DE112006000788T5 - Taktübertragungsvorrichtung und Prüfvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Taktübertragungsvorrichtung zum Synchronisieren eines mit einem Bezugtakt synchronisierten Mustersignals mit einem variablen Takt auf der Grundlage einer Oszillationsquelle, die von der des Bezugstakts verschieden ist, welche aufweist:
eine Ratentakt-Erzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Ratentakts, dessen Anzahl von Impulsen innerhalb einer vorbestimmten Periode nahezu gleich einer Anzahl von Impulsen des variablen Takts innerhalb der vorbestimmten Periode ist, durch Ausdünnen der Impulse innerhalb des Bezugstakts;
eine Mustererzeugungsschaltung zum Erzeugen des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts; und
einen FIFO-Speicher, der Daten des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts speichert und die gespeicherten Daten entsprechend den Impulsen des variablen Takts ausgibt.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Taktübertragungsvorrichtung zum Synchronisieren eines Mustersignals mit einem variablen Takt, der auf der Grundlage einer Oszillationsquelle oszilliert, die verschieden von der des Mustersignals ist, und auf eine Prüfvorrichtung mit einer derartigen Taktübertragungsvorrichtung.
  • Diese Patentanmeldung nimmt den Inhalt der japanischen Patentanmeldung Nr. 2005-093022 , die am 28. März 2005 eingereicht wurde, durch Bezugnahme auf, soweit dies anwendbar ist.
  • Stand der Technik
  • Als eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung wie einer Halbleiterschaltung ist eine Prüfvorrichtung bekannt, die Jitter in ein Prüfsignal injiziert, das zu der geprüften Vorrichtung zu liefern ist, und einen Wert des Jitters misst, das verhindert, dass die geprüfte Vorrichtung normal arbeitet. während die Prüfvorrichtung das Prüfsignal auf der Grundlage eines Bezugstakts erzeugt, waren ein Verfahren zum Injizieren von Jitter in den Bezugstakt und ein Verfahren zum Injizieren in das erzeugte Prüfsignal bei dem Injizieren von Jitter in das Prüfsignal bekannt.
  • 1 ist ein Diagramm zur Erläuterung einer herkömmlichen Prüfvorrichtung 200, wobei 1A eine Konfiguration der Prüfvorrichtung 200 zeigt, die Jitter in den Bezugstakt injiziert, und 1B eine Konfiguration der Prüfvorrichtung 200 zeigt, die Jitter in das Prüfsignal injiziert. Die in 1A gezeigte Prüfvorrichtung 200 hat eine Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 202, eine Mustererzeugungsschaltung 204 und eine variable Verzögungsschaltung 206. Die Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 202 erzeugt den Bezugstakt mit nahezu derselben Periode wie der des Prüfsignals, das an die geprüfte Vorrichtung DUT anzulegen ist, und liefert es zu jeder Komponente der Prüfvorrichtung 200.
  • Die Mustererzeugungsschaltung 204 erzeugt das an die geprüfte Vorrichtung DUT anzulegende Prüfsignal entsprechend dem gegebenen Bezugstakt. Das heißt, sie erzeugt Impulse des Prüfsignals entsprechend Impulsen des gegebenen Bezugstakts. Daher ist es möglich, das Prüfsignal mit einer gewünschten Periode durch Steu ern der Periode des Bezugstakts zu erzeugen. Die Prüfvorrichtung 200 injiziert Jitter in das Prüfsignal durch Erzeugen des Bezugstakts, in den Jitter injiziert wurde, in der Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 202. Die variable Verzögerungsschaltung 206 steuert das Prüfsignal so, dass es eine gewünschte Phase hat, und legt es an die geprüfte Vorrichtung DUT an.
  • Die in 1B gezeigte Prüfvorrichtung 200 hat eine Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 208, eine Mustererzeugungsschaltung 204, eine Grobverzögerungsschaltung 210, eine variable Verzögerungsschaltung 206 und eine Additionsschaltung 212. Die Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 208 erzeugt einen Bezugstakt mit einer voreingestellten Periode, und die Mustererzeugungsschaltung 204 erzeugt das Prüfsignal entsprechend dem gegebenen Bezugstakt. Die Grobverzögerungsschaltung 210 und die variable Verzögerungsschaltung 206 verzögern jeweilige Impulse des Prüfsignals, um die Periode und die Phase des Prüfsignals zu steuern. Die Grobverzögerungsschaltung 210 verzögert ganzzahlige Vielfache der Periode des Bezugstakts unter Verzögerungswerten der jeweiligen Impulse des zu verzögernden Prüfsignals, und die variable Verzögerungsschaltung 206 verzögert um einen Wert, der kleiner als die Periode des Bezugstakts ist, unter den Verzögerungswerten. Die Additionsschaltung 212 addiert akkumulierend Differenzen der Periode des Prüfsignals und der Periode des Bezugstakts, um den Verzögerungswert der variablen Verzögerungsschaltung 206 zu steuern. Die Prüfvorrichtung 200 injiziert Jitter in das Prüfsignal durch Vorsehen einer Spannungsschwankungsschaltung an einem Ausgangsende oder durch Steuern des Verzögerungswerts der variablen Verzögerungsschaltung 206. Der Anmelderin sind gegenwärtig keine relevanten Pa tentdokumente bekannt, so dass ihre Beschreibung hier weggelassen wird.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Durch die Erfindung zu lösende Probleme
  • Es ist jedoch schwierig, das Zeitverhalten der in 1A gezeigten Prüfvorrichtung 200 zu bestimmen, da die Periode des zu jeder Komponente gelieferten Bezugstakts variabel ist. Das heißt, da die Periode des als ein Arbeitstakt gegebenen Bezugstakts schwankt, ist es erforderlich, das Zeitverhalten jeder Komponente so zu bestimmen, dass sie in jeder Periode des Bezugstakts arbeiten kann. Weiterhin wird es schwierig, das Zeitverhalten zu bestimmen, da der Bezugstakt, in den das Jitter injiziert wurde, zu jeder Komponente geliefert wird.
  • Weiterhin ist es schwierig, während die in 1B gezeigte Prüfvorrichtung 200 Jitter in das Prüfsignal durch die Spannungsschwankungsschaltung oder dergleichen injiziert, ein genaues Jitter zu injizieren im Vergleich zu dem Fall des Injizierens von Jitter in der Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 208.
  • Demgemäß ist es eine Aufgabe einiger Aspekte der Erfindung, eine Taktübertragungsvorrichtung und eine Prüfvorrichtung vorzusehen, die in der Lage sind, die vorbeschriebenen Probleme zu lösen. Diese Aufgabe kann gelöst werden durch die Kombination von in den unabhängigen Ansprüchen der Erfindung beschriebenen Merkmalen. Von diesen abhängige Ansprüche spezifizieren bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung.
