KR101223584B1 - 프로브 카드의 정렬 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명이 해결하려는 과제는 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치에 따라 프로브 카드를 자동으로 미세하게 정렬시키기 위한 프로브 카드 정렬 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치는, 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치를 검출하는 검출모듈; 상기 검출모듈에서 검출한 필름형 칩의 위치에 따라 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 송출하는 제어모듈; 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 X축 방향으로 이동시키는 제1이동모듈; 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 Y축 방향으로 이동시키는 제2이동모듈; 및 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 회전시키는 제3이동모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치에 따라 제1이동모듈, 제2이동모듈, 제3이동모듈이 프로브 카드를 자동으로 정렬함으로써, 측정자가 수동으로 정렬하는 것에 비하여 신속 정확하게 프로브 카드를 정렬할 수 있는 장점이 있다.

Description

프로브 카드의 정렬 장치{ALIGNMENT APPARATUS OF PROBE CARD}
본 발명은 프로브 카드의 정렬 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 점점 미세화된 패드 피치(PAD Pitch)를 가진 필름형 칩의 패드위치를 검출하고 검출한 위치에 따라 프로브 카드를 자동으로 정렬시키기 위한 프로브 카드 정렬 장치에 관한 것이다.
프로브 카드(Probe card)는 반도체의 패키징 전 단계에서 반도체 소자의 동작을 검사하는 것이나, 본 기술에서는 필름형 칩(필름형태로 패키지된 제품)의 미세한 피치를 가진 패드에 접촉하여 전기 신호를 검출하고 이상 유무를 판정하는 핵심 부품이다. 이러한 프로브 카드를 이용하여 칩의 동작을 정확히 검사하기 위하여, 검사하고자 하는 칩의 위치에 프로브 카드를 정확히 정렬시키는 것은 중요한 기술적 과제이다. 더욱이 제품의 핀수 증가로 인하여 한정된 크기내에서의 구성이 필수 불가결하여 패드피치의 미세화는 급속히 진행되고 있으며, 이로 인해 프로브 카드 정렬시에 많은 Miss-matching을 야기시켜 품질적인 측면까지 위협하는 실정이다.
종래 필름형 칩인 TCP(Tape Carrier Package), COF(Chip On Flexible printed circuit) 등의 동작을 검사하는 경우, 먼저 프로브 카드의 위치에 필름형 칩을 위치시킨 후, 측정자가 미세 조절을 통하여 수동으로 필름형 칩의 위치에 프로브 카드를 정렬시켰다. 즉, 측정자는 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치에 따라 프로브 카드를 X축, Y축 방향으로 이동시키거나 회전시켜 정렬하였으며, 이때 마이크로미터와 같은 미세조절 장치를 이용하여 프로브 카드를 정렬하였다. 이와 같이 측정자는 마이크로미터 정도로 매우 작은 길이를 조절하여 프로브 카드를 정렬시켜야 하므로, 측정자가 수동으로 프로브 카드를 정확하게 정렬시키는 것은 현실적으로 매우 어려운 문제점이 있었다.
또한, 측정자는 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치에 프로브 카드를 정렬시킨 후에 수동으로 프로브 카드의 위치를 고정하여야 하며, 프로브 카드의 위치를 고정하는 과정에서 백러쉬 현상이 발생하여 정렬한 프로브 카드의 위치가 뒤틀어지는 문제점이 발생하였다. 즉, 마이크로미터와 같은 미세조절 장치를 이용하여 프로브 카드를 정렬한 후, 볼트 결합을 통하여 미세조절 장치를 고정하므로 백러쉬 현상이 발생하였다.
이러한 문제점들로 인하여 프로브 카드의 위치를 정렬하는데 많은 시간이 소요되어, 결국 반도체의 생산성 및 품질이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명이 해결하려는 과제는 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치에 따라 프로브 카드를 자동으로 미세하게 정렬시키기 위한 프로브 카드 정렬 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치는, 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치를 검출하는 검출모듈; 상기 검출모듈에서 검출한 필름형 칩의 위치에 따라 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 송출하는 제어모듈; 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 X축 방향으로 이동시키는 제1이동모듈; 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 Y축 방향으로 이동시키는 제2이동모듈; 및 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 회전시키는 제3이동모듈을 포함한다.
