JP2000178511A - 多層異方導電性接着剤およびその製造方法 - Google Patents

多層異方導電性接着剤およびその製造方法

Info

Publication number
JP2000178511A
JP2000178511A JP9198398A JP19839897A JP2000178511A JP 2000178511 A JP2000178511 A JP 2000178511A JP 9198398 A JP9198398 A JP 9198398A JP 19839897 A JP19839897 A JP 19839897A JP 2000178511 A JP2000178511 A JP 2000178511A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
anisotropic conductive
conductive adhesive
adhesive layer
insulating
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9198398A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3678547B2 (ja
Inventor
Yukio Yamada
幸男 山田
Masao Saito
雅男 斎藤
Junji Shinozaki
潤二 篠崎
Motohide Takechi
元秀 武市
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dexerials Corp
Original Assignee
Sony Chemicals Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Chemicals Corp filed Critical Sony Chemicals Corp
Priority to JP19839897A priority Critical patent/JP3678547B2/ja
Priority to EP98113833A priority patent/EP0893484B1/en
Priority to US09/121,055 priority patent/US6020059A/en
Priority to DE69813103T priority patent/DE69813103T2/de
Priority to KR1019980029787A priority patent/KR100912357B1/ko
Publication of JP2000178511A publication Critical patent/JP2000178511A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3678547B2 publication Critical patent/JP3678547B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
    • H05K3/323Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives by applying an anisotropic conductive adhesive layer over an array of pads
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J7/00Adhesives in the form of films or foils
    • C09J7/10Adhesives in the form of films or foils without carriers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J9/00Adhesives characterised by their physical nature or the effects produced, e.g. glue sticks
    • C09J9/02Electrically-conducting adhesives
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/28Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
    • H01L24/29Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2203/00Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2203/326Applications of adhesives in processes or use of adhesives in the form of films or foils for bonding electronic components such as wafers, chips or semiconductors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/10Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet
    • C09J2301/12Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet by the arrangement of layers
    • C09J2301/124Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet by the arrangement of layers the adhesive layer being present on both sides of the carrier, e.g. double-sided adhesive tape
    • C09J2301/1242Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive tape or sheet by the arrangement of layers the adhesive layer being present on both sides of the carrier, e.g. double-sided adhesive tape the opposite adhesive layers being different
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/20Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself
    • C09J2301/208Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself the adhesive layer being constituted by at least two or more adjacent or superposed adhesive layers, e.g. multilayer adhesive
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2301/00Additional features of adhesives in the form of films or foils
    • C09J2301/30Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier
    • C09J2301/314Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier the adhesive layer and/or the carrier being conductive
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/06Polymers
    • H01L2924/078Adhesive characteristics other than chemical
    • H01L2924/07802Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/06Polymers
    • H01L2924/078Adhesive characteristics other than chemical
    • H01L2924/0781Adhesive characteristics other than chemical being an ohmic electrical conductor
    • H01L2924/07811Extrinsic, i.e. with electrical conductive fillers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10621Components characterised by their electrical contacts
    • H05K2201/10674Flip chip
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/11Treatments characterised by their effect, e.g. heating, cooling, roughening
    • H05K2203/1189Pressing leads, bumps or a die through an insulating layer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/901Printed circuit
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/25Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
    • Y10T428/256Heavy metal or aluminum or compound thereof
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/28Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
    • Y10T428/2852Adhesive compositions
    • Y10T428/287Adhesive compositions including epoxy group or epoxy polymer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/29Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
    • Y10T428/2982Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
    • Y10T428/2991Coated

