JP2003134795A - 故障検知システム - Google Patents

故障検知システム

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JP2003134795A JP2001323829A JP2001323829A JP2003134795A JP 2003134795 A JP2003134795 A JP 2003134795A JP 2001323829 A JP2001323829 A JP 2001323829A JP 2001323829 A JP2001323829 A JP 2001323829A JP 2003134795 A JP2003134795 A JP 2003134795A
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    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インバータの故障につながるような、誤動作
や劣化を検知する。 【解決手段】 半導体モジュールに温度センサを取り付
け、温度上昇率を監視する。ハンダ層の劣化による熱抵
抗の増加や、駆動回路の誤動作により、運転モードと上
昇率の関係が所定の範囲を外れたら異常と判断。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体モジュー
ル、特にインバータ等の故障または劣化を検知する故障
検知システムおよび複数のインバータを備えたインバー
タシステムの運転方法に関する。
【0002】
【従来の技術】インバータは、例えば、動力車の電力シ
ステムの省エネルギー化や高機能化を図るために、近年
広く使われてきている。インバータの重要な課題の一つ
に、主回路部を構成する半導体モジュールの信頼性確保
がある。従来は、信頼性を確保するために、疲労試験等
で十分に性能を評価して、システムの使用期間中に半導
体モジュールが破壊しないようにしていた。ところが、
半導体モジュールの寿命は使用条件によっても大きく変
わり、また個々の半導体モジュールによるばらつきも大
きい。このため、システムの運転中に突如半導体モジュ
ールが破壊し、システムが停止するといった問題が発生
している。
【0003】半導体モジュールの主要な故障モードの一
つに、長期間にわたる熱疲労によって半導体チップを放
熱フィンに取りつけるためのハンダ層にクラックが生じ
て取りつけ不良となり、放熱不足により半導体チップが
破壊するというものがある。また同様の問題が、近年処
理能力が飛躍的に向上しその発熱が問題となってきてい
るCPU等の集積回路の半導体モジュールにおいても発
生している。
【0004】これらの問題を解決するために、特開平7
−14948号公報には半導体モジュールを構成する各
部材間の温度上昇を検知しその経時変化から劣化を検知
する劣化検知手段が提案され、特開平8−126337
号公報には半導体モジュールに温度センサを取り付け、
実際に加えられた熱ストレスを積算し、その値から寿命
を推定する寿命推定方法が提案されている。
【0005】特開平7−14948号公報に記載された
方式では、複数の温度センサが必要であり、複数の半導
体モジュールを用いて構成するインバータ装置では検出
手段が、高価で複雑になってしまうという問題がある。
【0006】また、特開平8−126337号公報に記
載された方式では、ハンダ層のクラックの原因となる熱
履歴は分かるが、それによりどれだけ劣化が進行したか
は判断することができない。そして、半導体モジュール
の劣化はばらつきが大きいため、上限値として設定した
熱ストレスに達する前に破壊することがある一方、これ
とは逆に熱ストレスが上限値に達しても全く劣化が進行
しない場合があり、このような半導体モジュールを推定
寿命で交換することは、半導体モジュールの能力を十分
に活かしきれないといったことが起こる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、多く
の検出手段を用いずに半導体モジュールの劣化を直接検
知する簡単な構造を有する故障検知システムを安価に提
供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明による故障検知システムは、半導体モジュールに設置
した温度センサにより、損失が発生した際の温度上昇率
を検知し、損失と温度上昇率の関係が所定の範囲を越え
た場合に、半導体モジュールが劣化あるいは故障したと
検知するを有することを特徴とする。
【0009】すなわち、本発明は、半導体モジュールの
故障検知システムを、半導体モジュールと、前記半導体
モジュールに設置された温度センス素子と、前記温度セ
ンス素子から温度を読みとる温度計測手段と、前記温度
計測手段により計測した温度と半導体モジュールへの運
転指令から前記半導体モジュールの劣化あるいは故障を
検知する故障検知手段とを備えて構成した。
【0010】また、本発明は、半導体モジュールの故障
