JP2019502913A - 半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法及び装置、並びにパワーエレクトロニクスシステム - Google Patents

半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法及び装置、並びにパワーエレクトロニクスシステム Download PDF

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Abstract

少なくとも1つの半導体部品(104)を備えるパワーエレクトロニクス機器(102)の経年劣化を検出する方法は、パワー損失を半導体部品(104)に入力するために、半導体部品(104)を通る少なくとも略半正弦励振電流(112)の流れを生じさせるよう構成された励振信号(110)を供給するステップと、半導体部品(104)の温度の時間的推移を表現する温度信号(114)を読み込むステップと、温度信号(114)を使用して、パワーエレクトロニクス機器(102)の経年劣化を表す経年劣化値(118)を決定するステップと、を含む。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法及び装置、並びにパワーエレクトロニクスシステムに関する。
パワー半導体モジュール、特にIGBTパワー半導体モジュール(Insulated Gate Bipolar Transistor=絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)は、電気若しくはハイブリッドの駆動技術のような現在の開発トレンドにおいて、又は例えば風力エネルギのような再生可能源からエネルギを得る際に、重要な構成部品である。これらのパワーモジュールは、作動上の影響及び外部からの影響によって、継続的な経年劣化プロセスにさらされる。これにより、長期間に亘って、経年劣化に起因する故障が発生する可能性がある。特定の目標寿命を確保するために、そのために使用される計算手法は、安全マージン「ロバストネスマージン」を含む。「ロバストネスマージン」によって、パワーモジュールがオーバーサイズ化する可能性がある。パワー密度が高まるほど、パワーモジュールの作動に対して、その負荷限界に近づくこと及び安全マージンを低減することが要求される。従って、所定の目標寿命を確保することが困難である。
こうした背景から本発明は、少なくとも1つの半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する、改善された方法及び改善された装置、並びに改善されたパワーエレクトロニクスシステムを、主たる請求項により提供する。有利な実施形態は、従属請求項及び以下の記載から明らかとなる。
少なくとも1つの半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を、有利には、半導体部品の半正弦励振を介して分析することができる。
少なくとも1つの半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する対応する方法は、
パワー損失を半導体部品に入力するために、半導体部品を通る少なくとも略半正弦励振電流の流れを生じさせるよう構成された励振信号を供給するステップと、
半導体部品の温度の時間的推移を表現する温度信号を読み込むステップと、
温度信号を使用して、パワーエレクトロニクス機器の経年劣化を表す経年劣化値を決定するステップと、を含む。
パワーエレクトロニクス機器とは、例えばトランジスタ又はダイオードの形態である少なくとも1つの半導体部品を備える回路、と理解できる。半導体部品とは、パワーエレクトロニクス技術において使用されるようなパワー半導体部品と理解できる。経年劣化は、パワーエレクトロニクス機器内部の電気的接触部又は熱的接触部を含むことができる。経年劣化によって、例えば、そうした接触部の電気的抵抗又は熱的抵抗が上昇する可能性がある。経年劣化値を介して、例えばそうした接触部の経年劣化の程度又は状態を、予め定義されたスケールに対応させて示すことができる。励振信号とは、電気的な信号と理解できる。この電気信号によって、半導体部品が半正弦励振電流によって貫流されるように、半導体部品を直接に駆動可能、又はパワーエレクトロニクス機器の少なくとも1つの更なる部品を駆動可能である。代替的に励振信号は、励振電流を表すこともできる。少なくとも略半正弦とは、半振動と見なすことが可能な、励振電流の推移、と理解できる。励振電流が半導体部品を通って流れることができるように、半導体部品を順方向に駆動させることができる。励振電流は、パワーエレクトロニクス機器における標準の大きさを有し、例えば50Aを超える最大値を有することができる。励振電流の周波数は、例えば0.5Hzと2Hzの間とすることができる。周波数は、特にはセラミック基板であり半導体部品上にはんだ接合された基板の、ローパス周波数に対応するか又はそれに近似できる。
励振電流によって、半導体部品の温度を変更する少なくとも略半正弦パワー損失を、半導体部品に供給できる。半正弦励振電流によって、温度の推移において振動を発生させることができる。温度とは、半導体部品の内部の温度、例えば、ジャンクション温度とも称するバリア層温度と、理解できる。温度信号は、適切な計測方法を実行することによって決定できる。この場合、半導体部品が励振電流によって貫流される間に、温度を捕捉できる。
記載したアプローチによって、例えばインバータ内に取り付けられたパワーモジュールの経年劣化状態を識別し、監視することが可能になる。経年劣化値を評価することによって、有利には、経年劣化に起因する、自然発生的なモジュールの故障を回避できる。これにより、費用が節約され、作動における安全性が高められる。一実施形態によれば、(「オンボードの」)パワーエレクトロニクスシステム内のパワーモジュール及び冷却システムの経年劣化状態を決定するための、連続生産可能な解決策が可能となる。
一実施形態によれば、決定するステップにおいて、温度信号の振幅を使用して経年劣化値を決定できる。温度信号の振動の振幅は、容易に捕捉可能であり、有利なことに半導体素子における経年劣化に関連する。追加的又は代替的に、決定するステップにおいて、温度信号の最小値を使用して経年劣化値を決定できる。温度信号の最小値は、同様に容易に捕捉可能であり、有利なことに半導体素子のヒートシンクにおける経年劣化に関連する。
