TWI654436B - 探測裝置、及可更換式探針頭之自動附接及拆卸技術 - Google Patents

探測裝置、及可更換式探針頭之自動附接及拆卸技術

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TWI654436B
TWI654436B TW103116819A TW103116819A TWI654436B TW I654436 B TWI654436 B TW I654436B TW 103116819 A TW103116819 A TW 103116819A TW 103116819 A TW103116819 A TW 103116819A TW I654436 B TWI654436 B TW I654436B
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笠井紀宏
渡邊正德
浦川陽一
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美商佛姆費克特股份有限公司
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    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
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Abstract

一種探針卡裝置可包含與一測試控制器之一測試器介面，用以接觸欲測試電子裝置之端子的探針，及在其間之電氣連接。該探針卡裝置可包含一主要次總成，且該主要次總成可包括該測試器介面。該探針卡裝置亦可包含一可更換式探針頭，且該可更換式探針頭可包括該等探針。當該主要次總成固定在一測試系統之一殼體上或中時，該可更換式探針頭可附接在該主要次總成上且由該主要次總成拆卸。因此當該主要次總成固定在該測試系統之一殼體上或中時，可更換各具有以不同圖案設置以測試不同種類電子裝置之探針的不同探針頭。

Description

探測裝置、及可更換式探針頭之自動附接及拆卸技術 發明領域
本發明係有關於一種可更換式探針頭之自動附接及拆卸技術。
背景
探針卡裝置係可在用以控制一電子裝置之測試之一測試器與該電子裝置間提供一界面的裝置。本發明之實施例係有關於該等探針卡總成之各種改良，包括用以與/由該探針卡裝置之一主要次總成自動附接及拆卸可更換式探針頭的機構及方法。
概要
在某些實施例中，一種探針頭可包含在一側之多數電氣連接器及在另一側之多數電氣探針，且該等連接可與該等探針電氣地連接。該探針亦可包括用以與一探針卡裝置之一主要次總成之閂鎖總成互鎖同時該探針頭係在相對該主要次總成之一閂鎖位置的一掣子。該等閂鎖總成及該掣子之互鎖可利用該探針頭之連接器將該探針頭 附接在該主要次總成上而與該主要次總成之對應電氣接頭電氣接觸。
在某些實施例中，一種用以附接一探針頭至一主要次總成以形成一完全組合探針卡裝置之方法可包括將該探針頭設置在一第一平台上。接著該第一平台可使該探針頭相對該主要次總成移入一閂鎖位置。該平台之前述移動可自動地開啟該主要次總成之閂鎖總成。接著可關閉該等閂鎖總成，藉此附接該探針頭在該主要次總成上。
在某些實施例中，一種由一完全組合探針卡裝置之一主要次總成拆卸一探針頭之方法可包括使一平台向該探針頭移動。在前述移動時，該平台可接觸且因此自動地開啟附接該探針頭在該主要次總成上之閂鎖總成，如此可由該主要次總成自動地釋放該探針頭至該平台。該平台接著可移動該此時釋放之探針頭遠離該主要次總成。
100‧‧‧測試系統
102‧‧‧探針頭儲存器
104‧‧‧分級區
106‧‧‧托盤
108‧‧‧殼體
110‧‧‧DUT平台
112‧‧‧DUT儲存器
114‧‧‧測試控制器
120‧‧‧探針卡裝置
130‧‧‧主要次總成
132‧‧‧電氣介面；測試器介面
140‧‧‧探針頭
142‧‧‧探針
150‧‧‧欲測試裝置(DUT)
152‧‧‧端子
170‧‧‧測試區域
