KR102646590B1 - 프로브 카드 고정장치 - Google Patents

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KR102646590B1
KR102646590B1 KR1020220042150A KR20220042150A KR102646590B1 KR 102646590 B1 KR102646590 B1 KR 102646590B1 KR 1020220042150 A KR1020220042150 A KR 1020220042150A KR 20220042150 A KR20220042150 A KR 20220042150A KR 102646590 B1 KR102646590 B1 KR 102646590B1
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Abstract

본 발명은 프로브 카드 고정장치에 대한 것으로서, 프로브 카드를 해제가능하게 고정시키는 프로브 카드 고정장치에 있어서, 내부에 수용공간이 형성되며 상부가 개방된 하우징; 하우징의 수용공간 내부에 배치되며 수직방향으로 출몰하는 로드가 마련된 래치 실린더; 상기 래치 실린더의 로드에 결합되며 상기 수용공간 내부에 수직방향으로 이동가능하게 배치되는 래치 가동부; 상기 래치 가동부의 상측에 배치되는 래치 지지부; 상기 래치 가동부와 상기 래치 지지부에 작동가능하게 연결되며 상기 래치 가동부의 이동에 연동하여 프로브 카드를 해제가능하게 파지하여 고정하는 복수의 래치장치; 및 상기 하우징의 개방된 상부를 적어도 일부분 폐쇄하며 상기 래치장치의 일부가 관통하여 돌출되며 상부에 프로브 카드가 안착될 수 있는 래치 베이스부;를 포함한다.

Description

프로브 카드 고정장치{Fixing device for probe card}
본 발명은 프로브 카드를 안정적으로 고정하여 지지하기 위한 프로브 카드 고정장치에 대한 것이다.
웨이퍼에 형성된 IC 칩을 검사하기 위해 사용되는 프로브 카드는 카드 기판과, 복수개의 프로브 침(니들이라고도 불림)을 갖는다. 검사 공정에서는 복수개의 프로브 침을 IC 칩의 전극 패드에 각각 접촉시켜, IC 칩의 전기적 특성을 측정한다. 또한, 검사 효율의 향상 등을 목적으로, 웨이퍼를 고온 상태로 하여 IC 칩의 전기적 특성을 측정하는 것이 행해지고 있다. 또한, 최근에는 반도체 장치의 미세화, 고집적화에 수반하여 프로브 침의 협피치화가 진행되어, 프로브 침과 전극 패드의 위치 정렬을 보다 고정밀도의 것으로 하는 것이 요구되고 있다.
종래의 프로브 카드 고정장치는, 프로브 카드가 안착된 후에 실린더를 작동시키면 프로브 카드가 하강하면서 프로브 카드 고정장치의 내부에 마련된 볼에 의하여 프로브 카드가 고정되도록 구성된다. 이러한 종래의 프로브 카드 고정장치는 몇 개의 볼에 의해서만 프로브 카드를 고정하고 있기 때문에, 프로브 카드와 볼 간의 유격이 발생하는 경우 고정구조가 전체적으로 불안정해지는 문제점이 있게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 복수의 래치장치가 협동하여 프로브 카드를 파지하여 고정결합하고 있어서 프로브 카드를 안정적으로 지지할 수 있는 프로브 카드 고정장치에 대한 것이다.
상술한 기술적 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프로브 카드 고정장치는, 프로브 카드를 해제가능하게 고정시키는 프로브 카드 고정장치에 있어서,
내부에 수용공간이 형성되며 상부가 개방된 하우징;
하우징의 수용공간 내부에 배치되며 수직방향으로 출몰하는 로드가 마련된 래치 실린더;
상기 래치 실린더의 로드에 결합되며 상기 수용공간 내부에 수직방향으로 이동가능하게 배치되는 래치 가동부;
상기 래치 가동부의 상부에 배치되는 래치 지지부;
상기 래치 가동부와 상기 래치 지지부에 작동가능하게 연결되며 상기 래치 가동부의 이동에 연동하여 프로브 카드를 해제가능하게 파지하여 고정하는 래치장치; 및
상기 하우징의 개방된 상부를 적어도 일부분 폐쇄하며 상기 래치장치의 일부가 관통하여 돌출되며 상부에 프로브 카드가 안착될 수 있는 래치 베이스부;를 포함한다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 래치장치는,
상기 래치 가동부와, 상기 래치 지지부에 연결되는 작동부; 및
상기 작동부에 연결되고 프로브 카드에 접촉되어 상기 프로브 카드를 파지하는 그립부를 포함할 수 있다.
