JP2005510005A - コンプリメンタリ・ビットpcramセンス増幅器及びその動作方法 - Google Patents

コンプリメンタリ・ビットpcramセンス増幅器及びその動作方法 Download PDF

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Abstract

【課題】既存のDRAMメモリーデバイスのアーキテクチャを、読出し兼書込みPCRAMデバイスに適応させる
【解決手段】相補的なプログラマブル導体ランダムアクセスメモリー(PCRAM)素子を用いて、PCRAM素子の抵抗状態を検出する方法及び装置を開示し、一方の素子が検出される抵抗状態を保持して、他方の素子がこれと相補的な抵抗状態を保持する。センス増幅器が、高抵抗素子及び低抵抗素子を通した電圧放電を検出して、読み出される素子の抵抗状態を測定する。

Description

(発明の分野)
本発明は、プログラマブル導体ランダムアクセスメモリ(PCRAM:Programmable Conductor Random Access Memory)素子の抵抗を検出する方法及び装置に関するものである。
米国特許5,883,827(発明の背景) PCRAMデバイスは、2進(バイナリ)データを2つの異なる抵抗値として記憶して、一方の抵抗値は他方より高い。この抵抗値は、論理"0"または論理"1"の特定の2進値を表わす。PCRAMデバイスの抵抗値を検出する際には、読出し操作を行うメモリーセルの抵抗値を基準セルの抵抗値と比較して、読み出すセルの抵抗値、従ってその論理状態を特定するのが一般的である。こうした方法は、米国特許5,883,827に開示されている。しかし、この方法にはある程度の制約がある。
基準セルに欠陥があり、そしてアレイ内のメモリーセルの列が同じ欠陥基準セルを用いる場合には、メモリーセルの列全体が、誤差のある抵抗の読み取り値を有する。これに加えて、抵抗値をセル内に書き込むには特別な回路が必要であり、こうした装置用のセンス増幅器(センスアンプ、読出し増幅器)回路は、複雑かつ大規模になりがちである。
一般に、PCRAMデバイス用のセンシング方式も、一般的なDRAM回路に通常採用するアーキテクチャとは異なる独特のアーキテクチャを有しがちである。PCRAMは、2進値を、キャパシタの電荷としてではなく抵抗性のメモリー素子に記憶するという点でDRAMとは異なるが、そしてPCRAMは不揮発性であるのに対し、DRAMに採用されるキャパシタ構造は揮発性であるが、それにもかかわらず、両デバイス用の読出し回路と書込み回路をできる限り同じにして、既存のDRAMメモリーデバイスのアーキテクチャを、読出し兼書込みPCRAMデバイスに容易に適応させることができることが望ましい。
(発明の概要)
本発明は、一部のDRAMメモリーデバイスに採用されているのと同様の読出しアーキテクチャを利用したPCRAMデバイス、及びその動作方法を提供するものである。第1及び第2プリグラマブル導体メモリー素子を具えた一対のコンプリメンタリ(相補型)PCRAMメモリーセルを採用して、各メモリーセルをそれぞれのアクセス・トランジスタに接続する。書込み動作中には、これらの第1及び第2メモリー素子に相補的な2進値を書込み、即ち、第1メモリー素子を高抵抗状態にする書込みを行えば、第2メモリー素子は低抵抗状態にする書込みを行い、逆に第1メモリー素子を低抵抗状態にする書込みを行えば、第2メモリー素子は高抵抗状態にする書込みを行う。
例えば前記第1メモリー素子の読出し動作中には、センス増幅器の各入力がそれぞれのプリチャージ(事前充電)電圧を受けるべく結合されるようにセンス増幅器を接続し、これらのプリチャージ電圧は、前記第1及び第2メモリー素子を通って放電される。センス増幅器は、これら2つのメモリー素子を通して前記放電電圧を読み取って、どちらの放電電圧がより大きいかを判定して、これにより、読み出すメモリーセルの抵抗値(高または低)及び論理状態(ハイまたはロー)を特定する。
本発明のこれら及び他の特徴及び利点は、以下の図面を参照した本発明の好適な実施例の説明より一層明らかになる。
(実施例の詳細な説明)
本発明は、従来のDRAMデバイスに採用されているのと幾分類似したセンス増幅器(センスアンプ、読出し増幅器)のアーキテクチャを採用して、PCRAMメモリーセルの抵抗状態を検出する。本発明では、2進地を抵抗値として第1PCRAMセルに記憶しつつ、その相補的な(コンプリメンタリ)抵抗値を第2PCRAMに記憶する。第1PCRAMセルの読出し中には、両方のPCRAMセルを用いて、プリチャージ(事前充電)電荷をセンス増幅器のそれぞれの入力に対して放電して、このセンス増幅器はこの放電電圧を読み取って前記抵抗値を測定して、これにより、読出し動作が行われている第1PCRAMセルに記憶されている2進値を特定する。
図1に、本発明により構成したPCRAMメモリーデバイスの一部分内に設ける好適なセル構成を示す。図にはPCRAMメモリー素子102を示し、これは、カルコゲナイド・ガラス体、及び下部導体103と上部導体104とを有する。周知のように、プログラマブル導体メモリー素子は2つの安定な抵抗状態を有し、即ち一方が高抵抗、他方が低抵抗である。通常は、休止時にはメモリーが高抵抗状態を有するが、導体103及び104に適切なバイアス電圧を印加することによって、このメモリーを低抵抗状態にプログラムすることができる。一般に、PCRAMメモリー素子の低抵抗状態は、導体103と104の間の、カルコゲナイド・ガラス体を通るデンドライト成長、あるいはカルコゲナイド・ガラス体の表面に沿った樹枝状(デンドライト)成長によって特徴付けられる。高抵抗状態は、こうした樹枝状成長がない時に存在する。成長した樹枝は、バイアス電圧を取り除いた後に、比較的長時間、例えば何日あるいは何週間もその場所に留まるという点で比較的不揮発性である。
図1にさらに示すように、PCRAMメモリー素子102は、導体プラグ101によってアクセス・トランジスタ207に結合して、アクセス・トランジスタ207はワード線105によって駆動して、ワード線105はトランジスタ207のゲート構造を形成する。アクセス・トランジスタ207は、導体プラグ101を通して、PCRAMメモリー素子102の一方の導体103に結合する。PCRAM素子102の他方の導体104は、共通セル板(プレート)109によってバイアス電圧に接続し、このバイアス電圧は、メモリーデバイス内に設けた他のPCRAMメモリー素子と共通である。
図1には一般的なPCRAMアーキテクチャを示し、これは隣接する2つのメモリーセル207、211を共通の数値(ディジット)線118に結合したものである。従って図1には、ワード線107によって駆動される他のアクセス・トランジスタ211も示し、アクセス・トランジスタ211は導体プラグ99を通して他のPCRAMメモリー素子106に結合され、PCRAMメモリー素子106も共通セル板109に接続されている。アクセス・トランジスタ211も、1つの端子が数値線118に接続されている。
図2に、図1に示すセル・アーキテクチャを採用したメモリーアレイの電気回路図を示す。従って、図2の上部は、それぞれPCRAMメモリー素子102及び106に結合したトランジスタ207及び211を示し、アクセス・トランジスタ207及び211は、メモリー素子102及び106を数値線118(D1)に結合する。
図2にも示すように、このメモリーアレイ内には、相補的な(コンプリメンタリ)数値線120(D1*)も設けて、相補的な数値線120には、他のPCRAMメモリー素子に接続された他の組のアクセス・トランジスタを接続する。説明を簡単にするために、PCRAMセルの単一の相補対を300として示す。相補対300は、アクセス・トランジスタ207及びこれに関連するPCRAMメモリー素子102を含み、アクセス・トランジスタ207は数値線118(D1)に接続され、相補対300はさらに、アクセス・トランジスタ209及びこれに関連するPCRAMメモリー素子124を含み、アクセス・トランジスタ209は数値線120(D1*)に接続されている。
書込み動作中には、PCRAMメモリー素子102が高抵抗状態に書き込まれる場合に、PCRAMメモリー素子124が低抵抗状態に書き込まれ、その逆も成り立つように、トランジスタ207に結合した行線(行ライン)104、及びトランジスタ209に結合した行線113を活性化する(有効にする)。このようにして、PCRAMメモリー素子102及び124が共にアクセスされて、常に相補的な抵抗数値値を記憶する。従って、PCRAMメモリー素子102が、書込み及び読出しが行われる主な素子であると仮定すれば、数値線118及び120に結合されたセンス増幅器210が、メモリーの読み出し動作中に、数値線118上の放電プリチャージ電圧を数値線120上の放電プリチャージ電圧と比較することによって、PCRAMメモリー素子102の値を読み取る。
従って、メモリーの読出しの前に、プリチャージ回路301によって、プリチャージ電圧を相補的な数値線118及び120に印加する。このプリチャージ回路は、プリチャージ線上の論理回路によって作動し、プリチャージ線はトランジスタ305を作動させて、例えばVcc/2なる電圧を、数値線118及び120に共に供給する。
平衡回路303も設けることができ、平衡回路303は、プリチャージ回路が作動した後に平衡信号によって作動して、線118及び120上の電圧が同じであることを保証する。線118及び120上の電圧は、これらの線の浮遊容量によって保持される。プリチャージ回路301(及び存在すれば平衡回路303)が作動した後に、相補的なセル対300上で読出し動作を行うことができる。この読出し動作は図3により詳細に示し、図3は、センス増幅器210の入力経路を簡略化したものである。
相補的な数値線118及び120についての寄生容量は、それぞれC1及びC1*として示す。それぞれのアクセス・トランジスタ207及び209は、それぞれのワード線105及び113に接続されているように示す。PCRAMメモリ素子102及び124も図示してある。上述したように、2進値は、例えばPCRAMメモリー素子102に抵抗値として記憶される。この抵抗値は、高抵抗値または低抵抗値のいずれかであり、PCRAMメモリー素子124には相補的な抵抗値が記憶される。
読出し動作中には、相補的な数値線118及び120に印加されたプリチャージ電圧が、アクセス・トランジスタ207及び209、及びPCRAMメモリー素子102及び124のそれぞれの抵抗値を通って放電可能になる。これらの抵抗値は異なり、即ち一方が高抵抗値、他方が低抵抗値であるので、読出し動作中には、数値線D1及びD1*(118、120)に相違が出始める。相補的な数値線118及び120に最初に印加する電圧はVcc/2であるが、読出し動作中には、数値線118及び120上の寄生容量C1及びC1*、並びにトランジスタ207及び209に固有のゲート−ドレイン容量の存在により、この電圧が実際には少し、例えば約0.3mVだけ高くなる。
図5に、読出し動作中の、相補的な数値線118及び120上の電圧を示す。ワード線105及び113の活性化(イネーブル)をパルス信号として示し、最初に、両数値線D1及びD1*上に存在する、Vcc/2+約0.3mVなる電圧が下降し始める。一方のPCRAMメモリー素子、例えば102が他方よりも高い抵抗値を有するので、より低い抵抗値、例えばPCRAMメモリー素子124に関連する数値線上の電圧は、より高い抵抗値に結合された数値線、例えばD1上の電圧よりも速く下降する。このことを図5に示す。
線D1及びD1*上の2つの電圧のずれは次第に増加する。ワード線105及び113が活性化された後の所定時点に、センス増幅器210を作動させる。センス増幅器210は、DRAM構成に通常採用されるアーキテクチャを有し、このアーキテクチャは図4に示す。こうしたセンス増幅器は、Nsense増幅器ラッチ302及びPsense増幅器ラッチ304を有する。この構造は図4に示す。
図5に戻って説明する。まずNsense増幅器を時刻t1に起動する。Nsense増幅器が起動すると、より低い電圧を有する数値線、この例ではD1*が即座に接地にもっていく。その後に、Psense増幅器を時刻t2に起動して、Psense増幅器はより高い電圧の線、例えば線D1をVccにもっていく。従って、時刻t2に、センス増幅器210がVccの値を出力して、PCRAMメモリー素子102の高抵抗状態を示す。
図5には、PCRAMメモリー素子102がメモリー素子124よりも高い抵抗値を有する際に発生する信号タイミングを示しているが、PCRAMメモリー素子102が低抵抗状態を有しPCRAMメモリー素子124が高抵抗状態を有する場合には、この信号レベルが反転することは明らかである。即ち、図5に示す信号図では、数値線D1*がVccに向かい、数値線D1が接地に向かう。
図5には、本発明の他の態様も示す。図に示すように、読出し動作については、行線105、113の電圧は、接地レベル付近から、正電圧Vcc付近まで増加する。そしてこの電圧は、センス増幅器210がイネーブル(有効)になる前(t1より前)に接地レベル付近に戻る。その結果、読出しPCRAMメモリー素子の再書込みはない。こうしたPCRAMセルの再書込みが望ましい場合には、低抵抗状態に書き込まれるメモリー素子を有する行線105及び113の電圧は、センス増幅器210の動作中にVcc付近の電圧レベルになることがあり、このことは、読出しセルを自動的に、低抵抗状態に再書込み(リフレッシュ)する。
プログラマブル(プログラム可能)な接触メモリー素子は、容量性のメモリー素子よりもむしろ抵抗性のメモリー素子なので、DRAM内に見出される一般的な容量性メモリー素子よりも、数値線をVcc及び接地にもっていくまでに時間を要し得る。このことが正しいものとすれば、最新世代のDRAMセンス増幅器よりも幾分低速で動作するより旧式のDRAMセンス増幅器の設計も、PCRAMメモリーセルと共に用いることができる。こうすることの利点は、より旧式のDRAMセンス増幅器は有効に動作することが既に示されており、これらのセンス増幅器の試験基盤(テスト・インフラストラクチャ)が既に確立されている、ということにある。結果として、DRAMセンス増幅器を用いたPCRAMメモリー素子から成るハイブリッドメモリーを生産することができ、このハイブリッドメモリーは、PCRAM技術の利点を有するが、迅速かつ廉価に生産可能である。
図2には、相補的なプログラマブル接触メモリー素子102及び106、及びこれらに関連するアクセス・トランジスタ及び数値線D及びD*を、同じメモリーアレイ内に設けているように示してあるが、相補的なメモリー素子、アクセス・トランジスタ、及び数値線は、それぞれ異なるメモリーアレイ内に設けることもできる。
図6に、本発明の一実施例により構成したPCRAMメモリーデバイス200を利用したプロセッサベースのシステム400のブロック図を示す。プロセッサベースのシステム400は、コンピュータシステム、プロセス制御システム,あるいはプロセッサ及びこれに関連するメモリーを用いた他のあらゆるシステムとすることができる。システム400は、中央処理装置(CPU:Central Processing Unit)402、例えばマイクロプロセッサを具え、CPU402は、バス420を介して、PCRAMメモリーデバイス200及びI/O装置404と通信する。なお、バス420は、プロセッサベースのシステムにおいて一般的に用いられる一連のバス及びブリッジであり得るが、簡便性だけの目的で、バス420は単一のバスとして示してある。第2のI/O装置406を示しているが本発明の実施には必要でない。プロセッサベースのシステム400は、読出し専用メモリー(ROM:Read-Only Memory)410も具え、そしてフロッピーディスク・ドライブ(駆動装置)412及びコンパクトディスク(CD)−ROMドライブ414のような周辺装置を具えることができ、これらの周辺装置も。バス420を介してCPU402と通信することは、現在技術で周知の通りである。
1つ以上のメモリーデバイスを、プラグイン・モジュール256、例えばSIMM、DIMM、あるいは他のプラグイン・メモリーモジュール上に設けて、バス420への接続及びバス420からの切離しを容易にすることができる。本発明は、特定の好適な実施例を参照して説明及び図示してきたが、本発明の範囲を逸脱することなく、多数の変形及び代案が可能であることは明らかである。従って、本発明は以上の説明によって限定されるものではなく、請求項に記載の範囲によってのみ限定される。
好適なPCRAMデバイスを示す図である。 本発明の一態様の回路図である。 本発明の追加的な態様の回路図である。 本発明の追加的な態様の回路図である。 本発明に用いるキャパシタの放電率特性を示す図である。 本発明をコンピュータシステムで利用する図である。

Claims (58)

  1. 第1数値線及び第2数値線と;
    相補的な2進数値を記憶する第1プログラマブル導体メモリー素子及び第2プログラマブル導体メモリー素子と;
    前記第1導体メモリー素子を前記第1数値線に結合するための第1アクセスデバイス、及び前記第2導体メモリー素子を前記第2数値線に結合するための第2アクセスデバイスと;
    各々が前記第1数値線及び前記第2数値線に結合された入力を有して、前記メモリー素子の一方に抵抗値として記憶されている2進値を読み出すためのセンス増幅器と
    を具えていることを特徴とするPCRAMデバイス。
  2. さらに、読出し動作の前に、前記数値線を共通プリチャージ電圧にプリチャージするためのプリチャージ回路を具えていることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  3. さらに、
    各々が前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスに結合された一対の行線と;
    前記第1行線及び前記第2行線を同時に活性化して、これにより、前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスを同時に作動させる回路と
    を具えていることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  4. 前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスが、アクセス・トランジスタであることを特徴とする請求項3に記載のデバイス。
  5. 前記第1プログラマブル導体メモリー素子及び前記第2プログラマブル導体メモリー素子を、カルコゲナイドガラスで形成したことを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  6. 前記アクセスデバイスを作動させた際に、前記数値線上の前記プリチャージ電圧が、前記第1プログラマブル導体メモリーデバイス及び前記第2プログラマブル導体メモリーデバイスのそれぞれを通って放電して、前記センス増幅器が、前記メモリーデバイスのいずれが高抵抗状態を有しいずれが低抵抗状態を有するか、及び前記メモリーデバイスのいずれが、前記一方のメモリー素子の抵抗状態に対応する2進値を出力しているかを判定することを特徴とする請求項3に記載のデバイス。
  7. 前記数値線が、これに関連する寄生容量を有して、該寄生容量が、前記プリチャージ電圧を記憶することを特徴とする請求項2に記載のデバイス。
  8. 前記寄生容量が、前記プリチャージ電圧よりも大きい電圧値を記憶することを特徴とする請求項2に記載のデバイス。
  9. 読出し動作中に、前記メモリー素子の少なくとも一方の自動的なリフレッシュを防止する方法で、前記行線を活性化することを特徴とする請求項3に記載のデバイス。
  10. 読出し動作中に、前記メモリー素子の少なくとも一方の自動的なリフレッシュを生じさせる方法で、前記行線を活性化することを特徴とする請求項3に記載のデバイス。
