JP2992625B2 - 形状測定機 - Google Patents
形状測定機Info
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- JP2992625B2 JP2992625B2 JP6185918A JP18591894A JP2992625B2 JP 2992625 B2 JP2992625 B2 JP 2992625B2 JP 6185918 A JP6185918 A JP 6185918A JP 18591894 A JP18591894 A JP 18591894A JP 2992625 B2 JP2992625 B2 JP 2992625B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は形状測定機に係り、レン
ズ等を含む円弧を有する全ての被測定物を対象とする
が、本実施例においては特に軸受等の円弧溝の形状を測
定する形状測定機を取り上げる。
ズ等を含む円弧を有する全ての被測定物を対象とする
が、本実施例においては特に軸受等の円弧溝の形状を測
定する形状測定機を取り上げる。
【０００２】
【従来の技術】従来、軸受の円弧溝の形状を測定する装
置として、特開昭６３−３６１０７号公報で提案された
形状測定装置が知られている。この形状測定装置によれ
ばスタイラスに設けられた触針を被測定用軸受の円弧溝
に沿って移動させてその形状を測定する。
置として、特開昭６３−３６１０７号公報で提案された
形状測定装置が知られている。この形状測定装置によれ
ばスタイラスに設けられた触針を被測定用軸受の円弧溝
に沿って移動させてその形状を測定する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
６３−３６１０７号公報の形状測定装置は触針をカム機
構で移動させるので、触針の移動パターンがカム機構で
規制される。また、この形状測定装置は触針の移動量を
差動トランスで検出するので測定範囲が狭い。これによ
り、被測定用軸受の品種が異なる毎にその品種に合わせ
て取付け治具を選択して、それぞれの被測定用軸受の円
弧溝を触針の移動パターンに合わせる必要がある。従っ
て、被測定用軸受の品種に合わせて多数の取付け治具を
用意しなければならないという問題がある。
６３−３６１０７号公報の形状測定装置は触針をカム機
構で移動させるので、触針の移動パターンがカム機構で
規制される。また、この形状測定装置は触針の移動量を
差動トランスで検出するので測定範囲が狭い。これによ
り、被測定用軸受の品種が異なる毎にその品種に合わせ
て取付け治具を選択して、それぞれの被測定用軸受の円
弧溝を触針の移動パターンに合わせる必要がある。従っ
て、被測定用軸受の品種に合わせて多数の取付け治具を
用意しなければならないという問題がある。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、多数の取付け治具を用意せずに品種の異なる軸
受の円弧溝の形状を測定することができる形状測定機を
提供することを目的とする。
もので、多数の取付け治具を用意せずに品種の異なる軸
受の円弧溝の形状を測定することができる形状測定機を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に支持し
た触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測定
物の表面形状を測定する形状測定機において、Ｚ軸方向
のガイド面に沿ってＺ軸方向に移動自在に支持された昇
降体と、前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラ
スをＸ軸方向に揺動自在に支持する支点と、前記スタイ
ラスのＸ軸方向の揺動量を検知するＸ軸スケールと、前
記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラクト
手段と、前記昇降体の重量を自重でＺ軸方向に関してバ
ランスするウエイト部材と、前記昇降体をＺ軸方向に移
動する移動手段と、前記昇降体のＺ軸方向の移動量を検
出するＺ軸スケールとを備え、前記Ｚ軸スケールのプラ
ンジャは前記触針と前記支点とを結ぶほぼ直線上に位置
し、且つ前記昇降体の直下に配置したことを特徴として
いる。
成する為に、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に支持し
た触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測定
物の表面形状を測定する形状測定機において、Ｚ軸方向
のガイド面に沿ってＺ軸方向に移動自在に支持された昇
降体と、前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラ
スをＸ軸方向に揺動自在に支持する支点と、前記スタイ
ラスのＸ軸方向の揺動量を検知するＸ軸スケールと、前
記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラクト
手段と、前記昇降体の重量を自重でＺ軸方向に関してバ
ランスするウエイト部材と、前記昇降体をＺ軸方向に移
動する移動手段と、前記昇降体のＺ軸方向の移動量を検
出するＺ軸スケールとを備え、前記Ｚ軸スケールのプラ
ンジャは前記触針と前記支点とを結ぶほぼ直線上に位置
し、且つ前記昇降体の直下に配置したことを特徴として
いる。
【０００６】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に支持した触針を
被測定物の表面に沿って移動させて前記被測定物の表面
形状を測定する形状測定機において、Ｚ軸方向のガイド
面に沿ってＺ軸方向に移動自在に支持された昇降体と、
前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをＸ軸
方向に揺動自在に支持する支点と、前記スタイラスのＸ
軸方向の揺動量を検知するＸ軸スケールと、前記昇降体
の重量を自重でＺ軸方向に関してバランスするウエイト
部材と、前記昇降体をＺ軸方向に移動する移動手段と、
前記昇降体のＺ軸方向の移動量を検出するＺ軸スケール
と、前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリト
ラクト手段とを備え、前記リトラクト手段は、モータに
連動している回動部材を有するとともに前記スタイラス
と係合可能な部分を備え、前記モータを回動して前記ス
タイラスを回動部材に係合してリトラクト位置まで逃が
すとともに、測定時には前記モータを回動して係合部材
を前記スタイラスから退避させることを特徴としてい
る。さらに、本発明は、前記目的を達成する為に、Ｘ軸
方向及びＺ軸方向に移動自在に支持した触針を被測定物
の表面に沿って移動させて前記被測定物の表面形状を測
定する形状測定機において、Ｚ軸方向のガイド面に沿っ
てＺ軸方向に移動自在に支持された昇降体と、前記昇降
体に設けられ、触針を備えたスタイラスをＸ軸方向に揺