例えば、決定するステップにおいて、振幅と基準振幅とを比較することによって、経年劣化値を決定できる。追加的又は代替的に、最小値と基準最小値とを比較することによって、経年劣化値を決定できる。基準振幅及び基準最小値は、所定の経年劣化状態に割り当てられた基準値を表すことができる。経年劣化の程度を極めて正確に決定できるように、比較値として、複数の基準振幅及び複数の基準最小値を提供することもできる。
その際、振幅が基準振幅よりも大きい場合、決定するステップにおいて、半導体部品における経年劣化を示す第1経年劣化値を決定できる。追加的又は代替的に、最小値が基準最小値よりも大きい場合、パワーエレクトロニクス機器の冷却ユニットの経年劣化を示す第2経年劣化値を決定できる。このようにして、半導体部品及び冷却ユニットに関する経年劣化を、個別に決定して表示できる。
また、決定するステップにおいて、熱抵抗と熱基準抵抗とを比較することによって、経年劣化値を決定できる。この場合、振幅、最小値、及び半導体部品に入力されたパワー損出を使用して、熱抵抗を決定できる。このようにして、経年劣化を、パワーエレクトロニクス機器内部の熱抵抗の値から、直接に決定できる。
決定するステップにおいて、温度信号の平均振幅及び追加的又は代替的に平均最小値を使用して、経年劣化値を決定できる。平均化は、複数の半波に亘って行なうことができる。これにより、経年劣化の決定の制度を高めることができる、大きな時定数が得られる。
一実施形態によれば、決定するステップにおいて、温度信号が定常状態を有する際に、経年劣化値を決定できる。定常状態は定義された計測状態を表しているため、異なる時点に対して、所定の経年劣化値を相互に比較可能である。
読み込むステップにおいて、温度信号を、半導体部品に一体化された抵抗へのインターフェイスを介して読み込むことができる。そうした抵抗により、半導体部品の内部において支配的な温度を、極めて正確に捕捉することが可能になる。有利には、半導体部品は通常、例えばゲート抵抗の形態であるそうした抵抗を備えている。また、そうした抵抗を使用して、温度を捕捉する既知の方法を用いることができる。
一実施形態によれば、半導体部品は、トランジスタとすることができる。供給するステップにおいて、励振信号をトランジスタの制御入力部に供給できる。有利には、励振電流を、このようにして、半導体部品を使用して直接的に調節できる。
パワーエレクトロニクス機器は、少なくとも1つの更なる半導体部品を備えることができる。供給するステップにおいて、励振信号を供給できる。励振信号が、更なるパワー損失を更なる半導体部品に入力するために、更なる半導体部品を通る更なる半正弦励振電流の流れを生じさせるよう構成されている。読み込むステップにおいて、更なる半導体部品の温度の時間的推移を表現する更なる温度信号を読み込むことができる。決定するステップにおいて、更なる温度信号を使用して、パワーエレクトロニクス機器の経年劣化を表す更なる経年劣化値を決定する。このようにして、パワーエレクトロニクス機器の各半導体部品に対して、半導体部品に割り当てられた各々の経年劣化値を決定できる。異なる実施形態によれば、1つの同一の励振信号を、複数の半導体部品に供給できる。または励振信号が、半導体部品に供給される複数の部分励振信号を有することもできる。部分励振信号を、半導体部品の各々が半正弦励振電流によって貫流されるよう、相互に適合させることができる。これは、例えば少なくとも2つの半導体部品からなるブリッジ回路に適している。個々の半導体部品の励振電流は、この場合、同一であっても又は異なってもよく、例えば相互に位相シフトされることもできる。
少なくとも1つの半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する装置は、
パワー損失を半導体部品に入力するために、半導体部品を通る少なくとも略半正弦励振電流の流れを生じさせるよう構成された励振信号を供給する供給ユニットと、
半導体部品の温度の時間的推移を表現する温度信号を読み込む読み込みユニットと、
温度信号を使用して、パワーエレクトロニクス機器の経年劣化を表す経年劣化値を決定する決定ユニットと、を備える。
一実施形態によれば、供給ユニットは、いずれにせよ半導体部品の駆動のために必要であるドライバ回路とすることができる。そうしたドライバ回路の一例は、インバータのパルス幅変調ドライバである。
装置は、少なくとも1つの半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する上述の方法の実施形態のステップを実施するよう構成された、ユニットを含むことができる。装置は、例えばセンサ信号である電気信号を処理し、それに応じた制御信号を出力する、電気デバイスとすることができる。装置は、1つ又は複数の適切なインターフェイスを備えることができる。インターフェイスは、ハードウエア及び/又はソフトウエアの形態で構成できる。ハードウエアの形態の構成において、インターフェイスは、例えば、装置の機能が実施される集積回路の部分とすることができる。インターフェイスは、個別の集積回路としてもよく、又は、少なくとも部分的にはディスクリート部品から構成されてもよい。ソフトウエアの形態の構成において、インターフェイスは、例えば、マイクロコントローラ上で他のソフトウエアモジュールに隣接して存在する、ソフトウエアモジュールとすることができる。
少なくとも1つの半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器を備える対応するパワー電気システムは、パワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する上述の装置を備える。好都合なことに装置は、有利にも、補完として、既知のパワーエレクトロニクスシステムに一体化できる。
そうしたパワーエレクトロニクスシステムに対する一例が、インバータである。有利には、半正弦励振電流は、インバータ内部の明白なシステム励振である。従って、励振信号を供給するために、インバータ内の既存のドライバ回路を使用できる。
