。
圖1a係根據一些實施例之一探針測試裝備之一剖面圖。
圖1b展示根據一些實施例之可與圖1a之導板嚙合之線導之各種幾何形狀。
圖1c圖解說明根據一些實施例之夾緊機構與圖1a之探針心之頂板之間的各種嚙合。
圖2係根據一些實施例之圖1a之探針心之一剖面圖。
圖3a展示根據一些實施例之一探針心之一側視圖。
圖3b展示根據一些實施例之圖3a之探針心之一仰視圖。
圖4a圖解說明根據一些實施例之圖1a之探針心之一第一變體。
圖4b圖解說明根據一些實施例之圖1a之探針心之一第二變體。
圖4c圖解說明根據一些實施例之圖1a之探針心之一第三變體。
圖4d圖解說明根據一些實施例之圖1a之探針心之一第四變體。
圖4e圖解說明根據一些實施例之圖1a之探針心之一第五變體。
圖5a係根據一些實施例之在一延伸位置中之一套筒之一側面示意圖。
圖5b係根據一些實施例之在一縮回位置中之圖5a之套筒之一側面示意圖。
圖6a係根據一些實施例之在一未夾緊位置中之圖1a之探針測試裝備之一側面示意圖。
圖6b係根據一些實施例之在一夾緊位置中之圖1a之探針測試裝備之一側面示意圖。
圖7係根據一些實施例之一探針心及一閂總成之一透視側視圖。
圖8係根據一些實施例之圖7之閂總成之一剖面圖。
圖9a係根據一些實施例之在一向上位置中之一安裝工具之一剖面圖。
圖9b係根據一些實施例之在一向下位置中之圖9a之安裝工具之一剖面圖。
圖9c係具有一探針心之一頂板之圖9a之安裝工具之一端視圖。
圖9d係根據一些實施例之圖9a之安裝工具之一側面透視圖。
圖10a係根據一些實施例之與一探針心及一閂總成嚙合之圖9a之安裝工具之一剖面圖。
圖10b係根據一些實施例之與一探針心及一閂總成嚙合之圖9a之安裝工具之另一剖面圖。
圖10c係根據一些實施例之與一探針心及一閂總成嚙合之圖9a之安裝工具之另一剖面圖。
圖10d係根據一些實施例之與一探針心及一閂總成嚙合之圖9a之 安裝工具之另一剖面圖。
圖10e係根據一些實施例之與一探針心及一閂總成嚙合之圖9a之安裝工具之另一剖面圖。
圖10f係根據一些實施例之與一探針心及一閂總成嚙合之圖9a之安裝工具之另一剖面圖。
圖10g係根據一些實施例之與一探針心及一閂總成嚙合之圖9a之安裝工具之另一剖面圖。
圖11係根據一些實施例之一探針心載體之一透視圖。
圖12a係根據一些實施例之在一未夾緊位置中之圖1a之探針測試裝備之一側面示意圖。
圖12b係根據一些實施例之在一中間位置中之圖1a之探針測試裝備之一側面示意圖。
圖12c係根據一些實施例之在一夾緊位置中之圖1a之探針測試裝備之一側面示意圖。
圖13圖解說明根據一些實施例之探針心10之一仰視圖。
貫穿各圖相似參考數字表示相似部件。
本發明大體上係關於特定言之用於測試一受試裝置(例如，一半導體裝置)之測試裝備。更特定言之，本發明係關於一種結構化為一探針心之探針設備，該探針心與測試裝備一起使用以用於電探測一受試裝置(諸如，一半導體晶圓)。
圖1a係根據一些實施例之探針測試裝備100之一剖面圖。探針測試裝備100包含一探針心110、一電路板122及用以接收探針心110并連接至探針心110之一閂總成120。根據下文圖6a至圖6b及/或圖12a至圖12c額外詳細地討論閂總成120之一些實施例。一安裝工具130經結構設計以將探針心110夾持至閂總成120或自閂總成120釋放探針心110。
閂總成120包含用於將探針心110夾緊至電路板122及一導板125上之一夾緊機構124。安裝工具130可致動夾緊機構124以將探針心110鎖定至電路板122或將探針心110自電路板122解鎖。在一些實施例中，安裝工具130可致動夾緊機構124以將探針心110鎖定至一探針心載體(例如，如根據圖11所展示及描述之探針心載體140)或將探針心110自該探針心載體解鎖。探針測試裝備100可進一步包含一加固框架123。
探針心110包含一探針塊112、具有延伸穿過探針塊112之一端之探針線113、經結構設計以導引探針線113之探針尾113’之一線導114及覆蓋線導114之一頂板115。根據一些實施例，線導114可係大體上圓柱形幾何形狀。根據一些實施例，頂板115可具有一可變幾何形狀。下文根據圖4a至圖4e展示及描述頂板115之可能幾何形狀之實例，然應瞭解，根據本文中所描述之原則頂板115之一或多個其他幾何形狀可起作用。