動自在に支持する支点と、前記支点を保持する保持枠
と、前記スタイラスのＸ軸方向の揺動量を検知するＸ軸
スケールと、前記スタイラスをリトラクト位置に保持可
能なリトラクト手段と、前記昇降体の重量を自重でＺ軸
方向に関してバランスするウエイト部材と、前記昇降体
をＺ軸方向に移動する移動手段と、前記昇降体のＺ軸方
向の移動量を検出するＺ軸スケールと、前記スタイラス
を含む保持枠が障害物に干渉した場合に該保持枠と前記
昇降体とが相対的に移動する逃げ機構とを備えたことを
特徴としている。
に、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に支持した触針を
被測定物の表面に沿って移動させて前記被測定物の表面
形状を測定する形状測定機において、Ｚ軸方向のガイド
面に沿ってＺ軸方向に移動自在に支持された昇降体と、
前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをＸ軸
方向に揺動自在に支持する支点と、前記スタイラスのＸ
軸方向の揺動量を検知するＸ軸スケールと、前記昇降体
の重量を自重でＺ軸方向に関してバランスするウエイト
部材と、前記昇降体をＺ軸方向に移動する移動手段と、
前記昇降体のＺ軸方向の移動量を検出するＺ軸スケール
と、前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリト
ラクト手段とを備え、前記リトラクト手段は、モータに
連動している回動部材を有するとともに前記スタイラス
と係合可能な部分を備え、前記モータを回動して前記ス
タイラスを回動部材に係合してリトラクト位置まで逃が
すとともに、測定時には前記モータを回動して係合部材
を前記スタイラスから退避させることを特徴としてい
る。さらに、本発明は、前記目的を達成する為に、Ｘ軸
方向及びＺ軸方向に移動自在に支持した触針を被測定物
の表面に沿って移動させて前記被測定物の表面形状を測
定する形状測定機において、Ｚ軸方向のガイド面に沿っ
てＺ軸方向に移動自在に支持された昇降体と、前記昇降
体に設けられ、触針を備えたスタイラスをＸ軸方向に揺
動自在に支持する支点と、前記支点を保持する保持枠
と、前記スタイラスのＸ軸方向の揺動量を検知するＸ軸
スケールと、前記スタイラスをリトラクト位置に保持可
能なリトラクト手段と、前記昇降体の重量を自重でＺ軸
方向に関してバランスするウエイト部材と、前記昇降体
をＺ軸方向に移動する移動手段と、前記昇降体のＺ軸方
向の移動量を検出するＺ軸スケールと、前記スタイラス
を含む保持枠が障害物に干渉した場合に該保持枠と前記
昇降体とが相対的に移動する逃げ機構とを備えたことを
特徴としている。
【０００７】
【作用】本発明によれば、昇降体を本体のガイド面に沿
ってＺ軸方向に移動自在に支持し、この昇降体に触針を
備えたスタイラスをＸ軸方向に揺動自在に支持した。昇
降手段は昇降体がＺ軸方向に移動し、Ｚ軸スケールは昇
降体のＺ軸方向の移動量を検出する。また、昇降体に揺
動自在に支持されたスタイラスにはウエイト部材が連結
され、このウエイト部材は自重でスタイラスをＺ軸方向
と平行に維持する。そして、リトラクト手段はスタイラ
スをリトラクト位置に保持し、Ｘ軸スケールはスタイラ
スのＸ軸方向の揺動量を検知する。
ってＺ軸方向に移動自在に支持し、この昇降体に触針を
備えたスタイラスをＸ軸方向に揺動自在に支持した。昇
降手段は昇降体がＺ軸方向に移動し、Ｚ軸スケールは昇
降体のＺ軸方向の移動量を検出する。また、昇降体に揺
動自在に支持されたスタイラスにはウエイト部材が連結
され、このウエイト部材は自重でスタイラスをＺ軸方向
と平行に維持する。そして、リトラクト手段はスタイラ
スをリトラクト位置に保持し、Ｘ軸スケールはスタイラ
スのＸ軸方向の揺動量を検知する。
【０００８】このように、触針はＺ軸方向に直線状に移
動するので触針のＺ軸方向の測定範囲を任意に設定する
ことができる。従って、触針の移動パターンを被測定物
の形状に合わせて設定することができる。また、本発明
によれば、Ｘ軸スケール及びＺ軸スケールに光学式モア
レ縞スケースを使用したので、測定範囲を広く設定する
ことができる。
動するので触針のＺ軸方向の測定範囲を任意に設定する
ことができる。従って、触針の移動パターンを被測定物
の形状に合わせて設定することができる。また、本発明
によれば、Ｘ軸スケール及びＺ軸スケールに光学式モア
レ縞スケースを使用したので、測定範囲を広く設定する
ことができる。
【０００９】さらに、本発明によれば、Ｚ軸スケール及
びＸ軸スケールの測定データは測定指示部に入力され、
この測定指示部は入力された測定データに基づいて被測
定物の形状を算出する。そして、算出値に基づいて被測
定物の良品・不良品を判定する。従って、被測定物の良
品不良品の判定ミスがない。
びＸ軸スケールの測定データは測定指示部に入力され、
この測定指示部は入力された測定データに基づいて被測
定物の形状を算出する。そして、算出値に基づいて被測
定物の良品・不良品を判定する。従って、被測定物の良
品不良品の判定ミスがない。
【００１０】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る形状測定
機について詳説する。図１は本発明に係る形状測定機１
０の正面図を示し、図２は本発明に係る形状測定機１０
のブロック図を示す。図１に示すように形状測定機１０
は本体１２を備え、本体１２内の中央には載置台１２Ａ
が平行に取り付けられている。載置台１２Ａには測定装
置１４が載置され、本体１２の上端部には測定指示部１
６が取り付けられている。測定指示部１６はディスプレ
イ１６Ａを備えている。また、測定指示部１６の右側に
はキーボード１７が設けられている。
機について詳説する。図１は本発明に係る形状測定機１
０の正面図を示し、図２は本発明に係る形状測定機１０
のブロック図を示す。図１に示すように形状測定機１０
は本体１２を備え、本体１２内の中央には載置台１２Ａ
が平行に取り付けられている。載置台１２Ａには測定装
置１４が載置され、本体１２の上端部には測定指示部１
６が取り付けられている。測定指示部１６はディスプレ
イ１６Ａを備えている。また、測定指示部１６の右側に
はキーボード１７が設けられている。
【００１１】図３に示すように、測定装置１４はケーシ
ング１５を有し、ケーシング１５内には固定部１８が形
成されている。固定部１８にはボールねじ２０が回動自
在に支持されている。ボールねじ２０の下端部はギアボ
ックス２２内で、図示しないギアを介してモータ２４に
回転力を伝達可能に連結されている。また、ボールねじ
２０には移動駒２６がねじ結合されている。図４に示す
ように、移動駒２６の両端部にはピアノ線２８、２８が
挟持され、ピアノ線２８の両端部はガイド駒３０、３０
に取り付けられている。
ング１５を有し、ケーシング１５内には固定部１８が形
成されている。固定部１８にはボールねじ２０が回動自
在に支持されている。ボールねじ２０の下端部はギアボ
ックス２２内で、図示しないギアを介してモータ２４に
回転力を伝達可能に連結されている。また、ボールねじ