  • Mittel zum Lösen der Probleme
  • Das heißt, gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ist eine Taktübertragungsvorrichtung vorgesehen zum Synchronisieren eines mit einem Bezugstakt synchronisierten Mustersignals mit einem variablen Takt auf der Grundlage einer Oszillationsquelle, die verschieden von der des Bezugstakts ist, mit einer Ratentakt-Erzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Ratentakts, dessen Impulsanzahl innerhalb einer vorbestimmten Periode nahezu gleich einer Anzahl von Impulsen des variablen Takts innerhalb der vorbestimmten Periode ist, durch Ausdünnen der Impulse des Bezugstakts, einer Mustererzeugungsschaltung zum Erzeugen des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts und einen FIFO-Speicher, der Daten des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts speichert und die gespeicherten Daten entsprechend den Impulsen des variablen Takts ausgibt.
  • Die Taktübertragungsvorrichtung kann weiterhin eine Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung enthalten, um zu bewirken, dass der FIFO-Speicher die gespeicherten Daten so lange nicht ausgibt, bis das Mustersignal zu dem FIFO-Speicher geliefert wird, und zu bewirken, dass der FIFO-Speicher die gespeicherten Daten ausgibt, nachdem das Mustersignal zu dem FIFO-Speicher geliefert wurde.
  • Die Taktübertragungsvorrichtung kann weiterhin eine Erzeugungsschaltung für einen variablen Takt zum Erzeugen des variablen Takts und eine Startzeit-Steuerschaltung zum Liefern eines Startsignals enthalten, um zu bewirken, dass die Ratentakt-Erzeugungsschaltung und die Erzeugungsschaltung für den variablen Takt mit der Ausgabe des Ratentakts und des variablen Takts beginnen, und die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung kann den Zeitpunkt steuern, zu welchem der FIFO-Speicher mit der Ausgabe der Daten beginnt, auf der Grundlage einer Differenzzeit zwischen einer ersten Zeitperiode von dem Empfang des Startsignals durch die Ratentakt-Erzeugungsschaltung bis zur Zuführung des Ratentakts zu dem FIFO-Speicher und einer zweiten Zeitperiode von dem Empfang des Startsignals durch die Erzeugungsschaltung für den variablen Takt bis zur Zuführung des variablen Takts zu dem FIFO-Speicher.
  • Die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung kann eine Teilungsschaltung haben, die Informationen über die Zeitdifferenz zwischen der ersten Zeitperiode und der zweiten Zeitperiode empfängt und die Differenzzeitinformationen durch eine Periode des variablen Takts teilt, sowie eine FIFO-Steuerschaltung, die eine Anzahl von Impulsen des gegebenen variablen Takts zählt und, wenn ein Zählwert mit einem Wert übereinstimmt, der durch Berechnen eines Dezimalpunkts oder weniger eines Ergebnisses der Teilung in der Teilungsschaltung als eine Einheit erhalten wurde, übereinstimmt, mit der Ausgabe der in dem FIFO-Speicher gespeicherten Daten beginnt. Die Taktübertragungsvorrichtung kann weiterhin eine Jitterinjektionsschaltung zum Injizieren von Jitter in den von der Erzeugungsschaltung für variablen Takt erzeugten variablen Takt enthalten.
  • Die Erzeugungsschaltung für variablen Takt kann enthalten: einen spannungsgesteuerten Oszillator zum Erzeugen des variablen Takts, einen Frequenzteiler zum Teilen des variablen Takts, einen Phasenkomparator zum Erfassen einer Phasendifferenz zwischen dem durch den Teiler geteilten variablen Takt und einem gegebenen Vergleichstakt, und eine Ladungspumpe zum Erzeugen einer Steuerspannung entsprechend der von dem Phasenkomparator erfassten Phasendifferenz, um die Frequenz des von dem spannungsgesteuerten Oszillator erzeugten variablen Takts zu steuern, wobei die Jitterinjektionsschaltung Jitter in den variablen Takt durch Überlagern des Jitters über die von dem Phasenkomparator erfasste Phasendifferenz oder die von der Ladungspumpe erzeugte Steuerspannung injiziert.
  • Die Taktübertragungsvorrichtung kann weiterhin eine Phasensteuerschaltung zum Überlagern eines Phasensteuersignals zum Steuern der Phase des von dem FIFO-Speicher ausgegebenen Mustersignals über die von dem Phasenkomparator erfasste Phasendifferenz oder die von der Ladungspumpe erzeugte Steuerspannung enthalten. Die Erzeugungsschaltung für den variablen Takt kann weiterhin einen Addieren zum Addieren des Jittersignals und des Phasensteuersignals und eine Überlagerungsvorrichtung zum Überlagern eines von dem Addierer ausgegebenen Signals über die Phasendifferenz oder die Steuerspannung enthalten.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vorgesehen, mit einer Bezugstakt-Erzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Bezugstakts, einem ersten Prüfmodul zum Erzeugen eines ersten Prüfsignals mit einer Periode, die unterschiedlich gegenüber der des Bezugstakts ist, zur Zuführung zu der geprüften Vorrichtung, und ein zweites Prüfmodul zum Erzeugen eines zweiten Prüfsignals, das mit dem Bezugstakt synchronisiert ist, zur Zuführung zu der geprüften Vorrichtung, wobei das erste Prüfmodul aufweist: eine Erzeugungsschaltung für variablen Takt zum Erzeugen eines variablen Takts mit einer von der des Bezugstakts verschiedenen Periode, eine Ratentakt-Erzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Ratentakts, dessen Impulsanzahl innerhalb einer vorbestimmten Zeitperiode gleich einer Anzahl von Impulsen des variablen Takts innerhalb der vorbestimmten Zeitperiode ist, eine Mustererzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts und einen FIFO-Speicher zum Speichern von Daten des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts und zum Ausgeben der gespeicherten Daten als das erste Prüfsignal entsprechend den Impulsen des variablen Takts.
  • Es ist festzustellen, dass die vorstehend beschriebene Zusammenfassung der Erfindung nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der Erfindung beschreibt. Die Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
  • Wirkung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung ermöglicht die Erzeugung des Prüfsignals mit gewünschter Periode durch die Schaltung, deren Zeitverhalten einfach bestimmbar ist. Weiterhin ermöglicht sie, dass sehr genaues Jitter in das Prüfsignal injiziert wird durch die Schaltung, deren Zeitverhalten leicht bestimmbar ist.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist ein Diagramm zur Erläuterung einer herkömmlichen Prüfvorrichtung 200, worin 1A eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung 200 zeigt, die Jitter in einen Bezugstakt injiziert, und 1B eine Konfiguration der Prüfvorrichtung 200 zeigt, die Jitter in ein Prüfsignal injiziert.
  • 2 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt.
  • 3 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Taktübertragungsvorrichtung 22 zeigt.