206‧‧‧加強件
208‧‧‧開口
210‧‧‧佈線結構
212‧‧‧開口
216‧‧‧電氣連接
220‧‧‧分隔件
222‧‧‧開口
226‧‧‧通道
228‧‧‧基座
230‧‧‧開口
232‧‧‧凹部
234‧‧‧閂鎖總成
236‧‧‧內表面
240‧‧‧探針頭介面
241‧‧‧引導孔
242‧‧‧端子
244‧‧‧接頭
246‧‧‧電氣連接
250‧‧‧壓環
252‧‧‧唇部
254‧‧‧開口
262‧‧‧引導銷
264‧‧‧基座結構
266‧‧‧第一側
268‧‧‧電氣連接器
270‧‧‧第二側
274‧‧‧電氣連接
276‧‧‧掣子
278‧‧‧引導孔
279‧‧‧探針插入物
282‧‧‧第一平台
284‧‧‧開口
288‧‧‧第二平台
292‧‧‧引導銷
294‧‧‧閂鎖柱
296‧‧‧壓縮機構
298‧‧‧基座
602‧‧‧識別器
802‧‧‧閂鎖
804‧‧‧旋轉機構
806‧‧‧掣子
808‧‧‧返回機構
812‧‧‧元件；致動器
814‧‧‧元件；致動器
D‧‧‧距離
T,T1‧‧‧厚度
圖式簡單說明
圖1係依據本發明某些實施例之用以測試電子裝置之一測試系統的方塊圖。
圖2顯示包含一主要次總成及一可更換式探針頭之一探針卡裝置之一例的側視、橫截面圖。圖2亦顯示依據本發明某些實施例之用以附接該探針頭在該主要次總成上及由該主要次總成拆卸該探針頭之一托盤的側視、橫截面圖。
圖3係依據本發明某些實施例之附接在圖2之主 要次總成而形成一探針卡裝置之一探針頭的側視、橫截面圖。
圖4係依據本發明某些實施例之圖2之主要次總成的仰視圖。
圖5係依據本發明某些實施例之圖3之主要次總成的仰視圖。
圖6係依據本發明某些實施例之圖2之探針頭的俯視圖。
圖7係依據本發明某些實施例之圖2之托盤的俯視圖。
圖8至13顯示依據本發明某些實施例之自動附接一可更換式探針頭在一主要次總成上而產生一完全組合探針卡裝置的一例。
圖13至16顯示依據本發明某些實施例之由該主要次總成自動拆卸一可更換式探針頭的一例。
示範實施例之詳細說明
這說明書說明本發明之示範實施例及應用。但是，本發明不限於這些示範實施例及應用或該等示範實施例及應用操作或在此所述之方式。又，該等圖可顯示簡化或部份視圖，且在圖中之元件的尺寸可以誇大或不成比例。此外，如在此使用之用語“在...上”、“附接”、“連接”、“耦合”或類似用語，不論一元件係直接“在...上”、“附接”、“連接”、或耦合在另一元件上或在該一元件與該另一元件 之間有一或多個中間物體，該元件(例如，一材料、一層、一基板等)均可為在該另一元件上、附接、連接、或耦合在該另一元件上。又，如果有的話，方向(例如，以上、以下、頂、底、側、上、下、正下方、正上方、上方、下方、水平、垂直、“x”、“y”、“z”等)是相對的且只是作為舉例及為了容易顯示及說明並且不是為了限制而提供。此外，在參考多數編排元件(例如，元件a、b、c)方面，該參考是意圖包括單獨任一編排元件、少於所有該等編排元件之任一組合、及/或所有該等編排元件之組合。
在此使用之“實質地”表示足以達成意圖之目的。因此該用語“實質地”容許由一絕對或完美狀態、尺寸、測量值、結果等例如可由所屬技術領域中具有通常知識者預期之微小、不明顯之變化，但是該等變化不會明顯地影響整體效胹。當相對數值或參數或可以數值表示之特性使用時，“實質地”表示在百分之十以內。該用語“多個”表示超過一個。該用語“設置”之意義內包含“定位”。
在本發明之某些實施例中，一探針卡裝置可包含與一測試控制器之一測試器介面，用以接觸欲測試電子裝置(例如，半導體晶粒)之端子的探針，及在其間之電氣連接。該探針卡裝置可包含一主要次總成及一可更換式探針頭。該主要次總成可包括該測試器介面，且可更換式探針頭可包括該等探針。當該主要次總成固定在一測試系統之一殼體上或中時，該可更換式探針頭可附接在該主要次總成上且由該主要次總成拆卸。因此當該主要次總成固定在 該測試系統之一殼體上或中時，可更換各具有以不同圖案設置以測試不同種類電子裝置之探針的不同探針頭。