상기 제1이동모듈은, 내측에 상기 프로브 카드가 위치하는 제1플레이트; 상기 제1플레이트에 결합되어, 상기 제1플레이트가 X축 방향으로 이동하도록 유도하는 제1가이드부; 및 상기 제1플레이트가 X축 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 제1구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 제2이동모듈은, 상기 제1플레이트의 하부에 위치하는 제2플레이트; 상기 제2플레이트에 결합되어, 상기 제2플레이트가 Y축 방향으로 이동하도록 유도하는 제2가이드부; 및 상기 제2플레이트가 Y축 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 제2구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 제3이동모듈은, 상기 제2플레이트의 하부에 위치하는 제3플레이트; 및 일단은 상기 제3플레이트에 결합되며, 상기 프로브 카드가 회전하도록 구동력을 제공하는 제3구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1구동부는, 상기 제2플레이트에 고정 결합되어, 구동력을 발생하는 제1모터; 일측은 상기 제1플레이트에 고정 결합되며, 상기 제1모터에서 발생한 구동력을 기반으로 상기 제1플레이트를 X축 방향으로 이동시키는 제1직선운동수단; 및 상기 제1직선운동수단의 동작상태를 감지하는 제1감지센서를 포함할 수 있다.
상기 제2구동부는, 상기 제2플레이트에 고정 결합되어, 구동력을 발생하는 제2모터; 일측은 상기 제3플레이트에 고정 결합되며, 상기 제2모터에서 발생한 구동력을 기반으로 상기 제2플레이트를 Y축 방향으로 이동시키는 제2직선운동수단; 및 상기 제2직선운동수단의 동작상태를 감지하는 제2감지센서를 포함할 수 있다.
상기 제3구동부는, 상기 제3플레이트에 고정 결합되어, 구동력을 발생하는 제3모터; 상기 제3모터에서 발생한 구동력을 기반으로 상기 프로브 카드를 회전 시키는 제3직선운동수단; 및 상기 제3직선운동수단의 동작상태를 감지하는 제3감지센서를 포함할 수 있다.
상기 제어모듈은, 필름형 칩의 형상에 따른 프로브 카드의 위치 정보를 저장하며, 저정한 위치 정보에 따라 상기 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 송출하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치에 따라 제1이동모듈, 제2이동모듈, 제3이동모듈이 프로브 카드를 자동으로 정렬함으로써, 측정자가 수동으로 정렬하는 것에 비하여 신속 정확하게 프로브 카드를 정렬할 수 있는 장점이 있다.
또한, 모터의 구동에 따라 프로브 카드를 정렬함으로써 정렬한 프로브 카드의 위치가 항상 유지되므로, 종래와 같이 정렬한 프로브 카드의 위치를 고정하기 위한 별도의 과정이 필요 없으므로, 백러쉬 현상이 전혀 발생하지 않는 장점이 있다.
이와 같이, 신속 정확하게 프로브 카드를 정렬할 수 있으므로, 결국 반도체의 생산성이 향상되는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치를 도시한 블럭도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치를 도시한 사시도이다.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치를 도시한 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치를 도시한 배면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치를 도시한 정면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치를 도시한 분해 배면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치를 도시한 분해 후면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치의 구동부를 도시한 사시도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
또한, 명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
명세서 전체에서 필름형 칩이란 필름상에 칩이 형성된 것을 의미하며, 필름형 칩의 종류에는 TCP(Tape Carrier Package), COF(Chip On Flexible printed circuit) 등이 있다.
또한, X방향이란 도 3에 도시된 평면도 상에서 횡방향(즉, 상대적으로 길이가 긴 방향)을 의미하고, Y방향이란 종방향(즉, 상대적으로 길이가 짧은 방향)을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드 정렬 장치를 도시한 블럭도, 프로브 카드 정렬 장치는, 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치를 검출하는 검출모듈(100); 상기 검출모듈(100)에서 검출한 필름형 칩의 위치에 따라 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 송출하는 제어모듈(200); 상기 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 X축 방향으로 이동시키는 제1이동모듈(300); 상기 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 Y축 방향으로 이동시키는 제2이동모듈(400); 및 상기 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 회전시키는 제3이동모듈(500);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 검출모듈(100)은 프로브 카드의 상측에 위치하여, 검사하고자 하는 필름형 칩이 검출모듈(100)과 프로브 카드의 사이에 위치하도록 한다. 즉, 검출모듈(100)은 프로브 카드와 필름형 칩의 상측에 위치하게 되므로, 프로브 카드와 필름형 칩의 위치 정보를 검출하고, 검출한 위치 정보를 제어모듈(200)에 전송한다.
