DE10392593T5

DE10392593T5 - Halbleitertestgerät

Info

Publication number: DE10392593T5
Application number: DE10392593T
Authority: DE
Inventors: Hideyuki Oshima; Yasutaka Tsuruki; Kihei Watanabe
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2002-04-26
Filing date: 2003-04-21
Publication date: 2005-05-19
Also published as: WO2003091742A1; US20050156622A1; KR20050007347A; JP4006260B2; JP2003315428A; US7187192B2

Abstract

1) Halbleitertestgerät, umfassend eine Taktrückgewinnungsschaltung, die folgendes aufweist:
einen Zeitinterpolator, der Ausgabedaten eingibt, die aus einer zu vermessenden LSI ausgegeben werden, welche ein Bauelementprüfling ist, und die die Ausgabedaten durch eine Vielzahl von Abtastimpulsen erfasst, die konstante Zeitablaufintervalle aufweisen, um Zeitserienpegeldaten auszugeben, und die Positionsdaten ausgibt, die einen Flankenzeitablauf der Pegeldaten angeben; und
einen Digitalfilter, der die Positionsdaten eingibt und festhält, die aus diesem Zeitinterpolator ausgegeben werden und der einen Rückgewinnungstakt ausgibt, der einen festgelegten Flankenzeitablauf ab einer oder mehreren Positionsdaten angibt.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleitertestgerät, das Ausgabedaten, die von einer zu vermessenden LSI ausgegeben werden, mit festgelegten Erwartungswertdaten vergleicht und welches beurteilt, ob die zu vermessende LSI zufrieden stellend ist, und insbesondere auf ein Halbleitertestgerät vorzugsweise für einen Test eines LSI-Bauelements vom Typ mit Daten/Takt-Bündelung, die einen Takt an Ausgabedaten bündelt und ausgibt, repräsentiert durch SERDES oder dergleichen.
Technischer Hintergrund
Im Allgemeinen gibt ein Halbleitertestgerät (LSI-Tester) zur Durchführung eines Funktionstests einer LSI ein festgelegtes Testmuster in eine zu vermessende LSI ein, die Bauelementprüfling (DUT) ist, vergleicht Ausgabedaten aus der zu vermessenden LSI mit einem festgelegten Erwartungswertemustersignal, beurteilt die Übereinstimmung/Nichtübereinstimmung und erfasst/beurteilt auf diese Weise, ob die zu vermessende LSI zufrieden stellend ist oder nicht.
6 ist ein Blockdiagramm, das einen schematischen Aufbau eines herkömmlichen Halbleitertestgeräts zeigt.
Wie es in der Figur gezeigt ist, weist ein herkömmlicher LSI-Tester (Halbleitertestgerät) 110 folgendes auf: einen Pegelkomparator 113, der einen Pegel von Ausgabedaten der zu vermessenden LSI (DUT) 101 mit einer Vergleichsspannung vergleicht; eine Mustervergleichseinheit 114, die die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 101 mit einem festgelegten Erwartungswert vergleicht; ein Flipflop 121 zum Eingeben der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 101 in die Mustervergleichseinheit 114 mit einer festgelegten Zeitsteuerung.
Beim herkömmlichen Halbleitertestgerät, das auf diese Art und Weise aufgebaut ist, wird zuerst ein festgelegtes Testmustersignal aus einer (nicht gezeigten) Mustererzeugungseinheit in die zu vermessende LSI 101 eingegeben und ein festgelegtes Signal wird als Ausgabedaten aus der zu vermessenden LSI 101 ausgegeben. Die Ausgabedaten, die aus der zu vermessenden LSI 101 ausgegeben werden, werden in den Pegelkomparator 113 des LSI-Testers 110 eingegeben. Die Ausgabedaten, die in den Pegelkomparator 113 eingegeben wurden, werden mit dem Pegel der Vergleichsspannung verglichen und an das Flipflop 121 ausgegeben.
Im Flipflop 121 wird ein Signal aus dem Pegelkomparator 113 als Eingabedaten festgehalten, ein Abtastimpuls aus einer (nicht gezeigten) Einheit zur Erzeugung der Zeitsteuerung wird als Taktsignal verwendet und Ausgabedaten werden mit einer festgelegten Zeitsteuerung ausgegeben. Die Ausgabedaten, die aus dem Flipflop 121 ausgegeben werden, werden in die Mustervergleichseinheit 114 eingegeben und mit festgelegten Erwartungswertdaten aus einer Mustererzeugungseinheit im Tester verglichen und es wird ein Vergleichsergebnis ausgegeben.
Darüber hinaus wird aus diesem Vergleichsergebnis bestimmt, ob die Ausgabedaten mit dem Erwartungswert übereinstimmt oder nicht und es wird beurteilt, ob die zu vermessende LSI zufrieden stellend ist oder nicht (Bestehen/Versagen)
Auf diese Art und Weise werden beim herkömmlichen Halbleitertestgerät (LSI-Tester) die Ausgabedaten aus der zu vermessenden LSI mit der Zeitsteuerung des Abtastimpulses erfasst, der im Tester mit einer festgelegten Zeitsteuerung ausgegeben wird, und dieser Abtastimpuls ist ein Zeitablaufsignal, das aus der Zeitablauferzeugungseinheit ausgegeben wird, die unabhängig von der zu vermessenden LSI angeordnet ist. Zusätzlich ist beim herkömmlichen Halbleitertestgerät, dass die Ausgabe Daten der zu vermessenden LSI durch ein unabhängiges Zeitablaufsignal erfasst, das auf diese Art und Weise aus diesem Tester ausgegeben wird, ein Problem aufgetaucht, dass das Test-LSI-Bauelement, in das der Takt auf die Ausgabedaten gebündelt ist und nicht getestet werden kann.
In den vergangenen Jahren ist es beschleunigen der LSI bemerkenswert fortgeschritten, und um den Datentransfer zu beschleunigen, wurde ein neues LSI-Bauelement bereitgestellt, das durch einen Serialisierer und Deserialisierer (SERDES) oder dergleichen repräsentiert wird. Das SERDES ist ein LSI-Bauelement, das parallele Daten in serielle Daten oder die seriellen Daten in parallele Daten umwandelt, es ist ein Datentransfer mit hoher Rate möglich, und das Bauelement wird als eine Schnittstelle oder dergleichen zur Datenkommunikation verwendet. Wenn darüber hinaus bei der LSI, wie etwa SERDES, die parallelen Daten in die seriellen Daten umgewandelt und ausgegeben werden, wird der Takt auf die Ausgabedaten in der LSI gebündelt und die Ausgabedaten werden mit einem Flankenzeitablauf des gebündelten Takts ausgegeben.
Um den Tests des LSI-Bauelements durchzuführen, in dem der Takt auf die Ausgabedaten auf diese Art und Weise gebündelt ist, müssen die Ausgabedaten, die mit den Erwartungswerten verglichen werden sollen, deshalb mit dem Zeitablauf des gebündelten Takts erfasst werden. Bei dem herkömmlichen Halbleitertestgerät; wie es oben beschrieben wurde, da die Ausgabedaten, die aus der zu vermessenden LSI ausgegeben werden, durch das Zeitablaufsignal erfasst werden, das aus der Zeitablauferzeugungseinheit unabhängig von der zu vermessenden LSI ausgegeben wird, liest es jedoch unmöglich geworden, die Ausgabedaten mit dem Zeitablauf des Takts der zu vermessenden LSI zu erfassen.
Deshalb ist es beim herkömmlichen Halbleitertestgerät unmöglich geworden, die LSI vom Typ mit Daten/Takt-Bündelung zu testen, aus der die Ausgabedaten mit dem darauf gebündelten Takt ausgegeben werden.
Hier wurde als Verfahren zum Testen der LSI, bei dir der. Takt auf die Daten gebündelt ist, vorgeschlagen, die bei einem LSI-Tester 210, der in 7 gezeigt ist, das einen Testanschluss (das in der Figur gezeigte "CKO") zum Ausgeben des Takts separat von einem Ausgabeanschluss Ausgabedaten (das in der Figur gezeigte "Q") in einer zu messenden LSI (DUT) 201 angeordnet ist, in die ein Testsignal aus einem Mustergenerator (PG) 211 über eine Signalfombildungseinheit (Fomatsteuerung: FC) 211 eingegeben wird, und ein Taktsignal aus diesem Testanschluss ausgegeben wird, und in eine Mustervergleichseinheit (Digitalvergleich: DV) 214, einen Ausfallanalysespeicher (Datenausfallspeicher: DFM) 215 und dergleichen eingegeben wird.
Wenn der Test Anschluss jedoch für die Taktausgabe, die ursprünglich nicht angeordnet worden ist, in der zu messenden LSI auf diese An und Weise angeordnet wird, wer ein Aufbau eines Bauelements für den Test geändert, die Zahl der Pins vergrößert sich durch den Testanschluss für die Verwendung nur im Test, und es ist tatsächlich schwierig geworden, in Anschluss anzupassen.
Darüber hinaus wird bei den Ausgabedaten, die von der zu messenden LSI ausgegeben werden, beispielsweise über zwei oder mehrere Taktzyklen ein Signal HIGH (oder LOW), das Signal ändert sich nicht notwendigerweise mit dem Flankenzeitablauf des Takts, und eine Betriebssignalform dies nicht die gleiche wie die des gebündelten Takts. Wenn die Ausgabedaten einfach erfasst werden, ist es deshalb schwierig, den Flankenzeitablauf des gebündelten Takts korrekt einzufangen und die Ausgabedaten können nicht auf den Takt mit einem korrigierten Zeitablauf abgestimmt werden.
Das heißt, um den Test unter Verwendung des Takts, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist, durchzuführen, ist es notwendig, eine bestimmte Funktion (Quellensynchronfunktion) zum Abstimmen des gebündelten Takts an den Flankenzeitablauf der Ausgabedaten bereitzustellen. Wenn der Anschluss zur Ausgabe des Takts einfach in der zu messenden LSI angeordnet wird, um den Takt auszugeben, wie es in 7 gezeigt ist, kann die LSI vom Typ mit Takt/Daten-Bündelung nicht korrekt getestet werden.
Darüber hinaus weiß der Takt, der aus der zu messenden LSI ausgegeben wird, im Allgemeinen ein Jittern (irreguläre Fluktuationen des Zeitablaufs) auf und der Flankenzeitablauf fluktuiert um das Jittern. Wenn der Test Anschluss einfach angeordnet wird, um den Takt herauszunehmen, werden deshalb die Ausgabedaten mit einem Zeitablauf des Takts aufgenommen, der um das Jittern fluktuiert, und es besteht zudem ein Problem, das kein korrektes Testergebnis erhalten werden kann.
Bei dem Verfahren, bei dem der Testanschluss zum Ausgeben des Takts in der zu messenden LSI auf diese An und Weise angeordnet ist, ist es unmöglich geworden, eine LSI vom Typ mit Takt/Daten-Bündelung zu testen, wie etwa SERDES, in dem der Takt auf die Ausgabedaten gebündelt ist.
Die vorliegende Erfindung ist vorgeschlagen worden, um das oben beschriebene Problem der herkömmlichen Technik zu lösen, und es ist eine deren Aufgaben, ein Halbleitertestgerät bereitzustellen, das eine Taktrückgewinnungsschaltung aufweist, die in der Lage ist, ein gebündeltes Taktsignal aus Ausgabedaten einer zu messenden LSI aufzunehmen, um angemessen einen Flankenzeitablauf des Taktsignals zu korrigieren, während die Ausgabedaten abgestimmt werden; so das das Taktsignal, das auf die Ausgabedaten gebündelt ist, leicht und sicher zu erfassen, ohne Verwendung irgendwelcher Zeitablaufsignale von außen oder ohne irgendwelche Ausgabeanschlüsse oder dergleichen in der zu messenden LSI anzuordnen, und die Ausgabedaten der zu messenden LSI können durch einen Rückgewinnungstakt eingefangen werden, der mit einem richtigen Flankenzeitablauf korrigiert ist.
Offenbarung der Erfindung
Um die Aufgabe zu lösen, wird erfindungsgemäß ein Halbleitertestgerät bereitgestellt, das folgendes umfasst: eine Taktrückgewinnungsschaltung, die einen Zeitinterpolator aufweist, der Ausgabedaten eingibt, die aus einer zu vermessenden LSI ausgegeben werden, welche ein Bauelementprüfling ist, und die die Ausgabedaten durch eine Vielzahl von Abtastimpulsen erfasst, die konstante Zeitablaufintervalle aufweisen, um Zeitserienpegeldaten auszugeben, und die Positionsdaten ausgibt, die einen Flankenzeitablauf der Pegeldaten angeben, und ferner einen Digitalfilter, der die Positionsdaten eingibt und festhält, die aus diesem Zeitinterpolator ausgegeben werden und der einen Rückgewinnungstakt ausgibt, der einen festgelegten Flankenzeitablauf ab einer oder mehreren Positionsdaten angibt.
Gemäß dem Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung, das auf diese Art und Weise aufgebaut ist, ist zuerst der Zeitinterpolator als die Taktrückgewinnungsschaltung angeordnet, die eine Quellensynchronfunktion besitzt, und demgemäß können die Ausgabedaten, auf die eine Taktausgabe aus der zu ermessenden LSI gebündelt ist, als die Zeitserienpegeldaten erfasst werden. Diese Zeitserienpegeldaten geben den Flankenzeitablauf an, der ein Signaländerungspunkt der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI ist, und dieser Flankenzeitablauf gibt einen Flankenzeitablauf des Takts an, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist. Wenn die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI in den Zeitinterpolator eingegeben werden und die Pegeldaten und Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf angeben, erfasst werden, kann deshalb der Takt, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist; herausgenommen werden.
Darüber hinaus werden bei der vorliegenden Erfindung, da die Taktrückgewinnungsschaltung darüber hinaus den Digitalfilter umfasst, die Positionsdaten, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, festgehalten und gespeichert und können als der Rückgewinnungstakt, korrigiert mit einem korrekten und adäquaten Flankenzeitablauf ausgegeben werden. Im Zeitinterpolator können die Pegeldaten und Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf der Ausgabedaten angeben, erfasst werden. Wenn sich jedoch beispielsweise über mehrere Takte in den Ausgabedaten nichts ändert, wird der Signaländerungspunkt (ansteigende oder abfallende Flanke) nicht erfasst. Im Ergebnis kann die Zeitablaufflanke des Takts, gebündelt auf die Ausgabedaten, nicht erfasst werden. Die Ausgabedaten weisen ein Jittern auf und der Flankenzeitablauf der durch die erfassten Pegeldaten und Positionsdaten angegeben wird, ist kein richtiger Zeitablauf als Zeitablaufsignal zum Erfassen von Testdaten.
Wenn die Positionsdaten, die durch den Zeitinterpolator erfasst werden, in den Digitalfilter eingegeben und dort gespeichert werden, dann können die Daten als der korrigierte Rückgewinnungstakt mit einem Zeitablauf ausgegeben werden, der korrekt und richtig den Flankenzeitablauf des gebündelten Takts angibt. Demgemäß kann der Rückgewinnungstakt, der den richtigen Flankenzeitablauf angibt, in einem Fall ausgegeben werden, bei dem die Flanke der zu vermessenden Ausgabedaten oder einem Fall, bei dem die Ausgabedaten durch das jittern fluktuierten.