圖1顯示用以測試電子裝置之一測試系統100的簡化方塊圖。以下一在該測試系統100中欲測試、正進行測試或已測試之電子裝置被稱為一“欲測試裝置”或一“DUT”150。如圖所示，該測試系統100可包括一測試控制器114，一可更換式探針頭之儲存器102，一分級區104，一DUT之儲存器112。
該探針卡裝置120可包含一主要次總成130，該主要次總成130包括一與該測試控制器114之電氣介面132，且該探針卡裝置120亦可包括一可更換式探針頭140，該可更換式探針頭140包括多數導電探針142。當該主要次總成130固定在該殼體108(例如，在該殼體108內之一附接結構(未圖示))上在一測試區域170中且該探針頭140附接在該主要次總成130上時，可移動設置在一DUT平台110上在一測試區域170中之一DUT150，使該探針頭140之探針142接觸該DUT150之輸入及/或輸出端子152。接著該測試控制器114可提供測試信號通過該探針卡裝置120至該DUT150，且該測試控制器114可感應，亦透過該探針卡裝置120，回應由該DUT150產生之信號。雖然顯示在該殼體108之內部，但是該測試控制器114可全部或部份地設置在該殼體108內或甚至在該探針卡裝置120之主要次總成130上。
欲測試之DUT150可放在該DUT儲存器112中。 接著可使一特定DUT150由該DUT儲存器112移動至在該分級區104中之一DUT平台110。接著可使該DUT平台110由該分級區104移動至該測試區域170，其中該平台110可移動該DUT150而如上所述地與該探針142接觸。接著可在該DUT平台110上移動一已測試DUT150返回該分級區104且接著到達該儲存器112，且在此該已測試DUT150可由該測試系統100移除。
不同種類之DUT150可具有不同數目及圖案之端子152。在該測試系統100中各不同種類之欲測試DUT150可有一不同探針頭140。例如，各種探針頭140可具有對應於在該測試系統100中其中一種DUT150之一數目及圖案。由此可知，該主要次總成130可組配成使得當該主要次總成130仍固定在該測試區域170中之殼體108時，該等可更換式探針頭140中之不同可更換式探針頭可與該主要次總成130快速地且自動地附接及分離。
不同種類之探針頭140可放入該探針頭儲存器102中。當一新探針頭140欲取代附接在該主要次總成130上之探針頭140時，一探針頭托盤106可由該分級區104移動至該測試區域170。該DUT平台110可已先移動遠離該探針卡裝置120(例如，離開該測試區域170)。該托盤106可接著接合該探針頭140及該主要次總成130，且該主要次總成130可組配成自動地釋放該探針頭140至該托盤106。該托盤106可接著由該測試區域170移動該探針頭140返回該分級區104，且在此該探針頭140可重新儲存在該探針頭儲存 器102中。接著可由該儲存器102移動一新且不同種類之探針頭140至該托盤106且該托盤106可移動該新探針頭140至該測試區域170。在此，該托盤106可接合該主要次總成130，且該主要次總成130可自動地附接該新探針頭140在該主要次總成130上。接著可使該托盤106移回該分級區104，且可以此時新組配之探針卡裝置130測試一新DUT150。
圖2以側視、橫截面圖顯示一主要次總成130、一可更換式探針頭140及一托盤106之構態例。圖3以側視、橫截面圖顯示附接在該主要次總成130上之探針頭140。圖4係該主要次總成130之一仰視圖且未附接該探針頭140，且圖5係顯示該探針頭140附接在該主要次總成130上之仰視圖。圖6顯示該探針頭140之俯視圖，且在圖5中可看到其仰視圖。圖7係該托盤106之俯視圖。所示構態只是例子，且該主要次總成130、該可更換式探針頭140及托盤106可以不同構態構成。
如圖2至5所示，該主要次總成130可包含一加強件206、一佈線結構210、一分隔件220、一基座228、一探針頭介面240及一壓環250。圖2至5所示之該等元件只是例子，且可有各種變化。例如，該主要次總成130不必包括所有所示元件，可包括另外之元件及/或可包括不同元件。例如，如圖8至16所示，該主要次總成130不必包括壓環250。