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ICチップと回路基板との接続において、I
Cチップの電極間の10〜100μmピッチでもショー
トしない接続信頼性に優れた多層異方導電性接着剤を提
供する。 【解決手段】 絶縁性樹脂中に導電粒子を分散してなる
異方導電性接着剤層の少なくとも片面に絶縁性接着剤層
が積層されてなる多層異方導電性接着剤層において、前
記異方導電性接着剤層の必須成分がフィルム形成性樹脂
と導電粒子とからなり且つ前記異方導電性接着剤層の1
50℃における溶融粘度が100poise以上であっ
て、前記絶縁性接着剤層の必須成分が官能基を有する樹
脂と潜在性硬化剤とからなり且つ前記絶縁性接着剤層の
150℃における溶融粘度が100poise未満であ
る多層異方導電性接着剤。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ICチップと回路
基板との接続等に用いる高密度実装に対応した異方導電
性接着剤を用いた接続に関し、ファインピッチに対応し
た接続信頼性を高めることが可能な多層異方導電性接着
剤およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器の発達によってICチッ
プを実装するデバイスや電子機器は、軽量・薄型化が求
められ、ICチップを実装する基板も高密度化が要求さ
れている。
【0003】ICチップを高密度実装する方法として
は、フリップチップ方式や異方導電性接着剤を用いた方
式、ICチップに半田バンプを設け回路基板上に半田バ
ンプ付きICベアチップを載置し、半田リフロー炉を通
して実装するか、または熱プレスによって実装するフェ
イスダウン方式等がある。
【0004】その中でもICチップと基板との間に異方
導電性接着剤を載置し、加熱・加圧によって、上下の相
対峙する電極間は異方導電性接着剤中に存在する導電材
により電気的導通をとって、左右の隣接する電極間は導
電材同士が接触せず、絶縁性を保つことができるもの
で、簡便な接続方法である異方導電性接着剤が使用され
ている。
【発明が解決しようとする課題】
【0005】しかしながらICチップの電極間は10〜
100μmと、LCDの電極間に比較して、よりファイ
ンピッチになっている。また、異方導電性接着剤を加熱
・加圧することによって、上下の相対峙する電極間の異
方導電性接着剤が流動して左右の隣接する電極間に流出
する。それに伴い導電材も一緒に流出してしまって導通
抵抗が高くなったり、導通が図れないものや、左右の隣
接する電極間に流出した導電粒子同士の接触によってシ
ョートしてしまうという問題もあった。更に異方導電性
接着剤はICのスタッドバンプに対応することが要求さ
れており、スタッドバンプの接続面積は非常に小さく最
近では40μmφ(1240μm2 )と、これまでのC
OG(Chip On Glass)用メッキバンプに
比較して1/3〜1/4の大きさとなっている。このこ
とによりバンプ上の粒子を確保するためには多くの導電
粒子を必要とする問題があった。
【0006】この対策として特開昭61−19517
9、特開平1−236588、特開平4−23658
8、特開平6−283225等に異方導電性接着剤層上
に絶縁性接着剤層を設け、前記異方導電性接着剤層が前
記絶縁性接着剤層よりも軟化点や溶融粘度を高くした
り、流動性を低くして上下の相対峙する電極間から導電
材が流出し難いようにすることが開示されている。
【0007】しかしながら、これらの方法をもってして
も、左右の隣接する電極間に存在する導電粒子の接触に
よるショートの問題が生じている。導電材の粒径を小さ
くすれば良いが、余り小さくすると二次凝集がおこって
更なる問題となる。
【0008】ところで、現在は接続信頼性の点から熱硬
化性の異方導電性接着剤が主流である。 熱硬化性の異
方導電性接着剤には官能基を有するエポキシ樹脂を主成
分とし、常温では不活性で加熱によって活性化するイミ
ダゾールをポリウレタン樹脂で被覆してマイクロカプセ
ル化した潜在性硬化剤を用いるのが一般的になってい
る。
【0009】これらの熱硬化性異方性導電接着剤を用い
て多層異方導電性接着剤の製造を行おうとすると、潜在
性硬化剤が入った層が複数回、熱オーブン中を通過する
ことになる。このことによって潜在性硬化剤を覆ってい
るポリウレタン樹脂がオーブン中の熱によって被膜が破
れ、反応を開始してしまい製品化できなくなってしまう
という問題があった。
【0010】これらの解決方法として、エクストルージ
ョンコータ等の複数のノズルによって剥離フィルム上に
異方導電性接着剤と絶縁性接着剤を同時に塗工すること
も考えられるが、接着剤層の厚みが非常に薄い場合には
有効であるが、25μm以上の多層異方性導電接着剤で
は接着剤中の溶剤の揮散が完全に行われず残留溶剤が多
くなってしまったり、接着剤層に気泡が発生して製品と
しての機能を低下させてしまうという新たな問題も発生
してしまう。
【0011】本発明はこれらの問題を解決するもので、
従来の多層異方導電性接着剤よりさらに品質および信頼
性を向上した多層異方導電性接着剤およびその製造方法
を提供することを課題とするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、異方導電
性接着剤中に潜在性硬化剤を混入させないで絶縁性接着
剤中にのみ含ませたことと異方導電性接着剤の150℃
における溶融粘度を絶縁性接着剤層の150℃における
溶融粘度よりも高くすると共に各々の150℃における
溶融粘度の数値を規定したこと、異方導電性接着剤中に
最外層が接着剤に不溶な絶縁性樹脂で被覆した導電粒子
を含有させることによって、さらにファインピッチの回
路に対応できること、またこれらの製造方法として、異
方導電性接着剤中に潜在性硬化剤を混入させないで、絶
縁性接着剤中にのみ含ませたことによって、製造工程に
おいて異方導電性接着剤層が熱オーブン中を複数回通過
させることが可能で、絶縁性接着剤中の潜在性硬化剤を
熱により硬化剤を覆っている被膜を溶解させて反応を開
始してしまうことのないような製造方法を見出し、本発
明を完成させるに至った。
【0013】すなわち本発明は、請求項1に記載する発
明は、絶縁性樹脂中に導電粒子を分散してなる異方導電
性接着剤層の少なくとも片面に絶縁性接着剤層が積層さ
れてなる多層異方導電性接着剤において、前記異方導電
性接着剤層の必須成分がフィルム形成性樹脂と導電粒子
とからなり且つ前記異方導電性接着剤層の150℃にお
ける溶融粘度が100poise以上であって、前記絶
縁性接着剤層の必須成分が官能基を有する樹脂と潜在性
硬化剤とからなり且つ前記絶縁性接着剤層の150℃に
おける溶融粘度が100poise未満であることを特
徴とする多層異方導電性接着剤である。
【0014】また請求項2に記載の発明のように、この
多層異方導電性接着剤は、異方導電性接着剤の150℃
における溶融粘度が100poise以上300poi
se以下であって、絶縁性接着剤層の150℃における
溶融粘度が30poise以上100poise未満で
あることを特徴とする多層異方導電性接着剤であること
が好ましい。
【0015】また請求項3に記載する発明である多層異
方導電性接着剤は、異方導電性接着剤中の導電粒子が、
最外層が接着剤に不溶な絶縁性樹脂で被覆してなる導電
粒子であって、該導電粒子の粒径が2〜7μmであり、
前記異方導電性接着剤中に5〜60体積%含有してなる
ことを特徴とする多層異方導電性接着剤である。
【0016】また請求項4に記載する発明である多層異
方導電性接着剤は、ICチップの電極と回路基板の電極
との接続を多層異方導電性接着剤を用いて行う接続構造
体において、絶縁性接着剤層の厚みが前記ICチップの
電極および前記回路基板の0.7〜1.5倍の厚みであ
り、異方導電性接着剤層の厚みが該異方導電性接着剤中
に分散してなる導電粒子の粒径の0.5〜3倍の厚みで
あり、前記多層異方導電性接着剤の厚みが前記IC電極
厚みと前記回路基板との厚みの0.8〜2倍の厚みであ
ることを特徴とする多層異方導電性接着剤である。
【0017】また請求項5に記載する発明である多層異
方導電性接着剤の製造方法は、第1の剥離フィルム5上
に、必須成分がフィルム形成性樹脂と導電粒子とを含有
する異方性導電接着剤を塗布・乾燥して異方導電性接着
剤層2を形成する工程と、前記異方導電性接着剤層2上
に、必須成分が官能基を有する樹脂と潜在性硬化剤とか
らなる絶縁性接着剤を塗布・乾燥して第1の絶縁性接着
剤層3を形成する工程と、からなる多層異方導電性接着
剤の製造方法である。
【0018】また請求項6に記載する発明である多層異
方導電性接着剤の製造方法は、第1の剥離フィルム5上
に、異方導電性接着剤の必須成分がフィルム形成性樹脂
と最外層が前記異方導電性接着剤に不溶な絶縁性樹脂で
被覆してなる導電粒子とを含有する異方性導電接着剤を
塗布・乾燥して異方導電性接着剤層2を形成する工程
と、前記異方導電性接着剤層2上に、必須成分が官能基
を有する樹脂と潜在性硬化剤とからなる絶縁性接着剤を
塗布・乾燥して第1の絶縁性接着剤層3を形成する工程
と、前記第1の絶縁性接着剤層3上に前記第1の剥離フ
ィルム5より剥離力の大きい第2の剥離フィルム6をラ
ミネートする工程と、前記第1の剥離フィルム5を引き
剥がす工程と、前記第1の剥離フィルム5を引き剥がし
露出した前記異方導電性接着剤層2の他面上に前記絶縁
性接着剤と同一の必須成分を有する絶縁性接着剤を塗布
・乾燥して第2の絶縁性接着剤層4を形成する工程と、
からなる多層異方導電性接着剤の製造方法である。
【0019】更に請求項7に記載する多層異方導電性接
着剤の製造方法は、第1の剥離フィルム5上に、異方導
電性接着剤の必須成分がフィルム形成性樹脂と最外層が
前記異方導電性接着剤に不溶な絶縁性樹脂で被覆してな
る導電粒子とを含有する異方性導電接着剤を塗布・乾燥
して異方導電性接着剤層2を形成する工程と、前記異方
導電性接着剤層2上に、必須成分が官能基を有する樹脂
と潜在性硬化剤とからなる絶縁性接着剤を塗布・乾燥し
て第1の絶縁性接着剤層3を形成する工程と、前記第1
の絶縁性接着剤層3上に前記第1の剥離フィルム5より
剥離力の大きい第2の剥離フィルム6をラミネートする
