DE10392404T5

DE10392404T5 - Messkopfausrichtungsvorrichtung

Info

Publication number: DE10392404T5
Application number: DE10392404T
Authority: DE
Inventors: Kyung Y. Portland Kim
Original assignee: Electro Scientific Industries Inc
Current assignee: Electro Scientific Industries Inc
Priority date: 2002-03-22
Filing date: 2003-03-21
Publication date: 2005-04-14
Also published as: JP4803959B2; TW200304545A; US7119566B2; GB0416819D0; CA2476389A1; CN1639577A; US20030178988A1; CN100430735C; KR101163972B1; GB2400447A; WO2003083494A1; TWI272392B; GB2400447B; JP2005521066A; KR20040105785A; AU2003218348A1

Abstract

Messkopfausrichtungsvorrichtung zum Ausrichten einer Anzahl von Messköpfen mit Kontaktflächen auf einem Substrat, wobei das Substrat auf einer Einspanneinrichtung nahe der Messkopfausrichtungsvorrichtung gehalten wird und für eine Bewegung in einer Ebene angetrieben wird, umfassend:
eine Drehpositionierstufe mit einer Rotationsachse, die im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsebene der Einspanneinrichtung verläuft, wobei die Drehpositionierstufe von der Einspanneinrichtung so entkoppelt ist, dass sich die Einspanneinrichtung in der Ebene bewegen kann, ohne dass die Drehpositionierstufe mitbewegt wird;
einen Schlitten, der auf der Drehpositionierstufe gehalten ist, um sich mit dieser zu drehen, wobei der Schlitten so gestaltet ist, dass er die Anzahl von Messköpfen trägt; und
eine Linearpositionierstufe, die mit dem Schlitten funktionsfähig verbunden ist und für eine linearen Umsetzung des Schlittens relativ zur Drehpositionierstufe entlang der Rotationsachse der Drehpositionierstufe angetrieben ist, um dadurch die Messköpfe in Kontakt mit den Kontaktflächen zu bewegen,
wobei die Rotation der Drehpositionierstufe bewirkt, dass sich die Anzahl...

Description

Anmeldungen
Diese Anmeldung beansprucht gemäß 35 U.S.C. § 119 (e) die Priorität der provisorischen US-Patentanmeldung Nr. 60/366,912, eingereicht am 22. März 2002, die hierin durch Bezugnahme aufgenommen wird.
Technisches Gebiet
Diese Anmeldung betrifft Ausrichtungsvorrichtungen für die Verwendung beim Testen, Bohren und Abstimmen von gedruckten Leiterplatten und Substraten mit integrierten Schaltungen und insbesondere eine verbesserte Ausrichtungsvorrichtung, bei der ein Drehpositioniermechanismus (θ-Stufe) der Vorrichtung von den Wirkungen eines umsetzenden Werkstückpositioniermechanismus (X-Y-Stufe) getrennt ist und umgekehrt.
Hintergrund der Erfindung
Die Herstellung von elektronischen Schaltkreisen, wie z.B. gedruckten Leiterplatten und integrierten Schaltungen, beinhaltet üblicherweise das Untersuchen und das Testen jeder Schaltung in einer auf einem Substrat ausgebildeten Anordnung von Schaltungsmustern. Das Kalibrieren der Schaltungen kann das Prüfen und die Messung von elektrischen Eigenschaften der Schaltkreiskomponenten während eines Laser-Abgleich-Vorgangs umfassen, mit dem die elektrischen Eigenschaften der Schaltung eingestellt werden. Um korrekte Messergebnisse zu erhalten, müssen die Spitzen der Messköpfe einer Sondenkarte exakt mit den Kontaktpositionen oder Elektrodenanschlüssen der Schaltung ausgerichtet werden. Messkopfausrichtungssysteme verwenden mechanische Positioniergeräte, die die Position des Substrats, der Sondenkarte oder von beiden einstellen, um eine exakte Ausrichtung über der Anordnung aus Schaltungsmustern aufrechtzuerhalten.
1 zeigt ein Prüfsondierungssystem 10 nach dem Stand der Technik, bei dem ein Substrat 12 auf einer Einspanneinrichtung 16 einer Motor betriebenen Werkstückpositionierstufe 20 gehalten ist. Die Positionierstufe 20 umfasst eine Komponente zum linearen Positionieren, die X-Y-Stufe 22, die auf einer Platte 24 für eine Bewegung in einer horizontalen Ebene in den rechtwinkeligen Richtungen X und Y gehalten ist. Die Positionierstufe umfasst auch eine Drehpositionierkomponente, eine Theta (θ)-Stufe 26, die auf der X-Y-Stufe 22 zum Drehen der Einspanneinrichtung 16 um eine vertikale Z-Achse gehalten ist. Für eine Bezugnahme zeigt ein kartesisches Koordinatensystem 30 die Richtungen X, Z und θ an (die Y-Richtung ist senkrecht zur Zeichenebene und ist in 1 nicht dargestellt). Ein Sondenkartenschlitten 34 hält eine Sondenkarte 38 über der Positionierstufe 20, während ein maschinelles Bilderkennungssystem 42, das eine Kamera 44 aufweist, die Rotationsausrichtung (θ) und die transversale (X-Y) Ausrichtung des Substrats 12 steuert, um es mit den Sonden 48 der Sondenkarte 38 auszurichten. Der Sondenkartenschlitten 34 wird unter einer Motor betriebenen Z-Stufe 50 gehalten, die nach der Ausrichtung der Sondenkarte 38 betätigt wird, um die Sondenkarte 38 entlang der Z-Achse nach unten zu bewegen, um die Sonde 48 gegen das Substrat 12 zum Testen einer auf dem Substrat 12 gebildeten Schaltung zu drücken. Ein Z-Antriebsmechanismus 56, der auf einer stationären Sondenbasis 60 gehalten ist, stellt eine Antriebskraft für die Z-Stufe 50 zur Verfügung.