該加強件206可包含機械剛性材料(例如，一金 屬)。因此該加強件206可提供機械剛性。如圖所示，該加強件206可具有一開口208，且該開口208可大致居中地設置在該加強件206中。
該佈線結構210可為，例如，一印刷電路板、一陶瓷積層佈線結構等。該佈線結構210可包含一或一以上測試器介面132(請參閱圖1)，且多數電氣連接216(例如，線)可電氣連接該測試器介面132與在該探針頭介面240上之電氣端子242。或者，在或通過佈線結構210之電氣連接(未圖示但是可為線路、通孔等)可電氣地連接該測試器介面132與該等端子242。該佈線結構210可包含一開口212(例如，用於該分隔件220)，且該開口212可大致居中地設置在該佈線結構210中。
該分隔件220可為一大致機械剛性結構且可附接在該加強件206上。類似該加強件206，該分隔件220可包括可大致居中地設置在該分隔件220中之一開口222。該加強件206之開口208及該分隔件220之開口222可大致對齊且形成通過該加強件206及該開口222且到達該探針頭介面240之一通道226(例如，用於該等電氣連接216)。
該基座228可包括一開口230，且該開口230可大致居中地設置在該基座228中且可與該通道226大致對齊。如圖所示，在該基座228中之開口230可比在該分隔件220中之開口222大，這可讓該探針頭介面240附接在該分隔件220上。該基座228可包括一內表面236，且該探針頭140可在附接在該主要次總成130上時(請參閱圖3)壓抵該 內表面236。或者，該探針頭140可設置成在附接在該主要次總成130上時靠近但不一定接觸該內表面236。該基座228亦可包括多數凹部232及設置在該等凹部232中之多數閂鎖總成234(顯示兩個但可有兩個以上)。
該分隔件220及該基座228可為互相附接(例如，藉由螺栓、螺絲、夾具、黏著劑等)之不同結構。或者，該分隔件220及該基座228可為一單一結構。例如，該分隔件220及該基座228可為相同單塊結構之某些部份。
該探針頭介面240可包含在一側之上述電氣端子242，在另一側之電氣接頭244，及由該等端子242至該等接頭244之電氣連接246。該探針頭介面240可利用設置在該通道226中之端子242及在該基座228之開口230中之接頭244而附接在該分隔件220上。
當該探針頭140係在接觸或至少靠近該主要次總成130之一“閂鎖位置”時，該等閂鎖總成234，在關閉(例如，閂鎖)時，可利用與該探針頭介面240之接頭244電氣地連接(例如，接觸)之該探針頭140之電氣連接器268而將該探針頭140附接在該主要次總成130上。但是，當開啟(例如，解鎖)時，該等閂鎖總成234可容許該探針頭140被移除且因此由該主要次總成130拆卸。該等閂鎖總成234可組配成除非被壓抵該等閂鎖總成234之該壓環250之力開啟否則被關閉。或者，如果該主要次總成130不包括一壓環250，則該等閂鎖總成234可藉由直接接觸該等閂鎖總成234來開啟該等閂鎖總成234。
該壓環250可包含一開口254(例如，一居中設置之開口)及一唇部252。該壓環250可分離地附接在，例如，該基座228上。該壓環250可被偏壓進入該唇部252不施加一明顯力或甚至接觸該等閂鎖總成234之一預設位置。但是，該唇部252可設置成靠近該等閂鎖總成234使得，當該壓環250被一足夠且適當定向之力作用時，該唇部252可移動而接觸且充分地加壓該等閂鎖總成234以開啟該等閂鎖總成234。當該力移除時，該壓環250之偏壓(如上所述)可使該壓環250自動地移動而脫離與該等閂鎖總成234之接觸(例如，返回該預設位置)。如上所述，該主要次總成130之某些實施例不包括該壓環250。
如圖2、3、5與6所示，該可更換式探針頭140可包含一基座結構264及一探針插入物279。