  • 4 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 zeigt.
  • 5 ist ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Arbeitsweise der Taktübertragungsvorrichtung 22 zeigt.
  • 6 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt zeigt.
  • 7 ist ein Diagramm, das eine andere beispielhafte Konfiguration der Taktübertragungsvorrichtung 22 zeigt.
  • 10
    Körperabschnitt;
    12
    Oktavtakt-Erzeugungsschaltung;
    14
    Bezugstakt-Erzeugungsschaltung;
    16
    Startzeit-Steuerschaltung;
    20
    erstes Prüfmodul;
    22
    Taktübertragungsvorrichtung;
    28
    Treiber;
    30
    Prüfmodul;
    32
    Periodenerzeugungsschaltung;
    34
    Mustererzeugungsschaltung;
    36
    Verzögerungsschaltung;
    38
    logische Vergleichsschaltung;
    40
    Treiber;
    42
    Komparator;
    44
    Erzeugungsschaltung für variablen Takt;
    46
    Ratentakt-Erzeugungsschaltung;
    48
    Mustererzeugungsschaltung;
    50
    setzseitige Schaltung;
    52
    Pipeline;
    54
    FIFO-Speicher;
    56
    Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung;
    58
    Verzögerungssteuerschaltung;
    60
    Grobverzögerungsschaltung;
    62
    UND-Schaltung;
    64
    variable Verzögerungsschaltung;
    66
    rücksetzseitige Schaltung;
    68
    Setz-/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtung;
    70
    Teilungsschaltung;
    71
    FIFO-Steuerschaltung;
    72
    Zähler;
    74
    Flipflop;
    76
    Auswahlschaltung;
    78
    ODER-Schaltung;
    80
    Frequenzteiler;
    82
    Jitterinjektionsschaltung;
    84
    Phasensteuerschaltung;
    86
    Addierer;
    88
    Phasenkomparator;
    90
    Überlagerungsvorrichtung;
    92
    Ladungspumpenschaltung;
    94
    spannungsgesteuerter Oszillator;
    96
    UND-Schaltung;
    98
    Frequenzteiler;
    100
    Prüfvorrichtung;
    102
    Flipflop;
    104
    Flipflop;
    200
    herkömmliche Prüfvorrichtung;
    202
    Bezugstakt-Erzeugungsschaltung;
    204
    Mustererzeugungsschaltung;
    206
    variable Verzögerungsschaltung;
    208
    Bezugstakt-Erzeugungsschaltung;
    210
    Grobverzögerungsschaltung;
    212
    Additionsschaltung.
  • Beste Art der Ausführung der Erfindung
  • Die Erfindung wird nun auf der Grundlage bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in den Ausführungsbeispielen beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
  • 2 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. Die Prüfvorrichtung 100 ist eine Vorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung DUT wie einer Halbleiterschaltung und hat einen Körperabschnitt 10, ein erstes Prüfmodul 20 und ein zweites Prüfmodul 30. Obgleich die Prüfvorrichtung 100 in diesem Beispiel die beiden Prüfmodule hat, kann die Prüfvorrichtung 100 bei einem anderen Beispiel eine große Anzahl von Prüfmodulen entsprechend einer Anzahl von Eingangs-/Ausgangsstiften der geprüften Vorrichtung DUT haben.
  • Der Körperabschnitt 10 steuert das erste und das zweite Prüfmodul 20 und 30. Der Körperabschnitt 10 hat eine Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 14, eine Oktavtakt-Erzeugungsschaltung 12 und eine Startzeit-Steuerschaltung 16. Die Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 14 erzeugt einen Bezugstakt mit einer vorbestimmten Frequenz, die die Arbeitsfrequenz des ersten und des zweiten Prüfmoduls 20 und 30 spezifiziert. Die Oktavtakt-Erzeugungsschaltung 12 hat eine Taktoszillationsquelle, die verschieden von der der Bezugstakt-Erzeugungsschaltung 14 ist, und erzeugt einen Oktavtakt, dessen Frequenz variabel ist. Die Startzeit-Steuerschaltung 16 erzeugt ein Startsignal, das die Zeit zum Starten der Prüfung der geprüften Vorrichtung DUT spezifiziert. Das Startsignal ist ein Signal, das während der Prüfung von der Startzeit bis zum Ende der Prüfung den logischen Wert H darstellt.
  • Das erste Prüfmodul 20 ist ein Modul beispielsweise zum Prüfen des Jitters der geprüften Vorrichtung DUT und ist mit einem Stift der geprüften Vorrichtung DUT verbunden, um ein erstes Prüfsignal, in das Jitter injiziert wurde, zu dem Stift zu liefern. Beispielsweise ist es möglich, einen Wert des Jitters zu erfassen, bei dem die geprüfte Vorrichtung DUT nicht mehr normal arbeiten kann, indem der Betrag des dem ersten Prüfsignal zugeführten Jitters allmählich er höht wird. Es ist dann möglich zu beurteilen, ob die geprüfte Vorrichtung DUT normal arbeitet oder nicht, indem das von einem anderen Prüfmodul erfasste Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung DUT mit einem vorher gesetzten erwarteten Wert verglichen wird.
  • Das erste Prüfmodul 20 hat eine Taktübertragungsvorrichtung 22 und einen Treiber 28. Die Taktübertragungsvorrichtung 22 erzeugt das erste Prüfsignal, das mit einem variablen Takt synchronisiert ist, auf der Grundlage einer Oszillationsquelle, die verschieden von der des Bezugstakts ist, und liefert es über den Treiber 28 zu der geprüften Vorrichtung DUT.
  • Das zweite Prüfmodul 30 ist ein beispielsweise zum Implementieren von Funktionsprüfungen für die geprüfte DUT und ist mit einem anderen Stift der geprüften Vorrichtung DUT verbunden, um ein zweites Prüfsignal mit einem gewünschten Muster zu dem Stift zu liefern. Beispielsweise implementiert es die Funktionsprüfung für die geprüfte Vorrichtung DUT, indem es das zweite Prüfsignal so zu der geprüften Vorrichtung DUT liefert, dass sie in einer vorbestimmten Weise arbeitet und ein Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung DUT und einen vorher gesetzten erwarteten Wert vergleicht.
  • Das zweite Prüfmodul 30 hat eine Periodenerzeugungsschaltung 32, eine Mustererzeugungsschaltung 34, eine Verzögerungsschaltung 36, eine logische Vergleichsschaltung 38, einen Treiber 40 und einen Komparator 42. Diese Komponenten empfangen den Bezugstakt und arbeiten entsprechend den jeweiligen Impulsen des Bezugstakts.
