CN109613024A - 运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体处理设备技术领域，尤其涉及一种运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法，运动平台包括：底座；设置于所述底座的第一旋转机构，包括第一旋转台和第一驱动组件；设置在所述第一旋转台上的第二旋转机构，用于绕第二旋转轴旋转；设置在所述第一旋转台上的第一卡盘；第二卡盘，固定于所述第一旋转台外露于所述第一卡盘的一侧，所述第二旋转机构用于驱动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转，所述第一卡盘的顶面与所述第二卡盘的顶面齐平。本发明的运动平台，由于第一旋转机构和第二旋转机构采用层叠设计，能保证对两个半片基板进行旋转的独立性，也能完成一个半片基板或对整片基板的旋转，适用性大大提高。

Description

运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法

技术领域

本发明属于半导体处理设备技术领域，尤其涉及一种运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法。

背景技术

在工业加工的过程中，常需要对成品进行检测或对半成品进一步加工，需要使用具有旋转功能的运动平台进行支撑，例如在OLED玻璃基板的检测与加工的过程就常使用这些运动平台。随着技术的发展，基板的工艺越来越优化，检测的方式也多种多样；在传统的基板检测领域，如对OLED玻璃基板的缺陷检测，一台检测设备中的运动平台大多只能满足同一代整片基板下的运动检测，不能满足同一代基板2个半片的检测，单台检测设备的功能较为单一，需要检测两个半片基板时要购置另外的检测设备，使得检测成本较大。

发明内容

本发明的目的在于提供一种运动平台，旨在解决现有技术中的运动平台适用性较小的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种运动平台，包括：

底座；

设置于所述底座的第一旋转机构，包括第一旋转台和用于驱动所述第一旋转台绕第一旋转轴旋转的第一驱动组件；

设置在所述第一旋转台上的第二旋转机构，用于绕第二旋转轴旋转，所述第二旋转轴与所述第一旋转轴平行；

设置在所述第一旋转台上的第一卡盘，所述第一旋转台的一侧外露于所述第一卡盘；

第二卡盘，固定于所述第一旋转台外露于所述第一卡盘的一侧，所述第二旋转机构用于驱动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转，所述第一卡盘的顶面与所述第二卡盘的顶面齐平。

进一步地，所述底座设置有第一直线滑轨，所述第一旋转机构与所述第一直线滑轨滑动连接。

进一步地，所述第一旋转机构还包括设置于所述底座和所述第一旋转台之间的承载板，所述第一驱动组件包括设置于所述承载板的第一驱动源，所述承载板与所述第一旋转台之间设有第一弧形滑轨组件，所述第一旋转台与所述第一弧形滑轨组件滑动连接，所述第一驱动源用于驱动所述第一旋转台沿所述第一弧形滑轨组件滑动，进而带动所述第一卡盘和所述第二卡盘绕所述第一旋转轴旋转。

进一步地，所述第二旋转机构包括设置在所述第一旋转台的第二驱动源，所述第二卡盘底面连接固定有第二旋转台，所述第二旋转台与所述第一旋转台之间设有第二弧形滑轨组件，所述第二旋转台与所述第二弧形滑轨组件滑动连接，所述第二驱动源用于驱动所述第二旋转台沿所述第二弧形滑轨组件滑动，进而带动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转。

进一步地，所述运动平台还包括多个第一辅助支撑机构和/或多个第二辅助支撑机构，所述第一辅助支撑机构设置于所述承载板与所述第一旋转台之间，第一辅助支撑机构用于支撑所述第一旋转台并用于使所述第一旋转台绕所述第一旋转轴旋转，所述第二辅助支撑机构设置于所述第一旋转台与所述第二旋转台之间，第二辅助支撑机构用于支撑所述第二旋转台并用于使所述第二旋转台绕所述第二旋转轴旋转。