  11. 前記第1メモリー素子及び前記第2メモリー素子が、共通のメモリーアレイ内にあることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  12. 前記第1メモリー素子及び前記第2メモリー素子が、異なるメモリーアレイ内にあることを特徴とする請求項1に記載のデバイス。
  13. さらに、前記2つの数値線の電圧を平衡させる平衡回路を具えていることを特徴とする請求項2に記載のデバイス。
  14. 第1プログラマブル導体ランダムアクセス・メモリーセル及び第2プログラマブル導体ランダムアクセス・メモリーセルの対を複数具えたメモリーデバイスであって、前記メモリーセルの対の各々が、
    相補的な2進数値を記憶する第1プログラマブル導体メモリー素子及び第2プログラマブル導体メモリー素子と;
    前記第1導体メモリー素子を第1数値線に結合する第1アクセスデバイス、及び前記第2導体メモリー素子を第2数値線に結合する第2アクセスデバイスと;
    各々が前記第1数値線及び前記第2数値線に結合された入力を有し、前記メモリー素子の一方に抵抗値として記憶されている2進値を読み出すためのセンス増幅器と
    を具えていることを特徴とするメモリーデバイス。
  15. さらに、読出し動作の前に、前記数値線を共通プリチャージ電圧にプリチャージするためのプリチャージ回路を具えていることを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
  16. さらに、
    各々が前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスに接続された一対の行線と;
    前記第1行線及び前記第2行線を同時に活性化して、これにより、前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスを同時に作動させるための回路と
    を具えていることを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
  17. 前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスが、アクセス・トランジスタであることを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
  18. 前記第1プログラマブル導体メモリー素子及び前記第2プログラマブル導体メモリー素子を、カルコゲナイドガラスで形成したことを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
  19. 前記アクセスデバイスを作動させた際に、前記数値線上の前記プリチャージ電圧が、前記第1プログラマブル導体メモリーデバイス及び前記第2プログラマブル導体メモリーデバイスのそれぞれを通って放電して、前記センス増幅器が、前記メモリーデバイスのいずれが高抵抗状態を有しいずれが低抵抗状態を有するか、及び前記メモリーデバイスのいずれが、前記一方のメモリー素子の抵抗状態に対応する2進値を出力しているかを判定することを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
  20. 前記数値線が、これに関連する寄生容量を有して、該寄生容量が、前記プリチャージ電圧を記憶することを特徴とする請求項15に記載のデバイス。
  21. 前記寄生容量が、前記プリチャージ電圧よりも大きい電圧値を記憶することを特徴とする請求項15に記載のデバイス。
  22. 読出し動作中に、前記メモリー素子の少なくとも一方の自動的なリフレッシュを防止する方法で、前記行線を活性化することを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
  23. 読出し動作中に、前記メモリー素子の少なくとも一方の自動的なリフレッシュを生じさせる方法で、前記行線を活性化することを特徴とする請求項16に記載のデバイス。
  24. 前記第1メモリー素子及び前記第2メモリー素子が、共通のメモリーアレイ内にあることを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
  25. 前記第1メモリー素子及び前記第2メモリー素子が、異なるメモリーアレイ内にあることを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
  26. さらに、前記2つの数値線の電圧を平衡させる平衡回路を具えていることを特徴とする請求項15に記載のデバイス。
  27. 前記メモリーデバイスを、メモリーモジュール上に設けたことを特徴とする請求項14に記載のデバイス。
  28. 前記メモリーモジュールが、プラグイン・メモリーモジュールであることを特徴とする請求項27に記載のデバイス。
  29. プロセッサと;
    前記プロセッサに結合したメモリーシステムとを具えたコンピュータシステムであって、
    前記メモリーシステムが、
    第1数値線及び第2数値線と;
    相補的な2進数値を記憶する第1プログラマブル導体メモリー素子及び第2プログラマブル導体メモリー素子と;
    前記第1導体メモリー素子を第1数値線に結合する第1アクセスデバイス、及び前記第2導体メモリー素子を第2数値線に結合する第2アクセスデバイスと;
    各々が前記第1数値線及び前記第2数値線に結合された入力を有し、前記メモリー素子の一方に抵抗値として記憶されている2進値を読み出すためのセンス増幅器と
    を具えていることを特徴とするコンピュータシステム。
  30. さらに、読出し動作の前に、前記数値線を共通プリチャージ電圧にプリチャージするためのプリチャージ回路を具えていることを特徴とする請求項29に記載のシステム。
  31. さらに、
    各々が前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスに接続された一対の行線と;
    前記第1行線及び前記第2行線を同時に活性化して、これにより、前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスを同時に作動させるための回路と
    を具えていることを特徴とする請求項29に記載のシステム。
  32. 前記第1アクセスデバイス及び前記第2アクセスデバイスが、アクセス・トランジスタであることを特徴とする請求項31に記載のシステム。
  33. 前記第1プログラマブル導体メモリー素子及び前記第2プログラマブル導体メモリー素子を、カルコゲナイドガラスで形成したことを特徴とする請求項29に記載のシステム。
  34. 前記アクセスデバイスを作動させた際に、前記数値線上の前記プリチャージ電圧が、前記第1プログラマブル導体メモリーデバイス及び前記第2プログラマブル導体メモリーデバイスのそれぞれを通って放電して、前記センス増幅器が、前記メモリーデバイスのいずれが高抵抗状態を有しいずれが低抵抗状態を有するか、及び前記メモリーデバイスのいずれが、前記一方のメモリー素子の抵抗状態に対応する2進値を出力しているかを判定することを特徴とする請求項31に記載のシステム。
  35. 前記数値線が、これに関連する寄生容量を有して、該寄生容量が、前記プリチャージ電圧を記憶することを特徴とする請求項30に記載のシステム。
  36. 前記寄生容量が、前記プリチャージ電圧よりも大きい電圧値を記憶することを特徴とする請求項30に記載のシステム。
  37. 読出し動作中に、前記メモリー素子の少なくとも一方の自動的なリフレッシュを防止する方法で、前記行線を活性化することを特徴とする請求項31に記載のシステム。
  38. 読出し動作中に、前記メモリー素子の少なくとも一方の自動的なリフレッシュを生じさせる方法で、前記行線を活性化することを特徴とする請求項31に記載のシステム。
  39. 前記第1メモリー素子及び前記第2メモリー素子が、共通のメモリーアレイ内にあることを特徴とする請求項29に記載のシステム。
  40. 前記第1メモリー素子及び前記第2メモリー素子が、異なるメモリーアレイ内にあることを特徴とする請求項29に記載のシステム。
  41. さらに、前記2つの数値線の電圧を平衡させる平衡回路を具えていることを特徴とする請求項30に記載のシステム。
  42. 2進値を、第1プログラマブル導体メモリー素子及び第2プログラマブル導体メモリー素子に、それぞれ異なる抵抗状態として記憶するステップと;
    前記メモリー素子の各々を通してそれぞれの電圧を放電して、これらの放電電圧を比較することによって、前記メモリー素子の一方に記憶されている2進値を特定するステップと
    を具えていることを特徴とするプログラマブル導体メモリーデバイスの動作方法。
  43. 前記放電のステップが、
    相補的な数値線を特定電圧値にプリチャージするステップと;
    前記相補的な数値線の各々の電圧を、それぞれの前記メモリー素子を通して放電するステップと
    を具えていることを特徴とする請求項42に記載の方法。
  44. 前記メモリー素子の各々に関連するそれぞれのアクセス・トランジスタをイネーブル状態にすることによって、前記相補的な数値線上の前記プリチャージ電圧値を、前記メモリー素子のそれぞれを通して放電することを特徴とする請求項43に記載の方法。
  45. さらに、前記アクセス・トランジスタをイネーブル状態にする前に、前記プリチャージを完了するステップを具えていることを特徴とする請求項44に記載の方法。
  46. さらに、前記アクセス・トランジスタをイネーブル状態にする前に、前記数値線を平衡させるステップを具えていることを特徴とする請求項45に記載の方法。
  47. 前記比較が、
    一方の前記メモリー素子に関連する前記放電電圧が、前記2つの放電電圧のうちの高い方であるか低い方であるかを判定するステップと;
    前記一方のメモリー素子に関連する前記放電電圧が前記高い方の放電電圧である場合に、第1の2進値を出力して、前記一方のメモリー素子に関連する前記放電電圧が前記低い方の放電電圧である場合に、第2の2進値を出力するステップと
    を具えていることを特徴とする請求項44に記載の方法。
  48. さらに、より高い放電電圧を有する数値線を、第1の所定電圧状態に設定して、より低い放電電圧を有する数値線を、第2の所定電圧状態に設定するステップを具えていることを特徴とする請求項47に記載の方法。
  49. 前記第1の所定電圧が、前記第2の所定電圧よりも高いことを特徴とする請求項48に記載の方法。
  50. 前記第2の所定電圧が、接地電圧であることを特徴とする請求項49に記載の方法。
  51. さらに、前記数値線を前記第1電圧状態及び前記第2電圧状態に設定する前に、前記アクセス・トランジスタをディセーブル状態にするステップを具えていることを特徴とする請求項48に記載の方法。
  52. さらに、前記数値線が前記第1電圧状態及び前記第2電圧状態に設定されている期間中に、前記アクセス・トランジスタの少なくとも一方をイネーブル状態にするステップを具えていることを特徴とする請求項48に記載の方法。
  53. 第1数値線及び第2数値線を形成するステップと;
    第1プログラマブル導体メモリー素子及び第2プログラマブル導体メモリー素子を形成するステップと;
    前記第1メモリー素子を前記第1数値線に結合するための第1アクセス・トランジスタ、及び前記第2メモリー素子を前記第2数値線に結合するための第2アクセス・トランジスタを形成するステップと;
    前記第1数値線及び前記第2数値線を第1電圧にプリチャージするためのプリチャージ回路を形成するステップと;
    前記メモリー素子の各々を、前記数値線のそれぞれに結合すべく、前記アクセス・トランジスタを作動させるための、それぞれの行線を形成するステップと;
    各々が前記数値線のそれぞれに結合された入力を有するセンス増幅器を形成するステップと
    を具えていることを特徴とするプログラマブル導体メモリーデバイスの生産方法。
  54. さらに、行アドレス信号をデコードして、複数のワード線を選択して同時にイネーブル状態にするための行デコーダを形成するステップを具えていることを特徴とする請求項53に記載の方法。
  55. 前記メモリー素子を、カルコゲナイドガラスで形成することを特徴とする請求項53に記載の方法。
  56. 前記メモリー素子を、共通のメモリーアレイ内に製造することを特徴とする請求項53に記載の方法。
  57. 前記メモリー素子を、異なるメモリーアレイ内に製造することを特徴とする請求項53に記載の方法。
  58. さらに、前記数値線を平衡させるための平衡回路を形成するステップを具えていることを特徴とする請求項53に記載の方法。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004363586A (ja) * 2003-06-04 2004-12-24 Samsung Electronics Co Ltd 相変換メモリ装置
JP2006019685A (ja) * 2004-06-30 2006-01-19 Hynix Semiconductor Inc 相変化記憶素子及びその製造方法
JP2006303150A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> メモリ装置
US7742330B2 (en) 2004-05-25 2010-06-22 Renesas Technology Corp. Semiconductor device
US8379430B2 (en) 2009-11-10 2013-02-19 Sony Corporation Memory device and method of reading memory device
US8416602B2 (en) 2010-02-15 2013-04-09 Sony Corporation Nonvolatile semiconductor memory device
JP7472041B2 (ja) 2018-04-23 2024-04-22 アーム・リミテッド メモリビットセルの動作のための方法、システムおよびデバイス

Families Citing this family (207)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4742429B2 (ja) * 2001-02-19 2011-08-10 住友電気工業株式会社 ガラス微粒子堆積体の製造方法
US6734455B2 (en) * 2001-03-15 2004-05-11 Micron Technology, Inc. Agglomeration elimination for metal sputter deposition of chalcogenides
US7102150B2 (en) * 2001-05-11 2006-09-05 Harshfield Steven T PCRAM memory cell and method of making same
US6951805B2 (en) * 2001-08-01 2005-10-04 Micron Technology, Inc. Method of forming integrated circuitry, method of forming memory circuitry, and method of forming random access memory circuitry
US6955940B2 (en) * 2001-08-29 2005-10-18 Micron Technology, Inc. Method of forming chalcogenide comprising devices
US6881623B2 (en) * 2001-08-29 2005-04-19 Micron Technology, Inc. Method of forming chalcogenide comprising devices, method of forming a programmable memory cell of memory circuitry, and a chalcogenide comprising device
US6784018B2 (en) * 2001-08-29 2004-08-31 Micron Technology, Inc. Method of forming chalcogenide comprising devices and method of forming a programmable memory cell of memory circuitry
US6646902B2 (en) 2001-08-30 2003-11-11 Micron Technology, Inc. Method of retaining memory state in a programmable conductor RAM
US6709958B2 (en) * 2001-08-30 2004-03-23 Micron Technology, Inc. Integrated circuit device and fabrication using metal-doped chalcogenide materials
US6560155B1 (en) * 2001-10-24 2003-05-06 Micron Technology, Inc. System and method for power saving memory refresh for dynamic random access memory devices after an extended interval
US6815818B2 (en) * 2001-11-19 2004-11-09 Micron Technology, Inc. Electrode structure for use in an integrated circuit
US6791859B2 (en) 2001-11-20 2004-09-14 Micron Technology, Inc. Complementary bit PCRAM sense amplifier and method of operation
US6909656B2 (en) * 2002-01-04 2005-06-21 Micron Technology, Inc. PCRAM rewrite prevention
WO2003065377A1 (fr) * 2002-02-01 2003-08-07 Hitachi, Ltd. Memoire
US6867064B2 (en) * 2002-02-15 2005-03-15 Micron Technology, Inc. Method to alter chalcogenide glass for improved switching characteristics
US6791885B2 (en) * 2002-02-19 2004-09-14 Micron Technology, Inc. Programmable conductor random access memory and method for sensing same
US6809362B2 (en) * 2002-02-20 2004-10-26 Micron Technology, Inc. Multiple data state memory cell
