JP2002075890A - 熱処理装置の降温レート制御方法および熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置の降温レート制御方法および熱処理装置Info
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Abstract
と共に全体の降温レートを速くして、熱動特性の向上を
図る。 【解決手段】 多数の被処理体wを所定間隔で配列支持
した状態で処理容器3内に収容し、該処理容器3の周囲
に設けた円筒状のヒータ4により前記被処理体wを加熱
して所定の熱処理を施した後、ヒータ4を降温させるに
際して、ヒータ4内を複数のゾーンに分けて温度を検知
し、その検知温度に対応して降温レートの遅いゾーンに
速いゾーンよりも冷却気体を多く送り込んで遅いゾーン
の降温レートを速いゾーンの降温レートに近づけるよう
に制御する。
Description
レート制御方法および熱処理装置に関する。
例えば半導体ウエハに酸化、拡散、アニール、CVD等
の処理を施す半導体製造装置として、例えば一度に多数
枚の半導体ウエハの処理が可能なバッチ式の縦型熱処理
装置が用いられている。この熱処理装置においては、一
般的に、多数枚のウエハを所定間隔で配列支持した状態
で処理容器内に収容し、該処理容器の周囲に設けた円筒
状のヒータにより前記ウエハを加熱して所定の熱処理を
施すようになっている。前記ヒータは、円筒状の断熱材
の内周に線状の抵抗発熱体を螺旋状もしくは蛇行状に配
設してなる。
は、ウエハの面間均一な熱処理を可能とするために、抵
抗発熱体を高さ方向に複数のゾーンに分割してゾーン毎
に独立した加熱制御が可能に構成されていることが好ま
しい。一方、前記ヒータを冷却する方法としては、自然
冷却(空冷、水冷を含む。)による方法と、強制冷却に
よる方法とが知られている。
処理装置においては、自然冷却または強制冷却を行う
と、図4に示すように、放熱等の影響によりゾーン毎の
降温レートにバラツキが発生し、ウエハの処理ロット内
の熱履歴が異なってしまう問題があった。図4により、
ヒータの降温レートは、下部ゾーンおよび上部ゾーンで
速く、中央部ゾーンで遅いことが分かる。
冷却の場合、速いゾーンにおける抵抗発熱体に電圧をか
けてその降温レートを遅いゾーンの降温レートに近づけ
るようにしているが、ヒータの構造上、速いゾーンであ
る下部ゾーンにかけた熱が対流、輻射、熱伝導等によ
り、遅いゾーンである中央ゾーンをも暖めてしまい、結
果として、全体の降温レートが遅くなる問題があった。
込む空気量を手動バルブで調整してその降温レートを遅
いゾーンの降温レートに近づけるようにしているが、調
整とレート確認の作業が繰り返えされ、作業が大変であ
った。また、前記何れの場合においても、降温レートの
遅いゾーンに合わせ込む方法が取られているため、熱処
理装置の熱動特性を悪くしていた。
ので、ゾーン毎の降温レートのバラツキを抑制すること
ができると共に全体の降温レートを速くすることがで
き、熱動特性の向上が図れる熱処理装置の降温レート制
御方法および熱処理装置を提供することを目的とする。
に係る発明は、多数の被処理体を所定間隔で配列支持し
た状態で処理容器内に収容し、該処理容器の周囲に設け
た円筒状のヒータにより前記被処理体を加熱して所定の
熱処理を施した後、ヒータを降温させるに際して、ヒー
タ内を複数のゾーンに分けて温度を検知し、その検知温
度に対応して降温レートの遅いゾーンに速いゾーンより
も冷却気体を多く送り込んで遅いゾーンの降温レートを
速いゾーンの降温レートに近づけるように制御すること
を特徴とする。
所定間隔で配列支持した状態で処理容器内に収容し、該
処理容器の周囲に設けたヒータにより前記被処理体を加
熱して所定の熱処理を行う熱処理装置において、前記ヒ
ータ内を複数のゾーンに分けて各ゾーンの温度を検知す
る温度検知部と、ヒータ内の各ゾーンに冷却気体を送り
