JP3457499B2 - テーブル装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物や被加工
物などを載置するためのテーブル装置に関する。たとえ
ば、測定機において被測定物を載置するため、あるい
は、工作機械において被加工物を載置するために用いら
れるテーブル装置に関する。

【０００２】

【背景技術】測定機において被測定物を載置するために
用いられるテーブル装置、あるいは、工作機械において
被加工物を載置するために用いられるテーブル装置で
は、被測定物の測定部位や被加工物の加工部位を測定ヘ
ッドや加工ヘッドに位置させるために、被測定物や被加
工物を載置したテーブルをベース部材に対して異なる複
数の方向へ移動させる複数の移動機構を備えている。

【０００３】たとえば、被測定物の内径または外径を測
定するための直径測定装置に用いられるテーブル装置で
は、被測定物を載置したテーブルをベース部材の上面に
対して直交する軸（Ｚ軸）を中心として旋回させる旋回
機構と、前記テーブルを前記Ｚ軸に対して直交する軸
（Ｙ軸）方向へ直線移動させる第１の直線移動機構と、
前記テーブルを前記Ｚ軸およびＹ軸に対して直交する軸
（Ｘ軸）方向へ直線移動させる第２の直線移動機構とを
備えている。

【０００４】従来、これらの移動機構を組み立てるに
は、まず、ベース部材の上に旋回機構を設け、この旋回
機構の上に第１の直線移動機構を設け、この第１の直線
移動機構の上に第２の直線移動機構を設け、この第２の
直線移動機構の上に被測定物を載置するテーブルを設け
ていた。つまり、旋回機構、第１の直線移動機構および
第２の直線移動機構を順に上に積み重ねた構造であっ
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの移動
機構（旋回機構、第１の直線移動機構および第２の直線
移動機構）を順に上に積み重ねた構造であると、被測定
部物の重量に加えて、上層の移動機構の重量が順次下層
の移動機構にかかってくるため、下層の移動機構に変形
が生じやすく、その結果、被測定物や被加工物の姿勢変
化が生じ、精度確保が困難になるという欠点があった。

【０００６】この問題を解消するためには、下層に位置
する移動機構をそれより上層の重量に耐えうる構造（高
剛性構造）に構成しなければならないから、装置が大型
化し、かつ、高価になる。また、このような構成では、
被測定物の設置位置や出し入れ時に移動機構に偏荷重が
かかり、運動精度の維持が困難である。

【０００７】本発明の目的は、従来の欠点を解消し、移
動機構の変形などを防止して、精度確保をはかりつつ、
小型化およびコストダウンが可能なテーブル装置を提供
することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のテーブル装置
は、ベース部材と、このベース部材上に設けられたテー
ブルと、このテーブルを前記ベース部材に対して異なる
少なくとも２方向へ移動させる複数の移動機構とを備え
たテーブル装置であって、前記移動機構は、前記ベース
部材の上面にその上面に対して直交する第１軸線を中心
として旋回可能に設けられた回転板を有し、この回転板
によって前記テーブルを第１軸線を中心として旋回させ
る旋回機構と、前記テーブルを前記第１軸線に対して直
交する第２軸線方向へ直線移動させる第１の直線移動機
構と、前記テーブルを前記第１軸線および第２軸線に対
して直交する第３軸線方向へ直線移動させる第２の直線
移動機構とを備え、前記ベース部材の上面には、前記テ
ーブルの下面に接し前記テーブルおよびそのテーブルに
かかる荷重を受けるとともに、前記テーブルを移動可能
に支持する摺動面を形成したことを特徴とする。

【０００９】このような構成によれば、テーブルの重量
およびそのテーブルにかかる荷重、たとえば、テーブル
に載置される被測定物や被加工物の重量がベース部材の
摺動面で受けられているから、つまり、複数の移動機構
に作用することがないから、これらの移動機構の変形を
防止でき、精度確保が可能である。また、移動機構の変
形を防ぐために大がかりな構成にしなくてもよいから、
小型化およびコストダンが可能である。