상기 상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 래치 베이스부는, 상기 래치장치가 관통하는 래치구멍이 복수 위치에 배치되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부에 배치되며 래치장치의 그립부를 감싸는 래치 가이드를 포함할 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 래치장치는 상기 래치 가이드 내부에서 복수개가 협동하여 프로브 카드를 파지하여 고정결합할 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 프로브 카드의 하면은, 상기 래치 가이드의 상단에 안착될 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 작동부는, 래치 지지부에 회전가능하게 연결된 상태에서, 일측이 래치 가동부의 수직이동에 연동하여 상기 그립부가 내측을 향하는 고정방향 또는 외측을 향하는 해제방향으로 회전이동할 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 래치 지지부는,
래치 베이스부와 마주보도록 배치되는 지지판과, 상기 지지판의 하면에서 하측으로 돌출되며 작동부에 힌지연결되는 힌지아암으로 이루어질 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 지지판과, 래치 가동부 사이에는 래치 지지부에 고정결합되어 래치 지지부와 함께 수직방향으로 이동되는 힌지 베이스부가 마련될 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 래치 가동부는,
가동판과, 상기 가동판에서 상측으로 돌출되며 상기 힌지 베이스부를 통과하여 작동부의 일측에 힌지연결되는 가동아암을 포함하고, 수직방향으로 이동하는 상기 가동아암은 작동부를 상승 또는 하강시킴으로서 작동부가 회전이동할 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 힌지 베이스부와, 가동판 사이에는 힌지 베이스부를 가동판으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키는 스프링이 마련될 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 스프링은, 래치 가동부가 하강하여 프로브 카드의 하면이 래치 베이스부에 안착될때까지 지지판을 래치 베이스부의 하면에 밀착접촉시키고, 래치 베이스부에 안착된 후 래치 가동부가 추가 하강하면 탄성프리 상태로 되어 지지판이 래치 베이스부의 하면에서 이격될 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 가동판의 하부에는, 수직방향으로 하강하는 가동판의 수직이동을 정지키는 지지플레이트가 배치되고,
상기 지지플레이트의 상면에 가동판이 접촉되는 경우 프로브 카드의 하면이 래치 베이스부에 안착되어 지지될 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 하우징에는, 상기 래치 베이스부를 승하강시켜서 래치 베이스부에 안착된 프로브 카드를 승하강시키기 위한 위한 베이스 실린더가 마련될 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프로브 카드 고장장치는, 프로브 카드를 해제가능하게 고정시키는 프로브 카드 고정장치에 있어서,
내부에 수용공간이 형성되며 상부가 개방된 하우징;
하우징의 수용공간 내부에 배치되며 수직방향으로 출몰하는 로드가 마련된 래치 실린더;
상기 래치 실린더의 로드에 결합되며 상기 수용공간 내부에 수직방향으로 이동가능하게 배치되는 래치 가동부;
상기 래치 가동부의 상부에 배치되는 래치 지지부;
상기 래치 가동부와 상기 래치 지지부에 작동가능하게 연결되며 상기 래치 가동부의 이동에 연동하여 프로브 카드를 해제가능하게 고정하는 래치장치;를 포함하되,
상기 래치장치는, 래치 가동부와 래치 지지부에 연동되어 회전작동하는 작동부와, 상기 작동부에 연동하여 프로브 카드를 파지하여 고정하는 고정방향 또는 프로브 카드를 해제하는 해제방향으로 회전이동하는 그립퍼를 포함한다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 그립퍼는 2개 이상이 협동하여 프로브 카드를 파지할 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 래치 지지부의 상부에는 래치장치에 의하여 파지된 프로브 카드를 안착시키는 래치 베이스부가 배치될 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
상기 래치장치는, 상기 래치 베이스부를 관통하여 상기 그립퍼가 상기 래치 베이스부의 상부에 위치할 수 있다.
상기 프로브 카드 고정장치에서,
하우징의 수용공간 내에 배치되며 프로브 카드가 안착된 래치 베이스부를 승하강시키는 베이스 실린더가 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 프로브 카드 고정장치는, 복수의 래치장치가 프로브 카드의 저면에 형성된 홈을 넓은 면적에 걸쳐서 고정하고 있기 때문에, 안정적으로 프로브 카드를 고정시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 고정장치에 프로브 카드가 고정설치된 모습을 나타내는 사시도.
도 2은, 프로브 카드 고정장치를 위에서 바라본 사시도.
도 3은, 프로브 카드 고정장치를 아래에서 바라본 사시도.
도 4는, 본 발명의 프로브 카드 고정장치의 일부 분리 사시도.