込んで冷却する送風配管と、該送風配管に設けられゾー
ン毎に冷却気体の送り込み量を調節可能な制御弁と、前
記温度検知部による検知温度に対応して降温レートの遅
いゾーンに速いゾーンよりも冷却気体を多く送り込んで
遅いゾーンの降温レートを速いゾーンの降温レートに近
づけるように前記制御弁を制御する制御部とを備えたこ
とを特徴とする。
所定間隔で配列支持した状態で処理容器内に収容し、該
処理容器の周囲に設けたヒータにより前記被処理体を加
熱して所定の熱処理を施す熱処理装置において、前記ヒ
ータ内を複数のゾーンに分けて各ゾーンの温度を検知す
る温度検知部と、ヒータ内の各ゾーンの雰囲気を外部へ
排気する排気配管と、該排気配管に設けられゾーン毎に
排気量の調節が可能な制御弁と、前記温度検知部による
検知温度に対応して降温レートの遅いゾーンの雰囲気を
速いゾーンの雰囲気よりも多く外部へ排気して遅いゾー
ンの降温レートを速いゾーンの降温レートに近づけるよ
うに前記制御弁を制御する制御部とを備えたことを特徴
とする。
付図面に基いて詳述する。
た第1の実施の形態を示す概略的縦断面図である。図示
例の縦型熱処理装置は、例えば高温炉や拡散炉を構成す
る縦型の熱処理炉1を備えている。この熱処理炉1は、
多数例えば150枚程度の被処理体例えば半導体ウエハ
wを支持具である例えば石英製のボート2に高さ方向に
所定間隔で配列支持した状態で収容する処理容器である
反応管3と、この反応管3の周囲を覆う如く設置され反
応管3内を所望の温度例えば600〜1200℃程度に
加熱可能な加熱手段である円筒状のヒータ4と、このヒ
ータ4と反応管3の間に配置された均熱管5とを備えて
いる。
する材料例えば石英からなり、上端が閉塞され、下端が
開口した縦長円筒状に形成されている。反応管3の下側
部には、処理ガスや不活性ガスを導入するガス導入管
や、反応管内を排気する排気管等が設けらている(図示
省略)。反応管3は、内管と外管の二重管構造になって
いても良い。
6の下側に図示しない取付部材により取付けられてい
る。ベースプレート6は、例えばステンレス製であり、
縦型熱処理装置の筐体内に水平に設けられている。この
ベースプレート6には、反応管3を上下方向に挿通する
開口部7が形成され、その開口部7にはこの開口部7か
らの放熱を抑制するために断熱材8が取付けられてい
る。
閉する例えばステンレス製の蓋体9が図示しない昇降機
構により昇降可能に設けられている。この蓋体9上には
前記ボート2が保温筒10を介して載置されている。昇
降機構により、反応管3内へのボート2の搬入搬出と前
記蓋体9の開閉が行われるようになっている。また、蓋
体9には、半導体ウエハwを面内均一に処理するために
ボート2を保温筒10と共に回転させる回転機構が設け
られている(図示省略)。
む円筒状の断熱材11の内周に線状の抵抗発熱体12を
周方向に蛇行状もしくは長手方向に螺旋状に配設して構
成されている。前記ヒータ4は、抵抗発熱体12が高さ
方向に複数例えば5つのゾーンZ1〜Z5に分割され、
各ゾーン毎に独立して温度制御が可能に構成されていて
る。断熱材11の外側は、図示しない水冷ジャケットで
覆われている。前記ヒータ4はベースプレート6上に設
置されている。
対する加熱温度の均一性を図ると共に、ヒータ4の抵抗
発熱体等から放出される金属によるウエハwの汚染を防
止するもので、例えば炭化珪素(SiC)により形成さ
れている。この均熱管5は、反応管3の周囲を取り囲む
如く、上端が閉塞され下端が開放された縦長円筒状に形
成されており、前記ベースプレート6部分の断熱材8上
に設置されている。
ヒータ4を降温させるに際して、前記ヒータ4内(すな
わち熱処理炉1内)を複数のゾーンに分けて温度を検知
し、その検知温度に対応して降温レートの遅いゾーンに
速いゾーンよりも冷却気体を多く送り込んで遅いゾーン
の降温レートを速いゾーンの降温レートに近づけるよう