Weil eine Schaltung üblicherweise mehrfach in einem regulären Anordnungsmuster angeordnet auf einem einzigen Substrat vorkommt, werden viele bekannte Systeme von einem automatischen Positionierprogramm, das in einem Repetierverfahren arbeitet, gesteuert, das wiederholt das Substrat in der X-Y-Ebene zwischen aufeinander folgenden Kontaktierungsoperationen weiterpositioniert. Bei jedem Prüfvorgang werden die Spitzen der Messköpfe gegen die Elektrodenflächen der Schaltung gedrückt, bevor das elektrische Prüfen und/oder das Abgleichen der Schaltung durchgeführt wird. Nach dem Prüfen und/oder Abgleichen werden dann die Messköpfe von dem Substrat abgehoben, bevor das Substrat bewegt wird (Weiterschalten), um die Sonden mit der nächsten Schaltung oder der nächsten Prüfposition auf derselben Schaltung auszurichten.
Herkömmliche Ausrichtungsvorrichtungen ermöglichen, dass das Substrat exakt mit den X- und Y-Achsen ausgerichtet wird, indem eine θ-Stufe zwischen der X-Y-Stufe und dem Substrat angeordnet wird, wie in 1 gezeigt ist. Diese Konfiguration der θ- und der X-Y-Stufen vereinfacht das nachfolgende Weiterpositionieren des Substrats, was lediglich eine einfache translatorische X- oder Y-Bewegung für jeden Schritt benötigt, wie in dem Absatz betreffend den Stand der Technik der US-Patentschrift 4,266,191 von Spano et al. beschrieben wird. Bei zwei anderen Ausführungen, die in den US-Patenten mit den Nummern 4,677,474 von Sato et al. und 4,786,867 von Yamatsu beschrieben sind, wird eine zweite Drehpositionierstufe vorgesehen, um die Sondenkarte mit den X- und Y-Achsen der X-Y-Stufe auszurichten, was erlaubt, dass eine genauere Ausrichtung der Sonde/des Substrats über die gesamte Anordnung von Schaltungsmustern auf dem Substrat beibehalten wird. Weil jedoch diese Mechanismen gemäß dem Stand der Technik alle eine θ-Stufe aufweisen, die mit der X-Y-Stufe verbunden ist, erfordert jede Anpassung der θ-Stufe einen nachfolgenden Ausrichtungsausgleich der X-Y-Stufe, wie in Spano et al. in Spalte 4, Zeilen 16 bis 24 des '191-Patents dargelegt wird.
Weiterhin erhöht bei Systemen mit einer θ-Stufe, die auf der X-Y-Stufe aufgesetzt ist, die Masse der θ-Stufe die Trägheit der gesamten Werkstückpositionierstufe. Die hinzugefügte Trägheit verlangsamt die Bewegung in der X- und Y-Richtung und hebt den Massenschwerpunkt der Werkstückpositionierstufe an, wodurch die Positioniergeschwindigkeit und Genauigkeit beeinträchtigt wird.
Die θ-Stufe kann auch eine Quelle für einen Positionierfehler aufgrund einer Vibration und einer Gegenbewegungsreaktion sein, die durch den Mechanismus der θ-Stufe jedes Mal bewirkt werden, wenn die X-Y-Stufe betätigt wird. Insgesamt gesehen führt die Kopplung der θ-Stufe mit der Werkstückpositionierstufe bei herkömmlichen Messkopfausrichtungssystemen zu einer Verringerung des Systemdurchsatzes. Versuche, die Geschwindigkeit der X-Y-Stufe zu erhöhen, indem die Masse der θ-Stufe minimiert wird und indem die Höhe und/oder die Masse der Einspanneinrichtung reduziert werden, führen zu einem Erhöhen der Gegenbewegungsreaktion, einem Verringern der Steifheit, einem Opfern der Vibrationsfestigkeit und einem Erhöhen der Anfahrzeit der Werkstückpositionierstufe. Versuche, die Auflösung und Genauigkeit der θ-Stufe zu erhöhen, neigen auch zu einem Ansteigen der Masse und Höhe der Werkstückpositionierstufe. Folglich waren die Konstrukteure von Systemen nach dem Stand der Technik bisher gezwungen, den Systemdurchsatz zu beeinträchtigen, um die Positioniergenauigkeit zu verbessern und umgekehrt.
Der Erfinder der vorliegenden Erfindung hat einen Bedarf für eine verbesserte Messkopfausrichtungsvorrichtung erkannt, die einen erhöhten Prüfdurchsatz erleichtert und eine verbesserte Messkopfausrichtungsgenauigkeit erreicht.
Zusammenfassung der Erfindung
Eine Ausrichtungsvorrichtung ist angepasst, um eine Anzahl von Messköpfen oder anderen Werkzeugen mit einer Anzahl von Kontaktflächen auf einem Substrat, wie beispielsweise einer gedruckten Leiterplattentafel oder einem vollständig prozessierten Siliziumwafer, auszurichten. Das Substrat wird auf einer Einspanneinrichtung einer Werkstückpositionierstufe für die lineare Bewegung in einer X-Y-Ebene gehalten. Die Ausrichtungsvorrichtung erleichtert nach der Ausrichtung auch die Kopplung der Messköpfe mit den Kontaktflächen auf dem Substrat, indem die Messköpfe in einer Z-Richtung bewegt werden. Die Ausrichtungsvorrichtung umfasst eine Drehpositionierstufe, die von der Werkstückpositionierstufe entkoppelt ist, so dass sich die Einspanneinrichtung in der X-Y-Ebene bewegen kann, ohne dass die Drehpositionierstufe bewegt wird, wodurch Vibrationen in der Werkstückpositionierstufe unterdrückt und die Trägheit der Werkstückpositionierstufe vermieden wird, und so die Geschwindigkeit und Genauigkeit der Bewegungen der Einspanneinrichtung verbessert werden.
Die Drehpositionierstufe wird zum Drehen um eine Rotationsachse angetrieben, die im Wesentlichen senkrecht zur Bewegungsebene der Einspanneinrichtung verläuft. Die Drehpositionierstufe trägt vorzugsweise einen Schlitten, der ausgestaltet ist, um eine Anzahl von Sonden daran zu befestigen. Der Schlitten dreht sich zusammen mit der Drehpositionierstufe, wenn die Drehpositionierstufe gedreht wird, um dadurch die Anzahl von Sonden mit den Kontaktflächen auf dem Substrat auszurichten. Nach dem Ausrichten der Sonden wird die Sondierungs-Stufe für ein lineares Umsetzen des Schlittens relativ zur Drehpositionierstufe entlang der Drehachse der Drehpositionierstufe angetrieben, um dadurch die Sonden mit den Kontaktflächen auf dem Substrat zu koppeln.