进一步地，所述第一辅助支撑机构包括固定于所述承载板上的第二直线滑轨、滑动连接于所述第二直线滑轨的第一滑板和设置在所述第一滑板上的第三直线滑轨，所述第三直线滑轨与所述第二直线滑轨的延伸方向不相同，所述第一旋转台与所述第三直线滑轨滑动连接；

所述第二辅助支撑机构包括固定于所述第一旋转台上的第四直线滑轨、滑动连接于所述第四直线滑轨的第二滑板和设置在所述第二滑板上的第五直线滑轨，所述第五直线滑轨与所述第四直线滑轨的延伸方向不相同，所述第二旋转台与所述第五直线滑轨滑动连接。

进一步地，所述第一弧形滑轨组件包括至少一组弧形滑轨，每组弧形滑轨包括两段弧形滑轨，所述两段弧形滑轨的圆心重合且相对设置；

和/或所述第二弧形滑轨组件包括至少一组弧形滑轨，每组弧形滑轨包括两段弧形滑轨，所述两段弧形滑轨的圆心重合且相对设置。

一种上述运动平台的工作方法，包括以下步骤：

提供第一半片基板；

将所述第一半片基板安装于所述第一卡盘或第二卡盘；

控制所述第一驱动组件带动所述第一旋转台旋转第一预定角度。

进一步地，还包括：

提供第二半片基板；

安装所述第二半片基板，使所述第二半片基板和第一半片基板分别位于所述第一卡盘和第二卡盘上；

所述第一旋转台旋转第一预定角度之后，还包括：使所述第二旋转机构带动所述第二卡盘绕第二旋转轴旋转第二预定角度。

一种上述运动平台的工作方法，包括以下步骤：

提供第二半片基板；

将所述第二半片基板安装于所述第二卡盘；

控制所述第二旋转机构带动所述第二旋转台旋转第三预定角度；

或者，提供一整片基板；

将所述一整片基板安装于第一卡盘和第二卡盘；

控制所述第一驱动组件带动所述第一旋转台旋转第四预定角度，以带动所述整片基板旋转第四预定角度。

一种检测设备，包括：

上述运动平台；

检测装置，用于对所述第一卡盘和/或所述第二卡盘表面的基板进行检测。

一种检测方法，包括以下步骤：

提供上述检测设备；

提供基板，所述基板包括第一半片基板、第二半片基板或整片基板；

采用上述运动平台的工作方法对所述运动平台进行调整处理；

所述调整处理之后，通过检测装置对所述基板进行检测。

进一步地，所述运动平台还包括设置于所述底座的第一直线滑轨；

对所述基板进行检测的步骤包括：通过所述第一卡盘带动所述基板沿所述第一直线滑轨移动，使所述检测装置对所述基板进行扫描。

本发明的有益效果：本发明的运动平台，由于第一旋转机构和第二旋转机构采用层叠设计，能保证对两个半片基板进行旋转的独立性，也能完成一个半片、两个半片或对整片基板进行旋转，减少了额外购置检测设备或加工设备的成本，第一驱动组件驱动第一旋转台旋转至预定角度后，能带动安装于第一卡盘和第二卡盘的整片基板旋转，或者带动安装于第一卡盘和/或第二卡盘的半片基板旋转，第二旋转机构驱动第二卡盘旋转至预定角度后，能带动安装于第二卡盘的半片基板旋转，适用性大大提高，拓展了运动平台的功能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的运动平台的立体结构示意图；