US7087919B2 (en) * 2002-02-20 2006-08-08 Micron Technology, Inc. Layered resistance variable memory device and method of fabrication
US6847535B2 (en) 2002-02-20 2005-01-25 Micron Technology, Inc. Removable programmable conductor memory card and associated read/write device and method of operation
US7151273B2 (en) * 2002-02-20 2006-12-19 Micron Technology, Inc. Silver-selenide/chalcogenide glass stack for resistance variable memory
US6937528B2 (en) * 2002-03-05 2005-08-30 Micron Technology, Inc. Variable resistance memory and method for sensing same
US6849868B2 (en) 2002-03-14 2005-02-01 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for resistance variable material cells
US6858482B2 (en) * 2002-04-10 2005-02-22 Micron Technology, Inc. Method of manufacture of programmable switching circuits and memory cells employing a glass layer
US6855975B2 (en) * 2002-04-10 2005-02-15 Micron Technology, Inc. Thin film diode integrated with chalcogenide memory cell
US6864500B2 (en) * 2002-04-10 2005-03-08 Micron Technology, Inc. Programmable conductor memory cell structure
US6731528B2 (en) * 2002-05-03 2004-05-04 Micron Technology, Inc. Dual write cycle programmable conductor memory system and method of operation
US6890790B2 (en) * 2002-06-06 2005-05-10 Micron Technology, Inc. Co-sputter deposition of metal-doped chalcogenides
US6825135B2 (en) * 2002-06-06 2004-11-30 Micron Technology, Inc. Elimination of dendrite formation during metal/chalcogenide glass deposition
US7209378B2 (en) * 2002-08-08 2007-04-24 Micron Technology, Inc. Columnar 1T-N memory cell structure
US7018863B2 (en) * 2002-08-22 2006-03-28 Micron Technology, Inc. Method of manufacture of a resistance variable memory cell
US6831019B1 (en) * 2002-08-29 2004-12-14 Micron Technology, Inc. Plasma etching methods and methods of forming memory devices comprising a chalcogenide comprising layer received operably proximate conductive electrodes
US6867114B2 (en) * 2002-08-29 2005-03-15 Micron Technology Inc. Methods to form a memory cell with metal-rich metal chalcogenide
US7364644B2 (en) 2002-08-29 2008-04-29 Micron Technology, Inc. Silver selenide film stoichiometry and morphology control in sputter deposition
US7010644B2 (en) 2002-08-29 2006-03-07 Micron Technology, Inc. Software refreshed memory device and method
US6864521B2 (en) * 2002-08-29 2005-03-08 Micron Technology, Inc. Method to control silver concentration in a resistance variable memory element
US7800932B2 (en) * 2005-09-28 2010-09-21 Sandisk 3D Llc Memory cell comprising switchable semiconductor memory element with trimmable resistance
US7022579B2 (en) 2003-03-14 2006-04-04 Micron Technology, Inc. Method for filling via with metal
CN1764982B (zh) * 2003-03-18 2011-03-23 株式会社东芝 相变存储器装置及其制造方法
US6987688B2 (en) * 2003-06-11 2006-01-17 Ovonyx, Inc. Die customization using programmable resistance memory elements
US7061004B2 (en) * 2003-07-21 2006-06-13 Micron Technology, Inc. Resistance variable memory elements and methods of formation
JP4356542B2 (ja) * 2003-08-27 2009-11-04 日本電気株式会社 半導体装置
US6903361B2 (en) * 2003-09-17 2005-06-07 Micron Technology, Inc. Non-volatile memory structure
US7123530B2 (en) * 2003-10-09 2006-10-17 Micron Technology, Inc. AC sensing for a resistive memory
TW200527656A (en) * 2004-02-05 2005-08-16 Renesas Tech Corp Semiconductor device
KR100733147B1 (ko) * 2004-02-25 2007-06-27 삼성전자주식회사 상변화 메모리 장치 및 그 제조 방법
US7583551B2 (en) 2004-03-10 2009-09-01 Micron Technology, Inc. Power management control and controlling memory refresh operations
US7098068B2 (en) * 2004-03-10 2006-08-29 Micron Technology, Inc. Method of forming a chalcogenide material containing device
US7145795B2 (en) 2004-04-13 2006-12-05 Micron Technology, Inc. Multi-cell resistive memory array architecture with select transistor
WO2005106955A1 (ja) * 2004-04-27 2005-11-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 記憶素子
US20070170413A1 (en) * 2004-05-14 2007-07-26 Yuichi Matsui Semiconductor memory
US7354793B2 (en) 2004-08-12 2008-04-08 Micron Technology, Inc. Method of forming a PCRAM device incorporating a resistance-variable chalocogenide element
US7326950B2 (en) 2004-07-19 2008-02-05 Micron Technology, Inc. Memory device with switching glass layer
KR100610008B1 (ko) * 2004-07-19 2006-08-08 삼성전자주식회사 버스트 리드동작에 적합한 상변화 메모리 장치 및 그에따른 데이터 리딩방법
US7190048B2 (en) * 2004-07-19 2007-03-13 Micron Technology, Inc. Resistance variable memory device and method of fabrication
US7365411B2 (en) * 2004-08-12 2008-04-29 Micron Technology, Inc. Resistance variable memory with temperature tolerant materials
US7151688B2 (en) * 2004-09-01 2006-12-19 Micron Technology, Inc. Sensing of resistance variable memory devices
DE102004045219B4 (de) * 2004-09-17 2011-07-28 Qimonda AG, 81739 Anordnung und Verfahren zum Auslesen von Widerstandsspeicherzellen
US7423897B2 (en) * 2004-10-01 2008-09-09 Ovonyx, Inc. Method of operating a programmable resistance memory array
KR100695419B1 (ko) * 2004-11-04 2007-03-15 주식회사 하이닉스반도체 내부전원 발생장치
US20060131555A1 (en) * 2004-12-22 2006-06-22 Micron Technology, Inc. Resistance variable devices with controllable channels
US7374174B2 (en) * 2004-12-22 2008-05-20 Micron Technology, Inc. Small electrode for resistance variable devices
US7317200B2 (en) 2005-02-23 2008-01-08 Micron Technology, Inc. SnSe-based limited reprogrammable cell
US7427770B2 (en) * 2005-04-22 2008-09-23 Micron Technology, Inc. Memory array for increased bit density
US7709289B2 (en) 2005-04-22 2010-05-04 Micron Technology, Inc. Memory elements having patterned electrodes and method of forming the same
US7269079B2 (en) * 2005-05-16 2007-09-11 Micron Technology, Inc. Power circuits for reducing a number of power supply voltage taps required for sensing a resistive memory
KR100650735B1 (ko) * 2005-05-26 2006-11-27 주식회사 하이닉스반도체 상변환 기억 소자 및 그의 제조방법
US7233520B2 (en) * 2005-07-08 2007-06-19 Micron Technology, Inc. Process for erasing chalcogenide variable resistance memory bits
US7274034B2 (en) * 2005-08-01 2007-09-25 Micron Technology, Inc. Resistance variable memory device with sputtered metal-chalcogenide region and method of fabrication
US7332735B2 (en) * 2005-08-02 2008-02-19 Micron Technology, Inc. Phase change memory cell and method of formation
US7317567B2 (en) * 2005-08-02 2008-01-08 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for providing color changing thin film material
US20070037316A1 (en) * 2005-08-09 2007-02-15 Micron Technology, Inc. Memory cell contact using spacers
US7579615B2 (en) * 2005-08-09 2009-08-25 Micron Technology, Inc. Access transistor for memory device
US7843900B2 (en) * 2005-08-10 2010-11-30 Kineto Wireless, Inc. Mechanisms to extend UMA or GAN to inter-work with UMTS core network
US7304368B2 (en) * 2005-08-11 2007-12-04 Micron Technology, Inc. Chalcogenide-based electrokinetic memory element and method of forming the same
US7251154B2 (en) * 2005-08-15 2007-07-31 Micron Technology, Inc. Method and apparatus providing a cross-point memory array using a variable resistance memory cell and capacitance
US7277313B2 (en) * 2005-08-31 2007-10-02 Micron Technology, Inc. Resistance variable memory element with threshold device and method of forming the same
US7212458B1 (en) * 2005-10-25 2007-05-01 Sigmatel, Inc. Memory, processing system and methods for use therewith
US7635855B2 (en) 2005-11-15 2009-12-22 Macronix International Co., Ltd. I-shaped phase change memory cell
US7786460B2 (en) 2005-11-15 2010-08-31 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory device and manufacturing method
US7414258B2 (en) 2005-11-16 2008-08-19 Macronix International Co., Ltd. Spacer electrode small pin phase change memory RAM and manufacturing method
US7449710B2 (en) 2005-11-21 2008-11-11 Macronix International Co., Ltd. Vacuum jacket for phase change memory element
US7459717B2 (en) 2005-11-28 2008-12-02 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell and manufacturing method
US7688619B2 (en) 2005-11-28 2010-03-30 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell and manufacturing method
US7531825B2 (en) * 2005-12-27 2009-05-12 Macronix International Co., Ltd. Method for forming self-aligned thermal isolation cell for a variable resistance memory array
US8062833B2 (en) 2005-12-30 2011-11-22 Macronix International Co., Ltd. Chalcogenide layer etching method
US7741636B2 (en) 2006-01-09 2010-06-22 Macronix International Co., Ltd. Programmable resistive RAM and manufacturing method
US7560337B2 (en) 2006-01-09 2009-07-14 Macronix International Co., Ltd. Programmable resistive RAM and manufacturing method
US7956358B2 (en) * 2006-02-07 2011-06-07 Macronix International Co., Ltd. I-shaped phase change memory cell with thermal isolation