  • Die Periodenerzeugungsschaltung 32 erzeugt ein periodisches Signal, das eine Periode des zweiten Prüfsignals spezifiziert. Die Mustererzeugungsschaltung 34 erzeugt ein Mustersignal, das ein Muster des zweiten Prüfsignals darstellt, entsprechend dem gegebenen periodischen Signal. Die Verzögerungsschaltung 36 erzeugt das zweite Prüfsignal durch Empfangen des Mustersignals und durch Verzögern jeweiliger Impulse des Mustersignals. Der Treiber 40 liefert das zweite Prüfsignal zu der geprüften Vorrichtung DUT. Der Komparator 42 empfängt ein Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung DUT und liefert es zu der logischen Vergleichsschaltung 38. Die logische Vergleichsschaltung 38 vergleicht das Ausgangssignal der geprüften Vorrichtung DUT mit dem erwarteten Wert, um zu beurteilen, ob die geprüfte Vorrichtung DUT fehlerfrei ist oder nicht. Die Mustererzeugungsschaltung 34 kann den erwarteten Wert erzeugen. Der Körperabschnitt 10 speichert Ergebnisse der Beurteilung der logischen Vergleichsschaltung 38.
  • Eine derartige Konfiguration ermöglicht die gleichzeitige Durchführung der Jitterprüfung und der Funktionsprüfung der geprüften Vorrichtung DUT. Das erste Prüfmodul 20 und das zweite Prüfmodul 30 können dieselbe und eine geprüfte Vorrichtung DUT oder verschiedene geprüfte Vorrichtungen DUT prüfen.
  • 3 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration der Taktübertragungsvorrichtung 22 zeigt. Die Taktübertragungsvorrichtung 22 hat eine Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt, eine Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46, eine Mustererzeugungsschaltung 48, eine setzseitige Schaltung 50, eine rücksetzseitige Schaltung 66 und eine Setz/Rücksetz-Verriegelungsschaltung 68.
  • Die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt erzeugt den variablen Takt auf der Grundlage des von der Oktavtakt-Erzeugungsschaltung 12 gegebenen Oktavtakts. Die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt gibt den variablen Takt nach dem Empfang des Startsignals von der Startzeit-Steuerschaltung 16 aus. Die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt gibt auch den variablen Takt durch Injizieren von Jitter mit einer vorher eingestellten Amplitude aus. Die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt ist beispielsweise eine PLL-Schaltung, die einen variablen Takt mit einer gewünschten Frequenz erzeugt. Die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt erzeugt den variablen Takt mit nahezu derselben Periode wie der Periode des ersten Prüfsignals, das in diesem Beispiel zu der geprüften Vorrichtung DUT zu liefern ist.
  • Die Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46 erzeugt einen Ratentakt, dessen Anzahl von Impulsen innerhalb einer vorbestimmten Periode nahezu gleich einer Anzahl von Impulsen des variablen Takts innerhalb der vorbestimmten Periode ist, durch Ausdünnen der Impulse des gegebenen Bezugstakts. Die Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46 gibt auch den Ratentakt nach Empfang des Startsignals von der Startzeit-Steuerschaltung 16 aus. In diesem Beispiel erzeugt die Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46 den Ratentakt, dessen Durchschnittsfrequenz nahezu gleich einer vorher eingestellten Prüffrequenz wird, und die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt erzeugt den Ratentakt mit nahezu der gleichen Frequenz wie der Prüffrequenz. Die Prüffrequenz kann vorher in der Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46 und der Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt eingestellt sein.
  • Die Mustererzeugungsschaltung 48 erzeugt das das Muster des ersten Prüfsignals darstellende. Mustersignal entsprechend den Impulsen des von der Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46 ausgegebenen Ratentakts. Das Mustersignal ist ein Signal, in welchem beispielsweise Datenwerte von 1 und 0 angeordnet sind. Die Mustererzeugungsschaltung 48 kann vorher das Muster des ersten Prüfsignals speichern. Bei diesem Beispiel empfängt die Mustererzeugungsschaltung 48 den Bezugstakt als einen Arbeitstakt und den Ratentakt als ein Freigabesignal. Die Mustererzeugungsschaltung 48 gibt das Mustersignal entsprechend den Impulsen des Ratentakts bei einer derartigen Konfiguration aus.
  • Die setzseitige Schaltung 50 synchronisiert das synchron mit dem Ratentakt gegebene Mustersignal mit dem variablen Takt und liefert es zu einem Setzanschluss der Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtung 68. Die rücksetzseitige Schaltung 66 hat dieselbe Konfiguration wie die setzseitige Schaltung 50. Sie synchronisiert das Mustersignal mit dem variablen Takt und liefert es zu einem Rücksetzanschluss der Setz/Rücksetz-Verriegelungsschaltung 68. Die Mustererzeugungsschaltung 48 kann dasselbe Mustersignal zu der setzseitigen Schaltung 50 und der rücksetzseitigen Schaltung 66 liefern oder kann unterschiedliche Mustersignale für die Zuführung zu der setzseitigen Schaltung 50 und der rücksetzseitigen Schaltung 66 erzeugen. Die Setz/Rücksetz-Verriegelungsschaltung 68 erzeugt das erste Prüfsignal auf der Grundlage der von der setzseitigen Schaltung 50 und der rücksetzseitigen Schaltung 66 gegebenen Signale.
  • Die setzseitige Schaltung 50 und die rücksetzseitige Schaltung 66 haben jeweils eine Pipeline 52, einen FIFO-Speicher 54, eine Zeitdifferenz-Absorptions schaltung 56, eine Verzögerungssteuerschaltung 58, eine Grobverzögerungsschaltung 60, eine UND-Schaltung 62 und eine variable Verzögerungsschaltung 64. Die Pipeline 52 empfängt das Mustersignal und den Ratentakt und liefert sie entsprechend dem Bezugstakt zu dem FIFO-Speicher 54. Sie betätigt dann die setzseitige Schaltung 50 und die rücksetzseitige Schaltung 66 synchron. Die Pipeline 52 ist beispielsweise ein in Reihe geschaltetes Flipflop.
  • Der FIFO-Speicher (Silospeicher) 54 speichert Daten des gegebenen Mustersignals entsprechend Impulsen des Ratentakts und gibt die gespeicherten Daten entsprechend Impulsen des variablen Takts aus. Der FIFO-Speicher 54 ist ein Speicher, der die zuerst gespeicherten Daten zuerst ausgibt. Bei diesem Beispiel empfängt der FIFO-Speicher 54 den Bezugstakt als Arbeitstakt zum Speichern von Daten und empfängt den Ratentakt an einem Schreibfreigabeanschluss WE. Der FIFO-Speicher 54 speichert die gegebenen Daten entsprechend dem Bezugstakt, wenn er ein Signal mit dem logischen Wert H an dem Schreibfreigabeanschluss WE empfängt. Durch eine derartige Konfiguration speichert der FIFO-Speicher 54 die Daten des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts.
