DE112005000311B4

DE112005000311B4 - Messgerät, Messverfahren und Testgerät

Info

Publication number: DE112005000311B4
Application number: DE112005000311T
Authority: DE
Inventors: Tomoyuki Yamane; Hirokatsu Niijima
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-02-05
Filing date: 2005-02-02
Publication date: 2011-04-07
Anticipated expiration: 2025-02-03
Also published as: KR100810863B1; WO2005076021A1; US7262627B2; KR20060122948A; JP4355704B2; CN1997903A; CN1997903B; TWI350382B; JPWO2005076021A1; TW200530612A; DE112005000311T5; US20070096762A1

Abstract

Messgerät, das eine Signalform eines Ausgangssignals misst, das von einem elektronischen Bauelement ausgegeben wird, umfassend:
einen Abtastsignalerzeugungsabschnitt, der ein erstes Abtastsignal und ein zweites Abtastsignal, das eine Phase aufweist, die sich von der des ersten Abtastsignals unterscheidet, in Synchronisation mit dem Ausgangssignal erzeugt;
einen Abtastsignalverschiebungsabschnitt, der der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals ändert, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal mehrere Male ausgibt;
einen ersten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals erfasst;
einen zweiten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals erfasst;
einen ersten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den ersten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist;
einen zweiten Zähler, der zählt, wie häufig der...

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Messgerät, ein Messverfahren und ein Testgerät zum Messen einer Signalform eines Ausgangssignals, das von einem elektronischen Bauelement, wie etwa einem Halbleiterbauelement, ausgegeben wird.
Erfindungshintergrund
Herkömmlicherweise ist ein Messgerät zum Messen einer Signalform eines Ausgangssignals aus einem elektronischen Bauelement, wie etwa einem Halbleiterbauelement, verwendet worden, um zu entscheiden, ob das elektronische gut oder schlecht ist. Die Messung einer Signalform eines Ausgangssignals beinhaltet beispielsweise die Messung von Jittern des Ausgangssignals und Messung eines Änderungspunkts der Signalform des Ausgangssignals.
Ein herkömmliches Messgerät gibt, beispielsweise wenn Jittern gemessen wird, kontinuierlich mehrere Male ein Ausgangssignal an ein elektronisches Bauelement aus, erfasst einen Signalpegel eines jeden Ausgangssignals an einer festgelegten Phase und vergleicht den erfassten Signalpegel und einen festgelegten Signalpegel. Dann ändert das Messgerät der Reihe nach eine Phase zur Erfassung eines Signalpegels und erhält die Zahl, wie oft ein Vergleichsergebnis ein Bestehen (oder Versagen) pro jeweiliger Phase ist, um ein Jittern des Ausgangssignals zu messen. In diesem Fall erzeugt das Messgerät ein Abtastsignal, um eine Phase zur Erfassung eines Signalpegels eines Ausgangssignals zu bestimmen und verändert der Reihe nach die Phase dieses Abtastsignals, um die Messung durchzuführen.
Darüber hinaus gibt ein herkömmliches Messgerät, wenn ein Änderungspunkt einer Signalform gemessen wird, kontinuierlich mehrere Male ein Ausgangssignal an ein elektronisches Bauelement aus, ändert eine Phase eines Abtastsignals für jedes Ausgangssignal und erfasst eine Phase, mit der ein Vergleichsergebnis von einem Bestehen zu einem Versagen (oder von einem Versagen zu einem Bestehen) variiert, als einen Änderungspunkt einer Signalform.
Darüber hinaus ist ein Messgerät, als Messgerät zur Messung von Jittern, das zwei Abtastsignale verwendet, von denen ein Phasenintervall bestimmt wird, als offenbart bekannt, beispielsweise im Patentdokument 1. Dieses Messgerät misst die Jitterverteilung eines Ausgangssignals durch Abtasten eines Ausgangssignals mit zwei Abtastsignalen, die ein konstantes Phasenintervall aufweisen.
[Patentdokument 1] WO 02-50557
Offenbarung der Erfindung
Durch die Erfindung zu lösende Probleme
Da ein herkömmliches Messgerät separat einen Jitterbetrag eines Ausgangssignals und einen Änderungspunkt einer Signalform des Ausgangssignals messen muss, war die Messung jedoch ineffizient. Darüber hinaus misst ein Messgerät, das zwei Abtastsignale verwendet, nur die Jitterverteilung und kann deshalb keinen Änderungspunkt einer Signalform eines Ausgangssignals und keine Flankensteilheit des Ausgangssignals messen. Darüber hinaus ist es notwendig, ein Phasenintervall von zwei Abtastsignalen auf einen geeigneten Wert zu bestimmen. Aus diesem Grund ist es notwendig, die Messung wiederholt auszuführen, um dieses Phasenintervall zu bestimmen, und somit verschlechtert sich die Messeffizienz.
Deshalb ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Messgerät, ein Messverfahren und ein Testgerät bereitzustellen, das die vorhin genannten Probleme lösen kann. Diese Aufgabe kann durch Kombinationen erreicht werden, die in den unabhängigen Ansprüchen beschrieben werden. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere Vorteile und exemplarische Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
Mittel zum Lösen der Probleme
Um dieses Problem zu lösen, wird gemäß dem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ein Messgerät bereitgestellt, das eine Signalform eines Ausgangssignals misst, das von einem elektronischen Bauelement ausgegeben wird. Das Messgerät beinhaltet folgendes: einen Abtastsignalerzeugungsabschnitt, der ein erstes Abtastsignal und ein zweites Abtastsignal, das eine Phase aufweist, die sich von der des ersten Abtastsignals unterscheidet, in Synchronisation mit dem Ausgangssignal erzeugt; einen Abtastsignalverschiebungsabschnitt, der der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals ändert, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal mehrere Male ausgibt; einen ersten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals erfasst; einen zweiten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals erfasst; einen ersten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den ersten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist; einen zweiten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den zweiten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des zweiten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist; und einen Fehlerspeicher, der die vom ersten Zähler gezählte Häufigkeit und die vom zweiten Zähler gezählte Häufigkeit speichert.
Das Messgerät umfasst darüber hinaus einen Arithmetikabschnitt, der eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals, einen Jitterbetrag und eine Jitterverteilung auf der Grundlage der vom ersten Zähler für jede Phase gezählten Häufigkeit und der vom zweiten Zähler für jede Phase gezählten Häufigkeit berechnet.
Der Abtastsignalverschiebungsabschnitt kann der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals ändern, so dass eine relative Phase zwischen dem ersten Abtastsignal und dem zweiten Abtastsignal geändert wird.
Der Abtastsignalverschiebungsabschnitt kann der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals von einem Ende eines Phasenbereichs, der eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals beinhaltet, hin zum anderen Ende des Phasenbereichs ändern und kann der Reihe nach eine Phase des zweiten Abtastsignals vom anderen Ende des Phasenbereichs hin zum einen Ende des Phasenbereichs ändern.
Der Abtastsignalverschiebungsabschnitt kann der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals mit im Allgemeinen gleichen Änderungsbetrag ändern.
Der Abtastsignalverschiebungsabschnitt kann die Änderung der Phasen des ersten Abtastsignals und des zweiten Abtastsignals beenden, wenn die Häufigkeit, mit der der Signalpegel des Ausgangssignals, das der Reihe nach bei jeder Phase des ersten Abtastsignals gezählt wird, kein hoher Pegel ist, gleich den mehreren Malen ist und die Häufigkeit, mit der der Signalpegel des Ausgangssignals, das der Reihe nach bei jeder Phase des zweiten Abtastsignal gezählt wird, kein niedriger Pegel ist, gleich den mehreren Malen ist.