２０には移動駒２６がねじ結合されている。図４に示す
ように、移動駒２６の両端部にはピアノ線２８、２８が
挟持され、ピアノ線２８の両端部はガイド駒３０、３０
に取り付けられている。
【００１２】ガイド駒３０、３０はそれぞれスライダ３
２に固定されている。スライダ３２は固定部１８の右端
部の滑り軸受に昇降自在に支持されている。従って、モ
ータ２４が駆動するとギアボックス２２内のギアを介し
てボールねじ２０に回転力が伝達され、ボールねじ２０
が回転して移動駒２６が昇降する。従って、ピアノ線２
８、２８及びガイド駒３０、３０を介してスライダ３２
が固定部１８の滑り軸受に沿って昇降する。この場合、
固定部１８の滑り軸受の接触面が広いのでスライダ３２
が滑り軸受に接触したときの面圧を低く抑えることがで
きる。従って、スライダ３２は対摩耗性に優れ、寿命が
長くなる。
２に固定されている。スライダ３２は固定部１８の右端
部の滑り軸受に昇降自在に支持されている。従って、モ
ータ２４が駆動するとギアボックス２２内のギアを介し
てボールねじ２０に回転力が伝達され、ボールねじ２０
が回転して移動駒２６が昇降する。従って、ピアノ線２
８、２８及びガイド駒３０、３０を介してスライダ３２
が固定部１８の滑り軸受に沿って昇降する。この場合、
固定部１８の滑り軸受の接触面が広いのでスライダ３２
が滑り軸受に接触したときの面圧を低く抑えることがで
きる。従って、スライダ３２は対摩耗性に優れ、寿命が
長くなる。
【００１３】また、スライダ３２の上端部にはワイヤ３
４の一端部が取り付けられている。ワイヤ３４は滑車３
６Ａ、３６Ｂを介して固定部１８の左側部に延長され、
ワイヤ３４の他端部にはウエイト３８が取り付けられて
いる。ウエイト３８は固定部１８の左端部に昇降自在に
支持されている。これにより、スライダ３２にはウエイ
ト３８の荷重で上方向に引き上げられる力が作用するの
で、スライダ３２は円滑に昇降する。
４の一端部が取り付けられている。ワイヤ３４は滑車３
６Ａ、３６Ｂを介して固定部１８の左側部に延長され、
ワイヤ３４の他端部にはウエイト３８が取り付けられて
いる。ウエイト３８は固定部１８の左端部に昇降自在に
支持されている。これにより、スライダ３２にはウエイ
ト３８の荷重で上方向に引き上げられる力が作用するの
で、スライダ３２は円滑に昇降する。
【００１４】図３に示すように、スライダ３２の右側部
には板ばね４０Ａ、４０Ｂを介して保持枠４２が取り付
けられている。保持枠４２の下端部４２Ａには突起４４
が設けられ、突起４４はＺ軸スケール４６のピン４６Ａ
に当接している。これにより、保持枠４２の上下方向の
移動量（Ｚ方向）はＺ軸スケール４６で検出される。Ｚ
軸スケール４６には光学式モアレ縞スケールや干渉計等
が使用される。従って、Ｚ軸方向の測定範囲を広く設定
することができる。
には板ばね４０Ａ、４０Ｂを介して保持枠４２が取り付
けられている。保持枠４２の下端部４２Ａには突起４４
が設けられ、突起４４はＺ軸スケール４６のピン４６Ａ
に当接している。これにより、保持枠４２の上下方向の
移動量（Ｚ方向）はＺ軸スケール４６で検出される。Ｚ
軸スケール４６には光学式モアレ縞スケールや干渉計等
が使用される。従って、Ｚ軸方向の測定範囲を広く設定
することができる。
【００１５】図５に示すように、保持枠４２内には揺動
体４８がシャフト５０を介して揺動自在に支持されてい
る。揺動体４８の上端部にはスタイラス６８が取り付け
られ、スタイラス６８の先端部には触針７０が固定され
ている。触針７０はルビー製やダイヤモンド製等ののも
のが使用される。また、揺動体４８の上端部には押圧ピ
ン５６が取り付けられ、押圧ピン５６のフランジ部５６
Ａにはばね５８、５８の一端が係止されている。
体４８がシャフト５０を介して揺動自在に支持されてい
る。揺動体４８の上端部にはスタイラス６８が取り付け
られ、スタイラス６８の先端部には触針７０が固定され
ている。触針７０はルビー製やダイヤモンド製等ののも
のが使用される。また、揺動体４８の上端部には押圧ピ
ン５６が取り付けられ、押圧ピン５６のフランジ部５６
Ａにはばね５８、５８の一端が係止されている。
【００１６】ばね５８、５８の他端はフランジ部６０Ａ
に係止され、フランジ部６０ＡはＸ軸スケール６２のシ
ャフト６０の先端部に形成されている。Ｘ軸スケール６
２は保持枠４２に固定されている。このように、ばね５
８、５８をフランジ部５６Ａとフランジ部６０Ａとに係
止することにより、ばね５８、５８の付勢力で押圧ピン
５６の先端部とシャフト６０の先端部とが当接する。こ
の場合、触針７０は円弧移動することになるが、押圧ピ
ン５６とシャフト６０とが切り離されているので、Ｘ軸
スケール６２はＸ軸方向にのみ移動して触針７０のＸ軸
方向の移動量を正確に検出する。
に係止され、フランジ部６０ＡはＸ軸スケール６２のシ
ャフト６０の先端部に形成されている。Ｘ軸スケール６
２は保持枠４２に固定されている。このように、ばね５
８、５８をフランジ部５６Ａとフランジ部６０Ａとに係
止することにより、ばね５８、５８の付勢力で押圧ピン
５６の先端部とシャフト６０の先端部とが当接する。こ
の場合、触針７０は円弧移動することになるが、押圧ピ
ン５６とシャフト６０とが切り離されているので、Ｘ軸
スケール６２はＸ軸方向にのみ移動して触針７０のＸ軸
方向の移動量を正確に検出する。
【００１７】Ｘ軸スケール６２は光学式モアレ縞スケー
ルを使用している。従って、Ｘ軸方向の測定範囲を広く
設定することができる。押圧ピン５６の後端部にはバー
６４を介して原点検出手段６６の針ピン６６Ａが設けら
れている。原点検出手段６６は保持枠４２に固定され、
この原点検出手段６６は、スタイラス６８を垂直状態に
調整することができる。従って、原点検出手段６６は、
後述する軸受８６に対して触針７０が直角度を維持する
ように触針７０の向きを調整することができる。尚、原
点検出手段６６、Ｘ軸スケール６２及びＺ軸スケール４
６は、一体型防塵構造の汎用品が使用されているので、
現場の環境に対応することが可能で、かつ保守性に優れ
ている。
ルを使用している。従って、Ｘ軸方向の測定範囲を広く
設定することができる。押圧ピン５６の後端部にはバー
６４を介して原点検出手段６６の針ピン６６Ａが設けら
れている。原点検出手段６６は保持枠４２に固定され、
この原点検出手段６６は、スタイラス６８を垂直状態に
調整することができる。従って、原点検出手段６６は、
後述する軸受８６に対して触針７０が直角度を維持する
ように触針７０の向きを調整することができる。尚、原
点検出手段６６、Ｘ軸スケール６２及びＺ軸スケール４
６は、一体型防塵構造の汎用品が使用されているので、
現場の環境に対応することが可能で、かつ保守性に優れ
ている。
【００１８】そして、揺動体４８の下端部にはボルト５
２を介してウエイト５４が取り付けられている。ウエイ
ト５４の重量は、揺動体４８をシャフト５０を介して垂
直状態（すなわち、原点検出手段６６の針ピン６６Ａが
原点位置に位置する。）に維持するように設定されてい
る。押圧ピン５６の下方の揺動体４８には制御ピン７２
が設けられ、制御ピン７２の両端部の７２Ａ、７２Ｂは
