JP2992625B2 - 形状測定機 - Google Patents
形状測定機Info
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- JP2992625B2 JP2992625B2 JP6185918A JP18591894A JP2992625B2 JP 2992625 B2 JP2992625 B2 JP 2992625B2 JP 6185918 A JP6185918 A JP 6185918A JP 18591894 A JP18591894 A JP 18591894A JP 2992625 B2 JP2992625 B2 JP 2992625B2
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は形状測定機に係り、レン
ズ等を含む円弧を有する全ての被測定物を対象とする
が、本実施例においては特に軸受等の円弧溝の形状を測
定する形状測定機を取り上げる。
ズ等を含む円弧を有する全ての被測定物を対象とする
が、本実施例においては特に軸受等の円弧溝の形状を測
定する形状測定機を取り上げる。
【0002】
【従来の技術】従来、軸受の円弧溝の形状を測定する装
置として、特開昭63−36107号公報で提案された
形状測定装置が知られている。この形状測定装置によれ
ばスタイラスに設けられた触針を被測定用軸受の円弧溝
に沿って移動させてその形状を測定する。
置として、特開昭63−36107号公報で提案された
形状測定装置が知られている。この形状測定装置によれ
ばスタイラスに設けられた触針を被測定用軸受の円弧溝
に沿って移動させてその形状を測定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
63−36107号公報の形状測定装置は触針をカム機
構で移動させるので、触針の移動パターンがカム機構で
規制される。また、この形状測定装置は触針の移動量を
差動トランスで検出するので測定範囲が狭い。これによ
り、被測定用軸受の品種が異なる毎にその品種に合わせ
て取付け治具を選択して、それぞれの被測定用軸受の円
弧溝を触針の移動パターンに合わせる必要がある。従っ
て、被測定用軸受の品種に合わせて多数の取付け治具を
用意しなければならないという問題がある。
63−36107号公報の形状測定装置は触針をカム機
構で移動させるので、触針の移動パターンがカム機構で
規制される。また、この形状測定装置は触針の移動量を
差動トランスで検出するので測定範囲が狭い。これによ
り、被測定用軸受の品種が異なる毎にその品種に合わせ
て取付け治具を選択して、それぞれの被測定用軸受の円
弧溝を触針の移動パターンに合わせる必要がある。従っ
て、被測定用軸受の品種に合わせて多数の取付け治具を
用意しなければならないという問題がある。
【0004】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、多数の取付け治具を用意せずに品種の異なる軸
受の円弧溝の形状を測定することができる形状測定機を
提供することを目的とする。
もので、多数の取付け治具を用意せずに品種の異なる軸
受の円弧溝の形状を測定することができる形状測定機を
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、X軸方向及びZ軸方向に移動自在に支持し
た触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測定
物の表面形状を測定する形状測定機において、Z軸方向
のガイド面に沿ってZ軸方向に移動自在に支持された昇
降体と、前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラ
スをX軸方向に揺動自在に支持する支点と、前記スタイ
ラスのX軸方向の揺動量を検知するX軸スケールと、前
記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラクト
手段と、前記昇降体の重量を自重でZ軸方向に関してバ
ランスするウエイト部材と、前記昇降体をZ軸方向に移
動する移動手段と、前記昇降体のZ軸方向の移動量を検
出するZ軸スケールとを備え、前記Z軸スケールのプラ
ンジャは前記触針と前記支点とを結ぶほぼ直線上に位置
し、且つ前記昇降体の直下に配置したことを特徴として
いる。
成する為に、X軸方向及びZ軸方向に移動自在に支持し
た触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測定
物の表面形状を測定する形状測定機において、Z軸方向
のガイド面に沿ってZ軸方向に移動自在に支持された昇
降体と、前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラ
スをX軸方向に揺動自在に支持する支点と、前記スタイ
ラスのX軸方向の揺動量を検知するX軸スケールと、前
記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラクト
手段と、前記昇降体の重量を自重でZ軸方向に関してバ
ランスするウエイト部材と、前記昇降体をZ軸方向に移
動する移動手段と、前記昇降体のZ軸方向の移動量を検
出するZ軸スケールとを備え、前記Z軸スケールのプラ
ンジャは前記触針と前記支点とを結ぶほぼ直線上に位置
し、且つ前記昇降体の直下に配置したことを特徴として
いる。
【0006】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、X軸方向及びZ軸方向に移動自在に支持した触針を
被測定物の表面に沿って移動させて前記被測定物の表面
形状を測定する形状測定機において、Z軸方向のガイド
面に沿ってZ軸方向に移動自在に支持された昇降体と、
前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをX軸
方向に揺動自在に支持する支点と、前記スタイラスのX
軸方向の揺動量を検知するX軸スケールと、前記昇降体
の重量を自重でZ軸方向に関してバランスするウエイト
部材と、前記昇降体をZ軸方向に移動する移動手段と、
前記昇降体のZ軸方向の移動量を検出するZ軸スケール
と、前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリト
ラクト手段とを備え、前記リトラクト手段は、モータに
連動している回動部材を有するとともに前記スタイラス
と係合可能な部分を備え、前記モータを回動して前記ス
タイラスを回動部材に係合してリトラクト位置まで逃が
すとともに、測定時には前記モータを回動して係合部材
を前記スタイラスから退避させることを特徴としてい
る。さらに、本発明は、前記目的を達成する為に、X軸
方向及びZ軸方向に移動自在に支持した触針を被測定物
の表面に沿って移動させて前記被測定物の表面形状を測
定する形状測定機において、Z軸方向のガイド面に沿っ
てZ軸方向に移動自在に支持された昇降体と、前記昇降