  • Der FIFO-Speicher 54 empfängt auch den variablen Takt als Arbeitstakt für die Ausgabe von Daten und empfängt ein von der Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 gegebenes Signal an einem Lesefreigabeanschluss RE. Wenn der FIFO-Speicher 54 ein Signal mit dem logischen Wert H an dem Lesefreigabeanschluss RE empfängt, gibt er die zuerst gespeicherten Daten entsprechend dem variablen Takt aus. Der FIFO-Speicher 54 gibt die gespeicherten Daten entsprechend den Im pulsen des variablen Takts mittels einer derartigen Konfiguration aus.
  • Da eine Anzahl von Impulsen des variablen Takts und die des Ratentakts innerhalb einer vorbestimmten Periode in der Taktsübertragungsvorrichtung 22 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel nahezu gleich sind, ist eine Anzahl von durch den FIFO-Speicher 54 innerhalb der vorbestimmten Periode gespeicherten Daten nahezu gleich einer Anzahl von von dem FIFO-Speicher 54 innerhalb der vorbestimmten Periode ausgegebenen Daten. Daher kann der FIFO-Speicher 54 das mit dem variablen Takt synchronisierte Mustersignal ausgeben ohne Überlauf der in dem FIFO-Speicher 54 zu speichernden Daten und ohne einen Mangel von in dem FIFO-Speicher 54 zu speichernden Daten.
  • Der Ratentakt und das Mustersignal werden über die Pipeline 52 und andere zu dem FIFO-Speicher 54 übertragen, so dass eine erste Zeitperiode vom Empfang des Startsignals durch die Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46 bis zur Lieferung des Ratentakts zu dem FIFO-Speicher 54 unterschiedlich gegenüber einer zweiten Zeitperiode von dem Empfang des Startsignals durch die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt bis zur Lieferung des variablen Takts zu dem FIFO-Speicher 54 ist. Die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 steuert den FIFO-Speicher 54 oder die Pipeline 52 derart, dass eine Zeitdifferenz zwischen dem Zeitpunkt, zu welchem die Daten in den FIFO-Speicher 54 eingegeben werden, und dem Zeitpunkt, zu welchem der FIFO-Speicher 54 die Daten ausgibt, eliminiert wird.
  • Wenn beispielsweise die erste Zeitperiode länger als die zweite Zeitperiode ist, steuert die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 den FIFO-Speicher 54 derart, dass die Daten nicht ausgegeben werden, bis das Mustersignal zu dem FIFO-Speicher 54 geliefert wird, und dass die Daten ausgegeben werden, nachdem das Mustersignal zu dem FIFO-Speicher 54 geliefert wurde. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel steuert die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 den Zeitpunkt, zu welchem der FIFO-Speicher 54 mit der Ausgabe der Daten beginnt, indem ein Lesefreigabesignal zum Steuern, ob Daten gelesen werden sollen oder nicht, zum FIFO-Speicher 54 geliefert wird. Wenn die erste Zeitperiode kürzer als die zweite Zeitperiode ist, absorbiert die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 die Zeitdifferenz durch Steuern der Verzögerungszeit in der Pipeline 52.
  • Die Grobverzögerungsschaltung 60 und die variable Verzögerungsschaltung 64 empfangen die von dem FIFO-Speicher 54 ausgegebenen Daten und verzögern die Daten derart, dass eine gewünschte Phase erhalten wird. Die Grobverzögerungsschaltung 60 verzögert die Daten um einen Verzögerungswert, der ein ganzzahliges Vielfaches der Periode des variablen Takts ist. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel zählt die Grobverzögerungsschaltung 60 die Impulse des variablen Takts und gibt die von dem FIFO-Speicher 54 empfangenen Daten aus, wenn der gezählte Wert mit einem von der Verzögerungsssteuerschaltung 58 gegebenen voreingestellten Wert übereinstimmt. Die variable Verzögerungsschaltung 64 verzögert die Daten um einen Verzögerungswert, der kleiner als die Periode des variablen Takts ist. Die Verzögerungssteuerschaltung 58 steuert die Verzögerungswerte in der Grobverzögerungsschaltung 60 und der variablen Verzögerungsschaltung 64.
  • Die Taktübertragungsvorrichtung 22 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erleichtert die Bestimmung des Zeitverhaltens, da die Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46, die Mustererzeugungsschaltung 48 und andere auf der Grundlage des Bezugstakts arbeiten, der eine konstante Periode ungeachtet der Periode des zu erzeugenden Prüfsignals und des Betrags des in das Prüfsignal zu injizierenden Jitters hat. Sie ermöglicht auch die einfache Injektion von hochgenauem Jitter, da sie das Jitter durch Steuern der Phase des variablen Takts injizieren kann.
  • 4 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration der Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 zeigt. Die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 hat eine Teilungsschaltung 70 und eine FIFO-Steuerschaltung 71. Die FIFO-Steuerschaltung 71 enthält weiterhin einen Zähler 72, ein Flipflop 74, eine ODER-Schaltung 78, eine Auswahlschaltung 76 und einen Frequenzteiler 80.
  • Differenzzeitinformationen t1, die die Differenz zwischen der ersten Zeitperiode von dem Empfang des Startsignals durch die Ratentakt-Erzeugungsschaltung 46 bis zur Zuführung des Ratentakts zu dem FIFO-Speicher 54 und der zweiten Zeitperiode von dem Empfang des Startsignals durch die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt bis zu der Zuführung des variablen Takts zu dem FIFO-Speicher 54 darstellen, und periodische Informationen t2, die die Periode des variablen Takts darstellen, werden zu der Teilungsschaltung 70 gegeben. Der Fall, in welchem die erste Zeitperiode länger als die zweite Zeitperiode ist, wird hier erläutert. Die Teilungsschaltung 70 teilt die Differenzzeitinformationen t1 durch die periodischen Informationen t2 und gibt den erhaltenen Quo tienten bzw. den Rest aus. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel werden der Quotient und der Rest als digitale binäre Signale ausgegeben. Es ist festzustellen, dass, obgleich die Differenzzeitinformationen t1 und die periodischen Informationen t2, die in 4 gezeigt sind, nicht in 3 gezeigt sind, sie Informationen sein können, die zu der Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 gegeben werden. Ein Benutzer kann diese Informationen vorher setzen, oder die Prüfvorrichtung 100 kann sie aufgrund eines durch den Benutzer gesetzten Programms oder dergleichen erzeugen.
  • Wenn die FIFO-Steuerschaltung 71 das Startsignal von der Startzeit-Steuerschaltung 16 empfängt, zählt sie eine Anzahl von Impulsen des gegebenen variablen Takts. Wenn dann ein gezählter Wert mit einem Wert übereinstimmt, der durch Berechnen einer Zahl unter einem Dezimalpunkt des Teilungsergebnisses in der Teilungsschaltung 70 erhalten wurde, beginnt der FIFO-Speicher 54 mit der Ausgabe der gespeicherten Daten.