保持枠４２の左右の側部から突出している（図６参
照）。図６上で保持枠４２の右側部には回転板７４が回
動自在に支持されている。図７に示すように、回転板７
４にはモータ７５が回転力を伝達可能に連結されてい
る。また、回転板７４には原点検出手段７６が設けら
れ、原点検出手段７６の針ピン７６Ａは保持枠４２に固
定されている。このように、原点検出手段７６は回転板
７４に連結されているので外力に対して十分な強度を得
ることができる。そして、原点検出手段７６は回転板７
４の回動角を検出する。
２を介してウエイト５４が取り付けられている。ウエイ
ト５４の重量は、揺動体４８をシャフト５０を介して垂
直状態（すなわち、原点検出手段６６の針ピン６６Ａが
原点位置に位置する。）に維持するように設定されてい
る。押圧ピン５６の下方の揺動体４８には制御ピン７２
が設けられ、制御ピン７２の両端部の７２Ａ、７２Ｂは
保持枠４２の左右の側部から突出している（図６参
照）。図６上で保持枠４２の右側部には回転板７４が回
動自在に支持されている。図７に示すように、回転板７
４にはモータ７５が回転力を伝達可能に連結されてい
る。また、回転板７４には原点検出手段７６が設けら
れ、原点検出手段７６の針ピン７６Ａは保持枠４２に固
定されている。このように、原点検出手段７６は回転板
７４に連結されているので外力に対して十分な強度を得
ることができる。そして、原点検出手段７６は回転板７
４の回動角を検出する。
【００１９】回転板７４には制御溝７４Ａが形成され、
制御溝７４Ａの中央に制御ピン７２が位置している。こ
のように、制御溝７４Ａの中央に制御ピン７２が位置し
ているとき、原点検出手段７６の針ピン７６Ａは原点位
置に位置する。この位置から、モータ７６を駆動して回
転板７４を反時計回り方向に回動すると、制御溝７４Ａ
の右壁部７４Ａ′が制御ピン７２の右端部７２Ａに当接
して、揺動体４８はシャフト５０を中心にして反時計回
り方向に回動する。これにより、図６上でスタイラス６
８は揺動してリトラクト位置に位置する。
制御溝７４Ａの中央に制御ピン７２が位置している。こ
のように、制御溝７４Ａの中央に制御ピン７２が位置し
ているとき、原点検出手段７６の針ピン７６Ａは原点位
置に位置する。この位置から、モータ７６を駆動して回
転板７４を反時計回り方向に回動すると、制御溝７４Ａ
の右壁部７４Ａ′が制御ピン７２の右端部７２Ａに当接
して、揺動体４８はシャフト５０を中心にして反時計回
り方向に回動する。これにより、図６上でスタイラス６
８は揺動してリトラクト位置に位置する。
【００２０】次に、モータ７５を逆転してプーリ７４を
時計回り方向に回動すると、制御溝７４Ａの右壁部７４
Ａ′と制御ピン７２の左端部７２Ａとの当接が解除され
る。これにより、揺動体４８はウエイト５４の重量でシ
ャフト５０を介して時計回り方向に回動する。この場
合、触針７０の時計回り方向及び反時計回り方向（Ｘ方
向）の移動量はＸ軸スケール６２で検出される。
時計回り方向に回動すると、制御溝７４Ａの右壁部７４
Ａ′と制御ピン７２の左端部７２Ａとの当接が解除され
る。これにより、揺動体４８はウエイト５４の重量でシ
ャフト５０を介して時計回り方向に回動する。この場
合、触針７０の時計回り方向及び反時計回り方向（Ｘ方
向）の移動量はＸ軸スケール６２で検出される。
【００２１】図５に示すように、スライダ３２と保持枠
４２との間には上下動検出スイッチ７８が設けられてい
る。上下動検出スイッチ７８は板ばね４０Ａ、４０Ｂの
撓みを検出する。すなわち、上下動検出スイッチ７８は
第１接点部８０Ａ及び第２接点部８０Ｂを有し、保持枠
４２の上昇時に保持枠４２が障害物に干渉して板ばね４
０Ａ、４０Ｂに撓みが生じた場合、第１接点部８０Ａの
接触状態が解除される。これにより、板ばね４０Ａ、４
０Ｂの撓みが検出される。
４２との間には上下動検出スイッチ７８が設けられてい
る。上下動検出スイッチ７８は板ばね４０Ａ、４０Ｂの
撓みを検出する。すなわち、上下動検出スイッチ７８は
第１接点部８０Ａ及び第２接点部８０Ｂを有し、保持枠
４２の上昇時に保持枠４２が障害物に干渉して板ばね４
０Ａ、４０Ｂに撓みが生じた場合、第１接点部８０Ａの
接触状態が解除される。これにより、板ばね４０Ａ、４
０Ｂの撓みが検出される。
【００２２】また、保持枠４２の下降時に保持枠４２が
障害物に干渉して板ばね４０Ａ、４０Ｂに撓みが生じた
場合、板ばね８２が撓んで第１接点部８０Ａが上昇す
る。これにより、第２接点部８０Ｂの接触状態が解除さ
れて板ばね４０Ａ、４０Ｂの撓みが検出される。従っ
て、保持枠４２の昇降時の板ばね４０Ａ、４０Ｂの撓み
が検出される。
障害物に干渉して板ばね４０Ａ、４０Ｂに撓みが生じた
場合、板ばね８２が撓んで第１接点部８０Ａが上昇す
る。これにより、第２接点部８０Ｂの接触状態が解除さ
れて板ばね４０Ａ、４０Ｂの撓みが検出される。従っ
て、保持枠４２の昇降時の板ばね４０Ａ、４０Ｂの撓み
が検出される。
【００２３】図８に示すように、測定装置１４のケーシ
ング１５の上端部には取付け治具１００が取り付けられ
ている。すなわち、測定装置１４のケーシング１５の上
端部には位置決めピン１０２が設けられ、位置決めピン
１０２で位置決めされたプレート１０４が取り付けられ
ている。プレート１０４の中央部には長穴１０４Ａが形
成され（図９参照）、長穴１０４Ａの両側には位置決め
ピン１０６Ａ、１０６Ｂが立設されている。
ング１５の上端部には取付け治具１００が取り付けられ
ている。すなわち、測定装置１４のケーシング１５の上
端部には位置決めピン１０２が設けられ、位置決めピン
１０２で位置決めされたプレート１０４が取り付けられ
ている。プレート１０４の中央部には長穴１０４Ａが形
成され（図９参照）、長穴１０４Ａの両側には位置決め
ピン１０６Ａ、１０６Ｂが立設されている。
【００２４】位置決めピン１０６Ａ、１０６Ｂの右側に
は押付けブロック１０８が載置され、押付けブロック１
０８には長穴１０８Ａが形成されている。長穴１０８Ａ
には下部に押付け移動ブロック１０８Ｂがあり、押付け
移動ブロック１０８Ｂは図示しないスプリングで常に軸
受８６に押圧を加え係止している。押付け移動ブロック
には長穴１０８Ａを介してスプリングの押圧力を解放す
るためのつまみ用のボルト１１０が螺着されている。
は押付けブロック１０８が載置され、押付けブロック１
０８には長穴１０８Ａが形成されている。長穴１０８Ａ
には下部に押付け移動ブロック１０８Ｂがあり、押付け
移動ブロック１０８Ｂは図示しないスプリングで常に軸
受８６に押圧を加え係止している。押付け移動ブロック
には長穴１０８Ａを介してスプリングの押圧力を解放す
るためのつまみ用のボルト１１０が螺着されている。
【００２５】従って、プレート１０４に載置された軸受
８６を位置決めピン１０６Ａ、１０６Ｂに当接した状態
で押付け移動ブロック１０８Ｂを軸受８６に押し付ける
ことにより、軸受８６は所定位置に位置決めされる。ま
た、スタイラス６８の先端部は長穴１０４Ａを介してケ
ーシング１５の上方に突出する。尚、スタイラス６８は
図８に示す待機位置Ｐ1 で取付け治具１００の長穴１０
４Ａ内に位置することにより取付け治具１００で保護さ