Gemäß der Taktrückgewinnungsschaltung der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Quellensynchronfunktion zu realisieren, die in der Lage ist, das Taktsignal, das auf den Ausgabedaten der zu vermessenden LSI gebündelt ist, herauszunehmen und einen richtigen Rückgewinnungstakt zu erfassen, der nicht durch das Vorhandensein der Flanke der Ausgabedaten oder des Jitterns beeinflusst wird, um die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI unter Verwendung dieses Rückgewinnungstakts aufzunehmen, und eine LSI vom Typ mit Takut/Daten-Bündelung, wie etwa SERDES, kann leicht und korrekt gehandhabt werden.
Darüber hinaus umfasst beim Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung der Zeitinterpolator konkret folgendes: eine Vielzahl von sequentiellen Schaltungen, die parallel verbunden sind, die die Ausgabedaten eingeben, die aus der LSI ausgegeben werden; eine Verzögerungsschaltung, die nach und nach einen Abtastimpuls verzögert um ein konstantes Zeitablaufintervall in die Vielzahl von sequentiellen Schaltungen eingibt und die Zeitserienpegeldaten aus den sequentiellen Schaltungen ausgibt; und einen Kodierer, der die Zeitserienpegeldaten eingibt, die aus der Vielzahl sequentiellen Schaltungen ausgegeben werden, und der die Daten in Positionsdaten kodiert, die den Flankenzeitablauf der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI angeben, um die Daten auszugeben, und wobei der Digitalfilter folgendes umfasst: ein oder mehrere Register, die in Serie verbunden sind, die nach und nach die Positionsdaten speichern, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, und die die gespeicherten Positionsdaten mit einem bestimmten Zeitablauf ausgeben, und der Rückgewinnungstakt, der den festgelegten Flankenzeitablauf angibt, aus einer oder mehreren Positionsdaten ausgegeben wird, die aus diesem Register ausgegeben werden.
Auf diese Weise können der Zeitinterpolator und der Digitalfilter der vorliegenden Erfindung, leicht unter Verwendung von bestehenden Mitteln wie etwa einer sequentiellen Schaltung oder einer Verzögerungsschaltung, eines Kodierers, eines Registers und dergleichen aufgebaut werden. Demgemäß kann das Halbleitertestgerät, das die erfindungsgemäße Taktrückgewinnungsschaltung umfasst, durch einen einfachen Aufbau ohne Verkomplizieren oder Vergrößern des LSI-Testers oder Steigern der Kosten realisiert werden.
Darüber hinaus können, gemäß der Taktrückgewinnungsschaltung, die die sequentielle Schaltung der vorliegenden Erfindung, die die sequentiellen Schaltungen oder die Verzögerungsschaltung und die Register auf diese Art und Weise umfasst, wenn die Zahl der sequentiellen Schaltungen oder der Register, oder der Verzögerungsbetrag der Verzögerungsschaltung beliebig verändert wird, die Bitbreite (die Zahl der sequentiellen Schaltungen und der Register) oder die Auflösung (der Verzögerungsbetrag der Verzögerungsschaltung) der Zeitserienpegeldaten oder der Positionsdaten im Zeitinterpolator und im Digitalfilter auf einen gewünschten Wert eingestellt werden. Demgemäß sind verschiedene Einstellungen gemäß einer Datenrate, einer Jitterbreite und dergleichen möglich und es ist möglich, ein Hableitertestgerät zu realisieren, das jeden LSI handhaben kann und das Merzweckeigenschaften und hohen Komfort aufweist.
Es gilt zu beachten, dass die sequentielle Schaltung oder das Register, die im Zeitinterpolator angeordnet sind, leicht unter Verwendung bestehender Schaltungen, wie etwa einem Flipflop oder eines Signalspeichers, aufgebaut werden kann. Solange die Ausgabedaten aus der zu vermessenden LSI mit dem konstanten Zeitablaufintervall erfasst werden und als die Zeitserienpegeldaten ausgegeben werden können, oder die Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf angeben, festgehalten, gespeichert und mit dem festgelegten Zeitablauf ausgegeben werden können, kann irgendein Schaltungsaufbau verwendet werden, mit der Ausnahme der Flipflops oder des Signalspeichers.
Darüber hinaus umfasst beim Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung der Digitalfilter folgendes: eine Flankenerfassungsschaltung, die das Vorhandensein einer Flanke der Positionsdaten erfasst, die aus dem Zeitinterpolator eingegeben werden, und die die Positionsdaten ausgibt, die im Register gespeichert sind, in einem Fall, bei dem die Flanke erfasst wird.
Da diese Flankenerfassungsschaltung angeordnet ist, werden unter den Positionsdaten, die vom Zeitinterpolator erfasst werden, lediglich die Positionsdaten, deren Flanke, die den Signaländerungspunkt angibt, erfasst worden ist, als die Positionsdaten, die den Verweis auf den Rückgewinnungstakt darstellen, in den Registern gespeichert und ausgegeben. Was die Positionsdaten betrifft, die vom Zeitinterpolator erfasst werden, beispielsweise, wenn es keine Änderung in den Ausgabedaten über mehrere Takte hinweg keine Veränderung gibt, der Signaländerungspunkt (ansteigende Flanke oder abfallende Flanke) nicht erfasst, und deshalb kann die Zeitablaufflanke des Takts, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist, nicht erfasst werden.
Dann, bei der vorliegenden Erfindung, ist die Flankenerfassungsschaltung, die das Vorhandensein der Flanke der erfassten Positionsdaten erfasst, angeordnet, demgemäß werden die Positionsdaten, deren Flanke erfasst worden ist, im Register gespeichert und der Rückgewinnungstakt wird auf der Grundlage der Positionsdaten ausgegeben. Demgemäß kann auch in einem Fall, bei dem die Flanke der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI nicht erfasst wird, der Rückgewinnungstakt stabil ausgegeben werden.
Darüber hinaus wird der Rückgewinnungstakt auf der Grundlage lediglich der Daten ausgegeben deren Flanke erfasst worden ist. Demgemäß kann, beispielsweise, auch wenn ein Mittelwert der erfassten Positionsdaten erhalten und als der Rückgewinnungstakt ausgegeben wird, der Rückgewinnungstakt, der den korrekten Zeitablauf des tatsächlichen Flankenzeitablauf angibt, der den tatsächlichen Zeitablauf der Ausgabedaten widerspiegelt, ausgegeben werden, und es ist möglich, einen korrekteren Halbleitertest auszuführen, der eine hohe Zuverlässigkeit besitzt.
Darüber hinaus kann das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung auf eine solche Art und Weise aufgebaut sein, dass das Register die gespeicherten Positionsdaten mit einem festgelegten Zeitablauf ausgibt, ungeachtet des Vorhandenseins der Flanke der Positionsdaten, erfasst durch die Flankenerfassungsschaltung.
Durch diesen Aufbau können auch in einem Fall, bei dem die Flanke, die den Signaländerungspunkt der Positionsdaten angibt, die vom Zeitinterpolator erfasst werden, nicht erfasst wird, die Positionsdaten des vorherigen Zyklus, die bereits im Register gespeichert sind, mit dem festgelegten Zeitablauf ausgegeben werden, und der Rückgewinnungstakt kann auf der Grundlage der Positionsdaten des vorherigen Zyklus ausgegeben werden. Lediglich die Positionsdaten, deren Flanke erfasst worden ist, können als Verweis auf den Rückgewinnungstakt unter den Positionsdaten, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben wurden, im Register gespeichert werden, wie es oben beschrieben wurde. In einem Fall jedoch, bei dem die Flanke der Positionsdaten über mehrere Takte hinweg nicht erfasst wird, verringern sich die Positionsdaten, die erfasst werden können, und eine Periode, in der die Positionsdaten erfasst werden können, ist nicht konstant. Deshalb muss beispielsweise, wenn der Mittelwert der Vielzahl von Positionsdaten erhalten wird, um den Rückgewinnungstakt auszugeben, eine große Zahl von Registern angeordnet werden, um einen korrekten Takt auszugeben.
Im Fall, bei dem die Flanke der erfassten Positionsdaten nicht erfasst wird, werden dann bei der vorliegenden Erfindung die Positionsdaten, deren Flanke bereits im vorherigen Zyklus erfasst worden ist, aus dem Register ausgegeben, und der Rückgewinnungstakt wird basierend auf den Positionsdaten ausgegeben. Demgemäß wird bei der vorliegenden Erfindung der Flankenzeitablauf der tatsächlich erfassten Positionsdaten widergespiegelt, die Periode zum Erfassen der Positionsdaten konstant gesetzt, die Zahl der installierten Register kann optimiert werden und ein Halbleitertestgerät, das eine hohe Zuverlässigkeit aufweist, kann mit einem einfachen. Aufbau ohne Verkomplizierung oder Vergrößerung des Testeraufbaus oder Steigerung der Kosten realisiert werden.
Darüber hinaus kann das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung auf solche An und Weise aufgebaut sein, dass der Digitalfilter einen Flankenselektor umfasst, der auswählt, ob die Positionsdaten, die im Register gespeichert sind, ausgegeben werden oder nicht, ungeachtet des Vorhandenseins der Flanke der Positionsdaten, erfasst durch die Flankenerfassungsschaltung.
Da der Flankenselektor angeordnet ist, kann ausgewählt werden, ob die Positionsdaten des vorherigen Zyklus, die im Register gespeichert sind, als der Verweis auf den Rückgewinnungstakt ausgegeben werden oder nicht, in dem Fall, bei dem die Flanke der Positionsdaten aus dem Zeitinterpolator nicht erfasst wird. Demgemäß werden durch die Verwendung lediglich des tatsächlichen Flankenzeitablaufs der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI lediglich die Positionsdaten ausgewählt, deren Flanke erfasst worden ist, wenn ein strengerer Funktionstest, eine Jitteranalyse oder dergleichen ausgeführt wird. Wenn ein Logiktest zu Untersuchung der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI selbst aus einem Mittelwert in einer bestimmten Periode ausgeführt wird, können die die bereits gespeicherten Positionsdaten des vorherigen Zyklus ebenfalls verwendet werden. Auf diese Weise können die Positionsdaten selektiv gemäß den Testinhalten oder dergleichen angepasst werden, und es ist möglich ein Halbleitertestgerät bereitzustellen, das in den Mehrzweckeigenschaften und der Ausbaufähigkeit überlegen ist.
Darüber hinaus kann das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung auf solche Art und Weise aufgebaut sein, dass in einem Fall, bei dem zwei oder mehrere Register angeordnet sind, der Digitalfilter eine Mittelwertberechnungsschaltung zum Eingeben von Positionsdaten umfasst, die aus den zwei bzw. mehreren Registern ausgegeben werden, und Berechnen eines Mittelwerts der Flankenzeitabläufe, die durch die entsprechenden Positionsdaten angegeben werden, um den Mittelwert als den Rückgewinnungstakt auszugeben.
Da der Digitalfilter die Vielzahl an Registern und die Mittelwertberechnungsschaltung zum Eingeben der Positionsdaten der entsprechenden Register umfasst, werden die Positionsdaten, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, in der Vielzahl von Registern gespeichert, und der Mittelwert der Vielzahl von Positionsdaten wird berechnet und kann als der Rückgewinnungstakt ausgegeben werden, der den Flankenzeitablauf des Takts angibt, der auf die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI gebündelt ist. Demgemäß können die Mittelwert der Flankenzeitabläufe, die durch die Vielzahl von: Positionsdaten angegeben werden, als der erfindungsgemäße Rückgewinnungstakt verwendet werden, und das korrekte und richtige Zeitablaufsignal, das die tatsächlichen Ausgabedaten einer jeden zu vermessenden LSI widerspiegelt, und der Flankenzeitablauf des Takts können erhalten werden. Der Rückgewinnungstakt, der den Flankenzeitablauf des Takts der zu vermessenden LSI korrekte angibt, kann auch in dem Fall erfasst werden, bei dem die Flanke der Ausgabedaten nicht erfasst wird, oder in dem Fall, bei dem die Ausgabedaten durch das Jittern fluktuieren.
Darüber hinaus kann das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung auf solche An und Weise aufgebaut sein, dass der Digitalfilter einen Mittelwertselektor zum Auswählen einer der Positionsdaten, die aus einem der zwei oder mehreren Registern ausgegeben werden, und des Mittelwerts, der aus der Mittelwertberechnungsschaltung ausgegeben wird, umfasst, um den Rückgewinnungstakt auszugeben.
Da dieser Mittelwertselektor angeordnet ist, können die Positionsdaten, die aus einem bestimmten Register ausgegeben werden, und der Mittelwert der Positionsdaten aus der Vielzahl von Registern selektiv geschaltet werden und als der Rückgewinnungstakt außen Digitalfilter ausgegeben werden. Demgemäß wird der Mittelwert aus der Vielzahl von Registern als der Rückgewinnungstakt ausgegeben, beispielsweise in einem Fall, in dem der Funktionstest der zu vermessenden LSI im Hinblick auf die Fluktuationen des Zeitablaufs durch das Jittern durchgeführt wird. Die Positionsdaten, die aus einem der Vielzahl von Registern ausgegeben werden, werden als der Rückgewinnungstakt verwendet, in einem Fall, bei dem der Logiktest zu Untersuchung der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI selbst durchgeführt wird, ungeachtet der Fluktuationen des Zeitablaufs durch das Jittern. Der Rückgewinnungstakt kann selektiv gemäß den Testinhalten und dergleichen auf diese Art und Weise verwendet werden, und es kann ein Halbleitertestgerät realisiert werden, das noch besser in den Mehrzweckeigenschaften und der Erweiterbarkeit ist.
Darüber hinaus kann das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung auf solche Art und Weise aufgebaut sein, dass der Digitalfilter eine Zeitablaufkorrekturschaltung zum Addieren eines festgelegten Korrekturwerts zu den Positionsdaten, die aus dem Register ausgegeben werden, und Korrigieren des Flankenzeitablaufs umfasst, der durch die Positionsdaten angegeben wird, um den Rückgewinnungstakt auszugeben.
Da die Zeitablaufkorrekturschaltung auf diese Art und Weise angeordnet ist, wird ein Einstellungswert (korrigierter Wert), der eine Einstellzeit, eine Festhaltezeit oder dergleichen berücksichtigt, zu den Positionsdaten, die aus einem Register ausgegeben werden, oder dem Mittelwert der Positionsdaten addiert, die aus zwei oder mehreren Registern ausgegeben werden, und der Rückgewinnungstakt kann in dem richtigen Flankenzeitablauf korrigiert ausgegeben werden. Im Allgemeinen muss im Hinblick auf den Takt die Einstellzeit (oder die Festhaltezeit) berücksichtigt werden, um die Ausgabedaten durch das Taktsignal stabil zu erfassen.
Dann ist bei der vorliegenden Erfindung die Zeitablaufkorrekturschaltung angeordnet, die den Einstellwert der Einstellzeit oder der Festhaltezeit zu den Positionsdaten addiert, die aus dem Register des Digitalfilters ausgegeben werden, und demgemäß kann der Rückgewinnungstakt, korrigiert im richtigen Flankenzeitablauf der die Einstellzeit oder die Festhaltezeit der Ausgabearten berücksichtigt, ausgegeben werden. Demgemäß können durch den Rückgewinnungstakt, korrigiert im richtigen Flankenzeitablauf die Zeitserienpegeldaten, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, erfasst werden, und ein weiteres korrektes Halbleitertestgerät, dass eine hohe Zuverlässigkeit aufweist, kann bereitgestellt werden.
Darüber hinaus umfasst das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung eine Auswahlschaltung, die eines der Daten aus den Zeitserienpegeldaten auswählt, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, unter Verwendung des Rückgewinnungstakts, der aus dem Digitalfilter ausgegeben wird, als ein Auswahlsignal, um die Daten als zu testende Daten auszugeben, um zu beurteilen, oh. die LSI besteht oder versagt.