工程と、前記第1の剥離フィルム5を引き剥がす工程
と、前記第1の剥離フィルム5を引き剥がし露出した前
記異方導電性接着剤層2上に、あらかじめ前記絶縁性接
着剤層3と同一の必須成分を有する絶縁性接着剤を塗布
・乾燥して得た第2の絶縁性接着剤層4をラミネートに
て積層する工程と、からなることを特徴とする多層異方
導電性接着剤の製造方法でもよい。
【0020】そして請求項8に記載する発明は、請求項
6〜8のいずれかの製造方法により得た多層異方導電性
接着剤により、ICチップの電極と回路基板の電極との
接続を行うことを特徴とする接続構造体である。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照しなが
ら詳細に説明する。図1は本発明の多層異方導電性接着
剤の1例を示す断面図である。図2は本発明の他の例を
示す断面図である。図3は本発明の多層異方導電性接着
剤を製造する工程の1例を示す図である。図4はICチ
ップと回路基板の接続構造を多層異方導電性接着剤で行
なう接続構造を示す断面図である。
【0022】本発明の多層異方導電性接着剤に用いる剥
離フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム、ポリエチレンナフタレートフィルム等のポリエス
テルフイルムの表面にシリコーン処理を施したもの、ポ
リエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィンフィル
ム、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素系フィルム
等を用いることができる。この中でもポリエチレンテレ
フタレートフィルム(PET)の表面にシリコーン処理
した剥離フィルムが特性、取り扱い、コストの面から、
好ましく使用できる。
【0023】異方導電性接着剤の樹脂成分としては、熱
や電子線により硬化性を呈する樹脂を幅広く適用するこ
とができ、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等が好ましく
使用できる。フィルム形成性樹脂としては、フェノキシ
樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、SEBS
(スチレン−エチレン−ブチレン−スチレンのブロック
コポリマ)、SIS(スチレン−イソプレン−スチレン
のブロックコポリマ)、NBR(アクリロニトリルブタ
ジエンラバー)等が使用できる。熱や電子線により硬化
性を呈する樹脂とフィルム形成性樹脂との1種以上を用
いたものが好ましく使用できる。熱硬化性樹脂の中では
接着性、耐熱性、耐湿性に優れるエポキシ樹脂が特に好
ましく使用できる。また異方導電性接着剤としては、フ
ィルム形成性樹脂のみでも良く、この場合はICチップ
と回路基板との接続においてICチップに不良が生じた
場合等に、異方導電性接着剤としてフィルム形成性樹脂
のみであると、リペア性に富み、ICチップの交換等が
容易にできる。
【0024】絶縁性接着剤の樹脂成分としては、熱や電
子線により硬化性を呈する樹脂を幅広く適用することが
でき、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等が好ましく使用
できる。フィルム形成性樹脂としてはフェノキシ樹脂、
ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、SEBS(スチ
レン−エチレン−ブチレン−スチレンのブロックコポリ
マ)、SIS(スチレン−イソプレン−スチレンのブロ
ックコポリマ)、NBR(アクリロニトリル/ブタジエ
ンラバー)等の樹脂が好ましく使用できる。これらの熱
硬化性樹脂とフィルム形成性樹脂との1種以上を用いた
ものが好ましく使用できる。熱硬化性樹脂の中では接着
性、耐熱性、耐湿性に優れるエポキシ樹脂が特に好まし
く使用できる。ここでエポキシ樹脂としては常温で固体
のエポキシ樹脂や必要に応じて常温で液状のエポキシ樹
脂を併用することもできる。そして絶縁性接着剤の溶融
粘度を調整するためにこれらの常温で固体のエポキシ樹
脂や常温で液状のエポキシ樹脂を所望する粘度にあわせ
て適宜配合量を決定すれば良い。その他に必要に応じて
フィラおよびシランカップリング剤等も適宜併用するこ
とができる。
【0025】異方導電接着剤および絶縁性接着剤層の溶
融粘度は、異方導電性接着剤の溶融粘度が絶縁性接着剤
層の溶融粘度よりも高いほうが好ましく、150℃にお
ける溶融粘度として、異方導電性接着剤の溶融粘度が1
00〜400poiseが好ましく、100〜300p
oiseであることがさらに好ましい。絶縁性接着剤層
の150℃における溶融粘度は10poise〜100
poiseであることが好ましく、30poise〜1
00poiseであることがさらに好ましい。
【0026】絶縁性接着剤層は異方導電接着剤層の1面
のみではなく、両面に設けても良い。また絶縁性接着剤
層の溶融粘度も両面で違えても良い。さらにICチップ
等を接続する際の熱源側の絶縁性接着剤層層の溶融粘度
を高くする工夫があってもよい。溶融粘度を調整するた
めには固形エポキシ樹脂と液状エポキシ樹脂の量を所望
する溶融粘度に合わせて適宜決定すれば良い。しかしな
がら異方導電性接着剤層中の導電粒子が電極から流出す
るのを防ぐために、何れの絶縁性接着剤層の溶融粘度も
異方導電性接着剤層の溶融粘度よりも高いことが好まし
く、上記した溶融粘度の範囲に入ることが好ましい。
【0027】溶融粘度の測定方法としては、フローテス
タ(CFT−500(株)島津製作所製)を用いて、異
方性導電接着剤、および硬化剤を除いた絶縁性接着剤を
各々容器中に入れ150℃における溶融粘度を測定す
る。
【0028】異方導電性接着剤中の導電材としては、ニ
ッケル、金、銀、銅、半田等の単一の金属や合金の他
に、ニッケル導電粒子の表面に金メッキしたもの、また
はこれらの2種以上の金属粒子や、ガラスビーズ、セラ
ミックスや、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、シリコ
ーン樹脂等の合成樹脂や、アクリルゴム、クロロプレン
ゴム等のゴムなどの絶縁性粒子にニッケル/金メッキ等
の導電材を被覆した導電材被覆粒子や、さらに導電材被
覆粒子及び金属粒子の表面に絶縁性樹脂を被覆した絶縁
材被覆導電粒子等を用いることができる。この中でもI
Cと基板等の接続に用いるファインピッチ対応として
は、絶縁材被覆導電粒子が好ましく用いることができ
る。導電粒子の粒径としては、ファインピッチに対応す
るために粒径の小さいほうが好ましいが、10μm 以
下、2〜7μm がさらに好ましい。
【0029】これらの他に上下の相対峙する電極間の厚
みを一定にするためと、左右の隣接する電極間の絶縁性
を高めるために、ガラスビーズ、セラミックス等の無機
物質、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹
脂等の有機合成樹脂、アクリルゴム、クロロプレンゴム
等のゴムなどの絶縁性粒子を混入させても良い。
【0030】絶縁性接着剤の硬化剤として、エポキシ樹
脂に対してはアミン系、イミダゾール系等が好ましく用
いることができる。この中でもイミダゾール系の硬化剤
がさらに好ましく使用できる。イミダゾールをポリウレ
タン樹脂で被覆して常温では不活性で加熱によって活性
化するマイクロカプセル化した潜在性硬化剤のものが使
用できる。これらのものとしてはノバキュアシリーズ
(旭化成工業社製、商品名)等が好ましく使用できる。
【0031】異方導電性接着剤層の厚みとしては、5〜
25μmの範囲が好ましく使用できる。5μm以下であ
ると多層異方導電性接着剤にした場合の異方導電性接着
剤の比率が低く、異方導電性接着剤の機能が充分に果た
せない。25μmを超えると例えば異方導電性接着剤の
主成分がフィルム形成性樹脂のみの場合においては、熱
硬化性異方導電性接着剤としての機能が果たせない。
【0032】絶縁性接着剤層の厚みとしては、異方導電
性接着剤層の厚みに影響されるが1層の厚みとして10
〜50μmの範囲が好ましく使用できる。多層異方導電
性接着剤の厚みとしては、厳密には適用するICおよび
回路基板の電極の高さ(厚み)によって決められるが、
50〜90μmの範囲が好ましく使用できる。
【0033】次に製造装置としては、一般的なグラビア
コータ、オフセットグラビアコータ、ロールコータ、リ
バースロールコータ、キスコータ等のコータヘッドを用
いて、熱オーブンまたは電子線または紫外線等の乾燥・
架橋装置等を単独または併用して使用することができ
る。
【0034】
【作用】本発明は、絶縁性樹脂中に導電粒子を分散して
なる異方導電性接着剤層の少なくとも片面に絶縁性接着
剤層が積層されてなる多層異方導電接着剤において、前
記異方導電性接着剤層の必須成分がフィルム形成性樹脂
と導電粒子とからなり、前記絶縁性接着剤層の必須成分
が官能基を有する樹脂と潜在性硬化剤とからなることに
よって、多層異方導電接着剤としてみた場合には、熱硬
化性接着剤としての機能を有するが、異方導電性接着剤
層がフィルム形成性樹脂と導電粒子のみの場合には熱可
塑性の機能を有することからリペア性に富み、ICチッ
プの交換等も容易にできる。また製造工程においても異
方導電性接着剤層に硬化剤が含まれていないことから、
異方導電性接着剤層を複数回熱オーブン中を通過させて
も硬化することがなく、異方導電性接着剤としての機能
を果たす。
【0035】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0036】実施例1 (1)異方導電性接着剤の作成 フェノキシ樹脂(YP50 東都化成社製)と、固形エ
ポキシ樹脂(EP1009 油化シェル社製)と、ノボ
ラック型液状エポキシ樹脂(RE305S 日本化薬社
製)との重量比率を40/30/30として、メチルエ
チルケトン(MEK)/トルエンの重量比率を50/5
0にした混合溶剤で溶解し、40%溶液を得た。この溶
液に粒径4.6μmのベンゾグアナミン樹脂にニッケル
/金のメッキをそれぞれ0.2μm/0.02μmの厚
みで施して導電粒子を形成し、さらにこの導電粒子の表
面にアクリル/スチレンの共重合体樹脂を0.2〜0.