상기 제어모듈(200)은 검출모듈(100)에서 검출한 프로브 카드와 필름형 칩의 위치 정보를 기반으로 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 제1이동모듈(300), 제2이동모듈(400), 제3이동모듈(500)에 송출한다. 즉, 필름형 칩의 동작상태를 정확하게 검출하기 위하여 필름형 칩의 위치에 따라 프로브 카드를 정렬시켜야 하므로, 검출모듈(100)에서 검출한 필름형 칩의 위치를 기준으로 프로브 카드가 어느 정도 틀어져 있는지 분석한다. 이때, 필름형 칩의 위치를 기준으로 프로브 카드가 X축 방향, Y축 방향, θ축 방향(즉, 회전 방향)으로 어느 정도 틀어져 있는지 분석한다.
또한, 제어모듈(200)은 프로브 카드가 틀어진 정도를 분석한 결과를 기반으로 제1이동모듈(300)과 제2이동모듈(400)이 프로브 카드를 이동시켜야 할 거리, 제3이동모듈(500)이 프로브 카드를 회전시켜야 할 각도를 산출한다.
또한, 제어모듈(200)은 산출한 결과를 기반으로 X축 방향으로 어느 정도 이동하여야 하는지에 대한 정렬 신호를 제1이동모듈(300)에 송출하고, Y축 방향으로 어느 정도 이동하여야 하는지에 대한 정렬 신호를 제2이동모듈(400)에 송출하고, 어느 정도 회전하여야 하는지에 대한 정렬 신호를 제3이동모듈(500)에 송출한다.
상기 제1이동모듈(300)은 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 프로브 카드를 X축 방향으로 이동시키는 것으로, 도 2와 도 3에 의하면 제1이동모듈(300)은, 내측에 상기 프로브 카드가 위치하는 제1플레이트(310); 상기 제1플레이트(310)에 결합되어, 상기 제1플레이트(310)가 X축 방향으로 이동하도록 유도하는 제1가이드부(320); 및 상기 제1플레이트(310)가 X축 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 제1구동부(330);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1플레이트(310)는 판상 형태를 가지며 내측에 원형의 홈이 형성된다. 내측에 형성된 원형의 홈에는 프로브 카드를 결합하기 위한 홀더(600)가 위치하며, 홀더(600)는 제1플레이트(310)에 고정 결합된다. 즉, 제1플레이트(310)가 X축 방향으로 이동하면 그에 따라 홀더도 X축 방향으로 이동하게 되고, 결국 홀더에 결합된 프로브 카드도 X축 방향으로 이동하게 된다.
상기 제1가이드부(320)는 제1플레이트(310)의 하측에 결합되며, 제1플레이트(310)가 X축 방향으로 이동하도록 유도하기 위하여 X축 방향으로 결합된다. 이때, 제1가이드부(320)로 LM가이드가 사용될 수 있으며, LM가이드의 블럭은 제1플레이트(310)에 고정 결합되고 LM가이드의 레일은 제2플레이트(410)에 고정 결합되는 것이 바람직하다. 또한, LM가이드는 제1플레이트(310)에 하나 이상 구비되는 것이 바람직하다. 예를 들어, LM가이드는 제1플레이트(310)의 각 모서리 부분에 하나씩 구비되어 전체 4개의 제1가이드부(320)가 구비될 수 있다.
상기 제1구동부(330)는 제1플레이트(310)가 X축 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 것으로, 도 8에 도시된 바에 의하면 제1구동부(330)는 제1모터(331), 제1직선운동수단(332) 및 제1감지센서(333)를 포함한다. 제1모터(331)는 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 회전력을 발생시키는 것으로, 제1모터(331)의 일단에는 제1직선운동수단(332)이 결합된다. 제1직선운동수단(332)은 제1모터(331)에서 발생한 회전력을 직선 운동으로 변환하는 것으로, 이러한 직선 운동에 의하여 제1플레이트(310)가 X축 방향으로 이동하게 된다.