Durch diesen Aufbau ist die Auswahlschaltung angeordnet, die den Rückgewinnungstakt als Auswahlsignal eingeht, und demgemäß können die Zeitserienpegeldaten, die durch den Zeitinterpolator erfasst werden, ausgewähltes und als zu vermessende Daten für eine Funktionstest ausgegeben werden, in dem die Daten mit festgelegten Erwartungswertdaten verglichen werden, um zu beurteilen ob die Daten bestehen oder versagen.
Demgemäß ist es möglich, eine Quellensynchronfunktion zu realisieren, die in der Lage ist, das Taktsignal herauszunehmen, das auf den Ausgabedaten der zu vermessenden LSI gebündelt ist, und die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI mit dem richtigen Zeitablauf des Rückgewinnungstakts aufzunehmen, der nicht durch das Vorhandensein der Flanke der Ausgabedaten oder des Jitterns beeinflusst wird. Deshalb kann die vorliegende Erfindung als das Testgerät für den Funktionstest der zu vermessenden LSI verwendet werden und kann auch leicht und korrekt einen Funktionstest einer zu vermessenden LSI vom Typ mit Takt/Daten-Bündelung ausführen, wie etwa SERDES, bei der der Takt auf die Ausgabedaten gebündelt ist und ausgegeben wird, obwohl es bisher schwierig oder unmöglich gewesen ist, den Test auszuführen.
Andererseits umfasst das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung eine Jittererfassungsschaltung, die eine Vielzahl von Rückgewinnungstakten eingibt, die aus dem Digitalfilter ausgegeben werden, und eine Phasendifferenz zwischen den Flankenzeitabläufen erfasst, die durch die entsprechenden Rückgewinnungstakte angegeben werden, um das Jittern der Ausgabedaten der LSI zu erfassen.
Da Gerät kann zudem eine Jitterverteilungsschaltung umfassen, die eine Phasendifferenz des Rückgewinnungstakts eingibt, die durch die Jittererfassungsschaltung erfasst wird, und die eine Verteilung der Phasendifferenz erfasst, um Verteilungsdaten des Jitterns der Ausgabedaten der LSI auszugeben.
Da die Jittererfassungsschaltung zum Eingeben einer Vielzahl von Rückgewinnungstakten auf diese An und Weise angeordnet ist, werden die Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf eines jeden Rückgewinnungstakts angeben, subtrahiert, und demgemäß kann die Phasendifferenz zwischen den Rückgewinnungstakten erfasst werden. Da die Jitterverteilungsschaltung zum Eingeben dieser Phasendifferenz angeordnet ist, wird die Verteilung der Phasendifferenzen erfasst, und kann als Verteilungsdaten ausgegeben werden, die Fluktuationen oder Streubreiten der Phasendifferenzen angeben. Die Phasendifferenz des Rückgewinnungstakts gibt das Jittern des Taktsignals an, das auf die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI gebündelt ist, die Phasendifferenzen der Rückgewinnungstakte und die Verteilungsdaten werden erfasst, und demgemäß ist es möglich, eine Jitteranalyse der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI und des gebündelten Takts durchzuführen.
Demgemäß kann bei der vorliegenden Erfindung die Jitteranalyse der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI und des Takts leicht, korrekt und sicher Editorpräzisierungen durchgeführt werden, ohne Probleme zu verursachen, wie bei der Verwendung einer bestehenden Jittermesseinheit, wie etwa einen Fehler beim Betrieb eines Oszilloskops oder dergleichen oder Schwierigkeiten bei einer Messoperation.
Die kann das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung eine Jitterverteilungsschaltung umfassen, die Positionsdaten, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, und einen Rückgewinnungstakt entsprechend den Positionsdaten eingibt, der aus dem Digitalfilter ausgegeben wird, und die eine Phasendifferenz zwischen Flankenzeitabläufen erfasst, die durch Positionsdaten und den Rückgewinnungstakt angegeben werden, und die eine Verteilung der Phasendifferenzen erfasst, um die Verteilung als Verteilungsdaten des Jitterns von _ Ausgabedaten der LSI auszugeben.
Durch diesen Aufbau wird die Phasendifferenz zwischen dem Rückgewinnungstakt und den Positionsdaten, die die originalen Positionsdaten darstellen, eingegeben und die Verteilung der Phasendifferenzen kann erfasst und analysiert werden. Der Flankenzeitablauf, der durch den erfindungsgemäßen Rückgewinnungstakt angegeben wird, sind Positionsdaten, in denen der Takt, der auf die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI gebündelt ist, in einem richtigen Zeitablauf korrigiert ist. Der Rückgewinnungstakt wird mit den originalen Positionsdaten verglichen, und die Verteilung der Phasendifferenzen zu erfassen, und demgemäß ist es möglich, die Verteilung des Jitterns der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI im Vergleich mit dem richtigen Rückgewinnungstakt zu vergleichen.
Demgemäß kann bei der vorliegenden Erfindung die Verteilung des Jitterns der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI leicht und korrekt ohne separate Verwendung einer Vorrichtung oder eines Gerätes, wie etwa einer Jittermesseinheit, analysiert werden.
Hier kann beispielsweise die oben beschriebene Jitterverteilungsschaltung umfassen:
einen Dekodierer, der die Positionsdaten, die die eingegebene Phasendifferenz angeben, dekodiert; und einen Zähler, der Ausgabesignale des Dekodierers für jeden Ausgabeanschluss zählt. In diesem Falle wird die Phasendifferenz zwischen den Rückgewinnungstakten oder die zwischen dem Rückgewinnungstakt und den originalen Positionsdaten für jeden Ausgabeanschluss des Dekodierers ausgegeben, und die Jitterverteilung, die durch die Phasendifferenz angegeben wird, kann durch den Zähler gezählt werden. Demgemäß werden beispielsweise Daten, die aus dem Zähler ausgegeben werden, je diesen und in einen Graphen umgewandelt, und demgemäß kann ein Histogramm oder dergleichen, das die Verteilung des Jitterns des Rückgewinnungstakts angeht, leicht und korrekt erfasst werden.
Es gilt zu beachten, dass bei der vorliegenden Erfindung die Jitterverteilungsschaltung, die die Jitterverteilung zwischen den Rückgewinnungstakten erfasst, und die Jitterverteilungsschaltung, die die Jitterverteilung zwischen dem Rückgewinnungstakt und den originalen Positionsdaten erfasst, als eine einzelne (identische) Jitterverteilungsschaltung aufgebaut werden kann. In diesem Fall ist ein Auswahlmittel, wie etwa ein Selektor angeordnet, und der Rückgewinnungstakt, der die Jitterverteilung zwischen den Rückgewinnungstakten erfasst, und die Jitterverteilungsschaltung, die die Jitterverteilung zwischen den originalen Positionsdaten erfasst, kann selektiv umgeschaltet werden. Demgemäß können die Jitterverteilung zwischen den Rückgewinnungstakten und die zwischen dem Rückgewinnungstakt und den originalen Positionsdaten selektiv erfasst und analysiert werden, es ist möglich, selektiv die Positionsdaten den Testinhalten und dergleichen anzupassen, und es kann ein Halbleitertestgerät bereitgestellt werden, dass darüber hinaus in den Mehrzweckeigenschaften und der Erweiterbarkeit überlegen ist.
Kurze Beschreibung der Zeichnung
1 ist ein Blockdiagramm, das einen gesamten schematischen Aufbau des Halbleitertestgeräts gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
2 ist ein Blockdiagramm, das Details einer Taktrückgewinnungsschaltung zeigt, die in dem Halbleitertestgerät gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung angeordnet ist.
3 ist ein Zeitablaufdiagramm, das ein Beispiel in einem Fall zeigt, bei dem Ausgabedaten einer zu vermessenden LSI mit einem Zeitablauf eines gebündelten Takts in einer Taktrückgewinnungsschaltung eines Halbleitertestgeräts gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung erfasst werden.
4 ist ein Blockdiagramm, das Details der Taktrückgewinnungsschaltung zeigt; die im Halbleitertestgerät gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung angeordnet ist.
5 ist eine Tabelle, die eine Kombination von verschiedenen Typen von Tests zeigt, die durch umschalten der Selektoren im Halbleitertestgerät gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung durchgeführt werden können.
6 ist ein Blockdiagramm, das einen schematischen Aufbau eines herkömmlichen allgemeinen Halbleitertestgeräts zeigt; und
7 ist ein Blockdiagram, das einen schematischen Aufbau eines anderen herkömmlichen Halbleitertestgeräts zeigt.
Bester Modus zur Ausführung der Erfindung
Bevorzugte Ausführungsbeispiele eines erfindungsgemäßen Halbleitertestgeräts werden im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnung beschrieben.
Erstes Ausführungsbeispiel
Zuerst wird ein erstes Ausführungsbeispiel eines Halbleitertestgeräts gemäß der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die 1 bis 3 beschrieben werden.
1 ist ein Blockdiagramm, das einen gesamten schematischen Aufbau des Halbleitertestgeräts gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
Wie es in 1 gezeigt ist, umfasst das Halbleitertestgerät gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel einen LSI-Tester 10, der einen Funktionstest einer zu vermessenden LSI (DUT) 1 ausführt, und der LSI-Tester 10 erfasst Ausgabedaten, die vom zu vermessenden LSI 1 als zu vermessende Daten ausgegeben werden und vergleicht diese Daten mit festgelegten Erwartungswertdaten, um dadurch zu beurteilen, ob die zu vermessende LSI 1 besteht oder versagt.
Hier stellt die zu vermessende LSI 1 eine LSI vom Typ mit Daten/Takt-Bündelung, die ein Taktsignal auf das Ausgabesignal zur Ausgabe der Daten bündelt, beispielsweise repräsentiert durch SERDES oder dergleichen. Darüber hinaus werden beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Ausgabedaten, die von dieser zu vermessenden LSI 1 vom Typ mit Daten/Takt-Bündelung ausgegeben werden, in den LSI-Tester 10 eingegeben, demgemäß wird ein Takt gebündelt auf die Ausgabedaten entnommen und die Ausgabedaten werden mit einem Zeitablauf des Entnahmetakts erfasst und können als die zu vermessenden Daten ausgegeben werden.
LSI-Tester
Auf die gleiche Art und Weise wie bei einem konventionellen LSI-Tester (siehe die 6 und 7) stellt ein LSI-Tester 10 einen Funktionstestgerät einer LSI dar, welches Testsignale aus Mustergeneratoren (PG) 11 über Signalbildungseinheiten (Formatregler: FC) 12 in eine zu vermessende LSI 1 eingibt und welches Ausgabedaten, die von der zu vermessenden LSI 1 (DUT) ausgegeben werden, in eine Mustervergleichseinheit (Digitalvergleich: DC) 14, einen Ausfallanalysespeicher (Datenausfallspeicher: DFM) und dergleichen eingibt, um zu beurteilen, ob die LSI besteht/versagt.
Darüber hinaus, wie es in 1 gezeigt ist, umfasst der LSI-Tester 10 der vorliegenden Erfindung eine Taktrückgewinnungsschaltung (CRC) 20, die die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 eingibt, und gibt die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 über diese Taktrückgewinnungsschaltung 20 ein.
Taktrückgewinnungsschaltung]
2 ist ein Blockdiagramm, das Details der Taktrückgewinnungsschaltung 20 zeigt, die im LSI-Tester 10 angeordnet ist.
Die Taktrückgewinnungsschaltung 20, die in der Figur gezeigt ist, erfasst die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 mit einer Vielzahl von Abtastimpulsen, die entsprechend konstante Zeitablaufintervalle aufweist, gibt die Daten als Zeitserienpegeldaten aus und erfasst einen festgelegten Rückgewinnungstakt, der einen Flankenzeitablauf eines Takts angibt, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist, unter Verwendung der Zeitserienpegeldaten. Darüber hinaus wird die Quellensynchronfunktion verwirklicht, die in der Lage ist, die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 mit dem Zeitablauf dieses Rückgewinnungstakts auszuwählen und zu erfassen, um die Ausgabedaten aufzunehmen, auf die der Takt mit dem Zeitablauf des gebündelten Takts gebündelt ist.
Was die Taktrückgewinnungsschaltung 20 betrifft, wird zuerst jede der Taktrückgewinnungsschaltungen 20, die den gleichen Aufbau aufweisen, den jeweiligen Ausgabedaten zugewiesen, die von der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden. Wie es in 1 gezeigt ist, sind beim vorliegenden Ausführungsbeispiel eine bis n Taktrückgewinnungsschaltungen 20 für den Anschluss der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 angeordnet.
Wie es in 1 gezeigt ist, weist jede Taktrückgewinnungsschaltung 20 den gleichen Aufbau auf und umfasst konkret: einen Pegelkomparator 13; eine Mustervergleichseinheit 14; des Weiteren einen Zeitinterpolator (T.I.) 30; einen Digitalfilter (D.F.) 40; und einen Selektor (Cmp Selector) 50.
Der Pegelkomparator 13 gibt ein Ausgabesignal (Ausgabedaten auf die bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel der Takt gebündelt worden ist) aus der zu vermessenden LSI 1 ein, vergleicht einen Pegel des Signals mit dem einer festgelegten Vergleichsspannung und gibt ein Signal an den Zeitinterpolator 30 auf die gleiche Art und Weise wie beim konventionellen LSI-Tester aus.
Die Mustervergleichseinheit 14 vergleicht die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI, die vom Selektor 50 ausgesucht wurden, über den Zeitinterpolator 30 und den Digitalfilter 40, der später beschrieben werden wird, mit einem festgelegten Erwartungswert, um ein Testergebnis auszugeben. Es gilt zu beachten, dass das Testergebnis, das von der Mustervergleichseinheit 14 ausgegeben wird, in einem (nicht gezeigten) Ausfallanalysespeicher 15 (siehe 1) auf die gleiche Art und Weise wie bei einem gewöhnlichen LSI-Tester.
Zeitinterpolator
Ein Zeitinterpolator 30 erfasst Ausgabedaten, die aus einer zu vermessenden LSI ausgegeben werden, durch eine Vielzahl von Abtastimpulsen, die konstante Zeitablaufintervalle aufweisen, um die Daten als Zeitserienpegeldaten auszugeben.
Konkret umfasst der Zeitinterpolator 30 folgendes: eine Vielzahl von Flipflops 31a bis 31n, die sequentielle Schaltungen darstellen; eine Verzögerungsschaltung 32; exklusive ODER-Schaltungen (XOR) 33a bis 33n; und einen Kodierer 34.
Die Vielzahl an Flipflops 31a bis 31n werden aus Flipflopgruppen vom D-Typ aufgebaut, die beim vorliegenden Ausführungsbeispiel parallel verbunden sind, und, geben Ausgabesignale (Ausgabedaten, auf die der Takt gebündelt ist) ein, die von der zu vermessenden LSI über den Pegelkomparator 13 als Eingabedaten ausgegeben werden. Darüber hinaus werden die Eingabedaten mit einem festgelegten Zeitablauf unter Verwendung des Abtastimpulses über die Verzögerungsschaltung 32 als das Taktsignal ausgegeben.
Die Verzögerungsschaltung 32 gibt nach und nach den Abtastimpuls verzögert um ein konstantes Zeitintervall in Taktanschlüsse der Vielzahl von Flipflops 31a bis 31n ein und gibt Zeitserienpegeldaten aus den Flipflops 31a bis 31ri aus.