体に設けられ、触針を備えたスタイラスをX軸方向に揺
動自在に支持する支点と、前記支点を保持する保持枠
と、前記スタイラスのX軸方向の揺動量を検知するX軸
スケールと、前記スタイラスをリトラクト位置に保持可
能なリトラクト手段と、前記昇降体の重量を自重でZ軸
方向に関してバランスするウエイト部材と、前記昇降体
をZ軸方向に移動する移動手段と、前記昇降体のZ軸方
向の移動量を検出するZ軸スケールと、前記スタイラス
を含む保持枠が障害物に干渉した場合に該保持枠と前記
昇降体とが相対的に移動する逃げ機構とを備えたことを
特徴としている。
に、X軸方向及びZ軸方向に移動自在に支持した触針を
被測定物の表面に沿って移動させて前記被測定物の表面
形状を測定する形状測定機において、Z軸方向のガイド
面に沿ってZ軸方向に移動自在に支持された昇降体と、
前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをX軸
方向に揺動自在に支持する支点と、前記スタイラスのX
軸方向の揺動量を検知するX軸スケールと、前記昇降体
の重量を自重でZ軸方向に関してバランスするウエイト
部材と、前記昇降体をZ軸方向に移動する移動手段と、
前記昇降体のZ軸方向の移動量を検出するZ軸スケール
と、前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリト
ラクト手段とを備え、前記リトラクト手段は、モータに
連動している回動部材を有するとともに前記スタイラス
と係合可能な部分を備え、前記モータを回動して前記ス
タイラスを回動部材に係合してリトラクト位置まで逃が
すとともに、測定時には前記モータを回動して係合部材
を前記スタイラスから退避させることを特徴としてい
る。さらに、本発明は、前記目的を達成する為に、X軸
方向及びZ軸方向に移動自在に支持した触針を被測定物
の表面に沿って移動させて前記被測定物の表面形状を測
定する形状測定機において、Z軸方向のガイド面に沿っ
てZ軸方向に移動自在に支持された昇降体と、前記昇降
体に設けられ、触針を備えたスタイラスをX軸方向に揺
動自在に支持する支点と、前記支点を保持する保持枠
と、前記スタイラスのX軸方向の揺動量を検知するX軸
スケールと、前記スタイラスをリトラクト位置に保持可
能なリトラクト手段と、前記昇降体の重量を自重でZ軸
方向に関してバランスするウエイト部材と、前記昇降体
をZ軸方向に移動する移動手段と、前記昇降体のZ軸方
向の移動量を検出するZ軸スケールと、前記スタイラス
を含む保持枠が障害物に干渉した場合に該保持枠と前記
昇降体とが相対的に移動する逃げ機構とを備えたことを
特徴としている。
【0007】
【作用】本発明によれば、昇降体を本体のガイド面に沿
ってZ軸方向に移動自在に支持し、この昇降体に触針を
備えたスタイラスをX軸方向に揺動自在に支持した。昇
降手段は昇降体がZ軸方向に移動し、Z軸スケールは昇
降体のZ軸方向の移動量を検出する。また、昇降体に揺
動自在に支持されたスタイラスにはウエイト部材が連結
され、このウエイト部材は自重でスタイラスをZ軸方向
と平行に維持する。そして、リトラクト手段はスタイラ
スをリトラクト位置に保持し、X軸スケールはスタイラ
スのX軸方向の揺動量を検知する。
ってZ軸方向に移動自在に支持し、この昇降体に触針を
備えたスタイラスをX軸方向に揺動自在に支持した。昇
降手段は昇降体がZ軸方向に移動し、Z軸スケールは昇
降体のZ軸方向の移動量を検出する。また、昇降体に揺
動自在に支持されたスタイラスにはウエイト部材が連結
され、このウエイト部材は自重でスタイラスをZ軸方向
と平行に維持する。そして、リトラクト手段はスタイラ
スをリトラクト位置に保持し、X軸スケールはスタイラ
スのX軸方向の揺動量を検知する。
【0008】このように、触針はZ軸方向に直線状に移
動するので触針のZ軸方向の測定範囲を任意に設定する
ことができる。従って、触針の移動パターンを被測定物
の形状に合わせて設定することができる。また、本発明
によれば、X軸スケール及びZ軸スケールに光学式モア
レ縞スケースを使用したので、測定範囲を広く設定する
ことができる。
動するので触針のZ軸方向の測定範囲を任意に設定する
ことができる。従って、触針の移動パターンを被測定物
の形状に合わせて設定することができる。また、本発明
によれば、X軸スケール及びZ軸スケールに光学式モア
レ縞スケースを使用したので、測定範囲を広く設定する
ことができる。
【0009】さらに、本発明によれば、Z軸スケール及
びX軸スケールの測定データは測定指示部に入力され、
この測定指示部は入力された測定データに基づいて被測
定物の形状を算出する。そして、算出値に基づいて被測
定物の良品・不良品を判定する。従って、被測定物の良
品不良品の判定ミスがない。
びX軸スケールの測定データは測定指示部に入力され、
この測定指示部は入力された測定データに基づいて被測
定物の形状を算出する。そして、算出値に基づいて被測
定物の良品・不良品を判定する。従って、被測定物の良
品不良品の判定ミスがない。
【0010】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る形状測定
機について詳説する。図1は本発明に係る形状測定機1
0の正面図を示し、図2は本発明に係る形状測定機10
のブロック図を示す。図1に示すように形状測定機10
は本体12を備え、本体12内の中央には載置台12A
が平行に取り付けられている。載置台12Aには測定装
置14が載置され、本体12の上端部には測定指示部1
6が取り付けられている。測定指示部16はディスプレ
イ16Aを備えている。また、測定指示部16の右側に
はキーボード17が設けられている。
機について詳説する。図1は本発明に係る形状測定機1
0の正面図を示し、図2は本発明に係る形状測定機10
のブロック図を示す。図1に示すように形状測定機10
は本体12を備え、本体12内の中央には載置台12A
が平行に取り付けられている。載置台12Aには測定装
置14が載置され、本体12の上端部には測定指示部1
6が取り付けられている。測定指示部16はディスプレ
イ16Aを備えている。また、測定指示部16の右側に
はキーボード17が設けられている。
【0011】図3に示すように、測定装置14はケーシ
ング15を有し、ケーシング15内には固定部18が形
成されている。固定部18にはボールねじ20が回動自
在に支持されている。ボールねじ20の下端部はギアボ
ックス22内で、図示しないギアを介してモータ24に
回転力を伝達可能に連結されている。また、ボールねじ
20には移動駒26がねじ結合されている。図4に示す
ように、移動駒26の両端部にはピアノ線28、28が
挟持され、ピアノ線28の両端部はガイド駒30、30
に取り付けられている。
ング15を有し、ケーシング15内には固定部18が形
成されている。固定部18にはボールねじ20が回動自
在に支持されている。ボールねじ20の下端部はギアボ
ックス22内で、図示しないギアを介してモータ24に
回転力を伝達可能に連結されている。また、ボールねじ
20には移動駒26がねじ結合されている。図4に示す