图2为图1所示运动平台的侧视结构示意图；

图3为图1所示运动平台另一角度的侧视结构示意图；

图4为图1所示运动平台的俯视结构示意图；

图5为图1所示运动平台的爆炸结构示意图；

图6为图5所示运动平台中承载板的立体结构示意图；

图7为图5所示运动平台中第一驱动源的放大示意图；

图8为图5所示运动平台中第一辅助支撑机构的放大示意图；

图9为一实施例提供的运动平台的工作方法的流程框图；

图10为另一实施例提供的运动平台的工作方法的流程框图；

图11为又一实施例提供的运动平台的工作方法的流程框图；

图12为一实施例提供的检测方法的流程框图。

其中，图中各附图标记：

10—运动平台 100—底座 110—第一直线滑轨

111—定子 112—动子 113—光栅尺

114—光栅尺读数头 120—支撑台 121—支撑地脚

130—隔振器 200—承载板 201—凹槽

210—第一弧形滑轨组件 220—第一辅助支撑机构 221—第二直线滑轨

222—第一滑板 223—第三直线滑轨 224—第一连接件

300—第一旋转台 310—第二弧形滑轨组件 320—第二辅助支撑机构

400—第一驱动源 410—固定座 420—驱动电机

430—第六直线导轨 440—丝杆 450—螺母固定块

451—第七直线导轨 460—第二连接件 461—第三滑板

462—连接板 463—支撑板 470—联接器

480—光栅尺 500—第二驱动源 610—第一卡盘

620—第二卡盘 621—第二旋转台 622—支撑脚。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1～5所示，本发明实施例提供的运动平台10，可用于基板的缺陷检测和抛光、掩膜等加工中的旋转操作，运动平台10包括底座100、第一旋转机构、第二旋转机构、第一卡盘610和第二卡盘620。第一旋转机构设置于底座100，第一旋转机构包括第一旋转台300和第一驱动组件，第一驱动组件用于驱动第一旋转台300绕第一旋转轴旋转，如转动1至2度。第一卡盘610和第二旋转机构设置在第一旋转台300上，第一卡盘610的长度等于第二卡盘620的长度，第一旋转台300的长度大于第一卡盘610长度的两倍，第二旋转机构用于带动第一卡盘绕第二旋转轴旋转，如转动1至2度，第一旋转轴与第二旋转轴平行。第一卡盘610用于承载固定一个半片基板，第二卡盘620固定在第一旋转台300外露于第一卡盘610的一侧，用于承载固定另一半片基板，并且，第一卡盘610和第二卡盘620之间具有间隔且两者的顶面齐平，由于两卡盘选旋转的角度非常小，所以两者的间隔也非常小，间隔可以设为1～5cm，第一卡盘610和第二卡盘620也可用于共同承载固定整片基板。第一卡盘610和第二卡盘620的大小形状相同或基本相同，两者的横截面均为矩形，第一卡盘610和第二卡盘620的顶面齐平。整片基板可以是有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)玻璃基板，第一半片基板和第二半片基板大小尺寸相同，两者组合后形成OLED玻璃基板，第一半片基板、第二半片基板或一整片基板旋转预定角度后，运动平台10完成旋转对准操作。运动平台10能满足同一代基板一个半片、两个半片以及整片基板的旋转对准操作。

本实施例提供的运动平台10，由于第一旋转机构和第二旋转机构采用层叠设计，能保证对两个半片基板进行检测的独立性，也能完成一个半片、两个半片或整片基板进行旋转，减少了额外购置检测设备或加工设备的成本，第一驱动组件驱动第一旋转台300旋转至预定角度后，能带动安装于第一卡盘610和第二卡盘620的整片基板旋转，或者带动安装于第一卡盘610和/或第二卡盘620上的半片基板旋转，第二旋转机构驱动第二卡盘620旋转至预定角度后，能带动安装于第二卡盘620的半片基板旋转，适用性大大提高，拓展了运动平台的功能。

在一实施例中，底座100上设置有第一直线滑轨110，第一旋转机构滑动连接于第一直线滑轨110，当检测装置未设置在两个卡盘的正上方时，第一旋转机构沿第一直线滑轨110移动至对准工位后再进行旋转。在一实施方式中，第一旋转机构还包括设置在底座100和第一旋转台300之间的承载板200，第一直线滑轨110位于承载板200和底座100之间，第一旋转台300通过承载板200滑动连接于第一直线滑轨110，第一直线滑轨110的布设方向为第一方向，例如，底座100沿长度方向布设有间隔的两第一直线滑轨110，承载板200底部的两侧滑动连接第一直线滑轨110。底座100沿承载板200的运动方向设置有光栅尺113，承载板200设置有和光栅尺113配合使用的光栅尺读数头114，如此，可测出承载板200相对于底座100的运动距离。