可經由探針心110之線導114及閂總成120之導板125提供探針心110與電路板122之間的一精細對準。圖1b圖解說明可具有彼此嚙合之各別變化的幾何形狀之線導114與導板125之間的各種導引配置之俯視圖。線導114與導板125之間的嚙合可使探針心110相對於電路板122(或其他裝置，諸如圖11之探針心載體140)定向在一特定位置處。圖1b未圖解說明導板125。應瞭解，導板125將採用類似於如所圖解說明之突出部或腔之一幾何形狀。圖1b中所展示之帶有「Yes」之實施例可在線導隨溫度改變大小時使該線導之中心居中。展示非運動及運動方法兩者。在一些實施例中，該導引配置可不需要運用一運動方法可達成之精確度，且因此可避免由運動觸點所需之偏置力之經添加複雜性。在一些實施例中，為在一溫度範圍內提供適合穩定性，可提供接觸一陶瓷/金屬探針次總成(諸如，例如探針塊112)之一運動配置。
在一些實施例中，可提供導板125與線導114之間的(例如)約25μm 至50μm之一緊密空隙。可透過使用(例如)導板125及/或線導114上之倒角或半徑來最小化導板125與線導114之間的接觸面積以最小化黏合之可能性。在一些實施例中，針對可將導板125及線導114定位為靠近的且使其等平行以減小黏合風險之探針心110、閂總成120及/或工具130，可提供一或多個粗略對準特徵。
可藉由(例如)夾緊機構124將探針心110夾緊至電路板122(或其他裝置，諸如圖11之探針載體140)以將探針心110之頂板115迫抵於電路板122。
圖1c圖解說明針對各種幾何形狀及機構之夾緊機構124與頂板115之間的嚙合。在一些實施例中，該嚙合可經設計為總是通電(例如，其中不得不將夾緊機構124撬開以釋放探針心110)。在其他實施例中，該嚙合可在「接通」與「關斷」之間切換。在一些實施例中，當安裝工具130之一保護套筒部分經插入以將探針心110夾持至閂總成120或自閂總成120釋放探針心110時，可將夾緊機構124撬開。可操縱各種實施例以使探針心110朝向電路板122移動。當施加一力至水平楔實施例之任一側或兩側時，可向下驅迫該楔。可藉由偏心凸輪實施例之一旋轉運動向下驅迫該凸輪。一切向楔可用於藉由致使一傾斜楔平移之旋轉而朝向電路板122驅迫探針心110且透過與另一傾斜楔之接觸而朝向電路板122驅迫探針心110。圖解說明一樞轉操作桿變動，其中一操作桿之旋轉可引起與探針心110之一上表面之接觸，從而朝向電路板122向下驅迫探針心110。關於壓縮彈簧柱塞實施例之一偏心可用於施加一旋轉力，該旋轉力繼而致使一彈簧柱塞朝向電路板122向下驅迫探針心110。在另一實施例中，具有一彈簧鼻之一個四桿肘節夾可接收一向下力，該向下力可繼而施加至探針心110之一上表面以朝向電路板122向下驅迫探針心110。
圖2係根據一些實施例之探針心110之一剖面圖。在圖2中所展示 之實施例中，探針塊112包含界定用於接收探針線113之通道之一板112a及接合至板112a之一組件112b。組件112b具有一環形狀且界定用於接收對準銷162之對準開口160。板112可由(例如)一陶瓷材料製成。組件112b可由(例如)一金屬材料製成。
線導114包含界定其間用於導引探針線113之通道之一上線導14及一下線導16。探針線113夾緊於上線導14與下線導16之間。探針線113各自具有延伸出板112a以形成一探針尖之一第一端113a及一第二相對端113b。在一些實施例中，線導114經塑形以允許探針線113朝向其第二端113b以一傾斜角延伸。第二端113b經結構設計以接觸電路板122上之一各別墊。在一些實施例中，第二端113b可充當用於一正機械止動之一彈性觸點。在一些實施例中，第二端113b可形成可係(例如)「v」形或「u」形之帶窩探針尾。該等帶窩探針尾可係(例如)鍍金的。探針線113之第二端113b可電連接至識別印刷佈線板(「ID PWB板」)116。ID PWB板116可包含識別(「ID」)裝置、用於執行診斷測試之被動或主動組件及/或用於改良信號完整性之裝置。該等ID裝置可包含(例如)一可抹除可程式化唯讀記憶體(EPROM)及一電阻器。該等被動或主動組件可包含(例如)一個二極體、一電阻器及/或一電容器。用於改良信號完整性之該等裝置可包含(例如)一電阻器、一電容器及/或一電感器。在一些實施例中，探針線113可由端接至ID PWB板116之第二端113b組成。
頂板115界定在頂板115之一中心下側處具有一凹腔之一凹坑172。對準銷162由對準開口160接收以對準探針心110之該等組件。探針心110之該等組件(諸如，例如頂板115及線導114)各自可具有用於與對準銷162對準之一孔及/或一狹槽。