一実施形態によれば、半導体部品は、特には絶縁ゲート電極を備えるバイポーラトランジスタである、バイポーラトランジスタとすることができる。励振電流は、バイポーラトランジスタのエミッタとコレクタとの間を流れる電流を表すことができる。さらに半導体部品は、電界効果トランジスタとすることができる。また励振電流は、電界効果トランジスタのドレインとソースとの間を流れる電流を表すことができる。記載したアプローチは、この場合、トランジスタに限定されることなく、他の半導体部品にも適用可能である。例えば、半導体部品はダイオードとすることができる。また励振電流は、ダイオードのアノードとカソードとの間を流れる電流を表すことができる。従って、半導体を熱励振するための、別個の電流源又は熱源は不要である。
一実施形態によれば、パワーエレクトロニクス機器は、キャリア、半導体部品をキャリアに熱的に結合する基板、及び冷却体を備えることができる。この場合、半導体部品は、はんだ接合部を介して基板に接続されている。また、冷却体が伝熱層を介してキャリアに接続されている。経年劣化値は、はんだ接合部の経年劣化を示すことができる。また経年劣化値が、追加的又は代替的に、伝熱層の経年劣化を示すことができる。キャリアとは、グランドプレート又はベースプレートと理解できる。基板は、電気絶縁材料製、例えばセラミックス製とすることができる。このようにして、記載したアプローチを、パワーエレクトロニクスシステムの典型的な構成に関連して使用できる。
有利にも、コンピュータプログラム製品は、半導体メモリ、ハードディスクメモリ又は光メモリなどの機械可読キャリア上に記憶可能なプログラムコードを備える。プログラムがコンピュータ又は装置上で実行されると、上述した実施形態のうちの1つの実施形態による方法を実行するために、プログラムコードが使用される。
図1は、一実施形態によるパワーエレクトロニクスシステムの概略図である。 図2は、一実施形態によるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法のフローチャートである。 図3は、一実施形態による半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の概略図である。 図4は、一実施形態による複数の半導体部品を備えるパワーエレクトロニクスシステムの概略図である。 図5は、一実施形態による半正弦励振電流を示すグラフである。 図6は、一実施形態によるパワーエレクトロニクスシステムの励振の概略図である。 図7は、一実施形態による経年劣化していないパワーエレクトロニクス機器の温度信号を示すグラフである。 図8は、一実施形態による経年劣化したパワーエレクトロニクス機器の温度信号を示すグラフである。 一実施形態によるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法のフローチャートである。
本発明の好適な実施形態に関する以下の説明では、様々な図面に表され、類似に作用する素子には、同一又は類似の符号が使用される。その際、これらの素子を繰り返して説明することは、省略される。
図1は、一実施形態によるパワーエレクトロニクスシステム100の概略図である。パワーエレクトロニクスシステム100は、半導体部品104を備えるパワーエレクトロニクス機器102及びパワーエレクトロニクス機器102において経年劣化を検出する装置106を備える。
装置106は、半導体部品104の半正弦励振を生じさせるのに適した励振信号110を、インターフェイスを介してパワーエレクトロニクス機器102に供給するよう構成されている。特に励振信号110は、半導体部品104を通る半正弦励振電流112の流れを生じさせ、ひいては半正弦パワー損失を半導体部品へ入力させるのに適している。
半導体部品104がトランジスタである場合、励振電流112は、エミッタ端子とコレクタ端子との間、又はドレイン端子とソース端子との間を流れることができる。この場合、一実施形態による励振信号110は、半導体部品104の制御入力部に供給される制御信号と見なすことができる。
半導体部品104がダイオードである場合、励振電流112は、半導体部品104アノード端子とカソード端子との間を流れることができる。この場合、励振信号110は、一実施形態によれば、励振電流112に対応し、半導体部品104において下降する励振電圧を表す。励振電圧によって、半導体部品104を通る励振電流112が発生される。又は、励振信号110が制御信号を表し、パワーエレクトロニクス機器102の素子を、半導体部品104が励振電流112によって貫流されるよう、駆動させる。
励振電流112を介して、パワー損失が半導体部品104に対して供給される。従って励振電流112は、半導体部品104を加熱する。半導体部品104において発生する熱は、熱放射又は熱放散によって、半導体部品104から排出される。励振電流の半正弦曲線のために、半導体部品104の内部の温度は、交互に上昇及び下降する。
装置106は、温度信号114をパワーエレクトロニクス機器102へのインターフェイスを介して読み込むよう構成されている。温度信号114は、半導体部品104の内部で支配的な温度を表現する。一実施形態により、温度信号114は、半導体部品104に一体化された測温抵抗116を使用して捕捉される。
装置106は、温度信号114を使用して、パワーエレクトロニクス機器102の経年劣化に関するパワーエレクトロニクス機器102の状態を決定するよう構成されている。一実施形態によれば、装置100は、パワーエレクトロニクス機器102の経年劣化が存在するか否かを示す経年劣化値118を供給するよう構成されている。
この実施形態によれば装置106は、供給ユニット120、読み込みユニット、及び決定ユニット124を備える。
供給ユニット120は、励振信号110を供給するよう構成されている。異なる実施形態によれば、供給ユニット120は、例えば、半導体部品104又は更なる回路素子を駆動する駆動ユニットとして、励振電流112を供給する電源として、又は励振電流112を導くラインのみとして、実現されてもよい。一実施形態によれば、供給ユニット120は、いずれにせよパワーエレクトロニクス機器102の駆動のために必要であり、追加機能として又は通常作動の範囲で励振電流を供給するユニットである。一実施形態によれば、供給ユニット120は、パワーエレクトロニクス機器102の通常作動の間、特に半導体部品104の通常作動の間に励振信号110を供給するよう構成されている。従って、一実施形態によれば、励振電流112は、通常作動の間に半導体部品104が貫流される電流である。代替的な実施形態によれば、励振信号110は、半導体部品104が通常作動外のテストモードにある間に供給される。