在一实施方式中，承载板200底部的两侧连接有动子112，底座100对应动子112的位置设置有定子111，动子112的一部分伸入定子111内，动子112与定子111之间形成气隙，以使动子112能相对于定子111作直线运动。采用该结构的直线电机驱动方式，其具有控制精确、响应速度快、无噪音、节能环保的特点。

在一实施例中，第一旋转机构还包括承载板200，承载板200设置在底座100与第一旋转台300之间，并能在底座100上沿第一方向(图3中的F1方向)来回做直线运动。第一驱动组件包括设置于承载板200的第一驱动源400和设置在承载板200与第一旋转台300之间的第一弧形滑轨组件210，第一旋转台300与第一弧形滑轨组件210滑动连接，第一驱动源400的一端与第一旋转台300连接，用于驱动第一旋转台300在第一弧形滑轨组件210上滑动，即带动第一旋转台300旋转，进而带动第一卡盘610和第二卡盘620绕竖直轴旋转。

在一实施例中，第一驱动组件包括第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴的延伸方向与第一旋转轴的方向相同，第一驱动电机的驱动轴与第一旋转台300固定连接。

第二旋转机构包括设置在第一旋转台300上的第二驱动组件，用于驱动第二旋转台621，第二卡盘620的底面连接固定有第二旋转台621，第二驱动组件采用的结构和第一驱动组件的结构相同，第一旋转台300的一侧外露于第二旋转台621，第一旋转台300和第二旋转台621的横截面均呈矩形。第二驱动组件包括设置于第一旋转台300的第二驱动源500和设置在第一旋转台300与第二旋转台621之间的第二弧形滑轨组件310，第二驱动源500的一端与第二卡盘620连接，用于驱动第二卡盘620在第二弧形滑轨组件310上滑动，使第二卡盘620旋转，即带动第二卡盘620绕竖直轴旋转，以完成对准操作。在一实施方式中，承载板200的一侧开设有第一缺口，第一驱动源400设于该第一缺口处，第一旋转台300的底面可设置有滑块，该滑块与第一弧形滑轨组件210滑动连接；第一旋转台300的一侧开设有第二缺口，第二驱动源500的固定座410设置于第二缺口处，第二旋转台621的底面设置有滑块，该滑块与第二弧形滑轨组件310滑动连接。

弧形滑轨组件能很好地支撑对应的旋转台，进而提高稳定性，即增加运动平台10旋转运动的稳定性，第一旋转台300和第二旋转台621不易晃动或发生倾覆，有利于提高旋转的准确性。

在一实施例中，第二驱动组件包括第二驱动电机，第二驱动电机的输出轴的延伸方向与第二旋转轴的方向相同，第二驱动电机的驱动轴与第二旋转台621固定连接。

如图1～8所示，在一实施例中，第一驱动源400和第二驱动源500的结构相同。在一实施方式中，承载板200的一侧开设第一缺口，固定座410固定于第一缺口处，驱动电机420与丝杆440之间可设有联接器470，固定座410上设有两轴承座，轴承座上嵌固有轴承，丝杆440的一端穿过一轴承座后与联接器470连接，丝杆440的另一端与另一轴承座上的轴承连接。螺母固定块450靠近承载板200的一侧设有光栅尺480，承载板200于第一缺口处固定有光栅尺读数头，进而可测量螺母固定块450在固定座410上的直线运动距离。