該基座結構264可包含一掣子276、多數引導孔278及多數引導銷262。該引導銷262可與該主要次總成130之閂鎖總成234互鎖。該掣子276可包含沿該基座結構264之一周邊的一連續特徵，如圖5與6所示。作為另一例子，可有環繞該基座結構264之一周邊設置之多數分開掣子276。無論如何，當關閉時，該等閂鎖總成234可與該掣子276(或該等掣子)互鎖且因此如上所述地將該探針頭140附接在該主要次總成130上。該等引導孔278(顯示兩個但可有兩個以上)可對應於在該托盤106上之引導銷292。當該探針頭140係設置在該托盤106上時，該等引導銷292可插入該等引導孔278。類似地，該等引導銷262(顯示一個但 可有一個以上)可對應於在該探針頭介面240中之引導孔241。當該托盤106移動該探針頭140而與該探針頭介面240接觸時，該等引導銷262可進入該等引導孔241。或者，一或一以上之引導銷292可在該探針頭140上且對應(多數)引導孔278可在該托盤106中。類似地，一或一以上之引導銷262可在該探針頭介面240上且對應(多數)引導孔241可在該探針頭140中。
該等引導孔241、278及該等引導銷262、292可為對齊特徵之例子。例如，探針頭140包含了可分別作為一第一對齊特徵及一第二對齊特徵的引導銷262及引導孔278。將一引導銷262、292插入一對應引導孔241、278可為耦合對齊特徵之一例。
該探針插入物279可附接在該基座結構264上。例如，該探針插入物279可設置在該基座結構264之一中央開口(未圖示)中。螺栓、螺絲、夾具、黏著劑、彈簧(例如，板片彈簧)等可附接探針插入物279至該基座結構264上。無論如何，該探針插入物279可包含在該探針頭140之一側266上之電氣連接器268及由該探針頭140之另一側延伸之探針142。電氣連接274可連接該等連接器268與該等探針142。該等連接器268之數目及圖案可對應於該探針頭介面240之接頭244之數目及圖案。當該探針頭140附接在該主要次總成130上時，該等連接器268可因此與該等接頭244電氣地連接(例如，實體地接觸)。該等探針142之數目及圖案可對應於欲測試之DUT150之端子152之數目及圖案。當該測 試器介面132與該測試控制器114連接且該等探針142與該等DUT端子152接觸時，該等探針142、連接274、連接器268、接頭244、連接246、端子242及連接216可因此形成在一DUT150之端子152與該測試器介面132且因此該測試控制器114間之多數獨立電氣連接。
在某些實施例中，該探針頭140可包含可獨特地識別該探針頭140之一識別器602。該識別器602可為，例如，如一條碼之一機器可讀取標籤、一射頻(RF)發射器等。如果該探針頭140具有一識別器602，則該測試系統100可在將該探針頭140附接在該主要次總成130之前，確定該探針頭140之身份。
如圖2與7所示，該托盤106可包含可設置在一基座298上之一可移動的第一平台282及一可移動的第二平台288。兩平台282、288可獨立地移動遠離且返回該基座298。例如，致動器(未顯示在圖2中；在圖8至14之一或一以上圖中的元件812、814)可獨立地移動該第一平台282及該第二平台288。該第一平台282可包含一開口284(例如，一中央開口)，且該第二可移動平台288可設置在該開口284中。如上所述，該等平台282、288可互相相對地移動。
該第一平台282可包含多數引導銷292及多數閂鎖柱294(顯示兩個但可有兩個以上)。一探針頭140可設置在該第一平台282上，且該等引導銷292可嵌入該探針頭140之引導孔278中。該等閂鎖柱294可定位成對應於該壓環250且因此接觸並充分地加壓該壓環250抵靠該等閂鎖 總成234以便在該第一平台282移向且接著接觸該主要次總成130時開啟該等閂鎖總成234。如上所述，如果，例如，該主要探針卡裝置130不包括一壓環250，則該等閂鎖柱294亦可定位成直接接觸該等閂鎖總成234。無論如何，該等閂鎖柱294可作成相對該探針頭140之一厚度T1具有一尺寸(例如，由該第一平台282延伸一距離D)且相對可設置該探針頭140之該等引導銷292定位，使得當設置一探針頭140之該第一平台282向該主要次總成130移動時，在該探針頭140接觸該等閂鎖總成234之前，該等閂鎖柱294接觸該主要次總成130且開啟該等閂鎖總成234。因此，當該第一平台282向該主要次總成130移動一探針頭140時，在該探針頭140到達該等閂鎖總成234之前，該等閂鎖柱294開啟該等閂鎖總成234使得，當該探針頭140接觸且接著通過該等閂鎖總成234時，該等閂鎖總成234開啟。