5μmの厚みで被覆した絶縁材被覆導電粒子を27体積
%混合分散した。この異方導電性接着剤の溶剤を揮散さ
せて、150℃における溶融粘度をフローテスタで測定
したところ、200poiseであった。
【0037】(2)絶縁性接着剤の作成 固形エポキシ樹脂(EP1009 油化シェル社製)
と、ノボラック型液状エポキシ樹脂(RE305S 日
本化薬社製)と、イミダゾール変性物をポリウレタン樹
脂で被覆したマイクロカプセル型潜在性硬化剤を含有す
る液状エポキシ樹脂中に分散させたHX3941HP
(旭化成工業社製)との比率を40/30/30とし
て、トルエン/酢酸エチルの比率を50/50にした混
合溶剤で溶解し、60%溶液を得た。この絶縁性接着剤
の溶剤を揮散させて、150℃における溶融粘度(測定
は硬化剤を抜いた状態で行った。)をフローテスタで測
定したところ、60poiseであった。
【0038】(3)多層異方導電性接着剤の作成 (1)で作成した異方導電性接着剤溶液を、シリコーン
処理したPETフィルムの剥離フィルム(以下単に剥離
フィルムという)上にロールコータで塗布後、80℃で
5分間乾燥し、10μm厚の異方導電性接着剤層を作成
した。次に(2)で作成した絶縁性接着剤溶液を、異方
導電性接着剤層上にロールコータで塗布後、80℃で5
分間乾燥し、上記で用いた剥離フィルムよりも剥離力の
大きい剥離フィルムをラミネートし、20μm厚の絶縁
性接着剤層を得た。さらに、(2)で作成した絶縁性接
着剤溶液を、異方導電性接着剤層面の剥離フィルムを除
去した面にロールコータで塗布後、80℃で5分間乾燥
し、40μm厚の絶縁性接着剤層を形成した。
【0039】(4)評価 (a)多層異方導電性接着剤中の気泡 多層異方導電性接着剤を光学顕微鏡を用いて170倍の
倍率で、10の任意の箇所を選定し評価した。30μm
以上の気泡がないものについては○、30μm以上の気
泡があるものについては×とした。 (b)多層異方導電性接着剤の外観 多層異方導電性接着剤を目視で観察し評価した。スジが
認められないものを○、スジが認められるものを×とし
た。 (c)多層異方導電性接着剤のライフ 多層異方導電性接着剤を60℃のオーブン中で24時間
エージングして、使用に供せられるか否かを判断した。
示差熱測定器(セイコー電子工業社製)を用いて、15
mgのサンプルを10℃/分の昇温スピードで昇温し
て、ピークが180mJ以上のものを○、ピークが18
0mJ未満のものを×とした。 (d)ICチップの1電極当たりの導電粒子数 評価に先立って、接続用のICチップと回路基板を用意
した。サンプルに供したICの仕様は、10mm□で
0.4mm厚み、IC電極(バンプ)は110μm□で
金メッキし、高さ45μm。バンプのピッチは150μ
mで160ピンのICチップを用意した。回路基板は、
0.6mm厚みのガラス/エポキシ基板に18μmの銅
箔を貼り合わせた。ICチップとの接続端子はニッケル
/金メッキを施したものを用意した。このICチップと
回路基板との間に多層異方導電性接着剤を載置し、温度
180℃、1バンプあたりの圧力を400kgf/cm
2 で20秒圧着した。このICチップと回路基板とを多
層異方導電性接着剤で接続した電子部品の、ICチップ
を剥がして200箇所のバンプを倍率340倍の光学顕
微鏡を用いてICチップの1バンプに残存する導電粒子
数を数えた。200箇所のバンプ中最小の個数で5個以
上残存するものをOKとした。 (e)導通信頼性 前記ICチップの1バンプあたりの導電粒子数の評価に
用いたサンプルと同一のサンプルを用いた。この評価用
サンプルを、プレッシャークッカーテスタ(EHS−4
11 タバイエスペック社製)を用いて、24時間エー
ジングした。エージングを終了したサンプルを用いて、
上下の相対峙する電極間の導通抵抗を測定した。導通抵
抗が0.1Ω以下のものを○、0.1Ωを超えるものを
×とした。 (f)絶縁信頼性 前記導通信頼性で評価した条件と同一のサンプルを用い
て、左右の隣接する電極間の絶縁抵抗を測定した。絶縁
抵抗が1×108 Ω以上のものを○、絶縁抵抗が1×1
8 Ω未満のものを×とした。実施例の結果を表1に示
す。
【0040】実施例2 異方導電性接着剤の樹脂の組成をフェノキシ樹脂(YP
50 東都化成社製)のみとし、MEKの溶剤に溶解し
40%溶液とした以外は実施例1と同様とした。実施例
2で用いた異方導電性接着剤の150℃における溶融粘
度は270poiseであった。
【0041】実施例3 異方導電性接着剤の樹脂の組成を、ポリエステル樹脂
(UE3220 ユニチカ社製)とエポキシ樹脂(EP
828 油化シェル社製)の重量比率を1/1として、
トルエン/MEKの重量比率が1/1の溶剤に溶解した
以外は実施例1と同様とした。実施例3で用いた異方導
電性接着剤の150℃における溶融粘度は120poi
seであった。
【0042】実施例4 異方導電性接着剤中の導電粒子の配合比率を54体積%
とした以外は実施例1と同様とした。
【0043】実施例5 実施例1で用いた異方導電性接着剤溶液を、剥離フィル
ム上にロールコータで塗布後、80℃で5分間乾燥し、
10μm厚の異方導電性接着剤層を作成した。次に実施
例1で用いた絶縁性接着剤溶液を、異方導電性接着剤層
上にロールコータで塗布後、80℃で5分間乾燥し、剥
離フィルムをラミネートし、20μm厚の絶縁性接着剤
層を得た。さらに、前記絶縁性接着剤と同一の溶液を、
剥離フィルム上に塗布し巻き取っておいた絶縁性接着剤
フィルムを異方導電性接着剤層面の剥離フィルムを除去
した面に,上下60℃のロール間を、線圧2kgf/c
mの条件でラミネートし作成した。
【0044】実施例6 異方導電性接着剤中の導電粒子の配合量を5体積%にし
た以外は実施例1と同様にした。
【0045】実施例7 異方導電性接着剤中の導電粒子の配合量を60体積%に
した以外は実施例1と同様にした。
【0046】実施例8 異方導電性接着剤の厚みを25μm、最後に塗布する絶
縁性接着剤の厚みを20μmとした以外は実施例2と同
様とした。
【0047】比較例1 異方導電性接着剤中の樹脂の組成を、フェノキシ樹脂
(YP50 東都化成社製)と、エポキシ樹脂(EP8
28 油化シェル社製)と、潜在性硬化剤を含有する液
状エポキシ樹脂(HX3941HP 旭化成工業社製)
との重量比率を50/50/50として、トルエン/酢
酸エチルの重量比率が1/1の溶剤に溶解した以外は実
施例1と同様とした。比較例1で用いた異方導電性接着
剤の150℃における溶融粘度は60poiseであっ
た。この異方導電性接着剤中には潜在性硬化剤が含まれ
ているので多層異方導電性接着剤を製造する過程で硬化
を開始してしまい、満足する特性が得られなかった。
【0048】比較例2 比較例1で用いた多層異方導電性接着剤を、実施例2で
用いたラミネートによる製造方法で製造した。この異方
導電性接着剤中の150℃における溶融粘度が60po
iseであったので、ICチップと回路基板とを加熱圧
着した際に、異方導電性接着剤中の導電粒子粒子がIC
チップの電極上から流出してしまい、ラミネートによる
製造方法をもってしても満足する特性が得られなかっ
た。
【0049】比較例3 異方導電性接着剤中の樹脂の組成を、フェノキシ樹脂
(YP50 東都化成社製)と、エポキシ樹脂(EP8
28 油化シェル社製)との重量比率を50/50/5
0として、トルエン/酢酸エチルの重量比率が1/1の
混合溶剤に溶解した以外は実施例1と同様とした。この
異方導電性接着剤の150℃における溶融粘度は90p
oiseであったので、ICチップのバンプ上から異方
導電性接着剤中の導電粒子が流出してしまい、導通信頼
性に欠ける結果となった。
【0050】表1
【0051】
【発明の効果】以上、詳細に述べたように本発明によれ
ば、異方導電性接着剤中に潜在性硬化剤を混入させない
で絶縁性接着剤中にのみ含ませたことによって、多層異
方導電性接着剤の製造工程において異方導電性接着剤層
が熱オーブン中を複数回通過させることが可能となる多
層異方導電性接着剤が提供できる。また異方導電性接着
剤の150℃における溶融粘度を絶縁性接着剤層の15
0℃における溶融粘度よりも高くすると共に各々の15
0℃における溶融粘度の数値を規定したことによって、
ICチップと回路基板との接続がエージング後において
も接続信頼性が良好となる多層異方導電性接着剤が提供
できる。さらに異方導電性接着剤中に最外層が接着剤に
不溶な絶縁性樹脂で被覆した導電粒子を含有させること
によって、通常の導電粒子の配合量よりも多数量配合す
ることができ、ファインピッチの回路に対応できること
が可能となる多層異方導電性接着剤が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の多層異方導電性接着剤の1例を示す断
面図。
【図2】本発明の他の例を示す断面図。
【図3】本発明の多層異方導電性接着剤を製造する工程
の1例を示す図。
【図4】ICチップと回路基板の接続構造を多層異方導
電性接着剤で行なう接続構造を示す断面図。
【符号の説明】
1 多層異方導電性接着剤 2 異方導電性接着剤層 3 第1の絶縁性接着剤層 4 第2の絶縁性接着剤層 5 第1の剥離フィルム 6 第2の剥離フィルム 7 ICチップ 8 ICチップの電極 9 回路基板 10 回路基板電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // C09J 163/00 C09J 163/00 (72)発明者 篠崎 潤二 栃木県鹿沼市さつき町12−3 ソニーケミ カル株式会社内 (72)発明者 武市 元秀 栃木県鹿沼市さつき町12−3 ソニーケミ カル株式会社内 Fターム(参考) 4J004 AA01 AA05 AA11 AA12 AA13 AA14 AA15 AA18 AA19 AB05 AB06 BA03 DA02 DA03 DB02 EA05 FA05 GA01 4J040 CA071 DF081 DM011 EB031 EC001 ED001 EF001 HA066 KA02 KA03 KA32 LA01 LA08 MA10 MB03 NA19 4M105 BB09 DD05 DD19 5G301 DA03 DA05 DA06 DA10 DA29 DA42 DA53 DA55 DA57 DA59 DD03 DD10 DE10