在一实施例中，运动平台10还包括多个第一辅助支撑机构220和/或多个第二辅助支撑机构320。在一实施方式中，第一辅助支撑机构220设置在承载板200与第一旋转台300之间，各第一辅助支撑机构220靠近第一旋转台300四个边角处，第二辅助支撑机构320设置于第一旋转台300与第二旋转台621之间，第二辅助支撑机构320与第一辅助支撑机构220结构可以设置为相同的，第一辅助支撑机构220用于支撑第一旋转台300，并用于使第一旋转台300绕第一旋转轴旋转，第二辅助支撑机构320用于支撑第二旋转台621，并用于使第二旋转台621绕第二旋转轴旋转。

在一实施例中，第一辅助支撑机构220包括固定于承载板200上的第二直线滑轨221、滑动连接于第二直线滑轨221的第一滑板222和设置在第一滑板222上的第三直线滑轨223，第三直线滑轨223与第二直线滑轨221的延伸方向不相同，第一旋转台300与第三直线滑轨223滑动连接。在一实施方式中，第一辅助支撑机构220还包括第一连接件224，第一连接件224与第三直线滑轨223滑动连接，第一连接件224的顶部与第一旋转台300的底面连接。第二直线滑轨221设置在承载板200顶面靠近边角处且与第一方向平行，第三直线滑轨223设置在第一滑板222顶面且与第二方向平行，第二方向与第一方向垂直，第一连接件224可采用与第二连接件460相同的结构。第一辅助支撑机构220的第二直线滑轨221固定于承载板200上，第一辅助支撑机构220的第一连接件224的顶部连接于第一旋转台300的底面，第二辅助支撑机构320的第二直线滑轨221固定于第一旋转台300上。

第二辅助支撑机构320包括固定于第一旋转台300上的第四直线滑轨、滑动连接于第四直线滑轨的第二滑板和设置在第二滑板上的第五直线滑轨，第五直线滑轨与第四直线滑轨的延伸方向不相同，第二旋转台621与第五直线滑轨滑动连接，第二辅助支撑机构320的具体结构可设置为与第一辅助支撑机构220相同，第二辅助支撑机构320的第一连接件的顶部连接于第二卡盘610的底面。在一实施方式中，第一驱动源400包括固定座410、驱动电机420、丝杆440、螺母固定块450、第六直线导轨430、第七直线导轨451和第二连接件460，第一驱动源400的固定座410固定于承载板200，第二驱动源500的固定座固定于第一旋转台300。丝杆440可转动设置在固定座410上，驱动电机420设于固定座410的一侧，驱动电机420的输出端与丝杆440的一端连接，螺母固定块450螺接于丝杆440，固定座410沿与第一方向垂直的第二方向(图4中的F2方向)设置有第六直线导轨430，螺母固定块450滑动连接于第六直线导轨430，螺母固定块450顶部沿第一方向设置有第七直线导轨451，第二连接件460与第七直线导轨451滑动连接，第二连接件460的顶部与第一旋转台300的底部连接。驱动电机420驱动丝杆440转动，丝杆440带动螺母固定块450在固定座410上沿第二方向做直线运动，进而带动第一旋转台300在第一弧形滑轨组件210上滑动，使第一旋转台300绕竖直轴旋转。此过程中，第二连接件460沿在第七直线导轨451上做直线运动，第二连接件460整体的运行轨迹呈弧线。

如图5～7所示，在一实施方式中，第二连接件460包括第三滑板461、连接板462和支撑板463。第三滑板461与第七直线导轨451滑动连接，连接板462与第三滑板461固定，支撑板463嵌设于连接板462上且有一部分伸出于连接板462的顶面，支撑板463可通过螺丝与第一旋转台300连接固定。

如图2、图3及图5所示，在一实施方式中，第一卡盘610的底面和第二卡盘620的底面均设置有支撑脚622，第二卡盘620的支撑脚622固定有第二旋转台621，第二旋转台621与第二弧形滑轨组件310滑动连接，第二辅助支撑机构320的第一连接件的顶部与第二旋转台621的底面通过螺丝固定。

