DE102006031091A1

DE102006031091A1 - Halbleiterprüfvorrichtung

Info

Publication number: DE102006031091A1
Application number: DE102006031091A
Authority: DE
Inventors: Toshiyuki Negishi
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2005-07-07
Filing date: 2006-07-05
Publication date: 2007-02-08
Also published as: US20070011634A1; JP4536610B2; JP2007017257A; US7382146B2

Abstract

Die Erfindung schafft eine Halbleiterprüfvorrichtung, die den Aufwand zum Einstellen der Erzeugungszeitsteuerung eines Taktsignals, das aus Daten zu extrahieren ist, verringern oder die Zeit, die zum Einstellen erforderlich ist, verkürzen kann. Sie umfasst einen Zeitsteuerungskomparator 154, der von einem zu prüfenden Bauelement 200 ausgegebene Daten entgegennimmt, eine Takterzeugungsschaltung 120, die ein mit den vom zu prüfenden Bauelement 200 ausgegebenen Daten synchrones Taktsignal erzeugt; eine Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit, die eine Signallaufzeit, die einen Unterschied zwischen einer ersten Signalleitung von dem zu prüfenden Bauelement 200 zu dem Zeitsteuerungskomparator 154 und einer zweiten Signalleitung zu der Takterzeugungsschaltung 120 entspricht, als Absolutbetrag der Verzögerung berechnet; und eine Verzögerungsbetrag-Einstelleinheit, die den Betrag der Verzögerung unter einer Periode des Taktsignals entsprechend einer Frequenz oder einer Periode des Taktsignals, das von der Takterzeugungsschaltung 120 erzeugt wird, festsetzt und das Einstellen der Zeitsteuerung der Taktsignalerzeugung durch die Takterzeugungsschaltung 120 anweist.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleiterprüfvorrichtung, um anhand von Daten, die von einem zu prüfenden Bauelement ausgegeben werden, zu ermitteln, ob das Bauelement, das geprüft wird, gut oder fehlerhaft ist.

Die Stiftelektronik von Halbleiterprüfvorrichtungen umfasst einen Komparator, der ein Signal, das von einem zu prüfenden Bauelement ausgegeben wird, in Übereinstimmung mit einem Übernahmesignal erfasst. Der Komparator führt das Erfassen eines Signals synchron zu einem Anstieg (oder einem Abfall) eines Übernahmesignals aus. Da die Laufzeitlänge der Signalleitung jedes Eingangs-/Ausgangs-Anschlussstifts des zu prüfenden Bauelements unterschiedlich ist, weicht in einem Anfangszustand die Anstiegs-Zeitsteuerung eines Übernahmesignals, das in den Komparator einzugeben ist, von einer erwarteten Zeitsteuerung ab. Demzufolge wird, bevor an einem zu prüfenden Bauelement verschiedene Prüfungen ausgeführt werden, eine Kalibrierung der Zeitsteuerung durchgeführt (siehe beispielsweise die Japanische Patent-Auslegeschrift Nr. 2-62 983). Dadurch kann der Einfluss der unterschiedlichen Laufzeitlänge von Signalleitungen beseitigt werden.

Ein Halbleiterbauelement für eine schnelle serielle Schnittstelle, das ein in empfangene Daten eingebettetes Taktsignal regeneriert und eine zu dem regenerierten Taktsignal synchrone Datenempfangsoperation ausführt, ist vor kurzem realisierbar geworden. Derartige Daten vom Typ eines eingebetteten Takts von einer schnellen seriellen Schnittstelle lassen eine unbestimmte Variationsbreite einer an sich festgelegten Zeitsteuerung zu (Jitter). Die oben erwähnte herkömmliche Halbleiterprüfvorrichtung gleicht jedoch Unterschiede in der Laufzeitlänge einer Signalleitung aus, wobei sie voraussetzt, dass die Ausgabezeitsteuerung der Daten fest ist, was bei dem genannten Halbleiterbauelement nicht der Fall ist. Das heißt wenn die Ausgabezeitsteuerung von Daten aufgrund von Jitter verschoben ist, muss die Zeitsteuerung zur Erzeugung eines Übernahmesignals um einen Betrag verschoben werden, der dem Jitter entspricht. Herkömmliche Halbleiterprüfvorrichtungen können eine solche Anpassung jedoch nicht vornehmen.