圖3a及圖3b(分別)圖解說明根據一些實施例之探針心110之一側視圖及一仰視圖。探針心110之頂板115具有一大體上圓形形狀及定位 於頂板115之周邊處之嚙合元件115a至115c(在所圖解說明實施例中，嚙合元件115a至115c亦稱為「凸耳元件」115a至115c)。頂板115上之凸耳元件115a至115c可提供一正定向、充當粗略對準特徵且可由一閂(諸如，例如圖1a之夾緊機構124)嚙合以將探針線113之第二端113b推抵於電路板122。探針心110之線導114包含定位於線導114之周邊處之凹口114a至114c。凹口114a至114c可為線導114提供精細對準特徵。在一些實施例中，凹口114a至114c可與導板125上之凸塊(諸如，圖7中所展示之凸塊114a’至114c’)嚙合以提供其間之一精細對準。凹口114a至114c與凸塊114a’至114c’之間的嚙合可係非運動的或運動的。在一些實施例中，該嚙合可允許圍繞線導114之中心之熱膨脹。將瞭解，凸耳元件115a至115c可無需與凹口114a至114c對準。
圖4a至圖4e圖解說明根據各種實施例之探針心110之變體110a至110e。探針心110可經塑形以指示其之一定向。圖4a至圖4e展示探針心110之各種幾何形狀。虛線表示探針線113之第二端113b在線導114中之範圍。圖4a至圖4e中所展示之探針心110之一頂板之各別幾何形狀允許探針心110以僅一個定向與一閂總成或一處置工具介接。
圖1a之安裝工具130可以一特定定向(諸如，例如如由圖4a至圖4e中所展示之探針心110a至110e之該等特定形狀所指示之定向)裝配於探針心110上。夾緊機構124可不經嚙合直至工具130經適當地定向且完全座落於探針心110上。
當探針心110含納於工具130中時，可保護探針線113免受可能損害。如圖5a至圖5b中所展示，一保護套筒35可保護探針線113及探針線尾113’。保護套筒35可閂於圖5a中所展示之一延伸位置中以覆蓋探針線113。當圖1a之安裝工具130插入至閂總成120或一探針心載體中時，保護套筒35可自該延伸位置釋放至圖5b中所展示之一縮回位置。在一些實施例中，套筒35具有一不對稱形狀且各別內輪廓35a或外輪 廓35b可充當一金鑰。在一些實施例中，套筒35可具有可具有成本效益之一圓柱形形狀。在一對稱形狀(諸如，一圓柱形)之情況中，套筒35之側中之一或多個狹槽可充當一金鑰。
圖6a及圖6b圖解說明根據一項實施例之在一未夾緊位置及一夾緊位置中之圖1a之一探針測試裝備100。夾緊機構124包含一驅動板24、一閂板26及安置於驅動板24與閂板26之間的一彈性元件28。彈性元件28可係(例如)一壓縮彈簧。導板125安置於夾緊機構124與電路板122之間以提供探針心110與電路板122之間的一精細對準。導板125可經由(例如)螺絲夾緊至電路板122。驅動板24包含具有接觸導板125之一下表面之軸承624a之支腿624。支腿624延伸穿過閂板26使得當驅動板24旋轉時，閂板26可與驅動板24一起旋轉。在未夾緊位置中，首先將閂板26壓抵於導板125。當閂板26連同驅動板24一起旋轉且在導板125上滑動時，閂板26上之經輪廓化表面524與探針心110之凸耳元件115a至115c嚙合。接著，閂板26將探針心110向下推動至其中探針心110完全抵靠電路板122座落且閂板26定位於凸耳元件115a至115c之頂部上之夾緊位置。在夾緊位置中，由夾緊機構124將線導114牢牢地壓抵於電路板122。在一些實施例中，彈性元件28可施加大於(例如)探針線113可產生之總力加上一晶圓探測力的100%之一力以抵靠電路板122正偏置線導114而不考慮隨溫度之容差疊加或大小改變。在一些實施例中，例如，聚四氟乙烯(「PTFE」)之一薄層可安置於閂板26與導板125之間以減小其間之摩擦。PTFE可在具有高溫黏著劑之一黏貼上之膜上呈一塗層之形式。在一些實施例中，在閂板26與凸耳元件115a至115c之間，各別嚙合表面(例如，經輪廓化表面524)可硬化及拋光，或塗佈有可耐受來自小接觸區域之非常高負載之一潤滑膜。
圖7係探針心110及閂總成120之一透視側視圖。閂總成120界定一腔129以接收探針心110。一手柄128連接至驅動板24。手柄128經結構 設計以允許一使用者使驅動板24相對於導板125旋轉。驅動板24及閂板26包含各別凹口115a’至115c’以在探針心110插入至閂總成120之腔129中時接收凸耳元件115a至115c。閂總成120包含位於導板125之一內周邊處之精細對準凸塊114a’至114c’。當探針線113之第二端113b接近電路板122時，精細對準凸塊114a’至114c’可嚙合圖3b中所展示之探針心110之各別凹口114a至114c。