承载板200设置的四个第一辅助支撑机构220，能保证在大负载的情况下，负载的重心稳定，不易出现由于负载重心与叠层运动平台10的中心不一致而出现倾覆的现象。在一实施例中，承载板200顶面靠近边角处的位置凹陷形成有凹槽201，第二直线滑轨221固定在该凹槽201内，以节省纵向方向上的空间。

在一实施例中，第一弧形滑轨组件210包括至少一组弧形滑轨，每组弧形滑轨包括两段弧形滑轨，该两段弧形滑轨的圆心重合且对称布设于该圆的两侧，即两段弧形滑轨相对设置，以使第一旋转台300能平稳旋转。至少一组弧形滑轨设置在承载板200顶面，由于承载板200转动角度的范围较小，故只需设置长度较短的两段弧形滑轨。可以理解，也可以设置多组弧形滑轨，例如两组，每组具有两段较短的弧形滑轨。

第二弧形滑轨组件310包括至少一组弧形滑轨，每组弧形滑轨包括两段弧形滑轨，两段弧形滑轨的圆心重合且相对设置。第二弧形滑轨组件310设置在第一旋转台300上。也就是说，第一弧形滑轨组件210和第二弧形滑轨组件310的结构可设置为相同，也可设置为不同的结构。可以理解的，承载板200还可转动设置一与第一旋转台300连接的转轴，第一旋转台300也可转动设置一于第二旋转台621连接的转轴，第一旋转300台可借助转轴和/或第一弧形滑轨组件210旋转，第二旋转台621可借助对应转轴和/或第二弧形滑轨组件310旋转。

如图1～5所示，在一实施例中，底座100下方设置有支撑台120，底座100与支撑台120之间设置有隔振器130。支撑台120可采用钢架，钢架底部可设置有多个支撑地脚121，隔振器130设有两排，每排具有三个隔振器130，用于隔离环境振动对运动平台10造成的振动影响。底座100可采用大理石，适于支撑第一直线滑轨和叠层运动平台，能吸收振动，保证运动平台10运行的稳定性和精确性。运动平台10的正上方可设置检测装置或加工装置，以对第一卡盘610和第二卡盘620上的基板或半片基板进行检测或加工。

如图1～9所示，本发明实施例提供的上述实施例的运动平台的工作方法，包括以下步骤：

步骤S10：提供第一半片基板。

步骤S11：将第一半片基板安装于第一卡盘610或第二卡盘620。

步骤S12：控制第一驱动组件带动第一旋转台300旋转第一预定角度，使安装于第二卡盘620上的第二半片基板旋转第一预定角度。

在一实施例中，运动平台的工作方法还包括以下步骤：

步骤S13：提供第二半片基板。

步骤S14：安装第二半片基板，使第二半片基板和第一半片基板分别位于第一卡盘610和第二卡盘620上。

第一旋转台300旋转第一预定角度之后，还包括步骤S15：使第二旋转机构带动第二卡盘620绕第二旋转轴旋转第二预定角度。

如图1～8及图10所示，在另一实施例中，运动平台的工作方法包括以下步骤：

步骤S20：提供第二半片基板。

步骤S21：将第二半片基板安装于第二卡盘620。

步骤S22：控制第二旋转机构带动第二旋转台621旋转第三预定角度，第三预定角度可以是小角度，如1～2度。

也就是说，可利用运动平台10对第一半片基板和第二半片基板分别单独进行旋转，也可将两半片基板同时安装在运动平台10上进行旋转。可以理解的，两卡盘分别安装有第一半片基板、第二半片基板时，可先对第二半片基板的旋转，再控制第一驱动组件带动第一旋转台300复位，然后再对第一半片基本进行旋转操作，或者先完成对第一半片基板的旋转后，第二旋转机构带动第二卡盘620复位，然后再进行对第二半片基板的旋转操作。