US7785920B2 (en) 2006-07-12 2010-08-31 Macronix International Co., Ltd. Method for making a pillar-type phase change memory element
US7719874B2 (en) * 2006-07-31 2010-05-18 Sandisk 3D Llc Systems for controlled pulse operations in non-volatile memory
US7499355B2 (en) * 2006-07-31 2009-03-03 Sandisk 3D Llc High bandwidth one time field-programmable memory
US7450414B2 (en) * 2006-07-31 2008-11-11 Sandisk 3D Llc Method for using a mixed-use memory array
US7492630B2 (en) * 2006-07-31 2009-02-17 Sandisk 3D Llc Systems for reverse bias trim operations in non-volatile memory
US7495947B2 (en) * 2006-07-31 2009-02-24 Sandisk 3D Llc Reverse bias trim operations in non-volatile memory
US20080025069A1 (en) * 2006-07-31 2008-01-31 Scheuerlein Roy E Mixed-use memory array with different data states
US7486537B2 (en) * 2006-07-31 2009-02-03 Sandisk 3D Llc Method for using a mixed-use memory array with different data states
US7522448B2 (en) * 2006-07-31 2009-04-21 Sandisk 3D Llc Controlled pulse operations in non-volatile memory
US7499304B2 (en) * 2006-07-31 2009-03-03 Sandisk 3D Llc Systems for high bandwidth one time field-programmable memory
US7560723B2 (en) 2006-08-29 2009-07-14 Micron Technology, Inc. Enhanced memory density resistance variable memory cells, arrays, devices and systems including the same, and methods of fabrication
US7772581B2 (en) 2006-09-11 2010-08-10 Macronix International Co., Ltd. Memory device having wide area phase change element and small electrode contact area
KR101258983B1 (ko) 2006-09-19 2013-04-29 삼성전자주식회사 가변저항 소자를 이용한 반도체 메모리 장치 및 그 동작방법
KR100819099B1 (ko) * 2006-10-02 2008-04-03 삼성전자주식회사 가변저항 반도체 메모리 장치
US7504653B2 (en) 2006-10-04 2009-03-17 Macronix International Co., Ltd. Memory cell device with circumferentially-extending memory element
US7505348B2 (en) * 2006-10-06 2009-03-17 International Business Machines Corporation Balanced and bi-directional bit line paths for memory arrays with programmable memory cells
US7863655B2 (en) * 2006-10-24 2011-01-04 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cells with dual access devices
US7476587B2 (en) 2006-12-06 2009-01-13 Macronix International Co., Ltd. Method for making a self-converged memory material element for memory cell
US7903447B2 (en) 2006-12-13 2011-03-08 Macronix International Co., Ltd. Method, apparatus and computer program product for read before programming process on programmable resistive memory cell
US7718989B2 (en) 2006-12-28 2010-05-18 Macronix International Co., Ltd. Resistor random access memory cell device
US7619311B2 (en) * 2007-02-02 2009-11-17 Macronix International Co., Ltd. Memory cell device with coplanar electrode surface and method
US7884343B2 (en) * 2007-02-14 2011-02-08 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell with filled sidewall memory element and method for fabricating the same
US7956344B2 (en) 2007-02-27 2011-06-07 Macronix International Co., Ltd. Memory cell with memory element contacting ring-shaped upper end of bottom electrode
US7786461B2 (en) 2007-04-03 2010-08-31 Macronix International Co., Ltd. Memory structure with reduced-size memory element between memory material portions
US7569844B2 (en) * 2007-04-17 2009-08-04 Macronix International Co., Ltd. Memory cell sidewall contacting side electrode
US7969783B2 (en) * 2007-06-15 2011-06-28 Micron Technology, Inc. Memory with correlated resistance
US7839703B2 (en) 2007-06-15 2010-11-23 Micron Technology, Inc. Subtraction circuits and digital-to-analog converters for semiconductor devices
US7817073B2 (en) 2007-06-15 2010-10-19 Micron Technology, Inc. Integrators for delta-sigma modulators
US8068367B2 (en) 2007-06-15 2011-11-29 Micron Technology, Inc. Reference current sources
US7768868B2 (en) * 2007-06-15 2010-08-03 Micron Technology, Inc. Digital filters for semiconductor devices
US8117520B2 (en) 2007-06-15 2012-02-14 Micron Technology, Inc. Error detection for multi-bit memory
US7818638B2 (en) * 2007-06-15 2010-10-19 Micron Technology, Inc. Systems and devices including memory with built-in self test and methods of making and using the same
US9135962B2 (en) 2007-06-15 2015-09-15 Micron Technology, Inc. Comparators for delta-sigma modulators
US7830729B2 (en) * 2007-06-15 2010-11-09 Micron Technology, Inc. Digital filters with memory
US7667632B2 (en) * 2007-06-15 2010-02-23 Micron Technology, Inc. Quantizing circuits for semiconductor devices
US7538702B2 (en) 2007-06-15 2009-05-26 Micron Technology, Inc. Quantizing circuits with variable parameters
US7733262B2 (en) 2007-06-15 2010-06-08 Micron Technology, Inc. Quantizing circuits with variable reference signals
US7813167B2 (en) * 2008-03-21 2010-10-12 Micron Technology, Inc. Memory cell
TWI334604B (en) * 2007-06-25 2010-12-11 Ind Tech Res Inst Sensing circuits of phase change memory
TWI402980B (zh) * 2007-07-20 2013-07-21 Macronix Int Co Ltd 具有緩衝層之電阻式記憶結構
US7729161B2 (en) 2007-08-02 2010-06-01 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory with dual word lines and source lines and method of operating same
US7642125B2 (en) 2007-09-14 2010-01-05 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell in via array with self-aligned, self-converged bottom electrode and method for manufacturing
US8178386B2 (en) 2007-09-14 2012-05-15 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell array with self-converged bottom electrode and method for manufacturing
US7919766B2 (en) 2007-10-22 2011-04-05 Macronix International Co., Ltd. Method for making self aligning pillar memory cell device
US7890892B2 (en) * 2007-11-15 2011-02-15 International Business Machines Corporation Balanced and bi-directional bit line paths for memory arrays with programmable memory cells
US7646631B2 (en) * 2007-12-07 2010-01-12 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell having interface structures with essentially equal thermal impedances and manufacturing methods
US7879643B2 (en) 2008-01-18 2011-02-01 Macronix International Co., Ltd. Memory cell with memory element contacting an inverted T-shaped bottom electrode
US7879645B2 (en) 2008-01-28 2011-02-01 Macronix International Co., Ltd. Fill-in etching free pore device
US8158965B2 (en) 2008-02-05 2012-04-17 Macronix International Co., Ltd. Heating center PCRAM structure and methods for making
US7985960B2 (en) * 2008-02-14 2011-07-26 4D-S Pty Ltd. Voltage excited piezoelectric resistance memory cell system
US8084842B2 (en) * 2008-03-25 2011-12-27 Macronix International Co., Ltd. Thermally stabilized electrode structure
US8030634B2 (en) * 2008-03-31 2011-10-04 Macronix International Co., Ltd. Memory array with diode driver and method for fabricating the same
US7825398B2 (en) * 2008-04-07 2010-11-02 Macronix International Co., Ltd. Memory cell having improved mechanical stability
US7881100B2 (en) * 2008-04-08 2011-02-01 Micron Technology, Inc. State machine sensing of memory cells
US7791057B2 (en) * 2008-04-22 2010-09-07 Macronix International Co., Ltd. Memory cell having a buried phase change region and method for fabricating the same
US8077505B2 (en) 2008-05-07 2011-12-13 Macronix International Co., Ltd. Bipolar switching of phase change device
US7701750B2 (en) 2008-05-08 2010-04-20 Macronix International Co., Ltd. Phase change device having two or more substantial amorphous regions in high resistance state
US8415651B2 (en) * 2008-06-12 2013-04-09 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell having top and bottom sidewall contacts
US8134857B2 (en) 2008-06-27 2012-03-13 Macronix International Co., Ltd. Methods for high speed reading operation of phase change memory and device employing same
US7864609B2 (en) * 2008-06-30 2011-01-04 Micron Technology, Inc. Methods for determining resistance of phase change memory elements
US7932506B2 (en) 2008-07-22 2011-04-26 Macronix International Co., Ltd. Fully self-aligned pore-type memory cell having diode access device
US20100019215A1 (en) * 2008-07-22 2010-01-28 Macronix International Co., Ltd. Mushroom type memory cell having self-aligned bottom electrode and diode access device
US8467236B2 (en) * 2008-08-01 2013-06-18 Boise State University Continuously variable resistor
US7825479B2 (en) 2008-08-06 2010-11-02 International Business Machines Corporation Electrical antifuse having a multi-thickness dielectric layer
US7903457B2 (en) 2008-08-19 2011-03-08 Macronix International Co., Ltd. Multiple phase change materials in an integrated circuit for system on a chip application
WO2010024883A1 (en) * 2008-08-25 2010-03-04 Halo Lsi, Inc Complementary reference method for high reliability trap-type non-volatile memory
US7719913B2 (en) * 2008-09-12 2010-05-18 Macronix International Co., Ltd. Sensing circuit for PCRAM applications
JP2010067332A (ja) * 2008-09-12 2010-03-25 Elpida Memory Inc 相補型相変化メモリセル及びメモリ回路