또한, 제1모터(331)로 제어 신호에 의하여 구동되는 서보모터(Servomotor)를 사용할 수 있고, 제1직선운동수단(332)으로 나사축(332a) 및 너트블럭(332b)을 포함하는 볼 스크류(Ball screw)를 사용할 수 있다. 이때, 볼 스크류의 나사축(332a)은 서보모터에 결합되고, 제어 신호에 따라 서보모터가 구동됨에 따라 볼 스크류의 나사축(332a)이 회전하게 되고, 나사축(332a)이 회전함에 따라 나사축(332a)에 결합된 너트블럭(332b)이 직선 운동을 하게 된다.
또한, 제1감지센서(333)는 너트블럭(332b)의 동작상태를 감지하는 것으로, 3개의 센서로 구성되는 것이 바람직하다. 3개의 센서는 나란하게 설치되며, 이때 3개의 센서는 너트블럭(332b)의 이동이 허용되는 구간에 대응하게 설치되어, 너트블럭(332b)이 허용 구간을 넘어 이동하게 되면 이를 감지하도록 한다. 즉, 하나의 센서는 너트블럭(332b)의 이동이 허용되는 구간 중에서 제1모터(331)로부터 가장 멀리 떨어진 위치에 설치되고, 다른 하나의 센서는 너트블럭(332b)의 이동이 허용되는 구간 중에서 제1모터(331)에 가장 가까운 위치에 설치되고, 또 다른 하나의 센서는 상술한 두 개의 센서 사이에 설치된다.
또한, 제1감지센서(333)는 너트블럭(332b)이 허용 구간을 넘어 이동하는 경우에 이를 감지하여 제1모터(331)에 알리고, 이때 제1모터(331)는 너트블럭(332b)이 허용 구간을 넘어 이동하는 것을 방지하기 위하여 구동을 즉시 중지한다.
이상 도 8을 참조하여 제1구동부(330)의 구성 및 기능에 대하여 상세하게 설명하였으나, 제2구동부(430)와 제3구동부(520)의 구성 및 기능도 상술한 제1구동부(330)와 동일하다.
또한, 제1구동부(330)의 제1모터(331)는 제2플레이트(410)에 결합되고, 제1직선운동수단(332)의 너트블럭은 제1플레이트(310)에 결합된다. 제1모터(331)의 회전 방향에 따라 너트블럭은 제1모터(331)와 멀어지는 방향으로 동작하거나 제1모터(331)에 가까워지는 방향으로 동작한다. 이러한 너트블럭의 동작에 의하여 제1플레이트(310)는 X축 방향으로 이동하게 되고, 결국 제1플레이트(310)에 결합된 홀더(600)에 위치한 프로브 카드도 X축 방향으로 이동하게 된다. 이때, 제1감지센서(333)는 제1직선운동수단(332)의 너트블럭이 이동이 허용된 구간 내에서 이동하는지 지속적으로 감지한다.
상기 제2이동모듈(400)은 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 프로브 카드를 Y축 방향으로 이동시키는 것으로, 도 4와 도 5에 의하면 제2이동모듈(400)은, 제1플레이트(310)의 하부에 위치하는 제2플레이트(410); 상기 제2플레이트(410)에 결합되어, 상기 제2플레이트(410)가 Y축 방향으로 이동하도록 유도하는 제2가이드부(420); 및 상기 제2플레이트(410)가 Y축 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 제2구동부(430);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2플레이트(410)는 제1가이드부(320)를 통하여 제1플레이트(310)와 결합된다. 또한, 제2플레이트(410)는 판상 형태를 가지며 내측에 홈이 형성되며, 내측에 형성된 홈에는 홀더(600)와 제3구동부(520)가 위치한다.
상기 제2가이드부(420)는 제2플레이트(410)의 하측에 결합되며, 제2플레이트(410)가 Y축 방향으로 이동하도록 유도하기 위하여 Y축 방향으로 결합된다. 이때, 제2가이드부(420)로 LM가이드가 사용될 수 있으며, LM가이드의 블럭은 제2플레이트(410)에 고정 결합되고 LM가이드의 레일은 제3플레이트(510)에 고정 결합되는 것이 바람직하다. 또한, LM가이드는 제2플레이트(410)에 하나 이상 구비되는 것이 바람직하다. 예를 들어, LM가이드는 제2플레이트(410)의 각 모서리 부분에 하나씩 구비되어 전체 4개의 제2가이드부(420)가 구비될 수 있다.