読み込みユニット122は、温度信号114を読み込むよう構成されている。一実施形態によれば、読み込みユニット122は更に、温度信号114を捕捉するよう構成された捕捉ユニットを備える。
決定ユニット124は、適切な決定規則に則り温度信号114から経年劣化値118を決定する、又は温度信号114からつきとめられた値から経年劣化値118を決定するよう構成されている。この目的のために決定ユニット124は、例えば、比較ユニット又はルックアップテーブルを備える。
装置106において、少なくとも1つのユニット120、122、124は、パワーエレクトロニクス機器102に一体化されてもよい。特に、少なくとも1つのユニット120、122、124は、少なくとも部分的に、いずれにせよパワーエレクトロニクス機器102の駆動のために必要なユニットによって実現できる。
一実施形態によれば、決定ユニット124は、温度信号114の振幅を評価して、経年劣化値118を決定するよう構成されている。経年劣化値118を極めて正確に決定可能とするために、決定ユニット124は、一実施形態によれば、定常状態にある温度信号114の少なくとも1つの振幅に基づいて経年劣化値118を決定するよう構成されている。経年劣化値118の精度を高めるために、決定ユニット124は、一実施形態によれば、温度信号114の平均振幅に基づいて経年劣化値118を決定するよう構成されている。このようにして決定された経年劣化値118は、例えば、半導体部品104のはんだ接合部の領域における経年劣化を示すのに適している。
一実施形態によれば、決定ユニット124は、追加的又は代替的に、温度信号114の最小値を評価して、経年劣化値118を決定するよう構成されている。経年劣化値118を極めて正確に決定可能とするために、決定ユニット124は、一実施形態によれば、定常状態にある温度信号114の最小値に基づいて経年劣化値118を決定するよう構成されている。経年劣化値118の精度を高めるために、決定ユニット124は、一実施形態によれば、温度信号114の平均最小値に基づいて経年劣化値118を決定するよう構成されている。このようにして決定された経年劣化値118は、例えば、半導体部品104の冷却ユニットの領域における経年劣化を示すのに適している。
一実施形態によれば、決定ユニット124は、2つの経年劣化値を供給するよう構成されている。経年劣化値のうちの1つは振幅を使用して供給され、他の経年劣化値は温度信号114の最小値を使用して供給される。
図2は、一実施形態による、少なくとも1つの半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法のフローチャートを示す。
方法は、励振信号を供給するステップ220を含む。励振信号を介して、少なくとも略半正弦曲線を有するパワー損失が半導体部品に入力される。特に励振信号を介して、半導体部品を通る少なくとも略半正弦励振電流の流れが生じる。ステップ224において、温度信号を読み込む。温度信号は、温度、特に半導体部品の内部の温度の時間的推移を表現する。ステップ226において、パワーエレクトロニクス機器の経年劣化を表す経年劣化値を決定する。経年劣化値は、温度信号を使用して決定する。
方法のステップ220、222、224は、例えば、図1に示されたパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する装置のユニットを使用して、又は図1に示されたパワーエレクトロニクス機器のユニットを使用して実施することができる。
図3は、一実施形態による半導体部品104を備えるパワーエレクトロニクス機器103の概略図を示す。これは、インバータに関連して使用される既知のパワーエレクトロニクス機器とすることができる。
半導体部品104は、例えばチップの形態で、はんだ接合部330を介して基板332に接続されている。基板332は、キャリア上、ここでは、グランドプレートとも称されるベースプレート334上に配置されている。この実施形態によれば、基板332はセラミック基板として実現されており、半導体部品104をベースプレート334に対して絶縁し、そして熱的に結合する役割を果たす。ベースプレート334の基板332と反対側の上には、冷却体336が、例えば伝熱ペーストの形態である伝熱層338を介して、ベースプレート334に対して配置されている。この実施形態によれば、冷却体336は、冷却液が貫流するチャネル340を備える。
一実施形態によれば、半導体部品104において、パワー損失が半導体部品104に入力されることによって発生する熱は、はんだ接合部330、基板332、ベースプレート334及び伝熱層338を介して、ヒートシンクとしての役割を果たす冷却体336へ導かれる。
本明細書に記載した手法を使用して、特に、はんだ接合部330の領域における経年劣化、及び伝熱層338の領域における経年劣化を認識できる。
一実施形態によれば、半導体部品104に隣接して、少なくとも1つの更なる半導体部品104が配置されている。更なる半導体部品104は、更なる基板を介してベースプレート334に接続されている。
図4は、一実施形態によるパワーエレクトロニクスシステム100の概略図を示す。パワーエレクトロニクスシステム100は、複数の半導体部品104、404、405、406、407、408を備えるパワーエレクトロニクス機器102を備える。半導体部品104、404、405、406、407、408は、例えばB6ブリッジ回路において相互接続されている。半導体部品104、404、405、406、407、408は、一実施形態によれば、前出の図を参照して説明した素子である。
一実施形態によれば、半導体部品104、404、405、406、407、408は、インバータとして実現されるパワーエレクトロニクス機器102のトランジスタとして実現される。パワーエレクトロニクス機器102は、2つの入力ポート410と3つの出力ポート412を備える。パワーエレクトロニクス機器102の通常作動において、入力ポート410の間には直流電圧が印加される。直流電圧から、半導体部品104、404、405、406、407、408を適切に駆動することによって、三相交流電圧が生成され、出力ポート412に供給される。