US8324605B2 (en) * 2008-10-02 2012-12-04 Macronix International Co., Ltd. Dielectric mesh isolated phase change structure for phase change memory
US7897954B2 (en) 2008-10-10 2011-03-01 Macronix International Co., Ltd. Dielectric-sandwiched pillar memory device
US8036014B2 (en) * 2008-11-06 2011-10-11 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory program method without over-reset
US8907316B2 (en) * 2008-11-07 2014-12-09 Macronix International Co., Ltd. Memory cell access device having a pn-junction with polycrystalline and single crystal semiconductor regions
US8664689B2 (en) * 2008-11-07 2014-03-04 Macronix International Co., Ltd. Memory cell access device having a pn-junction with polycrystalline plug and single-crystal semiconductor regions
US7869270B2 (en) 2008-12-29 2011-01-11 Macronix International Co., Ltd. Set algorithm for phase change memory cell
US8089137B2 (en) * 2009-01-07 2012-01-03 Macronix International Co., Ltd. Integrated circuit memory with single crystal silicon on silicide driver and manufacturing method
US8107283B2 (en) 2009-01-12 2012-01-31 Macronix International Co., Ltd. Method for setting PCRAM devices
US8030635B2 (en) 2009-01-13 2011-10-04 Macronix International Co., Ltd. Polysilicon plug bipolar transistor for phase change memory
US8064247B2 (en) 2009-01-14 2011-11-22 Macronix International Co., Ltd. Rewritable memory device based on segregation/re-absorption
US8933536B2 (en) * 2009-01-22 2015-01-13 Macronix International Co., Ltd. Polysilicon pillar bipolar transistor with self-aligned memory element
US8084760B2 (en) * 2009-04-20 2011-12-27 Macronix International Co., Ltd. Ring-shaped electrode and manufacturing method for same
US8173987B2 (en) 2009-04-27 2012-05-08 Macronix International Co., Ltd. Integrated circuit 3D phase change memory array and manufacturing method
US8097871B2 (en) 2009-04-30 2012-01-17 Macronix International Co., Ltd. Low operational current phase change memory structures
US7933139B2 (en) 2009-05-15 2011-04-26 Macronix International Co., Ltd. One-transistor, one-resistor, one-capacitor phase change memory
US7968876B2 (en) 2009-05-22 2011-06-28 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell having vertical channel access transistor
US8350316B2 (en) * 2009-05-22 2013-01-08 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cells having vertical channel access transistor and memory plane
US8809829B2 (en) 2009-06-15 2014-08-19 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory having stabilized microstructure and manufacturing method
US8406033B2 (en) 2009-06-22 2013-03-26 Macronix International Co., Ltd. Memory device and method for sensing and fixing margin cells
US8363463B2 (en) 2009-06-25 2013-01-29 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory having one or more non-constant doping profiles
US8238149B2 (en) 2009-06-25 2012-08-07 Macronix International Co., Ltd. Methods and apparatus for reducing defect bits in phase change memory
US8198619B2 (en) 2009-07-15 2012-06-12 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory cell structure
US8110822B2 (en) 2009-07-15 2012-02-07 Macronix International Co., Ltd. Thermal protect PCRAM structure and methods for making
US7894254B2 (en) 2009-07-15 2011-02-22 Macronix International Co., Ltd. Refresh circuitry for phase change memory
US8064248B2 (en) 2009-09-17 2011-11-22 Macronix International Co., Ltd. 2T2R-1T1R mix mode phase change memory array
US8178387B2 (en) 2009-10-23 2012-05-15 Macronix International Co., Ltd. Methods for reducing recrystallization time for a phase change material
US8729521B2 (en) 2010-05-12 2014-05-20 Macronix International Co., Ltd. Self aligned fin-type programmable memory cell
US8310864B2 (en) 2010-06-15 2012-11-13 Macronix International Co., Ltd. Self-aligned bit line under word line memory array
KR101201858B1 (ko) 2010-08-27 2012-11-15 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 메모리 장치
US8395935B2 (en) 2010-10-06 2013-03-12 Macronix International Co., Ltd. Cross-point self-aligned reduced cell size phase change memory
US8497705B2 (en) 2010-11-09 2013-07-30 Macronix International Co., Ltd. Phase change device for interconnection of programmable logic device
US8467238B2 (en) 2010-11-15 2013-06-18 Macronix International Co., Ltd. Dynamic pulse operation for phase change memory
US8482962B2 (en) * 2011-04-27 2013-07-09 Robert Newton Rountree Low noise memory array
WO2012178114A2 (en) 2011-06-24 2012-12-27 Rambus Inc. Resistance memory cell
US8987700B2 (en) 2011-12-02 2015-03-24 Macronix International Co., Ltd. Thermally confined electrode for programmable resistance memory
US9183925B2 (en) * 2012-04-09 2015-11-10 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Variable resistance nonvolatile memory device and method of performing the forming operation
US8964458B2 (en) * 2012-04-13 2015-02-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Differential MRAM structure with relatively reversed magnetic tunnel junction elements enabling writing using same polarity current
US8885386B2 (en) * 2012-10-24 2014-11-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Write driver in sense amplifier for resistive type memory
US9019743B2 (en) * 2012-11-29 2015-04-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method and structure for resistive switching random access memory with high reliable and high density
KR20140078849A (ko) * 2012-12-18 2014-06-26 삼성전자주식회사 저항성 메모리 장치, 이를 포함하는 시스템 및 데이터 리드 방법
US9343147B2 (en) 2013-03-08 2016-05-17 Microship Technology Incorporated Resistive random access memory (ReRAM) and conductive bridging random access memory (CBRAM) cross coupled fuse and read method and system
JP5731624B1 (ja) * 2013-12-04 2015-06-10 ウィンボンド エレクトロニクス コーポレーション 半導体記憶装置
CN104966717B (zh) 2014-01-24 2018-04-13 旺宏电子股份有限公司 一种存储器装置及提供该存储器装置的方法
CN103839585A (zh) * 2014-03-03 2014-06-04 山东华芯半导体有限公司 一种具有读取自参考功能的 2-1t1r rram 存储单元
US9559113B2 (en) 2014-05-01 2017-01-31 Macronix International Co., Ltd. SSL/GSL gate oxide in 3D vertical channel NAND
CN105448332A (zh) * 2014-09-16 2016-03-30 复旦大学 一种电阻型随机读取存储器及其写操作方法
US9672906B2 (en) 2015-06-19 2017-06-06 Macronix International Co., Ltd. Phase change memory with inter-granular switching
US11361215B2 (en) * 2017-11-29 2022-06-14 Anaflash Inc. Neural network circuits having non-volatile synapse arrays
US10573372B2 (en) * 2018-05-31 2020-02-25 Micron Technology, Inc. Sensing operations in memory by comparing inputs in a sense amplifier
CN112014414A (zh) * 2020-08-14 2020-12-01 西安电子科技大学 一种手机玻璃盖板缺陷检测系统及方法
IT202100024365A1 (it) * 2021-09-22 2023-03-22 St Microelectronics Srl Procedimento per accedere a celle di memoria, corrispondenti circuito e dispositivo di memorizzazione dati

Family Cites Families (223)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US123170A (en) * 1872-01-30 Improvement in tailors measures
US107105A (en) * 1870-09-06 Improvement in apparatus for lighting gas by electricity
US35314A (en) * 1862-05-20 Improvement in glass-furnaces
US163828A (en) * 1875-05-25 Improvement in apparatus for variegating soap
US1229A (en) * 1839-07-10 Endless-chain horse-power for driving machinery
US127886A (en) * 1872-06-11 Improvement in portable billiard-tables
US168820A (en) * 1875-10-11 Improvement in violins
US27416A (en) * 1860-03-13 Improvement in lubricating journals
US106849A (en) * 1870-08-30 Improvement in combined lock-nuts and splice-bars
US190350A (en) * 1877-05-01 Improvement in faucets
US72188A (en) * 1867-12-17 Elliott p
US123248A (en) * 1872-01-30 Improvement in gin-gearings
US123169A (en) * 1872-01-30 Improvement in pressure-accumulators for hydraulic presses
US35315A (en) * 1862-05-20 Imijrovement in harvesters
US3271591A (en) 1963-09-20 1966-09-06 Energy Conversion Devices Inc Symmetrical current controlling device
US3622319A (en) 1966-10-20 1971-11-23 Western Electric Co Nonreflecting photomasks and methods of making same
US3868651A (en) 1970-08-13 1975-02-25 Energy Conversion Devices Inc Method and apparatus for storing and reading data in a memory having catalytic material to initiate amorphous to crystalline change in memory structure
US3743847A (en) 1971-06-01 1973-07-03 Motorola Inc Amorphous silicon film as a uv filter
US4267261A (en) * 1971-07-15 1981-05-12 Energy Conversion Devices, Inc. Method for full format imaging
US3961314A (en) * 1974-03-05 1976-06-01 Energy Conversion Devices, Inc. Structure and method for producing an image
US3966317A (en) * 1974-04-08 1976-06-29 Energy Conversion Devices, Inc. Dry process production of archival microform records from hard copy
DE2712735B1 (de) 1977-03-23 1978-09-14 Ibm Deutschland Lese-/Schreibzugriffschaltung zu Speicherzellen eines Speichers und Verfahren zu ihrem Betrieb