【００１０】また、移動機構は、前記ベース部材の上面
にその上面に対して直交する第１軸線を中心として旋回
可能に設けられた回転板を有し、この回転板によって前
記テーブルを第１軸線を中心として旋回させる旋回機構
と、前記テーブルを前記第１軸線に対して直交する第２
軸線方向へ直線移動させる第１の直線移動機構と、前記
テーブルを前記第１軸線および第２軸線に対して直交す
る第３軸線方向へ直線移動させる第２の直線移動機構と
を備えているから、テーブルをベース部材の上面で旋回
させることができ、かつ、その旋回軸に対して直交する
平面内で互いに直交する２軸方向へ直線移動させること
ができるから、被測定物や被加工物の位置や姿勢を自由
に変化させることができる。

【００１１】この場合、前記第１の直線移動機構は、前
記回転板の上面に支持ブロックを介して前記第２軸線と
平行に設けられたガイドロッドと、このガイドロッドに
移動可能に設けられたスライダとを含み、前記第２の直
線移動機構は、前記スライダに前記第１軸線方向へ弾性
変形可能な板ばねを介して連結された支持ブロックと、
この支持ブロックに移動可能にかつ前記第３軸線と平行
に設けられたガイドロッドと、このガイドロッドと前記
テーブルとを連結する連結ブロックとを含む構成が望ま
しい。このようにすれば、第２の直線移動機構に板ばね
を含んで構成されているから、この板ばねによってテー
ブルおよびそのテーブルにかかる荷重の影響を移動機構
に与えることがない。つまり、テーブルにかかる荷重に
よってテーブルに第１軸線方向の変形が生じても、それ
を板ばねによって吸収できるから、テーブルにかかる荷
重の影響を移動機構に与えることがない。

【００１２】また、前記摺動面は、前記第１軸線を中心
とする円周上に形成され、前記旋回機構、第１の直線移
動機構および第２の直線移動機構は、前記円周上に形成
された摺動面の内側でかつ前記テーブルの下面に形成さ
れた凹部内に収納されていることが望ましい。このよう
にすれば、テーブル上の片寄った位置に被測定物や被加
工物が載置されても、また、テーブルが異なる少なくと
も２方向へ移動される際にも、テーブルを安定した姿勢
でベース部材上で移動可能に支持することができる。ま
た、旋回機構、第１の直線移動機構および第２の直線移
動機構をテーブルの下面に形成された凹部内に収納でき
るから、装置全体をコンパクトに構成できる。

【００１３】また、前記摺動面には、低摩擦部材が介在
されていることが望ましい。このようにすれば、ベース
部材の上面とテーブルの下面との間の摩擦抵抗を低減で
きるから、テーブルの移動をより円滑に行うことができ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明のテーブル装置を内
径測定装置に適用した一実施形態について図面を参照し
ながら説明する。図１は本実施形態の内径測定装置を示
す斜視図である。同内径測定装置は、ベッド１と、この
ベッド１に設けられ被測定物Ｗを取り付けるテーブル装
置１０と、このテーブル装置１０を跨ぐようにベッド１
上に掛け渡された門型フレーム４１と、この門型フレー
ム４１の水平ビーム４３に沿って移動可能に設けられた
一対のスライダ５１Ａ，５１Ｂと、この各スライダ５１
Ａ，５１Ｂにそれぞれ取り付けられ前記被測定物Ｗの内
径に当接する一対の測定子５２Ａ，５２Ｂと、この一対
の測定子５２Ａ，５２Ｂ間の間隔を計測する計測手段６
１と、前記一対の測定子５２Ａ，５２Ｂが互いに離間す
る方向（被測定物Ｗの内径に当接する方向）に前記各ス
ライダ５１Ａ，５１Ｂを所定圧で付勢する付勢手段７１
と、前記スライダ５１Ａ，５１Ｂを同時に測定軸線方向
（ここでは、水平ビーム４３の長手方向）に沿って移動
させるとともに、いずれか一方のスライダのみを測定軸
線方向に沿って移動させる測定子駆動制御手段８１とを
備えている。