도 5는, 도 4에서 주요부품을 확대하여 분리한 분리사시도.
도 6은 본 발명의 일 구성인 래치장치가 결합되는 모습을 나타내는 사시도.
도 7은 본 발명의 프로브 카드 고정장치에 프로브 카드가 설치되지 전의 모습을 나타내는 단면도.
도 8은 본 발명의 프로브 카드 고정장치의 래치장치에 프로브 카드가 파지된 모습을 나타내는 단면도.
도 9는 본 발명의 프로브 카드 고정장치에서 프로브 카드의 하면이 래치 베이스부에 안착된 모습을 나타내는 단면도.
도 10은 본 발명의 프로브 카드 고정장치에서 래치 베이스부가 하강한 모습을 나타낸 단면도.
본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.
본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.
본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 테스트 소켓이 검사 보드에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "수직 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.
첨부한 도면에 도시된 예들을 참조하여, 실시예들이 설명된다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.
이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 반도체 디바이스의 제조공정에서 사용되는 프로브 카드를 고정하기 위한 고정장치에 사용될 수 있다. 예를 들어 실시예의 고정장치는, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 반도체 디바이스의 전기적 검사를 행하기 위한 프로브 카드를 고정하기 위하여 사용될 수 있다. 이러한 프로브 카드는 고정장치에 확실하게 고정되어야만 원하는 검사결과를 얻을 수 있게 된다.
본 실시예에서 프로브 카드는 원판형태의 저면중앙에 원형돌기가 형성되고 원형돌기의 측면에는 원주방향을 따라서 홈이 형성되어 있게 된다. 상기 프로브 카드에는 복수의 탐침이 추가로 형성될 수 있으나, 이에 대해서는 생략하기로 한다.
이러한 프로브 카드 고정장치에 대해서는 첨부된 도면을 참고하면서 상세하게 설명한다.
본 발명의 프로브 카드 고정장치(10)는, 하우징(20), 래치 베이스부(30), 래치 지지부(40), 래치장치(50), 힌지 베이스부(60), 스프링(65), 래치 가동부(70), 지지플레이트(80), 래치 실린더(90) 및 베이스 실린더(95)를 포함하여 구성된다.
상기 하우징(20)은, 원통형상으로 이루어지고, 상부가 개방되고 하부도 부분적으로 개방되어 있게 된다. 구체적으로 하우징(20)은 원의 형태를 가지며 내부에 수용공간을 가지는 둘레벽(21)과, 상기 둘레벽(21)의 하단에서 내측으로 돌출되는 바닥부(22)로 이루어지고, 바닥부(22)의 중앙에는 소정의 중앙공(221)이 형성되어 있게 된다.
상기 하우징(20)의 바닥부(22)에는, 베이스 실린더(95)가 고정설치되어 있게 된다.
상기 래치 베이스부(30)는, 상기 하우징(20)의 개방된 상부를 적어도 일부분 폐쇄하며 상기 래치장치(50)의 일부가 관통하여 돌출되며 상부에 프로브 카드가 안착될 수 있는 것이다. 이러한 래치 베이스부(30)는, 상기 래치장치(50)가 관통하는 래치구멍(311)이 복수 위치에 배치되는 베이스 플레이트(31)와, 상기 베이스 플레이트(31)의 상부에 배치되며 래치장치(50)의 그립부(52)를 감싸는 래치 가이드(32)를 포함한다.
상기 베이스 플레이트(31)는 원판형태로 이루어지고 가장자리에는 지지플레이트(80)의 고정샤프트(81)가 고정설치되고, 중앙에는 래치장치(50)가 돌출되는 래치구멍(311)이 복수개 형성되어 있게 된다. 구체적으로 래치구멍(311)은 원주방향으로 길게 연장된 장공의 형태로 이루어지고 복수개가 원주방향으로 서로 이격되어 배치되어 있게 된다.
상기 베이스 플레이트(31)는, 하우징(20)에 고정설치된 베이스 실린더(95)에 작동에 따라서 수직방향(VD)으로 승하강할 수 있도록 구성된다.
상기 래치 가이드(32)는, 상기 베이스 플레이트(31)의 상부에 배치되어 래치장치(50)의 그립부(52)를 감싸는 형태를 가지고 있다. 구체적으로 래치 가이드(32)는 래치구멍(311)을 둘러싸도록 배치되어 있으며 그립부(52)가 내부에 수용될 수 있는 높이를 가지고 있게 된다. 상기 래치 가이드(32)의 상단에는 프로브 카드의 하면이 접촉되며, 프로브 카드는 래치 가이드(32)의 상단에 안착되어 지지되도록 구성된다.