Das Messgerät kann darüber hinaus einen Messgerätsteuerabschnitt umfassen, der Werte, die vom ersten Zähler und vom zweiten Zähler gezählt werden, in Verbindung mit der Phase des ersten Abtastsignals und der Phase des zweiten Abtastsignals speichert und die vom ersten Zähler und vom zweiten Zähler gezählten Werte zurücksetzt, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal die mehreren Male ausgibt.
Gemäß dem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird ein Messverfahren zum Messen einer Signalform eines aus einem elektronischen Bauelement ausgegebenen Ausgangssignals bereitgestellt. Das Messverfahren umfasst folgendes: einen Abtastsignalerzeugungsschritt des Erzeugens eines ersten Abtastsignals und eines zweiten Abtastsignals, das eine Phase aufweist, die sich von der des ersten Abtastsignals unterscheidet, in Synchronisation mit dem Ausgangssignal; einen Abtastsignalverschiebungsschritt des Änderns einer Phase des ersten Abtastsignals und einer Phase des zweiten Abtastsignals der Reihe nach, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal mehrere Male ausgibt; einen ersten Taktvergleichsschritt des die mehreren Male Erfassens eines Signalpegels des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals; einen zweiten Taktvergleichsschritt des die mehreren Male Erfassens eines Signalpegels des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals; einen ersten Zählschritt des Zählens, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den ersten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist; einen zweiten Zählschritt des Zählens, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den zweiten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des zweiten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist; und einen Speicherschritt des Speicherns der im ersten Zählschritt gezählten Häufigkeit und der im zweiten Zählschritt gezählten Häufigkeit.
Das Messverfahren umfasst darüber hinaus einen Arithmetikschritt der Berechnung einer Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals, eines Jitterbetrags und einer Jitterverteilung auf der Grundlage der im ersten Zählschritt für jede Phase gezählten Häufigkeit und der im zweiten Zählschritt für jede Phase gezählten Häufigkeit.
Der Abtastsignalverschiebungsschritt kann das Ändern einer Phase des ersten Abtastsignals und einer Phase des zweiten Abtastsignals der Reihe nach umfassen, so dass eine relative Phase zwischen dem ersten Abtastsignal und dem zweiten Abtastsignal geändert wird.
Der Abtastsignalverschiebungsschritt kann folgendes umfassen: Ändern einer Phase des ersten Abtastsignals der Reihe nach von einem Ende eines Phasenbereichs, der eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals beinhaltet, hin zum anderen Ende des Phasenbereichs; und Ändern einer Phase des zweiten Abtastsignals der Reihe nach vom anderen Ende des Phasenbereichs hin zum einen Ende des Phasenbereichs. Der Abtastsignalverschiebungsschritt kann das Ändern einer Phase des ersten Abtastsignals und einer Phase des zweiten Abtastsignals der Reihe nach mit dem im Allgemeinen gleichen Änderungsbetrag umfassen.
Gemäß dem dritten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird ein Testgerät bereitgestellt, das ein elektronisches Bauelement testet. Das Testgerät beinhaltet folgendes: einen Steuerabschnitt, der ein Testsignal zum Testen des elektronischen Bauelements erzeugt und das elektronische Bauelement mit dem Testsignal versorgt; und ein Messgerät, das eine Signalform eines Ausgangssignals aus dem elektronischen Bauelement misst und entscheidet, ob das elektronische Bauelement gut oder schlecht ist. Das Messgerät umfasst folgendes: einen Abtastsignalerzeugungsabschnitt, der ein erstes Abtastsignal und ein zweites Abtastsignal, das eine Phase aufweist, die sich von der des ersten Abtastsignals unterscheidet, in Synchronisation mit dem Ausgangssignal erzeugt; einen Abtastsignalverschiebungsabschnitt, der der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals ändert, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal mehrere Male ausgibt; einen ersten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals erfasst; einen zweiten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals erfasst; einen ersten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den ersten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist; einen zweiten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den zweiten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des zweiten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist; einen Fehlerspeicher, der die vom ersten Zähler gezählte Häufigkeit und die vom zweiten Zähler gezählte Häufigkeit speichert; und einen Arithmetikabschnitt, der eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals, einen Jitterbetrag und eine Jitterverteilung auf der Grundlage der für jede Phase vom ersten Zähler gezählten Häufigkeit und der für jede Phase vom zweiten Zähler gezählten Häufigkeit berechnet.
Wirkung der Erfindung
Erfindungsgemäß ist es möglich, einen Änderungspunkt einer Signalform eines Ausgangssignals, einen Jitterbetrag und eine Jitterverteilung durch einen Einmaltest zu messen.
Kurze Beschreibung der Zeichnung
1 ist eine Ansicht, die exemplarisch einen Aufbau eines Testgeräts 300 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
2 ist eine Ansicht, die exemplarisch ein Ausgangssignal zeigt, das aus einem elektronischen Bauelement 200 ausgegeben wird.
Die 3A und 3B sind Ansichten, die exemplarisch ein Zählergebnis in einem Speicherabschnitt 60 zeigen. 3A zeigt die Anzahl, wie oft ein Signalpegel eines Ausgangssignals bei jeder Phase eines ersten Abtastsignals kein hoher Pegel (ein Versagen) ist, und 3B zeigt die Anzahl, wie oft ein Signalpegel eines Ausgangssignals bei jeder Phase eines zweiten Abtastsignals kein niedriger Pegel (ein Versagen) ist.
4 ist eine Ansicht, die exemplarisch einen Aufbau eines Pegelkomparators 10, eines Taktkomparators 20 und eines Taktgenerators 80 zeigt.
5 ist eine Ansicht, die exemplarisch einen Aufbau eines Logikkomparators 40, eines Speicherabschnitts 60 und eines Steuerabschnitts 70 zeigt.
Beschreibung der Symbole

10 ... Pegelkomparator, 12 ... Komparator, 14 ... Taktkomparator, 21 ... Abtastimpulserzeugungsabschnitt, 22, 24, 26, 28 ... variable Verzögerungsschaltung, 30, 32, 34, 36 ... Taktkomparator, 40 ... Logikkomparator, 42, 44 ... exklusive ODER-Schaltung, 46, 48 ... UND-Schaltung, 54 ... ODER-Schaltung, 55 exklusive ODER-Schaltung, 56 ... ODER-Schaltung, 57 ... UND-Schaltung, 60 ... Speicherabschnitt, 62 ... erster Zähler, 64 ... zweiter Zähler, 68 ... Wahlabschnitt, 70 ... Steuerabschnitt, 72 ... Fehlerspeicher, 73 ... Arithmetikabschnitt, 80 ... Taktgenerator, 82 ... Abtastsignalverschiebungsabschnitt, 83 ... UND-Schaltung, 84, 86 ... Flip-Flop, 88, 90 ... Addierer, 92 ... Messgerätsteuerabschnitt, 94 ... Signalformgestalter, 96 ... Mustergenerator, 100 ... Messgerät, 200 ... elektronisches Bauelement, 300 ... Testgerät

Bester Modus zur Ausführung der Erfindung
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben werden, die nicht dazu gedacht sind, den Umfang der vorliegenden Erfindung einzugrenzen, sondern die Erfindung beispielhaft darzustellen.