ように、移動駒26の両端部にはピアノ線28、28が
挟持され、ピアノ線28の両端部はガイド駒30、30
に取り付けられている。
【0012】ガイド駒30、30はそれぞれスライダ3
2に固定されている。スライダ32は固定部18の右端
部の滑り軸受に昇降自在に支持されている。従って、モ
ータ24が駆動するとギアボックス22内のギアを介し
てボールねじ20に回転力が伝達され、ボールねじ20
が回転して移動駒26が昇降する。従って、ピアノ線2
8、28及びガイド駒30、30を介してスライダ32
が固定部18の滑り軸受に沿って昇降する。この場合、
固定部18の滑り軸受の接触面が広いのでスライダ32
が滑り軸受に接触したときの面圧を低く抑えることがで
きる。従って、スライダ32は対摩耗性に優れ、寿命が
長くなる。
2に固定されている。スライダ32は固定部18の右端
部の滑り軸受に昇降自在に支持されている。従って、モ
ータ24が駆動するとギアボックス22内のギアを介し
てボールねじ20に回転力が伝達され、ボールねじ20
が回転して移動駒26が昇降する。従って、ピアノ線2
8、28及びガイド駒30、30を介してスライダ32
が固定部18の滑り軸受に沿って昇降する。この場合、
固定部18の滑り軸受の接触面が広いのでスライダ32
が滑り軸受に接触したときの面圧を低く抑えることがで
きる。従って、スライダ32は対摩耗性に優れ、寿命が
長くなる。
【0013】また、スライダ32の上端部にはワイヤ3
4の一端部が取り付けられている。ワイヤ34は滑車3
6A、36Bを介して固定部18の左側部に延長され、
ワイヤ34の他端部にはウエイト38が取り付けられて
いる。ウエイト38は固定部18の左端部に昇降自在に
支持されている。これにより、スライダ32にはウエイ
ト38の荷重で上方向に引き上げられる力が作用するの
で、スライダ32は円滑に昇降する。
4の一端部が取り付けられている。ワイヤ34は滑車3
6A、36Bを介して固定部18の左側部に延長され、
ワイヤ34の他端部にはウエイト38が取り付けられて
いる。ウエイト38は固定部18の左端部に昇降自在に
支持されている。これにより、スライダ32にはウエイ
ト38の荷重で上方向に引き上げられる力が作用するの
で、スライダ32は円滑に昇降する。
【0014】図3に示すように、スライダ32の右側部
には板ばね40A、40Bを介して保持枠42が取り付
けられている。保持枠42の下端部42Aには突起44
が設けられ、突起44はZ軸スケール46のピン46A
に当接している。これにより、保持枠42の上下方向の
移動量(Z方向)はZ軸スケール46で検出される。Z
軸スケール46には光学式モアレ縞スケールや干渉計等
が使用される。従って、Z軸方向の測定範囲を広く設定
することができる。
には板ばね40A、40Bを介して保持枠42が取り付
けられている。保持枠42の下端部42Aには突起44
が設けられ、突起44はZ軸スケール46のピン46A
に当接している。これにより、保持枠42の上下方向の
移動量(Z方向)はZ軸スケール46で検出される。Z
軸スケール46には光学式モアレ縞スケールや干渉計等
が使用される。従って、Z軸方向の測定範囲を広く設定
することができる。
【0015】図5に示すように、保持枠42内には揺動
体48がシャフト50を介して揺動自在に支持されてい
る。揺動体48の上端部にはスタイラス68が取り付け
られ、スタイラス68の先端部には触針70が固定され
ている。触針70はルビー製やダイヤモンド製等ののも
のが使用される。また、揺動体48の上端部には押圧ピ
ン56が取り付けられ、押圧ピン56のフランジ部56
Aにはばね58、58の一端が係止されている。
体48がシャフト50を介して揺動自在に支持されてい
る。揺動体48の上端部にはスタイラス68が取り付け
られ、スタイラス68の先端部には触針70が固定され
ている。触針70はルビー製やダイヤモンド製等ののも
のが使用される。また、揺動体48の上端部には押圧ピ
ン56が取り付けられ、押圧ピン56のフランジ部56
Aにはばね58、58の一端が係止されている。
【0016】ばね58、58の他端はフランジ部60A
に係止され、フランジ部60AはX軸スケール62のシ
ャフト60の先端部に形成されている。X軸スケール6
2は保持枠42に固定されている。このように、ばね5
8、58をフランジ部56Aとフランジ部60Aとに係
止することにより、ばね58、58の付勢力で押圧ピン
56の先端部とシャフト60の先端部とが当接する。こ
の場合、触針70は円弧移動することになるが、押圧ピ
ン56とシャフト60とが切り離されているので、X軸
スケール62はX軸方向にのみ移動して触針70のX軸
方向の移動量を正確に検出する。
に係止され、フランジ部60AはX軸スケール62のシ
ャフト60の先端部に形成されている。X軸スケール6
2は保持枠42に固定されている。このように、ばね5
8、58をフランジ部56Aとフランジ部60Aとに係
止することにより、ばね58、58の付勢力で押圧ピン
56の先端部とシャフト60の先端部とが当接する。こ
の場合、触針70は円弧移動することになるが、押圧ピ
ン56とシャフト60とが切り離されているので、X軸
スケール62はX軸方向にのみ移動して触針70のX軸
方向の移動量を正確に検出する。
【0017】X軸スケール62は光学式モアレ縞スケー
ルを使用している。従って、X軸方向の測定範囲を広く
設定することができる。押圧ピン56の後端部にはバー
64を介して原点検出手段66の針ピン66Aが設けら
れている。原点検出手段66は保持枠42に固定され、
この原点検出手段66は、スタイラス68を垂直状態に
調整することができる。従って、原点検出手段66は、
後述する軸受86に対して触針70が直角度を維持する
ように触針70の向きを調整することができる。尚、原
点検出手段66、X軸スケール62及びZ軸スケール4
6は、一体型防塵構造の汎用品が使用されているので、
現場の環境に対応することが可能で、かつ保守性に優れ
ている。
ルを使用している。従って、X軸方向の測定範囲を広く
設定することができる。押圧ピン56の後端部にはバー
64を介して原点検出手段66の針ピン66Aが設けら
れている。原点検出手段66は保持枠42に固定され、
この原点検出手段66は、スタイラス68を垂直状態に
調整することができる。従って、原点検出手段66は、
後述する軸受86に対して触針70が直角度を維持する
ように触針70の向きを調整することができる。尚、原
点検出手段66、X軸スケール62及びZ軸スケール4
6は、一体型防塵構造の汎用品が使用されているので、
現場の環境に対応することが可能で、かつ保守性に優れ
ている。
【0018】そして、揺動体48の下端部にはボルト5
2を介してウエイト54が取り付けられている。ウエイ
ト54の重量は、揺動体48をシャフト50を介して垂
直状態(すなわち、原点検出手段66の針ピン66Aが
原点位置に位置する。)に維持するように設定されてい
る。押圧ピン56の下方の揺動体48には制御ピン72
が設けられ、制御ピン72の両端部の72A、72Bは