パワーエレクトロニクス機器102の経年劣化を探知するために、供給ユニット120が備えられている。供給ユニット120は、この実施形態によれば複数の部分励振信号を有する励振信号110を、半導体部品104、404、405、406、407、408の制御ポートに供給するよう構成されている。励振信号110を介して、半導体部品104、404、405、406、407、408を、半導体部品104、404、405、406、407、408が、入力ポート410に作用する直流電圧を使用して、その都度少なくとも略半正弦励振電流によって貫流されるように、駆動させる。この場合、半導体部品104、404、405、406、407、408が、例えば相互に位相シフトされた異なる励振電流によって貫流されうる。一実施形態によれば、PWM‐ドライバ回路は、供給ユニット120として使用される。PWM‐ドライバ回路が、インバータとして実現されたパワーエレクトロニクス機器102の通常作動の間、半導体部品104、404、405、406、407、408を駆動するために使用される。
読み込みユニット122は、温度信号114を読み込むために備えられている。温度信号114は、この実施形態によれば、複数の部分温度信号を有する。個々の部分温度信号が、個々の半導体部品104、404、405、406、407、408において支配的な温度を表現する。
決定ユニット124は、温度信号114を使用して、パワーエレクトロニクス機器102の経年劣化を決定するために備えられている。部分温度信号が存在するために、決定ユニット124は、一実施形態によれば、個々の半導体部品104、404、405、406、407、408に関連する経年劣化値を決定し、供給するよう構成されている。
代替的な実施形態によれば、パワーエレクトロニクス機器102は整流器である。整流器は、ポート412に作用する交流電圧を直流電圧に変換し、ポートに供給するよう構成されている。この場合、半導体部品104、404、405、406、407、408は、ダイオードとすることができる。励振信号は、この場合、ポート412に作用する交流電圧として理解できる。また供給ユニットは、例えば、ポート412を半導体部品104、404、405、406、407、408に接続するラインを備えることができる。
図5は、一実施形態による半正弦励振、特に半正弦励振電流112を示すグラフである。横軸上に時間tを秒で記載し、縦軸上に電流IACをアンペアで記載したグラフが示されている。図示の電流IACは、−200Aと+200Aの間で振動する正弦曲線を有する。電流の正の半波は、励振電流112として、「被試験装置(DUT=Device under Test)」とも称される半導体部品に供給され、半導体部品のチップ近傍の熱抵抗を励振させる。
図6は、一実施形態によるパワーエレクトロニクス機器102の励振の概略図である。例えば、図3を参照して説明したように、パワーエレクトロニクス機器102は、ここではチップの形態である半導体部品104、基板332、及び冷却システム636を備える。冷却システム636は、例えば冷却剤により貫流される冷却体を備えることができる。半導体部品104及び基板332の配置は、パワー半導体モジュール又はパワーモジュールとも称することができる。
例えば図5を参照して示されるように、励振電流を介して、パワー損失Pが半導体部品104に供給される。パワー損失Pは、ここではバリア層温度Tである温度に対して、半導体部品104の内部で作用する。第1熱抵抗Rth1が半導体部品104に対して、及び第2熱抵抗Rth2が基板332に対して割り当てられている。一実施形態によれば、励振電流によって、チップ近傍の熱抵抗Rth1が半正弦励振される。熱エネルギは、冷却システム636から、温度Tfluidを有する冷却剤を用いて放熱される。
記載した手法を、パワー半導体モジュール104、332及び冷却システム636をオンボード経年劣化識別する方法の形態である実施形態を参照して、以下に説明する。
パワーモジュール104、332の既知である故障現象は、ボンディングワイヤの剥離、及び図3においてはんだ接合部として概略的に示されたような、モジュール内部のはんだ結合部の経年劣化である。ボンディングエラーは、電気的なライン抵抗の上昇につながる。ボンディングエラーは、定義されたコレクタ電流においてコレクタ‐エミッタ間電圧UCEを計測することで監視可能である。この場合、「リストオフ」とも称されるワイヤの剥離によって、更なるワイヤの剥離が加速される。これにより、モジュール104、332が、極めて短時間のうちに故障する可能性がある。従って、UCE計測では、「寿命末期」の識別のみが可能であることが多い。
これに対して、本明細書に記載した励振電流を使用して、半導体部品104を検査するために、モジュールの状態に関する分析及び残り寿命の推定が可能である。そうした分析に基づいて、モジュール104、332を予防的に交換するかどうか、又はそれらがフォローアップ検査まで耐えることができるかどうか、を決定できる。
はんだ接合部の経年劣化によって、定常熱抵抗Rthがよりゆっくりと上昇することになる。従ってそのために、事前警告時間をより長くすることができる。
追加的に、冷却システム636又は図3において概略的に伝熱層として表されたような伝熱ペーストにおける経年劣化によっても、定常熱抵抗が上昇することになる。
パワーモジュール104、332及び冷却システムの経年劣化を、エラー選択的に決定するために、熱インピーダンスZthも、UCE法を使用して追加的に計測できる。このために、パワーモジュールはDC加熱電流で加熱され、DC加熱電流を突然にスイッチオフした後に、冷却曲線が計測される。Rth計測及びZth計測するこの方法は、別個の診断フェーズの範囲で、つまり、例えば信号機で停止した際のような、車両における通常のインバータモード外で実行可能である。それにもかかわらず、必要とされる機器及び計測精度を理由として、この方法は、車両コンバータ又は風力発電設備のコンバータへの統合にはあまり適していない。
アプリケーションに存在するパワーモジュール104、332を経年劣化識別するために、追加的に、パワー半導体104を加熱パルスによって加熱できる。加熱パルスは、例えば低減された制御電圧を有するブリッジ短絡によって実現できる。ここでも、UCE法によって冷却カーブが計測される。そこから、パワーモジュールの経年劣化を推測できる。この方法の利点は、半導体104を短時間で加熱することである。一方、基板332及びグランドプレートのような深く位置する材料層は、温度上昇を経験しない。従って、はんだ層の上に大きな温度が発生する。この温度差が、計測精度を向上させる。冷却システムの状態を識別することは、不可能である。さらに安全上の理由から、コンバータにおいてブリッジ短絡を実現することは除外される。