Hier können die Anzahl der Vielzahl von Flipflops 31a bis 31n und der Verzögerungsbetrag der Verzögerungsschaltung 32 beliebig eingestellt und verändert werden und die Bitbreite (die Zahl der sequentiellen Schaltungen) oder die Auflösung (der Verzögerungsbetrag der Verzögerungsschaltung) der Zeitserienpegeldaten, die im Zeitinterpolator 30 erfasst werden, können auf einen gewünschten Wert eingestellt werden. Demgemäß können die erfassten Zeitserienpegeldaten verschiedenartig gemäß der Datenrate, einer Jitterbreite und dergleichen der zu vermessenden LSI 1, die ein Bauelementprüfling ist, eingestellt werden und es kann jeglicher LSI gehandhabt werden.
Wie es in 2 gezeigt ist, sind beim vorliegenden Ausführungsbeispiel acht ("0 bis 7") Flipflops 31a bis 31n angeordnet und es werden Pegeldaten von insgesamt acht Bits durch den Abtastimpuls der Verzögerungsschaltung 32 ausgegeben.
Es gilt zu beachten, dass im Hinblick auf die Abtastsignale, die über die Verzögerungsschaltung 32 in die Flipflops 31a bis 31n eingegeben werden, ein Eingabezeitablauf für jeweilige Ausgabedaten, die aus der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden, beliebig eingestellt werden kann und für jeweilige Ausgabedaten variiert werden können.
Da bei der vorliegenden Erfindung jede Taktrückgewinnungsschaltung 20 den gleichen Aufbau aufweist, ist die Zeitablauferzeugungseinheit oder dergleichen für jede Taktrückgewinnungsschaltung 20 angeordnet und demgemäß können die Abtastsignale unabhängig in die jeweiligen Ausgabedaten der der zu vermessenden LSI 1 eingegeben werden. Demgemäß kann der Zeitablauf in einen entsprechenden Zeitablauf gemäß dem Jittern oder dergleichen der Ausgabedaten, die von der der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden, adjustiert werden.
Im Hinblick auf die jeweiligen Ausgabedaten, die von der der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden, stimmt die Phase nicht konstant überein und die Einstellzeit kann in einigen Fällen beispielsweise minus oder plus sein. Wenn der Zeitablauf des Abtastimpulses für die jeweiligen Ausgabedaten eingestellt wird, kann deshalb eine Adjustierung auf solche Art und Weise vorgenommen werden, dass der Abtastimpuls an die jeweiligen Ausgabedaten mit einem optimalen Zeitablauf ausgegeben wird.
Darüber hinaus werden die Zeitserienpegeldaten, die von der Vielzahl von Flipflops 31a bis 31n ausgegeben werden, über die XOR-Schaltungen 33a bis 33n in den Kodierer 34 eingegeben und die Pegeldaten werden kodiert. Darüber hinaus werden die Zeitserienpegeldaten als Eingabedaten des Selektors 50 als solche eingegeben.
Konkret werden zuerst die Zeitserienpegeldaten, die von den Flipflops 31a bis 31n ausgegeben werden, in die XOR-Schaltungen 33a bis 33n eingegeben.
Jede der XOR-Schaltungen 33a bis 33n ist eine XOR-Schaltung mit zwei Eingängen und gibt die Ausgabedaten von zwei angrenzenden Flipflops 31 (31a und 31b, 31b und 31c, 31c und 31d,...) ein, wie es in 2 gezeigt ist. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel sind sieben ("0 bis 6") XOR-Schaltungen 33a bis 33n angeordnet, die die Ausgabedaten der acht Flipflops 31a bis 31n eingeben (siehe 2).
Darüber hinaus wird die Datenausgabe aus den XOR-Schaltungen 33a bis 33n in den Kodierer 34 eingegeben.
In den Kodierer 34 werden die Ausgabedaten aus den Flipflops 31a bis 31n nach und nach über die XOR-Schaltungen 33a bis 33n in konstanten Intervallen eingegeben, das Kodieren wird mit einem Zeitablauf durchgeführt, bei dem alle Flipflops 31a bis 31n zusammengenommen werden und das Ergebnis ausgegeben wird.
Demgemäß werden die Zeitserienpegeldaten, die von den Flipflops 31a bis 31n ausgegeben werden, als kodierte Positionsdaten ausgegeben.
Wenn die Positionierungsdaten, die vom Kodierer 34 kodiert wurden, in den Digitalfilter 40 eingegeben werden, werden darüber hinaus die Daten als ein Rückgewinnungstakt ausgegeben, der den Flankenzeitablauf des Takts angibt, der auf die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 gebündelt ist.
Es gilt zu beachten, dass der Kodierer 34 der vorliegenden Erfindung sieben Bits an Pegeldaten kodiert, die von den XOR-Schaltungen 33a bis 33n in drei Bits von Positionsdaten eingegeben werden, um die Daten auszugeben, wie es in 2 gezeigt ist.
Die Zeitserienpegeldaten, die von den Flipflops 31a bis 31n ausgegeben werden, werden darüber hinaus als Eingabedaten in den Selektor 50 als solche eingegeben (siehe 2).
Darüber hinaus werden einzelne Daten aus den Pegeldaten, die in den Selektor 50 eingegeben wurden, durch die Rückgewinnungsausgabe vom Digitalfilter 40 ausgewählt und einzelne ausgewählte Daten werden als zu vermessende Daten der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben.
Digitalfilter
Ein Digitalfilter 40 gibt Positionsdaten, die von einem Kodierer 34 eines Zeitinterpolators 30 ausgegeben werden, ein und hält sie fest und gibt einen Rückgewinnungstakt aus, der einen bestimmten Flankenzeitablauf von einzelnen oder mehreren Positionsdaten angibt.
Konkret umfasst der Digitalfilter 40 folgendes: eine Vielzahl von Registern (Glättungs-Reg) 41 (41a bis 41n); einen Flankenselektor 43; eine Mittelwertberechnungsschaltung 44; einen Mittelwertselektor 45; und eine Zeitablaufkorrekturschaltung 46.
Wie es in 2 gezeigt ist, ist die Vielzahl von Registern 41a bis 41n aus der festgelegten Anzahl (ein bis n) Registergruppen aufgebaut, die in Serie geschaltet sind, speichert nach und nach die Positionsdaten, die vom Kodierer 34 des Zeitinterpolators 30 ausgegeben werden, und gibt die gespeicherten Positionsdaten mit einem festgelegten Zeitablauf aus.
Da der Kodierer 34 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel drei Bits der Positionsdaten ausgibt, geben die entsprechenden Register 41a bis 41n drei Bits der Positionsdaten ein und speichern sie. Darüber hinaus wird ein festgelegtes Auslösesignal eingegeben und demgemäß drei Bits der gespeicherten Positionsdaten ausgegeben. Konkret werden in den Registern 41a bis 41n zuerst die Positionsdaten des Kodierers 34 eingegeben und im Register 41a einer vordersten Stufe gespeichert und die Positionsdaten werden mit einem bestimmten Zeitablauf ausgegeben und nach und nach in die Register 41b bis 41n der nachfolgenden Stufen eingegeben, die in Serie verbunden sind. Die Positionsdaten, die aus dem Register n einer letzten Stufe ausgegeben werden, werden in die Mittelwertberechnungsschaltung 44 eingegeben, die später beschrieben wird.
Darüber hinaus werden die Positionsdaten, die aus den entsprechenden Registern 41a bis 41n ausgegeben werden, in das Register der nächsten Stufe eingegeben und werden zudem in die Mittelwertberechnungsschaltung 44 eingegeben. Demgemäß wird in der Mittelwertberechnungsschaltung 44 der Mittelwert der Flankenzeitabläufe, die durch die Positionsdaten der entsprechenden Register 41a bis 41n angegeben werden, berechnet.
Darüber hinaus werden die Positionsdaten, die aus dem Register 41a der vordersten Stufe ausgegeben werden, zudem in den Mittelwertselektor 45 eingegeben, der später beschrieben wird. Demgemäß werden einer der Mittelwerte der Positionsdaten, der von der Mittelwertberechnungsschaltung 44 ausgegeben wird, und die Positionsdaten ausgewählt, die aus dem Register 41a der vordersten Stufe ausgegeben werden.
Es gilt zu beachten, dass die Zahl der Register 41a bis 41n gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beliebig festgelegt oder verändert werden kann und die Zahl der Positionsdaten, die erfasst werden können, und die Auflösung des Mittelwerts der Positionsdaten gemäß der Zahl der Register 41a bis 41n adjustiert werden können. Das heißt im Hinblick auf die Register 41a bis 41n kann wenigstens ein Register 41a angeordnet sein, das die Positionsdaten eingibt, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, und die optimale Zahl von Registern kann gemäß der Datenrate, Jitterbreite und dergleichen der zu vermessenden LSI 1, die der Bauelementprüfling ist, angeordnet werden.
Eine Flankenerfassungsschaltung 42 erfasst das Vorhandensein der Flanke der Positionsdaten, die aus dem Kodierer 34 des Zeitinterpolators 30 eingegeben werden. Wenn die Flanke erfasst wird, werden darüber hinaus die Positionsdaten, deren Flanke erfasst worden ist, in den Registern 41a der vordersten Stufe gespeichert und die Positionsdaten, die schon in den entsprechenden Registern 41a bis 41n gespeichert sind, werden ausgegeben.
In einem Fall, bei dem es beispielsweise über mehrere Takte hinweg keine Änderung erfolgt, gibt es keinen Signaländerungspunkt (ansteigende Flanke oder abfallende Flanke) in den Positionsdaten, die vom Zeitinterpolator 30 erfasst werden, und deshalb wird kein Flankenzeitablauf in den Positionsdaten erfasst. Deshalb kann die Flankenzeitablaufflanke des Takts, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist, angegeben durch die Positionsdaten, nicht erfasst werden, auch wenn die Positionsdaten, die in den Registern 41a bis 41n gespeichert sind.
Deshalb ist beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Flankenerfassungsschaltung 42 zum Erfassen des Vorhandenseins der Flanke der Positionsdaten, die vom Kodierer 34 erfasst werden, angeordnet, demgemäß werden nur die Positionsdaten, deren Flanke erfasst worden ist, erfolgreich in den Registern 41a bis 41n gespeichert und ausgegeben und der Rückgewinnungstakt wird basierend auf den Positionsdaten erfasst.
Konkret gibt die Flankenerfassungsschaltung 42 die Positionsdaten aus dem Kodierer 34 ein und erfasst das Vorhandensein der Flanke der Positionsdaten. Darüber hinaus wird im Fall, bei dem die Flanke der Positionsdaten erfasst wird, ein Freigabesignal (das in 2 gezeigte "E") an das Register 41a der vordersten Stufe ausgegeben und das Register 41a der vordersten Stufe wird in einen Zustand mit der Möglichkeit zur Eingabe von Daten gebracht.
Wenn andererseits die Flanke der Positionsdaten nicht erfasst wird, gibt die Flankenerfassungsschaltung 42 kein Freigabesignal aus. Deshalb wird in einem Fall, bei dem keine Flanke der Positionsdaten erfasst wird, das Register 41a der vordersten Stufe in einen Zustand mit der Unmöglichkeit der Eingabe gebracht und die Positionsdaten, deren Flanke nicht erfasst wird, werden nicht im Register 41a gespeichert.
Darüber hinaus gibt die Flankenerfassungsschaltung 42 des Weiteren das Freigabesignal in einen Impulsgeber 42a (das in 2 gezeigte "P") ein, wandelt das Signal in Auslösesignale zur Eingabe in die entsprechenden Register 41a bis 41n um, gibt diese Auslösesignale in jeden der Register 41a bis 41n ein und gibt die Positionsdaten, die in den Registern 41a bis 41n gespeichert sind, mit festgelegten Zeitabläufen aus.
Demgemäß werden unter den Positionsdaten, die vom Zeitinterpolator 30 erfasst werden, lediglich die Positionsdaten, deren Flanke, die den Signaländerungspunkt angibt, erfasst worden ist, als die Positionsdaten, die den Verweis auf den Rückgewinnungstakt darstellen, in den Registern 41a bis 41n gespeichert und ausgegeben. Wenn keine Flanke der Positionsdaten erfasst wird, wird die Flanke der Positionsdaten darüber hinaus in einem anschließenden Zyklus erfasst und demgemäß werden die Positionsdaten, die in den entsprechenden Registern 41a bis 41n gespeichert sind, ausgegeben. Da diese Flankenerfassungsschaltung 42 angeordnet ist, kann auch in einem Fall, bei dem keine Flanke der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 erfasst wird, der Rückgewinnungstakt auf der Grundlage der bereits gespeicherten Positionsdaten erfasst werden und ein korrekter Rückgewinnungstakt kann stabil ausgegeben werden.
Wenn die Flankenerfassungsschaltung 42 auf diese Art und Weise erfasst wird und der Rückgewinnungstakt auf der Basis lediglich der Positionsdaten ausgegeben wird, deren Flanke erfasst worden ist, wird der Mittelwert der Positionsdaten darüber hinaus durch die Mittelwertberechnungsschaltung 44 erhalten, die später beschrieben wird, und als Rückgewinnungstakt ausgegeben. In diesem Fall kann der Rückgewinnungstakt, der einen korrekten Zeitablauf angibt, der den tatsächlichen Flankenzeitablauf der Ausgabedaten widerspiegelt, ausgegeben werden.
Der Flankenselektor 43 ist ein Schaltmittel, das mit der Flankenerfassungsschaltung 42 verbunden ist und selektiv die Auslösesignale, die über den Impulsgeber 42a der Flankenerfassungsschaltung 42 in die entsprechenden Register 41a bis 41n eingegeben werden, und den Abtastimpuls umschaltet, der aus der Verzögerungsschaltung 32 des Zeitinterpolators 30 ausgegeben wird.
In einem Fall, bei dem durch die Steuerung der oben beschriebenen Flankenerfassungsschaltung 42 lediglich die Positionsdaten, deren Flanke erfasst worden ist, im Register als der Verweis auf den Rückgewinnungstakt gespeichert werden, und in einem Fall, bei dem über mehrere Takte hinweg keine Flanke der Positionsdaten erfasst wird, vermindern sich die Positionsdaten, die erfasst werden können, und die Periode, in der die Positionsdaten erfasst werden können, ist nicht konstant.
Dann wird beim vorliegenden Ausführungsbeispiel der Flankenselektor 43, der das Schaltmittel aufbaut, auf solche Art und Weise angeordnet, dass die Abtastimpulse mit festgelegten Zeitabläufen in die Register 41a bis 41n eingegeben werden können und die festgelegten Positionsdaten nach und nach ausgegeben werden können, um den Rückgewinnungstakt ungeachtet vom Vorhandensein der Flanke der erfassten Positionsdaten zu erfassen.
Konkret schaltet der Flankenselektor 43 einen Modus (Flanken Synchr. Modus), gezeigt in 2), um das Auslösesignal einzugeben, das aus dem Impulsgeber 42a der oben beschriebenen Flankenerfassungsschaltung 42 ausgegeben wird, und einen Modus (ungefähr kontinuierlicher Modus), um den Abtastimpuls einzugeben, der von der Verzögerungsschaltung 32 des Zeitinterpolators 30 als ein Zeitablaufsignal (Auslösesignal) zum Ausgeben der Positionsdaten ausgegeben wird, die in den Registern 41a bis 41n gespeichert sind.