상기 래치 지지부(40)는, 상기 래치 가동부(70)의 상측에 배치되는 것으로서 하우징(20)의 수용공간 내부에 수직방향으로 이동가능하게 배치된다. 이러한 래치 지지부(40)는 래치장치(50)를 회전가능하게 지지하는 기능을 수행하게 된다.
구체적으로 래치 지지부(40)는, 래치 베이스부(30)와 마주보도록 배치되는 지지판(41)과, 상기 지지판(41)의 하면에서 하측으로 돌출되며 작동부(51)에 힌지연결되는 힌지아암(42)으로 이루어진다.
상기 지지판(41)은, 원판형태로 이루어지고, 베이스 플레이트(31)와 마주보도록 배치된다. 상기 지지판(41)의 가장자리에는 하측으로 돌출된 측벽(411)이 형성되어 있으며 상기 측벽(411)에는 제1수평방향(HD1)과, 제2수평방향(HD2) 방향으로 절개된 절개부(412)가 마련되어 있게 된다.
상기 절개부(412)에서 제1수평방향으로 연장된 부분에는 지지판(41)의 하면에서 하측으로 돌출되어 작동부(51)에 힌지연결되는 힌지아암(42)이 마련되어 있게 된다. 구체적으로 힌지아암(42)은 제1수평방향에서 대향하는 하단 가장자리에서 하방향으로 돌출된다. 또한 힌지아암(42)은 제2수평방향에서 대향하는 하단 가장자리에서 하방향으로 돌출되어 있게 된다.
제1수평방향으로 대향하는 한 쌍의 힌지아암(42)에는 제2수평방향으로 연장된 제1힌지공(421)이 형성되어 있으며, 제2수평방향으로 대향하는 한 쌍의 힌지아암(42)에도 제1수평방향으로 연장되는 제1힌지공(421)이 형성되어 있게 된다. 상기 제1힌지공(421)에는 래치장치(50)의 작동부(51)에 마련된 제1구멍(511)에 제1샤프트(53)에 의하여 연결되도록 구성된다. 래치장치(50)의 작동부(51)는 제1샤프트(53)를 회전중심으로 하여 회전할 수 있게 구성된다.
상기 래치장치(50)는, 상기 래치 가동부(70)와 상기 래치 지지부(40)에 작동가능하게 연결되며 상기 래치 가동부(70)의 이동에 연동하여 프로브 카드(100)를 해제가능하게 파지하여 고정하는 것이다. 구체적으로 래치장치(50)는, 프로브 카드를 파지하여 고정하기 위한 고정방향 또는 프로브 카드(100)를 해제하기 위한 해제방향으로 회전이동하도록 구성되어 있게 된다.
이러한 래치장치(50)는, 상기 래치 가동부(70)와, 상기 래치 지지부(40)에 연결되는 작동부(51) 및 상기 작동부(51)에 연결되고 프로브 카드에 접촉되어 상기 프로브 카드를 파지하는 그립부(52)를 포함한다. 이러한 래치장치(50)는, 제1수평방향으로 대면하여 배치되는 한 쌍의 래치장치(50)와, 제1수평방향과 직각인 제2수평방향으로 대면하여 배치되는 한 쌍의 래치장치(50)를 포함한다. 복수의 래치장치(50)는 서로 협력하여 프로브 카드를 안정적으로 지지한다.
상기 작동부(51)는, 래치 베이스부(30)의 하측에 배치되고 래치 가동부(70) 및 래치 지지부(40)에 작동가능하게 연결되는 부분으로서 "ㄴ" 형상을 가지고 있게 된다.
제1수평방향(HD1)으로 대면하는 작동부(51)에는 제1수평방향(HD1)과 직각인 제2수평방향(HD2)으로 관통되는 제1구멍(511)이 형성되어 있게 된다. 이러한 제1구멍(511)은 제1힌지공(421)과 대응되는 위치에 배치되어 있는 것으로서, 제1구멍(511)에는 제1샤프트(53)가 마련된다. 이러한 제1구멍(511)은 작동부(51)의 가운데 부분에 형성되며, 제1구멍(511)에 끼워진 제1샤프트(53)는 래치장치(50)의 회전중심으로서의 기능을 수행하게 된다.
제2수평방향으로 대면하는 작동부(51)에는 제2수평방향과 직각인 제1수평방향으로 관통되는 제1구멍(511)이 형성되어 있게 되며, 제1구멍(511)에 제1샤프트(53)가 제1수평방향으로 끼워지게 된다.