1 ist eine Ansicht, die exemplarisch einen Aufbau eines Testgeräts 300 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt. Das Testgerät 300 ist ein Gerät, das entscheidet, ob ein elektronisches Bauelement 200, wie etwa ein Halbleiterbauelement, gut oder schlecht ist, und beinhaltet einen Steuerabschnitt 70 und ein Messgerät 100. Der Steuerabschnitt 70 liefert ein Testsignal an das elektronische Bauelement 200 und steuert das Messgerät 100. Ein Testsignal ist ein Signal, das das elektronische Bauelement 200 betätigt und veranlasst, dass das elektronische Bauelement 200 ein Ausgangssignal ausgibt. Das Messgerät 100 ist ein Messgerät zum Messen einer Signalform eines Ausgangssignals, das vom elektronischen Bauelement 200, wie etwa einem Halbleiterbauelement, ausgegeben wird, und beinhaltet einen Pegelkomparator 10, einen Taktkomparator 20, einen Logikkomparator 40, einen Speicherabschnitt 60 und einen Taktgenerator 80. Eine Vielzahl von Pegelkomparatoren 10, eine Vielzahl von Taktkomparatoren 20, eine Vielzahl von Logikkomparatoren 40 und eine Vielzahl von Speicherabschnitten 60 sind jeweils entsprechend einer Vielzahl von Stiften des elektronischen Bauelements 200 vorgesehen.
Der Pegelkomparator 10 empfängt ein Ausgangssignal, das aus dem elektronischen Bauelement 200 ausgegeben wird und gibt ein Vergleichsergebnis aus, das durch Vergleichen eines Spannungspegels des erhaltenen Ausgangssignals und eines vorher gegebenen Spannungspegels erhalten wird. Beispielsweise gibt der Pegelkomparator 10 ein digitales Signal aus, das logisch hoch ist, wenn ein Spannungspegel eines Ausgangssignals größer ist als ein gegebener Spannungspegel, und logisch niedrig ist, wenn ein Spannungspegel eines Ausgangssignals kleiner als gegebener Spannungspegel ist.
Der Taktkomparator 20 erfasst einen Wert eines digitalen Signals, das vom Pegelkomparator 10 ausgegeben wird, mit dem Takt eines Abtastsignals, das vom Taktgenerator 80 ausgegeben wird. Der Taktgenerator 80 erzeugt ein Abtastsignal gemäß einem Signal, das vom Steuerabschnitt 70 ausgegeben wird, und liefert das Abtastsignal an den Taktkomparator 20. Der detaillierte Aufbau des Pegelkomparators 10, des Taktkomparators 20 und des Taktgenerators 80 wird unten unter Bezugnahme auf 4 beschrieben werden.
Der Logikkomparator 40 vergleicht den vom Taktkomparator 20 erfassten Wert und ein Erwartungssignal, das vom Steuerabschnitt 70 ausgegeben wird, und liefert ein Vergleichsergebnis an den Speicherabschnitt 60. Dann, wenn der Speicherabschnitt 60 aus dem Steuerabschnitt 70 eine Anweisung betreffend die Speicherung des Vergleichsergebnisses erhält, speichert der Speicherabschnitt 60 das Vergleichsergebnis vom Logikkomparator 40. Der Steuerabschnitt 70 kann darüber hinaus als ein Mustergenerator zum Erzeugen eines Testmusters und als ein Signalformgestalter zum Erzeugen eines Testsignals auf der Grundlage des Testmusters und zum Versorgen des elektronischen Bauelements 200 mit dem Testsignal fungieren. Der detaillierte Aufbau des Logikkomparators 40, des Speicherabschnitts 60 und des Steuerabschnitts 70 wird unten unter Bezugnahme auf 5 beschrieben werden.
2 ist eine Ansicht, die exemplarisch ein Ausgangssignal zeigt, das aus einem elektronischen Bauelement 200 ausgegeben wird. In 2 zeigt eine vertikale Achse einen Spannungspegel und eine horizontale Achse zeigt eine Zeit. Zuerst erzeugt der Taktgenerator 80 in Synchronisation mit einem Ausgangssignal ein erstes Abtastsignal (STRB1) und ein zweites Abtastsignal (STRB2), das eine Phase aufweist, die sich von der des ersten Abtastsignals unterscheidet. Zu diesem Zeitpunkt erzeugt der Taktgenerator 80 das erste Abtastsignal mit einer Phase eines Endpunkts eines Phasenbereichs, der einen Änderungspunkt einer Signalform des Ausgangssignals beinhaltet, und erzeugt das zweite Abtastsignal mit einer Phase eines Anfangspunkts des Phasenbereichs. Ein Phasenbereich, der einen Änderungspunkt einer Signalform des Ausgangssignals beinhaltet, kann einfach auf der Grundlage einer Kennlinie oder dergleichen des elektronischen Bauelements 200 bestimmt werden.
Während das elektronische Bauelement 200 festgelegte mehrere Male ein Ausgangssignal ausgibt, gibt der Taktgenerator 80 darüber hinaus das erste Abtastsignal und das zweite Abtastsignal in Synchronisation mit dem Ausgangssignal aus, ohne die relative Phase zum Ausgangssignal zu verändern. Dann erfasst der Taktkomparator 20 jeweils Werte des mehrere Male ausgegebenen Ausgangssignals mit Takten des ersten Abtastsignals und des zweiten Abtastsignals.
Wann immer das elektronische Bauelement 200 das Ausgangssignal mehrere Male ausgibt, ändert der Taktgenerator darüber hinaus der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals. Beim vorliegenden Ausführungsbeispiel ändert der Taktgenerator 80 der Reihe nach die Phase des ersten Abtastsignals vom Endpunkt des Phasenbereichs hin zum Anfangspunkt des Phasenbereichs und ändert der Reihe nach die Phase des zweiten Abtastsignals vom Anfangspunkt des Phasenbereichs hin zum Endpunkt des Phasenbereichs. Hier wird es bevorzugt, dass der Taktgenerator 80 der Reihe nach die Phase des ersten Abtastsignals und die Phase des zweiten Abtastsignals mit dem gleichen Änderungsbetrag ändert.
Der Logikkomparator 40 entscheidet, ob der Wert des mehrere Male erfassten Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist, der größer ist als eine Vergleichsspannung VOH. Darüber hinaus entscheidet der Logikkomparator 40, ob der Wert des mehrere Male erfassten Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist, der geringer ist als eine Vergleichsspannung VOL.
Dann zählt der Speicherabschnitt 60 die Anzahl, wie häufig ein Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist, zählt die Anzahl, wie häufig ein Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist, und speichert jede in Verbindung mit einer Phase eines jeden Abtastsignals. Darüber hinaus kann der Speicherabschnitt 60, bei einem anderen Beispiel, die Anzahl zählen, wie häufig der Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals kein hoher Pegel ist, zählen, wie häufig der Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals kein niedriger Pegel ist, und jede in Verbindung mit einer Phase eines jeden Abtastsignals speichern.
Die 3A und 3B sind Ansichten, die exemplarisch ein Zählergebnis im Speicherabschnitt 60 zeigen. 3A zeigt die Anzahl, wie oft ein Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals kein hoher Pegel (ein Versagen) ist, und 3B zeigt die Anzahl, wie oft ein Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals kein niedriger Pegel (ein Versagen) ist.
Beim Messen einer Signalform einer ansteigenden Flanke, wie es in 2 gezeigt ist, beginnt das Zählen von Versagen bei einer bestimmten Phase T₂ des ersten Abtastsignals, wie es in 3A gezeigt ist, wenn das erste Abtastsignal durch eine folgende Phasenverschiebung von einem Endpunkt eines Phasenbereichs zu einem Anfangspunkt des Phasenbereichs gemessen wird. Mit anderen Worten, die Phase T₂ zeigt eine Phase eines H-Änderungspunkts, wenn sich das Ausgangssignal infolge von Jittern maximal verzögert. Dann, sowie die Phase des ersten Abtastsignals den Anfangspunkt des Phasenbereichs erreicht, steigt die Zahl der Häufigkeit des Versagens infolge der Jitterverteilung. Obwohl eine Phase infolge von Jittern maximal vorauseilt, werden dann alle Werte des mehrere Male erfassten Ausgangssignals bei einer Phase T₁, bei der der Wert des Ausgangssignals kein Bestehen ist, ein Versagen.