代わりに、矩形の加熱電流プロフィールを使用できる。この加熱電流プロフィールは、追加的な加熱電流源によって実現される。3回の加熱パルスの後、バリア層温度TがUCE法で計測される。クリティカルな経年劣化状態を識別するために、この計測値がシステムの出荷時に記憶された計測値と比較される。しかしながら、このためには追加的な加熱電流源を含む実装のための大きな努力が必要である。また、温度の単なる1点計測が行なわれ、冷却システムの監視は不可能である。
そうした方法は、半制限励振を使用する本明細書に記載した方法に対する補完として使用できる。ジャンプ形状、インパルス形状、又は矩形のシステム励振、及びUCE法を有する時間的領域における冷却挙動の計測に基づいて経年劣化識別する方法とは対照的に、本明細書に記載した手法によれば、半正弦励振を使用して、厳密な実験室における計測技術及び追加的な加熱電流源の必要性が排除される。さらに、外乱及び外部からの影響に対して、高い堅牢性が与えられている。半正弦励振を使用する本明細書に記載した手法は、例えば車両コンバータ又は風力発電設備のコンバータに一体化されたパワーモジュール104、332及び冷却システム636を「オンボード」経年劣化識別する、実行可能で連続生産可能な解決策を提供するものである。
ジャンプ形状、インパルス形状、又は矩形のシステム励振、及び時間的領域における温度計測とは対照的に、本明細書で提示した手法は、小さな電気的周波数fel〜1Hzによる半正弦励振を記載するものである。この周波数は、チップハンダの劣化につれて上昇する熱抵抗Rth1(図6の熱カウア等価回路図を参照)を超えて、周期的に極めて大きな温度差が発生するよう選択される。これによりRth1の計測感度‐監視が改善される。従来構築されたパワーモジュール104、332において、この周波数は、セラミック基板332(Rth2、Cth2)のローパス周波数において、約fel〜1Hzの領域で再見される。
周波数励振の利点は、計測値をより長い期間に亘って平均化する可能性である。記載された半正弦励振は、更に、追加的な加熱電流源又はブリッジ短絡無しで、インバータの簡単な制御、例えばcosφ=0のパワーファクタによって実現可能である。従って、システム励振の間は無効電流のみが流れる。また、トルクは電気機械で発生しない。
例示的な相電流IACが、図5に図示されている。相電流IACの正の半波は、IGBT(「被試験装置」)の形態である半導体部品104を貫流し、IGBT内に半正弦パワー損失Pを供給する。従ってパルスインバータにおいて、全ての半導体部品104、つまり例えば全てのIGBTを、同時に励振して計測することが可能である。
半正弦励振に対する例示的なシステム応答が、続く図に示されている。
図7は、一実施形態による経年劣化していないパワーエレクトロニクス機器の温度信号114を示す。これは、前出の図を参照して説明されたパワーエレクトロニクス機器とすることができる。温度信号114は、連続する温度上昇及び温度下降を有する周期的推移を有する。この場合、横軸上に時間tを秒で記載し、縦軸上に温度Tを摂氏で記載している。図示された約6秒の時間スパン内で、温度信号114は、ここでは例示的にTJ,Min=42℃である最小値750を有する。温度信号114は、図示された時間スパン内で、約7回の振動において、ここでは例示的にΔT=37℃である振幅752を有する。温度信号114は定常状態にあるため、温度信号114の振動の個々のサイクルは少なくとも略同一である。
図8は、一実施形態による経年劣化したパワーエレクトロニクス機器の温度信号114を示す。温度信号114は、図7に示された温度信号とは、温度信号114の振幅752が異なる。図示された再度約6秒の時間スパン内で、温度信号114は、TJ,Min=42℃である最小値750を有する。温度信号114は、図示された時間スパン内で、約7回の振動において、ここでは例示的にΔT=44℃である振幅752を有する。温度信号114は定常状態にあるため、温度信号114の振動の個々のサイクルは少なくとも略同一である。
従って、例えばパワーモジュールの形態である、新しいパワーエレクトロニクス機器と経年劣化したパワーエレクトロニクス機器に関して、温度信号114によって表された温度サイクルは、経年劣化したパワーエレクトロニクス機器の温度信号が、より大きな振幅752を有する点で異なる。
図7及び図8を参照して、システム応答としての役割を果たす又はシステム応答を含む温度信号114の、異なる実施形態による評価を、以下に説明する。
システム応答として、一実施形態によれば、システム励振の結果である温度サイクルの、振幅752ΔT及び最小バリア層温度750TJ,Minが計測される。特に有利には、これらの値を、定常熱状態に達した後に、より長い期間、例えば30秒を超えて計測する。これにより、複数の温度サイクルに亘って振幅752及び最小温度750を平均化可能になり、これらの値を最大限に正確及び堅牢に計測できる。
バリア層温度を計測し、それによって温度信号114を生成するために、半導体部品の測温抵抗における温度計測に関連して使用されるような、適切なドライバ回路を使用できる。
振幅752ΔTの増大は、パワーモジュールの経年劣化、特にパワーモジュールで使用された少なくとも1つのはんだ接合部の経年劣化を特徴付ける。一方、最小温度750TJ,Minは、伝熱ペースト及び/又は冷却システムの経年劣化に伴って高まる。図7及び図8は、温度信号114を参照して、新しいパワーモジュールと、人工的に経年劣化させたパワーモジュールのバリア層温度を、定常熱状態において示す。
経年劣化による作用をうけた振幅752ΔTは、37℃から44℃に、つまりプラス19%だけ増大する。これは、人工的な経年劣化に使用された20%のRth増加の破壊基準と一致する。最小温度750TJ,Min=42℃で不変であれば、伝熱ペースト及び冷却システムは経年劣化していないことを示唆する。冷却体の汚れ又は伝熱ペーストの経年劣化に対応して、冷却剤の体積流が、例えば10I/minから5I/minへ冷却剤の体積流が減少すると、最小温度750TJ,Minが、例えば46℃に上昇する。一方温度サイクルの振幅は、これからは影響を受けない。従って、振幅752及び最小温度750を評価することで、パワーモジュール及び冷却システムの経年劣化状態の、エラー選択的な識別が可能になる。