  • Der Zähler 72 beginnt mit der Zählung der Anzahl von Impulsen des variablen Takts, wenn er das Startsignal von der Startzeit-Steuerschaltung 16 empfängt, und gibt die Impulse aus, wenn der gezählte Wert mit einem Quotienten übereinstimmt, der von der Teilungsschaltung 70 empfangen wurde. Das Flipflop 74 gibt auch die von dem Zähler 72 ausgegebenen Impulse aus durch Verzögern um eine Periode des variablen Takts. Die ODER-Schaltung 78 gibt die ODER-Verknüpfung jedes Bits des von der Teilungsschaltung 70 ausgegebenen Restes aus. Das heißt, die ODER-Schaltung 78 gibt 1 aus mit Ausnahme des Falles, in welchem der von der Teilungsschaltung 70 ausgegebene Rest gleich null ist.
  • Wenn die ODER-Schaltung 78 0 ausgibt, lässt die Auswahlschaltung 76 die von dem Zähler 72 ausgegebenen Impulse durch, und wenn die ODER-Schaltung 78 1 ausgibt, lässt sie die von dem Flipflop 74 ausgegebenen Impulse durch. Der Frequenzteiler 80 teilt den über die Auswahlschaltung 76 empfangenen Impuls und gibt ihn zu dem FIFO-Speicher 54 als ein Lesefreigabesignal aus. Der Frequenzteiler 80 teilt den Impuls gemäß einem Teilungsverhältnis entsprechend einer Anzahl von Zyklen des von der Taktübertragungsvorrichtung 22 auszugebenden Prüfsignals. Das heißt, der Frequenzteiler 80 gibt das Lesefreigabesignal mit dem logischen Wert H während einer Periode aus, in der Daten von dem FIFO-Speicher 54 ausgegeben werden sollten, um das Prüfsignal zu erzeugen.
  • 5 ist ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Funktionsweise der Taktübertragungsvorrichtung 22 zeigt. 5 zeigt den Ratentakt und den variablen Takt als in den FIFO-Speicher 54 eingegebene Wellenformen.
  • Es besteht eine Nacheilung um die Differenzzeit t1 zwischen den Zeitpunkt, zu welchem der Ratentakt in den FIFO-Speicher 54 eingegeben wird, und dem Zeitpunkt, zu welchem der variable Takt in den FIFO-Speicher 54 eingegeben wird, wie vorstehend beschrieben ist. Die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung 56 steuert den Zeitpunkt des von dem Frequenzteiler 80 ausgegebenen Lesefreigabesignals, wie vorstehend beschrieben ist, um die Differenzzeit zu absorbieren.
  • Eine Schreibfreigabeadresse (WE-Adresse) wird synchron mit dem Ratentakt zu dem FIFO-Speicher 54 gegeben. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat der FIFO-Speicher 54 vier Adressenbereiche, und die Mustererzeugungsschaltung 48 kann Daten #0 bis Daten #3 entsprechend jeder Adresse des FIFO-Speichers 54 parallel als das Mustersignal ausgeben. Der FIFO-Speicher 54 speichert aufeinanderfolgend die Daten entsprechend der durch die Schreibfreigabeadresse spezifizierten Adresse.
  • Der FIFO-Speicher 54 empfängt auch eine Lesefreigabeadresse (RE-Adresse) synchronisiert mit dem variablen Takt und gibt die gespeicherten Daten zu einer durch die Lesefreigabeadresse spezifizierten Adresse aus. Wenn beispielsweise ein Datenwert 1 an der Adresse gespeichert wird, gibt der FIFO-Speicher 54 einen Impuls mit einer vorbestimmten Impulsbreite entsprechend dem Impuls des variablen Takts aus, und wenn ein Datenwert 0 an der Adresse gespeichert wird, gibt der FIFO-Speicher 54 ein Signal mit dem logischen Wert L aus.
  • 6 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration der Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt zeigt. Die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt ist eine PLL-Schaltung und hat eine Jitterinjektionsschaltung 82, einen Addierer 86, einen Phasenkomparator 88, eine Überlagerungsvorrichtung 90, eine Ladungspumpenschaltung 92, einen spannungsgesteuerten Oszillator 94, eine UND-Schaltung 96, einen Frequenzteiler 98, ein Flipflop 102 und ein Flipflop 104.
  • Der spannungsgesteuerte Oszillator 94 erzeugt den variablen Takt. Der Frequenzteiler 98 teilt den von dem spannungsgesteuerten Oszillator 94 ausgegebenen vari ablen Takt und liefert ihn zu dem Phasenkomparator 88. Der Phasenkomparator 88 empfängt den Oktavtakt als Vergleichstakt und erfasst eine Phasendifferenz zwischen dem durch den Frequenzteiler 98 geteilten variablen Takt und dem Vergleichstakt.
  • Die Ladungspumpenschaltung 92 erzeugt eine Steuerspannung entsprechend der von dem Phasenkomparator erfassten Phasendifferenz und steuert die Frequenz des von dem spannungsgesteuerten Oszillator 94 erzeugten variablen Takts. Die UND-Schaltung 96 empfängt das Startsignal über die Flipflops 102 und 104, die in Reihe geschaltet sind, und gibt die UND-Verknüpfung des Startsignals und des variablen Takts aus. Das heißt, die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt gibt den variablen Takt von dem durch das Startsignal spezifizierten Startzeitpunkt aus. Das Flipflop 102 empfängt das von dem Frequenzteiler 98 ausgegebene Signal als Arbeitstakt, und das Flipflop 104 empfängt den Oktavtakt als Arbeitstakt.
  • Die Jitterinjektionsschaltung 82 injiziert Jitter in den von der Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt erzeugten variablen Takt. Beispielsweise injiziert die Jitterinjektionsschaltung 82 das Jitter durch Frequenzschwankungen des von dem spannungsgesteuerten Oszillator 94 erzeugten variablen Takts durch Überlagerung eines Jittersignals über die von dem Phasenkomparator 88 erfasste Phasendifferenz oder die von der Ladungspumpenschaltung 92 erzeugte Steuerspannung. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel überlagert die Jitterinjektionsschaltung 82 ein Jittersignal über das von dem Phasenkomparator 88 ausgegebene Phasendifferenzsignal über den Addierer 86 und die Überlagerungsvorrichtung 90. Es wird mittels ei ner derartigen Konfiguration möglich, ein hochgenaues Jitter einfach in den variablen Takt zu injizieren.