圖8係具有經展示為透明之驅動板24之閂總成120之一剖面圖。驅動板24之支腿624自驅動板24向下延伸穿過閂板26中之凹口。當經由手柄128或圖1a之安裝工具130使驅動板24旋轉時，閂板26經由支腿624連同驅動板24一起旋轉。支腿624亦跨越導板125之外邊緣以允許驅動板24及閂板26與導板125同心對準。兩個支腿624攜帶在一圓周方向上沿著導板125之下側滾動之滾珠軸承624a(根據圖6a至圖6b額外詳細描述支腿624、滾珠軸承624a及相對位置)。支腿624亦具有平行於剛剛移出導板125且在向下推動驅動板24時充當止檔之滾珠軸承624之軸之塑膠螺絲626。閂板122之輪廓化下面包含與探針心凸耳115a至115c嚙合於閂位置中以幫助保持閂位置之一或多個小凹部524a。如圖8中所展示，小凹部524a係閂板26與底部/導板125之間的一小間隙。該小間隙可充當一掣子以在小凹部524a落於各別探針心凸耳115a至115c上時幫助將閂板26鎖定於一閉合位置中。
探針心110之高度可經最小化使得可使用具有約30mm工作距離之一高功率顯微物鏡。當在插入探針心110時驅動板24及閂板26不在正確位置中時，凸耳元件115a至115c仍可向下掉落穿過驅動板24及閂板26中之凹口115a’至115c’。凸耳元件115a至115c與探針線113之第二端113b之間的短垂直距離可使探針線113之第二端113b在凸耳元件115a至115c落在對準凸塊114a’至114c’之頂面上之前撞擊導板125中之對準凸塊114a’至114c’。該撞擊可導致一失效模式。可藉由以下方式避免 該失效模式，例如：1)添加在未鎖住探針心110時使閂板24處於正確(完全打開)位置中之一閂；2)在頂板115上面添加一防護件以限制插入/提取定向；或3)將一閂添加至安裝工具130以在組件係未對準時阻止探針心110之插入。
圖9a至圖9d圖解說明根據一項實施例之安裝工具130。安裝工具130經結構設計以將探針心110夾持至閂總成120或自閂總成120釋放探針心110。安裝工具130包含一手柄次總成及一套筒次總成。該手柄次總成包含彼此連接之一手柄31、在一軸向方向上延伸之一軸32、一頂部部件33及一棘爪34。頂部部件33包含向下延伸之銷332。該套筒次總成包含具有一安全連鎖閂之一套筒35。套筒35可相對於該手柄次總成滑動且旋轉。一彈性元件36定位於該等第一與第二次總成之間以將套筒35推抵於棘爪34。彈性元件36可係(例如)一壓縮彈簧。
圖9a中之安裝工具130位於其中抵靠棘爪34偏置套筒35之一向上位置處。圖9b中之安裝工具130位於其中將套筒35向上驅迫成與頂部部件33接觸之一向下位置處。探針心110之凸耳元件115a至115c(圖3a中所展示)嚙合於套筒35之各別狹槽351中。當一使用者經由手柄31旋轉該手柄次總成時，棘爪34可與探針心110之頂板115之凹坑172嚙合或脫離。
圖9c圖解說明棘爪34嚙合探針心110之頂板115。凹坑172具有一截頂圓圈之一形狀。棘爪34經塑形使得在一第一位置處棘爪34可通過該截頂圓圈，且當棘爪34相對於頂板115旋轉至一第二位置時，棘爪34可抓住該頂板並固定至探針心110。在一些實施例中，棘爪34自該第一位置至該第二位置旋轉約45度。
圖9d圖解說明頂部部件33與套筒35之間的一連鎖機構，其中頂部部件33經展示為透明的。該連鎖機構包含在頂部部件33之一側處之一銷331及在套筒35之一側處之一凹槽351。凹槽351包含形成一U形 之一橫向部分351a及在橫向部分351a之端處之垂直部分351b。當銷331與凹槽351之橫向部分351a嚙合時，可阻止套筒35之一垂直運動。當銷331與垂直部分351b中之一者嚙合時，套筒35可在軸向方向上向下移動。該連鎖機構可阻止該手柄次總成在「攫取」位置與「釋放」位置之間部分地提升。
圖10a至圖10f圖解說明當閂總成120自探針心110之未夾緊過渡至夾緊時安裝工具130如何自探針心110之夾持過渡至釋放。在圖10a中，安裝工具130係空的且接近接收於閂總成120中之探針心110。閂總成120可將心110壓抵於一電路板(未展示)。套筒35藉由一套筒閂352剛性地鎖定至手柄次總成(參加圖10b)。當安裝工具130在探針心110上方向下滑動時，套筒中之狹槽351(參見圖10a)可與探針心110之頂板115上之凸耳元件115a至115c對準(參見圖10b及圖3a)。當套筒35完全停留在探針心110上時，套筒閂352(參見圖10b)可經釋放以允許該手柄次總成落下(參見圖10c)。彈性元件36仍可提供對該手柄次總成之進一步向下運動之抵抗。在手柄行進之底部處，棘爪34抵靠探針心110之頂部停止，其中棘爪34之部分突出至探針心110之頂板115中之凹腔172。工具頂部部件中之銷332(參見圖10a)亦與閂總成120之驅動板24中之孔332’(參見圖10a)嚙合。使手柄31旋轉約45度可使工具130之棘爪34及閂總成120之頂板24同時旋轉以將探針心110鎖定至安裝工具130及將探針心110自閂總成120釋放(參見圖10d)。接著，自閂總成120提升安裝工具130及探針心110(參見圖10e)。彈性元件36(參見圖10e)可抵靠閂總成120固持套筒35直至探針心110之頂部接觸套筒35之底部。隨著進一步向上運動，套筒閂352下落以將套筒35鎖定於向下位置中以保護探針心110(參見圖10f)。