Darüber hinaus wird, wenn das zweite Abtastsignal gleichermaßen durch eine folgende Phasenverschiebung vom Anfangspunkt des Phasenbereichs zum Endpunkt des Phasenbereichs gemessen wird, mit der Zählung des Versagens bei einer bestimmten Phase T₃ des zweiten Abtastsignals begonnen, wie es in 3B gezeigt ist. Dann, sowie die Phase des zweiten Abtastsignals den Endpunkt des Phasenbereichs erreicht, nimmt die Häufigkeit des Versagens zu und alle Werte des bei einer bestimmten Phase T₃ mehrere Male erfassten Ausgangssignals werden ein Versagen.
Das Messgerät 100 beim vorliegenden Beispiel berechnet eine Phase eines Änderungspunktes eines Ausgangssignals, einen Jitterbetrag und eine Jitterverteilung auf der Grundlage eines Messergebnisses, wie es in 3A und 3B gezeigt ist. Beispielsweise kann ein Jitterbetrag eines Ausgangssignals mittels einer Differenz zwischen einer Phase T₂, die durch Jittern maximal verzögert ist, und einer Phase T₃, die durch Jittern maximal vorauseilt. Darüber hinaus kann die Jitterverteilung aus der Verteilung der in 3A und 3B gezeigten Verteilung erhalten werden. Darüber hinaus kann das Messgerät 100 die Phase T₂ des ersten Abtastsignals erfassen, für welches begonnen wird, das Versagen als Änderungspunkt eines hohen Pegels eines Ausgangssignals zu zählen, oder kann die Phase T₃ des zweiten Abtastsignals erfassen, für welches begonnen wird, das Versagen als Änderungspunkt eines niedrigen Pegels eines Ausgangssignals zu zählen. Darüber hinaus kann ein Mittelpunkt zwischen der Phase T₂ und der Phase T₃ als ein Änderungspunkt eines Ausgangssignals erfasst werden. Gemäß dem Messgerät 100 beim vorliegenden Beispiel ist es möglich, einen Jitterbetrag eines Ausgangssignals, eine Jitterverteilung und eine Phase eines Änderungspunkts durch eine Einmalmessung zu messen. Da ein Bestehen-Versagen für eine Vergleichsspannung VOH und ein Bestehen-Versagen für eine Vergleichsspannung VOL mittels der zwei Abtastsignale gleichzeitig gemessen werden kann, ist es darüber hinaus möglich, weiter wirkungsvoll eine Messung auszuführen.
Obwohl das vorliegende Beispiel die Messung einer ansteigenden Flanke eines Ausgangssignals beschrieben hat, kann darüber hinaus durch eine ähnliche Operation eine fallende Flanke eines Ausgangssignals gemessen werden. Beim Messen einer fallenden Flanke eines Ausgangssignals ändert beispielsweise der Taktgenerator 80 der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals von einem Anfangspunkt eines Phasenbereichs hin zu einem Endpunkt des Phasenbereichs und ändert der Reihe nach eine Phase des zweiten Abtastsignals vom Endpunkt des Phasenbereichs hin zum Anfangspunkt des Phasenbereichs, um die fallende Flanke zu messen. Obwohl der Taktgenerator 80 der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals vom Endpunkt des Phasenbereichs hin zum Anfangspunkt des Phasenbereichs ändert und der Reihe nach eine Phase des zweiten Abtastsignals vom Anfangspunkt des Phasenbereichs hin zum Endpunkt des Phasenbereichs ändert, um die fallende Flanke zu messen, kann der Logikkomparator 40 darüber hinaus entscheiden, ob ein Wert des mehrere Male erfassten Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist, der niedriger ist als die Vergleichsspannung VOL, und entscheiden, ob ein Wert des mehrere Male erfassten Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals ein hoher Pegel ist, der höher ist als die Vergleichsspannung VOH, um gleichfalls die fallende Flanke zu messen.
4 ist eine Ansicht, die exemplarisch einen Aufbau eines Pegelkomparators 10, eines Taktkomparators 20 und eines Taktgenerators 80 zeigt. Der Pegelkomparator 10 weist einen Komparator 12 und einen Komparator 14 auf.
Der Komparator 12 erhält ein Ausgangssignal vom elektronischen Bauelement 200 und die festgelegte Vergleichsspannung VOH und wandelt das Ausgangssignal in ein digitales Signal um, um es auszugeben. Beim vorliegenden Beispiel gibt der Komparator 12 ein digitales Signal aus, das ein Bestehen (logisch niedrig) wird, wenn ein Spannungspegel des Ausgangssignals nicht kleiner als die Vergleichsspannung VOH ist, und ein Versagen (logisch hoch) wird, wenn ein Spannungspegel des Ausgangssignals niedriger ist als die Vergleichsspannung VOH. Darüber hinaus erhält der Komparator 14 ein Ausgangssignal vom elektronischen Bauelement 200 und die festgelegte Vergleichsspannung VOL und wandelt das Ausgangssignal in ein digitales Signal um, um es auszugeben. Beim vorliegenden Beispiel gibt der Komparator 14 ein digitales Signal aus, das ein Bestehen (logisch niedrig) wird, wenn ein Spannungspegel des Ausgangssignals nicht kleiner als die Vergleichsspannung VOL ist, und ein Versagen (logisch hoch) wird, wenn ein Spannungspegel des Ausgangssignals niedriger ist als die Vergleichsspannung VOL.
Der Taktgenerator 80 weist einen ersten Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 zum Verschieben einer Phase des ersten Abtastsignals und einen zweiten Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-2 zum Verschieben einer Phase des zweiten Abtastsignals auf. Der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 weist eine UND-Schaltung 83, ein Flip-Flop 84, ein Flip-Flop 86, einen Addierer 88 und einen Addierer 90 auf. Der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 und der zweite Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-2 erzeugen beim vorliegenden Beispiel ein Phasensignal zum Steuern einer Phase eines Abtastsignals.
Die UND-Schaltung 83 steuert, ob das Flip-Flop 84 mit SCAN-Daten versorgt wird, gemäß einem Lastsignal, das vom Steuerabschnitt 70 geliefert wird. Hier sind die an die UND-Schaltung 83 ausgegebenen SCAN-Daten Daten, die eine Phasenverschiebungsauflösung des ersten Abtastsignals zeigen. Das Flip-Flop 84 wird über die UND-Schaltung 83 mit den SCAN-Daten versorgt und liefert die SCAN-Daten an den Addierer 88, wenn ein Lastsignal eingegeben wird, gemäß einem Steuertakt, der vom Steuerabschnitt 70 ausgegeben wird. Hier ist der Steuertakt ein Takt, der mit einem Ausgangssignal synchronisiert ist, das vom elektronischen Bauelement 200 ausgegeben wird.
Das Flip-Flop 86 wird mit Daten versorgt, die vom Addierer 88 ausgegeben werden, und liefert die erhaltenen Daten an den Addierer 88 gemäß dem Steuertakt, der vom Steuerabschnitt 70 ausgegeben wird. Der Addierer 88 gibt Daten, die durch Addieren der SCAN-Daten, die vom Flip-Flop 84 erhalten werden, und der Daten erhalten werden, die vom Flip-Flop 86 erhalten werden, an den Addierer 90 aus. Darüber hinaus werden das Flip-Flop 84 und das Flip-Flop 86 mit einem Klarsignal zum Initialisieren der gespeicherten Werte aus dem Steuerabschnitt 70 versorgt. Hier werden das Lastsignal und das Klarsignal in Synchronisation mit dem Steuertakt mit einer Zeitsteuerung gegeben, die auf einem Musterprogramm beschrieben wird.