  • Darüber hinaus kann die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt weiterhin eine Phasensteuerschaltung 84 enthalten, wie in 6 gezeigt ist. Die Phasensteuerschaltung 84 steuert die Phase des von dem FIFO-Speicher 54 ausgegebenen Mustersignals durch weitere Überlagerung des Phasensteuersignals über die von dem Phasenkomparator 88 erfasste Phasendifferenz oder die von der Ladungspumpenschaltung 92 erzeugte Steuerspannung. In diesem Fall addiert der Addierer 86 das Jittersignal und das Phasensteuersignal. Die Überlagerungsvorrichtung 90 überlagert auch das von dem Addierer 86 ausgegebene Signal über die von dem Komparator 88 ausgegebene Phasendifferenz oder die von der Ladungspumpenschaltung 92 ausgegebene Steuerspannung.
  • Eine derartige Konfiguration ermöglicht, dass die Phase des von dem FIFO-Speicher 54 ausgegebenen Mustersignals leicht auf die gewünschte Phase eingestellt wird. Es ist möglich, die Phase des Prüfsignals zu steuern, wenn die Erzeugungsschaltung 44 für variablen Takt die Phasensteuerschaltung 84 hat, so dass die setzseitige Schaltung 50 und die rücksetzseitige Schaltung 66 nicht die Grobverzögerungsschaltung 60, die UND-Schaltung 62, die variable Verzögerungsschaltung 64 und die Verzögerungssteuerschaltung 58 aufzuweisen brauchen. Hierdurch kann die Phase des Prüfsignals durch eine einfache Konfiguration gesteuert werden.
  • 7 ist ein Diagramm, das eine andere beispielhafte Konfiguration der Taktübertragungsvorrichtung 22 zeigt. Die Taktübertragungsvorrichtung 22 bei diesem Beispiel unterscheidet sich von der in Verbindung mit 3 erläuterten Taktübertragungsvorrichtung 22 dadurch, dass sie zwei Erzeugungsschaltungen 44 für variablen Takt hat.
  • Die zwei Erzeugungsschaltungen 44 für variablen Takt sind entsprechend der setzseitigen Schaltung 50 und der rücksetzseitigen Schaltung 66 vorgesehen. Jede der Erzeugungsschaltungen 44 für variablen Takt liefert den variablen Takt zu der entsprechenden Schaltung von der setzseitigen Schaltung 50 und der rücksetzseitigen Schaltung 66. Die Perioden der von den jeweiligen Erzeugungsschaltungen 44 für variablen Takt erzeugten variablen Takte sind nahezu gleich.
  • Die Taktübertragungsvorrichtung 22 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann die beiden variablen Takte unabhängig entsprechend der setzseitigen Schaltung 50 und der rücksetzseitigen Schaltung 66 erzeugen, so dass sie unterschiedliches Jitter an der ansteigenden und der abfallenden Flanke des Prüfsignals injizieren kann.
  • Obgleich die Erfindung im Wege der Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann, ohne den Geist und den Bereich der Erfindung zu verlassen. Es ist augenscheinlich anhand der Definition der angefügten Ansprüche, dass die Ausführungsbeispiele mit derartigen Modifikationen ebenfalls zu dem Bereich der Erfindung gehören.
  • Gewerbliche Anwendbarkeit
  • Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, ermöglicht die vorliegende Erfindung die Erzeugung eines Prüfsignals mit gewünschter Periode durch die Schaltung, deren Zeitverhalten leicht bestimmt werden kann. Weiterhin ermöglicht sie die Injektion von hochgenauem Jitter in das Prüfsignal durch die Schaltung, deren Zeitverhalten leicht bestimmt werden kann.
  • ZUSAMMENFASSUNG
  • Es ist eine Taktübertragungsvorrichtung (22) zum Synchronisieren eines mit einem Bezugstakt synchronisierten Mustersignals mit einem variablen Takt auf der Grundlage einer Oszillationsquelle, die verschieden von der des Bezugstakts ist, vorgesehen, mit einer Ratentakt-Erzeugungsschaltung (46) zum Erzeugen eines Ratentakts, bei dem die Anzahl von Impulsen innerhalb einer vorbestimmten Periode nahezu gleich einer Anzahl von Impulsen des variablen Takts innerhalb der vorbestimmten Periode ist, durch Ausdünnen der Impulse innerhalb des Bezugstakts, einer Mustererzeugungsschaltung (48) zum Erzeugen eines Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts, und einem FIFO-Speicher (54), der das Mustersignal entsprechend den Impulsen des Ratentakts speichert und die gespeicherten Daten entsprechend den Impulsen des variablen Takts ausgibt.

Claims (9)

  1. Taktübertragungsvorrichtung zum Synchronisieren eines mit einem Bezugtakt synchronisierten Mustersignals mit einem variablen Takt auf der Grundlage einer Oszillationsquelle, die von der des Bezugstakts verschieden ist, welche aufweist: eine Ratentakt-Erzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Ratentakts, dessen Anzahl von Impulsen innerhalb einer vorbestimmten Periode nahezu gleich einer Anzahl von Impulsen des variablen Takts innerhalb der vorbestimmten Periode ist, durch Ausdünnen der Impulse innerhalb des Bezugstakts; eine Mustererzeugungsschaltung zum Erzeugen des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts; und einen FIFO-Speicher, der Daten des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts speichert und die gespeicherten Daten entsprechend den Impulsen des variablen Takts ausgibt.
  2. Taktübertragungsvorrichtung nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung zum Bewirken, dass der FIFO-Speicher die gespeicherten Daten nicht ausgibt, bis das Mustersignal zu dem FIFO-Speicher geliefert wird, und zum Bewirken, dass der FIFO-Speicher die gespeicherten Daten ausgibt, nachdem das Mustersignal zu dem FIFO-Speicher geliefert wird.
  3. Taktübertragungsvorrichtung nach Anspruch 2, weiterhin aufweisend eine Erzeugungsschaltung für variablen Takt zum Erzeugen des variablen Takts; und eine Startzeit-Steuerschaltung zum Zuführen eines Startsignals, um zu bewirken, dass die Ratentakt-Erzeugungsschaltung und die Erzeugungsschaltung für variablen Takt beginnen, den Ratentakt und den variablen Takt auszugeben; wobei die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung den Zeitpunkt, zu welchem der FIFO-Speicher mit der Ausgabe der Daten beginnt, steuert auf der Grundlage einer Differenzzeit zwischen einer ersten Zeitperiode von dem Empfang des Startsignals durch die Ratentakt-Erzeugungsschaltung bis zur Lieferung des Ratentakts zu dem FIFO-Speicher und einer zweiten Zeitperiode von dem Empfang des Startsignals durch die Erzeugungsschaltung für variablen Takt bis zur Lieferung des variablen Takts zu dem FIFO-Speicher.
  4. Taktübertragungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Zeitdifferenz-Absorptionsschaltung aufweist: eine Teilungsschaltung, die Informationen über die Zeitdifferenz zwischen der ersten Zeitperiode und der zweiten Zeitperiode empfängt und die Differenzzeitinformationen durch eine Periode des variablen Takts teilt; und eine FIFO-Steuerschaltung, die die Anzahl von Impulsen des gegebenen variablen Takts zählt und, wenn ein Zählwert mit einem Wert übereinstimmt, der durch Berechnen eines Dezimalpunkts oder weniger eines Teilungsergebnisses in der Teilungsschaltung als eine Einheit erhalten wur de, beginnt, die in dem FIFO-Speicher gespeicherten Daten auszugeben.