Da die Drehpositionierstufe von der Werkstückpositionierstufe entkoppelt ist, unterliegt sie weniger Platz- und Gewichtsbeschränkungen als Systeme nach dem Stand der Technik. Somit kann sie größere und schwerere Mechanismen umfassen, die genauer als die θ-Stufen sind, die bei den Werkstückpositionierstufen der Prüfsysteme nach dem Stand der Technik verwendet werden.
Zusätzliche Aspekte und Vorteile der Erfindung werden aus der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen offensichtlich sein, die sich unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen fortsetzt.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine schematische Vorderansicht eines Prüfsondierungssystems nach dem Stand der Technik;
2 ist eine schematische Vorderansicht eines Prüfsondierungssystems mit einer Messkopfausrichtungsvorrichtung gemäß einer vereinfachten ersten Ausführungsform;
3 zeigt eine perspektivische Draufsicht, die eine Messkopfausrichtungsvonichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform zeigt, wobei die Z-Antriebsriemen der Ausrichtungsvorrichtung für eine bessere Übersichtlichkeit weggelassen wurden;
4 zeigt eine perspektivische Ansicht der Unterseite der Messkopfausrichtungsvorrichtung von 3;
5 zeigt eine perspektivische Ansicht von rechts oben auf eine dritte Ausführungsform der Messkopfausrichtungsvomchtung, wobei ein Sondenkartenhalter der Sondenausrichtungsvonichtung weggelassen wurde;
6 ist eine perspektivische Ansicht von links oben auf die Messkopfausrichtungsvorrichtung von 5;
7 zeigt eine ebene Draufsicht der Messkopfausrichtungsvorrichtung von 5;
8 zeigt eine Ansicht der rechten Seite der Messkopfausrichtungsvorrichtung von 5;
9 zeigt eine Vorderansicht der Messkopfausrichtungsvorrichtung von 5;
10 zeigt eine Explosionsdarstellung einer Messkopfausrichtungsvorrichtung von 5, wobei eine linke vordere Z-Gewindespindel der Ausrichtungsvorrichtung weggelassen ist, um die θ-Stufe der Ausrichtungsvorrichtung zu zeigen; und
11 zeigt eine vergrößerte Draufsicht auf einen Ausschnitt der Messkopfausrichtungsvorrichtung von 5, die Details eines Antriebsmechanismus der θ-Stufe zeigt.
In den Figuren beziehen sich gleiche Bezugsnummern auf gleiche oder ähnliche Teile oder Merkmale.
Ausführliche Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen
Für die gesamte Beschreibung gilt, dass ein Bezug auf „die eine Ausführungsform" oder „eine Ausführungsform" oder „einige Ausführungsformen" bedeutet, dass ein bestimmtes beschriebenes Merkmal, eine bestimmte beschriebene Struktur oder eine bestimmte beschriebene Eigenschaft in mindestens einer Ausführungsform enthalten ist. Somit bezieht sich das Vorkommen der Begrifflichkeiten „in der einen Ausführungsform" oder „in einer Ausführungsform" oder „in einigen Ausführungsformen" an verschiedenen Stellen der Beschreibung nicht notwendigerweise alle auf dieselbe Ausführungsform oder dieselben Ausführungsformen.
Weiterhin können die beschriebenen Merkmale, Strukturen oder Eigenschaften in einer geeigneten Weise in einer oder mehreren Ausführungsformen kombiniert werden. Die Fachleute werden erkennen, dass die Erfindung ohne ein oder mehrere der bestimmten Details mit anderen Verfahren, Komponenten, Materialien usw. ausgeführt werden kann. In anderen Fällen sind wohlbekannte Strukturen, Materialien oder Vorgänge nicht gezeigt oder nicht ausführlich beschrieben, um zu vermeiden, dass die Aspekte der Ausführungsformen unklar werden.
2 zeigt eine schematische Vorderansicht eines Prüfsondierungssystems 100, das eine Messkopfausrichtungsvomchtung 108 gemäß einer vereinfachten ersten bevorzugten Ausführungsform umfasst. Mit Bezug auf 2 umfasst das Prüfsondierungssystem 100 eine Werkstückpositionierstufe 110, die im Wesentlichen aus einer X-Y-Stufe 114 besteht, die eine Einspanneinrichtung 116 trägt, die eine Oberfläche 118 aufweist. Die X-Y-Stufe 114 bewegt sich abhängig von dem Betätigen eines X-Y-Antriebsmechanismus 130 der X-Y-Stufe 114 über eine stationäre horizontale Platte 124 in einer X- und Y-Richtung, die rechtwinklig zueinander angeordnet sind und in einer im wesentlichen horizontalen Ebene liegen (wobei die X-Richtung durch einen Pfeil 126 und das kartesische Bezugskoordinatensystem 128 angegeben ist; wobei die Y-Richtung senkrecht zur Zeichenebene verläuft und daher nicht in dem Bezugskoordinatensystem 128 dargestellt ist). Die X-Y-Stufe 114 kann in einer gestapelten Anordnung ausgeführt sein, wobei die X-Stufe auf der Y-Stufe angeordnet ist oder umgekehrt; die X-Y-Stufe umfasst jedoch vorzugsweise einen X-Y-Doppelachsen-Schrittmotor für eine einzige Ebene mit einer Luftlagerung. Bei einer alternativen Ausführungsform (nicht gezeigt) kann der X-Y-Tisch 114 nicht-rechtwinklige Antriebseinheiten umfassen, solange sie keine Drehung der Einspanneinrichtung 116 bewirken. Die Platte 124 kann z.B. fest auf einem Rahmen 132 des Prüfsondierungssystems 100 befestigt sein.