如图1～8及图11所示，本发明实施例提供的运动平台的工作方法，包括以下步骤：

步骤S30：提供一整片基板。

步骤S31：将整片基板安装于第一卡盘610和第二卡盘620。

步骤S32：控制第一驱动组件带动第一旋转台300旋转第四预定角度，使安装于第一卡盘610和第二卡盘620上的整片基板旋转第四预定角度。

本发明实施例提供的检测设备，包括：

上述实施例中的运动平台10；

检测装置(图未示)，检测装置用于对第一卡盘610和/或第二卡盘620表面的基板进行检测。检测装置可设置在运动平台10的上方。

如图1～8及图12所示，本发明实施例提供的检测方法，包括以下步骤：

步骤S40：提供上述实施例中的检测设备。

步骤S41：提供基板，该基板包括第一半片基板、第二半片基板或整片基板。

步骤S42：采用上述实施例中的运动平台的工作方法，对运动平台10进行调整处理，即对运动平台10上的基板进行旋转操作。

步骤S43：调整处理之后，即完成基板的旋转操作后，通过检测装置对基板进行检测。即根据第一卡盘610和第二卡盘620放置的待检测物的不同进行对应的旋转操作，旋转至预定角度后，检测装置对第一半片基板、第二半片基板或整片基板进行检测。

在一实施例中，运动平台10还包括设置于底座100的第一直线滑轨110；

对基板进行检测的步骤还包括：通过第一卡盘610带动基板沿第一直线滑轨110移动，使检测装置对基板进行扫描。

在本实施例中，运动平台10应用于基板的缺陷检测，第一半片基板、第二半片基板和整片基板均预设有对齐标识，如十字标识，当第一半片基板、第二半片基板或整片基板旋转至对应的预定角度后，十字标识与第一方向平行，此时启动检测装置对第一半片基板、第二半片基板或或整片基板进行检测。当检测工位不在第一卡盘610和第二卡盘620的正上方时，控制承载板200沿第一方向移动至检测工位，然后进行旋转操作，第一半片基板、第二半片基板或整片基板旋转至预定角度后再进行检测。由于运动平台10为层叠运动平台，第一旋转台300和第二旋转台621为层叠设计，能保证对两个半片基板进行检测的独立性，也能完成对一个半片基板或整片基板进行检测，适用性提高，操作便捷。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种运动平台，其特征在于：包括：

底座；

设置于所述底座的第一旋转机构，包括第一旋转台和用于驱动所述第一旋转台绕第一旋转轴旋转的第一驱动组件；

设置在所述第一旋转台上的第二旋转机构，用于绕第二旋转轴旋转，所述第二旋转轴与所述第一旋转轴平行；

设置在所述第一旋转台上的第一卡盘，所述第一旋转台的一侧外露于所述第一卡盘；

第二卡盘，固定于所述第一旋转台外露于所述第一卡盘的一侧，所述第二旋转机构用于驱动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转，所述第一卡盘的顶面与所述第二卡盘的顶面齐平。

2.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于：所述底座设置有第一直线滑轨，所述第一旋转机构与所述第一直线滑轨滑动连接。

3.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于：所述第一旋转机构还包括设置于所述底座和所述第一旋转台之间的承载板，所述第一驱动组件包括设置于所述承载板的第一驱动源，所述承载板与所述第一旋转台之间设有第一弧形滑轨组件，所述第一旋转台与所述第一弧形滑轨组件滑动连接，所述第一驱动源用于驱动所述第一旋转台沿所述第一弧形滑轨组件滑动，进而带动所述第一卡盘和所述第二卡盘绕所述第一旋转轴旋转。

4.根据权利要求1或3所述的运动平台，其特征在于：所述第二旋转机构包括设置在所述第一旋转台的第二驱动源，所述第二卡盘底面连接固定有第二旋转台，所述第二旋转台与所述第一旋转台之间设有第二弧形滑轨组件，所述第二旋转台与所述第二弧形滑轨组件滑动连接，所述第二驱动源用于驱动所述第二旋转台沿所述第二弧形滑轨组件滑动，进而带动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转。