保持枠42の左右の側部から突出している(図6参
照)。図6上で保持枠42の右側部には回転板74が回
動自在に支持されている。図7に示すように、回転板7
4にはモータ75が回転力を伝達可能に連結されてい
る。また、回転板74には原点検出手段76が設けら
れ、原点検出手段76の針ピン76Aは保持枠42に固
定されている。このように、原点検出手段76は回転板
74に連結されているので外力に対して十分な強度を得
ることができる。そして、原点検出手段76は回転板7
4の回動角を検出する。
2を介してウエイト54が取り付けられている。ウエイ
ト54の重量は、揺動体48をシャフト50を介して垂
直状態(すなわち、原点検出手段66の針ピン66Aが
原点位置に位置する。)に維持するように設定されてい
る。押圧ピン56の下方の揺動体48には制御ピン72
が設けられ、制御ピン72の両端部の72A、72Bは
保持枠42の左右の側部から突出している(図6参
照)。図6上で保持枠42の右側部には回転板74が回
動自在に支持されている。図7に示すように、回転板7
4にはモータ75が回転力を伝達可能に連結されてい
る。また、回転板74には原点検出手段76が設けら
れ、原点検出手段76の針ピン76Aは保持枠42に固
定されている。このように、原点検出手段76は回転板
74に連結されているので外力に対して十分な強度を得
ることができる。そして、原点検出手段76は回転板7
4の回動角を検出する。
【0019】回転板74には制御溝74Aが形成され、
制御溝74Aの中央に制御ピン72が位置している。こ
のように、制御溝74Aの中央に制御ピン72が位置し
ているとき、原点検出手段76の針ピン76Aは原点位
置に位置する。この位置から、モータ76を駆動して回
転板74を反時計回り方向に回動すると、制御溝74A
の右壁部74A′が制御ピン72の右端部72Aに当接
して、揺動体48はシャフト50を中心にして反時計回
り方向に回動する。これにより、図6上でスタイラス6
8は揺動してリトラクト位置に位置する。
制御溝74Aの中央に制御ピン72が位置している。こ
のように、制御溝74Aの中央に制御ピン72が位置し
ているとき、原点検出手段76の針ピン76Aは原点位
置に位置する。この位置から、モータ76を駆動して回
転板74を反時計回り方向に回動すると、制御溝74A
の右壁部74A′が制御ピン72の右端部72Aに当接
して、揺動体48はシャフト50を中心にして反時計回
り方向に回動する。これにより、図6上でスタイラス6
8は揺動してリトラクト位置に位置する。
【0020】次に、モータ75を逆転してプーリ74を
時計回り方向に回動すると、制御溝74Aの右壁部74
A′と制御ピン72の左端部72Aとの当接が解除され
る。これにより、揺動体48はウエイト54の重量でシ
ャフト50を介して時計回り方向に回動する。この場
合、触針70の時計回り方向及び反時計回り方向(X方
向)の移動量はX軸スケール62で検出される。
時計回り方向に回動すると、制御溝74Aの右壁部74
A′と制御ピン72の左端部72Aとの当接が解除され
る。これにより、揺動体48はウエイト54の重量でシ
ャフト50を介して時計回り方向に回動する。この場
合、触針70の時計回り方向及び反時計回り方向(X方
向)の移動量はX軸スケール62で検出される。
【0021】図5に示すように、スライダ32と保持枠
42との間には上下動検出スイッチ78が設けられてい
る。上下動検出スイッチ78は板ばね40A、40Bの
撓みを検出する。すなわち、上下動検出スイッチ78は
第1接点部80A及び第2接点部80Bを有し、保持枠
42の上昇時に保持枠42が障害物に干渉して板ばね4
0A、40Bに撓みが生じた場合、第1接点部80Aの
接触状態が解除される。これにより、板ばね40A、4
0Bの撓みが検出される。
42との間には上下動検出スイッチ78が設けられてい
る。上下動検出スイッチ78は板ばね40A、40Bの
撓みを検出する。すなわち、上下動検出スイッチ78は
第1接点部80A及び第2接点部80Bを有し、保持枠
42の上昇時に保持枠42が障害物に干渉して板ばね4
0A、40Bに撓みが生じた場合、第1接点部80Aの
接触状態が解除される。これにより、板ばね40A、4
0Bの撓みが検出される。
【0022】また、保持枠42の下降時に保持枠42が
障害物に干渉して板ばね40A、40Bに撓みが生じた
場合、板ばね82が撓んで第1接点部80Aが上昇す
る。これにより、第2接点部80Bの接触状態が解除さ
れて板ばね40A、40Bの撓みが検出される。従っ
て、保持枠42の昇降時の板ばね40A、40Bの撓み
が検出される。
障害物に干渉して板ばね40A、40Bに撓みが生じた
場合、板ばね82が撓んで第1接点部80Aが上昇す
る。これにより、第2接点部80Bの接触状態が解除さ
れて板ばね40A、40Bの撓みが検出される。従っ
て、保持枠42の昇降時の板ばね40A、40Bの撓み
が検出される。
【0023】図8に示すように、測定装置14のケーシ
ング15の上端部には取付け治具100が取り付けられ
ている。すなわち、測定装置14のケーシング15の上
端部には位置決めピン102が設けられ、位置決めピン
102で位置決めされたプレート104が取り付けられ
ている。プレート104の中央部には長穴104Aが形
成され(図9参照)、長穴104Aの両側には位置決め
ピン106A、106Bが立設されている。
ング15の上端部には取付け治具100が取り付けられ
ている。すなわち、測定装置14のケーシング15の上
端部には位置決めピン102が設けられ、位置決めピン
102で位置決めされたプレート104が取り付けられ
ている。プレート104の中央部には長穴104Aが形
成され(図9参照)、長穴104Aの両側には位置決め
ピン106A、106Bが立設されている。
【0024】位置決めピン106A、106Bの右側に
は押付けブロック108が載置され、押付けブロック1
08には長穴108Aが形成されている。長穴108A
には下部に押付け移動ブロック108Bがあり、押付け
移動ブロック108Bは図示しないスプリングで常に軸
受86に押圧を加え係止している。押付け移動ブロック
には長穴108Aを介してスプリングの押圧力を解放す
るためのつまみ用のボルト110が螺着されている。
は押付けブロック108が載置され、押付けブロック1
08には長穴108Aが形成されている。長穴108A
には下部に押付け移動ブロック108Bがあり、押付け
移動ブロック108Bは図示しないスプリングで常に軸
受86に押圧を加え係止している。押付け移動ブロック
には長穴108Aを介してスプリングの押圧力を解放す
るためのつまみ用のボルト110が螺着されている。
【0025】従って、プレート104に載置された軸受
86を位置決めピン106A、106Bに当接した状態
で押付け移動ブロック108Bを軸受86に押し付ける
ことにより、軸受86は所定位置に位置決めされる。ま
た、スタイラス68の先端部は長穴104Aを介してケ
ーシング15の上方に突出する。尚、スタイラス68は
図8に示す待機位置P1 で取付け治具100の長穴10