Dann wird der Addierer 90 mit einem ersten Anfangswert versorgt, der eine Anfangsphase des ersten Abtastsignals zeigt, und gibt Daten aus, die durch Addieren der Daten, die vom Addierer 88 empfangen werden, zum ersten Anfangswert erhalten werden. Mit anderen Worten, der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 gibt ein Phasensignal aus, dessen Signalwert der Reihe nach um einen Wert der SCAn-Daten aus dem ersten gegebenen Anfangswert erhöht wird, wann immer der Steuerabschnitt 70 das Lastsignal eingibt. Darüber hinaus kann der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 anstelle des Addierers 90 einen Subtrahierer aufweisen. In diesem Fall gibt der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 ein Phasensignal aus, dessen Signalwert der Reihe nach um einen Wert der SCAN-Daten aus dem ersten gegebenen Anfangswert vermindert wird, wann immer der Steuerabschnitt 70 das Lastsignal eingibt.
Darüber hinaus weist der zweite Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-2 den gleichen Aufbau auf wie der des ersten Abtastsignalverschiebungsabschnitts 82-1, der vorhin beschrieben wurde, und wird mit den gleichen SCAN-Daten und einem zweiten Anfangswert versorgt, der sich vom ersten Anfangswert unterscheidet. Darüber hinaus, wie es in 2 und in den 3A und 3B beschrieben ist, ändern der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 und der zweite Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-2 der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals, so dass eine relative Phase zwischen dem ersten Abtastsignal und dem zweiten Abtastsignal geändert wird.
Beim vorliegenden Beispiel wird der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 mit dem ersten Anfangswert basierend auf dem Endpunkt des in 2 und in den 3A und 3B beschriebenen Phasenbereichs versorgt und der zweite Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-2 wird mit dem zweiten Anfangswert basierend auf dem Anfangspunkt des Phasenbereichs versorgt. Dann, wann immer der Steuerabschnitt 70 das Lastsignal eingibt, gibt der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 ein Phasensignal aus, dessen Signalwert der Reihe nach um einen Wert der SCAN-Daten ab dem ersten Anfangswert basierend auf dem Endpunkt des Phasenbereichs vermindert wird und der zweite Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-2 gibt ein Phasensignal aus, dessen Signalwert der Reihe nach um einen Wert der SCAN-Daten ab dem zweiten Anfangswert basierend auf dem Anfangspunkt des Phasenbereichs erhöht wird.
Darüber hinaus können der erste Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 und der zweite Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-2 die Änderung der Phasen des ersten Abtastsignals und des zweiten Abtastsignals unterbrechen und die Messung einer Signalform beenden, wenn die Häufigkeit, mit der der Signalpegel des Ausgangssignals, das der Reihe nach bei jeder Phase des ersten Abtastsignals gezählt wird, kein hoher Pegel ist, gleich den mehreren Malen ist und die Häufigkeit, mit der der Signalpegel des Ausgangssignals, das der Reihe nach bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals gezählt wird, kein niedriger Pegel ist, gleich den mehreren Malen ist. Es ist möglich, eine Messung effizient durch diese Steuerung auszuführen.
Der Taktgenerator 20 weist eine Vielzahl von Komparatoren (30, 32, 34 und 36) und einen Abtastsignalerzeugungsabschnitt 21 auf. Darüber hinaus weist der Abtastsignalerzeugungsabschnitt 21 eine Vielzahl von variablen Verzögerungsschaltungen (22, 24, 26 und 28) auf. Jede variable Verzögerungsschaltung (22, 24, 26 und 28) wird mit einem Referenztakt versorgt, der mit dem Ausgangssignal synchronisiert ist, das vom elektronischen Bauelement 200 mehrere Male ausgeben wird, und verzögert den Referenztakt, um ein Abtastsignal zu erzeugen.
Die variable Verzögerungsschaltung 22 und die variable Verzögerungsschaltung 26 werden mit einem Phasensignal versorgt, das aus dem ersten Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-1 als eine Verzögerungseinstellung ausgegeben wird, und verzögern den Referenztakt um einen Verzögerungsbetrag gemäß dem Phasensignal und geben ihn aus. Das heißt, die variable Verzögerungsschaltung 22 und die variable Verzögerungsschaltung 26 geben das erste Abtastsignal aus. Darüber hinaus werden die variable Verzögerungsschaltung 24 und die variable Verzögerungsschaltung 28 mit einem Phasensignal versorgt, das vom zweiten Abtastsignalverschiebungsabschnitt 82-2 als eine Verzögerungseinstellung ausgegeben wird, und verzögern den Referenztakt um einen Verzögerungsbetrag gemäß dem Phasensignal und geben ihn aus. Das heißt, die variable Verzögerungsschaltung 24 und die variable Verzögerungsschaltung 28 geben das zweite Abtastsignal aus.
Der Taktkomparator 30 erhält ein Bestehen oder Versagens-Signal aus dem Komparator 12 mit einer Zeitsteuerung des ersten Abtastsignals, das aus der variablen Verzögerungsschaltung 22 geliefert wird. Mit anderen Worten, der Taktkomparator 30 erfasst einen Signalpegel eines Ausgangssignals mit der Phase des ersten Abtastsignals als ein Bestehen oder Versagen für die Vergleichsspannung VOH. Beim vorliegenden Beispiel fungiert der Taktkomparator 30 als ein erster Taktvergleichsabschnitt, der einen Signalpegel eines Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals mehrere Male erfasst.
Der Taktkomparator 34 erhält ein Bestehen- oder Versagens-Signal aus dem Komparator 14 mit einer Zeitsteuerung des ersten Abtastsignals. Mit anderen Worten, der Taktkomparator 34 erfasst einen Signalpegel eines Ausgangssignals mit der Phase des ersten Abtastsignals als ein Bestehen oder Versagen für die Vergleichsspannung VOL.
Der Taktkomparator 32 erhält ein Bestehen- oder Versagens-Signal aus dem Komparator 12 mit einer Zeitsteuerung des zweiten Abtastsignals, das aus der variablen Verzögerungsschaltung 24 geliefert wird. Mit anderen Worten, der Taktkomparator 32 erfasst einen Signalpegel eines Ausgangssignals mit der Phase des zweiten Abtastsignals als ein Bestehen oder Versagen für die Vergleichsspannung VOH.
Der Taktkomparator 36 erhält ein Bestehen- oder Versagens-Signal aus dem Komparator 14 mit einer Zeitsteuerung des zweiten Abtastsignals. Mit anderen Worten, der Taktkomparator 36 erfasst einen Signalpegel eines Ausgangssignals mit der Phase des zweiten Abtastsignals als ein Bestehen oder Versagen für die Vergleichsspannung VOL. Beim vorliegenden Beispiel fungiert der Taktkomparator 36 als ein erster Taktvergleichsabschnitt, der einen Signalpegel eines Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals mehrere Male erfasst.