【００１５】前記門型フレーム４１は、前記ベッド１上
に立設された一対の支柱４２Ａ，４２Ｂと、この一対の
支柱４２Ａ，４２Ｂの上端間に掛け渡された水平ビーム
４３とから構成されている。前記計測手段６１は、前記
一方のスライダ５１Ａに設けられたスケール６２と、前
記他方のスライダ５１Ｂに前記スケール６２に対向して
設けられた検出器６３とから構成されている。これらの
スケール６２および検出器６３は、前記測定子５２Ａ，
５２Ｂの先端接触球を結ぶ測定軸線上に配置されてい
る。前記付勢手段７１は、一端が前記各スライダ５１
Ａ，５１Ｂに連結されかつ他端が水平ビーム４３の端部
に支持されたプーリ７２に旋回されたワイヤ７３と、こ
のワイヤ７３の他端に連結された錘７４とから構成され
ている。なお、スライダ５１Ａ，５１Ｂは、水平ビーム
４３の上面に取り付けられたシリンダ７５Ａ，７５Ｂの
ピストンロッドの縮小動作により、互いに接近する方向
へ移動され、また、シリンダ７５Ａ，７５Ｂのピストン
ロッドの伸長動作により、付勢手段７１を介して互いに
離れる方向へ移動されるようになっている。

【００１６】前記テーブル装置１０は、図２に示すよう
に、上面に被測定物Ｗを取り付ける被測定物取付テーブ
ル３５と、このテーブル３５を第１軸線としてのＺ軸方
向（図２で上下方向）へ昇降させる昇降機構１１と、前
記テーブル３５を前記Ｚ軸に対して直交しかつ互いに直
交する第２、第３軸線としてのＸ軸およびＹ軸方向へ移
動させるとともにＺ軸を中心として旋回させるＸ-Ｙ移
動および旋回機構２１と、前記テーブル３５のＸ−Ｙ平
面に対する傾きを調整する傾き調整機構３６とを有す
る。

【００１７】前記昇降機構１１は、前記ベッド１の凹部
２内に複数本のガイドポスト１２を介してＺ軸方向へ昇
降可能に設けられたベース部材としての昇降テーブル１
３と、この昇降テーブル１３を昇降させる駆動手段１４
とから構成されている。駆動手段１４は、モータ１５
と、このモータ１５によって回転され前記昇降テーブル
１３を昇降させるねじ軸１６とから構成されている。な
お、昇降テーブル１３の下面とベッド１の上面との間に
は蛇腹１７が設けられている。従って、モータ１５を正
逆回転させると、それによってねじ軸１６が正逆回転す
るので、昇降テーブル１３がＺ軸方向へ昇降されるよう
になっている。

【００１８】前記Ｘ−Ｙ移動および旋回機構２１は、図
３および図４に示すように、前記昇降テーブル１３にＺ
軸を中心として旋回可能に設けられた回転板２２と、こ
の回転板２２上に一対の支持ブロック２３を介してＸ軸
と平行に設けられたガイドロッド２４と、このガイドロ
ッド２４に移動可能に設けられたＸスライダ２５と、前
記片方の支持ブロック２３に螺合され前記Ｘスライダ２
５をＸ軸方向へ移動させるＸスライダ調整ねじ２６と、
前記Ｘスライダ２５にＺ軸方向に弾性変形可能な板ばね
２７を介して連結された支持ブロック２８と、この支持
ブロック２８に移動可能にかつＹ軸と平行に設けられた
ガイドロッド２９と、このガイドロッド２９に連結ブロ
ック２９Ａを介して連結されたＹテーブル３０と、この
Ｙテーブル３０に螺合され先端がＸスライダ２５に当接
してＹテーブル３０をＹ軸方向へ移動させるＹテーブル
調整ねじ３１とから構成されている。

【００１９】ここに、前記回転板２２によって、前記Ｙ
テーブル３０をＺ軸を中心として旋回させる旋回機構Ａ
が構成されている。また、前記支持ブロック２３、ガイ
ドロッド２４、Ｘスライダ２５およびＸスライダ調整ね
じ２６によって、前記Ｙテーブル３０をＸ軸方向へ直線
移動させる第１の直線移動機構Ｂが構成されている。さ
らに、前記板ばね２７、支持ブロック２８、ガイドロッ
ド２９および連結ブロック２９Ａによって、前記Ｙテー
ブル３０をＹ軸方向へ直線移動させる第２の直線移動機
構Ｃが構成されている。