れるので、スタイラス６８を測定装置１４のケーシング
１５内に引き込む必要がない。
８６を位置決めピン１０６Ａ、１０６Ｂに当接した状態
で押付け移動ブロック１０８Ｂを軸受８６に押し付ける
ことにより、軸受８６は所定位置に位置決めされる。ま
た、スタイラス６８の先端部は長穴１０４Ａを介してケ
ーシング１５の上方に突出する。尚、スタイラス６８は
図８に示す待機位置Ｐ1 で取付け治具１００の長穴１０
４Ａ内に位置することにより取付け治具１００で保護さ
れるので、スタイラス６８を測定装置１４のケーシング
１５内に引き込む必要がない。
【００２６】これにより、スタイラス６８の測定動作を
無駄がないように設定することができる。尚、図８及び
図９においてはインナ軸受８６の円弧溝の形状を測定す
る場合について説明したが、取付け治具を変えることに
よりアウタ軸受の円弧溝の形状を測定することもでき
る。図２に示す測定指示部１６にはキーボード１７やテ
ィーチングにより軸受８６の測定範囲、測定開始位置、
測定終了位置のデータが入力され、さらに、切捨て率の
データ（図１０参照）が入力される。そして、測定指示
部１６は切捨て率に基づいて半径算出範囲を求め、Ｐ−
Ｖ値算出範囲をデータとして求める。これらのデータは
再使用が可能なように内蔵コンピュータに登録される。
尚、これらのデータはフロッピディスク等の媒体に登録
することも可能である。
無駄がないように設定することができる。尚、図８及び
図９においてはインナ軸受８６の円弧溝の形状を測定す
る場合について説明したが、取付け治具を変えることに
よりアウタ軸受の円弧溝の形状を測定することもでき
る。図２に示す測定指示部１６にはキーボード１７やテ
ィーチングにより軸受８６の測定範囲、測定開始位置、
測定終了位置のデータが入力され、さらに、切捨て率の
データ（図１０参照）が入力される。そして、測定指示
部１６は切捨て率に基づいて半径算出範囲を求め、Ｐ−
Ｖ値算出範囲をデータとして求める。これらのデータは
再使用が可能なように内蔵コンピュータに登録される。
尚、これらのデータはフロッピディスク等の媒体に登録
することも可能である。
【００２７】測定指示部１６は、これらのデータに基づ
いて測定装置１４の触針７０の動作を制御する。これに
より、測定装置１４の触針７０は図１１に示すように、
待機位置Ｐ1 →位置Ｐ2 →位置Ｐ3 →測定開始位置Ｐ4
→測定終了位置Ｐ5 →位置Ｐ 6 →待機位置Ｐ1 …の順に
移動する。以下、図１１に基づいて触針７０の動作を説
明する。先ず、モータ７６を駆動してプーリ７４を反時
計回り方向に回動することにより制御溝７４Ａの右壁部
７４Ａ′を制御ピン７２の右端部７２Ａに当接する。こ
れにより、制御ピン７２がシャフト５０を中心にして反
時計回り方向に回動するので、触針７０は待機位置Ｐ1
からリトラクト位置Ｐ2 までＸ軸に沿って左方向に移動
する。
いて測定装置１４の触針７０の動作を制御する。これに
より、測定装置１４の触針７０は図１１に示すように、
待機位置Ｐ1 →位置Ｐ2 →位置Ｐ3 →測定開始位置Ｐ4
→測定終了位置Ｐ5 →位置Ｐ 6 →待機位置Ｐ1 …の順に
移動する。以下、図１１に基づいて触針７０の動作を説
明する。先ず、モータ７６を駆動してプーリ７４を反時
計回り方向に回動することにより制御溝７４Ａの右壁部
７４Ａ′を制御ピン７２の右端部７２Ａに当接する。こ
れにより、制御ピン７２がシャフト５０を中心にして反
時計回り方向に回動するので、触針７０は待機位置Ｐ1
からリトラクト位置Ｐ2 までＸ軸に沿って左方向に移動
する。
【００２８】次に、モータ２４を駆動してギアボックス
２２内のギアを介してボールねじ２０に回転力を伝達す
る。これにより、ボールねじ２０が回転して移動駒２６
が昇降するので、ピアノ線２８、２８及びガイド駒３
０、３０を介してスライダ３２が固定部１８の滑り軸受
に沿ってＺ軸方向に上昇する。従って、スライダ３２に
板ばね４０Ａ、４０Ｂを介して取り付けられている保持
枠４２がＺ軸方向に上昇する。これにより、保持枠４２
に支持されているスタイラス６８を介して触針７０がＺ
軸方向に上昇して位置Ｐ3 に到達する。
２２内のギアを介してボールねじ２０に回転力を伝達す
る。これにより、ボールねじ２０が回転して移動駒２６
が昇降するので、ピアノ線２８、２８及びガイド駒３
０、３０を介してスライダ３２が固定部１８の滑り軸受
に沿ってＺ軸方向に上昇する。従って、スライダ３２に
板ばね４０Ａ、４０Ｂを介して取り付けられている保持
枠４２がＺ軸方向に上昇する。これにより、保持枠４２
に支持されているスタイラス６８を介して触針７０がＺ
軸方向に上昇して位置Ｐ3 に到達する。
【００２９】次いで、モータ７６を逆転してプーリ７４
を時計回り方向に回動すると、制御溝７４Ａの右壁部７
４Ａ′と制御ピン７２の右端部７２Ａとの当接が解除さ
れる。これにより、揺動体４８はウエイト５４の重量で
揺動体４８をシャフト５０を介して時計回り方向に回動
する。従って、触針７０はＸ軸に沿って右方向に移動し
て測定開始位置Ｐ4 に接触する。この場合、スタイラス
６８は測定状態に維持される。
を時計回り方向に回動すると、制御溝７４Ａの右壁部７
４Ａ′と制御ピン７２の右端部７２Ａとの当接が解除さ
れる。これにより、揺動体４８はウエイト５４の重量で
揺動体４８をシャフト５０を介して時計回り方向に回動
する。従って、触針７０はＸ軸に沿って右方向に移動し
て測定開始位置Ｐ4 に接触する。この場合、スタイラス
６８は測定状態に維持される。
【００３０】続いて、モータ２４を逆転してボールねじ
２０を逆回転して移動駒２６を下降させることによりス
ライダ３２がＺ軸方向に下降する。これにより、スライ
ダ３２に取り付けられている保持枠４２を介して触針７
０がＺ軸方向に下降する。この場合、ウエイト５４の自
重でスタイラス６８が右方向に移動するので、触針７０
は軸受８６の円弧溝に沿って移動して測定終了位置Ｐ5
に到達する。これにより、軸受８６の円弧溝の形状が測
定され、この場合の触針７０の測定速度は低速に設定さ
れる。
２０を逆回転して移動駒２６を下降させることによりス
ライダ３２がＺ軸方向に下降する。これにより、スライ
ダ３２に取り付けられている保持枠４２を介して触針７
０がＺ軸方向に下降する。この場合、ウエイト５４の自
重でスタイラス６８が右方向に移動するので、触針７０
は軸受８６の円弧溝に沿って移動して測定終了位置Ｐ5
に到達する。これにより、軸受８６の円弧溝の形状が測
定され、この場合の触針７０の測定速度は低速に設定さ
れる。
【００３１】次に、モータ７６を駆動してプーリ７４を
反時計回り方向に回動することにより触針７０を測定終
了位置Ｐ5 から位置Ｐ6 までＸ軸に沿って左方向に移動
する。次いで、モータ２４を逆転し、さらにモータ７６
を逆転して触針７０を位置Ｐ 6 から待機位置Ｐ1 まで戻
す。この場合、触針７０の移動速度は、測定開始位置Ｐ
4 から測定終了位置Ｐ5 までの測定速度を低速に設定
し、それ以外の戻り速度を高速に設定した。
反時計回り方向に回動することにより触針７０を測定終
了位置Ｐ5 から位置Ｐ6 までＸ軸に沿って左方向に移動