Die obere Oberfläche 118 der Einspanneinrichtung 116 ist so dimensioniert, dass sie zu einem Substrat 134 passt, auf dem eine oder mehrere Schaltungen ausgebildet sind. Bevorzugte Ausführungsformen werden in Verbindung mit dem Prüfen und/oder Abgleichen von Schaltungen auf Substraten, wie z.B. gedruckte Leiterplatten (PCBs), einschließlich PCB-Tafeln, die eine Anordnung von gedruckten Leiterplatten (nicht gezeigt) tragen, verwendet. Bei PCBs und PCB-Tafeln könnte die Einspanneinrichtung 116 zum Beispiel bis zu 26 Inch breit und 30 Inch lang sein und eine Masse bis zu 7,7 kg (17 Pfund) aufweisen. Ausführungsformen können auch herabskaliert werden, um zum Prüfen von kleineren Substraten, wie miniaturisierten integrierten Schaltungen und Wafern mit einer Anordnung von darauf ausgebildeten integrierten Schaltungsblöcken, verwendet zu werden, wobei die Einspanneinrichtung 116 und die X-Y-Stufe 114 in diesem Fall viel kleiner dimensioniert werden würden als beim Prüfen von PCBs.
Eine Sondenstufe 140 umfasst eine stationäre Basisplatte 144, die fest mit dem Rahmen 132 des Prüfsondierungssystems 100 oder mit einer anderen festen stationären Halteeinrichtung verbunden ist. Eine θ-Stufe 148 ist auf der Basisplatte 144 befestigt und umfasst einen Sockel 150, der durch einen θ-Antriebsmechanismus 154 der θ-Stufe 148 zum Drehen um eine Rotationsachse 156 senkrecht zur X-Y-Ebene angetrieben wird, in der sich die Einspanneinrichtung 116 bewegt. Eine umsetzende Z-Stufe 160 wird auf dem Sockel 150 gehalten und bewegt sich mit dem Sockel 150 abhängig von dem Betätigen des θ-Antriebsmechanismus 154. Ein Schlitten 164 hängt von der Z-Stufe 160 unter den Sockel 150 und ist ausgestaltet, um eine Sondenkarte 166 mit einer Anzahl von Messköpfen 167 zu befestigen. Die Sondenkarte 166 ist so befestigt, dass die Sonden 167 der Einspanneinrichtung 116 gegenüberliegen. Der Schlitten 164 dreht sich gemeinsam mit der Z-Stufe 160, wenn die θ-Stufe 148 gedreht wird, um die Anzahl von Sonden 167 mit den Kontaktflächen (nicht gezeigt) auf dem Substrat 134 auszurichten. Die Z-Stufe 160 erstreckt sich vorzugsweise über eine Oberseite 168 des Sockels 150 hinaus, wobei die Z-Stufe 160 mit einem Z-Antriebsmechanismus 172 verbunden ist, der die Z-Stufe 160 und den Schlitten 164 für ein lineares Umsetzen entlang der Z-Achse relativ zur θ-Stufe 148 antreibt. Das Antreiben der Z-Stufe 160 und des Schlittens 164 entlang der Z-Achse bewirkt, dass die Spitzen der Messköpfe 167 gegen die Kontaktflächen des Substrats 134 zu Zwecken des elektrische Prüfens, des Laserabgleichens oder irgendeines anderen Prozesses, der ein Sondieren erfordert, gedrückt werden.
Bei einer alternativen Ausführungsform (nicht gezeigt) können die Z-Stufe 160 und/oder der Z-Antriebsmechanismus 172 so angeordnet sein, dass die Z-Stufe 160 oder der Z-Antriebsmechanismus 172 oder beide nicht gemeinsam mit der θ-Stufe 148 und dem Schlitten 164 gedreht werden. Das Entkoppeln der Z-Stufe 160 oder des Z-Antriebsmechanismus von der θ-Stufe 148 würde eine besondere Dreh- oder Gleitlagerkopplung erfordern, um dem Schlitten 164 zu erlauben, sich unabhängig von der Z-Stufe zu drehen, während der Z-Stufe erlaubt ist, den Schlitten 164 entlang der Z-Achse exakt zu bewegen.
Das Ausrichten der Anzahl von Sonden 167 mit den Kontaktflächen des Substrats 134 wird bei der bevorzugten Ausführungsform mit Hilfe eines Positionssensors 180, wie beispielsweise einer digitalen Videokamera 182, der mit einem maschinellen Bilderkennungssystem (nicht gezeigt) und mit einer Bewegungssteuereinheit 186 gekoppelt ist, durchgeführt. Die Bewegungssteuereinheit 186 umfasst eine Steuerungssoftware, die in einem computerlesbaren Datenspeichermedium gespeichert ist, wie einem Computerspeicher (nicht gezeigt) der Bewegungssteuereinheit 186 oder einer entfernt angeordneten Datenspeichereinheit, auf die durch die Bewegungssteuereinheit 186 zugegriffen werden kann. Ein computerlesbares Datenspeichermedium, auf das durch die Bewegungssteuereinheit 186 zugegriffen werden kann, ist auch so ausgestaltet, dass Bewegungsvektordaten, die vorprogrammierte Bewegungen der X-Y-Stufe 114, der θ-Stufe 148 und/oder der Z-Stufe 160 darstellen, gespeichert werden. Ein Repetier-Indexierungsplan ist in dem Datenspeichermedium gespeichert, um das Substrat 134 zu positionieren, um mehrere Gruppen von Schaltungen oder Blöcken auf dem Substrat 134 zu testen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform verwendet die Bewegungssteuereinheit 186 die Positionsinformation, die durch den Sensor 180 erfasst wird, um die Ausrichtung der θ-Stufe 148 und der X-Y-Stufe 114 vor oder während des Ausführens der vorprogrammierten Bewegungen abzustimmen.
Unter Bezugnahme nun auf die 3 und 4 sind perspektivische Ansichten der Ober- und Unterseite einer Messkopfausrichtungsvorrichtung 200 gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform gezeigt. In der 3 sind eine X-Y-Stufe und ein Detail der Sondenkarten und Sonden weggelassen, die wohlbekannte Komponenten des Stands der Technik darstellen. Die Art des Verwendens der X-Y-Stufe und der Sondenkarten in Verbindung mit der Messkopfausrichtungsvorrichtung 200 ist offensichtlich und jedem Fachmann verständlich. Die Ausrichtungsvorrichtung 200 umfasst eine stationäre Basisplatte 204, die an einem Rahmen (nicht gezeigt) über der X-Y-Stufe (nicht gezeigt) befestigt ist. Eine θ-Stufe 210 umfasst ein Ringlager 214 mit einem Paar von gegenüberliegenden Laufringen (nicht gezeigt), wobei ein erster (festgesetzter) Laufring fest mit der Basisplatte 204 verbunden ist. Ein Sockel 218 ist mit einem zweiten (beweglichen) Laufring verbunden, so dass er sich relativ zur Basisplatte 204 um die Z-Achse drehen kann (siehe das Bezugskoordinatensystem 222).