【００２０】前記昇降テーブル１３の上面外周縁には、
前記Ｙテーブル３０の下面に接しＹテーブル３０および
そのＹテーブル３０にかかる荷重を受けるとともに、前
記Ｙテーブル３０を旋回移動可能、かつ、ＸおよびＹ軸
方向へ直線移動可能に支持する摺動面３２が形成され、
この摺動面３２に低摩擦部材３２Ａ、たとえば、テフロ
ン系樹脂などが設けられている。なお、テフロン系樹脂
に限らず、ボールベアリングなどでもよい。また、前記
Ｙテーブル３０の下面には前記摺動面３２の内側に凹部
３４が形成され、この凹部３４内に前記旋回機構Ａ、第
１の直線移動機構Ｂおよび第２の直線移動機構Ｃがそれ
ぞれ収納されているとともに、前記Ｙテーブル３０の外
周面には、ハンドル３３が突設されている（図２参
照）。なお、図示してないが、前記回転板２２とＹテー
ブル３０との間には、Ｘスライダ２５をＸスライダ調整
ねじ２６およびＹテーブル調整ねじ３１に当接する方向
に付勢するコイルばねが設けられている。

【００２１】従って、Ｘスライダ調整ねじ２６を螺合操
作すると、Ｘスライダ２５がＸ軸方向へ移動し、それに
よってＹテーブル３０もＸ軸方向へ移動される。また、
Ｙテーブル調整ねじ３１を螺合操作すると、Ｙテーブル
３０がＹ軸方向へ移動される。さらに、ハンドル３３を
掴んで回転させると、Ｙテーブル３０がＺ軸を中心とし
て旋回される。つまり、Ｙテーブル３０は、Ｘ軸方向お
よびＹ軸方向へ移動できるとともに、Ｚ軸を中心として
旋回できるようになっている。このとき、Ｙテーブル３
０にかかる荷重は低摩擦部材３２Ａを介して昇降テーブ
ル１３の摺動面３２で受けられているから、各移動機構
（Ｘ軸およびＹ軸方向への移動機構）や旋回機構に大き
な負荷が作用することがなく、よってＸ軸よびＹ軸方向
への移動動作とＺ軸を中心とする旋回動作を円滑に行う
ことができる。

【００２２】前記傾き調整機構３６は、図５、図６およ
び図７に示すように、被測定物取付テーブル３５の１８
０度離れた位置に螺合され下端が前記Ｙテーブル３０に
当接された２本の高さ調整ねじ３８Ａ，３８Ｂと、この
２本の高さ調整ねじ３８Ａ，３８Ｂを結ぶ辺を斜辺とす
る直角二等辺三角形の直角部の位置で前記テーブル３
０，３５間に介在されテーブル３５の揺動支点となる球
体４０と、この球体４０の位置より内方位置で被測定物
取付テーブル３５を通って前記Ｙテーブル３０に螺合さ
れた予圧調整ねじ３９と、この予圧調整ねじ３９の頭部
と被測定物取付テーブル３５との間に介在され被測定物
取付テーブル３５をＹテーブル３０に向かって予圧する
予圧ばね３９Ａとから構成されている。従って、図５の
状態において、高さ調整ねじ３８Ａの高さを調整する
と、被測定物取付テーブル３５のＹ軸方向の傾きを調整
でき、また、高さ調整ねじ３８Ｂの高さを調整すると、
被測定物取付テーブル３５のＸ軸方向の傾きを調整でき
ようになっている。

【００２３】前記測定子駆動制御手段８１は、図８に示
すように、前記各シリンダ７５Ａ，７５Ｂに接続された
エアー操作バルブ８２Ａ，８２Ｂと、この各エアー操作
バルブ８２Ａ，８２Ｂに接続された手動操作ブルブ８３
Ａ，８３Ｂと、この手動操作バルブ８３Ａ，８３Ｂと前
記エアー操作バルブ８２Ａとの間に挿入されたシャトル
バルブ８４と、レギュレータ８５と、空気清浄化ユニッ
ト８６と、エアー源８７とから構成されている。