Es wird in Betracht gezogen, dass dann, wenn ein Taktsignal aus Daten exakt extrahiert werden kann, die Erzeugungszeitsteuerung für ein solches Übernahmesignal in Übereinstimmung mit der Erzeugungszeitsteuerung des Taktsignals eingestellt werden kann. Da in der Praxis jedoch auch Abweichungen in der Laufzeitlänge einer Signalleitung, die zum Extrahieren eines Taktsignals aus Daten verwendet wird, auftreten, ist ein Mechanismus zum Ausgleichen der Abweichungen erforderlich. Außerdem wird, wenn eine Laufzeitlänge der Signalleitung ein ganzzahliges Vielfaches einer Periode eines Taktsignals überschreitet, ein Wert eingestellt, welcher, auf die Länge bezogen, der Überschreitung entspricht. Der Einstellwert muss jedes Mal, wenn sich die Frequenz des Taktsignals ändert, erneut festgesetzt werden. Dies macht die Einstell- bzw. Ausgleichsoperation mühselig. Folglich besteht ein Bedarf an einer Halbleiterprüfvorrichtung, die den Aufwand zum Einstellen der Erzeugungszeitsteuerung eines Taktsignals, das aus Daten extrahiert wird, verringern oder die Zeit, die zum Einstellen erforderlich ist, verkürzen kann.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung wurde angesichts eines solchen Punkts gemacht. Sie hat zur Aufgabe, eine Halbleiterprüfvorrichtung zu schaffen, die den Aufwand zum Einstellen der Erzeugungszeitsteuerung eines Taktsignals, das aus Daten extrahiert wird, verringern oder die Zeit, die zum Einstellen erforderlich ist, verkürzen kann.

Die Halbleiterprüfvorrichtung der vorliegenden Erfindung umfasst eine Empfangseinheit zum Empfangen von Daten, die von einem zu prüfenden Bauelement ausgegeben werden; eine Takterzeugungseinheit zum Erzeugen eines Taktsignals, das mit von dem zu prüfenden Bauelement ausgegebenen Daten synchronisiert ist; eine Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit zum Berechnen einer Signallaufzeit, die einem Unterschied zwischen einer ersten Signalleitung von dem zu prüfenden Bauelement zu der Empfangseinheit und einer zweiten Signalleitung von dem zu prüfenden Bauelement zu der Takterzeugungseinheit entspricht, als Absolutbetrag der Verzögerung; und eine Verzögerungsbetrag-Einstelleinheit zum Festsetzen des Betrags der Verzögerung unter einer Periode des Taktsignals entsprechend einer Frequenz oder einer Periode des Taktsignals, das von der Takterzeugungseinheit erzeugt wird, und Anweisen des Einstellens der Zeitsteuerung der Taktsignalerzeugung durch die Takterzeugungseinheit. Wenn der Absolutbetrag der Verzögerung bekannt ist, kann der Betrag der Verzögerung, der erforderlich ist, um die Zeitsteuerung der Erzeugung eines Taktsignals anzupassen, durch Berechnen erfahren werden, wenn sich eine Frequenz oder eine Periode eines Taktsignals ändert. Folglich kann der Aufwand, um eine Taktsignalerzeugungszeitsteuerung, die aus Daten zu extrahieren ist, wesentlich verringert oder die Zeit, die für ein Einstellen bzw. Anpassen erforderlich ist, wesentlich verkürzt werden.