4A内に位置することにより取付け治具100で保護さ
れるので、スタイラス68を測定装置14のケーシング
15内に引き込む必要がない。
86を位置決めピン106A、106Bに当接した状態
で押付け移動ブロック108Bを軸受86に押し付ける
ことにより、軸受86は所定位置に位置決めされる。ま
た、スタイラス68の先端部は長穴104Aを介してケ
ーシング15の上方に突出する。尚、スタイラス68は
図8に示す待機位置P1 で取付け治具100の長穴10
4A内に位置することにより取付け治具100で保護さ
れるので、スタイラス68を測定装置14のケーシング
15内に引き込む必要がない。
【0026】これにより、スタイラス68の測定動作を
無駄がないように設定することができる。尚、図8及び
図9においてはインナ軸受86の円弧溝の形状を測定す
る場合について説明したが、取付け治具を変えることに
よりアウタ軸受の円弧溝の形状を測定することもでき
る。図2に示す測定指示部16にはキーボード17やテ
ィーチングにより軸受86の測定範囲、測定開始位置、
測定終了位置のデータが入力され、さらに、切捨て率の
データ(図10参照)が入力される。そして、測定指示
部16は切捨て率に基づいて半径算出範囲を求め、P−
V値算出範囲をデータとして求める。これらのデータは
再使用が可能なように内蔵コンピュータに登録される。
尚、これらのデータはフロッピディスク等の媒体に登録
することも可能である。
無駄がないように設定することができる。尚、図8及び
図9においてはインナ軸受86の円弧溝の形状を測定す
る場合について説明したが、取付け治具を変えることに
よりアウタ軸受の円弧溝の形状を測定することもでき
る。図2に示す測定指示部16にはキーボード17やテ
ィーチングにより軸受86の測定範囲、測定開始位置、
測定終了位置のデータが入力され、さらに、切捨て率の
データ(図10参照)が入力される。そして、測定指示
部16は切捨て率に基づいて半径算出範囲を求め、P−
V値算出範囲をデータとして求める。これらのデータは
再使用が可能なように内蔵コンピュータに登録される。
尚、これらのデータはフロッピディスク等の媒体に登録
することも可能である。
【0027】測定指示部16は、これらのデータに基づ
いて測定装置14の触針70の動作を制御する。これに
より、測定装置14の触針70は図11に示すように、
待機位置P1 →位置P2 →位置P3 →測定開始位置P4
→測定終了位置P5 →位置P 6 →待機位置P1 …の順に
移動する。以下、図11に基づいて触針70の動作を説
明する。先ず、モータ76を駆動してプーリ74を反時
計回り方向に回動することにより制御溝74Aの右壁部
74A′を制御ピン72の右端部72Aに当接する。こ
れにより、制御ピン72がシャフト50を中心にして反
時計回り方向に回動するので、触針70は待機位置P1
からリトラクト位置P2 までX軸に沿って左方向に移動
する。
いて測定装置14の触針70の動作を制御する。これに
より、測定装置14の触針70は図11に示すように、
待機位置P1 →位置P2 →位置P3 →測定開始位置P4
→測定終了位置P5 →位置P 6 →待機位置P1 …の順に
移動する。以下、図11に基づいて触針70の動作を説
明する。先ず、モータ76を駆動してプーリ74を反時
計回り方向に回動することにより制御溝74Aの右壁部
74A′を制御ピン72の右端部72Aに当接する。こ
れにより、制御ピン72がシャフト50を中心にして反
時計回り方向に回動するので、触針70は待機位置P1
からリトラクト位置P2 までX軸に沿って左方向に移動
する。
【0028】次に、モータ24を駆動してギアボックス
22内のギアを介してボールねじ20に回転力を伝達す
る。これにより、ボールねじ20が回転して移動駒26
が昇降するので、ピアノ線28、28及びガイド駒3
0、30を介してスライダ32が固定部18の滑り軸受
に沿ってZ軸方向に上昇する。従って、スライダ32に
板ばね40A、40Bを介して取り付けられている保持
枠42がZ軸方向に上昇する。これにより、保持枠42
に支持されているスタイラス68を介して触針70がZ
軸方向に上昇して位置P3 に到達する。
22内のギアを介してボールねじ20に回転力を伝達す
る。これにより、ボールねじ20が回転して移動駒26
が昇降するので、ピアノ線28、28及びガイド駒3
0、30を介してスライダ32が固定部18の滑り軸受
に沿ってZ軸方向に上昇する。従って、スライダ32に
板ばね40A、40Bを介して取り付けられている保持
枠42がZ軸方向に上昇する。これにより、保持枠42
に支持されているスタイラス68を介して触針70がZ
軸方向に上昇して位置P3 に到達する。
【0029】次いで、モータ76を逆転してプーリ74
を時計回り方向に回動すると、制御溝74Aの右壁部7
4A′と制御ピン72の右端部72Aとの当接が解除さ
れる。これにより、揺動体48はウエイト54の重量で
揺動体48をシャフト50を介して時計回り方向に回動
する。従って、触針70はX軸に沿って右方向に移動し
て測定開始位置P4 に接触する。この場合、スタイラス
68は測定状態に維持される。
を時計回り方向に回動すると、制御溝74Aの右壁部7
4A′と制御ピン72の右端部72Aとの当接が解除さ
れる。これにより、揺動体48はウエイト54の重量で
揺動体48をシャフト50を介して時計回り方向に回動
する。従って、触針70はX軸に沿って右方向に移動し
て測定開始位置P4 に接触する。この場合、スタイラス
68は測定状態に維持される。
【0030】続いて、モータ24を逆転してボールねじ
20を逆回転して移動駒26を下降させることによりス
ライダ32がZ軸方向に下降する。これにより、スライ
ダ32に取り付けられている保持枠42を介して触針7
0がZ軸方向に下降する。この場合、ウエイト54の自
重でスタイラス68が右方向に移動するので、触針70
は軸受86の円弧溝に沿って移動して測定終了位置P5
に到達する。これにより、軸受86の円弧溝の形状が測
定され、この場合の触針70の測定速度は低速に設定さ
れる。
20を逆回転して移動駒26を下降させることによりス
ライダ32がZ軸方向に下降する。これにより、スライ
ダ32に取り付けられている保持枠42を介して触針7
0がZ軸方向に下降する。この場合、ウエイト54の自
重でスタイラス68が右方向に移動するので、触針70
は軸受86の円弧溝に沿って移動して測定終了位置P5
に到達する。これにより、軸受86の円弧溝の形状が測
定され、この場合の触針70の測定速度は低速に設定さ
れる。
【0031】次に、モータ76を駆動してプーリ74を
反時計回り方向に回動することにより触針70を測定終
了位置P5 から位置P6 までX軸に沿って左方向に移動
する。次いで、モータ24を逆転し、さらにモータ76
を逆転して触針70を位置P 6 から待機位置P1 まで戻
す。この場合、触針70の移動速度は、測定開始位置P
4 から測定終了位置P5 までの測定速度を低速に設定
し、それ以外の戻り速度を高速に設定した。
反時計回り方向に回動することにより触針70を測定終