Claims (8)

    【整理番号】SCP970008 【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁性樹脂中に導電粒子を分散してなる
    異方導電性接着剤層の少なくとも片面に絶縁性接着剤層
    が積層されてなる多層異方導電接着剤において、 前記異方導電性接着剤層の必須成分がフィルム形成性樹
    脂と導電粒子とからなり且つ前記異方導電性接着剤層の
    150℃における溶融粘度が100poise以上であ
    って、前記絶縁性接着剤層の必須成分が官能基を有する
    樹脂と潜在性硬化剤とからなり且つ前記絶縁性接着剤層
    の150℃における溶融粘度が100poise未満で
    あることを特徴とする多層異方導電性接着剤。
  2. 【請求項2】 異方導電性接着剤層の150℃における
    溶融粘度が100poise以上300poise以下
    であって、絶縁性接着剤層の150℃における溶融粘度
    が30poise以上100poise未満であること
    を特徴とする請求項1に記載する多層異方導電性接着
    剤。
  3. 【請求項3】 異方導電性接着剤層中の導電粒子が、該
    導電粒子の最外層を前記異方導電性接着剤に不溶な絶縁
    性樹脂で被覆してなる導電粒子であって、該導電粒子の
    粒径が2〜7μmであり、前記異方導電性接着剤層中に
    5〜60体積%含有してなることを特徴とする請求項1
    または2に記載する多層異方導電性接着剤。
  4. 【請求項4】 ICチップの電極と回路基板の電極との
    接続を請求項1〜3のいずれかに記載する多層異方導電
    性接着剤を用いて行う接続構造体において、絶縁性接着
    剤層の厚みが前記ICチップの電極および前記回路基板
    の電極の厚みの0.7〜1.5倍の厚みであり、異方導
    電性接着剤層の厚みが該異方導電性接着剤中に分散して
    なる導電粒子の粒径の0.5〜3倍の厚みであり、前記
    多層異方導電性接着剤の厚みが前記ICチップの電極厚
    みと前記回路基板の電極との厚みの0.8〜2倍である
    ことを特徴とする多層異方導電性接着剤。
  5. 【請求項5】 第1の剥離フィルム5上に、異方導電性
    接着剤の必須成分がフィルム形成性樹脂と導電粒子とを
    含有する異方性導電接着剤を塗布・乾燥して異方導電性
    接着剤層2を形成する工程と、 前記異方導電性接着剤層2上に、必須成分が官能基を有
    する樹脂と潜在性硬化剤とからなる絶縁性接着剤を塗布
    ・乾燥して第1の絶縁性接着剤層3を形成する工程と、
    からなることを特徴とする多層異方導電性接着剤の製造
    方法。
  6. 【請求項6】 第1の剥離フィルム5上に、異方導電性
    接着剤の必須成分がフィルム形成性樹脂と最外層が前記
    異方導電性接着剤に不溶な絶縁性樹脂で被覆してなる導
    電粒子とを含有する異方性導電接着剤を塗布・乾燥して
    異方導電性接着剤層2を形成する工程と、 前記異方導電性接着剤層2上に、必須成分が官能基を有
    する樹脂と潜在性硬化剤とからなる絶縁性接着剤を塗布
    ・乾燥して第1の絶縁性接着剤層3を形成する工程と、
    前記第1の絶縁性接着剤層3上に前記第1の剥離フィル
    ム5より剥離力の大きい第2の剥離フィルム6をラミネ
    ートする工程と、 前記第1の剥離フィルム5を引き剥がす工程と、 前記第1の剥離フィルム5を引き剥がし露出した前記異
    方導電性接着剤層2上に前記絶縁性接着剤層3と同一の
    必須成分を有する絶縁性接着剤を塗布・乾燥して第2の
    絶縁性接着剤層4を形成する工程と、 からなることを特徴とする多層異方導電性接着剤の製造
    方法。
  7. 【請求項7】 第1の剥離フィルム5上に、異方導電性
    接着剤の必須成分がフィルム形成性樹脂と最外層が接着
    剤に不溶な絶縁性樹脂で被覆してなる導電粒子とを含有
    する異方性導電接着剤を塗布・乾燥して異方導電性接着
    剤層2を形成する工程と、 前記異方導電性接着剤層2上に、必須成分が官能基を有
    する樹脂と潜在性硬化剤とからなる絶縁性接着剤を塗布
    ・乾燥して第1の絶縁性接着剤層3を形成する工程と、
    前記第1の絶縁性接着剤層3上に前記第1の剥離フィル
    ム5より剥離力の大きい第2の剥離フィルム6をラミネ
    ートする工程と、 前記第1の剥離フィルム5を引き剥がす工程と、 前記第1の剥離フィルム5を引き剥がし露出した前記異
    方導電性接着剤層2上に、あらかじめ前記絶縁性接着剤
    層3と同一の必須成分を有する絶縁性接着剤を塗布・乾
    燥して得た第2の絶縁性接着剤層4をラミネートにて積
    層する工程と、 からなることを特徴とする多層異方導電性接着剤の製造
    方法。
  8. 【請求項8】 請求項5〜7のいずれかの製造方法によ
    り得た多層異方導電性接着剤により、ICチップの電極
    と回路基板の電極との接続を行うことを特徴とする接続
    構造体。
JP19839897A 1997-07-24 1997-07-24 多層異方導電性接着剤およびその製造方法 Expired - Lifetime JP3678547B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19839897A JP3678547B2 (ja) 1997-07-24 1997-07-24 多層異方導電性接着剤およびその製造方法
EP98113833A EP0893484B1 (en) 1997-07-24 1998-07-23 Multilayer anisotropic electroconductive adhesive and method for manufacturing same
US09/121,055 US6020059A (en) 1997-07-24 1998-07-23 Multilayer anisotropic electroconductive adhesive and method for manufacturing same
DE69813103T DE69813103T2 (de) 1997-07-24 1998-07-23 Mehrschichtiger, anisotroper und elektrisch leitender Klebstoff und Verfahren zu dessen Herstellung
KR1019980029787A KR100912357B1 (ko) 1997-07-24 1998-07-24 다층이방도전성접착제,이의제조방법및이를사용한접속구조체