상기 제2구동부(430)는 제2플레이트(410)가 Y축 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 것으로, 제2구동부(430)는 제2모터(431), 제2직선운동수단(432) 및 제2감지센서(433)를 포함한다. 제2모터(431)는 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 회전력을 발생시키는 것으로, 제2모터(431)의 일단에는 제2직선운동수단(432)이 결합된다. 제2직선운동수단(432)은 제2모터(431)에서 발생한 회전력을 직선 운동으로 변환하는 것으로, 이러한 직선 운동에 의하여 제2플레이트(410)가 Y축 방향으로 이동하게 된다.
또한, 제2구동부(430)의 제2모터(431)는 제2플레이트(410)에 결합되고, 제2직선운동수단(432)의 너트블럭(432b)은 제3플레이트(510)에 결합된다. 제2모터(431)의 회전 방향에 따라 제2모터(431)는 너트블럭(432b)과 멀어지는 방향으로 이동하거나 너트블럭(432b)과 가까워지는 방향으로 이동한다. 즉, 너트블럭(432b)은 고정된 제3플레이트(510)에 결합되어 있으므로, 제2모터(431)의 회전 방향에 따라 제2모터(431) 자체가 이동하게 되며, 이러한 제2모터(431)의 이동에 의하여 제2플레이트(410)는 Y축 방향으로 이동하게 되고, 제2플레이트(410)는 제1가이드부(320)를 통하여 제1플레이트(310)와 결합되어 있으므로 제1플레이트(310)도 Y축 방향으로 이동하게 되고, 결국 제1플레이트(310)에 결합된 홀더(600)에 위치한 프로브 카드도 Y축 방향으로 이동하게 된다. 이때, 제2감지센서(433)는 제2직선운동수단(432)의 너트블럭(432b)이 이동이 허용된 구간 내에서 이동하는지 지속적으로 감지한다.
상기 제3이동모듈(500)은 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 프로브 카드를 회전시키는 것으로, 도 6와 도 7에 의하면 제3이동모듈(500)은, 제2플레이트(410)의 하부에 위치하는 제3플레이트(510); 및 일단은 상기 제3플레이트(420)에 결합되며, 상기 프로브 카드가 회전하도록 구동력을 제공하는 제3구동부(520);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제3플레이트(510)는 제2가이드부(420)를 통하여 제2플레이트(410)와 결합된다. 또한, 제3플레이트(510)는 판상 형태를 가지며 내측에 홈이 형성된다.
상기 제3구동부(520)는 프로브 카드가 회전하도록 구동력을 제공하는 것으로, 제3구동부(520)는 제3모터(521), 제3직선운동수단(522) 및 제3감지센서(523)를 포함한다. 제3모터(521)는 제어모듈(200)에서 송출된 정렬 신호에 따라 회전력을 발생시키는 것으로, 제3모터(521)의 일단에는 제3직선운동수단(522)이 결합된다. 제3직선운동수단(522)은 제3모터(521)에서 발생한 회전력을 직선 운동으로 변환하는 것으로, 이러한 직선 운동에 의하여 홀더(600)가 회전하게 된다.
또한, 제3구동부(520)의 제3모터(521)는 제1플레이트(310)에 결합되고, 제3직선운동수단(522)의 너트블럭(522b)은 홀더(600)에 결합된다. 제3모터(521)의 회전 방향에 따라 너트블럭(522b)은 제3모터(521)와 멀어지는 방향으로 이동하거나 제3모터(521)와 가까워지는 방향으로 이동한다. 이러한 너트블럭(522b)의 동작에 의하여 홀더(600)는 회전하게 되고, 결국 홀더(600)에 결합된 프로브 카드도 회전하게 된다. 이때, 제3감지센서(523)는 제3직선운동수단(522)의 너트블럭(522b)이 이동이 허용된 구간 내에서 이동하는지 지속적으로 감지한다.
상기 제어모듈(200)은 필름형 칩의 형상에 따른 프로브 카드의 위치 정보를 저장하며, 저정한 위치 정보에 따라 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 송출하는 것을 특징으로 한다.