圖10g係與探針心110之頂板115嚙合之安裝工具130之一剖面圖。套筒35之端上之套筒導引特徵354可與閂總成120之導板125中之特徵 122a嚙合。當套筒35相對於閂總成120不正確對準時，套筒35不可進入閂總成120足夠遠以致動閂總成120且探針心110不可落至閂總成120中。當探針心110與閂總成120不適當地對準時，此可阻止探針尾113’降落於閂精細對準凸塊114a’至114c’之頂部上。此在處置期間亦幫助保護探針113。
圖11展示在運送及處置期間可保護探針心110之一探針心載體140。探針心載體140可包含一盒41。在盒41內，一上部件42及一下部件43經形成以容納探針心110。一閂盤44中之孔47可嚙合安裝工具130之頂部部件33中之銷332。上部件42包含一凸起區域45以致動套筒閂352。下部件43包含可與套筒35之套筒導引特徵354嚙合之套筒對準特徵46。安裝工具130可在探針心載體140處以如其操作閂總成120之相同方法操作。
圖12a至圖12c圖解說明根據一些實施例之在一未夾緊位置1200a、一中間位置1200b及一夾緊位置1200c中之圖1a之探針測試裝備100之側面示意圖1200a至1200c。圖12a至圖12c中所圖解說明之實施例可係(例如)圖6a至圖6b中所圖解說明之實施例之一替代方案。圖12a至圖12c之態樣可與圖6a至圖6b之態樣相同或類似。圖12a至圖12c中所圖解說明之閂總成120可經結構設計以與具有圖13中所圖解說明之探針心頂板1305之探針心一起使用。
夾緊機構124包含一驅動板1220、一閂板1225、一彈性元件1210及滾動元件1212。彈性元件1210可係(例如)一懸臂彈簧。一導板1240安置於夾緊機構124與電路板122之間以提供探針心110與電路板122之間的一精細對準。導板1240可經由(例如)螺絲夾緊至電路板122。在圖12a至圖12c中所圖解說明之閂總成120中，一夾緊頂板1215附接至導板1240。彈性元件1210可附接至夾緊頂板1215。彈性元件1210經結構設計以抑制向上運動。彈性元件1210大體上經選擇使得當偏斜時， 彈性元件1210抵消提升力、探針心110至電路板122接觸力及當探針線113接觸一受試裝置時所產生之力。在一些實施例中，彈性元件1210之部分可由夾緊頂板1215支撐以阻止彈性元件1210之變形。
驅動板1220及閂板1225經輪廓化使得滾動元件1212致使閂板1225與驅動板1220一起旋轉。該等輪廓包含經設計使得驅動板1220及閂板1225在驅動板1220之運動期間一起移動且在驅動板1220之運動之部分期間相對於彼此移動之凹窩。提升彈簧1235提供足以將驅動板1220、閂板1225及滾動元件1212驅迫在一起之一力，同時彈性元件1210抑制向上運動。在一些實施例中，驅動板1220及閂板1225之該等輪廓化表面可硬化及拋光，或塗佈有可耐受來自接觸區域之非常高負載之一潤滑膜。
當閂板1225連同驅動板1220一起旋轉且在A方向上沿著一PTFE滑行墊1230滑動時，閂板1225與驅動板1220上之輪廓化表面與滾動元件1212嚙合。接著，閂板1225將探針心110向下推動至其中探針心110完全坐抵於電路板1222且閂板1225定位於嚙合元件1310a至1310c之頂部上之夾緊位置。在所圖解說明之實施例中，嚙合元件1310a至1310c係瓣元件1310a至1310c。一閂板止動銷1265附接至閂板1235。閂板止動銷1265經結構設計以在A方向上連同閂板1225一起平移。閂板止動銷1265之一部分安置於導板1240中之一狹槽1270內。狹槽1270提供夾緊位置1200c及未夾緊位置1200a中之一止動且可阻止閂板1225之不必要的運動。
在夾緊位置中，由夾緊機構124將線導114牢牢地壓抵於電路板122。在一些實施例中，彈性元件1210可施加大於(例如)探針線113可產生之總力加上一晶圓探測力的100%之一力以抵靠電路板122正偏置線導114而不考慮隨溫度之容差疊加或大小改變。
圖13圖解說明根據一些實施例之探針心110之一仰視圖。探針心 110之頂板1255具有一大體上經修圓箭頭形狀(例如，類似於圖4c之110c)及延伸超過探針塊112及線導114之瓣元件1310a至1310c。頂板1255上之瓣元件1310a至1310c可提供一正定向、充當粗略對準特徵且可由一閂(諸如，例如圖1a之夾緊機構124)嚙合以將探針線113之第二端113b推抵於電路板122。探針心110之線導114包含定位於線導114之周邊處之凹口114a至114c。凹口114a至114c可為線導114提供精細對準特徵。在一些實施例中，凹口114a至114c可與導板125上之凸塊(諸如，圖7中所展示之凸塊114a’至114c’)嚙合以提供其間之一精細對準。凹口114a至114c與凸塊114a’至114c’之間的嚙合可係非運動的或運動的。在一些實施例中，該嚙合可允許圍繞線導114之中心之熱膨脹。將瞭解，瓣元件1310a至1310c可不必與凹口114a至114c對準。