経年劣化を監視するために、振幅752及び最小温度750が、一実施形態によれば、定期的な診断フェーズにおいて探知され、例えばシステムの出荷時に記憶された値と比較される。
代替的に、入力されたパワー損失及び計測されたバリア層温度から、熱部分抵抗を算出し、監視することができる。
図9は、一実施形態によるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法のフローチャートである。方法は、診断フェーズの範囲で実行する。この方法は、オンボード経年劣化識別のフローチャートとして表されている。
方法のスタート901の後、ステップ903において、最初に、約1Hzの周波数felによる半正弦システム励振を、例えばcosφ=0及びIAC=200AのPWR制御を使用して行なう。
ステップ905において、1Hzの温度サイクルの振幅ΔT及び最小温度TJ,Minを、熱的定常状態において、計測又は決定する。
ステップ907において、振幅ΔT及び最小温度TJ,Minを、複数のサイクルに亘って平均化する。
ステップ909において、システムの出荷時に記憶された振幅及び最小温度のための基準値ΔTJ,Ref及びTJ,Min,Refを供給する。
ステップ911において、パワーモジュール及び/又は冷却システムが経年劣化しているかどうかを評価する。これは、一実施形態によれば、以下のクライテリアに対応して行なう。
ΔT>ΔTJ,Refの場合、そこからパワーモジュールの経年劣化という結論が導かれる。
ΔTJ,Ref>TJ,Min,Refの場合、そこから冷却システムの経年劣化という結論が導かれる。
ΔT>ΔTJ,Ref及びΔTJ,Ref>TJ,Min,Refの場合、そこからパワーモジュール及び冷却システムの経年劣化という結論が導かれる。
ステップ911における評価の結果として、パワーモジュール及び冷却システムの経年劣化状態913を出力させる。
一実施形態によれば、ステップ903は、図2を参照して記載した供給するステップの範囲で実行する。ステップ905は、半導体部品の温度を計測することによって、時間的に、図2を参照して記載した読み込むステップの前に実行できる。代替的にステップ905は、温度信号から最初に振幅及び最小温度を決定し、次いでそれらを使用して経年劣化状態913を決定することによって、図2を参照して記載した決定するステップの範囲において、任意のステップ907並びにステップ911と共に実行できる。経年劣化状態913は、図2を参照して記載した経年劣化値と見なすことができる。
以下に、図9のインバータの形態であるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法の実施形態を詳説する。
診断フェーズでは、ステップ903において、最初に、小さな電気的周波数fel〜1Hzを有する半正弦パワー損失プロフィール及び図5に示されるような例えばIAC=200Aである定義された相電流によって、システム励振をスタートする。このシステム励振は、例えばcosφ=0のパワーファクタでインバータを制御することによって実現可能である。従ってパルスインバータにおいて、全てのIGBTが同時に励振される。これにより、診断フェーズを1回実行する間に、全てのIGBTの経年劣化状態を識別できる。
システム応答として、ステップ905において、各IGBTのバリア層温度の温度サイクルの振幅ΔT及び最小値TJ,Minを、熱的定常状態に達した後に、計測、読み込み又は決定する。例示的に、振幅ΔT及び最小値TJ,Minのための例示的な値は、例えば図7及び図8を参照する。バリア層温度を計測するために、例えば適切なIGBT駆動ブコンセプトを使用できる。
有利には、ステップ907において、計測した振幅ΔT及び最小値TJ,Minを、複数の正弦波に亘って、例えば15半波を超えて、任意に平均化する。これにより、厳密な実験室における計測技術無しで、極めて正確及び堅牢に計測できる。
経年劣化を監視するために、振幅及び最小温度が、一実施形態によれば、定期的な診断フェーズにおいて探知され、例えばシステムの出荷時に記憶された基準値又はその後に供給される基準値ΔTJ,Ref及びTJ,Min,Refと比較される。代替的に、入力されたパワー損失P、並びに計測された振幅及び最小温度から、熱部分抵抗Rth,iを算出し、基準値Rth,i,Refと比較する。
一実施形態によれば、診断フェーズは、保守又は検査間隔のような定義された時間間隔で、スタート901する。パワーモジュール及び/又は冷却システムの経年劣化状態903を、例えばデジタル値又はデジタルデータとして出力できる。経年劣化状態913は、例えば信号の形態で示すこともできる。
従って一実施形態によれば、記載した方法は、被試験パワーモジュールを、僅かな電気的周波数を有する半正弦パワー損失プロフィール又は相電流プロフィールで励振し、その際、結果として生じる温度サイクルの振幅及び最小温度を計測するという、診断フェーズを使用するものである。
実施形態は第1の特徴及び第2の特徴の間を「及び/又は」として結合した特徴を含むため、1つの実施形態による実施例は第1の特徴と第2の特徴の双方を有し、更なる実施形態による実施例は第1の特徴又は第2の特徴の何れか一方のみを有すると解釈可能である。
100 パワーエレクトロニクスシステム
102 パワーエレクトロニクス機器
104 半導体部品
106 経年劣化を検出する装置
110 励振信号
112 励振電流
114 温度信号
116 測温抵抗
118 経年劣化値
120 供給ユニット
122 読み込みユニット
124 決定ユニット
220 供給するステップ
222 読み込むステップ
224 決定するステップ
330 はんだ接合部
332 基板
334 ベースプレート
336 冷却体
338 伝熱層
340 チャネル
404 半導体部品
405 半導体部品
406 半導体部品
407 半導体部品
408 半導体部品
410 入力ポート
412 出力ポート
636 冷却システム
750 最小温度
752 振幅
901 スタート
903 システム励振するステップ
905 計測するステップ
905 平均化するステップ
909 基準値を供給するステップ
911 評価するステップ
913 経年劣化状態

Claims (15)

  1. 少なくとも1つの半導体部品(104)を備えるパワーエレクトロニクス機器(102)の経年劣化を検出する方法であって、