検知システムを、半導体モジュールと、前記半導体モジ
ュールに設置された温度センス素子と、前記温度センス
素子から温度を読みとる温度計測手段と、前記温度計測
手段により計測した温度から温度上昇率を演算する温度
上昇率検出手段と、半導体モジュールで発生する損失を
演算する損失演算手段と、前記温度上昇率と前記損失か
ら前記半導体モジュールの劣化あるいは故障を検知する
故障検知手段とを備えて構成した。
【0011】本発明は、上記、半導体モジュールの故障
検知システムにおいて、前記損失に対する前記温度上昇
が所定の範囲より大きいあるいは小さい場合に異常と判
定するようにした。
【0012】さらに、本発明は、半導体モジュールの故
障検知システムにおいて、半導体モジュールと、前記半
導体モジュールに設置された温度センス素子と、前記温
度センス素子から温度を読みとる温度計測手段と、半導
体モジュールで発生する損失を演算する損失演算手段
と、損失から半導体モジュールの温度を推定する温度推
定手段と、推定温度と測定温度から前記半導体モジュー
ルの劣化あるいは故障を検知する故障検知手段とを備え
て構成した。
【0013】本発明は、上記半導体モジュールの故障検
知システムにおいて、前記損失に対して前記推定温度と
前記測定温度の差の絶対値が所定の範囲より大きい場合
に異常と判定するようにした。
【0014】本発明は、上記半導体モジュールの故障検
知システムにおいて、前記温度検出手段を半導体モジュ
ールの冷却フィンに取り付けた。
【0015】本発明は、複数台のインバータを備えたイ
ンバータシステムにおいて、複数台のインバータと、前
記インバータを制御する演算装置と、前記インバータお
よび前記演算装置を繋ぐ情報伝送線からインバータシス
テムを構成し、前記インバータのそれぞれが上記半導体
モジュールの故障検知システムを持ち、演算装置は各イ
ンバータを構成する半導体モジュールの劣化もしくは故
障具合に応じて各インバータへの指令値を変えるように
した。
【0016】
【発明の実施の形態】図2を用いて、本発明にかかる半
導体モジュールの故障検知システムをインバータに適用
した場合の第1の実施例の構成を説明する。この実施例
にかかるインバータ1は、パワーモジュール(PM)と
して構成される6個の半導体モジュール11−1〜11
−6と、ゲート駆動回路(GD)12−1〜12−6
と、制御回路13と、コンデンサ14とを有して構成さ
れ、直流電源4の電力を三相交流に変換してモータ3を
駆動している。
【0017】半導体モジュール11は、絶縁ゲート型バ
イポーラトランジスタ(IGBT)111とダイオード
112で構成されており、Cはコレクタ端子、Eはエミ
ッタ端子、Gはゲート端子である。そして半導体モジュ
ール11には、温度センス素子15が取り付けられてい
る。半導体モジュール11−2〜11−6は、省略して
示されているが、半導体モジュール11−1と同様な構
成とされている。
【0018】ゲート駆動回路(GD)12は、半導体モ
ジュール11のIGBT111を駆動する駆動回路12
1と、温度計測回路122と、保護回路123とを有し
て構成される。ゲートドライブ回路12−2〜12−6
は、省略して示されているが、ゲートドライブ回路12
−1と同様な構成とされている。
【0019】駆動回路121は、IGBT111のゲー
ト端子Gの電圧を制御してIGBT111をオンあるい
はオフに制御する回路である。温度計測回路122は、
温度センス素子15の信号から温度を計測する回路であ
る。保護回路123は、IGBT111の過電流や過熱
あるいは制御電圧の低下といった異常時にIGBT11
1をオフして保護する回路である。
【0020】制御回路13は、モータ制御部131と、
劣化判定部132とを有して構成され、各ゲート駆動回
路12を制御して、モータ3の速度や駆動トルクを制御
する回路である。
【0021】モータ制御部131は、モータが適切に動
くようにIGBT111がオンあるいはオンするタイミ
ングの信号をゲート駆動回路12へ与える回路である。
そして劣化判定部132は、以下に詳細に述べるが、計
測した温度およびIGBT111への駆動指令から半導
体モジュール11の劣化や故障を診断する回路である。
【0022】コンデンサ14は、入力される直流電源4
の直流電圧を一定に保つ働きをする。
【0023】図3を用いて、半導体モジュール11の構
成を説明する。半導体モジュール11は、半導体チップ
111(IGBT)を、ハンダ層115により絶縁板1
17へ接着し、この絶縁板117をハンダ層110を介
して冷却フィン119に接する金属板118に接着して
構成される。
【0024】また、半導体チップ111は、ワイヤ11
6およびハンダ層115により絶縁板117に接続され
た電極板113を経由してエミッタ電極E、ゲート電極
Gに接続され、ワイヤ116およびハンダ層115によ
り絶縁板117に接続された電極板114を経由してコ
レクタ電極Cに接続されている。
【0025】絶縁板117上の半導体チップ111に近
い位置に、温度センス素子15が取り付けられている。
ここでは温度センス素子15として温度に応じて抵抗値