上文已特別參考當前較佳但例示性實施例而闡述本申請案之眾多創新教示，其中此等創新教示有利地應用至可容易地互換的探針心及用於探測一半導體裝置之處置工具之特殊問題。然而，應理解，此等實施例僅為本文中之創新教示之許多有利使用之實例。一般而言，在本申請案之說明書中作出的敘述未必限制各種所主張的發明之任何者。此外，一些敘述可應用於一些發明特徵，但是不應用於其他發明特徵。一般而言，除非另有指示，否則在不失一般性之情況下單數元件可係複數且反之亦然。
態樣：
將瞭解，態樣1至9之任一項可與態樣10至14、15至19或20至23之任一項組合。態樣10至14之任一項可與態樣15至19或20至23之任一項組合。態樣15至19之任一項可與態樣20至23之任一項組合。
態樣1 一種用於測試一受試裝置之探針設備，該設備包括：一探針心，其包含一頂板、一線導、複數個探針線及一探針塊； 一電路板；及一閂總成，其用於將該探針心可移除地固定至該電路板，其包含：一夾緊機構，其經結構設計以將該探針心壓抵於該電路板；及一導板，其安置於該夾緊機構與該電路板之間，該導板經結構設計以使該探針心相對於該電路板定向在一特定位置中。
態樣2 根據態樣1之探針設備，其中該導板夾緊至該電路板。
態樣3 根據態樣1至2中任一項之探針設備，其中該閂總成包含位於該導板之一內周邊處之一或多個精細對準凸塊。
態樣4 根據態樣1至3中任一項之探針設備，其中該探針心包含可與一或多個精細對準凸塊嚙合以提供該探針心相對於該電路板之一特定對準之一或多個凹口。
態樣5 根據態樣1至4中任一項之探針設備，其中該夾緊機構包含：一驅動板，其經結構設計以相對於該電路板旋轉；一閂板，其安置於該驅動板與該電路板之間且可與該導板滑動接觸；及一彈性元件，其安置於該驅動板與該閂板之間，其中該閂板經結構設計以與該驅動板一起旋轉且相對於該導板滑動，該閂板可與該探針心之一或多個嚙合元件嚙合以提供一夾緊力，藉此將該探針心維持於一夾緊位置中。
態樣6 根據態樣1至4中任一項之探針設備，其中該夾緊機構包含：一驅動板，其經結構設計以相對於該電路板旋轉；一滑行墊，其經由一壓縮彈簧附接至該導板；一閂板，其安置於該驅動板與該電路板之間且可與該滑行墊滑 動接觸；一夾緊頂板，其附接至該導板；及一彈性元件，其安置於該夾緊頂板與該驅動板之間，其中該閂板經結構設計以與該驅動板一起旋轉且相對於該導板滑動，該閂板可與該探針心之一或多個嚙合元件嚙合以提供一夾緊力，藉此將該探針心維持於一夾緊位置中。
態樣7 根據態樣1至6中任一項之探針設備，其進一步包括經結構設計以限制該閂板相對於該電路板之運動之一閂板止動銷，該止動銷安置於該導板中之一狹槽內。
態樣8 根據態樣1至7中任一項之探針設備，其進一步包括可與該夾緊機構嚙合之一處置工具。
態樣9 根據態樣6至8中任一項之探針設備，其中該閂總成藉由旋轉該閂板而致動。
態樣10 一種用於測試一受試裝置之探針設備，該設備包括：一電路板，其具有一嚙合總成；及一探針心，其包含：一頂板，其包含經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供該探針心相對於該電路板之一粗略對準之一或多個嚙合元件；一線導，其包含定位於該線導之一周邊處之一或多個凹口，該一或多個凹口經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供一精細對準；複數個探針線；及一探針塊，其中該探針心可與該嚙合總成嚙合。
態樣11 根據態樣10之探針設備，其中該嚙合總成包含：一夾緊機構，其經結構設計以該探針心壓抵於該電路板；及 一導板，其安置於該夾緊機構與該電路板之間，該導板經結構設計以使該探針心相對於該電路板定向在一特定位置中。
態樣12 根據態樣10至11中任一項之探針設備，其中當該探針設備係在一測試構形中時該探針心與該嚙合總成嚙合。
態樣13 根據態樣10至12中任一項之探針設備，其中該頂板包括經結構設計以指示該探針心相對於該嚙合總成之一可嚙合定向之一幾何形狀。
態樣14 根據態樣10至13中任一項之探針設備，其中該嚙合總成夾緊至該電路板。