【００２４】従って、図８の状態では、エアー源８７か
らのエアーがエアー操作バルブ８２Ａ,８２Ｂを経由し
てシリンダ７５Ａ,７５Ｂに流れているため、シリンダ
７５ＡのピストンロッドがＬ方向に、シリンダ７５Ｂの
ピストンロッドがＲ方向に移動している。よって、一対
の測定子５２Ａ，５２Ｂは閉じている。この状態におい
て、手動操作バルブ８３ＢをＬ方向にスライドさせる
と、エアー源８７からのエアーが点線の経路に沿っ流
れ、エアー操作バルブ８２ＢがＲ方向へ、エアー操作バ
ルブ８２ＡがＬ方向へそれぞれスライドされる。する
と、シリンダ７５ＢのピストンロッドがＬ方向へ、シリ
ンダ７５ＡのピストンロッドがＲ方向へそれぞれスライ
ドされる。これにより、各スライダ５１Ａ，５１Ｂは付
勢手段７１によって互いに離れる方向へスライドされ
る。つまり、一対の測定子５２Ａ，５２Ｂが開く。ま
た、手動操作バルブ８３ＢをＲ方向にスライドさせ（元
に戻し）、手動操作バルブ８３ＡをＬ方向にスライドさ
せると、エアーが手動操作バルブ８３Ａを経由してエア
ー操作バルブ８２Ａのみに流れ、エアー操作バルブ８２
ＡがＬ方向へスライドされる。すると、シリンダ７５Ａ
のピストンロッドがＲ方向へスライドするため、スライ
ダ５１Ａは付勢手段７１によって離れる向へスライドさ
れる。つまり、測定子５２Ａのみが開く。

【００２５】次に、本実施形態の作用を説明する。測定
にあたっては、被測定物取付テーブル３５上に被測定物
Ｗを載置したのち、次の手順に従って測定を進める。 測定位置調整（被測定物Ｗの直径位置と測定軸線を一
致させるための調整） 図９に示すように、測定子駆動制御手段８１により、一
対の測定子５２Ａ，５２Ｂを被測定物Ｗの内径に当接さ
せた状態において、Ｙテーブル３０をＹ軸方向へ移動さ
せながら計測手段６１によって一対の測定子５２Ａ，５
２Ｂ間の間隔を計測し、一対の測定子５２Ａ，５２Ｂ間
の間隔が最も離れた位置に一対の測定子５２Ａ，５２Ｂ
を位置させる。これにより、図１０に示すように、被測
定物Ｗの直径位置と測定軸線とを一致させることができ
る。

【００２６】傾き調整（測定軸線と直交する軸線に対
する、被測定物Ｗの内径の中心軸の傾き調整） 図１１に示すように、測定子駆動制御手段８１により、
一対の測定子５２Ａ，５２Ｂを互いに接近させたのち、
片方の測定子５２Ａのみを開き、被測定物Ｗの内径に当
接させる。続いて、図１２に示すように、昇降テーブル
１３の昇降により被測定物ＷをＺ軸方向へ昇降させなが
ら計測手段６１の値を読み取る。ここで、計測手段６１
の値の変化が最も小さくなるように、傾き調整機構３６
によってＸ軸方向の傾きを調整する。これにより、図１
３に示すように、被測定物Ｗの内径の中心軸を測定軸線
と直交する軸線に一致させることができる。