5 ist eine Ansicht, die exemplarisch einen Aufbau eines Logikkomparators 40, eines Speicherabschnitts 60 und eines Steuerabschnitts 70 zeigt. Der Logikkomparator 40 weist eine Vielzahl von exklusiven ODER-Schaltungen (42-1, 42-2, 44-1, 44-2), eine Vielzahl von UND-Schaltungen (46-1, 46-2, 48-1, 48-2 und 52), eine Vielzahl von ODER-Schaltungen (54-1 und 54-2) und eine ODER-Schaltung 56 auf. Darüber hinaus weist der Speicherabschnitt 60 einen ersten Zähler 62, einen zweiten Zähler 64, einen Wahlabschnitt 68, einen Fehlerspeicher 72 und einen Arithmetikabschnitt 73 auf. Darüber hinaus weist der Steuerabschnitt 70 einen Messgerätsteuerabschnitt 92, einen Signalformgestaltungsabschnitt 94 und einen Mustergenerator 96 auf. Der Messgerätsteuerabschnitt 92 steuert das Messgerät 100, wie es in den 1 bis 4 beschrieben ist. Darüber hinaus erzeugt der Mustergenerator 96 ein Testmuster zum Testen des elektronischen Bauelements 200 und der Signalformgestalter 94 erzeugt ein Testsignal auf der Grundlage des Testmusters, um es dem elektronischen Bauelement 200 zuzuführen. Das Testmuster ist ein digitales Signal, das beispielsweise durch ein Muster von eins und null gezeigt wird. Darüber hinaus ist das Testsignal ein Signal, dessen Spannungspegel sich gemäß einem Wert des digitalen Signals ändert und das veranlasst, dass das elektronische Bauelement 200 ein Ausgangssignal ausgibt.
Die exklusive ODER-Schaltung 42-1 gibt ein exklusives ODER des Signals, das vom Taktkomparator 30 erhalten wird, und eines invertierten Signals eines Erwartungssignals (EXP1), das vom Messgerätsteuerabschnitt 92 geliefert wird, aus. Mit anderen Worten, die exklusive ODER-Schaltung 42-1 gibt ein Bestehen (logisch niedrig) aus, wenn ein Signalpegel eines Ausgangssignals bei einer Phase des ersten Abtastsignals mit dem invertierten Signal des Erwartungssignals EXP1 identisch ist. Hier gibt der Messgerätsteuerabschnitt 92 einen Erwartungswert des Signalpegels des Ausgangssignals bei der Phase des ersten Abtastsignals als dem Erwartungssignal EXP1 aus. Beispielsweise gibt der Messgerätsteuerabschnitt 92 bei einem Beispiel von 4 logisch hoch als dem Erwartungssignal EXP1 aus. Darüber hinaus gibt die exklusive ODER-Schaltung 44-1 ein exklusives Oder des Signals, das vom Taktkomparator 34 erhalten wird, und des Erwartungssignals (EXP1), das vom Messgerätsteuerabschnitt 92 geliefert wird, aus.
Darüber hinaus gibt die exklusive ODER-Schaltung 42-2 ein exklusives ODER des Signals, das vom Taktkomparator 32 erhalten wird, und eines invertierten Signals eines Erwartungssignals (EXP2), das vom Messgerätsteuerabschnitt 92 geliefert wird, aus. Mit anderen Worten, die exklusive ODER-Schaltung 42-2 gibt ein Bestehen (logisch niedrig) aus, wenn ein Signalpegel eines Ausgangssignals bei einer Phase des zweiten Abtastsignals mit dem invertierten Signal des Erwartungssignals EXP2 identisch ist. Hier gibt der Messgerätsteuerabschnitt 92 einen Erwartungswert des Signalpegels des Ausgangssignals bei der Phase des zweiten Abtastsignals als dem Erwartungssignal EXP2 aus. Beispielsweise gibt der Messgerätsteuerabschnitt 92 bei einem Beispiel von 2 logisch hoch als dem Erwartungssignal EXP2 aus. Darüber hinaus gibt die exklusive ODER-Schaltung 44-2 ein exklusives Oder des Signals, das vom Taktkomparator 36 erhalten wird, und des Erwartungssignals (EXP1), das vom Messgerätsteuerabschnitt 92 geliefert wird, aus.
Dann gibt die UND-Schaltung 46-1 ein logisches Produkt des Signals, das von der exklusiven ODER-Schaltung 42-1 ausgegeben wird, und eines Steuersignals (CPE1), das vom Messgerätsteuerabschnitt 92 geliefert wird, aus. Mit anderen Worten, wenn das Steuersignal CPE1 logisch hoch ist, lässt die UND-Schaltung 46-1 ein Bestehen- oder Versagen-Signal durch, das von der exklusiven ODER-Schaltung 42-1 ausgegeben wird. Darüber hinaus gibt die UND-Schaltung 48-1 ein logisches Produkt des Signals, das von der exklusiven ODER-Schaltung 44-1 ausgegeben wird, und des Steuersignals (CPE1), das vom Messgerätsteuerabschnitt 92 geliefert wird, aus. Mit anderen Worten, wenn das Steuersignal CPE1 logisch hoch ist, lässt die UND-Schaltung 48-1 ein Bestehen- oder Versagens-Signal durch, das von der exklusiven ODER-Schaltung 44-1 ausgegeben wird. Hier gibt der Messgerätsteuerabschnitt 92 beim Messen einer Signalform des Ausgangssignals logisch hoch als dem Steuersignal CPE1 aus.
Darüber hinaus gibt die UND-Schaltung 46-2 ein logisches Produkt des Signals, das von der exklusiven ODER-Schaltung 42-2 ausgegeben wird, und eines Steuersignals (CPE2), das vom Messgerätsteuerabschnitt 92 geliefert wird, aus. Darüber hinaus gibt die UND-Schaltung 48-2 ein logisches Produkt des Signals, das von der exklusiven ODER-Schaltung 44-2 ausgegeben wird, und des Steuersignals (CPE2), das vom Messgerätsteuerabschnitt 92 geliefert wird, aus. Hier gibt der Messgerätsteuerabschnitt 92 beim Messen einer Signalform des Ausgangssignals logisch hoch als dem Steuersignal CPE2 aus.
Dann gibt die ODER-Schaltung 54-1 eine logische Summe eines Bestehen- oder Versagens-Signals, das von der UND-Schaltung 46-1 ausgegeben wird, und eines Bestehen- oder Versagens-Signals, das von der UND-Schaltung 48-1 ausgegeben wird, aus. Darüber hinaus gibt die ODER-Schaltung 54-2 eine logische Summe eines Bestehen- oder Versagens-Signals, das von der UND-Schaltung 46-2 ausgegeben wird, und eines Bestehen- oder Versagens-Signals, das von der UND-Schaltung 48-2 ausgegeben wird, aus.
Dann zählt der erste Zähler 62 die Häufigkeit des von der ODER-Schaltung 54-1 ausgegebenen Versagens oder Bestehens. Beim vorliegenden Beispiel erhält der erste Zähler 62 das Signal, das von der ODER-Schaltung 54-1 ausgegeben wird, über die exklusive ODER-Schaltung 55-1 und die UND-Schaltung 57-1. Wenn man beispielsweise die Häufigkeit des von der ODER-Schaltung 54-1 ausgegebenen Versagens zählen möchte, wie es in 3A und 3B gezeigt ist, erhält die exklusive ODER-Schaltung 55-1 „null” als einem Modussignal und gibt ein exklusives ODER dieses Modussignals und des von der ODER-Schaltung 54-1 ausgegeben Signals aus. Dann gibt die UND-Schaltung 57-1 ein logisches Produkt des Signals, das von der exklusiven ODER-Schaltung 55-1 erhalten wird, und des Steuersignals (CPE1) an den ersten Zähler 62 aus. Wie es unter Bezugnahme auf 2 und die 3A und 3b beschrieben wurde, zählt der erste Zähler 62 die Häufigkeit des Bestehens oder Versagens für jede Phase des ersten Abtastsignals. Beim Zählen von Bestehen wird „eins” als Modussignal eingegeben und das Zählen wird durch eine ähnliche Operation ausgeführt. Darüber hinaus wird es bevorzugt, dass der Messgerätsteuerabschnitt 92 den ersten Zähler 62 zurücksetzt, wann immer die Phase des ersten Abtastsignals verschoben ist.