態樣15 一種經結構設計在用於測試一受試裝置之一探針設備中使用之探針心，該探針心包括：一頂板，其包含經結構設計以在該探針心夾緊至一電路板時提供該探針心相對於該電路板之一粗略對準之一或多個嚙合元件；一線導，其包含定位於該線導之一周邊處之一或多個凹口，該一或多個凹口經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供一精細對準；複數個探針線；及一探針塊，其中該探針心可與一嚙合總成嚙合。
態樣16 根據態樣15之探針心，其中該嚙合總成係經結構設計以將該探針心固持至該電路板之一閂總成。
態樣17 根據態樣15之探針心，其中該嚙合總成係一處置工具。
態樣18 根據態樣15之探針心，其中該嚙合總成係一探針心載體。
態樣19 根據態樣15至18中任一項之探針心，其中該頂板包括經結構設計以指示該探針心相對於該嚙合總成之一可嚙合定向之一幾何 形狀。
態樣20 一種用於將一探針心閂至一裝置之方法，該方法包括：使用一安裝工具施加一力至一驅動板，該驅動板經結構設計以對應地旋轉一閂板；將該閂板迫抵於該探針心上之一嚙合元件以藉此將該探針心夾緊至該裝置；及在該探針心夾緊至該裝置時自該探針心移除該安裝工具。
態樣21 根據態樣20之方法，其中施加該力包含施加一向下及一旋轉力至該驅動板之一組合。
態樣22 根據態樣20至21中任一項之方法，其中該裝置包含一電路板或一探針心載體中之一者。
態樣23 根據態樣20至22中任一項之方法，其進一步包括在將該探針心閂至該裝置之前將一閂總成之一或多個部分固定至該裝置。
下列術語已貫穿該描述經特別描述且不意欲為限制性：
半導體裝置不受限
本發明特別適用於探測半導體裝置，但本教示之使用不受限於探測半導體裝置。可將其他裝置應用至本發明教示。因此，雖然本說明書根據探測「半導體」裝置陳述，但此術語應經廣泛地解釋以包含探測任何適合裝置。
低電流不受限
本發明可與其他測試裝備一起經應用以解決量測低於100fA之電流之問題，但本教示之電流範圍不受限於低於100fA。例如，本發明可與其他測試裝備一起經應用以量測一半導體裝置中之為100fA或100fA以上的電流。因此，雖然本說明書根據「低電流」或「量測低於100fA之電流」陳述，但此等術語應經廣泛地解釋以包含流動穿過一半導體裝置之可為100fA或100fA以上之任何電流。本發明亦可與其 他測試裝備一起經應用以解決在高溫下量測高頻率信號之問題。
寬溫度不受限
本發明可解決供在一窄或受限操作溫度範圍中使用之可容易地互換之探針心之問題。本教示不限於一特定操作溫度範圍。本申請案允許一測試者在一寬操作溫度範圍內(不僅在一低操作溫度下而且在一高操作溫度(例如，高達300℃及以上之一操作溫度))電探測半導體裝置。因此，雖然本說明書根據「寬溫度範圍」或「在一寬操作溫度範圍中量測電流」陳述，但此等術語應經廣泛地解釋以包含一半導體裝置之任何適合操作或測試溫度範圍。
探針不受限
本發明可解決藉由使用一探針(例如，一線針探針，其自接觸晶圓(例如，一半導體晶圓)之針尖延伸至接觸一電路板之一成形探針線尾)將一受試裝置與該電路板互連之問題。然而，本發明之教示中之任何內容都不限制用於接觸該晶圓之其他探針技術、用於接觸該探針卡之其他電接觸技術或在該晶圓與電路板觸點之間的其他電互連之應用。
信號觸點/纜線及防護觸點/纜線不受限
本發明可與一信號觸點/纜線及/或一防護觸點/纜線一起經應用以解決量測使用一同軸或一個三軸信號纜線之一半導體裝置之電流之問題。然而，本文之教示中之任何內容都不限制將本發明之教示應用至具有更多或更少層之一信號纜線。關於具有任何數目個層之一信號纜線可具有本文之教示之有利使用。
金屬不受限
本發明可與由金屬製成之一針及一經驅動防護件一起經應用。本發明不承認有關於可使用何種類型之金屬影響本文之教示之任何限制。熟習此項技術者將認識到在不失一般性的情況下可使用任何導電 材料以實施本發明之教示。
介電質不受限
本發明可與(例如)用於提供組件之間的一電絕緣之各種介電材料一起經應用。本發明不承認有關於可使用何種類型之介電影響本文之教示之任何限制。熟習此項技術者將認識到在不失一般性的情況下可使用任何非導電、高度耐熱材料來實施本發明之教示。
本申請案中所揭示之實施例在所有方面被視為說明性而非限制性。本發明之範疇由隨附申請專利範圍指示而非由前述描述指示；且在申請專利範圍之意義及等效範圍內之全部改變意欲包含於本文中。

Claims (21)

  1. 一種用於測試一受試裝置之探針設備，該設備包括：一探針心，其包含一頂板、一線導、複數個探針線及一探針塊；一電路板；及一閂總成，其用於將該探針心可移除地固定至該電路板，其包含：一夾緊機構，其經結構設計以將該探針心壓抵於該電路板；及一導板，其安置於該夾緊機構與該電路板之間，該導板經結構設計以使該探針心相對於該電路板定向在一特定位置中；其中該閂總成包含位於該導板之一內周邊處之一或多個精細對準凸塊；且該探針心包含可與一或多個精細對準凸塊嚙合以提供該探針心相對於該電路板之一特定對準之一或多個凹口。