が変化するサーミスタを用いたが、温度センス素子15
は、サーミスタ以外のものでも、温度によって測定可能
な特性が変化するものであればよい。具体的な例として
は熱電対等がある。
【0026】図4を用いて、サーミスタ15を用いた温
度計測回路122の構成を説明する。温度計測回路12
は、抵抗1221と、電圧源1222と、抵抗1223
と、コンデンサ1224と、AD変換器1225と、出
力端子1226とを有して構成される。
【0027】電圧源1222と抵抗1221とサーミス
タ15が直列接続され、温度が変化してサーミスタ15
の抵抗値が変化すると、抵抗1221とサーミスタ15
の接続点の電圧が変化して温度変化を検出できる。抵抗
1223とコンデンサ1224はCRフィルタであり、
電圧信号に重畳したノイズを除去する回路である。AD
変換器1225は、この電圧信号をアナログ値からデジ
タル値に変換する。この実施例では、ここに示した温度
計測回路122は、サーミスタ15を除きゲート駆動回
路12内に設けている。
【0028】当然のことではあるが、温度計測回路12
2や温度信号への変換は別の所に設けられてもよい。こ
こで温度計測回路122の設置場所としてゲート駆動回
路12を選んだのは、半導体モジュール11の近くに設
置され、かつ必要となる電源等が既に存在するからであ
る。ここで検出したデジタル化した電圧信号は、制御回
路13に伝送されて劣化判定に用いられる。
【0029】図5を用いて、半導体モジュール11の熱
等価回路を説明する。半導体チップ111の発熱は、電
流源P1で模擬できる。各部材の熱抵抗は電気抵抗R1
〜R6に置き換えられ、熱容量はコンデンサC1〜C6
に置き換えられる。このときハンダ層110、115の
熱容量は他の部材の熱容量に比べて非常に小さいので無
視している。各部材の温度は、各点における電圧に相当
する。半導体チップ111の発熱は、ハンダ層115、
絶縁板117、ハンダ層110、金属板118、冷却フ
ィン119の順に伝わっていく。
【0030】図6を用いて、半導体モジュール11の、
熱抵抗の変化率の熱サイクル数に対する依存性を説明す
る。このグラフは、半導体モジュールの熱サイクル試験
結果から得られたものであり、縦軸に熱抵抗の変化率を
%で、横軸に熱サイクル数を時間で示している。半導体
チップ11が発熱すると、各部材には熱膨張率の違いの
ために熱応力が発生する。半導体モジュール11を長期
間使用すると、この熱応力によりハンダ層110,11
5に徐々にクラック等が発生し熱抵抗が大きくなる。一
度クラック等が発生し熱抵抗が増加すると、放熱が悪く
なりより大きな熱応力が発生してハンダ層のクラックが
増加していく。したがって、半導体モジュール11の熱
抵抗は、図6に曲線601として示すように、初めは徐
々に増加し、やがては加速度的に増加していく。熱抵抗
が増加すると、半導体チップの温度が上昇し、必要な電
気的特性が得られなくなるか、場合によっては破壊して
しまう。ここで用いた半導体モジュールでは、必要な電
気的特性が得られる条件から、熱抵抗の上昇率の上限は
50%とした。この上限は図6のカーブの急速に立ち上
がる点から実験的に求めても良い。
【0031】図7を用いて、半導体モジュール11に一
定の損失(P1)704を発生させた場合に温度センス
素子15が検出する温度の関係を説明する。縦軸には損
失と温度を、横軸には時間を示している。曲線702
は、正常時の温度変化を示している。正常時には、損失
P1が発生すると一定値T7aまで徐々に温度が上昇し
た後一定値T7aとなり、損失がなくなると温度は徐々
に元の値まで下がっていく。
【0032】曲線701は、ハンダ層115が劣化し抵
抗R2が大きくなった場合の温度変化である。抵抗R2
が大きいと半導体チップ111の発熱が温度センス素子
15に達するまでに時間がかかるため、曲線701は正
常時の曲線702より上昇率が緩やかになる。また定常
状態となった時の温度T7aは正常の場合と同じであ
る。これは温度が抵抗R3、R4、R5、R6の和に、
発生する損失P1をかけたものになるためである。
【0033】曲線703は、ハンダ層110が劣化し抵
抗R4が大きくなった場合の温度変化を示す。この場合
には温度センス素子15の部分から冷却フィン119へ
熱が伝わりにくくなるため、曲線703は正常時の曲線
702より上昇率が急になる。定常状態となった時の温
度T7bは、T7aより大きくなる。
【0034】また、半導体チップ111の発熱(損失)
P1がなんらかの異常により想定していた値より小さい
場合には曲線701、大きくなった場合には曲線703
のように温度が変化する。損失が大きくなるのは例え
ば、指令値がオフにもかかわらず誤動作によりオンした
場合や、制御電圧が低下したことによりIGBTのオン
電圧が大きくなり損失が増加する場合等がある。逆に損
失が小さくなるのは、指令値がオンにもかかわらず誤動
作によりオフしている場合等がある。
【0035】したがって、損失が発生した時刻t70か
らの温度上昇率ΔT/Δtを検出することにより劣化や