  5. Taktübertragungsvorrichtung nach Anspruch 3, weiterhin aufweisend eine Jitterinjektionsschaltung zum Injizieren von Jitter in den von der Erzeugungsschaltung für variablen Takt erzeugten variablen Takt.
  6. Taktübertragungsvorrichtung nach Anspruch 5, bei der die Erzeugungsschaltung für variablen Takt aufweist: einen spannungsgesteuerten Oszillator zum Erzeugen des variablen Takts; einen Frequenzteiler zum Teilen des variablen Takts; einen Phasenkomparator zum Erfassen einer Phasendifferenz zwischen dem durch den Teiler geteilten variablen Takt und einem gegebenen Vergleichstakt; und eine Ladungspumpe zum Erzeugen einer Steuerspannung entsprechend der von dem Phasenkomparator erfassten Phasendifferenz, um die Frequenz des von dem spannungsgesteuerten Oszillator erzeugten variablen Takts zu steuern; wobei die Jitterinjektionsschaltung Jitter in den variablen Takt injiziert durch Überlagerung des Jitters über die von dem Phasenkomparator erfasste Phasendifferenz oder über die von der Ladungspumpe erzeugte Steuerspannung.
  7. Taktübertragungsvorrichtung nach Anspruch 6, weiterhin aufweisend eine Phasensteuerschaltung zum Überlagern eines Phasensteuersignals für die Steuerung der Phase des von dem FIFO-Speicher ausgegebenen Mustersignals über die von dem Pha senkomparator erfasste Phasendifferenz oder die von der Ladungspumpe erzeugte Steuerspannung.
  8. Taktübertragungsvorrichtung nach Anspruch 7, bei der die Erzeugungsschaltung für variablen Takt enthält: einen Addierer zum Addieren des Jittersignals und des Phasensteuersignals; und eine Überlagerungsvorrichtung zum Überlagern eines von dem Addierer ausgegebenen Signals über die Phasendifferenz oder die Steuerspannung.
  9. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: eine Bezugstakt-Erzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Bezugstakts; ein erstes Prüfmodul zum Erzeugen eines ersten Prüfsignals mit einer Periode, die unterschiedlich gegenüber der des Bezugstakts ist, zur Lieferung zu der geprüften Vorrichtung; und ein zweites Prüfmodul zum Erzeugen eines zweiten Prüfsignals, das mit dem Bezugstakt synchronisiert ist, zur Lieferung zu der geprüften Vorrichtung; wobei das erste Prüfmodul aufweist: eine Erzeugungsschaltung für variablen Takt zum Erzeugen eines variablen Takts mit einer Periode, die unterschiedlich gegenüber der des Bezugstakts ist; eine Ratentakt-Erzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Ratentakts, bei dem die Anzahl von Impulsen innerhalb einer vorbestimmten Zeitperiode gleich einer Anzahl von Impulsen des variablen Takts innerhalb der vorbestimmten Zeitperiode ist; eine Mustererzeugungsschaltung zum Erzeugen eines Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts; und einen FIFO-Speicher zum Speichern von Daten des Mustersignals entsprechend den Impulsen des Ratentakts und zum Ausgeben der gespeicherten Daten als das erste Prüfsignal entsprechend den Impulsen des variablen Takts.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112007000767B4 (de) * 2006-03-31 2010-06-24 Anritsu Corp., Atsugi-shi Datenentscheidungsvorrichtung und Fehlermessvorrichtung
WO2008115968A1 (en) 2007-03-20 2008-09-25 Rambus Incorporated Integrated circuit having receiver jitter tolerance ('jtol') measurement
JP5025723B2 (ja) * 2007-03-27 2012-09-12 株式会社アドバンテスト 試験装置
US7801205B2 (en) * 2007-08-07 2010-09-21 Advantest Corporation Jitter injection circuit, electronics device, and test apparatus
JP5134089B2 (ja) * 2008-09-17 2013-01-30 株式会社アドバンテスト 試験装置およびドメイン間同期方法
US8195972B2 (en) * 2009-12-01 2012-06-05 Texas Instruments Incorporated Jitter precorrection filter in time-average-frequency clocked systems
US9025693B2 (en) * 2012-05-14 2015-05-05 Broadcom Corporation On-chip interferers for standards compliant jitter tolerance testing
TWI507877B (zh) * 2013-04-15 2015-11-11 Winbond Electronics Corp 介面電路及串列介面記憶體的存取模式選擇方法
US10074417B2 (en) * 2014-11-20 2018-09-11 Rambus Inc. Memory systems and methods for improved power management
CN117375642B (zh) * 2023-12-06 2024-04-02 杭州长川科技股份有限公司 信号发送装置、测试机及其信号输出方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03219739A (ja) * 1990-01-24 1991-09-27 Advantest Corp パターン同期回路
JP3233773B2 (ja) * 1994-03-18 2001-11-26 富士通株式会社 試験回路、自己試験方法及び通常試験方法
JP2679622B2 (ja) * 1994-05-18 1997-11-19 日本電気株式会社 クロック位相制御回路
US6032282A (en) * 1994-09-19 2000-02-29 Advantest Corp. Timing edge forming circuit for IC test system
JP3466774B2 (ja) * 1995-05-17 2003-11-17 株式会社アドバンテスト 半導体試験装置における周期発生回路
US6279090B1 (en) * 1998-09-03 2001-08-21 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for resynchronizing a plurality of clock signals used in latching respective digital signals applied to a packetized memory device
JP4320139B2 (ja) * 2001-11-13 2009-08-26 株式会社アドバンテスト タイミング発生装置、及び試験装置
DE10392225T5 (de) * 2002-01-18 2005-01-27 Advantest Corp. Prüfvorrichtung
JP3790741B2 (ja) * 2002-12-17 2006-06-28 アンリツ株式会社 ジッタ測定装置およびジッタ測定方法
JP4323873B2 (ja) * 2003-06-13 2009-09-02 富士通株式会社 入出力インタフェース回路
JP2005337740A (ja) * 2004-05-24 2005-12-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高速インターフェース回路検査モジュール、高速インターフェース回路検査対象モジュールおよび高速インターフェース回路検査方法
US7184283B2 (en) * 2004-08-09 2007-02-27 System General Corp. Switching frequency jitter having output ripple cancel for power supplies

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Publication number Publication date
TW200637149A (en) 2006-10-16
US20070025487A1 (en) 2007-02-01
US7549101B2 (en) 2009-06-16
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JP4621050B2 (ja) 2011-01-26

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