【００２７】被測定物の旋回 Ｙテーブル３０に突設されたハンドル３３を掴んで回転
させると、回転板２２が昇降テーブル１３に対して回転
するから、これでＹテーブル３０を９０度回転させる。
これにより、被測定物Ｗが９０度旋回される。 直径位置調整 上記と同じ操作を行う。これにより、Ｘ軸およびＹ軸
方向の測定位置が調整される。 傾き調整 上記と同じ操作を行う。これにより、Ｘ軸およびＹ軸
方向の傾きが修正される。 測定 上記の調整によって被測定物Ｗの内径の直径位置と測
定軸線とを一致させたのち、一対の測定子５２Ａ，５２
Ｂを測定軸線方向に沿って相対移動させながら被測定物
Ｗの内径に当接させ、そのときの一対の測定子５２Ａ，
５２Ｂの間隔を計測手段６１によって読み取る。また、
Ｙテーブル３０を９０度旋回させたのち、同様な操作を
行って一対の測定子５２Ａ，５２Ｂの間隔を計測手段６
１によって読み取る。これにより、被測定物Ｗの直交す
る２方向の内径を測定できる。

【００２８】以上の実施形態によれば、一対の測定子５
２Ａ，５２Ｂを選択的に用いて、被測定物Ｗの直径位置
と測定軸線とを一致させるための調整と、測定軸線と直
交する軸線に対する被測定物Ｗの内径の中心軸の傾きを
修正するための調整とを行うようにしたので、これらの
調整を簡易にかつ正確にできる。つまり、被測定物Ｗの
直径位置と測定軸線とを一致させるための調整作業につ
いては、一対の測定子５２Ａ，５２Ｂを用いて行うよう
にしているから、１本の測定子を用いて行う場合の問
題、つまり、測定子と被測定物との相対移動機構に測定
軸方向の移動誤差成分があると、その誤差成分が測定値
に影響するという問題がなく、しかも、検出感度も１本
の測定子で測定する場合に比べ２倍にできる。また、測
定軸線と直交する軸線に対する、被測定物Ｗの内径の中
心軸の傾きを調整するための作業については、片方の測
定子５２Ａのみを用いて行うようにしたので、２本の測
定子を用いて調整を行うときの問題（２本の測定子が同
方向へ変位し傾き検出が不可能となる問題）がなく、こ
れらの調整を簡易にかつ正確にできる。

【００２９】この際、測定子駆動制御手段８１によっ
て、一対の測定子５２Ａ，５２Ｂを同時に開く方向およ
び閉じる方向へ移動させるようにしたので、一対の測定
子５２Ａ，５２Ｂを用いて行う調整作業を迅速に行え
る。また、測定子駆動制御手段８１によって、片方の測
定子５２Ａのみを開く方向へ移動させるようにしたの
で、片方の測定子５２Ａのみを用いて行う調整作業も迅
速に行える。しかも、各測定子５２Ａ，５２Ｂが被測定
物Ｗの内径に当接する方向へ移動するときには、つま
り、開く方向へ移動するときには、付勢手段７１の錘７
４の重量を加減することによって移動速度を調整できる
ので、当接時の圧力を適正に調整できる。

【００３０】また、被測定物Ｗを載置するテーブル装置
１０は、Ｙテーブル３０をＺ軸を中心として旋回させる
旋回機構Ａと、Ｙテーブル３０をＸ軸方向へ直線移動さ
せる第１の直線移動機構Ｂと、Ｙテーブル３０をＹ軸方
向へ直線移動させる第２の直線移動機構Ｃとを備えてい
るから、Ｙテーブル３０を回転させるだけで、被測定物
Ｗをセット替えなしに、直交２軸方向（ＸおよびＹ軸方
向）の測定を行える。まず、測定位置調整工程および傾
き調整工程によって、被測定物Ｗの内径の一方向（これ
を、Ｘ軸方向とする）について、直径位置調整および傾
き調整を行い、続いて、Ｙテーブル３０をＺ軸を中心と
して旋回させたのち、再び測定位置調整工程および傾き
調整工程によって、被測定物Ｗの内径のＹ軸方向につい
て、直径位置調整および傾き調整を行うようにしたか
ら、被測定物Ｗの内径の２方向について、セット替えな
しに測定することができる。