    パワー損失を前記半導体部品(104)に入力するために、前記半導体部品(104)を通る少なくとも略半正弦励振電流(112)の流れを生じさせるよう構成された励振信号(110)を供給するステップ(220)と、
    前記半導体部品(104)の温度の時間的推移を表現する温度信号(114)を読み込むステップ(222)と、
    前記温度信号(114)を使用して、前記パワーエレクトロニクス機器(102)の前記経年劣化を表す経年劣化値(118;913)を決定するステップ(224)と、を含む方法。
  2. 前記決定するステップ(224)において、前記温度信号(114)の振幅及び/又は最小値を使用して、前記経年劣化値(118;913)を決定することを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  3. 前記決定するステップ(224)において、前記振幅と基準振幅とを比較することによって、及び/又は前記最小値と基準最小値とを比較することによって、前記経年劣化値(118;913)を決定することを特徴とする、請求項2に記載の方法。
  4. 前記振幅が前記基準振幅よりも大きい場合、前記決定するステップ(224)において、前記半導体部品(104)における経年劣化を示す第1経年劣化値(118;913)を決定し、及び/又は前記最小値が前記基準最小値よりも大きい場合、前記決定するステップ(224)において、前記パワーエレクトロニクス機器(102)の冷却ユニットの経年劣化を示す第2経年劣化値(118;913)を決定する、請求項2又は3に記載の方法。
  5. 前記決定するステップ(224)において、熱抵抗と熱基準抵抗とを比較することによって、前記経年劣化値(118;913)を決定し、前記振幅、前記最小値、及び前記半導体部品(104)に入力された前記パワー損失を使用して、熱部分抵抗を決定することを特徴とする、請求項2又は3に記載の方法。
  6. 前記決定するステップ(224)において、前記温度信号(114)の平均振幅及び/又は平均最小値を使用して、前記経年劣化値(118;913)を決定することを特徴とする、請求項2〜5の何れか一項に記載の方法。
  7. 前記決定するステップ(224)において、前記温度信号(114)が定常状態を有する際に、前記経年劣化値(118;913)を決定することを特徴とする、請求項1〜6の何れか一項に記載の方法。
  8. 前記読み込むステップ(222)において、前記温度信号(114)を、前記半導体部品(104)に一体化された抵抗(116)へのインターフェイスを介して読み込むことを特徴とする、請求項1〜7の何れか一項に記載の方法。
  9. 前記半導体部品(104)がトランジスタであり、前記供給するステップ(220)において、前記励振信号(110)を前記トランジスタの制御入力部に供給することを特徴とする、請求項1〜8の何れか一項に記載の方法。
  10. 前記パワーエレクトロニクス機器(102)が、少なくとも1つの更なる半導体部品(404)を備え、前記供給するステップにおいて励振信号(110)を供給し、該励振信号(110)が、更なるパワー損失を前記更なる半導体部品(404)に入力するために、前記更なる半導体部品(404)を通る更なる半正弦励振電流(112)の流れを生じさせるよう構成され、前記読み込むステップにおいて、前記更なる半導体部品(104)の温度の時間的推移を表現する更なる温度信号(114)を読み込み、前記決定するステップ(224)において、前記更なる温度信号(114)を使用して、前記パワーエレクトロニクス機器(102)の前記経年劣化を表す更なる経年劣化値(118;913)決定することを特徴とする、請求項1〜9の何れか一項に記載の方法。
  11. 少なくとも1つの半導体部品(104)を備えるパワーエレクトロニクス機器(102)の経年劣化を検出する装置(106)は、
    パワー損失を前記半導体部品(104)に入力するために、前記半導体部品(104)を通る少なくとも略半正弦励振電流(112)の流れを生じさせるよう構成された励振信号(110)を供給する供給ユニット(120)と、
    前記半導体部品(104)の温度の時間的推移を表現する温度信号(114)を読み込む読み込みユニット(122)と、
    前記温度信号(114)を使用して、前記パワーエレクトロニクス機器(102)の前記経年劣化を表す経年劣化値(118;913)決定する決定ユニット(124)と、を含む装置(106)。
  12. 少なくとも1つの半導体部品(104)を備えるパワーエレクトロニクス機器(102)及び前記パワーエレクトロニクス機器(102)の経年劣化を検出する請求項11に記載の装置(106)を備えるパワーエレクトロニクスシステム(100)。
  13. 前記パワーエレクトロニクスシステム(100)がインバータとして実現されていることを特徴とする、請求項12に記載のパワーエレクトロニクスシステム(100)。
  14. 前記半導体部品(104)がバイポーラトランジスタであり、前記励振電流(112)がエミットとコレクタとの間を流れる電流を表し、前記半導体部品(104)が電界効果トランジスタであり、前記励振電流(112)がドレインとソースとの間を流れる電流を表し、又は前記半導体部品(104)がダイオードであり、前記励振電流(112)がアノードとカソードとの間を流れる電流を表すことを特徴とする、請求項12又は13に記載のパワーエレクトロニクスシステム(100)。
  15. 前記パワーエレクトロニクス機器(102)が、キャリア(334)、前記半導体部品(104)を前記キャリア(334)に熱的に結合する基板(332)、及び冷却体(336)を備え、前記半導体部品(104)が、はんだ接合部(330)を介して前記基板(332)に接続され、前記冷却体(336)が伝熱層(338)を介して前記キャリア(334)に接続され、前記経年劣化値(118;913)が、前記はんだ接合部(330)の経年劣化を示し、及び/又は前記伝熱層(338)の経年劣化を示すことを特徴とする、請求項12〜14の何れか一項に記載のパワーエレクトロニクスシステム(100)。
JP2018531523A 2015-12-18 2016-11-22 半導体部品を備えるパワーエレクトロニクス機器の経年劣化を検出する方法及び装置、並びにパワーエレクトロニクスシステム Active JP6899828B2 (ja)

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