に制御するための制御システム13が設けられている。
この制御システム13は、前記ヒータ4内を複数のゾー
ンに分けて各ゾーンの温度を検知する温度検知部14
と、ヒータ4内の各ゾーンに冷却気体例えば空気を送り
込んで冷却する送風配管15と、該送風配管15に設け
られゾーン毎に冷却気体例えば空気の送り込み量を調節
可能な制御弁16と、前記温度検知部14による検知温
度に対応して降温レートの遅いゾーン例えば中央部ゾー
ンZ3に速いゾーン例えば下部ゾーンZ5よりも冷却気
体を多く送り込んで遅いゾーンの降温レートを速いゾー
ンの降温レートに近づけるように前記制御弁16を制御
する制御部(コントローラ)17とから主に構成されて
いる。
なり、前記ヒータ4内の例えば反応管3と均熱管5との
間の空間部に、例えばヒータ4の発熱ゾーンZ1〜Z5
に対応して設けられている。これらの温度検知部14
は、一本の石英製の保護管内に収容されていても良い。
例えば空気(クリーンエア)を送り込むためのブロワ
(押し込みブロワ)18が設けられている。送風配管1
5は、ゾーンに対応して複数例えば5つに分岐され、そ
れぞれに制御弁16が設けられ、各下流端がヒータ4の
側部を貫通してヒータ4の内部空間における各ゾーンに
挿入されている。前記制御弁16は、例えばアクチュエ
ータ駆動バルブからなっている。
いゾーンの降温レートを設定しておくことにより、各ゾ
ーンの温度を温度検知部14により検出して設定レート
にすべく対応する送風配管15の制御弁16を開閉し、
ヒータ4内(炉内)の全体を設定レートに制御するよう
に構成されている。なお、前記ヒータ4には、ヒータ4
内の雰囲気を外部へ排出するためのブロワ(吸出しブロ
ワ)19を備えた排気管20が設けられている。
の作用およびその降温レート制御方法について述べる。
先ず、ウエハwの移載が終了したボート2は、ヒータ4
下方のローディングエリアにおいて、蓋体9上の保温筒
10上に載置され、次に、昇降機構による蓋体9の上昇
によってボート2を反応管3内にその下端開口から装入
し、その開口を蓋体9で気密に閉じる。そして、反応管
3内を排気しながらボート2上のウエハwをヒータ4に
より所定の処理温度に昇温させ、反応管3内に所定の処
理ガスを導入してウエハwに所定の熱処理例えば拡散処
理を施す。
タ4の電源を切り、ブロワ18の駆動により送風配管1
5を介して冷却気体である空気をヒータ4内に送り込
み、ヒータ4内を強制的に冷却する。この場合、前記ヒ
ータ4内を複数のゾーンに分けて温度を検知し、その検
知温度に対応して降温レートの遅いゾーン例えば中央部
ゾーンZ3に速いゾーン例えば下部ゾーンZ5よりも空
気を多く送り込んで遅いゾーンの降温レートを速いゾー
ンの降温レートに近づける(近似させる)ように制御す
る。これにより、ゾーン毎の降温レートのバラツキを抑
制することが可能となると共に全体の降温レートを速く
することが可能となる。従来の熱処理炉の制御では、パ
ワーをかける(温度を上げる)方向の制御のみであった
が、本発明により温度を下げる方向の制御を自在に行え
るようになり、熱処理炉1の熱動特性の向上が図れる。
4内を複数のゾーンに分けて各ゾーンの温度を検知する
温度検知部14と、ヒータ4内の各ゾーンに冷却気体例
えば空気を送り込んで冷却する送風配管15と、該送風
配管15に設けられゾーン毎に冷却気体例えば空気の送
り込み量を調節可能な制御弁16と、前記温度検知部1
4による検知温度に対応して降温レートの遅いゾーンに
速いゾーンよりも冷却気体を多く送り込んで遅いゾーン
の降温レートを速いゾーンの降温レートに近づけるよう
に前記制御弁16を制御する制御部17とを備えている
ため、自動制御によりゾーン毎の降温レートのバラツキ
を抑制することが可能となると共に全体の降温レートを
速くすることが可能となり、熱動特性の向上が図れる。
た第2の実施の形態を示す概略的縦断面図である。図2
の実施の形態において、前記図1の実施の形態と同一部