Ein θ-Antriebsmechanismus 230 umfasst einen θ-Antriebsservo 232, der eine lineare Führung 234 eines Zugbandmechanismus 236 betätigt, der mit dem Sockel 218 verbunden ist. Der Zugbandmechanismus 236 stellt eine hoch zuverlässige und sehr genaue Steuerung für die Drehbewegung der θ-Stufe 210 bereit, während eine Gegenbewegungsreaktion verhindert wird. Das Betätigen der linearen Führung 234 bewirkt, dass sich die θ-Stufe 210 z.B. bis zu 7° des Gesamthubes und mit einer Auflösung von 0,0002° dreht. Der Zugbandmechanismus 236, der nachfolgend mit Bezug auf 11 beschrieben wird, ist ein größerer Mechanismus als er in Sondensystemen des Stands der Technik eingesetzt werden kann, in denen die θ-Stufe mit der X-Y-Stufe gekoppelt ist. Weil jedoch die θ-Stufe 210 auf einer stationären Basis 204 befestigt ist und eine nicht beschränkte Bauhöhe aufweist, kann die Ausrichtungsvorrichtung 200 größere Antriebsmechanismen aufnehmen, wie z.B. den Zugbandmechanismus 236. Die Fachleute werden anerkennen, dass andere Arten von Drehantriebsmechanismen (nicht gezeigt) anstelle des Zugbandmechanismus 236 verwendet werden können.
Die Messkopfausrichtungsvorrichtung umfasst auch eine Z-Stufe 250 mit einem Z-Schrittmotor 254, der mit Z-Riemenrollen 258 an jeder von vier Z-Gewindespindeln 260a, 260b, 260c und 260d über eine Anzahl von Zahnriemen (zur besseren Klarheit weggelassen) verbunden ist. Nicht drehbare Verstellschraubenspindeln 264 der Z-Gewindespindeln 260a–d sind in die Z-Riemenrollen 258 eingeschraubt und erstrecken sich nach unten von den Z-Riemenrollen 258 durch den Sockel 218, so dass sie in der Z-Richtung abhängig von der Bewegung des Z-Schrittmotors 254 ausgefahren werden. Ein Schlitten 270 ist fest mit den Enden der Verstellschraubenspindeln 264 verbunden, um sich mit ihnen zu bewegen. Ein Sondenkartenhalter 274 ist mit dem Schlitten 270 verbunden und umfasst ein Paar von gegenüberliegenden Kartenschlitzschienen 278a und 278b, die gemeinsam so gestaltet sind, um eine Sondenkarte (nicht gezeigt) aufzunehmen und sicher zu halten. Die Fachleute werden anerkennen, dass andere Arten von Antriebsmechanismen (nicht gezeigt) anstelle des Z-Schrittmotors 254, der Z-Riemenrollen 258 und der Z-Gewindespindeln 260a–d für das Versetzen des Schlittens 270 in der Z-Richtung verwendet werden können.
Andere Konfigurationen der θ-Stufe 210 und der Z-Stufe 250 können als im Umfang der vorliegenden Erfindung enthalten betrachtet werden. Z.B. könnte in einer alternativen Ausführungsform (nicht gezeigt) eine Z-Stufe direkt mit dem Sockel 218 verbunden sein und eine leichte θ-Stufe könnte an einem Arbeitsende der Z-Stufe befestigt sein.
Die 5 und 6 zeigen eine perspektivische Ansicht von oben rechts bzw. oben links einer dritten Ausführungsform der Messkopfausrichtungsvomchtung 300, wobei ein Sondenkartenhalter der Messkopfausrichtungsvorrichtung für eine bessere Deutlichkeit weggelassen wurde. 7 ist eine Draufsicht auf eine Messkopfausrichtungsvorrichtung 300. Die 8 und 9 zeigen eine rechtsseitige bzw. vorderseitige Ansicht der Messkopfausrichtungsvorrichtung 300. 10 zeigt eine Explosionsdarstellung der Messkopfausrichtungsvorrichtung 300, wobei eine linksseitige Z-Gewindespindel 360a der Ausrichtungsvorrichtung weggelassen wurde, um einen Sockel 318 der θ-Stufe der Ausrichtungsvorrichtung im Detail zu zeigen. Viele der Komponenten dieser dritten Ausführungsform der Messkopfausrichtungsvomchtung 300 sind in der Funktion identisch und sind in ähnlicher Weise gestaltet, wie die entsprechenden Komponenten der zweiten Ausführungsform der Messkopfausrichtungsvorrichtung 200. Folglich sind in den 5 bis 10 viele Elemente mit Bezugszeichen, die dieselben zwei letzten Ziffern aufweisen, und mit den Bezugszeichen der 3 und 4 für entsprechende Komponenten gezeigt.
Diese Elemente sind nachfolgend namentlich für eine Bezugnahme aufgeführt.