Darüber hinaus zählt der zweite Zähler 64 die Häufigkeit des von der ODER-Schaltung 54-2 ausgegebenen Versagens oder Bestehens. Gleichartig zum ersten Zähler 62 erhält der zweite Zähler 64 das Signal, das von der ODER-Schaltung 54-2 ausgegeben wird, über die exklusive ODER-Schaltung 55-2 und die UND-Schaltung 57-2. Beispielsweise erhält die exklusive ODER-Schaltung 55-2 „null” als einem Modussignal, wenn man die Häufigkeit des von der ODER-Schaltung 54-2 ausgegebenen Versagens zählen möchte, und erhält „eins” als einem Modussignal, wenn man das Bestehen zählen möchte. Dann gibt die exklusive ODER-Schaltung 55-2 ein exklusives ODER des erhaltenen Modussignals und des Signals, das von der ODER-Schaltung 54-2 ausgegeben wird, aus. Die UND-Schaltung 57-2 gibt ein logisches Produkt des Signals, das von der exklusiven ODER-Schaltung 55-2 erhalten wird, und des Steuersignals (CPE2) an den ersten Zähler 64 aus. Der zweite Zähler 64 zählt die Häufigkeit des Bestehens oder Versagens für jede Phase des zweiten Abtastsignals. Es wird es bevorzugt, dass der Messgerätsteuerabschnitt 92 den zweiten Zähler 64 zurücksetzt, wann immer die Phase des zweiten Abtastsignals verschoben ist.
Der Fehlerspeicher 72 speichert die vom ersten Zähler 62 für jede Phase des ersten Abtastsignals gezählte Häufigkeit, wie es in 3A gezeigt ist, und speichert die vom zweiten Zähler 64 für jede Phase des zweiten Abtastsignals gezählte Häufigkeit, wie es in 3B gezeigt ist. Der Arithmetikabschnitt 73 berechnet eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform eines Ausgangssignals, einen Jitterbetrag und eine Jitterverteilung auf der Grundlage von im Fehlerspeicher 72 gespeicherten Daten. Der Arithmetikabschnitt 73 kann ein Rechner sein, der außerhalb vorgesehen ist. Darüber hinaus kann der Arithmetikabschnitt 73 entscheiden, ob das elektronische Bauelement 200 gut oder schlecht ist, auf der Grundlage einer Phase eines Änderungspunkts einer Signalform eines Ausgangssignals, eines Jitterbetrags und einer Jitterverteilung, die aus dem Arithmetikabschnitt berechnet worden sind.
Darüber hinaus kann der Fehlerspeicher 72 ein Bestehen- oder Versagens-Signal speichern, das von der ODER-Schaltung 54-1 ausgegeben wird, oder ein Bestehen- oder Versagens-Signal, das von der ODER-Schaltung 54-2 ausgegeben wird. Der Wahlabschnitt 68 wählt, welches der durch den ersten Zähler 62 und den zweiten Zähler 64 gezählten Ergebnisse oder der aus den ODER-Schaltungen 54-1 und 54-2 ausgegebenen Signale im Fehlerspeicher 72 gespeichert werden. Es wird bevorzugt, dass dem Wahlabschnitt 68 ein Wahleinstellungssignal zugeführt wird, das bestimmt, was gewählt wird. Der Speicherabschnitt 60 kann darüber hinaus ein Register zum Einstellen dieses Wahleinstellungssignals vor dem Messen einer Signalform eines Ausgangssignals aufweisen.
Wenn das Wahleinstellungssignal ein Signal ist, um die vom ersten Zähler 62 und vom zweiten Zähler 64 gezählten Ergebnisse im Fehlerspeicher 72 zu speichern, erfasst der Wahlabschnitt 68 die vom ersten Zähler 62 und vom zweiten Zähler 64 gezählten Ergebnisse und speichert die Ergebnisse im Fehlerspeicher 72. Die Zeitsteuerung, mit der der Wahlabschnitt 68 die vom ersten Zähler 62 und vom zweiten Zähler 64 gezählten Ergebnisse erfasst, kann die Zeitsteuerung sein, mit der der Messgerätsteuerabschnitt 92 den ersten Zähler 62 und den zweiten Zähler 64 zurücksetzt. Beim vorliegenden Beispiel erzeugt der Messgerätsteuerabschnitt 92 ein MST-Signal, das den ersten Zähler 62 und den zweiten Zähler 64 zurücksetzt, und liefert das MST-Signal an den Wahlabschnitt 68, wann immer das elektronische Bauelement 200 das Ausgangssignal die festgelegten mehreren Male ausgegeben hat. Der Wahlabschnitt 68 erfasst die durch den ersten Zähler 62 und den zweiten Zähler 64 gezählten Ergebnisse mit der Zeitsteuerung auf der Grundlage des MST-Signals.
Wenn das Wahleinstellungssignal ein Signal ist, um die aus den ODER-Schaltungen 54-1 und 54-2 ausgegebenen Signale im Fehlerspeicher 72 zu speichern, speichert der Wahlabschnitt 68 ein von der ODER-Schaltung 54-1 ausgegebenes Bestehen- oder Versagens-Signal und ein von der ODER-Schaltung 54-2 ausgegebenes Bestehen- oder Versagens-Signal im Fehlerspeicher. Zu diesem Zeitpunkt wird es bevorzugt, dass der Messgerätsteuerabschnitt 92 ein STORE-Signal, das das Speichern dieses Signals ermöglicht, an den Wahlabschnitt 68 liefert.
Darüber hinaus gibt die ODER-Schaltung 56 eine logische Summe des von der ODER-Schaltung 54-1 ausgegebenen Bestehen- oder Versagens-Signals und des von der ODER-Schaltung 54-2 ausgegebenen Bestehen- oder Versagens-Signals an den Messgerätsteuerabschnitt 92 aus. Wenn das von der ODER-Schaltung 56 ausgegebene Signal ein Versagen zeigt, speichert der Messgerätsteuerabschnitt 92 Versagens-Information im Fehlerspeicher 72 in all den Speicherabschnitten 60, die entsprechend zu anderen Stiften vorgesehen sind. Da eine Differenz zwischen einer Zeit, für die ein Signal aus der ODER-Schaltung 54-1 oder dergleichen zum Wahlabschnitt 68 übertragen wird, und einer Zeit, für die ein Signal aus der ODER-Schaltung 56 zum Messgerätsteuerabschnitt 92 übertragen wird und ein Steuersignal vom Messgerätsteuerabschnitt 92 zu jedem der Wahlabschnitte 68 übertragen wird, verursacht wird, wird es in diesem Fall bevorzugt, dass der Wahlabschnitt 68 ein Signal aus der ODER-Schaltung 54-1 oder dergleichen über eine Verzögerungsschaltung erhält, um diese Differenz einzustellen.
Beispielsweise ist das Messgerät 100 in 1 im Testgerät 300 vorgesehen. Bei einem anderen Beispiel kann das Messgerät 100 jedoch alleine funktionieren. In diesem Fall ist das Messgerät 100 mit dem Messgerätsteuerabschnitt 92 ausgestattet.
Industrielle Anwendbarkeit
Wie aus den obigen Beschreibungen ersichtlich ist, ist es erfindungsgemäß möglich, einen Änderungspunkt einer Signalform eines Ausgangssignals, einen Jitterbetrag und eine Jitterverteilung durch einen Einmaltest zu messen.