Darüber hinaus wird dieser Flankenselektor 43 umgeschaltet und der Abtastimpuls der Verzögerungsschaltung 32 wird ausgewählt (kontinuierlicher Modus). Demgemäß werden die Abtastimpulssignale, die aus der Verzögerungsschaltung 32 des Zeitinterpolators 30 mit dem festgelegten Zeitablauf ausgegeben werden, in die Register 41a bis 41n eingegeben und die Positionsdaten können aus den entsprechenden Registern 41a bis 41n ausgegeben werden, ungeachtet dem Vorhandensein der Flankenerfassung. Da kein Freigabesignal in das Register 41a der vordersten Stufe eingegeben wird, werden in diesem kontinuierlichen Modus die Positionsdaten, die im Register 41a der vordersten Stufe gespeichert sind, festgehalten wie sie sind und die Positionsdaten, die aus den Registern 41a bis 41n-1 der vordersten Stufe ausgegeben werden, in den Registern 41b bis 41n der und nach der anschließenden Stufe gespeichert.
Deshalb werden die Positionsdaten der entsprechenden Register 41a bis 41n nach und nach gespeichert und ausgegeben, in einem Fall, bei dem die Flanke der Positionsdaten auf die gleiche Art und Weise erfasst wird, wie bei der oben beschriebenen Flankenerfassungsschaltung 42, und die bereits gespeicherten Positionsdaten des vorherigen Zyklus werden nach und nach ausgegeben und in den Registern der nächsten Stufe gespeichert, in einem Fall, bei dem keine Flanke der Positionsdaten erfasst wird.
In Ergebnis werden die Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf angeben, in diesem Modus nach und nach mit dem Zeitablauf des Abtastimpulses der Verzögerungsschaltung 32 ausgegeben, ungeachtet des Vorhandenseins der Erfassung der Flanke der Positionsdaten.
Der Flankenselektor 43 ist beim vorliegenden Ausführungsbeispiel auf diese Art und Weise angeordnet und demgemäß kann ausgewählt werden, dass keine Positionsdaten aus dem Register 41 als Verweis auf den Rückgewinnungstakt ausgegeben werden (Flanken Synchr. Modus) oder die Positionsdaten des vorherigen Zyklus, die im Register gespeichert sind, ausgegeben werden (kontinuierlicher Modus), in einem Fall, bei dem keine Flanke der Positionsdaten aus dem Zeitinterpolator 30 erfasst wird. Demgemäß werden durch die Verwendung lediglich des tatsächlichen Flankenzeitablaufs der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI lediglich die Positionsdaten ausgewählt, deren Flanke erfasst worden ist (Flanken Synchr. Modus), wenn ein strengerer Funktionstest, eine Jitteranalyse oder dergleichen ausgeführt wird. In einem Fall, bei dem ein Logiktest ausgeführt wird, um die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI selbst aus dem Mittelwert einer bestimmten Periode zu untersuchen, werden zudem die bereits gespeicherten Positionsdaten des vorherigen Zyklus verwendet (kontinuierlicher Modus). Auf diese Art und Weise ist es möglich, selektiv die Positionsdaten gemäß dem Testinhalt und dergleichen anzupassen.
Die Mittelwertberechnungsschaltung 44 gibt die Positionsdaten ein, die von der Vielzahl von Registern 41a bis 41n ausgegeben werden, berechnet den Mittelwert der Flankenzeitabläufe, die durch die entsprechenden Positionsdaten angegeben werden, und gibt den Mittelwert als den Rückgewinnungstakt aus.
Konkret umfasst die Mittelwertberechnungsschaltung 44 folgendes: eine Additionsschaltung 44a, die die Positionsdaten eingibt, die aus den Registern 41a bis 41n ausgegeben werden, und addiert alle Positionsdaten auf; und eine Divisionsschaltung 44b, die das Additionsergebnis der Additionsschaltung 44a durch die Registeranzahl (n) teilt.
Da diese Mittelwertberechnungsschaltung 44 angeordnet ist, wird der Mittelwert der Vielzahl von Positionsdaten, die in den entsprechenden Registern 41a bis 41n gespeichert sind, berechnet und der Mittelwert kann als Rückgewinnungstakt ausgegeben werden.
Demgemäß kann der Rückgewinnungstakt als korrekte und richtige Zeitablaufsignale erhalten werden, die die Flankenzeitabläufe der tatsächlichen Ausgabedaten einer jeden zu vermessenden LSI und den gebündelten Takt widerspiegeln. Auch in einem Fall, bei dem keine Flanke der Ausgabedaten erfasst wird oder die Ausgabedaten durch das Jittern fluktuieren, ist es möglich, einen richtigeren Rückgewinnungstakt auf der Basis des Mittelwerts zu erfassen.
Der Mittelwertselektor 45 ist ein Schaltmittel zum Auswählen eines der Mittelwerte, die aus der Mittelwertberechnungsschaltung 44 ausgegeben werden, und der Positionsdaten, die aus einem der Vielzahl von Registern 41 ausgegeben werden, um den Rückgewinnungstakt auszugeben.
Konkret ist bei diesem Ausführungsbeispiel der Mittelwertselektor 45 selektiv mit der Ausgabeseite der Mittelwertberechnungsschaltung 44 und der Ausgabeseite des Registers 41a der vordersten Stufe verbunden und es kann geschaltet werden, um den Mittelwert der oben beschriebenen Vielzahl von Positionsdaten auszugeben (der in 2 gezeigte Glättungsmodus) oder um die Positionsdaten auszugeben, die aus dem Register 41a der vordersten Stufe ausgegeben werden, d. h. die Positionsdaten, die beim vorliegenden Testzyklus erfasst werden (ungefähr kontinuierlicher Modus).
Demgemäß können die Positionsdaten, die aus dem speziellen Register (Register-41a der vordersten Stufe beim vorliegenden Ausführungsbeispiel) ausgegeben werden, und der Mittelwert der Positionsdaten der Vielzahl von Registern selektiv als der Rückgewinnungstakt, der aus dem Digitalfilter 40 ausgegeben wird, ausgegeben werden und es ist möglich, selektiv den Rückgewinnungstakt gemäß den Testinhalten und dergleichen zu verwenden. Der Mittelwert der Vielzahl von Registern wird beispielsweise als Rückgewinnungstakt ausgegeben (Glättungsmodus) in einem Fall, bei dem der Funktionstest in Hinblick auf die Fluktuationen des Zeitablauf durch das Jittern der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI ausgeführt wird. Die Positionsdaten, die aus einem Register (Register 41a der vordersten Stufe) unter der Vielzahl von Registern ausgegeben werden, werden als der Rückgewinnungstakt (Glättungsmodus) verwendet in einem Fall, bei dem der Logiktest ausgeführt wird, um die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI ungeachtet der Fluktuationen des Zeitablaufs durch das Jittern zu untersuchen. Der Rückgewinnungstakt kann auf diese An und Weise selektiv verwendet werden.
Die Zeitablaufkorrekturschaltung 46 addiert den festgelegten Korrekturwert zu den Positionsdaten, die über den Mittelwertselektor 45 ausgegeben werden und korrigiert den Flankenzeitablauf, der durch die Positionsdaten angegeben wird, um den Rückgewinnungstakt auszugeben.
Konkret ist die Zeitablaufkorrekturschaltung 46, wie es in 2 gezeigt ist, mit der Ausgabeseite des Mittelwertselektors 45 verbunden und addiert den festgelegten Korrekturwert, der in einem Korrekturwertregister (Tsd Thd Reg) 46a gespeichert ist, zu den Positionsdaten, die vom Mittelwertselektor 45 ausgegeben werden.
Die Positionsdaten, die von der Zeitablaufkorrekturschaltung 46 ausgegeben werden, sind ein Rückgewinnungstakt, der schließlich aus dem Digitalfilter 40 ausgegeben wird.
Der Korrekturwert, der im Korrekturwertregister 46a gespeichert ist, ist ein Einstellwert, der beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Einstellzeit und die Festhaltezeit der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 einstellt. Im Allgemeinen muss die Einstellzeit und die Festhaltezeit der Ausgabedaten im Hinblick auf den Takt beachtet werden, um die Ausgabedaten durch das Taktsignal stabil zu erfassen. Deshalb wird beim vorliegenden Ausführungsbeispiel der Korrekturwert, der den Einstellwert der Einstellzeit und der Festhaltezeit angibt, im Korrekturwertregister 46a gespeichert und der Einstellwert der Einstellzeit und der Festhaltezeit kann zu den Positionsdaten, die aus einem Register (Register 41a der vordersten Stufe) ausgegeben werden, oder dem Mittelwert der Positionsdaten aller Register 41a bis 41n in der Zeitablaufkorrekturschaltung 46 addiert werden.
Hier kann der Einstellwert der Einstellzeit und der Festhaltezeit gemäß der Auflösung der Pegeldaten eingestellt werden, die durch den Zeitinterpolator 30 erfasst werden.
Wenn beispielsweise die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 durch acht Bits von Abtastimpulsen erfasst werden, können die Daten als ein Wert zum Verschieben des Flankenzeitablaufs der Positionsdaten um die beliebige Anzahl von Bits in einem Bereich der acht Bits von Abtastimpulsen festgelegt werden. Konkret kann "+1", " 2" oder dergleichen als der Einstellwert festgelegt werden und der Flankenzeitablauf der Positionsdaten kann beispielsweise in einem Bereich von acht Bits von Abtastimpulsen durch diesen Einstellwert um ein Bit verzögert, um zwei Bit beschleunigt oder auf andere Weise korrigiert werden.
Demgemäß kann beim vorliegenden Ausführungsbeispiel der Rückgewinnungstakt, korrigiert in einen richtigen Flankenzeitablauf die Einstellzeit oder Festhaltezeit der Ausgabedaten in Betracht ziehend, ausgegeben werden.
Der Rückgewinnungstakt, der aus dieser Zeitablaufkorrekturschaltung 46 ausgegeben wird, wird als das Auswahlsignal in den Selektor 50 eingegeben und. die Zeitserienpegeldaten, die aus dem Zeitinterpolator 30 ausgegeben werden, können durch den Rückgewinnungstakt, korrigiert in einen richtigeren Zeitablauf, erfasst werden.
Der Selektor 50 ist eine Auswahlschaltung, die die Zeitserienpegeldaten eingibt, die aus den Flipflops 31a bis 31n des Zeitinterpolators 30 als Eingabedaten ausgegeben werden, und die den Rückgewinnungstakt eingibt, der aus dem Digitalfilter 40 als ein Auswahlsignal ausgegeben wird. Darüber hinaus wählt die Schaltung die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 mit dem Zeitablauf des Takts, gebündelt auf die Ausgabedaten, aus und gibt die Daten als zu vermessende Daten aus, um zu beurteilen, ob die zu vermessenden LSI 1 besteht/versagt.
Konkret ist der Selektor 50 aus einem Multiplexer und dergleichen aufgebaut und mit der Vielzahl von Flipflops 31a bis 31n auf einer Dateneingabeseite verbunden und ein Auswahlsignalanschluss davon ist mit der Ausgabeseite der Zeitablaufkorrekturschaltung 46 des Digitalfilters 40 verbunden. Demgemäß werden im Selektor 50 einzelne Daten unter den Zeitserienpegeldaten, die als die Eingabedaten aus den Flipflops 31a bis 31n eingegeben werden, unter Verwendung des Rückgewinnungstakts als das Auswahlsignal gewählt.
Darüber hinaus werden die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1, die durch den Selektor 50 ausgewählt werden, an die Mustervergleichseinheit 14 ausgegeben und durch die Mustervergleichseinheit 14 mit einem festgelegten Erwartungswert verglichen und das Vergleichsergebnis wird ausgegeben.
Wie es oben beschrieben wurde, können beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 mit dem Flankenzeitablauf, der durch den Rückgewinnungstakt angegeben wird, ausgegeben aus dem Digitalfilter 40, aufgenommen werden und es kann eine Quellsynchronfunktion realisiert werden, die in der Lage ist, das Taktsignal, das auf die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 gebündelt ist, herauszunehmen und die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI mit, dem richtigen Zeitablauf des Rückgewinnungstakts aufzunehmen (auszustanzen), der nicht durch das Vorhandensein der Flanke der Ausgabedaten oder durch das Jittern beeinflusst wird.
Deshalb kann der LSI-Tester 10 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel als ein Testgerät für den Funktionstest der zu vermessenden LSI 1 verwendet werden. Speziell ein Funktionstest einer LSI vom Typ mit Takt/Daten-Bündelung, wie etwa SERDES, bei dem der Takt auf die Ausgabedaten gebündelt ist, und eine Ausgabe kann leicht und korrekt ausgeführt werden, obwohl es bisher schwierig oder unmöglich war, den Test auszuführen.
Quellensynchronoperation
Als nächstes wird eine Quellensynchronoperation beschrieben werden, bei der Ausgabedaten mit einem Zeitablauf eines gebündelten Takts in einer Taktrückgewinnungsschaltung eines Halbleitertestgeräts gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel, wie es oben beschrieben wurde, erfasst werden.
Zuerst wird ein festgelegtes Testmustersignal in eine zu vermessende LSI 1 aus einer Mustererzeugungseinheit 11 und einer Signalformbildungseinheit 12 (siehe 1) eingegeben, die in einem LSI-Tester 10 angeordnet sind, und festgelegte Ausgabedaten entsprechend einem Mustersignal werden aus der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben. Es gilt zu beachten, dass beim vorliegenden Ausführungsbeispiel. die zu vermessende LSI 1 eine LSI vom Typ mit Takt/Daten-Bündelung darstellt und deshalb die Ausgabedaten, die entsprechend dem Mustersignal ausgegeben werden, Ausgabedaten sind, auf die der Takt gebündelt ist.
Die Ausgabedaten, die aus der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden, werden in die jeweilige Taktrückgewinnungsschaltung 20 eingegeben, die mit dem jeweiligen Ausgabeanschluss verbunden ist.
Die Ausgabedaten, die in die jeweilige Taktrückgewinnungsschaltung 20 eingegeben werden, werden in einen Pegelkomparator 13 eingegeben, mit einem Pegel einer Vergleichsspannung verglichen und danach in einen Zeitinterpolator 30 (siehe 2) eingegeben.
Das Signal (Ausgabedaten auf die der Takt gebündelt ist), das in den Zeitinterpolator 30 eingegeben wird, wird zuerst in eine Vielzahl von Flipflops 31a bis 31n eingegeben, die parallel geschaltet sind.
Darüber hinaus werden Abtastimpulse in Taktanschlüsse der entsprechenden Flipflops 31a bis 31n eingegeben, in die die Ausgabedaten durch eine Verzögerungsschaltung 32 in konstanten Zeitablaufintervallen eingegeben werden.
Demgemäß werden die Ausgabedaten erfasst und als Zeitserienpegeldaten aus den entsprechenden Flipflops 31a bis 31n ausgegeben.
Die Zeitserienpegeldaten, die aus den Flipflops 31a bis 31n ausgegeben werden, werden zuerst über XOR-Schaltungen 33a bis 33n in einen Kodierer 34 eingegeben und kodiert.
Die Pegeldaten, die durch den Kodierer 34 kodiert werden, sind Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf (ansteigende oder abfallende Flanken) des Takts, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist. Darüber hinaus werden diese Positionsdaten in einen Digitalfilter 40 eingegeben und als ein Rückgewinnungstakt erfasst, der in einen richtigen Zeitablauf korrigiert ist.
Darüber hinaus werden die Zeitserienpegeldaten, die aus den Flipflops 31a bis 31n ausgegeben werden, als solche als Eingabedaten in einen Selektor 50 eingegeben.
Im Digitalfilter 40 werden die Positionsdaten, die aus dem Kodierer 34 ausgegeben werden, in ein Register 41a der vordersten Stufe eingegeben, und nach und nach in Register 41b bis 41n der nächsten Stufen eingegeben.