誤動作を検知することができる。このとき温度上昇率が
小さければ、温度センス素子15より半導体チップ側に
あるハンダ層が劣化したか、損失が想定した値より小さ
くなっている。逆に温度上昇率が大きければ、温度セン
ス素子15より冷却フィン側にあるハンダ層が劣化した
か、損失が想定した値より大きくなっている。
【0036】図1を用いて、劣化検知に用いるグラフを
説明する。横軸は運転指令から推定した損失であり、縦
軸は温度上昇率である。半導体モジュール11の主な損
失はオン損失とスイッチング損失とオン損失である。図
9に、IGBTのコレクタ電流とオン電圧の関係の一例
を曲線901として示す。IGBTの通電中の損失はこ
のグラフのコレクタ電流とオン電圧をかけたものであ
る。図10に、スイッチング損失のコレクタ電流依存性
の一例を曲線1001として示す。これはスイッチング
一回当たりの損失を示している。
【0037】ところで、損失による温度上昇は、秒オー
ダーの現象であるのに対し、スイッチングの周期は通常
ミリ秒オーダーである。そのため、損失は瞬時値ではな
く時間平均を求めれば良い。ここではインバータの出力
電圧の1サイクルにおける損失を求めている。1サイク
ル期間中にはIGBTはオンオフをくり返すため、通電
時には図9から求めた損失に通電時間をかけた値を加え
ていき、スイッチング毎に図10から求めた損失を加
え、最後にこれを1サイクルの時間で割れば良い。この
ため半導体モジュール11への指令から、コレクタ電
流、通電時間やスイッチング周波数を求めれば、発生す
る損失を算出することが可能である。もちろんコレクタ
電流値は実測値を用いてもよいし、損失を実測しても良
い。
【0038】図7を用いて説明したように、温度センス
素子15より発熱源に近いハンダ層が劣化した場合には
温度上昇率が低下する。逆に発熱源から遠いハンダ層が
劣化した場合や損失がなんらかの異常により大きくなっ
た場合には温度上昇率が増加する。図6の熱抵抗の上限
から図1の温度上昇率の上限曲線101および下限曲線
102が決まる。測定した温度上昇率が2つの曲線の間
にあれば正常であり、線の外なら異常である。正常な範
囲でも上限、下限に対する近付き具合から劣化の進行の
程度を判断することができる。
【0039】先に述べたように、ハンダ層の劣化以外で
も、損失が想定値と異なる場合にも温度上昇率が変化す
る。ハンダ層の劣化は図6に示したように、半導体モジ
ュールの使用期間である数年あるいは数十年といった時
間の中で、徐々に進行していく。一方損失が大きくなる
のは、半導体モジュール11の駆動回路12の故障等
で、指令値通りに動作しない場合や、駆動回路の電圧が
低下した場合等であり、これらは電子部品の故障等によ
り突然発生する。したがって徐々に温度上昇率が上がる
のは前者であり、突然大きくなるのは後者であり、劣化
と故障を容易に区別することが可能である。
【0040】図8を用いて、損失が続けて発生した場合
の温度上昇について説明する。損失801だけが発生し
た場合の温度の変化は曲線803で表され、損失802
だけが発生した場合の温度の変化は曲線804で表され
る。損失が続けて発生した場合には、実際の温度の変化
は曲線803と曲線804の和となり曲線805で表さ
れる。このため、時刻t82から温度上昇率を計測する
と以前の損失801の影響により誤差が生じる。従って
温度上昇率を測定するには、損失がなくまた温度が変化
していない状態、例えば時刻t80から計測する必要が
ある。
【0041】図11を用いて、温度を測定して異常の発
生を判断する手順を説明する。測定がスタートする(S
1)と、初めに、以前の損失の影響が有るか否かを示す
MODEを“0”にする(S2)。この場合のMODE
は、測定開始時には、以前の損失の影響が有るか否かが
不明であるため、影響がある場合と同じ“0”としてい
る。次に、前述の手法によって損失を算出し(S3)、
温度上昇率(ΔT/Δt)を算出する(S4)。次い
で、MODEが以前の損失の影響を受ける“0”である
か以前の損失の影響を受けない“1”であるかを判定す
る(S5)。初めは、MODEは“0”に設定されてい
るので、ステップS6に分岐し、損失Pがほぼ0でかつ
温度上昇率がほぼ0であるかを判定する(S6)。これ
は、以前に発生した損失の影響が無いかどうかを判定す
るための処理である。ここで以前の影響があればNoと
なりステップS3に戻る。以前の損失の影響が無ければ
MODEを“1”として(S7)、ステップS3に戻
る。MODEが“1”となった後は、ステップS5にお
いてステップS8に分岐し、損失Pが有るか否かを判定
する(S8)。損失Pが無い場合(P=0)には温度変
化も無いので再びステップS3に戻る。損失がある場合
には図1を用いて損失に対応する温度変化率が正常の範
囲内に収まっているか否かによって異常判定を実行する
(S9)。その後は、またスタート(S1)に戻り計測
を始める。
【0042】このように、本発明では温度上昇率と損失
の関係からハンダ層の劣化具合を検知することが可能で
ある。これにより半導体モジュール11が破壊する前に