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19839897A JP3678547B2 (ja) 1997-07-24 1997-07-24 多層異方導電性接着剤およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000178511A true JP2000178511A (ja) 2000-06-27
JP3678547B2 JP3678547B2 (ja) 2005-08-03

Family

ID=16390477

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19839897A Expired - Lifetime JP3678547B2 (ja) 1997-07-24 1997-07-24 多層異方導電性接着剤およびその製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6020059A (ja)
EP (1) EP0893484B1 (ja)
JP (1) JP3678547B2 (ja)
KR (1) KR100912357B1 (ja)
DE (1) DE69813103T2 (ja)

Cited By (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002201438A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Hitachi Chem Co Ltd 接着剤組成物、それを用いた回路端子の接続方法及び回路端子の接続構造
JP2002201456A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Hitachi Chem Co Ltd 接着剤組成物、それを用いた回路端子の接続方法及び回路端子の接続構造
JP2002201450A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Hitachi Chem Co Ltd 接着剤組成物、それを用いた回路端子の接続方法及び回路端子の接続構造
WO2005068573A1 (ja) * 2004-01-15 2005-07-28 Sony Chemicals Corp. 接着フィルム、接着フィルムの製造方法
JP2005329656A (ja) * 2004-05-21 2005-12-02 Sony Chem Corp 接着フィルム、接着剤付き基板の製造方法、及び接着フィルムの製造方法
KR100777255B1 (ko) 2006-04-18 2007-11-20 중앙대학교 산학협력단 이방성 도전 필름 및 이를 이용한 전자부품의 실장방법
KR100791172B1 (ko) 2006-01-03 2008-01-02 엘에스전선 주식회사 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이 방법으로 제조된이방성 도전 필름
JP2008034232A (ja) * 2006-07-28 2008-02-14 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 異方導電性フィルム
JP2008227455A (ja) * 2007-03-13 2008-09-25 Toray Saehan Inc 半導体チップ積層用接着フィルム
JP2010037389A (ja) * 2008-08-01 2010-02-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 接着剤およびこれを用いた電極接続方法
JP2011166093A (ja) * 2010-02-15 2011-08-25 Sumitomo Bakelite Co Ltd 導電接続シート、端子間の接続方法、接続端子の形成方法、半導体装置および電子機器
JP2011236427A (ja) * 2003-12-04 2011-11-24 Asahi Kasei E-Materials Corp 異方導電性接着シート及び接続構造体
KR101117768B1 (ko) * 2004-12-27 2012-03-20 회명산업 주식회사 이방성 도전필름
WO2012091237A1 (ko) * 2010-12-31 2012-07-05 제일모직 주식회사 이방 도전성 필름
US8241750B2 (en) 2008-04-29 2012-08-14 Guangdong Dongbond Technology Co., Ltd. Functional multilayer anisotropic conductive adhesive laminate
WO2014021457A1 (ja) * 2012-08-03 2014-02-06 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム及びその製造方法
WO2014046082A1 (ja) * 2012-09-18 2014-03-27 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム、異方性導電フィルムの製造方法、接続体の製造方法、及び接続方法
JP2014060151A (ja) * 2012-08-24 2014-04-03 Dexerials Corp 異方性導電フィルムの製造方法及び異方性導電フィルム
JP2014060150A (ja) * 2012-08-24 2014-04-03 Dexerials Corp 異方性導電フィルム及びその製造方法
JP2014141679A (ja) * 2006-11-10 2014-08-07 Hitachi Chemical Co Ltd 回路部材の接続方法及び回路部材の接続構造
KR20150005560A (ko) * 2012-03-30 2015-01-14 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 회로 접속 재료, 및 이것을 사용한 실장체의 제조 방법
KR20150037116A (ko) 2013-09-30 2015-04-08 제일모직주식회사 이방성 도전 필름 및 이를 이용한 반도체 장치
JP2015067627A (ja) * 2013-09-26 2015-04-13 デクセリアルズ株式会社 接続フィルム、接続構造体、接続構造体の製造方法、接続方法
WO2016052130A1 (ja) * 2014-09-30 2016-04-07 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム、及び接続方法
US9426896B2 (en) 2009-06-10 2016-08-23 Dexerials Corporation Insulating resin film, bonded structure using insulating resin film, and production method of bonded structure
JP2016536763A (ja) * 2013-09-10 2016-11-24 トリリオン サイエンス インコーポレイテッド 導電粒子及びブロックコポリマー塗料を用いた固定アレイ異方性導電フィルム
JP2016210997A (ja) * 2012-09-18 2016-12-15 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム、異方性導電フィルムの製造方法、接続体の製造方法、及び接続方法
JP2017203165A (ja) * 2017-07-12 2017-11-16 デクセリアルズ株式会社 接続フィルム、接続フィルムの製造方法、接続構造体、接続構造体の製造方法及び接続方法
JP2019087538A (ja) * 2019-01-11 2019-06-06 日立化成株式会社 異方導電性フィルムの製造方法及び接続構造体
US11685137B2 (en) 2015-10-07 2023-06-27 Dexerials Corporation Anisotropic conductive film and connection structure