了位置P5 から位置P6 までX軸に沿って左方向に移動
する。次いで、モータ24を逆転し、さらにモータ76
を逆転して触針70を位置P 6 から待機位置P1 まで戻
す。この場合、触針70の移動速度は、測定開始位置P
4 から測定終了位置P5 までの測定速度を低速に設定
し、それ以外の戻り速度を高速に設定した。
【0032】このように、測定指示部16はデータに基
づいて、モータ24及びモータ76を駆動して触針70
を待機位置P1 →リトラクト位置P2 →位置P3 →測定
開始位置P4 →測定終了位置P5 →位置P6 →待機位置
P1 …の順に移動する。この場合、測定指示部16はス
タイラス68の上下動作やリトラクト等をプログラムに
より任意に設定することができ、さらに、変更すること
が可能である。これにより、測定開始位置P4 、測定終
了位置P5 を任意に設定して触針70の測定範囲を広く
設定することができる。さらに、軸受86の品種が異な
る場合に、測定指示部16に品種毎に測定条件を新たに
入力・登録することにより、同一の取付け治具100で
異なる品種の軸受86の形状を測定することができる。
づいて、モータ24及びモータ76を駆動して触針70
を待機位置P1 →リトラクト位置P2 →位置P3 →測定
開始位置P4 →測定終了位置P5 →位置P6 →待機位置
P1 …の順に移動する。この場合、測定指示部16はス
タイラス68の上下動作やリトラクト等をプログラムに
より任意に設定することができ、さらに、変更すること
が可能である。これにより、測定開始位置P4 、測定終
了位置P5 を任意に設定して触針70の測定範囲を広く
設定することができる。さらに、軸受86の品種が異な
る場合に、測定指示部16に品種毎に測定条件を新たに
入力・登録することにより、同一の取付け治具100で
異なる品種の軸受86の形状を測定することができる。
【0033】このように、測定条件を新たに入力・登録
することにより、図12に示すように軸受120に偏心
溝120Aが形成されている場合、軸受120をΘ°傾
斜した状態に保持する治具を使用することにより、偏心
溝120Aの測定が可能になる。また、図13に示すよ
うに複式の軸受122の場合でも円弧溝122A、12
2Bを測定することができる。さらに、図14に示すよ
うに球面ころ体124の場合でも球面124Aを測定す
ることができる。
することにより、図12に示すように軸受120に偏心
溝120Aが形成されている場合、軸受120をΘ°傾
斜した状態に保持する治具を使用することにより、偏心
溝120Aの測定が可能になる。また、図13に示すよ
うに複式の軸受122の場合でも円弧溝122A、12
2Bを測定することができる。さらに、図14に示すよ
うに球面ころ体124の場合でも球面124Aを測定す
ることができる。
【0034】ところで、触針70が待機位置P1 →リト
ラクト位置P2 →位置P3 →測定開始位置P4 →測定終
了位置P5 →位置P6 →待機位置P1 …の順に移動する
際に、測定開始位置P4 →測定終了位置P5 の範囲でZ
軸スケール46及びX軸スケール62の測定データが測
定指示部16に入力される。これらの測定データは測定
指示部16に記録される。
ラクト位置P2 →位置P3 →測定開始位置P4 →測定終
了位置P5 →位置P6 →待機位置P1 …の順に移動する
際に、測定開始位置P4 →測定終了位置P5 の範囲でZ
軸スケール46及びX軸スケール62の測定データが測
定指示部16に入力される。これらの測定データは測定
指示部16に記録される。
【0035】測定指示部16は記録されたデータに基づ
いて、軸受86の円弧溝の半径及びP−V(Peak to Va
lley)値を算出する。この場合、測定開始位置及び測定
終了位置が自動的に検出され、測定開始位置〜測定終了
位置間のデータに基づいて半径及びP−V値を算出す
る。算出された半径の円弧溝とP−V値に基づいて形状
誤差を比較する。
いて、軸受86の円弧溝の半径及びP−V(Peak to Va
lley)値を算出する。この場合、測定開始位置及び測定
終了位置が自動的に検出され、測定開始位置〜測定終了
位置間のデータに基づいて半径及びP−V値を算出す
る。算出された半径の円弧溝とP−V値に基づいて形状
誤差を比較する。
【0036】そして、測定指示部16は、比較した形状
誤差が半径公差上限値、半径公差下限値を許容している
場合良品と判定し、比較した形状誤差が半径公差上限
値、半径公差下限値を許容していない場合不良品と判定
する。尚、半径公差上限値、半径公差下限値は測定範囲
と同様に、再使用が可能なように内蔵するコンピュータ
に登録され、また、フロッピディスク等の媒体に登録す
ることも可能である。
誤差が半径公差上限値、半径公差下限値を許容している
場合良品と判定し、比較した形状誤差が半径公差上限
値、半径公差下限値を許容していない場合不良品と判定
する。尚、半径公差上限値、半径公差下限値は測定範囲
と同様に、再使用が可能なように内蔵するコンピュータ
に登録され、また、フロッピディスク等の媒体に登録す
ることも可能である。
【0037】また、マスターボールを使用して測定装置
14の校正を行う場合、予め設定された範囲内に、算出
された半径値及びP−V値が入っていない場合には校正
NGと判定する。そして、校正NGの場合は校正が正し
く行われないとワークの測定を実施できないように設定
されている。測定指示部16は形状誤差をグラフで曲線
として表示される(図15参照)。
14の校正を行う場合、予め設定された範囲内に、算出
された半径値及びP−V値が入っていない場合には校正
NGと判定する。そして、校正NGの場合は校正が正し
く行われないとワークの測定を実施できないように設定
されている。測定指示部16は形状誤差をグラフで曲線
として表示される(図15参照)。
【0038】図2に示す増幅指示部88は、測定指示部
16からの駆動指令を処理して測定装置14の駆動部1
4Aに出力し、さらに、駆動部14AのZ軸スケール4
6からの移動信号を処理して測定指示部16に出力す
る。また、増幅指示部88は、X軸スケール62からの
ピックアップ信号を処理して測定指示部16に出力す
る。
16からの駆動指令を処理して測定装置14の駆動部1
4Aに出力し、さらに、駆動部14AのZ軸スケール4
6からの移動信号を処理して測定指示部16に出力す
る。また、増幅指示部88は、X軸スケール62からの
ピックアップ信号を処理して測定指示部16に出力す
る。
【0039】また、キーボード17はデータを測定指示
部16に入力する。例えばキーボード17は、軸受86
の製作図に基づいて軸受86の測定範囲を測定指示部1
6に入力することが可能である。尚、軸受86の測定範
囲はキーボード17を介してキー入力する以外に、ティ
ーチングにより測定指示部16に入力することが可能で
ある。また、図1、図2のプリンタ92は測定指示部1
6が算出した値を用紙に印刷する。
部16に入力する。例えばキーボード17は、軸受86
の製作図に基づいて軸受86の測定範囲を測定指示部1
6に入力することが可能である。尚、軸受86の測定範