劣化を検知して修理や交換を行うことが可能になり、シ
ステムの信頼性を向上することができる。
【0043】図12を用いて、本発明にかかる故障検知
システムの第2の実施例における故障検知処理の概要を
説明する。半導体モジュール11は、本発明の第1の実
施例とおなじである。したがって図1から図10は本実
施例にもあてはまる。また図11のステップS1からス
テップS8は、図11のそれと同じである。本実施例で
はステップS8で損失が発生していた場合には、後述す
る方法で半導体モジュール11の温度Tcを推定する
(S11)。次に、実際の温度Tmを温度センス素子1
5により測定する(S12)。そして、推定温度Tcと
実際の温度Tmを比較して異常を判定する(S13)。
図7で述べたように異常があれば、温度上昇率が変化
し、適当な時間Δtたった後の温度が正常時より高くな
るか低くなるので異常が分かる。
【0044】その後は、再びステップS11に戻り温度
の推定、測定、判定をくり返す。ただし、長時間このサ
イクルをくり返すと推定温度に誤差が蓄積してしまうた
め、ある程度時間がたった後は再びステップS1に戻る
とよい。このときの時間間隔は、ステップS11の温度
推定の精度から、誤差が蓄積しない程度の間隔とすれば
よい。
【0045】次に、温度の推定方法について図13を用
いて説明する。図13は、温度センサ取り付け部におけ
る過渡熱抵抗を示すグラフである。これは一定損失をあ
たえた場合の温度センサの測定値を損失で割ることによ
り得られる。図14には損失が発生した場合の温度の変
化を曲線1401として示す。この時の各時刻における
温度は、図13の過渡熱抵抗R(t)を用いて次の式
(1式〜4式)ように求めることができる。
【0046】
【数1】
【0047】ここで、Toは時刻t140における温度
である。
【0048】R(t)は、十分に時間が立つと一定値と
なる。このため、発生から十分に時間がたった損失分に
ついては考慮しなくてもよい。例えばt141から十分
に時間が経過したのちはPaからの寄与は0としてよ
い。通常この時間は数秒から数十秒であり、過渡熱抵抗
曲線1301から決定できる。このように本実施例で
は、常に温度を推定することが可能である。そのため第
1の実施例とことなり、どのようなタイミングでも劣化
を検知することが可能となる。
【0049】ここでは、過渡熱抵抗から温度を推定した
が、図5の回路から微分方程式をたてて求めても良い。
この場合より高い精度で温度を推定することができる。
【0050】このように、本発明では温度上昇率と損失
の関係からハンダ層の劣化具合を検知することが可能で
ある。これにより半導体モジュールが破壊する前に劣化
を検知し修理や交換することが可能になり、システムの
信頼性を向上させることができる。
【0051】図15〜図17を用いて、本発明の第3の
実施例にかかるこしょう検知システムを説明する。図1
5は、本発明の第3の実施例にかかる故障検知システム
における異常判定のためのグラフである。図16は、第
3の実施例にかかる半導体モジュールの構成図である。
図17は、損失が発生した際の温度上昇を示すグラフで
ある。図16に示すように、第3の実施例は、本発明の
第1の実施例である図3と、温度センス素子15を配置
する位置が異なっており、冷却フィン119に取り付け
ている。これ以外の構成は第1の実施例と同じであり、
図2、図4、図6、図9、図10、図11は本実施例に
もあてはまる。また図5の等価回路も温度センス素子1
5の位置以外は同様である。
【0052】図17には、損失が発生した際の温度上昇
を示す。この実施例では図1の場合とくらべて温度セン
ス素子15の位置が発熱源である半導体チップ111か
ら離れている。このため温度変化は第1の実施例の場合
の図7とくらべると小さくなる。しかし傾向は全く同じ
であり、まったく同様の方法で劣化の検知が可能であ
る。この場合には劣化するハンダ層はすべて温度センス
素子15より発熱源側にあるので劣化が進むと温度上昇
率が小さくなる。したがって、温度上昇率が大きくなっ
た場合は全て動作異常により損失が大きくなった場合で
ある。当然実施例2で述べた方法で劣化を検知してもよ
い。実施例1および実施例2では温度センサを内臓した
半導体モジュールを用意する必要があった。しかし本実
施例では温度センサの内臓されていない半導体モジュー
ルの冷却フィンに温度センサを外付けすればよい。この
ためより低コストで実現することが可能である。
【0053】以上説明した第1の実施例では絶縁基板1
17に、第3の実施例では冷却フィン119に温度セン
ス素子15を取り付けている。しかし温度センス素子1
5の取り付け位置はこれらに限定されるものではなく、
半導体チップの放熱経路のいずれかに取り付ければ良
い。例えば金属板118や半導体チップ111に取り付
けても良い。ただし、半導体チップ111には高電圧が
かかるため、温度センス素子15の絶縁に注意する必要
がある。この場合には、例えば半導体チップに温度セン
ス用のダイオードを設けて、このダイオードのオン電圧