즉, 제어모듈(200)에는 프로브 카드를 통해 검사되는 모든 필름형 칩의 형상에 따른 프로브 카드의 위치 정보가 저장되며, 특정 형상의 필름형 칩의 검사를 완료한 후 다른 형상의 필름형 칩의 동작상태를 검사하는 경우에 상기 다른 형상의 필름형 칩에 대응하는 프로브 카드의 위치 정보를 검출하고, 검출한 위치 정보를 기반으로 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 제1이동모듈(300), 제2이동모듈(400), 제3이동모듈(500)에 송출한다.
이와 같이, 특정 형상의 필름형 칩의 검사를 완료한 후 다른 형상의 필름형 칩의 검사하는 경우에 상기 다른 형상의 필름형 칩에 따라 프로브 카드를 신속하게 정렬할 수 있으므로, 필름형 칩의 동작상태를 신속하게 검사할 수 있는 장점이 있다.
이상에서 설명한 본 발명의 실시예는 장치 및 방법을 통해서만 구현이 되는 것은 아니며, 본 발명의 실시예의 구성에 대응하는 기능을 실현하는 프로그램 또는 그 프로그램이 기록된 기록 매체를 통해 구현될 수 있으며, 이러한 구현은 앞서 설명한 실시예의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 전문가라면 쉽게 구현할 수 있는 것이다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100 : 검출모듈 200 : 제어모듈
300 : 제1이동모듈 310 : 제1플레이트
320 : 제1가이드부 330 : 제1구동부
331 : 제1모터 332 : 제1직선운동수단
333 : 제1감지센서 400 : 제2이동모듈
410 : 제2플레이트 420 : 제2가이드부
430 : 제2구동부 431 : 제2모터
432 : 제2직선운동수단 433 : 제2감지센서
500 : 제3이동모듈 510 : 제3플레이트
520 : 제3구동부 521 : 제3모터
522 : 제3직선운동수단 523 : 제3감지센서
600 : 홀더

Claims (8)

  1. 검사하고자 하는 필름형 칩의 형상 및 위치를 검출하는 검출모듈;
    상기 검출모듈에서 검출한 필름형 칩의 형상 및 위치에 따른 프로브 카드의 위치 정보를 저장하며, 저정한 위치 정보에 따라 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 송출하는 제어모듈;
    내측에 상기 프로브 카드가 위치하는 제1플레이트, 상기 제1플레이트에 결합되어 상기 제1플레이트가 X축 방향으로 이동하도록 유도하는 제1가이드부 및 상기 제1플레이트가 X축 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 제1구동부를 포함하고, 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 X축 방향으로 이동시키는 제1이동모듈;
    상기 제1플레이트의 하부에 위치하는 제2플레이트, 상기 제2플레이트에 결합되어 상기 제2플레이트가 Y축 방향으로 이동하도록 유도하는 제2가이드부 및 상기 제2플레이트가 Y축 방향으로 이동하도록 구동력을 제공하는 제2구동부를 포함하고, 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 Y축 방향으로 이동시키는 제2이동모듈; 및
    상기 제2플레이트의 하부에 위치하는 제3플레이트 및 일단이 상기 제3플레이트에 결합되어 상기 프로브 카드가 회전하도록 구동력을 제공하는 제3구동부를 포함하고, 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 회전시키는 제3이동모듈을 포함하는 프로브 카드 정렬 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1구동부는,
    상기 제2플레이트에 고정 결합되어, 구동력을 발생하는 제1모터;
    일측은 상기 제1플레이트에 고정 결합되며, 상기 제1모터에서 발생한 구동력을 기반으로 상기 제1플레이트를 X축 방향으로 이동시키는 제1직선운동수단; 및
    상기 제1직선운동수단의 동작상태를 감지하는 제1감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 정렬 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제2구동부는,
    상기 제2플레이트에 고정 결합되어, 구동력을 발생하는 제2모터;
    일측은 상기 제3플레이트에 고정 결합되며, 상기 제2모터에서 발생한 구동력을 기반으로 상기 제2플레이트를 Y축 방향으로 이동시키는 제2직선운동수단; 및
    상기 제2직선운동수단의 동작상태를 감지하는 제2감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 정렬 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 제3구동부는,
    상기 제3플레이트에 고정 결합되어, 구동력을 발생하는 제3모터;
    상기 제3모터에서 발생한 구동력을 기반으로 상기 프로브 카드를 회전 시키는 제3직선운동수단; 및
    상기 제3직선운동수단의 동작상태를 감지하는 제3감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 정렬 장치.
  8. 삭제
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