囲はキーボード17を介してキー入力する以外に、ティ
ーチングにより測定指示部16に入力することが可能で
ある。また、図1、図2のプリンタ92は測定指示部1
6が算出した値を用紙に印刷する。
【0040】前記の如く構成された本発明に係る形状測
定機の作用を図16のフローチャートに基づいて、デー
タをキー入力する場合について説明する。先ず、軸受8
6の製作図面から所定の値を選択し、キーボード17を
介して軸受86の測定範囲(測定開始位置P4 →測定終
了位置P5 )を測定指示部16に入力する(ステップ1
50)。次に、測定範囲内の測定ピッチを測定指示部1
6に入力し(ステップ152)、ステップ152完了後
測定範囲内の触針70の測定速度(1.5mm/se
c)を測定指示部16に入力する(ステップ154)。
定機の作用を図16のフローチャートに基づいて、デー
タをキー入力する場合について説明する。先ず、軸受8
6の製作図面から所定の値を選択し、キーボード17を
介して軸受86の測定範囲(測定開始位置P4 →測定終
了位置P5 )を測定指示部16に入力する(ステップ1
50)。次に、測定範囲内の測定ピッチを測定指示部1
6に入力し(ステップ152)、ステップ152完了後
測定範囲内の触針70の測定速度(1.5mm/se
c)を測定指示部16に入力する(ステップ154)。
【0041】次いで、軸受86の品種に合わせて測定タ
イプ(測定ライン一定ピッチ)を設定して測定指示部1
6に入力する(ステップ156)。次に、軸受86の品
種に応じて測定の自動条件(測定終了後のリトラクト)
を設定して測定指示部16に入力する(ステップ15
8)。自動条件入力完了後触針70の戻り速度(6mm
/sec)を測定指示部16に入力する(ステップ16
0)。
イプ(測定ライン一定ピッチ)を設定して測定指示部1
6に入力する(ステップ156)。次に、軸受86の品
種に応じて測定の自動条件(測定終了後のリトラクト)
を設定して測定指示部16に入力する(ステップ15
8)。自動条件入力完了後触針70の戻り速度(6mm
/sec)を測定指示部16に入力する(ステップ16
0)。
【0042】続いて、測定値の出力単位を(mm、in
ch)を設定して測定指示部16に入力し(ステップ1
62)、さらに、触針70をX軸測定開始位置に移動す
る(ステップ164)。ステップ164完了後、測定開
始の指示を測定指示部16に入力する(ステップ16
6)。これにより、触針70が軸受86の形状に沿って
移動する。この場合、ステップ152で入力した測定ピ
ッチに基づいて測定データが測定指示部16に入力され
る。この状態で、測定データが所定数入力されたか否か
を判断する(ステップ168)。そして、測定データが
所定数入力されていない場合は測定を継続し、測定デー
タが所定数入力されない場合は触針70をX軸待機位置
まで移動して測定を終了する(ステップ170)。
ch)を設定して測定指示部16に入力し(ステップ1
62)、さらに、触針70をX軸測定開始位置に移動す
る(ステップ164)。ステップ164完了後、測定開
始の指示を測定指示部16に入力する(ステップ16
6)。これにより、触針70が軸受86の形状に沿って
移動する。この場合、ステップ152で入力した測定ピ
ッチに基づいて測定データが測定指示部16に入力され
る。この状態で、測定データが所定数入力されたか否か
を判断する(ステップ168)。そして、測定データが
所定数入力されていない場合は測定を継続し、測定デー
タが所定数入力されない場合は触針70をX軸待機位置
まで移動して測定を終了する(ステップ170)。
【0043】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る形状測
定機によれば、触針はZ軸方向に直線状に移動するので
触針のZ軸方向の測定範囲を任意に設定することができ
る。また、X軸スケール及びZ軸スケールに光学式モア
レ縞スケースを使用したので、測定範囲を広く設定する
ことができる。これにより、触針の移動パターンを品種
の異なる被測定物の形状に合わせて設定することができ
る。従って、被測定用軸受の品種に合わせて多数の取付
け治具を用意しなくても、品種の異なる被測定物の形状
を測定することができる。
定機によれば、触針はZ軸方向に直線状に移動するので
触針のZ軸方向の測定範囲を任意に設定することができ
る。また、X軸スケール及びZ軸スケールに光学式モア
レ縞スケースを使用したので、測定範囲を広く設定する
ことができる。これにより、触針の移動パターンを品種
の異なる被測定物の形状に合わせて設定することができ
る。従って、被測定用軸受の品種に合わせて多数の取付
け治具を用意しなくても、品種の異なる被測定物の形状
を測定することができる。
【0044】また、本発明によれば、Z軸スケール及び
X軸スケールの測定データは測定指示部に入力され、こ
の測定指示部は入力された測定データに基づいて被測定
物の形状を算出する。そして、算出値に基づいて被測定
物の良品・不良品を判定する。従って、被測定物の良品
不良品の判定ミスがない。
X軸スケールの測定データは測定指示部に入力され、こ
の測定指示部は入力された測定データに基づいて被測定
物の形状を算出する。そして、算出値に基づいて被測定
物の良品・不良品を判定する。従って、被測定物の良品
不良品の判定ミスがない。
【図1】本発明に係る形状測定機の正面図
【図2】本発明に係る形状測定機のブロック図
【図3】本発明に係る形状測定機に使用された測定装置
の断面図
の断面図
【図4】図4の断面A−A図
【図5】本発明に係る形状測定機に使用された測定装置
の要部拡大図
の要部拡大図
【図6】図6の断面B−B図
【図7】図7の矢視C−C図
【図8】本発明に係る形状測定機に使用された取付け治
具の正面図
具の正面図
【図9】本発明に係る形状測定機に使用された取付け治
具の平面図
具の平面図
【図10】本発明に係る形状測定機に入力されるデータ
のを説明した説明図
のを説明した説明図
【図11】本発明に係る形状測定機に使用された測定装
置の触針の動作を説明した説明図
置の触針の動作を説明した説明図
【図12】本発明に係る形状測定機で測定可能な軸受の
断面図
断面図
【図13】本発明に係る形状測定機で測定可能な軸受の
断面図
断面図
【図14】本発明に係る形状測定機で測定可能な球面こ
ろ体の正面図
ろ体の正面図
【図15】本発明に係る形状測定機で測定された測定結
果を説明した図
果を説明した図
【図16】本発明に係る形状測定機の作動を説明したフ
ローチャト
ローチャト
10…形状測定機 16…測定指示部 24…モータ(昇降手段) 32…スライダ(昇降体) 42…保持枠(昇降体) 46…Z軸スケール 54…ウエイト(ウエイト部材) 62…X軸スケール 68…スタイラス 70…触針 76…モータ(リトラクト手段) 86…軸受(被測定物)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 5/00 - 5/30
Claims (4)
- 【請求項1】 X軸方向及びZ軸方向に移動自在に支持