分は同一参照符号を付して説明を省略し、異なる部分に
ついて説明する。図2の実施の形態では、ヒータ4の内
部空間(図示例ではヒータ4と均熱管5との間の空間、
均熱管5が無い場合は、ヒータ4と反応管3との間の空
間)が仕切板21によってゾーン毎に仕切られており、
各ゾーンを単独で冷却できるようになっている。
いる。なお、ヒータ4には、各ゾーンから内部雰囲気を
個別に排気するための排気口ないし排気管22が設けら
れていることが好ましい。図2の実施の形態の縦型熱処
理装置によれば、図1の実施の形態の縦型熱処理装置と
同様の作用効果を奏することができる。また、ヒータ4
の内部空間をゾーン毎に仕切板21で仕切ることによ
り、各ゾーンを単独で冷却できるように構成されている
ため、強制冷却の場合だけでなく、改善手段の乏しい自
然冷却の場合におけるゾーン間温度差等も、降温レート
の遅いゾーンのみに冷却気体を流すことで改善可能であ
る。
た第3の実施の形態を示す概略的縦断面図である。図3
の実施の形態において、前記図1ないし図2の実施の形
態と同一部分は同一参照符号を付して説明を省略し、異
なる部分について説明する。前記ヒータ4には、仕切板
21で仕切られたヒータ4内の各ゾーンの雰囲気を外部
へ排気する排気配管23が設けられ、該排気配管23に
はゾーン毎に排気量の調節が可能な制御弁24が設けら
れている。排気配管23の下流端は合流され、排気用の
ブロワ(吸出しブロワ)25が接続されている。
よる検知温度に対応して降温レートの遅いゾーンの雰囲
気を速いゾーンの雰囲気よりも多く外部へ排気して遅い
ゾーンの降温レートを速いゾーンの降温レートに近づけ
るように制御部(コントローラ)26によって制御され
るように構成されている。なお、ヒータ4には、各ゾー
ンに空気を導入する導入口ないし導入管27が設けられ
ていることが好ましい。
ば、降温レートの遅いゾーンの雰囲気を速いゾーンの雰
囲気よりも多く外部へ排気して遅いゾーンの降温レート
を速いゾーンの降温レートに近づけるように制御される
ため、自動制御によりゾーン毎の降温レートのバラツキ
を抑制することができると共に全体の降温レートを速く
することができ、熱動特性の向上が図れる。
述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、熱処理炉は減圧タイ
プであっても良く、その場合、反応管の下端部にはガス
導入管および排気管を有する金属製例えばステンレス製
のマニホールドが気密に接続され、排気管には真空ポン
プや圧力制御弁を備えた真空排気系が接続される。ま
た、熱処理炉としては、CVD炉等の低温炉であっても
良く、その場合、均熱管が設けられていなくても良い。
形熱処理装置にも適用可能である。熱処理装置として
は、請求項2の発明と請求項3の発明を組み合わせ、ヒ
ータの冷却気体導入側と排気側の両方で制御を行うよう
にしても良い。被処理体としては、半導体ウエハ以外
に、例えばガラス基板やLCD基板等が適用可能であ
る。
な効果を奏することができる。
の被処理体を所定間隔で配列支持した状態で処理容器内
に収容し、該処理容器の周囲に設けた円筒状のヒータに
より前記被処理体を加熱して所定の熱処理を施した後、
ヒータを降温させるに際して、ヒータ内を複数のゾーン
に分けて温度を検知し、その検知温度に対応して降温レ
ートの遅いゾーンに速いゾーンよりも冷却気体を多く送
り込んで遅いゾーンの降温レートを速いゾーンの降温レ
ートに近づけるように制御するため、ゾーン毎の降温レ
ートのバラツキを抑制することができると共に全体の降
温レートを速くすることができ、熱動特性の向上が図れ
る。
の被処理体を所定間隔で配列支持した状態で処理容器内
に収容し、該処理容器の周囲に設けたヒータにより前記
被処理体を加熱して所定の熱処理を施す熱処理装置にお
いて、前記ヒータ内を複数のゾーンに分けて各ゾーンの
温度を検知する温度検知部と、ヒータ内の各ゾーンに冷