  2. 如請求項1之探針設備，其中該導板夾緊至該電路板。
  3. 如請求項1之探針設備，其中該夾緊機構包含：一驅動板，其經結構設計以相對於該電路板旋轉；一閂板，其安置於該驅動板與該電路板之間且可與該導板滑動接觸；及一彈性元件，其安置於該驅動板與該閂板之間，其中該閂板經結構設計以與該驅動板一起旋轉且相對於該導板滑動，該閂板可與該探針心之一或多個嚙合元件嚙合以提供一夾緊力，藉此將該探針心維持於一夾緊位置中。
  4. 如請求項1之探針設備，其中該夾緊機構包含：一驅動板，其經結構設計以相對於該電路板旋轉；一滑行墊，其經由一壓縮彈簧而附接至該導板；一閂板，其安置於該驅動板與該電路板之間且可與該滑行墊滑動接觸；一夾緊頂板，其附接至該導板；及一彈性元件，其安置於該夾緊頂板與該驅動板之間，其中該閂板經結構設計以與該驅動板一起旋轉且相對於該導板滑動，該閂板可與該探針心之一或多個嚙合元件嚙合以提供一夾緊力，藉此將該探針心維持於一夾緊位置中。
  5. 如請求項1之探針設備，其進一步包括經結構設計以限制該閂板相對於該電路板之運動之一閂板止動銷，該止動銷安置於該導板中之一狹槽內。
  6. 如請求項1之探針設備，其進一步包括可與該夾緊機構嚙合之一處置工具。
  7. 如請求項1之探針設備，其中該閂總成藉由旋轉該閂板而致動。
  8. 一種用於測試一受試裝置之探針設備，該設備包括：一電路板，其具有一嚙合總成；及一探針心，其包含：一頂板，其包含經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供該探針心相對於該電路板之一粗略對準之一或多個嚙合元件；一線導，其包含定位於該線導之一周邊處之一或多個凹口，該一或多個凹口經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供一精細對準；複數個探針線；及 一探針塊，其中該探針心的一或多個凹口，經由位於一導板之一內周邊處之一或多個精細對準凸塊，而可與該嚙合總成嚙合，以提供該探針心相對於該電路板之一特定對準。
  9. 如請求項8之探針設備，其中該嚙合總成包含：一夾緊機構，其經結構設計以將該探針心壓抵於該電路板；及該導板，其安置於該夾緊機構與該電路板之間，該導板經結構設計以使該探針心相對於該電路板定向在一特定位置中。
  10. 如請求項8之探針設備，其中當該探針設備係在一測試構形中時該探針心與該嚙合總成嚙合。
  11. 如請求項8之探針設備，其中該頂板包括經結構設計以指示該探針心相對於該嚙合總成之一可嚙合定向之一幾何形狀。
  12. 如請求項8之探針設備，其中該嚙合總成夾緊至該電路板。
  13. 一種經結構設計以在用於測試一受試裝置之一探針設備中使用之探針心，該探針心包括：一頂板，其包含經結構設計以在該探針心夾緊至一電路板時提供該探針心相對於該電路板之一粗略對準之一或多個嚙合元件；一線導，其包含定位於該線導之一周邊處之一或多個凹口，該一或多個凹口經結構設計以在該探針心夾緊至該電路板時提供一精細對準；複數個探針線；及一探針塊，其中該探針心的一或多個凹口，經由位於一導板之一內周邊處之一或多個精細對準凸塊，而可與一嚙合總成嚙合，以提供該探針心相對於該電路板之一特定對準。
  14. 如請求項13之探針心，其中該嚙合總成係經結構設計以將該探針心固持至該電路板之一閂總成。
  15. 如請求項13之探針心，其中該嚙合總成係一處置工具。
  16. 如請求項13之探針心，其中該嚙合總成係一探針心載體。
  17. 如請求項13之探針心，其中該頂板包括經結構設計以指示該探針心相對於該嚙合總成之一可嚙合定向之一幾何形狀。
  18. 一種用於將一探針心閂至一裝置之方法，該方法包括：將該探針心的一或多個凹口經由位於一導板之一內周邊處之一或多個精細對準凸塊而嚙合於一嚙合總成，以提供該探針心相對於該電路板之一特定對準；使用一安裝工具施加一力至一驅動板，該驅動板經結構設計以對應地旋轉一閂板；將該閂板迫抵於該探針心上的一嚙合元件以藉此將該探針心夾緊至該裝置；及在該探針心夾緊至該裝置時自該探針心移除該安裝工具。
  19. 如請求項18之方法，其中施加該力包含施加一向下力及一旋轉力至該驅動板之一組合。
  20. 如請求項18之方法，其中該裝置包含一電路板或一探針心載體中之一者。
  21. 如請求項18之方法，其進一步包括在將該探針心閂至該裝置之前將一閂總成之一或多個部分固定至該裝置。
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