Zuerst werden die Positionsdaten in eine Flankenerfassungsschaltung 42 eingegeben, um das Vorhandensein einer Flanke zu erfassen. An diesem Zeitpunkt wird durch das Schalten eines Flankenselektors 43 ein Modus (der in 2 gezeigte Flanken Synchr. Modus), in dem ein Freigabesignal, das aus der Flankenerfassungsschaltung 42 ausgegeben wird, als ein Zeitablaufsignal (Auslösesignal) zum Ausgeben der Positionsdaten, die in den Registern 41a bis 41n gespeichert sind, eingegeben wird, oder ein Modus (ungefähr kontinuierlicher Modus), in dem ein Abtastimpulssignal eingegeben wird, das von der Verzögerungsschaltung 32 des Zeitinterpolators 30 ausgegeben wird, ausgewählt.
Wenn der Flanken Synchr. Modus ausgewählt wird, gibt die Flankenerfassungsschaltung 42 die Positionsdaten aus dem Kodierer 34 ein, um das Vorhandensein der Flanke zu erfassen, und gibt das Freigabesignal in das Register 41a der vordersten Stufe ein, in einem Fall, bei dem die Flanke erfasst wird. Demgemäß sind lediglich die Positionsdaten, deren Flanke erfasst worden ist, Testgerät im Register 41a der vordersten Stufe.
Darüber hinaus wandelt die Flankenerfassungsschaltung 42 das Freigabesignal über einen Pulsgeber 42a in ein Auslösesignal um, gibt dieses Auslösesignal in die jeweiligen Register 41a bis 41n ein und gibt die Positionsdaten aus, die in den entsprechenden Registern 41a bis 41n gespeichert sind.
Demgemäß werden unter den Positionsdaten, die durch den Zeitinterpolator 30 erfasst werden, lediglich die Positionsdaten, deren Flanke, die den Signaländerungspunkt angibt, erfasst worden ist, nach und nach als die Positionsdaten, die den Verweis auf den Rückgewinnungstakt darstellen, in den Registern 41a bis 41n gespeichert und ausgegeben. Wenn keine Flanke der Positionsdaten erfasst wird, wird die Flanke der Positionsdaten im nachfolgenden Zyklus erfasst und demgemäß werden die Positionsdaten, die in den entsprechenden. Registern 41a bis 41n gespeichert sind, ausgegeben.
Wenn andererseits kontinuierlicher Modus ausgewählt wird, werden Abtastimpulssignale in Register 41a bis 41n aus der Verzögerungsschaltung 32 des Zeitinterpolators 30 eingegeben, ungeachtet des Vorhandenseins der Flankenerfassung in der Flankenerfassungsschaltung 42.
Wenn die Flanke der Positionsdaten in den entsprechenden Registern 41a bis 41n erfasst wird, werden die Positionsdaten darüber hinaus nach und nach auf die gleiche Art und Weise gespeichert und ausgegeben, wie bei der oben beschriebenen Flankenerfassungsschaltung 42. Wenn keine Flanke der Positionsdaten erfasst wird, werden die bereits gespeicherten Positionsdaten des vorherigen Zyklus ausgegeben und in das Register der nächsten Stufe gespeichert.
Im Ergebnis werden die Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf angeben, kontinuierlich ausgegeben, in den entsprechenden Registern 41a bis 41n gespeichert und mit dem Zeitablauf des Abtastimpulses der Verzögerungsschaltung 32 ausgegeben, ungeachtet des Vorhandenseins der Flankenerfassung der Positionsdaten.
Die Positionsdaten, die aus den Registern 41a bis 41n ausgegeben werden, werden in eine Mittelwertberechnungsschaltung 44 eingegeben, um einen Mittelwert der Flankenzeitabläufe zu berechnen, die durch die entsprechenden Positionsdaten angegeben werden.
Darüber hinaus wird durch Umschalten eines Mittelwertselektors 45 umgeschaltet, um den Mittelwert auszugeben, der von der Mittelwertberechnungsschaltung 44 ausgegeben wird (Glättungsmodus), oder um die Positionsdaten aus dem Register 41a der vordersten Stufe als solche auszugeben (Erfassungsmodus), und einzelne der Positionsdaten werden an eine Zeitablaufkorrekturschaltung 46 ausgegeben.
Die Zeitablaufkorrekturschaltung 46 addiert Einstellwerte (Korrekturwerte) einer Einstellzeit oder einer Festhaltezeit, die in einem Korrekturwertregister 46a gespeichert sind, und gibt Positionsdaten als ein Rückgewinnungstakt aus, der in einen richtigen Zeitablauf korrigiert wurde.
Darüber hinaus wird der Rückgewinnungstakt, der aus dieser Zeitablaufkorrekturschaltung 46 ausgegeben wird, als ein Auswahlsignal in einen Selektor 50 eingegeben.
Der Selektor 50 wählt einzelne Daten aus den Zeitserienpegeldaten aus, die die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 angeben, unter Verwendung des Rückgewinnnungstakts, der aus den Positionsdaten des richtigen Flankenzeitablaufs aufgebaut ist, als dem Auswahlsignal, und gibt die Daten als zu vermessenden Daten aus, zum Beurteilen, ob die zu vermessende LSI 1 besteht/versagt.
Die Ausgabedaten, die vom Selektor 50 ausgegeben werden, werden in die Mustervergleichseinheit 14 eingegeben und mit festgelegten Erwartungswertdaten verglichen, die aus der Mustererzeugungseinheit im Tester ausgegeben werden, und das Vergleichsergebnis wird ausgegeben.
Darüber hinaus wird durch das Vergleichsergebnis erfasst, ob die Ausgabedaten mit den Erwartungswerten übereinstimmen/nicht übereinstimmen, um zu beurteilen, ob die zu vermessende LSI 1 zufrieden stellend ist oder nicht (Bestehen/Versagen). Das heißt, die Beurteilung des Bestehens wird ausgeführt, wenn die Ausgabe des Selektors 50 mit dem Erwartungswert übereinstimmt, und die Beurteilung des Versagens wird im Fall der Nichtübereinstimmung ausgeführt.
Beispiel
Ein konkretes Beispiel wird im Folgenden unter Bezugnahme auf 2 beschrieben.
3 ist ein Zeitablaufdiagramm, das ein Beispiel in einem Fall zeigt, bei dem Ausgabedaten einer zu vermessenden LSI mit einem Zeitablauf eines gebündelten Takts in einer Taktrückgewinnungsschaltung eines Halbleitertestgeräts gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erfasst werden.
Das in dieser Figur gezeigte Beispiel ist ein Fall, bei dem ein Zeitinterpolator 30 einer jeden Taktrückgewinnungsschaltung 20 acht Flipflops 31a bis 31n umfasst und Ausgabedaten aus einer zu vermessenden LSI 1 als Pegeldaten erfasst, die die Bitzahl "8" aufweisen. Deshalb umfasst ein Selektor 50, der diese Ausgabedaten auswählt, eine 8-1 Typ MUX oder dergleichen. Der Zeitinterpolator 30 umfasst sieben XOR-Schaltungen 33a bis 33n, gibt sieben Bits an Pegeldaten in einen Kodierer 34 ein und gibt drei Bits an Positionsdaten aus.
Darüber hinaus umfasst ein Digitalfilter 40 einer jeden Taktrückgewinnungsschaltung 20 acht Register 41a bis 41n, ein Flankenselektor 43 wird auf kontinuierlichen Modus geschaltet und ein Mittelwertselektor 46 wird auf Glättungsmodus geschaltet.
Zuerst wenden im Hinblick auf Ausgabedaten (das in 3 gezeigte Din 1), die aus der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden, Flankenzeitabläufe durch acht Bits an Abtastimpulsen (das in 3 gezeigte STRB) durch acht Flipflops 31a bis 31n erfasst.
Bei dem in 3 gezeigten Beispiel befindet sich der Flankenzeitablauf, mit dem die Ausgabedaten von "L" auf "H" umschlagen, oder der Flankenzeitablauf mit dem die Daten von "L" auf "H" umschlagen, in der folgenden Position auf der Grundlage des fünften Bit von acht Bits von Abtastimpulsen (siehe Din 1 von 3).
–2" → keine Flanke" → keine Flanke" "+1" → –3" → keine Flanke" → "keine Flanke" → "+3" → ...
Darüber hinaus werden diese Ausgabedaten zuerst in Flipflops 31a bis 31n eingegeben und beispielsweise Pegeldaten von "01111111" (fünfter Zyklus von 3: "H" aus einer Position von Bit Nummer "–3") oder Pegeldaten von "11110000" (neunter Zyklus von 3: "L" aus einer Position von Bit Nummer "0") werden erfasst.
Diese Pegeldaten werden beispielsweise in den XOR-Schaltungen 33a bis 33n in "0000001" oder "0001000" umgewandelt, des Weiteren in den Kodierer 34 eingegeben und in Positionsdaten (beispielsweise "001"), das das Bit Nummer "–3" angibt oder Positionsdaten (beispielsweise "100"), das das Bit Nummer "0" angibt kodiert.
Demgemäß sind die Zeitablaufdaten, die aus dem Zeitinterpolator 30 ausgegeben werden, wie folgt (siehe die in 3 gezeigte T.I. Ausgabe). –2" → "..." → "..." → "+1" → "–3" → "..." → "..." →"+3" →
Diese Zeitablaufdaten werden nach und nach in die Register 41a bis 41n des Digitalfilters 40 eingegeben.
Da durch den Flankenselektor 43 kontinuierlicher Modus gewählt ist, werden die Positionsdaten in einem Fall ausgegeben, in dem die Flanke der Positionsdaten erfasst wird, die Positionsdaten des vorhergehenden Zyklus wird ausgegeben in einem Fall, bei dem keine Flanke erfasst wird, und die folgenden Positionsdaten werde nach und nach in den Registern 41a bis 41n aus dem Register 41a der vordersten Stufe gespeichert und ausgegeben (siehe den kontinuierlichen Modus in 3). "–2" → "–2" → "–2" → "+1" → "–3" → "–3" → "–3" → "+3" → .....,
Da der Mittelwertselektor 46 im Digitalfilter 40 Glättungsmodus auswählt, wird darüber hinaus ein Mittelwert von acht Positionsdaten, die aus acht Registern ausgegeben werden, d. h. Flankenzeitabläufe, die durch Daten von acht Zyklen vor dem bestehenden Testzyklus angegeben werden, berechnet und der Mittelwert wird wie folgt ausgegeben (die in 3 gezeigte Glättung (# von AVG. = 8)). "0" → "0" → "0" → "0" → "–1" → "–1" → "–2" → "–1"
Bei dem Beispiel, das in 3 gezeigt ist, wenn zwei Bits in acht Bits von Abtastimpulsen als die Einstellzeit aufaddiert werden, sind die korrigierten Positionsdaten wie folgt (siehe das in 3 gezeigte Tsd Thd Reg (= +2)). "+2" → "+2" → "+2" → "+2" → "+1" → "+1" → "0" → "+1" → .....
Darüber hinaus werden die korrigierten Positionsdaten als der Rückgewinnungstakt (der in 3 gezeigte Rückgewinnungstakt) ausgegeben und in den Selektor 50 eingegeben.
Im Selektor 50 werden beispielsweise Pegeldaten von "01111111" ("H" aus der Position von Bit Nummer "–3") oder Pegeldaten von "11110000" ("L" aus der Position von Bit Nummer "0"), die aus den Flipflops 31a bis 31n des Zeitinterpolators 30 ausgegeben werden, in Eingabeanschlüsse eingegeben.
Darüber hinaus wird der Rückgewinnungstakt als ein Auswahlsignal in den Selektor 50 aus dem Digitalfilter 40 eingegeben.
Demgemäß werden im Selektor 50 Daten des Eingabeanschlusses entsprechend dem Bit Nummer "+2", angegeben durch den Rückgewinnungstakt, ausgewählt., (ausgestanzt), beispielsweise in einem ersten Zyklus, gezeigt in 3, unter Verwendung des Rückgewinnungstakts als dem Auswahlsignal, und im Ergebnis werden Daten von "H" aus dem Selektor 50 ausgegeben (das in 3 gezeigte Dout1).
Darüber hinaus werden Daten (das in 3 gezeigte Dout1), die aus dem Selektor 50 ausgegeben werden, mit einem festgelegten Erwartungswert (das in 3 gezeigte Exp) in der Mustervergleichsschaltung 14 verglichen und das Ergebnis wird in einem Ausfallanalysespeicher 15 gespeichert (das in 3 gezeigte Bestehen/Versagen).
Ein Fluss von Daten ist in Tabelle 1 gezeigt, in der Daten des ersten, in 3 gezeigten Zyklus durch den Selektor ausgewählt werden. Tabelle 1
Hier, im achten, in 3 gezeigten Zyklus, geben die Ausgabedaten ("H"); die mit dem Zeitablauf des Bits Nummer "+1", gezeigt durch den Rückgewinnungstakt, erfasst und ausgegeben werden, "Versagen" im Hinblick auf die Erwartungswertdaten ("L") an.
Das ist ein Einstellfehler, der in einem Fall erzeugt wird, bei dem ein Jittern der Ausgabedaten dieses Zyklus zunimmt und der Flankenzeitablauf der Ausgabedaten größer ist als der Rückgewinnungstakt.
Wenn die Ausgabendaten durch den Rückgewinnungstakt aufgenommen (ausgestanzt) werden, der auf diese Art und Weise einen richtigen Zeitablauf angibt, kann der Einstellfehler, der in dem Fall von Fluktuationen der Ausgabedaten durch das Jittern erzeugt wird, erfasst werden.
Es gilt zu. beachten, dass beim vorliegenden Ausführungsbeispiel, wenn der Einstellwert ("+2") der Einstellzeit als der Korrekturwert des Rückgewinnungstakts addiert wird, der Einstellfehler erfasst werden kann. Wenn jedoch der Einstellwert der Festhaltezeit als der Korrekturwert addiert wird, wird der Rückgewinnungstakt auf einer Festhalteseite verzögert und ein Festhaltefehler der Ausgabedaten können erfasst werden.
Natürlich kann nicht nur der Zeitablauffehler sondern auch ein Logikfehler, bei dem die Logik der Ausgabedaten klar unterschiedlich von der der Erwartungswertdaten ist, beurteilt werden.
Wie es oben beschrieben wurde, umfasst gemäß dem Halbleitertestgerät des vorliegenden Ausführungsbeispiels die Taktrückgewinnungsschaltung 20, die die Quellensynchronfunktion aufweist, zuerst den Zeitinterpolator 30 und demgemäß können die Ausgabedaten, auf die der Takt, der von der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben wird, gebündelt ist, als die Zeitserienpegeldaten erfasst werden.
Diese Zeitserienpegeldaten geben den Flankenzeitablauf an, der der Signaländerungspunkt der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 ist, und dieser Flankenzeitablauf gibt den Flankenzeitablauf des Takts an, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist.
Wenn die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 in den Zeitinterpolator 30 eingegeben werden und die Pegeldaten und Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf angeben, erfasst werden, kann jedoch der Takt, der auf die Ausgabedaten gebündelt ist, herausgenommen werden.
Wenn die Taktrückgewinnungsschaltung 20 beim vorliegenden Ausführungsbeispiel des Weiteren den Digitalfilter umfasst, werden darüber hinaus die Positionsdaten, die aus dem Zeitinterpolator 30 ausgegeben werden, festgehalten und gespeichert und der Rückgewinnungstakt, der in den korrekten und richtigen Flankenzeitablauf korrigiert wurde, kann ausgegeben werden. Das heißt, wenn die Positionsdaten, die durch den Zeitinterpolator 30 erfasst werden, in den Digitalfilter 40 eingegeben und festgehalten werden, kann der Rückgewinnungstakt, korrigiert in korrektem und richtigem Zeitablauf, der den Flankenzeitablauf des gebündelten Takts angibt, ausgegeben werden.