却気体を送り込んで冷却する送風配管と、該送風配管に
設けられゾーン毎に冷却気体の送り込み量を調節可能な
制御弁と、前記温度検知部による検知温度に対応して降
温レートの遅いゾーンに速いゾーンよりも冷却気体を多
く送り込んで遅いゾーンの降温レートを速いゾーンの降
温レートに近づけるように前記制御弁を制御する制御部
とを備えているため、自動制御によりゾーン毎の降温レ
ートのバラツキを抑制することができると共に全体の降
温レートを速くすることができ、熱動特性の向上が図れ
る。
の被処理体を所定間隔で配列支持した状態で処理容器内
に収容し、該処理容器の周囲に設けたヒータにより前記
被処理体を加熱して所定の熱処理を施す熱処理装置にお
いて、前記ヒータ内を複数のゾーンに分けて各ゾーンの
温度を検知する温度検知部と、ヒータ内の各ゾーンの雰
囲気を外部へ排気する排気配管と、該排気配管に設けら
れゾーン毎に排気量の調節が可能な制御弁と、前記温度
検知部による検知温度に対応して降温レートの遅いゾー
ンの雰囲気を速いゾーンの雰囲気よりも多く外部へ排気
して遅いゾーンの降温レートを速いゾーンの降温レート
に近づけるように前記制御弁を制御する制御部とを備え
ているため、自動制御によりゾーン毎の降温レートのバ
ラツキを抑制することができると共に全体の降温レート
を速くすることができ、熱動特性の向上が図れる。
の形態を示す概略的縦断面図である。
の形態を示す概略的縦断面図である。
の形態を示す概略的縦断面図である。
グラフである。
Claims (3)
- 【請求項1】 多数の被処理体を所定間隔で配列支持し
た状態で処理容器内に収容し、該処理容器の周囲に設け
た円筒状のヒータにより前記被処理体を加熱して所定の
熱処理を施した後、ヒータを降温させるに際して、ヒー
タ内を複数のゾーンに分けて温度を検知し、その検知温
度に対応して降温レートの遅いゾーンに速いゾーンより
も冷却気体を多く送り込んで遅いゾーンの降温レートを
速いゾーンの降温レートに近づけるように制御すること
を特徴とする熱処理装置の降温レート制御方法。 - 【請求項2】 多数の被処理体を所定間隔で配列支持し
た状態で処理容器内に収容し、該処理容器の周囲に設け
たヒータにより前記被処理体を加熱して所定の熱処理を
施す熱処理装置において、前記ヒータ内を複数のゾーン
に分けて各ゾーンの温度を検知する温度検知部と、ヒー
タ内の各ゾーンに冷却気体を送り込んで冷却する送風配
管と、該送風配管に設けられゾーン毎に冷却気体の送り
込み量を調節可能な制御弁と、前記温度検知部による検
知温度に対応して降温レートの遅いゾーンに速いゾーン
よりも冷却気体を多く送り込んで遅いゾーンの降温レー
トを速いゾーンの降温レートに近づけるように前記制御
弁を制御する制御部とを備えたことを特徴とする熱処理
装置。 - 【請求項3】 多数の被処理体を所定間隔で配列支持し
た状態で処理容器内に収容し、該処理容器の周囲に設け
たヒータにより前記被処理体を加熱して所定の熱処理を
施す熱処理装置において、前記ヒータ内を複数のゾーン
に分けて各ゾーンの温度を検知する温度検知部と、ヒー
タ内の各ゾーンの雰囲気を外部へ排気する排気配管と、
該排気配管に設けられゾーン毎に排気量の調節が可能な
制御弁と、前記温度検知部による検知温度に対応して降
温レートの遅いゾーンの雰囲気を速いゾーンの雰囲気よ
りも多く外部へ排気して遅いゾーンの降温レートを速い
ゾーンの降温レートに近づけるように前記制御弁を制御
する制御部とを備えたことを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000252249A JP4365017B2 (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | 熱処理装置の降温レート制御方法および熱処理装置 |
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