該第二平台288可包含多數壓縮機構296，該等壓縮機構296在被加壓抵靠該探針頭140之第二側270時可加壓該探針頭140抵靠該主要次總成130之基座228之內表面236及/或該等接頭244。該等壓縮機構296可包含，例如，彈簧。因此，例如，該等壓縮機構296可保持該探針頭140在上述閂鎖位置中。
圖8至13顯示附接一探針頭140在該主要次總成130上之一例，且圖13至16顯示由該主要次總成130拆卸一探針頭140之一例。在圖8至16中，該主要次總成130、探針頭140及托盤106係以部份、側視、橫截面圖顯示。即， 在圖8至16中只顯示在圖2之頁面之右方部份上的前述元件之一部份。如圖可見，圖8至16所示之該主要次總成130不包括壓環250。相反地，該閂鎖柱294藉由接觸及直接加壓抵靠該等閂鎖總成234開啟該等閂鎖總成234而不是直接接觸及加壓該壓環250抵靠該等閂鎖總成234且因此透過該壓環250間接地接觸及加壓該等閂鎖總成234。
如上所述，圖8至13顯示附接一探針頭140在該主要次總成130上之一例。圖8顯示設置在該托盤106上之一探針頭140，且該探針頭140係定位成靠近該主要次總成130(例如，在下方)。如圖所示，該探針頭140可設置在該托盤106之第一平台282上且該第一平台282之引導銷292插入該探針頭140之引導孔278中。
在圖9中，該第一平台282，例如，藉由致動器814(顯示一個但可有一個以上)向該主要次總成130移動。當該第一平台282向該主要次總成130移動時，初始接觸可為該等閂鎖柱294接觸及加壓該等閂鎖總成234，且，如上所述地，這可開啟該等閂鎖總成234。例如，如圖所示，各閂鎖總成234可包含可環繞一旋轉機構804(例如，一桿)旋轉之一閂鎖802及一返回機構808(例如，一機械彈簧)。該返回機構808可，例如，偏壓一閂鎖802使得該閂鎖802在沒有來自一閂鎖柱294之力時返回其預設關閉位置。
當該閂鎖柱294移動而接觸一閂鎖802時，該閂鎖柱294使該閂鎖802旋轉，開啟該閂鎖總成234。當該第一平台282繼續向該主要次總成130移動時，該探針頭140 通過此時開啟之閂鎖234且接合該主要次總成130。例如，在該探針頭140之第一側266上之引導銷262可進入在該探針頭介面240中之引導孔241，且該探針頭140之連接器268可與該主要次總成130之探針頭介面240上之端子244電氣地連接(例如，藉由實體地接觸)。作為另一例子，該探針頭140之第一側266可接觸該基座228之內表面236。
由該探針頭140延伸之引導銷262及在該探針頭介面240中之對應引導孔241可相對該等閂鎖總成234定位使得該探針頭140係在一“閂鎖位置”，其中該探針頭140之掣子276係定位成與在該等閂鎖總成234之閂鎖802上之對應掣子806互鎖，因此將該探針頭140附接在該主要次總成130上。如圖9所示地移動之該第一平台282可因此開啟該等閂鎖總成234且將該探針頭140放在一如圖10所示之閂鎖位置。
如圖11所示，該第二平台288可接著向該探針頭140移動(例如，藉由致動器812(只顯示一個但可有一個以上)以藉此加壓該壓縮機構296抵靠該探針頭140之第二側270，這可在與該第一平台282無關之情形下固持該探針頭140在該閂鎖位置。
如圖12所示，當該第二平台288固持該探針頭140在該閂鎖位置時，該第一平台282可移動遠離且不接觸該探針頭140，這會使該閂鎖柱294移動遠離且不接觸該等閂鎖總成234。該返回機構808可使該等閂鎖總成234(如上所述地)關閉。因此該等閂鎖總成234關閉且閂鎖該探針頭 140之掣子276，將該探針頭140附接在該主要次總成130上。