US4177474A (en) 1977-05-18 1979-12-04 Energy Conversion Devices, Inc. High temperature amorphous semiconductor member and method of making the same
JPS5565365A (en) 1978-11-07 1980-05-16 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Pattern forming method
DE2901303C2 (de) 1979-01-15 1984-04-19 Max Planck Gesellschaft Zur Foerderung Der Wissenschaften E.V., 3400 Goettingen Festes Ionenleitermaterial, seine Verwendung und Verfahren zu dessen Herstellung
US4312938A (en) 1979-07-06 1982-01-26 Drexler Technology Corporation Method for making a broadband reflective laser recording and data storage medium with absorptive underlayer
US4269935A (en) 1979-07-13 1981-05-26 Ionomet Company, Inc. Process of doping silver image in chalcogenide layer
US4316946A (en) 1979-12-03 1982-02-23 Ionomet Company, Inc. Surface sensitized chalcogenide product and process for making and using the same
US4499557A (en) 1980-10-28 1985-02-12 Energy Conversion Devices, Inc. Programmable cell for use in programmable electronic arrays
US4405710A (en) 1981-06-22 1983-09-20 Cornell Research Foundation, Inc. Ion beam exposure of (g-Gex -Se1-x) inorganic resists
US4737379A (en) * 1982-09-24 1988-04-12 Energy Conversion Devices, Inc. Plasma deposited coatings, and low temperature plasma method of making same
US4545111A (en) 1983-01-18 1985-10-08 Energy Conversion Devices, Inc. Method for making, parallel preprogramming or field programming of electronic matrix arrays
US4608296A (en) 1983-12-06 1986-08-26 Energy Conversion Devices, Inc. Superconducting films and devices exhibiting AC to DC conversion
US4795657A (en) 1984-04-13 1989-01-03 Energy Conversion Devices, Inc. Method of fabricating a programmable array
US4670763A (en) * 1984-05-14 1987-06-02 Energy Conversion Devices, Inc. Thin film field effect transistor
US4843443A (en) 1984-05-14 1989-06-27 Energy Conversion Devices, Inc. Thin film field effect transistor and method of making same
US4668968A (en) * 1984-05-14 1987-05-26 Energy Conversion Devices, Inc. Integrated circuit compatible thin film field effect transistor and method of making same
US4673957A (en) * 1984-05-14 1987-06-16 Energy Conversion Devices, Inc. Integrated circuit compatible thin film field effect transistor and method of making same
US4769338A (en) 1984-05-14 1988-09-06 Energy Conversion Devices, Inc. Thin film field effect transistor and method of making same
US4678679A (en) 1984-06-25 1987-07-07 Energy Conversion Devices, Inc. Continuous deposition of activated process gases
US4646266A (en) * 1984-09-28 1987-02-24 Energy Conversion Devices, Inc. Programmable semiconductor structures and methods for using the same
US4637895A (en) 1985-04-01 1987-01-20 Energy Conversion Devices, Inc. Gas mixtures for the vapor deposition of semiconductor material
US4664939A (en) * 1985-04-01 1987-05-12 Energy Conversion Devices, Inc. Vertical semiconductor processor
US4710899A (en) 1985-06-10 1987-12-01 Energy Conversion Devices, Inc. Data storage medium incorporating a transition metal for increased switching speed
US4671618A (en) 1986-05-22 1987-06-09 Wu Bao Gang Liquid crystalline-plastic material having submillisecond switch times and extended memory
US4766471A (en) 1986-01-23 1988-08-23 Energy Conversion Devices, Inc. Thin film electro-optical devices
US4818717A (en) * 1986-06-27 1989-04-04 Energy Conversion Devices, Inc. Method for making electronic matrix arrays
US4728406A (en) * 1986-08-18 1988-03-01 Energy Conversion Devices, Inc. Method for plasma - coating a semiconductor body
US4809044A (en) * 1986-08-22 1989-02-28 Energy Conversion Devices, Inc. Thin film overvoltage protection devices
US4845533A (en) 1986-08-22 1989-07-04 Energy Conversion Devices, Inc. Thin film electrical devices with amorphous carbon electrodes and method of making same
US4853785A (en) 1986-10-15 1989-08-01 Energy Conversion Devices, Inc. Electronic camera including electronic signal storage cartridge
US4788594A (en) 1986-10-15 1988-11-29 Energy Conversion Devices, Inc. Solid state electronic camera including thin film matrix of photosensors
US4847674A (en) 1987-03-10 1989-07-11 Advanced Micro Devices, Inc. High speed interconnect system with refractory non-dogbone contacts and an active electromigration suppression mechanism
US4800526A (en) 1987-05-08 1989-01-24 Gaf Corporation Memory element for information storage and retrieval system and associated process
US4775425A (en) 1987-07-27 1988-10-04 Energy Conversion Devices, Inc. P and n-type microcrystalline semiconductor alloy material including band gap widening elements, devices utilizing same
US4891330A (en) * 1987-07-27 1990-01-02 Energy Conversion Devices, Inc. Method of fabricating n-type and p-type microcrystalline semiconductor alloy material including band gap widening elements
US5272359A (en) 1988-04-07 1993-12-21 California Institute Of Technology Reversible non-volatile switch based on a TCNQ charge transfer complex
JP2721909B2 (ja) * 1989-01-18 1998-03-04 三菱電機株式会社 半導体記憶装置
GB8910854D0 (en) 1989-05-11 1989-06-28 British Petroleum Co Plc Semiconductor device
US5159661A (en) 1990-10-05 1992-10-27 Energy Conversion Devices, Inc. Vertically interconnected parallel distributed processor
US5314772A (en) 1990-10-09 1994-05-24 Arizona Board Of Regents High resolution, multi-layer resist for microlithography and method therefor
JPH0770731B2 (ja) 1990-11-22 1995-07-31 松下電器産業株式会社 電気可塑性素子
US5305268A (en) * 1990-12-13 1994-04-19 Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. Semiconductor memory with column equilibrate on change of data during a write cycle
US5534711A (en) 1991-01-18 1996-07-09 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable, directly overwritable, multibit single cell memory elements and arrays fabricated therefrom
US5536947A (en) 1991-01-18 1996-07-16 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable, directly overwritable, multibit single cell memory element and arrays fabricated therefrom
US5596522A (en) * 1991-01-18 1997-01-21 Energy Conversion Devices, Inc. Homogeneous compositions of microcrystalline semiconductor material, semiconductor devices and directly overwritable memory elements fabricated therefrom, and arrays fabricated from the memory elements
US5341328A (en) 1991-01-18 1994-08-23 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable memory elements having reduced switching current requirements and increased write/erase cycle life
US5166758A (en) 1991-01-18 1992-11-24 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable phase change memory
US5414271A (en) * 1991-01-18 1995-05-09 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable memory elements having improved set resistance stability
US5406509A (en) * 1991-01-18 1995-04-11 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable, directly overwritable, multibit single cell memory elements and arrays fabricated therefrom
US5296716A (en) * 1991-01-18 1994-03-22 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable, directly overwritable, multibit single cell memory elements and arrays fabricated therefrom
US5534712A (en) 1991-01-18 1996-07-09 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable memory elements characterized by reduced current and improved thermal stability
US5335219A (en) 1991-01-18 1994-08-02 Ovshinsky Stanford R Homogeneous composition of microcrystalline semiconductor material, semiconductor devices and directly overwritable memory elements fabricated therefrom, and arrays fabricated from the memory elements
US5128099A (en) 1991-02-15 1992-07-07 Energy Conversion Devices, Inc. Congruent state changeable optical memory material and device
US5219788A (en) 1991-02-25 1993-06-15 Ibm Corporation Bilayer metallization cap for photolithography
US5177567A (en) 1991-07-19 1993-01-05 Energy Conversion Devices, Inc. Thin-film structure for chalcogenide electrical switching devices and process therefor
US5359205A (en) 1991-11-07 1994-10-25 Energy Conversion Devices, Inc. Electrically erasable memory elements characterized by reduced current and improved thermal stability
US5238862A (en) 1992-03-18 1993-08-24 Micron Technology, Inc. Method of forming a stacked capacitor with striated electrode
US5512328A (en) 1992-08-07 1996-04-30 Hitachi, Ltd. Method for forming a pattern and forming a thin film used in pattern formation
US5350484A (en) 1992-09-08 1994-09-27 Intel Corporation Method for the anisotropic etching of metal films in the fabrication of interconnects
US5818749A (en) 1993-08-20 1998-10-06 Micron Technology, Inc. Integrated circuit memory device
BE1007902A3 (nl) 1993-12-23 1995-11-14 Philips Electronics Nv Schakelelement met geheugen voorzien van schottky tunnelbarriere.