【００３１】この場合、旋回機構Ａは、昇降テーブル１
３の上面にＺ軸を中心として旋回可能に設けられた回転
板２２を含み、第１の直線移動機構Ｂは、回転板２２の
上面に支持ブロック２３を介してＸ軸と平行に設けられ
たガイドロッド２４と、このガイドロッ２４ドに移動可
能に設けられたＸスライダ２５とを含み、第２の直線移
動機構Ｃは、Ｘスライダ２５に板ばね２７を介して連結
された支持ブロック２８と、この支持ブロック２８に移
動可能にかつＹ軸と平行に設けられたガイドロッド２９
と、このガイドロッド２９とＹテーブル３０とを連結す
る連結ブロック２９Ａとを含んみ構成されているから、
つまり、第２の直線移動機構ＣはＺ軸方向に弾性変形可
能な板ばね２７を含んで構成されているから、Ｙテーブ
ル３０にかかる荷重によってＹテーブル３０にＺ軸向の
変形が生じても、それを板ばね２７によって吸収できる
から、Ｙテーブル３０にかかる荷重の影響を各機構Ａ，
Ｂ，Ｃに与えることがない。

【００３２】また、昇降テーブル１３の上面には、Ｙテ
ーブル３０の下面に接しＹテーブル３０およびそれにか
かる荷重を受けるとともに、Ｙテーブル３０を異なる
Ｘ，Ｙ軸方向へ移動可能にかつＺ軸と中心として旋回可
能に支持する摺動面３２を形成したので、Ｙテーブル３
０の重量およびそのＹテーブル３０にかかる荷重が昇降
テーブル１３の摺動面３２で受けられているから、Ｙテ
ーブル３０を移動させるための機構Ａ，Ｂ，Ｃの変形を
防止でき、精度確保が可能である。また、各機構Ａ，
Ｂ，Ｃの変形を防ぐために大がかりな構成にしなくても
よいから、安価に構成できる。

【００３３】しかも、摺動面３２をＺ軸を中心とする円
周上に形成したので、テーブル３５上の片寄った位置に
被測定物Ｗが載置されても、Ｙテーブル３０を安定した
姿勢で昇降テーブル１３上に移動可能に支持することが
できる。しかも、摺動面３２には低摩擦部材３２Ａを介
在したので、Ｙテーブル３０の移動を円滑に行うことが
できる。また、この円周上に形成された摺動面３２の内
側でＹテーブル３０の下面に凹部３４を形成し、この凹
部３４内に前記旋回機構Ａ、第１の直線移動機構Ｂおよ
び第２の直線移動機構Ｃを収納したので、装置全体をコ
ンパクトに構成できる。

【００３４】なお、上記実施形態では、テーブル装置１
０を、昇降機構１１と、旋回機構Ａ、第１の直線移動機
構Ｂおよび第２の直線移動機構Ｃを有するＸ−Ｙ移動お
よび旋回機構２１と、傾き調整機構３６とを含んで構成
したが、旋回機構Ａ、第１の直線移動機構Ｂおよび第２
の直線移動機構Ｃのうちの少なくとも２つの機構を備え
ていればよい。たとえば、第１の直線移動機構Ｂと第２
の直線移動機構Ｃの組合せ、第１の直線移動機構Ｂと旋
回機構Ａの組合せ、あるいは、第２の直線移動機構Ｃと
旋回機構Ａとの組合せでもよい。

【００３５】第１の直線移動機構Ｂと第２の直線移動機
構Ｃの組合せの場合には、つまり、Ｘ−Ｙ移動機構のみ
の場合には、摺動面３２とＺ軸を中心とする円周上に形
成しなくてもよく、矩形枠状に形成してもよい。また、
旋回機構Ａ、第１の直線移動機構Ｂおよび第２の直線移
動機構Ｃを収納するための凹部３４は、テーブル３０の
下面でなくてもよく、昇降テーブル１３の上面に形成し
てもよい。

【００３６】また、上記実施形態では、内径測定装置に
用いられるテーブル装置について説明したが、本発明
は、これに限らず、他の測定装置に用いられるテーブル
装置に適用できる。さらに、測定装置用のテーブル装置
に限らず、工作機械などの加工機械にに用いられるテー
ブル装置に適用できる。この場合、傾き調整機構３６は
なくてもよい。このようにした場合、被測定物取付テー
ブル３５を省略し、被測定物ＷをＹテーブル３０上に直
接設置するようにしてもよい。つまり、Ｙテーブル３０
が被測定物取付テーブルを兼ねる構造でもよい。