の温度依存性から温度を検出する方法もある。また、構
造についても図3や図16に示した構造に限定されるも
のではなく、発熱源があり、その放熱経路にハンダ層の
ような熱疲労により熱抵抗が変化するようなものが存在
する場合にはすべて摘要することが可能である。さら
に、本発明にかかる故障検知システムは、ここにあげた
パワー半導体モジュール以外の集積回路等にも適用する
ことが可能である。
【0054】図18を用いて、本発明の第4の実施例に
かかるインバータ1の構成を説明する。第4の実施例の
インバータ1が第1の実施例のインバータと異なる点
は、劣化判定部132を制御回路13ではなくゲート駆
動回路16においた点である。図1および図3から図1
1は本実施例にもあてはまる。第1の実施例では制御回
路13で6個の半導体モジュール11−1〜11−6の
劣化を判断していたため、制御回路13に高い処理能力
が必要である。モータ制御自体も比較的高い処理能力を
必要とするため、制御回路13のハードウエアの性能を
高くできない場合には本実施例が有効である。この場
合、ゲート駆動回路16は実施例1のゲート駆動回路1
2より高度な性能が必要になる。
【0055】図19を用いて、本発明の第5の実施例に
かかるインバータ1の構造を説明する。第1の実施例と
異なるのは、温度センス素子15を一つの半導体モジュ
ール11−1にのみ設け、温度計測を制御回路13’で
行っている点および、ゲート駆動回路が駆動回路121
と保護回路123から構成されるゲート駆動回路17と
されている点である。図1および図3から図11は本実
施例にもあてはまる。半導体モジュール11−1以外の
半導体モジュール11−2〜11―6は、半導体モジュ
ール11−1から温度センス素子15を取り除いたもの
である。もちろん2種類の半導体モジュールを用意しな
くても、すべて温度センス素子15を取り付けて、1つ
以外は温度センス素子を使わないようにしても良い。温
度センス素子15を取り付けるのは、直列接続された2
つの半導体モジュールの下側とした。これは上側が高電
位となり絶縁が難しいのに対し、下側は比較的容易に絶
縁可能であるからである。
【0056】温度計測回路122および劣化判定回路1
32は、制御回路13’で行っている。たとえば、ゲー
ト駆動回路17−1に温度計測機能や劣化判定機能を持
たせた場合には、その機能の有るものと無いものの2種
類のゲート駆動回路を用意する必要がある。あるいは、
全てのゲート駆動回路17にそれらの機能をもたせて、
使用するのは1つだけとなる。これらの手法は非効率的
であるため、制御回路13’にこれらの機能を設けた。
また、もう一つの理由は、制御回路13’が、もともと
モータ制御のために高い処理能力をもっているためであ
る。
【0057】本実施例では、6個の半導体モジュール1
1のうち1つだけ劣化判定をしている。同じインバータ
を構成する半導体モジュール11−1〜11−6は、使
用期間中にほぼ似たような熱履歴をうける。このため1
つの半導体モジュールの劣化を検知すれば、他の半導体
モジュールの劣化も同程度と推測することができる。ま
た温度計測や劣化判定のための回路や処理が第1の実施
例と比べて約1/6ですむためより簡単な構成となる。
しかしながら、個々の半導体モジュールのばらつきによ
り早く劣化する半導体モジュールも有るため、劣化を検
知していない半導体モジュールが破壊にいたる場合もあ
り得る。
【0058】図20を用いて、本発明の第6の実施例に
かかるインバータ1の構成を説明する。第6の実施例に
かかるインバータ1が第1の実施例にかかるインバータ
1と異なる点は、半導体モジュールとゲート駆動回路を
一体とした、高機能型半導体モジュール(IPM)18
を用いている点である。高機能型半導体モジュール18
は、IGBT111と、ダイオード112と、温度セン
ス素子15と、駆動回路121と、温度計測回路122
と、保護回路123とが搭載されている。高機能型半導
体モジュール18−2〜18−6は、省略して示されて
いるが、高機能型半導体モジュール18−1と同様な構
成とされている。
【0059】図21に、高機能型半導体モジュール(I
PM)18の外観図を示す。高機能型半導体モジュール
18は、主端子であるコレクタCおよびエミッタEが中
央に配置され、脇におかれた端子台には制御用の端子が
配置されている。制御用の端子は、制御回路からのオン
オフ指令を入力する駆動信号入力端子181、温度や保
護情報を出力する状態出力端子182、制御用電源入力
183および、グランド端子GNDの4つで構成されて
いる。状態出力端子182からは内部で計測した温度
や、保護回路の動作状態を示す信号がシリアル信号とし
て出力される。制御回路13ではこの信号を元に劣化を
判断している。
【0060】図22を用いて、本発明の第7の実施例に
かかるインバータ1の構成を示す。インバータ1を構成
する6個の半導体モジュール11’−1〜11’−6
は、IGBTとダイオードが搭載されるだけで温度セン
ス素子15が搭載されておらず、温度センス素子15が
搭載された冷却装置100に取り付けられている。ま