US5500532A (en) 1994-08-18 1996-03-19 Arizona Board Of Regents Personal electronic dosimeter
JP2643870B2 (ja) 1994-11-29 1997-08-20 日本電気株式会社 半導体記憶装置の製造方法
US5543737A (en) 1995-02-10 1996-08-06 Energy Conversion Devices, Inc. Logical operation circuit employing two-terminal chalcogenide switches
US5789758A (en) 1995-06-07 1998-08-04 Micron Technology, Inc. Chalcogenide memory cell with a plurality of chalcogenide electrodes
US5751012A (en) 1995-06-07 1998-05-12 Micron Technology, Inc. Polysilicon pillar diode for use in a non-volatile memory cell
JP3363154B2 (ja) 1995-06-07 2003-01-08 ミクロン テクノロジー、インコーポレイテッド 不揮発性メモリセル内のマルチステート材料と共に使用するスタック/トレンチダイオード
US5879955A (en) 1995-06-07 1999-03-09 Micron Technology, Inc. Method for fabricating an array of ultra-small pores for chalcogenide memory cells
US5869843A (en) 1995-06-07 1999-02-09 Micron Technology, Inc. Memory array having a multi-state element and method for forming such array or cells thereof
US6420725B1 (en) 1995-06-07 2002-07-16 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for forming an integrated circuit electrode having a reduced contact area
US5714768A (en) * 1995-10-24 1998-02-03 Energy Conversion Devices, Inc. Second-layer phase change memory array on top of a logic device
US5694054A (en) 1995-11-28 1997-12-02 Energy Conversion Devices, Inc. Integrated drivers for flat panel displays employing chalcogenide logic elements
US5591501A (en) * 1995-12-20 1997-01-07 Energy Conversion Devices, Inc. Optical recording medium having a plurality of discrete phase change data recording points
US6043562A (en) 1996-01-26 2000-03-28 Micron Technology, Inc. Digit line architecture for dynamic memory
US6653733B1 (en) 1996-02-23 2003-11-25 Micron Technology, Inc. Conductors in semiconductor devices
US5687112A (en) 1996-04-19 1997-11-11 Energy Conversion Devices, Inc. Multibit single cell memory element having tapered contact
US5852870A (en) 1996-04-24 1998-12-29 Amkor Technology, Inc. Method of making grid array assembly
US5694366A (en) * 1996-05-01 1997-12-02 Micron Quantum Devices, Inc. OP amp circuit with variable resistance and memory system including same
US5851882A (en) 1996-05-06 1998-12-22 Micron Technology, Inc. ZPROM manufacture and design and methods for forming thin structures using spacers as an etching mask
US5761115A (en) 1996-05-30 1998-06-02 Axon Technologies Corporation Programmable metallization cell structure and method of making same
US5814527A (en) 1996-07-22 1998-09-29 Micron Technology, Inc. Method of making small pores defined by a disposable internal spacer for use in chalcogenide memories
US5789277A (en) 1996-07-22 1998-08-04 Micron Technology, Inc. Method of making chalogenide memory device
US5998244A (en) 1996-08-22 1999-12-07 Micron Technology, Inc. Memory cell incorporating a chalcogenide element and method of making same
US5883827A (en) 1996-08-26 1999-03-16 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for reading/writing data in a memory system including programmable resistors
US5699293A (en) * 1996-10-09 1997-12-16 Motorola Method of operating a random access memory device having a plurality of pairs of memory cells as the memory device
US5825046A (en) 1996-10-28 1998-10-20 Energy Conversion Devices, Inc. Composite memory material comprising a mixture of phase-change memory material and dielectric material
US6087674A (en) 1996-10-28 2000-07-11 Energy Conversion Devices, Inc. Memory element with memory material comprising phase-change material and dielectric material
US5943263A (en) * 1997-01-08 1999-08-24 Micron Technology, Inc. Apparatus and method for programming voltage protection in a non-volatile memory system
US5846889A (en) 1997-03-14 1998-12-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Infrared transparent selenide glasses
US5998066A (en) 1997-05-16 1999-12-07 Aerial Imaging Corporation Gray scale mask and depth pattern transfer technique using inorganic chalcogenide glass
US6031287A (en) 1997-06-18 2000-02-29 Micron Technology, Inc. Contact structure and memory element incorporating the same
US5933365A (en) 1997-06-19 1999-08-03 Energy Conversion Devices, Inc. Memory element with energy control mechanism
US5995424A (en) * 1997-07-16 1999-11-30 Tanisys Technology, Inc. Synchronous memory test system
US6051511A (en) 1997-07-31 2000-04-18 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for reducing isolation stress in integrated circuits
TW411471B (en) * 1997-09-17 2000-11-11 Siemens Ag Memory-cell device
US5936880A (en) * 1997-11-13 1999-08-10 Vlsi Technology, Inc. Bi-layer programmable resistor memory
EP1044452B1 (en) 1997-12-04 2003-03-19 Axon Technologies Corporation Programmable sub-surface aggregating metallization structure and method of making same
US6011757A (en) * 1998-01-27 2000-01-04 Ovshinsky; Stanford R. Optical recording media having increased erasability
US5936882A (en) * 1998-03-31 1999-08-10 Motorola, Inc. Magnetoresistive random access memory device and method of manufacture
JP4226686B2 (ja) * 1998-05-07 2009-02-18 株式会社東芝 半導体メモリシステム及び半導体メモリのアクセス制御方法及び半導体メモリ
US6297170B1 (en) 1998-06-23 2001-10-02 Vlsi Technology, Inc. Sacrificial multilayer anti-reflective coating for mos gate formation
US5912839A (en) 1998-06-23 1999-06-15 Energy Conversion Devices, Inc. Universal memory element and method of programming same
US6141241A (en) 1998-06-23 2000-10-31 Energy Conversion Devices, Inc. Universal memory element with systems employing same and apparatus and method for reading, writing and programming same
US6469364B1 (en) 1998-08-31 2002-10-22 Arizona Board Of Regents Programmable interconnection system for electrical circuits
US6388324B2 (en) 1998-08-31 2002-05-14 Arizona Board Of Regents Self-repairing interconnections for electrical circuits
US6635914B2 (en) 2000-09-08 2003-10-21 Axon Technologies Corp. Microelectronic programmable device and methods of forming and programming the same
US6825489B2 (en) 2001-04-06 2004-11-30 Axon Technologies Corporation Microelectronic device, structure, and system, including a memory structure having a variable programmable property and method of forming the same
US6487106B1 (en) 1999-01-12 2002-11-26 Arizona Board Of Regents Programmable microelectronic devices and method of forming and programming same
US6177338B1 (en) 1999-02-08 2001-01-23 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Two step barrier process
JP2002536840A (ja) * 1999-02-11 2002-10-29 アリゾナ ボード オブ リージェンツ プログラマブルマイクロエレクトロニックデバイスおよびその形成およびプログラミング方法
US6072716A (en) 1999-04-14 2000-06-06 Massachusetts Institute Of Technology Memory structures and methods of making same
US6191972B1 (en) 1999-04-30 2001-02-20 Nec Corporation Magnetic random access memory circuit
US6143604A (en) 1999-06-04 2000-11-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Method for fabricating small-size two-step contacts for word-line strapping on dynamic random access memory (DRAM)
US6350679B1 (en) 1999-08-03 2002-02-26 Micron Technology, Inc. Methods of providing an interlevel dielectric layer intermediate different elevation conductive metal layers in the fabrication of integrated circuitry
US6423628B1 (en) 1999-10-22 2002-07-23 Lsi Logic Corporation Method of forming integrated circuit structure having low dielectric constant material and having silicon oxynitride caps over closely spaced apart metal lines
US6473336B2 (en) 1999-12-16 2002-10-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic memory device
US6314014B1 (en) * 1999-12-16 2001-11-06 Ovonyx, Inc. Programmable resistance memory arrays with reference cells
US6865117B2 (en) 2000-02-11 2005-03-08 Axon Technologies Corporation Programming circuit for a programmable microelectronic device, system including the circuit, and method of forming the same
US6914802B2 (en) 2000-02-11 2005-07-05 Axon Technologies Corporation Microelectronic photonic structure and device and method of forming the same
US6191989B1 (en) 2000-03-07 2001-02-20 International Business Machines Corporation Current sensing amplifier
KR100436671B1 (ko) * 2000-03-17 2004-07-02 가부시끼가이샤 도시바 자기 메모리 장치
US6347058B1 (en) * 2000-05-19 2002-02-12 International Business Machines Corporation Sense amplifier with overdrive and regulated bitline voltage
JP3985432B2 (ja) 2000-06-19 2007-10-03 日本電気株式会社 磁気ランダムアクセスメモリ
US6501111B1 (en) 2000-06-30 2002-12-31 Intel Corporation Three-dimensional (3D) programmable device
US6563156B2 (en) 2001-03-15 2003-05-13 Micron Technology, Inc. Memory elements and methods for making same
US6440837B1 (en) 2000-07-14 2002-08-27 Micron Technology, Inc. Method of forming a contact structure in a semiconductor device
US6567293B1 (en) * 2000-09-29 2003-05-20 Ovonyx, Inc. Single level metal memory cell using chalcogenide cladding
US6555860B2 (en) * 2000-09-29 2003-04-29 Intel Corporation Compositionally modified resistive electrode
US6429064B1 (en) 2000-09-29 2002-08-06 Intel Corporation Reduced contact area of sidewall conductor
US6563164B2 (en) * 2000-09-29 2003-05-13 Ovonyx, Inc. Compositionally modified resistive electrode
US6339544B1 (en) 2000-09-29 2002-01-15 Intel Corporation Method to enhance performance of thermal resistor device
US6404665B1 (en) 2000-09-29 2002-06-11 Intel Corporation Compositionally modified resistive electrode
US6587370B2 (en) * 2000-11-01 2003-07-01 Canon Kabushiki Kaisha Magnetic memory and information recording and reproducing method therefor
JP3768143B2 (ja) * 2000-11-09 2006-04-19 三洋電機株式会社 磁気メモリ装置
JP4726292B2 (ja) * 2000-11-14 2011-07-20 ルネサスエレクトロニクス株式会社 薄膜磁性体記憶装置
US6653193B2 (en) 2000-12-08 2003-11-25 Micron Technology, Inc. Resistance variable device