する。次いで、モータ２４を逆転し、さらにモータ７６
を逆転して触針７０を位置Ｐ 6 から待機位置Ｐ1 まで戻
す。この場合、触針７０の移動速度は、測定開始位置Ｐ
4 から測定終了位置Ｐ5 までの測定速度を低速に設定
し、それ以外の戻り速度を高速に設定した。
【００３２】このように、測定指示部１６はデータに基
づいて、モータ２４及びモータ７６を駆動して触針７０
を待機位置Ｐ1 →リトラクト位置Ｐ2 →位置Ｐ3 →測定
開始位置Ｐ4 →測定終了位置Ｐ5 →位置Ｐ6 →待機位置
Ｐ1 …の順に移動する。この場合、測定指示部１６はス
タイラス６８の上下動作やリトラクト等をプログラムに
より任意に設定することができ、さらに、変更すること
が可能である。これにより、測定開始位置Ｐ4 、測定終
了位置Ｐ5 を任意に設定して触針７０の測定範囲を広く
設定することができる。さらに、軸受８６の品種が異な
る場合に、測定指示部１６に品種毎に測定条件を新たに
入力・登録することにより、同一の取付け治具１００で
異なる品種の軸受８６の形状を測定することができる。
づいて、モータ２４及びモータ７６を駆動して触針７０
を待機位置Ｐ1 →リトラクト位置Ｐ2 →位置Ｐ3 →測定
開始位置Ｐ4 →測定終了位置Ｐ5 →位置Ｐ6 →待機位置
Ｐ1 …の順に移動する。この場合、測定指示部１６はス
タイラス６８の上下動作やリトラクト等をプログラムに
より任意に設定することができ、さらに、変更すること
が可能である。これにより、測定開始位置Ｐ4 、測定終
了位置Ｐ5 を任意に設定して触針７０の測定範囲を広く
設定することができる。さらに、軸受８６の品種が異な
る場合に、測定指示部１６に品種毎に測定条件を新たに
入力・登録することにより、同一の取付け治具１００で
異なる品種の軸受８６の形状を測定することができる。
【００３３】このように、測定条件を新たに入力・登録
することにより、図１２に示すように軸受１２０に偏心
溝１２０Ａが形成されている場合、軸受１２０をΘ°傾
斜した状態に保持する治具を使用することにより、偏心
溝１２０Ａの測定が可能になる。また、図１３に示すよ
うに複式の軸受１２２の場合でも円弧溝１２２Ａ、１２
２Ｂを測定することができる。さらに、図１４に示すよ
うに球面ころ体１２４の場合でも球面１２４Ａを測定す
ることができる。
することにより、図１２に示すように軸受１２０に偏心
溝１２０Ａが形成されている場合、軸受１２０をΘ°傾
斜した状態に保持する治具を使用することにより、偏心
溝１２０Ａの測定が可能になる。また、図１３に示すよ
うに複式の軸受１２２の場合でも円弧溝１２２Ａ、１２
２Ｂを測定することができる。さらに、図１４に示すよ
うに球面ころ体１２４の場合でも球面１２４Ａを測定す
ることができる。
【００３４】ところで、触針７０が待機位置Ｐ1 →リト
ラクト位置Ｐ2 →位置Ｐ3 →測定開始位置Ｐ4 →測定終
了位置Ｐ5 →位置Ｐ6 →待機位置Ｐ1 …の順に移動する
際に、測定開始位置Ｐ4 →測定終了位置Ｐ5 の範囲でＺ
軸スケール４６及びＸ軸スケール６２の測定データが測
定指示部１６に入力される。これらの測定データは測定
指示部１６に記録される。
ラクト位置Ｐ2 →位置Ｐ3 →測定開始位置Ｐ4 →測定終
了位置Ｐ5 →位置Ｐ6 →待機位置Ｐ1 …の順に移動する
際に、測定開始位置Ｐ4 →測定終了位置Ｐ5 の範囲でＺ
軸スケール４６及びＸ軸スケール６２の測定データが測
定指示部１６に入力される。これらの測定データは測定
指示部１６に記録される。
【００３５】測定指示部１６は記録されたデータに基づ
いて、軸受８６の円弧溝の半径及びＰ−Ｖ（Peak to Va
lley）値を算出する。この場合、測定開始位置及び測定
終了位置が自動的に検出され、測定開始位置〜測定終了
位置間のデータに基づいて半径及びＰ−Ｖ値を算出す
る。算出された半径の円弧溝とＰ−Ｖ値に基づいて形状
誤差を比較する。
いて、軸受８６の円弧溝の半径及びＰ−Ｖ（Peak to Va
lley）値を算出する。この場合、測定開始位置及び測定
終了位置が自動的に検出され、測定開始位置〜測定終了
位置間のデータに基づいて半径及びＰ−Ｖ値を算出す
る。算出された半径の円弧溝とＰ−Ｖ値に基づいて形状
誤差を比較する。
【００３６】そして、測定指示部１６は、比較した形状
誤差が半径公差上限値、半径公差下限値を許容している
場合良品と判定し、比較した形状誤差が半径公差上限
値、半径公差下限値を許容していない場合不良品と判定
する。尚、半径公差上限値、半径公差下限値は測定範囲
と同様に、再使用が可能なように内蔵するコンピュータ
に登録され、また、フロッピディスク等の媒体に登録す
ることも可能である。
誤差が半径公差上限値、半径公差下限値を許容している
場合良品と判定し、比較した形状誤差が半径公差上限
値、半径公差下限値を許容していない場合不良品と判定
する。尚、半径公差上限値、半径公差下限値は測定範囲
と同様に、再使用が可能なように内蔵するコンピュータ
に登録され、また、フロッピディスク等の媒体に登録す
ることも可能である。
【００３７】また、マスターボールを使用して測定装置
１４の校正を行う場合、予め設定された範囲内に、算出
された半径値及びＰ−Ｖ値が入っていない場合には校正
ＮＧと判定する。そして、校正ＮＧの場合は校正が正し
く行われないとワークの測定を実施できないように設定
されている。測定指示部１６は形状誤差をグラフで曲線
として表示される（図１５参照）。
１４の校正を行う場合、予め設定された範囲内に、算出
された半径値及びＰ−Ｖ値が入っていない場合には校正
ＮＧと判定する。そして、校正ＮＧの場合は校正が正し
く行われないとワークの測定を実施できないように設定
されている。測定指示部１６は形状誤差をグラフで曲線
として表示される（図１５参照）。
【００３８】図２に示す増幅指示部８８は、測定指示部
１６からの駆動指令を処理して測定装置１４の駆動部１
４Ａに出力し、さらに、駆動部１４ＡのＺ軸スケール４
６からの移動信号を処理して測定指示部１６に出力す
る。また、増幅指示部８８は、Ｘ軸スケール６２からの
ピックアップ信号を処理して測定指示部１６に出力す
る。
１６からの駆動指令を処理して測定装置１４の駆動部１
４Ａに出力し、さらに、駆動部１４ＡのＺ軸スケール４
６からの移動信号を処理して測定指示部１６に出力す
る。また、増幅指示部８８は、Ｘ軸スケール６２からの
ピックアップ信号を処理して測定指示部１６に出力す
る。
【００３９】また、キーボード１７はデータを測定指示
部１６に入力する。例えばキーボード１７は、軸受８６
の製作図に基づいて軸受８６の測定範囲を測定指示部１
６に入力することが可能である。尚、軸受８６の測定範
囲はキーボード１７を介してキー入力する以外に、ティ
ーチングにより測定指示部１６に入力することが可能で
ある。また、図１、図２のプリンタ９２は測定指示部１
６が算出した値を用紙に印刷する。
部１６に入力する。例えばキーボード１７は、軸受８６
の製作図に基づいて軸受８６の測定範囲を測定指示部１
６に入力することが可能である。尚、軸受８６の測定範
囲はキーボード１７を介してキー入力する以外に、ティ