5.根据权利要求3所述的运动平台，其特征在于：所述运动平台还包括多个第一辅助支撑机构和/或多个第二辅助支撑机构，所述第一辅助支撑机构设置于所述承载板与所述第一旋转台之间，第一辅助支撑机构用于支撑所述第一旋转台并用于使所述第一旋转台绕所述第一旋转轴旋转，所述第二辅助支撑机构设置于所述第一旋转台与所述第二旋转台之间，第二辅助支撑机构用于支撑所述第二旋转台并用于使所述第二旋转台绕所述第二旋转轴旋转。

6.根据权利要求5所述的运动平台，其特征在于：所述第一辅助支撑机构包括固定于所述承载板上的第二直线滑轨、滑动连接于所述第二直线滑轨的第一滑板和设置在所述第一滑板上的第三直线滑轨，所述第三直线滑轨与所述第二直线滑轨的延伸方向不相同，所述第一旋转台与所述第三直线滑轨滑动连接；

所述第二辅助支撑机构包括固定于所述第一旋转台上的第四直线滑轨、滑动连接于所述第四直线滑轨的第二滑板和设置在所述第二滑板上的第五直线滑轨，所述第五直线滑轨与所述第四直线滑轨的延伸方向不相同，所述第二旋转台与所述第五直线滑轨滑动连接。

7.根据权利要求4所述的运动平台，其特征在于：所述第一弧形滑轨组件包括至少一组弧形滑轨，每组弧形滑轨包括两段弧形滑轨，所述两段弧形滑轨的圆心重合且相对设置；

和/或所述第二弧形滑轨组件包括至少一组弧形滑轨，每组弧形滑轨包括两段弧形滑轨，所述两段弧形滑轨的圆心重合且相对设置。

8.一种权利要求1～7任一项所述的运动平台的工作方法，其特征在于：包括以下步骤：

提供第一半片基板；

将所述第一半片基板安装于所述第一卡盘或第二卡盘；

控制所述第一驱动组件带动所述第一旋转台旋转第一预定角度。

9.根据权利要求8所述的运动平台的工作方法，其特征在于：还包括：

提供第二半片基板；

安装所述第二半片基板，使所述第二半片基板和第一半片基板分别位于所述第一卡盘和第二卡盘上；

所述第一旋转台旋转第一预定角度之后，还包括：使所述第二旋转机构带动所述第二卡盘绕第二旋转轴旋转第二预定角度。

10.一种权利要求1～7任一项所述的运动平台的工作方法，其特征在于：包括以下步骤：

提供第二半片基板；

将所述第二半片基板安装于所述第二卡盘；

控制所述第二旋转机构带动所述第二旋转台旋转第三预定角度；

或者，提供一整片基板；

将所述一整片基板安装于第一卡盘和第二卡盘；

控制所述第一驱动组件带动所述第一旋转台旋转第四预定角度，以带动所述整片基板旋转第四预定角度。

11.一种检测设备，其特征在于：包括：

权利要求1～7任一项所述的运动平台；

检测装置，用于对所述第一卡盘和/或所述第二卡盘表面的基板进行检测。

12.一种检测方法，其特征在于：包括以下步骤；

提供如权利要求11所述的检测设备；

提供基板，所述基板包括第一半片基板、第二半片基板或整片基板；

采用如权利要求8～10任一项所述的运动平台的工作方法，对所述运动平台进行调整处理；

所述调整处理之后，通过检测装置对所述基板进行检测。

13.根据权利要求12所述的检测方法，其特征在于：所述运动平台还包括设置于所述底座的第一直线滑轨；

对所述基板进行检测的步骤包括：通过所述第一卡盘带动所述基板沿所述第一直线滑轨移动，使所述检测装置对所述基板进行扫描。