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000113919A (ja) * 1998-08-03 2000-04-21 Sony Corp 電気的接続装置と電気的接続方法
US6361146B1 (en) * 1999-06-15 2002-03-26 Lexmark International, Inc. Adhesive bonding laminates
US6387485B1 (en) * 1999-08-12 2002-05-14 Flexcon Company, Inc. Composite substrate with adhesive and ferromagnetic properties
JP2001049228A (ja) 1999-08-12 2001-02-20 Sony Chem Corp 低温硬化型接着剤及びこれを用いた異方導電性接着フィルム
JP3371894B2 (ja) 1999-09-17 2003-01-27 ソニーケミカル株式会社 接続材料
JP3738655B2 (ja) 2000-03-31 2006-01-25 ソニーケミカル株式会社 異方性導電接着材料及び接続方法
TW554191B (en) * 2000-12-16 2003-09-21 Au Optronics Corp Laminating structure and its forming method
KR100398314B1 (ko) * 2001-07-19 2003-09-19 한국과학기술원 고접착력 3층 구조 aca 필름
KR100436577B1 (ko) * 2001-10-30 2004-06-18 엘지전선 주식회사 이방성 도전 접착 필름 제조방법
US6777071B2 (en) * 2002-04-25 2004-08-17 Micron Technology, Inc. Electrical interconnect using locally conductive adhesive
JP2004051755A (ja) 2002-07-18 2004-02-19 Ricoh Co Ltd 弾性導電樹脂及び弾性導電接合構造
US8518304B1 (en) 2003-03-31 2013-08-27 The Research Foundation Of State University Of New York Nano-structure enhancements for anisotropic conductive material and thermal interposers
US7078095B2 (en) * 2004-07-07 2006-07-18 Xerox Corporation Adhesive film exhibiting anisotropic electrical conductivity
FI20041525A (fi) * 2004-11-26 2006-03-17 Imbera Electronics Oy Elektroniikkamoduuli ja menetelmä sen valmistamiseksi
WO2006103949A1 (ja) * 2005-03-29 2006-10-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. フリップチップ実装方法および基板間接続方法
CN100406532C (zh) * 2005-12-10 2008-07-30 上海华仕德电路技术有限公司 用于柔性印制线路板的胶带的加工方法
US20070246158A1 (en) * 2006-04-21 2007-10-25 3M Innovative Properties Company Wiring board, production process thereof and connection method using same
JP2009135388A (ja) 2007-10-30 2009-06-18 Hitachi Chem Co Ltd 回路接続方法
KR101109694B1 (ko) * 2009-06-15 2012-01-31 주식회사 이그잭스 접착제
KR101711499B1 (ko) * 2010-10-20 2017-03-13 삼성전자주식회사 반도체 패키지 및 그 제조 방법
KR101351617B1 (ko) * 2010-12-23 2014-01-15 제일모직주식회사 이방 도전성 필름
US9475963B2 (en) 2011-09-15 2016-10-25 Trillion Science, Inc. Fixed array ACFs with multi-tier partially embedded particle morphology and their manufacturing processes
JP5684948B2 (ja) * 2012-05-14 2015-03-18 リンテック株式会社 接着性樹脂層付シートおよび半導体装置の製造方法
CN105027355B (zh) 2013-03-05 2018-02-09 阿莫先恩电子电器有限公司 磁场及电磁波屏蔽用复合板及具有其的天线模块
KR20140139902A (ko) * 2013-05-28 2014-12-08 삼성디스플레이 주식회사 이방성 도전 필름 적층체, 이를 포함하는 표시 장치 및 표시 장치 제조 방법
WO2015119136A1 (ja) * 2014-02-04 2015-08-13 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム及びその製造方法
WO2015119131A1 (ja) * 2014-02-04 2015-08-13 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム及びその製造方法
KR20160046977A (ko) * 2014-10-20 2016-05-02 삼성디스플레이 주식회사 이방성 도전입자
CN109637699B (zh) 2018-12-12 2020-05-12 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 异方性导电膜制造方法及其设备

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0113768A1 (en) * 1982-07-09 1984-07-25 Tvi Energy Corporation Electrically conductive laminate having improved resistance stability and its use in heating
US4731282A (en) * 1983-10-14 1988-03-15 Hitachi Chemical Co., Ltd. Anisotropic-electroconductive adhesive film
JPS61147593A (ja) * 1984-12-20 1986-07-05 神東塗料株式会社 導電性接着剤層を付与したフレキシブル回路基材およびその製造方法
JPS61195179A (ja) * 1985-02-25 1986-08-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 異方導電性接着シ−ト
JP2501100B2 (ja) * 1985-08-15 1996-05-29 ソニー株式会社 連結シ−ト
US4740657A (en) * 1986-02-14 1988-04-26 Hitachi, Chemical Company, Ltd Anisotropic-electroconductive adhesive composition, method for connecting circuits using the same, and connected circuit structure thus obtained
JPH01236588A (ja) * 1988-03-17 1989-09-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 異方導電性接着体
US5001542A (en) * 1988-12-05 1991-03-19 Hitachi Chemical Company Composition for circuit connection, method for connection using the same, and connected structure of semiconductor chips
JP2833111B2 (ja) * 1989-03-09 1998-12-09 日立化成工業株式会社 回路の接続方法及びそれに用いる接着剤フィルム
JPH07123179B2 (ja) * 1990-10-05 1995-12-25 信越ポリマー株式会社 異方導電接着剤による回路基板の接続構造
JP3475959B2 (ja) * 1992-05-26 2003-12-10 日立化成工業株式会社 接着剤組成物、該接着剤組成物を用いたフィルム状接着剤の製造方法、並びに該接着剤を用いた電極の接続体、及び接着剤付金属箔
JP2970720B2 (ja) * 1992-10-23 1999-11-02 富士通株式会社 マイクロカプセル型導電性接着剤及びその製造方法
JPH079821B2 (ja) * 1993-03-25 1995-02-01 日本黒鉛工業株式会社 三層構造異方性導電膜部材の製造方法
JPH07230840A (ja) * 1994-02-17 1995-08-29 Hitachi Chem Co Ltd 接続部材及びこれを用いた電極の接続構造
JPH08311420A (ja) * 1995-05-24 1996-11-26 Sony Corp 異方性導電膜