た、温度計測回路122は、ゲート駆動回路17’から
独立して設けられている。
【0061】図23に、この半導体モジュール11’と
冷却装置100の外観図を示す。それぞれの半導体モジ
ュール11’で発生した熱は、冷却装置100により空
気中に放散されていく。冷却装置100には温度センス
素子15が取り付けられている。温度計測装置122
は、温度センス素子15の信号から温度を計測してい
る。制御回路13ではこの温度情報をもとに劣化を判断
している。この実施例では6個の半導体モジュール1
1’のいずれが劣化しても、その温度上昇率が変わるた
め劣化を検知することが可能である。ただし、温度セン
ス素子15から離れたところにある半導体モジュールの
劣化による温度上昇率は近くにある物のそれより小さく
なるため、温度センス素子15、温度計測回路122と
もに精度の高い物を使用することが望ましい。
【0062】図24を用いて、上記した故障検知システ
ムを用いたインバータシステムの構成を説明する。この
発明は、上記故障検知システムを備えたインバータを列
車5に適用した例であり、複数のインバータ1−1〜1
−3がそれぞれモータ3−1〜3−3を駆動して、全体
として列車5を走らせている。個々のインバータは実施
例1から実施例7に記載したものである。全てのインバ
ータはネットワーク52を介して演算装置51に繋がっ
ている。
【0063】図25を用いて、演算装置51における故
障検知処理および出力再配分処理を説明する。まず、実
施例1から実施例7で説明した方法により検知した各イ
ンバータの故障や劣化状態を、ネットワーク52を介し
て収集する(S22)。その結果を用いて劣化具合の偏
差を演算し(S23)、それを元に各インバーたの出力
を再分配する(S24)。このとき劣化が進んだインバ
ータには出力を減らし、残りのインバータの出力は増加
させる。これにより全体としての必要な出力が得られる
とともに、劣化が進んだインバータは出力が押さえられ
るので劣化の進行を抑えることができる。その結果とし
て、システム全体の寿命を大幅に延ばすことができる。
またこの時極端に劣化したインバータや正常動作しない
インバータがあれば、そのインバータの運転を停止して
残りのインバータで列車を動かすことが可能である。
【0064】この実施例では、各インバータにおいて半
導体モジュールの劣化および故障を検知している。しか
し各インバータで劣化および故障を検知する必要はな
く、例えば各半導体モジュールの温度をネットワーク5
2により演算装置51に伝送し、演算装置52で劣化や
故障を判断してもよい。
【0065】このように、本発明では個々のインバータ
の劣化具合により出力を調整している。このため劣化が
進んだインバータの劣化の進行を遅らせることができ、
システムの寿命を延ばすことができる。また、劣化が進
んだインバータが動作不能になる前に、劣化の進行を検
知することが可能であり、システムの信頼性を向上する
ことができる。
【0066】
【発明の効果】以上図面を用いて説明したように、本発
明によれば、半導体モジュールを用いた装置において、
駆動回路の誤動作による損失の増加や、パワーモジュー
ルのハンダ層のクラックによる熱抵抗の増加を検知する
ことができる。それによりシステムの信頼性を向上する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例にかかるインバータにお
ける損失と温度変化率の関係を説明する図。
【図2】本発明の第1の実施例におけるインバータの構
成を説明する図。
【図3】本発明の第1の実施例における半導体モジュー
ルの構成を説明する図。
【図4】本発明の第1の実施例における温度計測回路の
構成を説明する図。
【図5】本発明の第1の実施例における半導体モジュー
ルの熱等価回路図。
【図6】本発明の第1の実施例における熱抵抗の変化率
の熱サイクル依存性を説明する図。
【図7】本発明の第1の実施例における損失と温度の時
間変化を説明する図。
【図8】本発明の第1の実施例における損失と温度の時
間変化を説明する図。
【図9】本発明の第1の実施例におけるコレクタ電流と
オン電圧の関係を説明する図。
【図10】本発明の第1の実施例におけるスイッチング
損失のコレクタ電流依存性を説明する図。
【図11】本発明の第1の実施例における異常判定のフ
ローチャート。
【図12】本発明の第2の実施例における異常判定のフ
ローチャート。
【図13】本発明の第2の実施例における過渡熱抵抗特
性を説明する図。
【図14】本発明の第2の実施例における損失と温度の
時間変化を説明する図。
【図15】本発明の第3の実施例における損失と温度変
化率の関係を説明する図。
【図16】本発明の第3の実施例における半導体モジュ
ールの構成を説明する図。
【図17】本発明の第3の実施例における損失と温度の
時間変化を説明する図。
【図18】本発明の第4の実施例におけるインバータの
構成を説明する図。
【図19】本発明の第5の実施例におけるインバータの
構成を説明する図。
【図20】本発明の第6の実施例におけるインバータの