Demgemäß kann der Rückgewinnungstakt, der den Flankenzeitablauf des gebündelten Takts angibt, ausgegeben werden, auch wenn keine Flanke der Ausgangsdaten der zu vermessenden LSI 1 erfasst wird oder die Ausgangsdaten durch das Jittern fluktuieren.
Darüber hinaus umfasst das vorliegende Ausführungsbeispiel den Selektor 50 zur Eingabe des Rückgewinnungstakts als das Auswahlsignal und demgemäß werden die Zeitserienpegeldaten, die durch den Zeitinterpolator 30 erfasst werden, mit dem Zeitablauf des Rückgewinnungstakts ausgestanzt und können als die zu vermessenden Daten zum Beurteilen des Bestehens/Versagens ausgegeben werden, die mit den festgelegten Erwartungswertdaten zu vergleichen sind.
Demgemäß ist es möglich, die Quellensynchronfunktion zu realisieren, die in der Lage ist, das Taktsignal herauszunehmen, das auf den Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 gebündelt ist, und die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1. mit dem richtigen Zeitablauf des Rückgewinnungstakts aufzunehmen, der nicht durch das Vorhandensein der Flanke der Ausgabedaten oder des Jitterns beeinflusst wird.
Deshalb kann der LSI-Tester 10 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel als das Testgerät für den Funktionstest der zu vermessenden LSI 1 verwendet werden und kann auch leicht und korrekt einen Funktionstest einer zu vermessenden LSI vom Typ mit Takt/Daten-Bündelung ausführen, wie etwa SERDES, bei der der Takt auf die Ausgabedaten gebündelt ist und ausgegeben wird, obwohl es bisher schwierig oder unmöglich gewesen ist, den Test auszuführen.
Darüber hinaus können beim vorliegenden Ausführungsbeispiel der Zeitinterpolator 30 und der Digitalfilter 40, die die Taktrückgewinnungsschaltung 20 aufbauen, leicht unter Verwendung von bestehenden Mitteln wie etwa einer sequentiellen Schaltung oder einer Verzögerungsschaltung, eines Kodierers und eines Registers aufgebaut werden. Demgemäß kann der LSI-Tester 10 durch einen einfachen Aufbau ohne Verkomplizieren oder Vergößern des Testers oder Steigern der Kosten realisiert werden.
Darüber hinaus können, gemäß der erfindungsgemäßen Taktrückgewinnungsschaltung, die die sequentielle Schaltung, die Verzögerungsschaltung und Register auf diese Art und Weise umfasst, wenn die Zahl der sequentiellen Schaltungen oder der Register, oder der Verzögerungsbetrag der Verzögerungsschaltung beliebig verändert wird, die Bitbreite (die Zahl der sequentiellen Schaltungen und der Register) oder die Auflösung (der Verzögerungsbetrag der Verzögerungsschaltung) der Zeitserienpegeldaten oder der Positionsdaten im Zeitinterpolator und im Digitalfilter auf einen gewünschten Wert eingestellt werden. Demgemäß sind verschiedene Einstellungen gemäß einer Datenrate, einer Jitterbreite und dergleichen möglich und es ist möglich, ein Hableitertestgerät zu realisieren, das jeden LSI handhaben kann und das Merzweckeigenschaften und Komfort aufweist.
zweites Ausführungsbeispiel
Als nächstes wird unter Bezugnahme auf 4 ein zweites Ausführungsbeispiel beschrieben werden.
4 ist ein Blockdiagramm, das Details einer Taktrückgewinnungsschaltung zeigt, die im Halbleitertestgerät gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung angeordnet ist.
Wie es in der Figur gezeigt ist, ist das Halbleitertestgerät gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel eine Modifikation des oben beschriebenen ersten Ausführungsbeispiels und eine Taktrückgewinnungsschaltung 20 im ersten Ausführungsbeispiel umfasst darüber hinaus eine Jittererfassungsschaltung 60 und eine Jitterverteilungsschaltung 70.
Deshalb sind andere Bauteile gleich wie jene des ersten Ausführungsbeispiels, wobei in der Zeichnung die gleichen Bauteile mit den gleichen Bezugzahlen bezeichnet sind, wie im ersten Ausführungsbeispiel, und die detaillierte Beschreibung weggelassen wird.
Jittererfassungsschaltung
Eine Jittererfassungsschaltung 60 gibt Positionsdaten ein, die Verweise auf Rückgewinnungstakte sind, die von den Registern 41a bis 41n eines Digitalfilters ausgegeben werden, und erfasst eine Phasendifferenz zwischen Flankenzeitabläufen, die durch die Positionsdaten angegeben werden, um dadurch die Phasendifferenz als ein Jittern von Ausgabedaten einer zu vermessenden LSI 1 zu erfassen und zu analysieren.
Konkret umfasst die Jittererfassungsschaltung 60 eine Subtraktionsschaltung 61, ein Jittergrenzwertregister 62 und eine Vergleichsbeurteilungsschaltung 63.
Die Subtraktionsschaltung 61 gibt zwei Kontrastpositionsdaten aus dem Digitalfilter 40 ein und errechnet eine Phasendifferenz zwischen den Flankenzeitabläufen, die durch die entsprechenden Positionsdaten angegeben werden.
Die Positionsdaten (Rückgewinnungstakt), die durch den Digitalfilter 40 erfasst werden, geben den Flankenzeitablauf der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 an, unterzieht die Positionsdaten einer Subtraktion und kann die Phasendifferenz zwischen den Positionsdaten erfassen, d. h. eine Jitterbreite der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1.
Wenn beispielsweise die Ausgabedaten, die aus der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden, durch acht Bits von Abtastimpulsen erfasst werden (siehe 3), werden acht Typen ("keine Flanke, –3, –2, –1, 0, +1, +2, +3") von Positionsdaten, die die Flankenzeitabläufe angeben, erfasst. Wenn die Positionsdaten einer Subtraktion unterzogen werden, gibt es 13 Typen von Phasendifferenzdaten ("–6, –5, –4, –3, –2, –1, 0, +1, +2, +3, +4, +5, +6").
Wenn Positionsdaten beispielsweise angeben, dass die Position des Flankenzeitablaufs Bit Nummer " 2" ist und Positionsdaten, die Bit Nummer "+1" angeben, in die Subtraktionsschaltung 61 eingegeben werden und diese Positionsdaten einer Subtraktion unterzogen werden, ergibt sich darüber hinaus das folgende:
"+1" – "–2" = "+3", und eine Phasendifferenz von "+3" der Positionsdaten wird errechnet.
Die Phasendifferenz, die in der Subtraktionsschaltung 61 auf diese Art und Weise errechnet wird, gibt die Jitterbreite der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 an, die Phasendifferenz wird erfasst und demgemäß wird die Jitteranalyse der zu vermessenden LSI 1 ausgeführt.
Hier, beim vorliegenden Ausführungsbeispiel, ist die Subtraktionsschaltung 61 mit der Ausgabeseite des Registers 41a der vordersten Stufe des Digitalfilters 40 verbunden und ist selektiv mit der Ausgabeseite der Register 41b bis 41n der nachfolgenden Stufen oder der Mittelwertberechnungsschaltung 44 über einen Jitterselektor 61a verbunden.
Demgemäß kann ein Fall, bei dem die Positionsdaten, die aus dem Register 41a der vordersten Stufe ausgegeben werden, und die Positionsdaten von einer der Register 41b bis 41 der nachfolgenden Stufen in die Subtraktionsschaltung 61 eingegeben werden und der Subtraktion unterzogen werden (das in 4 gezeigte Cycle to Cycle Jitter), und ein Fall, bei dem die Positionsdaten des Registers 41a der vordersten Stufe und die Positionsdaten, die den Mittelwert angeben, der durch die Mittelwertberechnungsschaltung 44 berechnet wurde, der Subtraktion unterzogen werden (das in 4 gezeigte Cycle to Smoothing Jitter), umgeschaltet werden.
Das Jitterbegrenzungswertregister 62 speichert einen festgelegten Jitterbegrenzungswert, der mit der Phasendifferenz verglichen werden soll, die von der Subtraktionsschaltung 61 errechnet wird.
Die Vergleichsbeurteilungsschaltung 63 vergleicht die Phasendifferenz, die von der Subtraktionsschaltung 61 errechnet wird, mit dem Jitterbegrenzungswert, der im Jitterbegrenzungswertregister 62 gespeichert ist, um Zufriedenstellung zu beurteilen (Bestehen/Versagen). Beispielsweise wird in einem Fall, bei dem die Phasendifferenz, die von der Subtraktionsschaltung 61 errechnet wird, den Jittergrenzwert überschreitet, "Versagen" geurteilt, und in einem Fall, bei dem die Phasendifferenz nicht den Jittergrenzwert überschreitet, "Bestehen" geurteilt.
Darüber hinaus wird das Beurteilungsergebnis der Vergleichsbeurteilungsschaltung 63 im Ausfallanalysespeicher 15 (siehe 1) auf die gleiche Art und Weise gespeichert, wie beim Beurteilungsergebnis des Bestehens/Versagens der Mustervergleichsschaltung 14, die beim ersten Ausführungsbeispiel beschrieben wurde.
Es gilt zu beachten, dass beim vorliegenden Ausführungsbeispiel, wie es in 4 gezeigt ist, ein Eingabeabschnitt im Ausfallanalysespeicher 15 einen Beurteilungsselektor (JudgeSel) 15a umfasst, und ein Modus (der in 4 gezeigte Daten Exp Modus), in dem das Beurteilungsergebnis des Bestehens/Versagens der Mustervergleichsschaltung 14 im Ausfallanalysespeicher 15 gespeichert wird, und ein Modus (beinahe Jitterausfallmodus), in dem das Beurteilungsergebnis der Vergleichsbeurteilungsschaltung 63 gespeichert wird, umgeschaltet werden kann.
Jitterverteilungsschaltung
Eine Jitterverteilungsschaltung 70 gibt Positionsdaten, die aus einem Zeitinterpolator 30 ausgegeben werden, und einen entsprechenden Rückgewinnungstakt ein, der aus einem Digitalfilter ausgegeben wird, erfasst eine Phasendifferenz zwischen den Flankenzeitabläufen, die durch die Positionsdaten und den Rückgewinnungstakt angegeben werden, erfasst eine Verteilung der Jitterphasendifferenzen und gibt Verteilungsdaten des Jitterns von Ausgabedaten einer zu vermessenden LSI 1 aus.
Darüber hinaus gibt die Jitterverteilungsschaltung 70 die Phasendifferenz zwischen Rückgewinnungstakten ein, erfasst durch die Jittererfassungsschaltung 60, erfasst eine Verteilung der Phasendifferenzen und gibt Verteilungsdaten des Jitterns von-Ausgabedaten einer zu vermessenden LSI 1 aus.
Konkret umfasst die Jitterverteilungsschaltung 70 folgendes: eine Subtraktionsschaltung 71; einen Dekodierer 72; und Zähler 73 (73a bis 73n).
Die Subtraktionsschaltung 71 gibt zwei Positionsdaten ein, um die Phasendifferenz zwischen den Flankenzeitabläufen zu errechnen, die durch entsprechende Positionsdaten angegeben werden, auf die gleiche An und Weise, wie bei der Subtraktionsschaltung 61 der Jittererfassungsschaltung 60.
Hier, wie es in 4 gezeigt ist, ist diese Subtraktionsschaltung 71 mit der Ausgabeseite des Kodierers 34 des Zeitinterpolators 30 verbunden und ist selektiv mit der Ausgabeseite des Digitalfilters 40 über einen Daten/Takt-Selektor 71a verbunden.
Demgemäß kann bei der Subtraktionsschaltung 71 ein Fall (das in 4 gezeigte Data-Clk), bei dem die Positionsdaten, die aus dem Kodierer 34 des Zeitinterpolators 30 ausgegeben werden, und der Rückgewinnungstakt, der aus dem Digitalfilter 40 ausgegeben wird, einer Subtraktion unterzogen wird, und ein Fall (das in 4 gezeigte Data), bei dem lediglich Positionsdaten des Zeitinterpolators 30 als solche ausgegeben werden, selektiv umgeschaltet werden.
Der Dekodierer 72 gibt festgelegte Positionsdaten über einen Jitterverteilungsselektor 74 ein, dekodiert die Daten in Zeitserienpegeldaten und gibt die Daten aus.
Die Zähler 73 (73a bis 73n) sind für jeden Ausgabeanschluss des Dekodierers 72 angeordnet und Ausgabesignale des Dekodierers 72 werden für jeden Ausgabeanschluss gezählt.
Darüber hinaus können die Verteilung des Jitterns der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 oder die Verteilung der Flankenzeitabläufe aus einer Vielzahl von Daten erfasst werden, die aus den Zählern 73a bis 73n ausgegeben werden.
Was die Positionsdaten betrifft, die in den Dekodierer 72 eingegeben werden, wird hier, wie es in 4 gezeigt ist, ein Fall (Das in 4 gezeigte Data Clock Jitter), bei dem Positionsdaten aus der Subtraktionsschaltung 71 über den Jitterverteilungsselektor 74 eingegeben werden, und ein Fall (das in 4 gezeigte Clock Recovery Jitter), bei dem die Positionsdaten aus der Subtraktionsschaltung 61 der Jittererfassungsschaltung 60 eingegeben werden, selektiv umgeschaltet.
Deshalb werden die folgenden vier Muster von Positionsdaten in den Dekodierer 72 durch eine Kombination aus dem Daten/Takt-Seketor 71a und dem Jitterverteilungsselektor 74 eingegeben (siehe 5):

(1) ein Fall, bei dem Positionsdaten, die eine Phasendifferenz zwischen den Positionsdaten, die vom Kodierer 34 des Zeitinterpolators 30 ausgegeben werden, und dem Rückgewinnungstakt angeben, der aus dem Digitalfilter 40 ausgegeben wird, eingegeben werden (Data-CLK und Data Clock Jitter);
(2) ein Fall, bei dem lediglich Positionsdaten, die vom Kodierer 34 des Zeitinterpolators 30 ausgegeben werden, als solche eingegeben werden (Data und Data Clock Jitter);
(3) ein Fall, bei dem Positionsdaten, die eine Phasendifferenz zwischen den Positionsdaten, die vom Register 41a der vordersten Stufe des Digitalfilters 40 ausgegeben werden, und den Positionsdaten eines der Register 41b bis 41n der nachfolgenden Stufen angeben, eingegeben werden (Clock Recovery Jitter und Cycle To Cycle Jitter); und
(4) ein Fall, bei dem Positionsdaten, die eine Phasendifferenz zwischen den Positionsdaten aus dem Register 41a der vordersten Stufe des Digitalfilters 40 angeben, und die Positionsdaten, die den Mittelwert angeben, der durch die Mittelwertberechnungsschaltung 44 errechnet wurde, eingegeben werden (Clock Recovery Jitter und Cycle To Smoothing Jitter).

Wenn die festgelegten Positionsdaten auf diese Weise in den Dekodierer 72 eingegeben werden, wird darüber hinaus die Verteilung der Flankenzeitabläufe, die durch die Positionsdaten angegeben werden, konkret wie folgt erfasst.