Nachfolgend werden Komponenten der Messkopfausrichtungsvorrichtung 300 gemäß der dritten Ausführungsform beschrieben, die von denen der Vorrichtung 200 der zweiten Ausführungsform unterschiedlich sind oder die nicht in den 3 und 4 erscheinen. Unter Bezugnahme auf die 5 bis 10 sind die Z-Riemenrollen 358 und der Z-Schrittmotor 354 mit einer Anzahl von vier Z-Antriebsriemen 380 versehen, um die Z-Gewindespindeln 360a–d abhängig von der Betätigung des Z-Schrittmotors 254 anzutreiben. Die Z-Antriebsriemen 380 sind vorzugsweise Endloszahnriemen, könnten jedoch auch mit anderen Arten von Kopplungseinrichtungen realisiert werden. Mehrere Spannrollen 384 sind vorgesehen, um die Spannung der Z-Antriebsriemen 380 aufrechtzuerhalten. Um die Genauigkeit der Bewegung in der Z-Richtung zu verbessern, sind die Z-Schrauben 360a bis d vorzugsweise Kugelumlaufspindel. Eine Anzahl von Staubschutzabdeckungen 386 ist vorgesehen, um die Schraubenabschnitte (nicht gezeigt) der Z-Gewindespindeln 360a–d zu schützen. Weiterhin ist ein Paar anpassbarer Anti-Gegenbewegungreaktions-Federn 388 vorgesehen, um den Schlitten 370 entlang der Z-Achse vorzuspannen, um ein axiales Spiel in den Kugelumlaufspindeln zu beseitigen. Die Federn 388 sind mit einem Ende mit dem Schlitten 370 und mit ihrem anderen Ende mit einem Paar von Federhaltern 390 verbunden, die auf dem Sockel 318 befestigt sind. Die Federn 388 sind vorzugsweise vorgespannt, um den Schlitten 370 gegen den Sockel 318 zu ziehen. Die Federhalter 390 erleichtern den Aufbau und die Anpassung einer Federvorlast der Federn 388.
11 ist eine vergrößerte Draufsicht auf einen Ausschnitt der Messkopfausrichtungsvorrichtung 300, die Details des θ-Antriebsmechanismus 330 zeigt. Mit Bezug auf 11 umfasst der Zugbandmechanismus 336 ein Paar gekreuzt geführter flexibler Bänder 410 und 412, die in ihren Längsrichtungen stark unelastisch sind. Jedes der Bänder 410 und 412 erstreckt sich zwischen der linearen Führung 334 und den jeweiligen Anpassungsklammern 418 und 420 und sind mit ihrem einen Ende an der linearen Führung 334 und mit ihrem anderen Ende an der jeweiligen Anpassungsklammer 418 bzw. 420 befestigt (siehe auch 9). Über den Bewegungsbereich des θ-Antriebsmechanismus 330 bleiben die Bänder 410 und 412 in Kontakt mit einer gebogenen Fläche des Zugbandblocks 430, an dem die Anpassungsklammern 418 und 420 befestigt sind. Ein Nullpositionsschalter 440 ist vorgesehen, um eine Nullposition des Zugbandmechanismus 336 erneut einzustellen.
Um das Prüfen einer Anordnung von Schaltungen, die in einem vorbestimmten Anordnungsmuster auf dem Substrat angeordnet sind, wie beispielsweise einem rechtwinkligen oder linearen Anordnungsmuster, zu optimieren, kann die Messkopfausrichtungsvorrichtung einen Speicher aufweisen, der ausgestaltet ist, um einen Indexplan zu speichern, der dem Anordnungsmuster der Schaltungen entspricht. Der Indexplan umfasst eine Anzahl von Bewegungsvektoren, die die räumlichen Verschiebungen zwischen Schaltungspaaren in dem Anordnungsmuster definieren und in dem Speicher für ein bekanntes Anordnungsmuster vorprogrammiert oder gelernt sein können oder auf andere Weise bei Bedarf dem System eingegeben werden können. Ein Positionssensor, wie ein maschinelles Bilderkennungssystem und eine Kamera 182 (2) sind vorgesehen, um einen Winkelversatz des Anordnungsmusters relativ zu den rechtwinkligen Achsen der Einspanneinrichtung innerhalb der Bewegungsebene der Einspanneinrichtung zu messen. Bezugsmarkierungen auf dem Substrat, die üblicherweise in dem gleichen Lithographieverfahren wie das Anordnungsmuster hergestellt werden, erleichtern die genaue optische Messung durch den Positionssensor. Der Positionssensor kann auch den translatorischen Versatz des Anordnungsmusters relativ zu den rechtwinkligen Achsen messen. Um den Winkelversatz zu kompensieren, führt die Bewegungssteuereinheit 186 in Verbindung mit dem Speicher und dem Sensor eine Koordinatentransformation mit den Bewegungsvektoren abhängig von dem durch das System gemessenen Winkelversatz durch.
Wie in dem Abschnitt „Hintergrund der Erfindung" zuvor beschrieben wurde, weisen Systeme nach dem Stand der Technik eine θ-Stufe auf, die mit der X-Y-Stufe verbunden ist, so dass jede Anpassung der θ-Stufe eine nachfolgende Ausrichtungskompensation der X-Y-Stufe erfordert. Sondenausrichtungsvorrichtungen gemäß den verschiedenen, hierin beschriebenen Ausführungsformen beseitigen die Notwendigkeit, die Schritte des Messens des Versatzes und des Anpassens der Position des Substrats zweimal durchführen zu müssen (einmal für die Anpassung der winkeligen Position und einmal für die Anpassung der translatorischen Position). Somit vermeidet die Erfindung das zweistufige Ausrichtungsverfahren des Stands der Technik, indem der Winkelversatz und/oder der Positionsversatz des Substrats, der durch den Sensor gemessen wird, verwendet wird, um mit Hilfe von Software (mittels Koordinatentransformationen), den Versatz zwischen dem Anordnungsmuster und den Bewegungsachsen der Einspanneinrichtung zu kompensieren. Zusätzlich reduziert das Entfernen der θ-Stufe von der Werkstückpositionierstufe gemäß den bevorzugten Ausführungsformen die Masse der Werkstückpositionierstufe, vermindert die Vibration und erniedrigt ihren Schwerpunkt, wodurch eine erhöhte Geschwindigkeit, eine erhöhte Beschleunigung, eine verringerte Ausregelzeit und eine verbesserte Positionierungsgenauigkeit erreicht wird, so dass man einen verbesserten Durchsatz und eine verbesserte Ausbeute erreicht.
Es wird für die Fachleute offensichtlich, dass viele Änderungen an den Details der oben beschriebenen Ausführungsformen vorgenommen werden können, ohne von den zugrunde liegenden Prinzipien der Erfindung abzuweichen. Zum Beispiel kann bei einigen Schaltungsherstellungsverfahren eine Ausrichtungsvorrichtung in Verbindung mit mechanischen und lasergestützten Bohrverfahren verwendet werden. Diese Ausrichtungsvorrichtungen werden ähnlich wie Messkopfausrichtungssysteme betrieben und unterliegen ähnlichen Problemen. Folglich ist die vorliegende Erfindung gleichermaßen nützlich für die Verwendung mit Werkzeugen, wie z.B. Bohreinrichtungen. Weiterhin sollten die Fachleute anerkennen, dass die Orientierungen von X, Y, Z und θ in der bevorzugten Konfiguration gezeigt sind, und dass die Erfindung in vielen anderen Konfigurationen implementiert werden könnte, z.B. wo sich die Einspanneinrichtung in einer vertikalen Ebene bewegt und sich die Sonden entlang einer horizontalen Achse in Richtung der Einspanneinrichtung bewegen. Der Umfang der vorliegenden Erfindung sollte daher nur durch die nachfolgenden Ansprüche bestimmt sein.