ーチングにより測定指示部１６に入力することが可能で
ある。また、図１、図２のプリンタ９２は測定指示部１
６が算出した値を用紙に印刷する。
【００４０】前記の如く構成された本発明に係る形状測
定機の作用を図１６のフローチャートに基づいて、デー
タをキー入力する場合について説明する。先ず、軸受８
６の製作図面から所定の値を選択し、キーボード１７を
介して軸受８６の測定範囲（測定開始位置Ｐ4 →測定終
了位置Ｐ5 ）を測定指示部１６に入力する（ステップ１
５０）。次に、測定範囲内の測定ピッチを測定指示部１
６に入力し（ステップ１５２）、ステップ１５２完了後
測定範囲内の触針７０の測定速度（１．５ｍｍ／ｓｅ
ｃ）を測定指示部１６に入力する（ステップ１５４）。
定機の作用を図１６のフローチャートに基づいて、デー
タをキー入力する場合について説明する。先ず、軸受８
６の製作図面から所定の値を選択し、キーボード１７を
介して軸受８６の測定範囲（測定開始位置Ｐ4 →測定終
了位置Ｐ5 ）を測定指示部１６に入力する（ステップ１
５０）。次に、測定範囲内の測定ピッチを測定指示部１
６に入力し（ステップ１５２）、ステップ１５２完了後
測定範囲内の触針７０の測定速度（１．５ｍｍ／ｓｅ
ｃ）を測定指示部１６に入力する（ステップ１５４）。
【００４１】次いで、軸受８６の品種に合わせて測定タ
イプ（測定ライン一定ピッチ）を設定して測定指示部１
６に入力する（ステップ１５６）。次に、軸受８６の品
種に応じて測定の自動条件（測定終了後のリトラクト）
を設定して測定指示部１６に入力する（ステップ１５
８）。自動条件入力完了後触針７０の戻り速度（６ｍｍ
／ｓｅｃ）を測定指示部１６に入力する（ステップ１６
０）。
イプ（測定ライン一定ピッチ）を設定して測定指示部１
６に入力する（ステップ１５６）。次に、軸受８６の品
種に応じて測定の自動条件（測定終了後のリトラクト）
を設定して測定指示部１６に入力する（ステップ１５
８）。自動条件入力完了後触針７０の戻り速度（６ｍｍ
／ｓｅｃ）を測定指示部１６に入力する（ステップ１６
０）。
【００４２】続いて、測定値の出力単位を（ｍｍ、ｉｎ
ｃｈ）を設定して測定指示部１６に入力し（ステップ１
６２）、さらに、触針７０をＸ軸測定開始位置に移動す
る（ステップ１６４）。ステップ１６４完了後、測定開
始の指示を測定指示部１６に入力する（ステップ１６
６）。これにより、触針７０が軸受８６の形状に沿って
移動する。この場合、ステップ１５２で入力した測定ピ
ッチに基づいて測定データが測定指示部１６に入力され
る。この状態で、測定データが所定数入力されたか否か
を判断する（ステップ１６８）。そして、測定データが
所定数入力されていない場合は測定を継続し、測定デー
タが所定数入力されない場合は触針７０をＸ軸待機位置
まで移動して測定を終了する（ステップ１７０）。
ｃｈ）を設定して測定指示部１６に入力し（ステップ１
６２）、さらに、触針７０をＸ軸測定開始位置に移動す
る（ステップ１６４）。ステップ１６４完了後、測定開
始の指示を測定指示部１６に入力する（ステップ１６
６）。これにより、触針７０が軸受８６の形状に沿って
移動する。この場合、ステップ１５２で入力した測定ピ
ッチに基づいて測定データが測定指示部１６に入力され
る。この状態で、測定データが所定数入力されたか否か
を判断する（ステップ１６８）。そして、測定データが
所定数入力されていない場合は測定を継続し、測定デー
タが所定数入力されない場合は触針７０をＸ軸待機位置
まで移動して測定を終了する（ステップ１７０）。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る形状測
定機によれば、触針はＺ軸方向に直線状に移動するので
触針のＺ軸方向の測定範囲を任意に設定することができ
る。また、Ｘ軸スケール及びＺ軸スケールに光学式モア
レ縞スケースを使用したので、測定範囲を広く設定する
ことができる。これにより、触針の移動パターンを品種
の異なる被測定物の形状に合わせて設定することができ
る。従って、被測定用軸受の品種に合わせて多数の取付
け治具を用意しなくても、品種の異なる被測定物の形状
を測定することができる。
定機によれば、触針はＺ軸方向に直線状に移動するので
触針のＺ軸方向の測定範囲を任意に設定することができ
る。また、Ｘ軸スケール及びＺ軸スケールに光学式モア
レ縞スケースを使用したので、測定範囲を広く設定する
ことができる。これにより、触針の移動パターンを品種
の異なる被測定物の形状に合わせて設定することができ
る。従って、被測定用軸受の品種に合わせて多数の取付
け治具を用意しなくても、品種の異なる被測定物の形状
を測定することができる。
【００４４】また、本発明によれば、Ｚ軸スケール及び
Ｘ軸スケールの測定データは測定指示部に入力され、こ
の測定指示部は入力された測定データに基づいて被測定
物の形状を算出する。そして、算出値に基づいて被測定
物の良品・不良品を判定する。従って、被測定物の良品
不良品の判定ミスがない。
Ｘ軸スケールの測定データは測定指示部に入力され、こ
の測定指示部は入力された測定データに基づいて被測定
物の形状を算出する。そして、算出値に基づいて被測定
物の良品・不良品を判定する。従って、被測定物の良品
不良品の判定ミスがない。
【図１】本発明に係る形状測定機の正面図
【図２】本発明に係る形状測定機のブロック図
【図３】本発明に係る形状測定機に使用された測定装置
の断面図
の断面図
【図４】図４の断面Ａ−Ａ図
【図５】本発明に係る形状測定機に使用された測定装置
の要部拡大図
の要部拡大図
【図６】図６の断面Ｂ−Ｂ図
【図７】図７の矢視Ｃ−Ｃ図
【図８】本発明に係る形状測定機に使用された取付け治
具の正面図
具の正面図
【図９】本発明に係る形状測定機に使用された取付け治
具の平面図
具の平面図
【図１０】本発明に係る形状測定機に入力されるデータ
のを説明した説明図
のを説明した説明図
【図１１】本発明に係る形状測定機に使用された測定装
置の触針の動作を説明した説明図
置の触針の動作を説明した説明図
【図１２】本発明に係る形状測定機で測定可能な軸受の
断面図
断面図
【図１３】本発明に係る形状測定機で測定可能な軸受の
断面図
断面図
【図１４】本発明に係る形状測定機で測定可能な球面こ
ろ体の正面図
ろ体の正面図
【図１５】本発明に係る形状測定機で測定された測定結
果を説明した図
果を説明した図
【図１６】本発明に係る形状測定機の作動を説明したフ
ローチャト
ローチャト
１０…形状測定機 １６…測定指示部 ２４…モータ（昇降手段） ３２…スライダ（昇降体） ４２…保持枠（昇降体） ４６…Ｚ軸スケール ５４…ウエイト（ウエイト部材） ６２…Ｘ軸スケール ６８…スタイラス ７０…触針 ７６…モータ（リトラクト手段） ８６…軸受（被測定物）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 5/00 - 5/30
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に支持
した触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測