Zuerst, wie beim Fall (der obige Fall (2)), bei dem lediglich Positionsdaten des Zeitinterpolators als solche eingegeben werden, beispielsweise auf die gleiche Art und Weise wie bei dem oben beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel, werden die Ausgabedaten, die von der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden durch acht Bits an Abtastimpulsen erfasst und die Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf angeben, werden als drei Bits von Positionsdaten aus dem Kodierer 34 ausgegeben. In diesem Fall können Daten, die Flankenzeitabläufe angeben, im Dekodierer 72 erfasst werden, wie es in der folgenden Tabelle 2 gezeigt ist, und Daten können für jeden Ausgabeanschluss im Zähler 73 gezählt werden. Tabelle 2
Wie es in dieser Tabelle 2 gezeigt ist, sind die Daten, die aus dem Dekodierer 72 ausgegeben werden, lediglich "H" im Ausgabeanschluss, der den Signaländerungspunkt der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 angibt und ist "L" in den anderen Ausgabeanschlüssen.
Wenn die Ausgabesignale dieses Dekodierers 72 für jeden Ausgabeanschluss des Dekodierers 72 durch die Zähler 73a bis 73n gezählt werden, kann deshalb der Takt der zu vermessenden LSI 1 oder die Verteilung des Flankenzeitablaufs erfasst werden.
Als nächstes, in einem Fall (in dem obigen Fall (1)), bei dem die Positionsdaten, die die Phasendifferenz zwischen den Positionsdaten des Zeitinterpolators 30 und dem Rückgewinnungstakt des Digitalfilters 40 angeben, eingegeben werden, oder in dem Fall (im obigen Fall (3) oder (4)), bei dem die Positionsdaten, die die Phasendifferenz zwischen den Positionsdaten des Registers 41a der vordersten Stufe des Digitalfilters 40 angeben, und die Positionsdaten eines der Register 41b bis 41n der nachfolgenden Stufen oder der Mittelwert der Mittelwertberechnungsschaltung 44 eingegeben werden, werden beispielsweise, wie es oben beschrieben wurde, die Ausgabedaten, die von der zu vermessenden LSI 1 ausgegeben werden durch acht Bits an Abtastimpulsen erfasst, und die Positionsdaten, die den Flankenzeitablauf angeben, der Subtraktion unterzogen, um 13 Typen ("–6 bis +6") von Phasendifferenzen zu erfassen.
Deshalb werden, wie es in der folgenden Tabelle 3 gezeigt ist, wenn der Dekodierer 72, der 13 Ausgabeanschlüsse umfasst, verwendet wird, die Daten, die die Phasendifferenz angeben, erfasst und die Daten können für jeden Ausgabeanschluss durch die Zähler 73 gezählt werden. Tabelle 3
Wie es in dieser Tabelle 3 gezeigt ist, sind die Daten, die aus dem Dekodierer 72 ausgegeben werden, lediglich "H" im Ausgabeanschluss, der die Positionsdaten angibt zwischen den subtrahierten Positionsdaten, und sind "L" in den anderen Ausgabeanschlüssen.
Wenn die Ausgabesignale dieses Dekodierers 72 für jeden Ausgabeanschluss des Dekodierers 72 durch die Zähler 73a bis 73n gezählt werden, kann deshalb die Verteilung der Phasendifferenz zwischen den Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 und dem Rückgewinnungstakt oder zwischen den Rückgewinnungstakten erfasst werden.
Es gilt zu beachten, dass die Zahl von Ausgaben aus dem Dekodierer 72 und die Zahl von Zählern 73a bis 73n, die die Ausgaben des Dekodierers 72 zählen, auf beliebige Zahlen festgelegt werden können, gemäß einem messbaren Bereich (Auflösung) oder dergleichen der Zeitserienpegeldaten, die durch den Zeitinterpolator 30. erfasst werden können.
Auf diese Weise können bei dem Halbleitertestgerät des vorliegenden Ausführungsbeispiels durch Umschalten des Flankenselektors 41 und des Mittelwertselektors 46, die im Digitalfilter 40 angeordnet sind, des Jitterselektors 61a, der in der Jittererfassungsschaltung 60 angeordnet ist, des Daten/Takt-Selektors 71a und des Jitterverteilungsselektors, die in der Jitterverteilungsschaltung 70 angeordnet sind, und darüber hinaus des Beurteilungsselektors 15a, der im Ausfallanalysespeicher 15 angeordnet ist, der Funktionstest der zu vermessenden LSI 1, der Analysetest des Jitterns und dergleichen durch beliebige Kombinationen durchgeführt werden.
Konkret können durch Umschalten eines jeden Selektors verschiedene Tests durch die in 5 gezeigten Kombinationen durchgeführt werden.
Wie es beschrieben wurde, umfasst das Halbleitertestgerät gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Jittererfassungsschaltung 60, die eine Vielzahl von Rückgewinnungstakten eingibt, um dadurch die Positionsdaten, die die Flankenzeitabläufe der entsprechenden Rückgewinnungstakte angeben, einer Subtraktion zu unterziehen, und demgemäß kann die Phasendifferenz zwischen den Rückgewinnungstakten erfasst werden.
Darüber hinaus ist die Jitterverteilungsschaltung 70 angeordnet, die die Phasendifferenz, die von der Jittererfassungsschaltung 60 erfasst wird, eingibt, um dadurch die Verteilung der Phasendifferenz zu erfassen, und die Daten können als Verteilungsdaten ausgegeben werden, die die Fluktuation oder Streubreite der Phasendifferenz angeben.
Die Phasendifferenz zwischen den Rückgewinnungstakten gibt das Jittern des Taktsignals gebündelt auf die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 an, die Phasendifferenz zwischen den Rückgewinnungstakten und die Verteilungsdaten werden erfasst und demgemäß ist es möglich, die Jitteranalyse der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 und des gebündelten Takts auszuführen.
Darüber hinaus umfasst das vorliegende Ausführungsbeispiel die Jitterverteilungsschaltung 70, um dadurch die Phasendifferenz zwischen dem Rückgewinnungstakt des Digitalfilters 40 und den Positionsdaten des Zeitinterpolators 30 einzugeben, die die originalen Positionsdaten darstellen, und kann die Verteilung der Phasendifferenz erfassen und analysieren.
Der Flankenzeitablauf der durch den Rückgewinnungstakt angegeben wird, ist die Positionsdaten in welchen der Takt, der auf die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 gebündelt ist, in den richtigen Flankenzeitablauf korrigiert ist, der Rückgewinnungstakt wird mit den originalen Positionsdaten verglichen, um die Verteilung der Phasendifferenz zu erfassen, und demgemäß ist es möglich, die Jitterverteilung der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI 1 im Vergleich mit dem richtigen Rückgewinnungstakt zu analysieren.
Auf diese Weise kann beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Jitteranalyse der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI und des Takts leicht, korrekt und sicher mit hoher Präzision durchgeführt werden, ohne Probleme zu verursachen, wie bei der Verwendung einer bestehenden Jittermesseinheit, wie etwa ein Fehler durch den Betrieb eines Oszilloskops oder dergleichen oder Schwierigkeiten bei einer Messoperation.
Die bevorzugten Ausführungsbeispiele des Halbleitertestgeräts der vorliegenden Erfindung sind oben beschrieben worden, aber das Halbleitertestgerät gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt und natürlich sind verschiedene Modifikationen im Umfang der vorliegenden Erfindung möglich.
Beispielsweise ist bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen der Rückgewinnungstakt, der einstöckig die Jittererfassungsschaltung und Jitterverteilungsschaltung umfasst, die das Jittern der zu vermessenden LSI erfassen und analysieren, zusammen mit dem Selektor zur Durchführung des Funktionstests der zu vermessenden LSI beschrieben worden, aber der Selektor, die Jittererfassungsschaltung und die Jitterverteilungsschaltung können separat angeordnet sein.
Das heißt, solange die Taktrückgewinnungsschaltung, die das Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung darstellt, den Zeitinterpolator zum Erfassen der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI as die Zeitserienpegeldaten, und den Digitalfilter zum Erfassen und Ausgeben des Rückgewinnungstakts auf der Basis der Pegeldaten, die durch den Zeitinterpolator erfasst werden, umfasst, kann die Schaltung aus irgendeiner Schaltung, einem Gerät oder dergleichen kombiniert werden, und Anwendungen, Zwecke oder dergleichen des Halbleitertestgeräts sind nicht speziell eingeschränkt.
Industrielle Anwendbarkeit
Wie es oben beschrieben wurde, umfasst ein Halbleitertestgerät der vorliegenden Erfindung eine Taktrückgewinnungsschaltung, die eine Quellensynchronfunktion besitzt, die in der Lage ist, ein gebündeltes Taktsignal aus Ausgabedaten einer zu vermessenden LSI herauszunehmen, einen Flankenzeitablauf des Taktsignals richtig zu korrigieren und den Zeitablauf an die Ausgabedaten abzustimmen. Demgemäß kann das Taktsignal, das auf das Ausgabesignal gebündelt ist, leicht und sicher erfasst werden, ohne Verwendung irgendeines Zeitablaufsignals von außen oder ohne Anordnung von extra Ausgabeanschlüssen oder dergleichen in der zu vermessenden LSI, und die Ausgabedaten der zu vermessenden LSI können korrekt durch einen Rückgewinnungstakt eingefangen werden, korrigiert in den richtigen Flankenzeitablauf.
Demgemäß kann leicht und korrekt ein Funktionstest, eine Jitteranalyse oder dergleichen eines LSI-Bauelements vom Typ mit Daten/Takt-Bündelung durchgeführt werden, welches einen Takt auf Ausgabedaten bündelt, um die Daten auszugeben, repräsentiert durch SERDES oder dergleichen.
Zusammenfassung
Ein Halbleitertestgerät zum Erfassen eines gebündelten Taktsignals aus LSI-Ausgabedaten und Verwenden des Takts zum Test der LSI. Das Gerät beinhaltet einen Zeitinterpolator 30 und Register 41a bis 41n, die in Serie geschaltet sind. Der Zeitinterpolator weist Flipflops 31a bis 31n auf, die parallel geschaltet sind, zum Eingeben von Ausgabedaten aus einer zu vermessenden LSI 1, eine Verzögerungsschaltung 32 zum sukzessiven Eingeben von Abtastimpulsen mit einem konstanten Zeitablaufintervall in die Flipflops 31a bis 31n und Ausgeben von Zeitserienpegeldaten, und einen Kodierer 34 zum Eingeben der Zeitserienpegeldaten, die aus den Flipflops 31 ausgegeben werden, und ihr Kodieren in Positionsdaten, die einen Flankenzeitablauf angeben. Die Register 41a bis 41n speichern nach und nach Positionsdaten aus dem Kodierer 34 und geben diese mit einem festgelegten Zeitablauf aus. Das Gerät beinhaltet darüber hinaus einen Digitalfilter zum Ausgeben der Positionsdaten, die aus den Registern 41 als Rückgewinnungstakt ausgegeben werden.

Claims

Halbleitertestgerät nach Anspruch 1, wobei der Zeitinterpolator umfasst: eine Vielzahl von sequentiellen Schaltungen, die parallel verbunden sind, die die Ausgabedaten eingeben, die aus der LSI ausgegeben werden; eine Verzögerungsschaltung, die nach und nach einen Abtastimpuls verzögert um ein konstantes Zeitablaufintervall in die Vielzahl von sequentiellen Schaltungen eingibt und die Zeitserienpegeldaten aus den sequentiellen Schaltungen ausgibt; und einen Kodierer, der die Zeitserienpegeldaten eingibt, die aus der Vielzahl sequentiellen Schaltungen ausgegeben werden, und der die Daten in Positionsdaten kodiert, die den Flankenzeitablauf der Ausgabedaten der zu vermessenden LSI angeben, um die Daten auszugeben, und der Digitalfilter folgendes umfasst: ein oder mehrere Register, die in Serie verbunden sind, die nach und nach die Positionsdaten speichern, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, und die die gespeicherten Positionsdaten mit einem bestimmten Zeitablauf ausgeben, und der Rückgewinnungstakt, der den festgelegten Flankenzeitablauf angibt, aus einer oder mehreren Positionsdaten ausgegeben wird, die aus diesem Register ausgegeben werden.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, wobei der Digitalfilter umfasst: eine Flankenerfassungsschaltung, die das Vorhandensein einer Flanke der Positionsdaten erfasst, die aus dem Zeitinterpolator eingegeben werden, und die die Positionsdaten ausgibt, die im Register gespeichert sind, in einem Fall, bei dem die Flanke erfasst wird.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, wobei das Register die gespeicherten Positionsdaten mit einem festgelegten Zeitablauf ausgibt, ungeachtet des Vorhandenseins der Flanke der Positionsdaten, erfasst durch die Flankenerfassungsschaltung.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, wobei der Digitalfilter einen Flankenselektor umfasst, der auswählt, ob die Positionsdaten, die im Register gespeichert sind, ausgegeben werden oder nicht, ungeachtet des Vorhandenseins der Flanke der Positionsdaten, erfasst durch die Flankenerfassungsschaltung.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, wobei in einem Fall, bei dem zwei oder mehrere Register angeordnet sind, der Digitalfilter eine Mittelwertberechnungsschaltung zum Eingeben von Positionsdaten umfasst, die aus den zwei bzw. mehreren Registern ausgegeben werden, und Berechnen eines Mittelwerts der Flankenzeitabläufe, die durch die entsprechenden Positionsdaten angegeben werden, um den Mittelwert als den Rückgewinnungstakt auszugeben.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 6, wobei der Digitalfilter einen Mittelwertselektor zum Auswählen einer der Positionsdaten, die aus einem der zwei oder mehreren Registern ausgegeben werden, und des Mittelwerts, der aus der Mittelwertberechnungsschaltung ausgegeben wird, umfasst, um den Rückgewinnungstakt auszugeben.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, wobei der Digitalfilter eine Zeitablaufkorrekturschaltung zum Addieren eines festgelegten Korrekturwerts zu den Positionsdaten, die aus dem Register ausgegeben werden, und Korrigieren des Flankenzeitablaufs umfasst, der durch die Positionsdaten angegeben wird, um den Rückgewinnungstakt auszugeben.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, das darüber hinaus umfasst: eine Auswahlschaltung, die eines der Daten aus den Zeitserienpegeldaten auswählt, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, unter Verwendung des Rückgewinnungstakts, der aus dem Digitalfilter ausgegeben wird, als ein Auswahlsignal, um die Daten als zu testende Daten auszugeben, um zu beurteilen, ob die LSI besteht oder versagt.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, das darüber hinaus umfasst: eine Jittererfassungsschaltung, die eine Vielzahl von Rückgewinnungstakten eingibt, die aus dem Digitalfilter ausgegeben werden, und eine Phasendifferenz zwischen den Flankenzeitabläufen erfasst, die durch die entsprechenden Rückgewinnungstakte angegeben werden, um das Jittern der Ausgabedaten der LSI zu erfassen.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, das darüber hinaus umfasst: eine Jitterverteilungsschaltung, die eine Phasendifferenz des Rückgewinnungstakts eingibt, die durch die Jittererfassungsschaltung erfasst wird, und die eine Verteilung der Phasendifferenz erfasst, um Verteilungsdaten des Jitterns der Ausgabedaten der LSI auszugeben.

Halbleitertestgerät nach Anspruch 2, das darüber hinaus umfasst: eine Jitterverteilungsschaltung, die Positionsdaten, die aus dem Zeitinterpolator ausgegeben werden, und einen Rückgewinnungstakt entsprechend den Positionsdaten eingibt, der aus dem Digitalfilter ausgegeben wird; und die eine Phasendifferenz zwischen Flankenzeitabläufen erfasst, die durch Positionsdaten und den Rückgewinnungstakt angegeben werden, und die eine Verteilung der Phasendifferenzen erfasst, um die Verteilung als Verteilungsdaten des Jitterns von Ausgabedaten der LSI auszugeben.