した触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測
定物の表面形状を測定する形状測定機において、Z軸方向のガイド面に沿ってZ軸方向に移動自在に支持
された昇降体と、 前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをX軸
方向に揺動自在に支持する支点と、 前記スタイラスのX軸方向の揺動量を検知するX軸スケ
ールと、 前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラク
ト手段と、前記昇降体の重量を自重でZ軸方向に関してバランスす
るウエイト部材と、 前記昇降体をZ軸方向に移動する移動手段と、 前記昇降体のZ軸方向の移動量を検出するZ軸スケール
と、を備え、 前記Z軸スケールのプランジャは前記触針と前記支点と
を結ぶほぼ直線上に位置し、且つ前記昇降体の直下に配
置した ことを特徴とする形状測定機。 - 【請求項2】 X軸方向及びZ軸方向に移動自在に支持
した触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測
定物の表面形状を測定する形状測定機において、 Z軸方向のガイド面に沿ってZ軸方向に移動自在に支持
された昇降体と、 前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをX軸
方向に揺動自在に支持する支点と、 前記スタイラスのX軸方向の揺動量を検知するX軸スケ
ールと、 前記昇降体の重量を自重でZ軸方向に関してバランスす
るウエイト部材と、 前記昇降体をZ軸方向に移動する移動手段と、 前記昇降体のZ軸方向の移動量を検出するZ軸スケール
と、 前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラク
ト手段と、 を備え、 前記リトラクト手段は、モータに連動している回動部材
を有するとともに前記スタイラスと係合可能な部分を備
え、前記モータを回動して前記スタイラスを回 動部材に
係合してリトラクト位置まで逃がすとともに、測定時に
は前記モータを回動して係合部材を前記スタイラスから
退避させることを特徴とする形状測定機。 - 【請求項3】 X軸方向及びZ軸方向に移動自在に支持
した触針を被測定物の表面に沿って移動させて前記被測
定物の表面形状を測定する形状測定機において、 Z軸方向のガイド面に沿ってZ軸方向に移動自在に支持
された昇降体と、 前記昇降体に設けられ、触針を備えたスタイラスをX軸
方向に揺動自在に支持する支点と、 前記支点を保持する保持枠と、 前記スタイラスのX軸方向の揺動量を検知するX軸スケ
ールと、 前記スタイラスをリトラクト位置に保持可能なリトラク
ト手段と、 前記昇降体の重量を自重でZ軸方向に関してバランスす
るウエイト部材と、 前記昇降体をZ軸方向に移動する移動手段と、 前記昇降体のZ軸方向の移動量を検出するZ軸スケール
と、 前記スタイラスを含む保持枠が障害物に干渉した場合に
該保持枠と前記昇降体とが相対的に移動する逃げ機構
と、 を備えたことを特徴とする形状測定機。 - 【請求項4】 前記逃げ機構が働いて前記保持枠と前記
昇降体とが相対的に移動した際に、該保持枠と該昇降体
とが相対的に移動したことを検出する検出手段を設けた
ことを特徴とする請求項3の形状測定機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6185918A JP2992625B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP6185918A JP2992625B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 形状測定機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0850003A JPH0850003A (ja) | 1996-02-20 |
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ID=16179160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP6185918A Expired - Fee Related JP2992625B2 (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 形状測定機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2992625B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014034362A1 (ja) | 2012-08-30 | 2014-03-06 | Ntn株式会社 | 軸受トラック溝測定装置および軸受トラック溝測定方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11112555B2 (en) | 2019-09-30 | 2021-09-07 | Nichia Corporation | Light-emitting module with a plurality of light guide plates and a gap therein |
US11561338B2 (en) | 2019-09-30 | 2023-01-24 | Nichia Corporation | Light-emitting module |
-
1994
- 1994-08-08 JP JP6185918A patent/JP2992625B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014034362A1 (ja) | 2012-08-30 | 2014-03-06 | Ntn株式会社 | 軸受トラック溝測定装置および軸受トラック溝測定方法 |
JP2014048105A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Ntn Corp | 軸受トラック溝測定装置および軸受トラック溝測定方法 |
KR20150046030A (ko) | 2012-08-30 | 2015-04-29 | 엔티엔 가부시키가이샤 | 베어링 트랙홈 측정 장치 및 베어링 트랙홈 측정 방법 |
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Publication number | Publication date |
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JPH0850003A (ja) | 1996-02-20 |
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