Zusammenfassung
Eine Messausrichtungsvorrichtung umfasst eine Drehpositionier-θ-Stufe, die von einer Werkstückpositionierstufe so entkoppelt ist, so dass die Werkstückpositionierstufe ein Werkstück in der X-Y-Ebene bewegen kann, ohne dass die θ-Stufe bewegt wird, wodurch eine Vibration in und die Trägheit der Werkstückpositionierstufe gehemmt, und die Geschwindigkeit und Genauigkeit von Werkstückbewegungen erhöht wird. Die θ-Stufe wird zur Drehung um eine zur X-Y-Ebene im Wesentlichen senkrechten Achse angetrieben. Die Drehpositionierstufe trägt einen Schlitten, der ausgestaltet ist, um eine Testkarte zu halten. Der Schlitten rotiert gemeinsam mit der θ-Stufe, um dadurch die Testkarte relativ zum Werkstück zu drehen. Eine Z-Stufe wirkt mit dem Schlitten zusammen, um den Schlitten entlang der Rotationsachse relativ zum Werkstück zu bewegen. Ein Computerprozessor führt Koordinatentransformationen mit vorprogrammierten Bewegungsvektoren durch, um den von einem Positionssensor gemessenen Winkelversatz des Werkstücks anzupassen.

Claims

Messkopfausrichtungsvorrichtung zum Ausrichten einer Anzahl von Messköpfen mit Kontaktflächen auf einem Substrat, wobei das Substrat auf einer Einspanneinrichtung nahe der Messkopfausrichtungsvorrichtung gehalten wird und für eine Bewegung in einer Ebene angetrieben wird, umfassend: eine Drehpositionierstufe mit einer Rotationsachse, die im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsebene der Einspanneinrichtung verläuft, wobei die Drehpositionierstufe von der Einspanneinrichtung so entkoppelt ist, dass sich die Einspanneinrichtung in der Ebene bewegen kann, ohne dass die Drehpositionierstufe mitbewegt wird; einen Schlitten, der auf der Drehpositionierstufe gehalten ist, um sich mit dieser zu drehen, wobei der Schlitten so gestaltet ist, dass er die Anzahl von Messköpfen trägt; und eine Linearpositionierstufe, die mit dem Schlitten funktionsfähig verbunden ist und für eine linearen Umsetzung des Schlittens relativ zur Drehpositionierstufe entlang der Rotationsachse der Drehpositionierstufe angetrieben ist, um dadurch die Messköpfe in Kontakt mit den Kontaktflächen zu bewegen, wobei die Rotation der Drehpositionierstufe bewirkt, dass sich die Anzahl von Messköpfen um die Rotationsachse dreht, um die Messköpfe mit den Kontaktflächen auszurichten, bevor die Messköpfe mit den Kontaktflächen in Kontakt gebracht werden.
Messkopfausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Einspanneinrichtung entlang zweier rechtwinkliger Achsen in der Ebene beweglich ist und wobei das Substrat eine Anordnung von Schaltungen umfasst, die in einem vorbestimmten Anordnungsmuster angeordnet sind, wobei jede Schaltung eine Anzahl von Kontaktflächen aufweist, wobei das Anordnungsmuster einen Winkelversatz relativ zu den rechtwinkligen Achsen aufweist, und weiterhin umfasst: ein computerlesbares Datenspeichermedium, das ausgestaltet ist, um einen Indexplan entsprechend dem Anordnungsmuster zu speichern, wobei der Indexplan eine Anzahl von Bewegungsvektoren enthält, die räumliche Verschiebungen zwischen den Anzahlen von Kontaktflächen eines oder mehrerer Paare der Schaltungen der Anordnung darstellen; einen Positionssensor zum Messen des Winkelversatzes des Anordnungsmusters; und eine Bewegungssteuereinheit, die mit dem Datenspeichermedium und dem Sensor in Verbindung steht, wobei die Bewegungssteuereinheit einen Computerprozessor umfasst, der Koordinatentransformationen mit den Bewegungsvektoren abhängig von dem Winkelversatz des von dem Positionssensor gemessenen Anordnungsmusters durchführt.
Messkopfausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Positionssensor eine Kamera umfasst.
Messkopfausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei das computerlesbare Datenspeichermedium einen Speicher umfasst.
Messkopfausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, die weiterhin eine Werkstückpositionierstufe umfasst, die die Einspanneinrichtung hält und für eine Bewegung in der Ebene angetrieben ist.
Messkopfausrichtungsvomchtung nach Anspruch 1, wobei die Drehpositionierstufe ein Lauflager aufweist.
Messkopfausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, weiter umfassend einen Zugbandmechanismus, der funktionsfähig mit der Drehpositionierstufe gekoppelt ist, um die Drehpositionierstufe rotierend anzutreiben.
Messkopfausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Linearpositionierstufe auf der Drehpositionierstufe für eine Bewegung damit gehalten ist.
Messkopfausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, die weiterhin eine Anti-Gegenbewegungsreaktions-Feder umfasst, die den Schlitten und die Drehpositionierstufe betriebsfähig verbindet, um den Schlitten bezüglich der Drehpositionierstufe vorzuspannen.