構成を説明する図。
【図21】本発明の第6の実施例における半導体モジュ
ールの外観図。
【図22】本発明の第7の実施例におけるインバータの
構成を説明する図。
【図23】本発明の第7の実施例におけるインバータの
外観図。
【図24】本発明の第8の実施例におけるインバータシ
ステムの構成を説明する図。
【図25】本発明の第8の実施例における出力調整のフ
ローチャート。
【符号の説明】
1 インバータ 100 冷却装置 11、 半導体モジュール 110 ハンダ層 111 IGBT、半導体チップ 112 ダイオード 113、114 電極板 115 ハンダ層 116 ワイヤ 117 絶縁板 118 金属板 119 冷却フィン 12 ゲート駆動回路 121 駆動回路 122 温度計測回路 1221、1223 抵抗 1222 直流電源 1224 コンデンサ 1225 ADコンバータ 13 制御回路 131 モータ制御部 132 劣化判定部 14 コンデンサ 15 温度センス素子 16、17 ゲート駆動回路 18 高機能型半導体モジュール 3 モータ 4 直流電源 5 列車 52 ネットワーク 51 演算装置 R1〜R6 抵抗 C1,C3,C5,C6 コンデンサ P1 電流源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石川 勝美 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 齋藤 隆一 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 稲荷田 聡 茨城県ひたちなか市市毛1070番地 株式会 社日立製作所交通システム事業部水戸交通 システム本部内 Fターム(参考) 5H007 AA05 CA01 CB05 DC08 HA04 5H740 AA10 BA11 BB05 BB08 MM08

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体モジュールと、前記半導体モジュ
    ールに設置された温度センス素子と、前記温度センス素
    子から温度を読みとる温度計測手段と、前記温度計測手
    段により計測した温度と半導体モジュールへの運転指令
    から前記半導体モジュールの劣化あるいは故障を検知す
    る故障検知手段とを備えたことを特徴とする故障検知シ
    ステム。
  2. 【請求項2】 半導体モジュールと、前記半導体モジュ
    ールに設置された温度センス素子と、前記温度センス素
    子から温度を読みとる温度計測手段と、前記温度計測手
    段により計測した温度から温度上昇率を演算する温度上
    昇率検出手段と、半導体モジュールで発生する損失を演
    算する損失演算手段と、前記温度上昇率と前記損失から
    前記半導体モジュールの劣化あるいは故障を検知する故
    障検知手段とを備えたことを特徴とする故障検知システ
    ム。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の故障検知システムにお
    いて、前記損失に対する前記温度上昇が所定の範囲より
    大きいあるいは小さい場合に異常と判定することを特徴
    とする故障検知システム。
  4. 【請求項4】 半導体モジュールと、前記半導体モジュ
    ールに設置された温度センス素子と、前記温度センス素
    子から温度を読みとる温度計測手段と、半導体モジュー
    ルで発生する損失を演算する損失演算手段と、損失から
    半導体モジュールの温度を推定する温度推定手段と、推
    定温度と測定温度から前記半導体モジュールの劣化ある
    いは故障を検知する故障検知手段とを備えたことを特徴
    とする故障検知システム。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の故障検知システムにお
    いて、前記損失に対して前記推定温度と前記測定温度の
    差の絶対値が所定の範囲より大きい場合に異常と判定す
    ることを特徴とする故障検知システム。
  6. 【請求項6】 請求項1ないし請求項5のいずれか1項
    に記載の故障検知システムであって、前記温度検出手段
    が半導体モジュールの冷却フィンに取り付けられたこと
    を特徴とする故障検知システム。
  7. 【請求項7】 複数台のインバータと、前記インバータ
    を制御する演算装置と、前記インバータおよび前記演算
    装置を繋ぐ情報伝送線、からなるインバータシステムに
    おいて、前記インバータのそれぞれが請求項1から請求
    項6のいずれか1項に記載の故障検知システムを持ち、
    演算装置は各インバータを構成する半導体モジュールの
    劣化もしくは故障具合に応じて各インバータへの指令値
    を変えることを特徴とするインバータシステム。
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