US6649928B2 (en) 2000-12-13 2003-11-18 Intel Corporation Method to selectively remove one side of a conductive bottom electrode of a phase-change memory cell and structure obtained thereby
US6696355B2 (en) * 2000-12-14 2004-02-24 Ovonyx, Inc. Method to selectively increase the top resistance of the lower programming electrode in a phase-change memory
US6437383B1 (en) 2000-12-21 2002-08-20 Intel Corporation Dual trench isolation for a phase-change memory cell and method of making same
US6569705B2 (en) * 2000-12-21 2003-05-27 Intel Corporation Metal structure for a phase-change memory device
US6534781B2 (en) 2000-12-26 2003-03-18 Ovonyx, Inc. Phase-change memory bipolar array utilizing a single shallow trench isolation for creating an individual active area region for two memory array elements and one bipolar base contact
US6646297B2 (en) 2000-12-26 2003-11-11 Ovonyx, Inc. Lower electrode isolation in a double-wide trench
US6531373B2 (en) * 2000-12-27 2003-03-11 Ovonyx, Inc. Method of forming a phase-change memory cell using silicon on insulator low electrode in charcogenide elements
US6687427B2 (en) * 2000-12-29 2004-02-03 Intel Corporation Optic switch
US6638820B2 (en) 2001-02-08 2003-10-28 Micron Technology, Inc. Method of forming chalcogenide comprising devices, method of precluding diffusion of a metal into adjacent chalcogenide material, and chalcogenide comprising devices
US6727192B2 (en) 2001-03-01 2004-04-27 Micron Technology, Inc. Methods of metal doping a chalcogenide material
US6348365B1 (en) 2001-03-02 2002-02-19 Micron Technology, Inc. PCRAM cell manufacturing
JP4712204B2 (ja) * 2001-03-05 2011-06-29 ルネサスエレクトロニクス株式会社 記憶装置
US6818481B2 (en) 2001-03-07 2004-11-16 Micron Technology, Inc. Method to manufacture a buried electrode PCRAM cell
US6734455B2 (en) 2001-03-15 2004-05-11 Micron Technology, Inc. Agglomeration elimination for metal sputter deposition of chalcogenides
US6473332B1 (en) 2001-04-04 2002-10-29 The University Of Houston System Electrically variable multi-state resistance computing
DE60220912T2 (de) 2001-05-07 2008-02-28 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Speichervorrichtung mit einem sich selbst einbauenden polymer und verfahren zur herstellung derselben
US7102150B2 (en) 2001-05-11 2006-09-05 Harshfield Steven T PCRAM memory cell and method of making same
US6480438B1 (en) 2001-06-12 2002-11-12 Ovonyx, Inc. Providing equal cell programming conditions across a large and high density array of phase-change memory cells
US6613604B2 (en) 2001-08-02 2003-09-02 Ovonyx, Inc. Method for making small pore for use in programmable resistance memory element
US6589714B2 (en) 2001-06-26 2003-07-08 Ovonyx, Inc. Method for making programmable resistance memory element using silylated photoresist
US6462984B1 (en) 2001-06-29 2002-10-08 Intel Corporation Biasing scheme of floating unselected wordlines and bitlines of a diode-based memory array
US6570784B2 (en) * 2001-06-29 2003-05-27 Ovonyx, Inc. Programming a phase-change material memory
US6487113B1 (en) 2001-06-29 2002-11-26 Ovonyx, Inc. Programming a phase-change memory with slow quench time
US6642102B2 (en) 2001-06-30 2003-11-04 Intel Corporation Barrier material encapsulation of programmable material
US6511862B2 (en) * 2001-06-30 2003-01-28 Ovonyx, Inc. Modified contact for programmable devices
US6514805B2 (en) * 2001-06-30 2003-02-04 Intel Corporation Trench sidewall profile for device isolation
US6673700B2 (en) * 2001-06-30 2004-01-06 Ovonyx, Inc. Reduced area intersection between electrode and programming element
US6511867B2 (en) * 2001-06-30 2003-01-28 Ovonyx, Inc. Utilizing atomic layer deposition for programmable device
US6605527B2 (en) 2001-06-30 2003-08-12 Intel Corporation Reduced area intersection between electrode and programming element
US6951805B2 (en) 2001-08-01 2005-10-04 Micron Technology, Inc. Method of forming integrated circuitry, method of forming memory circuitry, and method of forming random access memory circuitry
US6590807B2 (en) 2001-08-02 2003-07-08 Intel Corporation Method for reading a structural phase-change memory
US6737312B2 (en) 2001-08-27 2004-05-18 Micron Technology, Inc. Method of fabricating dual PCRAM cells sharing a common electrode
US6577525B2 (en) * 2001-08-28 2003-06-10 Micron Technology, Inc. Sensing method and apparatus for resistance memory device
US6955940B2 (en) 2001-08-29 2005-10-18 Micron Technology, Inc. Method of forming chalcogenide comprising devices
US6881623B2 (en) 2001-08-29 2005-04-19 Micron Technology, Inc. Method of forming chalcogenide comprising devices, method of forming a programmable memory cell of memory circuitry, and a chalcogenide comprising device
US6784018B2 (en) 2001-08-29 2004-08-31 Micron Technology, Inc. Method of forming chalcogenide comprising devices and method of forming a programmable memory cell of memory circuitry
US20030047765A1 (en) 2001-08-30 2003-03-13 Campbell Kristy A. Stoichiometry for chalcogenide glasses useful for memory devices and method of formation
US6709958B2 (en) 2001-08-30 2004-03-23 Micron Technology, Inc. Integrated circuit device and fabrication using metal-doped chalcogenide materials
US6646902B2 (en) 2001-08-30 2003-11-11 Micron Technology, Inc. Method of retaining memory state in a programmable conductor RAM
US6507061B1 (en) * 2001-08-31 2003-01-14 Intel Corporation Multiple layer phase-change memory
JP4214055B2 (ja) * 2001-09-01 2009-01-28 エナージー コンバーション デバイセス インコーポレイテッド 青色レーザおよび/またはプラズモンレンズを用いて光データ記憶検索システムにおいて増大されたデータ記憶
US6586761B2 (en) 2001-09-07 2003-07-01 Intel Corporation Phase change material memory device
US6545287B2 (en) * 2001-09-07 2003-04-08 Intel Corporation Using selective deposition to form phase-change memory cells
WO2003028098A2 (en) 2001-09-26 2003-04-03 Axon Technologies Corporation Programmable chip-to-substrate interconnect structure and device and method of forming same
US6757784B2 (en) * 2001-09-28 2004-06-29 Intel Corporation Hiding refresh of memory and refresh-hidden memory
US6690026B2 (en) * 2001-09-28 2004-02-10 Intel Corporation Method of fabricating a three-dimensional array of active media
WO2003032392A2 (en) 2001-10-09 2003-04-17 Axon Technologies Corporation Programmable microelectronic device, structure, and system, and method of forming the same
US6566700B2 (en) * 2001-10-11 2003-05-20 Ovonyx, Inc. Carbon-containing interfacial layer for phase-change memory
AU2002353905B2 (en) 2001-10-26 2006-02-02 Arizona Board Of Regents Programmable surface control devices and method of making same
US6545907B1 (en) * 2001-10-30 2003-04-08 Ovonyx, Inc. Technique and apparatus for performing write operations to a phase change material memory device
US6456524B1 (en) * 2001-10-31 2002-09-24 Hewlett-Packard Company Hybrid resistive cross point memory cell arrays and methods of making the same
US6576921B2 (en) 2001-11-08 2003-06-10 Intel Corporation Isolating phase change material memory cells
US6815818B2 (en) 2001-11-19 2004-11-09 Micron Technology, Inc. Electrode structure for use in an integrated circuit
US6791859B2 (en) * 2001-11-20 2004-09-14 Micron Technology, Inc. Complementary bit PCRAM sense amplifier and method of operation
US6873538B2 (en) 2001-12-20 2005-03-29 Micron Technology, Inc. Programmable conductor random access memory and a method for writing thereto
US6625054B2 (en) 2001-12-28 2003-09-23 Intel Corporation Method and apparatus to program a phase change memory
US6667900B2 (en) 2001-12-28 2003-12-23 Ovonyx, Inc. Method and apparatus to operate a memory cell
US6512241B1 (en) * 2001-12-31 2003-01-28 Intel Corporation Phase change material memory device
US6909656B2 (en) 2002-01-04 2005-06-21 Micron Technology, Inc. PCRAM rewrite prevention
US20030143782A1 (en) 2002-01-31 2003-07-31 Gilton Terry L. Methods of forming germanium selenide comprising devices and methods of forming silver selenide comprising structures
US6867064B2 (en) 2002-02-15 2005-03-15 Micron Technology, Inc. Method to alter chalcogenide glass for improved switching characteristics
US6791885B2 (en) 2002-02-19 2004-09-14 Micron Technology, Inc. Programmable conductor random access memory and method for sensing same
US7151273B2 (en) 2002-02-20 2006-12-19 Micron Technology, Inc. Silver-selenide/chalcogenide glass stack for resistance variable memory
CN100514695C (zh) 2002-03-15 2009-07-15 阿克松技术公司 微电子可编程构件
US6671710B2 (en) 2002-05-10 2003-12-30 Energy Conversion Devices, Inc. Methods of computing with digital multistate phase change materials
US6918382B2 (en) * 2002-08-26 2005-07-19 Energy Conversion Devices, Inc. Hydrogen powered scooter

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004363586A (ja) * 2003-06-04 2004-12-24 Samsung Electronics Co Ltd 相変換メモリ装置
JP4554991B2 (ja) * 2003-06-04 2010-09-29 三星電子株式会社 相変換メモリ装置
US7742330B2 (en) 2004-05-25 2010-06-22 Renesas Technology Corp. Semiconductor device
US8116128B2 (en) 2004-05-25 2012-02-14 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device
US8228724B2 (en) 2004-05-25 2012-07-24 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device
US8363464B2 (en) 2004-05-25 2013-01-29 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device
US8587995B2 (en) 2004-05-25 2013-11-19 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device
JP2006019685A (ja) * 2004-06-30 2006-01-19 Hynix Semiconductor Inc 相変化記憶素子及びその製造方法
JP2006303150A (ja) * 2005-04-20 2006-11-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> メモリ装置
US8379430B2 (en) 2009-11-10 2013-02-19 Sony Corporation Memory device and method of reading memory device
US8416602B2 (en) 2010-02-15 2013-04-09 Sony Corporation Nonvolatile semiconductor memory device
JP7472041B2 (ja) 2018-04-23 2024-04-22 アーム・リミテッド メモリビットセルの動作のための方法、システムおよびデバイス

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