Sondenausrichtungsvorrichtung zum Ausrichten einer Anzahl von Sonden mit Kontaktflächen auf einem Substrat, wobei das Substrat auf einer unabhängig beweglichen X-Y-Stufe gehalten ist, die von der Sondenausrichtungsvorrichtung getrennt und für eine Bewegung in einer Ebene angetrieben ist, umfassend: eine θ-Stufe mit einer Rotationsachse, die im wesentlichen rechtwinklig zur Ebene der Bewegung der X-Y-Stufe verläuft, wobei die θ-Stufe von der X-Y-Stufe entkoppelt ist, so dass die Bewegung der X-Y-Stufe die θ-Stufe nicht bewegt und die Bewegung der θ-Stufe die X-Y-Stufe nicht bewegt; einen Schlitten, der mit der θ-Stufe damit rotierbar gekoppelt ist, wobei der Schlitten so gestaltet ist, dass er die Anzahl von Sonden hält; und eine Z-Stufe, die mit dem Schlitten betriebsfähig gekoppelt ist, um den Schlitten linear relativ zur θ-Stufe entlang der Rotationsachse der θ-Stufe anzutreiben, um dadurch die Sonden in Kontakt mit den Kontaktflächen zu bewegen, wobei die Drehung der θ-Stufe die Anzahl von Sonden um die Rotationsachse rotieren lässt, um die Sonden mit den Kontaktflächen auszurichten, bevor die Sonden in Kontakt mit den Kontaktflächen bewegt werden.
Sondenkopfausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 10, wobei die X-Y-Positionierstufe entlang zweier rechtwinkliger Achsen in der Ebene beweglich ist und eingeschränkt ist, um eine Drehbewegung zu verhindern, und wobei das Substrat eine Anordnung von Schaltungen aufweist, die in einem vorbestimmten Anordnungsmuster angeordnet sind, wobei jede Schaltung eine Anzahl von Kontaktflächen umfasst, wobei das Anordnungsmuster einen Winkelversatz relativ zu den rechtwinkligen Achsen aufweist und weiterhin umfasst: ein computerlesbares Datenspeichermedium, das ausgestaltet ist, um einen Indexplan entsprechend dem Anordnungsmuster zu speichern, wobei der Indexplan eine Anzahl von Bewegungsdektoren enthält, die räumliche Verschiebungen zwischen den Anzahlen von Kontaktflächen eines oder mehrerer Paare der Schaltungen der Anordnung darstellen; einen Positionssensor zum Messen des Winkelversatzes des Anordnungsmusters; einen Computerprozessor, der mit dem Datenspeichermedium und dem Sensor in Verbindung steht, wobei der Computerprozessor geeignet ist, um Koordinatentransformationen mit den Bewegungsvektoren abhängig von dem Winkelversatz des von dem Positionssensor gemessenen Anordnungsmusters durchzuführen; und eine Bewegungssteuereinheit, die mit dem Computerprozessor in Verbindung steht, um die Bewegung der X-Y-Stufe abhängig von den transformierten Bewegungsvektoren zu steuern.
Sondenausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 11, wobei der Positionssensor eine Kamera umfasst.
Sondenausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 10, die weiterhin eine Werkstückpositionierstufe umfasst, die die Einspanneinrichtung hält und für eine Bewegung in der Ebene unabhängig von der Drehbewegung der θ-Stufe angetrieben ist.
Sondenausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 10, wobei die θ-Stufe ein Lauflager umfasst.
Sondenausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 10, die weiterhin einen Zugbandmechanismus umfasst, der zum Rotieren der θ-Stufe betriebsfähig mit der θ-Stufe gekoppelt ist.
Sondenausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 10, wobei die Linearpositionierstufe auf der θ-Stufe für eine Bewegung damit gehalten ist.
Sondenausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 10, das weiterhin eine Einrichtung zum Vorspannen des Schlittens bezüglich der θ-Stufe umfasst, um die Wirkungen der Gegenbewegungsreaktion in der Z-Stufe zu verringern.
Ausrichtungsvorrichtung umfassend: eine Werkstückpositionierstufe mit einer Einspanneinrichtung, um darauf ein Substrat zu halten, wobei die Werkstückpositionierstufe für eine Bewegung in einer Ebene anpassbar ist und eingeschränkt ist, um eine Drehbewegung der Einspanneinrichtung zu verhindern; eine Drehpositionierstufe, die von der Werkstückpositionierstufe getrennt ist und eine Rotationsachse aufweist, die im wesentlichen senkrecht zur Bewegungsebene der Werkstückpositionierstufe ist, wobei sowohl die Drehpositionierstufe als auch die Werkstückpositionierstufe unabhängig anpassbar ist, ohne die jeweils andere Stufe zu bewegen; ein Werkzeug, das auf der Drehpositionierstufe zur Rotation damit gehalten ist; und eine Linearpositionierstufe, die mit dem Werkzeug betriebsfähig gekoppelt und für eine lineare Umsetzung des Werkzeuges relativ zu der Drehpositionierstufe entlang der Rotationsachse der Drehpositionierstufe angetrieben ist, wobei die Drehung der Drehpositionierstufe das Werkzeug um die Rotationsachse rotieren lässt, um das Werkzeug mit dem Substrat auszurichten.
Ausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 18, wobei die Einspanneinrichtung entlang zweier rechtwinkliger Achsen in der Ebene bewegbar ist und wobei das Substrat eine Anordnung von Schaltungen umfasst, die in einem vorbestimmten Anordnungsmuster angeordnet sind, wobei das Anordnungsmuster einen Winkelversatz relativ zu den rechtwinkligen Achsen aufweist, und weiterhin umfasst: ein computerlesbares Datenspeichermedium, das ausgestaltet ist, um einen Indexplan entsprechend dem Anordnungsmuster zu speichern, wobei der Indexplan eine Anzahl von Bewegungsvektoren enthält, die die räumlichen Verschiebungen zwischen den Anzahlen der Kontaktflächen eines oder mehrerer Paare der Schaltungen der Anordnung darstellen; einen Positionssensor zum Messen des Winkelversatzes des Anordnungsmusters; und einen Computerprozessor, der mit dem Datenspeichermedium und dem Positionssensor in Verbindung steht, wobei der Computerprozessor geeignet ist, um Koordinatentransformationen mit den Bewegungsvektoren abhängig von dem Winkelversatz des durch den Positionssensor gemessenen Anordnungsmusters durchzuführen.
Ausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 18, wobei die Drehpositionierstufe ein Lauflager umfasst.
Ausrichtungsvorrichtung nach Anspruch 16, wobei die Linearpositionierstufe auf der Drehpositionierstufe für eine Bewegung damit gehalten ist.