Claims

Messgerät, das eine Signalform eines Ausgangssignals misst, das von einem elektronischen Bauelement ausgegeben wird, umfassend: einen Abtastsignalerzeugungsabschnitt, der ein erstes Abtastsignal und ein zweites Abtastsignal, das eine Phase aufweist, die sich von der des ersten Abtastsignals unterscheidet, in Synchronisation mit dem Ausgangssignal erzeugt; einen Abtastsignalverschiebungsabschnitt, der der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals ändert, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal mehrere Male ausgibt; einen ersten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals erfasst; einen zweiten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals erfasst; einen ersten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den ersten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist; einen zweiten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den zweiten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des zweiten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist; einen Fehlerspeicher, der die vom ersten Zähler gezählte Häufigkeit und die vom zweiten Zähler gezählte Häufigkeit speichert, und einen Arithmetikabschnitt, der eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals, einen Jitterbetrag und eine Jitterverteilung auf der Grundlage der vom ersten Zähler für jede Phase gezählten Häufigkeit und der vom zweiten Zähler für jede Phase gezählten Häufigkeit berechnet.
Messgerät nach Anspruch 1, wobei der Abtastsignalverschiebungsabschnitt der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals ändert, so dass eine relative Phase zwischen dem ersten Abtastsignal und dem zweiten Abtastsignal geändert wird.
Messgerät nach Anspruch 2, wobei der Abtastsignalverschiebungsabschnitt der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals von einem Ende eines Phasenbereichs, der eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals beinhaltet, hin zum anderen Ende des Phasenbereichs ändert; und der Reihe nach eine Phase des zweiten Abtastsignals vom anderen Ende des Phasenbereichs hin zum einen Ende des Phasenbereichs ändert.
Messgerät nach Anspruch 3, wobei der Abtastsignalverschiebungsabschnitt der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals mit im Allgemeinen gleichen Änderungsbetrag ändert.
Messgerät nach Anspruch 4, wobei der Abtastsignalverschiebungsabschnitt die Änderung der Phasen des ersten Abtastsignals und des zweiten Abtastsignals beendet, wenn die Häufigkeit, mit der der Signalpegel des Ausgangssignals, das der Reihe nach bei jeder Phase des ersten Abtastsignals gezählt wird, kein hoher Pegel ist, gleich den mehreren Malen ist und die Häufigkeit, mit der der Signalpegel des Ausgangssignals, das der Reihe nach bei jeder Phase des zweiten Abtastsignal gezählt wird, kein niedriger Pegel ist, gleich den mehreren Malen ist.
Messgerät nach Anspruch 1, das darüber hinaus einen Messgerätsteuerabschnitt umfasst, der Werte, die vom ersten Zähler und vom zweiten Zähler gezählt werden, in Verbindung mit der Phase des ersten Abtastsignals und der Phase des zweiten Abtastsignals speichert und die vom ersten Zähler und vom zweiten Zähler gezählten Werte zurücksetzt, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal die mehreren Male ausgegeben hat.
Messverfahren zum Messen einer Signalform eines aus einem elektronischen Bauelement ausgegebenen Ausgangssignals, umfassend: einen Abtastsignalerzeugungsschritt des Erzeugens eines ersten Abtastsignals und eines zweiten Abtastsignals, das eine Phase aufweist, die sich von der des ersten Abtastsignals unterscheidet, in Synchronisation mit dem Ausgangssignal; einen Abtastsignalverschiebungsschritt des Änderns einer Phase des ersten Abtastsignals und einer Phase des zweiten Abtastsignals der Reihe nach, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal mehrere Male ausgibt; einen ersten Taktvergleichsschritt des die mehreren Male Erfassens eines Signalpegels des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals; einen zweiten Taktvergleichsschritt des die mehreren Male Erfassens eines Signalpegels des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals; einen ersten Zählschritt des Zählens, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das im ersten Taktvergleichsschritt erfasst wird, für jede Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist; einen zweiten Zählschritt des Zählens, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das im zweiten Taktvergleichsschritt erfasst wird, für jede Phase des zweiten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist; einen Speicherschritt des Speicherns der im ersten Zählschritt gezählten Häufigkeit und der im zweiten Zählschritt gezählten Häufigkeit, und einen Arithmetikschritt der Berechnung einer Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals, eines Jitterbetrags und einer Jitterverteilung auf der Grundlage der im ersten Zählschritt für jede Phase gezählten Häufigkeit und der im zweiten Zählschritt für jede Phase gezählten Häufigkeit.
Messverfahren nach Anspruch 7, wobei der Abtastsignalverschiebungsschritt das Ändern einer Phase des ersten Abtastsignals und einer Phase des zweiten Abtastsignals der Reihe nach umfasst, so dass eine relative Phase zwischen dem ersten Abtastsignal und dem zweiten Abtastsignal geändert wird.
Messverfahren nach Anspruch 8, wobei der Abtastsignalverschiebungsschritt folgendes umfasst: Ändern einer Phase des ersten Abtastsignals der Reihe nach von einem Ende eines Phasenbereichs, der eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals beinhaltet, hin zum anderen Ende des Phasenbereichs; und Ändern einer Phase des zweiten Abtastsignals der Reihe nach vom anderen Ende des Phasenbereichs hin zum einen Ende des Phasenbereichs.
Messverfahren nach Anspruch 9, wobei der Abtastsignalverschiebungsschritt das Ändern einer Phase des ersten Abtastsignals und einer Phase des zweiten Abtastsignals der Reihe nach mit im Allgemeinen gleichem Änderungsbetrag umfasst.
Testgerät, das ein elektronisches Bauelement testet, umfassend: einen Steuerabschnitt, der ein Testsignal zum Testen des elektronischen Bauelements erzeugt und das elektronische Bauelement mit dem Testsignal versorgt; und ein Messgerät, das eine Signalform eines Ausgangssignals aus dem elektronischen Bauelement misst und entscheidet, ob das elektronische Bauelement gut oder schlecht ist; und wobei das Messgerät folgendes umfasst: einen Abtastsignalerzeugungsabschnitt, der ein erstes Abtastsignal und ein zweites Abtastsignal, das eine Phase aufweist, die sich von der des ersten Abtastsignals unterscheidet, in Synchronisation mit dem Ausgangssignal erzeugt; einen Abtastsignalverschiebungsabschnitt, der der Reihe nach eine Phase des ersten Abtastsignals und eine Phase des zweiten Abtastsignals ändert, wann immer das elektronische Bauelement das Ausgangssignal mehrere Male ausgibt; einen ersten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des ersten Abtastsignals erfasst; einen zweiten Taktvergleichsabschnitt, der die mehreren Male einen Signalpegel des Ausgangssignals bei jeder Phase des zweiten Abtastsignals erfasst; einen ersten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den ersten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des ersten Abtastsignals ein hoher Pegel ist; einen zweiten Zähler, der zählt, wie häufig der Signalpegel eines jeden Ausgangssignals, das durch den zweiten Taktvergleichsabschnitt erfasst wird, für jede Phase des zweiten Abtastsignals ein niedriger Pegel ist; einen Fehlerspeicher, der die vom ersten Zähler gezählte Häufigkeit und die vom zweiten Zähler gezählte Häufigkeit speichert; und einen Arithmetikabschnitt, der auf der Grundlage der für jede Phase vom ersten Zähler gezählten Häufigkeit und der für jede Phase vom zweiten Zähler gezählten Häufigkeit eine Phase eines Änderungspunkts einer Signalform des Ausgangssignals, einen Jitterbetrag und eine Jitterverteilung berechnet und entscheidet, ob das elektronische Bauelement gut oder schlecht ist.