상기 작동부(51)의 자유단에는 래치 가동부(70)의 가동아암(72)과 힌지연결되는 제1장공(512)이 형성되어 있게 된다. 구체적으로 제1수평방향(HD1)으로 대면하는 작동부(51)의 자유단에는 제1수평방향(HD1)과 직각인 제2수평방향(HD2)으로 관통되는 제1장공(512)이 형성되어 있게 된다. 제1장공(512)은 제1수평방향으로 길게 연장되어 있게 되어 타원형의 단면형상을 가지게 된다.
제1장공(512)에는 래치 가동부(70)의 가동아암(72)에 끼워걸리는 제2샤프트(54)가 삽입되며 가동아암(72)의 상승 또는 하강에 따라서 작동부(51)를 누르거나 당겨서 작동부(51)가 제1샤프트(53)를 회전중심으로 회전하게 한다.
또한 제2수평방향(HD2)으로 대면하는 작동부(51)의 자유단에는 제2수평방향(HD2)과 직각인 제1수평방향(HD1)으로 관통되는 제1장공(512)이 형성되어 있게 된다. 제1장공(512)은 제2수평방향으로 길게 연장되어 있게 되어 타원형의 단면형상을 가지게 되며, 제2샤프트(54)가 끼워지도록 구성된다.
작동부(51)는 자유단에서 외측방향으로 수평하게 연장된 상태에서 직각으로 절곡되어 래치 베이스를 관통하여 레치 베이스 상측으로 돌설되어 있게 된다.
상기 작동부(51)의 상단에는 그립부(52)가 형성되어 있게 된다. 상기 그립부(52)는 원주방향으로 구부러지도록 구성되며 내면에는 프로브 카드(100)의 홈부(101)에 끼워걸리는 걸림돌기(521)가 길게 연장되어 있게 된다. 걸림돌기(521)가 프로브 카드(100)의 홈부(101)에 끼워걸림으로서 프로브 카드(100)를 파지하고 고정하게 된다. 걸림돌기(521)는 원주방향으로 길게 연장되어 있어서 프로브 카드(100)의 홈부(101)와의 접촉면적이 커서 프로브 카드(100)를 안정적으로 파지하여 고정할 수 있게 된다. 더욱이 그립부(52)는 복수개가 협동하여 프로브 카드(100)를 파지하도록 구성되어 있어서 프로브 카드(100)의 고정을 보다 확실하게 할 수 있게 된다.
상기 힌지 베이스부(60)는, 상기 지지판(41)과, 래치 가동부(70) 사이에는 래치 지지부(40)에 고정결합되어 래치 지지부(40)와 함께 수직방향으로 이동되는 것이다. 상기 힌지 베이스부(60)는 원판형태로 이루어지고, 가장자리에는 지지플레이트(80)의 고정샤프트(81)가 통과하는 샤프트 통과공(61)이 형성되어 있게 된다. 또한, 중앙에는 래치 가동부(70)의 가동아암(72)이 통과하기 위한 아암 통과공(62)이 형성되어 있게 된다. 힌지 베이스부(60)의 저면에는 힌지 베이스부(60)와 래치 가동부(70) 사이에 배치되는 스프링(65)을 수용하는 제2스프링 안착홈(63)이 형성되어 있게 된다.
이러한 힌지 베이스부(60)는 래치 지지부(40)의 측벽(411)과 고정연결되어 있어서 래치 지지부(40)와 함께 수직방향으로 이동가능하게 구성된다.
상기 래치 지지부(40)의 지지판(41)과, 상기 힌지 베이스부(60) 사이에는 래치장치(50)의 작동부(51)가 배치되어 있어서 래치장치(50)는 그 사이의 공간 내부에서 제1샤프트(53)를 중심으로 회전이동할 수 있게 된다.
상기 스프링(65)은, 상기 힌지 베이스부(60)와, 가동판(71) 사이에는 힌지 베이스부(60)를 가동판(71)으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키는 것이다. 구체적으로 스프링(65)의 상단은 힌지 베이스부(60)의 하면에 배치된 제2스프링 안착홈(63) 내에 수용되고, 스프링(65)의 하단은 가동판(71)의 제1스프링(65) 수용홈에 안착되어 수용된다.
이러한 스프링(65)은, 래치 가동부(70)가 하강하여 프로브 카드의 하면이 래치 베이스부(30)에 안착될 때까지 지지판(41)을 래치 베이스부(30)의 하면에 밀착접촉시키게 한다.