Cited By (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4696360B2 (ja) * 2000-12-28 2011-06-08 日立化成工業株式会社 接着剤組成物、それを用いた回路端子の接続方法及び回路端子の接続構造
JP2002201456A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Hitachi Chem Co Ltd 接着剤組成物、それを用いた回路端子の接続方法及び回路端子の接続構造
JP2002201450A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Hitachi Chem Co Ltd 接着剤組成物、それを用いた回路端子の接続方法及び回路端子の接続構造
JP2002201438A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Hitachi Chem Co Ltd 接着剤組成物、それを用いた回路端子の接続方法及び回路端子の接続構造
US8084083B2 (en) 2003-12-04 2011-12-27 Asahi Kasei Emd Corporation Method for manufacturing an anisotropic conductive adhesive sheet
JP2011236427A (ja) * 2003-12-04 2011-11-24 Asahi Kasei E-Materials Corp 異方導電性接着シート及び接続構造体
JP4822322B2 (ja) * 2003-12-04 2011-11-24 旭化成イーマテリアルズ株式会社 異方導電性接着シートの製造方法
JP2005200521A (ja) * 2004-01-15 2005-07-28 Sony Chem Corp 接着フィルム、接着フィルムの製造方法
WO2005068573A1 (ja) * 2004-01-15 2005-07-28 Sony Chemicals Corp. 接着フィルム、接着フィルムの製造方法
JP2005329656A (ja) * 2004-05-21 2005-12-02 Sony Chem Corp 接着フィルム、接着剤付き基板の製造方法、及び接着フィルムの製造方法
KR101117768B1 (ko) * 2004-12-27 2012-03-20 회명산업 주식회사 이방성 도전필름
KR100791172B1 (ko) 2006-01-03 2008-01-02 엘에스전선 주식회사 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이 방법으로 제조된이방성 도전 필름
KR100777255B1 (ko) 2006-04-18 2007-11-20 중앙대학교 산학협력단 이방성 도전 필름 및 이를 이용한 전자부품의 실장방법
JP2008034232A (ja) * 2006-07-28 2008-02-14 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 異方導電性フィルム
JP2014141679A (ja) * 2006-11-10 2014-08-07 Hitachi Chemical Co Ltd 回路部材の接続方法及び回路部材の接続構造
JP2017020047A (ja) * 2006-11-10 2017-01-26 日立化成株式会社 接着フィルム、回路部材の接続構造及び回路部材の接続方法
JP4590571B2 (ja) * 2007-03-13 2010-12-01 東レ先端素材株式会社 半導体チップ積層用接着フィルム
JP2008227455A (ja) * 2007-03-13 2008-09-25 Toray Saehan Inc 半導体チップ積層用接着フィルム
US8241750B2 (en) 2008-04-29 2012-08-14 Guangdong Dongbond Technology Co., Ltd. Functional multilayer anisotropic conductive adhesive laminate
US8420177B2 (en) 2008-04-29 2013-04-16 Ping Liu Method for preparing functional multilayer anisotropic conductive adhesive film
JP2010037389A (ja) * 2008-08-01 2010-02-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 接着剤およびこれを用いた電極接続方法
US9426896B2 (en) 2009-06-10 2016-08-23 Dexerials Corporation Insulating resin film, bonded structure using insulating resin film, and production method of bonded structure
JP2011166093A (ja) * 2010-02-15 2011-08-25 Sumitomo Bakelite Co Ltd 導電接続シート、端子間の接続方法、接続端子の形成方法、半導体装置および電子機器
WO2012091237A1 (ko) * 2010-12-31 2012-07-05 제일모직 주식회사 이방 도전성 필름
KR101332441B1 (ko) * 2010-12-31 2013-11-25 제일모직주식회사 이방 도전성 필름
TWI484504B (zh) * 2010-12-31 2015-05-11 Cheil Ind Inc 向異性導電膜、其製備方法、及壓製電路端子之方法
KR102113551B1 (ko) * 2012-03-30 2020-05-21 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 회로 접속 재료, 및 이것을 사용한 실장체의 제조 방법
KR20150005560A (ko) * 2012-03-30 2015-01-14 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 회로 접속 재료, 및 이것을 사용한 실장체의 제조 방법
JP2014043574A (ja) * 2012-08-03 2014-03-13 Dexerials Corp 異方性導電フィルム及びその製造方法
US9585247B2 (en) 2012-08-03 2017-02-28 Dexerials Corporation Anisotropic conductive film and method of producing the same
KR101741340B1 (ko) 2012-08-03 2017-05-29 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름 및 그 제조 방법
WO2014021457A1 (ja) * 2012-08-03 2014-02-06 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム及びその製造方法
US11787976B2 (en) 2012-08-24 2023-10-17 Dexerials Corporation Method of producing anisotropic conductive film and anisotropic conductive film
KR20150047475A (ko) * 2012-08-24 2015-05-04 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
KR102259384B1 (ko) * 2012-08-24 2021-06-02 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
KR20210011077A (ko) * 2012-08-24 2021-01-29 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
KR102208591B1 (ko) * 2012-08-24 2021-01-27 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
US11136476B2 (en) 2012-08-24 2021-10-05 Dexerials Corporation Method of producing anisotropic conductive film and anisotropic conductive film
US11404391B2 (en) 2012-08-24 2022-08-02 Dexerials Corporation Anisotropic conductive film and method of producing the same
KR20190104252A (ko) * 2012-08-24 2019-09-06 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
US11784154B2 (en) 2012-08-24 2023-10-10 Dexerials Corporation Anisotropic conductive film and method of producing the same
JP2014060150A (ja) * 2012-08-24 2014-04-03 Dexerials Corp 異方性導電フィルム及びその製造方法
KR20170029665A (ko) * 2012-08-24 2017-03-15 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
KR101716987B1 (ko) 2012-08-24 2017-03-15 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
JP2014060151A (ja) * 2012-08-24 2014-04-03 Dexerials Corp 異方性導電フィルムの製造方法及び異方性導電フィルム
KR102018558B1 (ko) * 2012-08-24 2019-09-05 데쿠세리아루즈 가부시키가이샤 이방성 도전 필름의 제조 방법 및 이방성 도전 필름
US10272598B2 (en) 2012-08-24 2019-04-30 Dexerials Corporation Method of producing anisotropic conductive film and anisotropic conductive film
TWI651192B (zh) * 2012-08-24 2019-02-21 日商迪睿合股份有限公司 異向性導電膜及其製造方法
US9960139B2 (en) 2012-09-18 2018-05-01 Dexerials Corporation Anisotropic conductive film, method for producing anisotropic conductive film, method for producing connection body, and connection method
CN104619799A (zh) * 2012-09-18 2015-05-13 迪睿合电子材料有限公司 各向异性导电膜、各向异性导电膜的制造方法、连接体的制造方法及连接方法
US10373926B2 (en) 2012-09-18 2019-08-06 Dexerials Corporation Anisotropic conductive film, method for producing anisotropic conductive film, method for producing connection body, and connection method
WO2014046082A1 (ja) * 2012-09-18 2014-03-27 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム、異方性導電フィルムの製造方法、接続体の製造方法、及び接続方法
JP2016210997A (ja) * 2012-09-18 2016-12-15 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム、異方性導電フィルムの製造方法、接続体の製造方法、及び接続方法
JP2014077124A (ja) * 2012-09-18 2014-05-01 Dexerials Corp 異方性導電フィルム、異方性導電フィルムの製造方法、接続体の製造方法、及び接続方法
JP2016536763A (ja) * 2013-09-10 2016-11-24 トリリオン サイエンス インコーポレイテッド 導電粒子及びブロックコポリマー塗料を用いた固定アレイ異方性導電フィルム
JP2015067627A (ja) * 2013-09-26 2015-04-13 デクセリアルズ株式会社 接続フィルム、接続構造体、接続構造体の製造方法、接続方法
KR20150037116A (ko) 2013-09-30 2015-04-08 제일모직주식회사 이방성 도전 필름 및 이를 이용한 반도체 장치
US9331044B2 (en) 2013-09-30 2016-05-03 Samsung Sdi Co., Ltd. Semiconductor device connected by anisotropic conductive film
WO2016052130A1 (ja) * 2014-09-30 2016-04-07 デクセリアルズ株式会社 異方性導電フィルム、及び接続方法
US11685137B2 (en) 2015-10-07 2023-06-27 Dexerials Corporation Anisotropic conductive film and connection structure
JP2017203165A (ja) * 2017-07-12 2017-11-16 デクセリアルズ株式会社 接続フィルム、接続フィルムの製造方法、接続構造体、接続構造体の製造方法及び接続方法
JP2019087538A (ja) * 2019-01-11 2019-06-06 日立化成株式会社 異方導電性フィルムの製造方法及び接続構造体

Also Published As

Publication number Publication date
JP3678547B2 (ja) 2005-08-03
EP0893484A2 (en) 1999-01-27
DE69813103D1 (de) 2003-05-15
US6020059A (en) 2000-02-01
KR19990014133A (ko) 1999-02-25
EP0893484A3 (en) 1999-07-21
KR100912357B1 (ko) 2009-11-18
DE69813103T2 (de) 2004-01-08
EP0893484B1 (en) 2003-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000178511A (ja) 多層異方導電性接着剤およびその製造方法
US6328844B1 (en) Filmy adhesive for connecting circuits and circuit board
KR101021437B1 (ko) 다층 이방성 전기전도성 접착제 및 이를 사용하는 접속구조체
US8597459B2 (en) Conductive paste and method for manufacturing multilayer printed wiring board using the same
US20010021547A1 (en) Bonding materials
JP2008305887A (ja) 接続方法
US6514433B1 (en) Connecting material
JP2009242508A (ja) 接着剤及び接合体
EP1657725B1 (en) Insulation-coated electroconductive particles
JP2012151105A (ja) 導電性粒子の製造方法、導電性粒子、異方性導電材料及び接続構造体
JP2004140366A (ja) 電極の接続方法
JP2006312743A (ja) 異方導電性接着剤フィルム
JPH10273635A (ja) 回路用接続部材及び回路板の製造法
JP2009024149A (ja) 接着剤及び接合体
KR20090073366A (ko) 이방성 도전접속용 절연 도전성 입자 및 이를 이용한이방성 도전접속재료
JP2680430B2 (ja) 異方性導電フィルム
JP2003253239A (ja) 回路の接続方法及びそれに用いる回路接続用接着剤
JP5275735B2 (ja) 導電性微粒子の製造方法、導電性微粒子、異方性導電材料、及び、導電接続構造体
JP2003197033A (ja) 異方導電性接着剤及び回路板
JP2000332391A (ja) Icチップの接続方法
JPH11273771A (ja) 接続部材
TW202102102A (zh) 電磁波屏蔽片及電磁波屏蔽性配線電路基板
JP2010238615A (ja) 導電性微粒子、異方性導電材料、及び、接続構造体
JP2003272445A (ja) 導電性粒子及びこの導電粒子を用いた接続部材
JP2004359961A (ja) 接続部材

Legal Events

Date Code Title Description
A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050510

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090520

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090520

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100520

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110520

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110520

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120520

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130520

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term