定物の表面形状を測定する形状測定機において、Ｚ軸方向のガイド面に沿ってＺ軸方向に移動自在に支持
された昇降体と、 前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをＸ軸
方向に揺動自在に支持する支点と、 前記スタイラスのＸ軸方向の揺動量を検知するＸ軸スケ
ールと、 前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラク
ト手段と、前記昇降体の重量を自重でＺ軸方向に関してバランスす
るウエイト部材と、 前記昇降体をＺ軸方向に移動する移動手段と、 前記昇降体のＺ軸方向の移動量を検出するＺ軸スケール
と、を備え、 前記Ｚ軸スケールのプランジャは前記触針と前記支点と
を結ぶほぼ直線上に位置し、且つ前記昇降体の直下に配
置した ことを特徴とする形状測定機。 - 【請求項２】 Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に支持
した触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測
定物の表面形状を測定する形状測定機において、 Ｚ軸方向のガイド面に沿ってＺ軸方向に移動自在に支持
された昇降体と、 前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをＸ軸
方向に揺動自在に支持する支点と、 前記スタイラスのＸ軸方向の揺動量を検知するＸ軸スケ
ールと、 前記昇降体の重量を自重でＺ軸方向に関してバランスす
るウエイト部材と、 前記昇降体をＺ軸方向に移動する移動手段と、 前記昇降体のＺ軸方向の移動量を検出するＺ軸スケール
と、 前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラク
ト手段と、 を備え、 前記リトラクト手段は、モータに連動している回動部材
を有するとともに前記スタイラスと係合可能な部分を備
え、前記モータを回動して前記スタイラスを回 動部材に
係合してリトラクト位置まで逃がすとともに、測定時に
は前記モータを回動して係合部材を前記スタイラスから
退避させることを特徴とする形状測定機。 - 【請求項３】 Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に支持
した触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測
定物の表面形状を測定する形状測定機において、 Ｚ軸方向のガイド面に沿ってＺ軸方向に移動自在に支持
された昇降体と、 前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをＸ軸
方向に揺動自在に支持する支点と、 前記支点を保持する保持枠と、 前記スタイラスのＸ軸方向の揺動量を検知するＸ軸スケ
ールと、 前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラク
ト手段と、 前記昇降体の重量を自重でＺ軸方向に関してバランスす
るウエイト部材と、 前記昇降体をＺ軸方向に移動する移動手段と、 前記昇降体のＺ軸方向の移動量を検出するＺ軸スケール
と、 前記スタイラスを含む保持枠が障害物に干渉した場合に
該保持枠と前記昇降体とが相対的に移動する逃げ機構
と、 を備えたことを特徴とする形状測定機。 - 【請求項４】 前記逃げ機構が働いて前記保持枠と前記
昇降体とが相対的に移動した際に、該保持枠と該昇降体
とが相対的に移動したことを検出する検出手段を設けた
ことを特徴とする請求項３の形状測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6185918A JP2992625B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6185918A JP2992625B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 形状測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0850003A JPH0850003A (ja) | 1996-02-20 |
| JP2992625B2 true JP2992625B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=16179160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6185918A Expired - Fee Related JP2992625B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 形状測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2992625B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014034362A1 (ja) | 2012-08-30 | 2014-03-06 | Ntn株式会社 | 軸受トラック溝測定装置および軸受トラック溝測定方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11112555B2 (en) | 2019-09-30 | 2021-09-07 | Nichia Corporation | Light-emitting module with a plurality of light guide plates and a gap therein |
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-
1994
- 1994-08-08 JP JP6185918A patent/JP2992625B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014034362A1 (ja) | 2012-08-30 | 2014-03-06 | Ntn株式会社 | 軸受トラック溝測定装置および軸受トラック溝測定方法 |
| JP2014048105A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Ntn Corp | 軸受トラック溝測定装置および軸受トラック溝測定方法 |
| KR20150046030A (ko) | 2012-08-30 | 2015-04-29 | 엔티엔 가부시키가이샤 | 베어링 트랙홈 측정 장치 및 베어링 트랙홈 측정 방법 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0850003A (ja) | 1996-02-20 |
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