이후에 래치 베이스부(30)에 안착된 후 래치 가동부(70)가 추가 하강하면 탄성프리 상태로 되어 지지판(41)이 래치 베이스부(30)의 하면에서 이격될 수 있게 하는 것이다.
상기 래치 가동부(70)는, 상기 래치 실린더(90)의 로드(91)에 결합되며 상기 수용공간 내부에 수직방향으로 이동가능하게 배치되는 것이다. 구체적으로 래치 가동부(70)는 래치 실린더(90)의 작동에 따라서 수직방향으로 이동하게 되고, 이에 따라 래치장치(50)의 작동부(51)의 자유단을 밀거나 당기도록 힘을 가하게 한다.
이러한 래치 가동부(70)는, 가동판(71)과, 상기 가동판(71)에서 상측으로 돌출되며 상기 힌지 베이스부(60)를 통과하여 작동부(51)의 일측에 힌지연결되는 가동아암(72)을 포함한다.
상기 가동판(71)은, 힌지 베이스부(60)보다 작은 외경을 가지는 원판형상을 가지고 있으며, 상면에는 스프링(65)이 안착되는 복수의 제1스프링 안착홈(711)이 형성되고, 중앙에는 래치 실린더(90)의 로드(91)가 끼워져 결합되는 중앙공(712)이 형성되어 있게 된다. 상기 중앙공(712)에는 로드(91)가 끼워져서 고정결합되고, 이에 따라 로드(91)가 수직방향으로 이동하게 되면 가동판(71)이 함께 이동하게 된다.
상기 가동아암(72)은, 복수의 제1스프링 안착홈(711) 사이에는 제1수평방향(HD1) 또는 제2수평방향(HD2) 방향으로 서로 대면하게 배치되는 가동아암(72)이 세워져 배치되는 것이다. 가동아암(72)은, 힌지 베이스부(60)의 아암 통과공(62)을 통과하여 상측으로 돌출되어 래치장치(50)의 작동부(51)에 힌지연결되어 있게 된다. 구체적으로 가동아암(72)의 상단에는 제2구멍이 마련되어 있으며 제2구멍(721)에 제2샤프트(54)가 끼워지게 된다. 제2샤프트(54)는 제2구멍(721)과, 제1장공(512)에 끼워져 결합되어 있어서, 가동아암(72)의 수직이동에 따라서 작동아암의 자유단을 상승 또는 하강시키게 한다.
상기 지지플레이트(80)는, 가동판(71)의 하부에 배치되어 있으며 힌지 베이스부(60)와 대략 동일한 크기를 가지는 원판형상으로 이루어진다. 상기 지지플레이트(80)의 가장자리에는 래치 베이스부(30)에 고정되는 고정샤프트(81)가 마련되어 있으며 고정샤프트(81)에 의하여 지지플레이트(80)는 래치 베이스부(30)에 대하여 위치고정된다. 상기 지지플레이트(80)의 중앙에는 상기 가동판(71)과 대응되는 크기는 가지는 가동판 안착홈(82)이 형성되어 있게 된다. 상기 가동판 안착홈(82)에 승하강하는 가동판(71)이 안착될 수 있게 되는 것이다.
상기 지지플레이트(80)의 상면에 가동판(71)이 접촉되어 안착되는 경우 프로브 카드의 하면이 래치 베이스부(30)에 안착되어 지지될 수 있도록 구성된다.
상기 래치 실린더(90)는, 하우징(20)의 수용공간 내부에 배치되며 수직방향으로 출몰하는 로드(91)가 마련된 것이다. 이러한 래치 실린더(90)는 지지플레이트(80)의 하면에 고정설치되고, 로드(91)는 지지플레이트(80)를 중앙을 통과하여 가동판(71)에 고정결합되도록 구성된다.
상기 래치 실린더(90)는 로드(91)를 승하강시킴으로서 가동판(71)이 수직방향으로 이동가능하게 한다. 래치 실린더(90)의 동작에 의하여 가동판(71)이 수직방향으로 이동하면 이에 따라서 래치장치(50)가 제1샤프트(53)를 기준으로 회전이동하도록 구성된다.
상기 베이스 실린더(95)는, 하면이 하우징(20)의 바닥에 고정결합되고 수직방향으로 이동하는 로드(96)는 래치 베이스부(30)에 결합되어 고정됨으로서 래치 베이스부(30)를 승하강시킨다. 베이스 실린더(95)는 복수개가 하우징(20) 내부에 설치되어 있으며 각 베이스 실린더(95)의 로드(96)가 승하강하면셔 래치 베이스부(30)를 상승 또는 하강시킨다.