如圖13所示，該第二平台288可接著移動遠離且不接觸該探針頭140。結果可為，如圖13所示，該探針頭140附接在該主要次總成130上且該探針頭140之連接器268與該探針頭介面240之接頭244電氣地連接。該探針頭140之引導銷262亦可插入該探針頭介面240之引導孔241中。
圖13至16顯示由該主要次總成130拆卸一探針頭140之一例。如上所述，圖13顯示附接在該主要次總成130上之一探針頭140。為拆卸該探針頭140，一空托盤106可定位成亦如圖13所示地靠近該探針頭140(例如，在下方)。
在圖14中，該第一平台282藉由致動器814向該主要次總成130及該探針頭140移動。當該第一平台282向該主要次總成130移動時，初始接觸可為該等閂鎖柱294接觸及加壓該等閂鎖總成234，且，如上所述地，這可開啟該等閂鎖總成234。當一閂鎖柱294加壓抵靠一閂鎖802時，該閂鎖柱294使該閂鎖802旋轉，開啟該閂鎖總成234。這可釋放該探針頭140，且該探針頭140可大致如圖14所示地釋放(例如，掉落)在該第一平台282上。
如圖15所示，此時放置該探針頭140之該第一平台282可移動遠離主要次總成130。當該第一平台182移動遠離該主要次總成130時，該第一平台282及探針頭140通 過仍開啟之閂鎖234。當該第一平台282繼續移動遠離該主要次總成130時，該等閂鎖柱294移動而不接觸該等閂鎖802，且該等返回機構808可接著使該閂鎖802返回其關閉位置。但是，在此之前，該第一平台282已使該探針頭140移動通過該等閂鎖總成234且遠離該主要次總成130。如圖16所示，該探針頭140因此已由該主要次總成130拆卸。
雖然本發明之特定實施例及應用已在這說明書中說明過了，但是這些實施例及應用只是示範的，且可有許多變化例。

Claims (16)

  1. 一種探測裝置，包含：一探針頭，包含：多數電氣連接器，係在該探針頭的一側；多數導電探針，係由該探針頭的另一側延伸且與該等連接器電氣地連接；及一掣子，用以在該探針頭係移動朝向一探針卡裝置之一主要次總成時與該主要次總成之多數閂鎖總成互鎖，使得該探針頭係在相對該主要次總成之一閂鎖位置中，其中：該探針頭係組配成當該探針頭係在該閂鎖位置時藉由關閉該等閂鎖總成而附接在該主要次總成上，且該探針頭係組配成藉由開啟該等閂鎖總成而由該主要次總成拆卸；且該探測裝置更包含一托盤，該托盤組配成當該探針頭由該主要次總成拆卸時固持該探針頭，其中該托盤係組配成在該托盤使該探針頭移動朝向該閂鎖位置時可接觸該等閂鎖總成且因此自動地開啟該等閂鎖總成。
  2. 如請求項1之探測裝置，其中該托盤包含：一可移動的第一平台，係組配成固持該探針頭，其中該探針頭之多數對齊特徵與該托盤之多數對應對齊特徵耦合，且該第一平台更包含一閂鎖柱，該閂鎖柱係 組配成當該第一平台使該探針頭向該主要次總成移動時且在該探針頭到達該等閂鎖總成之前，開啟該主要次總成之該等閂鎖總成。
  3. 如請求項2之探測裝置，其中該托盤更包含用以在該等閂鎖總成開啟時暫時固持該探針頭在該閂鎖位置之一可移動的第二平台。
  4. 如請求項3之探測裝置，其中：該第一平台包含一開口，且該第二平台係設置在該開口中。
  5. 如請求項1之探測裝置，其中該托盤係組配成當該托盤移動遠離該主要次總成且不接觸該等閂鎖總成時，自動地關閉該等閂鎖總成。
  6. 如請求項1之探測裝置，其中該探針頭包含用以獨特地識別該探針頭之一機器可讀取識別器。
  7. 一種探測裝置，包含：一探針頭，包含：多數電氣連接器，係在該探針頭的一側；多數導電探針，係由該探針頭的另一側延伸且與該等連接器電氣地連接；一掣子，用以與一探針卡裝置之一主要次總成之多數閂鎖總成互鎖，同時該探針頭係在相對該主要次總成之一閂鎖位置中；一第一對齊特徵，係組配成當該探針頭係在該閂鎖位置時與該主要次總成之一對應對齊特徵耦 合；及一第二對齊特徵，係組配成與一托盤之一對應對齊特徵耦合，其中該托盤係組配成當該托盤移動而接觸或脫離該主要次總成時，自動地開啟及關閉該主要次總成之該等閂鎖總成，其中，該探針頭係組配成當該探針頭係在該閂鎖位置時藉由關閉該等閂鎖總成而附接在該主要次總成上，且該探針頭係組配成藉由開啟該等閂鎖總成而由該主要次總成拆卸。