【００３７】

【発明の効果】本発明のテーブル装置によれば、移動機
構の変形などを防止して、精度確保をはかりつつ、小型
化およびコストダウンを達成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の内径測定装置を示す斜視
図である。

【図２】同上実施形態のテーブル装置を示す正面図であ
る。

【図３】図２のテーブル装置の要部を示す断面図であ
る。

【図４】図３のIV−IV線断面図である。

【図５】図３のＶ方向から見た図である。

【図６】図５のVI−VI線断面図である。

【図７】図５のVII−VII線断面図である。

【図８】同上実施形態の測定子駆動制御手段を示すエア
ー回路図である。

【図９】同上実施形態において、被測定物の直径位置と
測定軸線とを一致させるための調整を示す図である。

【図１０】図９の調整後の状態を示す図である。

【図１１】同上実施形態において、測定軸線と直交する
軸線に対する被測定物の内径の中心軸の傾きを修正する
ための調整を示す図である。

【図１２】図１１の断面図である。

【図１３】図１１および図１２の調整後の状態を示す図
である。

【符号の説明】

１３ 昇降テーブル（ベース部材） ２１ Ｘ−Ｙ移動および旋回機構 Ａ 旋回機構 Ｂ 第１の直線移動機構 Ｃ 第２の直線移動機構 ２２ 回転板 ２３ 支持ブロック ２４ ガイドロッド ２５ Ｘスライダ ２７ 板ばね ２８ 支持ブロック ２９ ガイドロッド ２９Ａ 連結ブロック ３０ Ｙテーブル ３２ 摺動面 ３２Ａ 低摩擦部材 Ｗ 被測定物

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−25163（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−235888（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−168072（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−95646（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−198882（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−83652（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−73434（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 21/00 B23Q 1/48 G12B 5/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベース部材と、このベース部材上に設け
   られたテーブルと、このテーブルを前記ベース部材に対
   して異なる少なくとも２方向へ移動させる複数の移動機
   構とを備えたテーブル装置であって、 前記移動機構は、前記ベース部材の上面にその上面に対
   して直交する第１軸線を中心として旋回可能に設けられ
   た回転板を有し、この回転板によって前記テーブルを第
   １軸線を中心として旋回させる旋回機構と、前記テーブ
   ルを前記第１軸線に対して直交する第２軸線方向へ直線
   移動させる第１の直線移動機構と、前記テーブルを前記
   第１軸線および第２軸線に対して直交する第３軸線方向
   へ直線移動させる第２の直線移動機構とを備え、 前記ベース部材の上面には、前記テーブルの下面に接し
   前記テーブルおよびそのテーブルにかかる荷重を受ける
   とともに、前記テーブルを移動可能に支持する摺動面を
   形成したことを特徴とするテーブル装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のテーブル装置におい
   て、前 記第１の直線移動機構は、前記回転板の上面に支持ブ
   ロックを介して前記第２軸線と平行に設けられたガイド
   ロッドと、このガイドロッドに移動可能に設けられたス
   ライダとを含み、 前記第２の直線移動機構は、前記スライダに前記第１軸
   線方向へ弾性変形可能な板ばねを介して連結された支持
   ブロックと、この支持ブロックに移動可能にかつ前記第
   ３軸線と平行に設けられたガイドロッドと、このガイド
   ロッドと前記テーブルとを連結する連結ブロックとを含
   むことを特徴とするテーブル装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載のテーブ
   ル装置において、 前記摺動面は、前記第１軸線を中心とする円周上に形成
   され、 前記旋回機構、第１の直線移動機構および第２の直線移
   動機構は、前記円周上に形成された摺動面の内側でかつ
   前記テーブルの下面に形成された凹部内に収納されてい
   ることを特徴とするテーブル装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のテーブル装置におい
   て、 前記摺動面には、低摩擦部材が介在されていることを特
   徴とするテーブル装置。