이러한 본 발명에 따른 프로브 카드 고정장치(10)는 다음과 같이 작동한다.
도 7에서는 프로브 카드가 고정되기 전에 상태를 도시한다. 이때 그립부(52)는 프로브 카드를 수용할 수 있도록 외측으로 벌어져 있게 된다. 프로브 카드가 하강하여 그립부(52)에 안착되면, 도 8에 도시된 바와 같이, 그립부(52)가 프로브 카드를 파지하게 된다.
구체적으로 래치 실린더(90)의 로드(91)가 하측으로 이동하게 되면, 그에 따라서 가동판(71)이 하강하게 되고, 가동판(71)과 함께 가동아암(72)도 하방향으로 이동하게 된다. 가동아암(72)의 하강에 따라서 가동아암(72)에 연결된 작동부(51)의 자유단도 하강하게 되는데, 작동아암의 자유단이 하강하게 되면 작동부(51)는 제1샤프트(53)를 중심으로 회전하게 된다. 작동부(51)가 제1샤프트(53)를 중심으로 회전하게 됨에 따라서 래치장치(50)의 그립부(52)는 내측방향으로 이동하게 되고 이에 따라서 프로브 카드(100)의 홈부(101)를 파지할 수 있게 된다.
이때, 작동부(51)과 가동아암(72)이 하강하는 과정에서도 스프링(65)은 힌지 베이스부(60)를 상방향으로 탄성지지하고 있으므로 지지판(41)은 베이스 플레이트(31)에서 이격되지 않고 접촉상태를 유지하게 된다.
이후에, 래치 실린더(90)의 로드(91)가 추가적으로 하강하게 되면, 도 9에 도시된 바와 같이, 스프링(65)이 프리 스트로크(free stroke) 상태가 되면 스프링(65)에 의한 탄성반력이 없게 되므로 래치 지지부(40), 힌지 베이스부(60)를 포함하여 래치장치(50)가 전체적으로 하강하게 되고, 이에 따라서 래치장치(50)에 파지되어 결합된 프로브 카드(100)도 하강하게 된다. 프로브 카드(100)가 충분하게 하강하여 프로브 카드(100)의 하면이 래치 가이드(32)의 상면에 접촉하게 되면, 가동판(71)이 지지 플레이트(80)에 안착됨으로서 하강이 멈추게 된다.
즉, 가동판(71)이 지지 플레이트(80)에 안착되어 지지된 상태에서 프로브 카드의 하면은 래치 가이드(32)의 상단에 안착되어 안정적으로 지지가능하게 된다.
이와 같이 프로브 카드(100)를 안정적으로 지지하게 되면, 베이스 실린더(95)가 동작하게 된다. 구체적으로 베이스 실린더(95)의 로드(91)가 하강하게 되면, 도 10에 도시된 바와 같이 래치 베이스부(30)가 하강하게 되고, 이에 따라서 지지 플레이트를 포함한 전체적인 프로브 카드 지지구조가 전체적으로 하강하게 되고, 설계자가 원하는 위치에 프로브 카드를 위치시킬 수 있게 한다.
이상에서 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예들 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.
10...프로브 카드 고정장치 20...하우징
21...둘레벽 22...바닥부
221...중앙공 30...래치 베이스부
31...베이스 플레이트 311...래치구멍
32...래치 가이드 40...래치 지지부
41...지지판 411...측벽
412...절개부 42...힌지아암
421...제1힌지공 50...래치장치
51...작동부 511...제1구멍
512...제1장공 52...그립부
521...걸림돌기 53...제1샤프트
54...제2샤프트 60...힌지 베이스부
61...샤프트 통과공 62...아암 통과공
63...제2스프링 안착홈 65...스프링
70...래치 가동부 71...가동판
711...제1스프링 안착홈 712...중앙공
72...가동아암 721...제2구멍
80...지지플레이트 81...고정샤프트
82...가동판 안착홈 90...래치 실린더
91...로드 95...베이스 실린더
96...로드 100...프로브 카드
101...홈부

Claims (18)

  1. 프로브 카드를 해제가능하게 고정시키는 프로브 카드 고정장치에 있어서,
    내부에 수용공간이 형성되며 상부가 개방된 하우징;
    하우징의 수용공간 내부에 배치되며 수직방향으로 출몰하는 로드가 마련된 래치 실린더;
    상기 래치 실린더의 로드에 결합되며 상기 수용공간 내부에 수직방향으로 이동가능하게 배치되는 래치 가동부;
    상기 래치 가동부의 상측에 배치되는 래치 지지부;
    상기 래치 가동부와 상기 래치 지지부에 작동가능하게 연결되며 상기 래치 가동부의 이동에 연동하여 프로브 카드를 해제가능하게 파지하여 고정하는 복수의 래치장치; 및
    상기 하우징의 개방된 상부를 적어도 일부분 폐쇄하며 상기 래치장치의 일부가 관통하여 돌출되며 상부에 프로브 카드가 안착될 수 있는 래치 베이스부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 래치장치는,
    상기 래치 가동부와, 상기 래치 지지부에 연결되는 작동부; 및