  8. 一種探測裝置，包含：一探針頭，包含：多數電氣連接器，係在該探針頭的一側；多數導電探針，係由該探針頭的另一側延伸且與該等連接器電氣地連接；及一掣子，用以在該探針頭係移動朝向一探針卡裝置之一主要次總成時與該主要次總成之多數閂鎖總成互鎖，使得該探針頭係在相對該主要次總成之一閂鎖位置中，其中：該探針頭係組配成當該探針頭係在該閂鎖位置時藉由關閉該等閂鎖總成而附接在該主要次總成上，且該探針頭係組配成藉由開啟該等閂鎖總成而由該主要次總成拆卸；且該探測裝置更包含一托盤，其中該托盤包含： 一可移動的第一平台，係組配成固持該探針頭，其中該探針頭之多數對齊特徵與該托盤之多數對應對齊特徵耦合，且該第一平台更包含一閂鎖柱，該閂鎖柱係組配成當該第一平台使該探針頭向該主要次總成移動時且在該探針頭到達該等閂鎖總成之前，開啟該主要次總成之該等閂鎖總成。
  9. 一種用以附接一探針頭至一主要次總成以形成一完全組合探針卡裝置之方法，該方法包含：將該探針頭設置在一第一平台上；該第一平台使該探針頭相對該主要次總成移入一閂鎖位置，該移動自動地開啟該主要次總成之閂鎖總成；及關閉該等閂鎖總成且藉此附接該探針頭在該主要次總成上，其中自動地開啟該等閂鎖總成之步驟包含：當該第一平台使該探針頭移動朝向該閂鎖位置時，該第一平台之多數閂鎖柱接觸該等閂鎖總成且因此開啟該等閂鎖總成；及在該等閂鎖柱已開啟該等閂鎖總成後，該第一平台藉由該等閂鎖總成移動該探針頭且使其進入該閂鎖位置。
  10. 如請求項9之方法，其中當該探針頭附接在該主要次總成時，在該探針頭之一第一側上之多數電氣連接器係與該主要次總成之多數對應電氣接頭電氣地連接。
  11. 如請求項9之方法，其中：該方法更包含，在該第一平台已使該探針頭移入該閂鎖位置後，使一第二平台移動而接觸在該閂鎖位置之該探針頭，關閉該等閂鎖總成之步驟包含，當該第二平台保持該探針頭在該閂鎖位置時，使該第一平台移動成不接觸該等閂鎖總成，而自動地關閉在該探針頭之一掣子上之該等閂鎖總成，且該方法更包含，在自動地關閉在該探針頭之該掣子上之該等閂鎖總成後，使該第二平台移動遠離該主要次總成。
  12. 如請求項9之方法，其中：將該探針頭設置在該第一平台上之步驟包含，耦合該探針頭之多數對齊特徵與該第一平台之多數對齊特徵，且使該探針頭移入該閂鎖位置之步驟包含，耦合該探針頭之多數對齊特徵與該主要次總成之多數對齊特徵。
  13. 如請求項9之方法，其中將該探針頭設置在該第一平台上之步驟、使該探針頭移入該閂鎖位置之步驟、及關閉該等閂鎖總成之步驟，係在該主要次總成附接至一測試系統、而在該測試系統中該完全組合探針卡裝置接觸及測試多數電子裝置時實施。
  14. 一種由一完全組合探針卡裝置之一主要次總成拆卸一探針頭之方法，該方法包含： 使一第一平台向該探針頭移動，前述移動會接觸將該探針頭附接在該主要次總成上之多數閂鎖總成且因此自動地開啟該等閂鎖總成；自動地開啟該等閂鎖總成之步驟使該探針頭由該主要次總成釋放；及使該第一平台連同設置於其上之已釋放的該探針頭移動遠離該主要次總成，其中，自動地開啟該等閂鎖總成之步驟包含，當該第一平台向該探針頭移動時，該第一平台之多數閂鎖柱接觸該等閂鎖總成且因此開啟該等閂鎖總成，且使該第一平台連同設置於其上之已釋放的該探針頭移動遠離該主要次總成之步驟包含，該等閂鎖柱保持該等閂鎖總成開啟直到該探針頭移動通過開啟的該等閂鎖總成為止。
  15. 如請求項14之方法，更包含：使已釋放的該探針卡之多數對齊特徵與該第一平台之多數對齊特徵耦合。
  16. 如請求項14之方法，其中使該第一平台向該探針頭移動之步驟、自動地開啟該等閂鎖總成之步驟、及使該第一平台連同設置於其上之已釋放的該探針頭移動遠離該主要次總成之步驟，係在該主要次總成附接至一測試系統、而在該測試系統中該完全組合探針卡裝置接觸及測試多數電子裝置時實施。
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