JP2017199874A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4 チャンバ(容器)
4d 開口部
4e 奥部
7 媒体供給部
18 制御部
31 第1サブダンパ(サブ弁。一のサブ弁)
32 基準ダンパ(基準弁)
33 第2サブダンパ(サブ弁。他のサブ弁)
100 被処理物
T1 チャンバ上部温度(容器のうちサブ弁から媒体が供給される箇所における温度)
T2 チャンバ中間部温度(容器のうち基準弁から媒体が供給される箇所における温度)
T3 チャンバ下部温度(容器のうちサブ弁から媒体が供給される箇所における温度)
kp1,kp2 制御ゲイン
Claims (9)
- 被処理物の熱処理時に前記被処理物を収容する容器と、
温度調整用の媒体を前記容器に供給するための基準弁およびサブ弁を含む媒体供給部と、
前記基準弁による前記媒体の供給態様を基準として、前記サブ弁による前記媒体の供給態様を制御する制御部と、
を備えていることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置であって、
前記制御部は、前記基準弁の開度が一定である状態を基準として、前記サブ弁の開度を制御することを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の熱処理装置であって、
前記制御部は、前記容器のうち前記基準弁から前記媒体が供給される箇所における温度を基準として、前記サブ弁から前記容器へ供給される前記媒体の流量を制御するように構成されていることを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項3に記載の熱処理装置であって、
前記制御部は、前記容器のうち前記基準弁から前記媒体が供給される箇所における温度と、前記容器のうち前記サブ弁から前記媒体が供給される箇所における温度との偏差を減少させるように、前記サブ弁の開度を制御することを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項1〜請求項4の何れか1項に記載の熱処理装置であって、
前記サブ弁は、複数設けられており、
前記制御部は、一の前記サブ弁と他の前記サブ弁とが異なる動作を行うように各前記サブ弁を制御することを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項5に記載の熱処理装置であって、
前記制御部は、比例制御を用いて各前記サブ弁を制御するように構成されており、一の前記サブ弁の制御ゲインと他の前記サブ弁の制御ゲインとを異なる値に設定することを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項6に記載の熱処理装置であって、
前記媒体は、前記容器を冷却するための冷却媒体であり、
一の前記サブ弁から前記容器へ前記冷却媒体が供給される位置は、他の前記サブ弁から前記容器へ前記冷却媒体が供給される位置よりも高く設定されており、
前記制御部は、一の前記サブ弁に関する前記制御ゲインを他の前記サブ弁に関する前記制御ゲインよりも大きく設定することを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項6または請求項7に記載の熱処理装置であって、
前記容器は、前記容器の外部に開放された開口部、および、前記容器の外部に対して閉じられた形状の奥部を含み、
前記媒体は、前記容器を冷却するための冷却媒体であり、
一の前記サブ弁から前記容器へ前記冷却媒体が供給される位置は前記開口部および前記奥部のうちの前記奥部寄りに設定されているとともに、他の前記サブ弁から前記容器へ前記冷却媒体が供給される位置は前記開口部および前記奥部のうちの前記開口部寄りに設定されており、
前記制御部は、一の前記サブ弁に関する前記制御ゲインを他の前記サブ弁に関する前記制御ゲインよりも大きく設定することを特徴とする、熱処理装置。 - 請求項1〜請求項8の何れか1項に記載の熱処理装置であって、
前記サブ弁は、複数設けられており、
各前記サブ弁からの前記媒体の出口位置間に前記基準弁からの前記媒体の出口位置が設定されていることを特徴とする、熱処理装置。
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