    상기 작동부에 연결되고 프로브 카드에 접촉되어 상기 프로브 카드를 파지하는 그립부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 래치 베이스부는, 상기 래치장치가 관통하는 래치구멍이 복수 위치에 배치되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부에 배치되며 래치장치의 그립부를 감싸는 래치 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 래치장치는 상기 래치 가이드 내부에서 복수개가 협동하여 프로브 카드를 파지하여 고정결합하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 프로브 카드의 하면은, 상기 래치 가이드의 상단에 안착되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 작동부는, 래치 지지부에 회전가능하게 연결된 상태에서, 일측이 래치 가동부의 수직이동에 연동하여 상기 그립부가 내측을 향하는 고정방향 또는 외측을 향하는 해제방향으로 회전이동하게 하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 래치 지지부는,
    래치 베이스부와 마주보도록 배치되는 지지판과, 상기 지지판의 하면에서 하측으로 돌출되며 작동부에 힌지연결되는 힌지아암으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 지지판과, 래치 가동부 사이에는 래치 지지부에 고정결합되어 래치 지지부와 함께 수직방향으로 이동되는 힌지 베이스부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 래치 가동부는,
    가동판과, 상기 가동판에서 상측으로 돌출되며 상기 힌지 베이스부를 통과하여 작동부의 일측에 힌지연결되는 가동아암을 포함하고, 수직방향으로 이동하는 상기 가동아암은 작동부를 상승 또는 하강시킴으로서 작동부가 회전이동하게 하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 힌지 베이스부와, 가동판 사이에는 힌지 베이스부를 가동판으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키는 스프링이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 스프링은, 래치 가동부가 하강하여 프로브 카드의 하면이 래치 베이스부에 안착될때까지 지지판을 래치 베이스부의 하면에 밀착접촉시키고, 래치 베이스부에 안착된 후 래치 가동부가 추가 하강하면 탄성프리 상태로 되어 지지판이 래치 베이스부의 하면에서 이격될 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 가동판의 하부에는, 수직방향으로 하강하는 가동판의 수직이동을 정지시키는 지지플레이트가 배치되고,
    상기 지지플레이트의 상면에 가동판이 접촉되는 경우 프로브 카드의 하면이 래치 베이스부에 안착되어 지지되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 하우징에는, 상기 래치 베이스부를 승하강시켜서 래치 베이스부에 안착된 프로브 카드를 승하강시키기 위한 위한 베이스 실린더가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  14. 프로브 카드를 해제가능하게 고정시키는 프로브 카드 고정장치에 있어서,
    내부에 수용공간이 형성되며 상부가 개방된 하우징;
    하우징의 수용공간 내부에 배치되며 수직방향으로 출몰하는 로드가 마련된 래치 실린더;
    상기 래치 실린더의 로드에 결합되며 상기 수용공간 내부에 수직방향으로 이동가능하게 배치되는 래치 가동부;
    상기 래치 가동부의 상부에 배치되는 래치 지지부;
    상기 래치 가동부와 상기 래치 지지부에 작동가능하게 연결되며 상기 래치 가동부의 이동에 연동하여 프로브 카드를 해제가능하게 고정하는 래치장치;를 포함하되,
    상기 래치장치는, 래치 가동부와 래치 지지부에 연동되어 회전작동하는 작동부와, 상기 작동부에 연동하여 프로브 카드를 파지하여 고정하는 고정방향 또는 프로브 카드를 해제하는 해제방향으로 회전이동하는 그립퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 그립퍼는 2개 이상이 협동하여 프로브 카드를 파지하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 래치 지지부의 상부에는 래치장치에 의하여 파지된 프로브 카드를 안착시키는 래치 베이스부가 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 래치장치는, 상기 래치 베이스부를 관통하며 상기 그립퍼가 상기 래치 베이스부의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
  18. 제16항에 있어서,
    하우징의 수용공간 내에 배치되며 프로브 카드가 안착된 래치 베이스부를 승하강시키는 베이스 실린더가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 고정장치.
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