Sie umfasst ferner eine Phasendifferenzdaten-Erlangungseinheit zum Erlangen eines ersten Phasendifferenzwertes P1, der eine Phasendifferenz zwischen der Ausgabezeitsteuerung der Daten, die erzeugt wird, wenn ein erstes Taktsignal mit einer ersten Frequenz oder einer ersten Periode von der Takterzeugungseinheit erzeugt wird, und der ersten Taktsignalerzeugungs-Zeitsteuerung angibt, und eines zweiten Phasendifferenzwertes P2, der eine Phasendifferenz zwischen der Ausgabezeitsteuerung der Daten, die erzeugt wird, wenn ein zweites Taktsignal mit einer zweiten Frequenz oder einer zweiten Periode, die von der ersten Frequenz oder der ersten Periode verschieden ist, von der Takterzeugungseinheit erzeugt wird, und der zweiten Taktsignalerzeugungszeitsteuerung angibt, wobei die Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit den Absolutbetrag der Verzögerung vorzugsweise basierend auf dem ersten und zweiten Phasendifferenzwert P1, P2, die von der Phasendifferenzdaten-Erlangungseinheit erlangt wurden, und der ersten und zweiten Frequenz oder der ersten und zweiten Periode berechnet. Der Absolutbetrag der Verzögerung braucht nur dann berechnet zu werden, wenn tatsächlich zwei Arten von Taktsignalen erzeugt und Phasendifferenzdaten erhalten werden. Dies kann den Aufwand und die Zeit, um ein Taktsignal wirklich zu erzeugen und den Betrag der Verzögerung jedes Mal, wenn sich anschließend eine Frequenz oder ein Taktsignal ändert, einzustellen, reduzieren.

Der von der oben erwähnten Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit berechnete Absolutbetrag der Verzögerung wird vorzugsweise in einer Verzögerungsabsolutbetrag-Speichereinheit, die aus nichtflüchtigem Speicher besteht, gespeichert. Dies ermöglicht, den Wert eines einmal berechneten Absolutbetrags der Verzögerung zu speichern und jedes Mal beim Festsetzen des Betrags der Verzögerung zu verwenden, sodass dadurch der Aufwand und die Zeit zum Fest setzen des Wertes der Verzögerung weiter reduziert werden können.

Vorzugsweise umfasst sie ferner eine Phasenkomparatoreinheit zum Erfassen einer Phasendifferenz von Signalen, die in zwei Eingangsanschlüsse eingegeben werden, wobei Daten, die von dem zu prüfenden Bauelement ausgegeben werden, in einen Eingangsanschluss eingegeben werden, und das erste und zweite Taktsignal, die von der Takterzeugungseinheit erzeugt werden, in den anderen Eingangsanschluss eingegeben werden; und eine Phasendifferenz-Ausgabeeinheit zum Ausgeben eines Wertes, welcher der von der Phasenkomparatoreinheit erfassten Phasendifferenz entspricht, wobei die Phasendifferenzdaten-Erlangungseinheit den ersten und zweiten Phasendifferenzwert basierend auf einem von der Phasendifferenz-Ausgabeeinheit ausgegebenen Wert erlangt. Speziell ist die Phasendifferenz-Ausgabeeinheit vorzugsweise aus einem Zähler gebildet, der entsprechend der von der Phasenkomparatoreinheit erfassten Phasendifferenz ein Vorwärtszählen oder ein Rückwärtszählen ausführt und einen Zählwert ausgibt, der von der Phasendifferenz abhängt. Dies ermöglicht einfach und sicher, einen Wert, der einer Phasendifferenz zwischen Daten entspricht, und ein Taktsignal zu erhalten.

Die Takterzeugungseinheit umfasst vorzugsweise einen PLL-Synthesizer zur Erzeugung des Taktsignals und eine Addiereinheit, um eine Spannung, die von dem von der Phasendifferenz-Ausgabeeinheit ausgegebenen Wert abhängt, einer Steuerspannung, die an einen spannungsgesteuerten Oszillator in dem PLL-Synthesizer anzulegen ist, zu überlagern. Dieser kann eine Zeitsteuerung der Taktsignalerzeugung festsetzen, um eine Phasendifferenz aufrechtzuerhalten, die einem Unterschied zwischen einer ersten Signalleitung und einer zweiten Signalleitung entspricht, sodass ein der Phasendifferenz entsprechender Wert in einem stabilen Zustand erzielt werden kann.

Die Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit vergleicht vorzugsweise die Größe des ersten und des zweiten Phasendifferenzwertes P1, P2 und berechnet den Absolutbetrag der Verzögerung entsprechend dem Ergebnis des Vergleichs. Alternativ berechnet die Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit den Absolutbetrag der Verzögerung vorzugsweise durch Vergleichen der Größe des ersten und zweiten Phasendifferenzwertes P1 und P2 und Erlangen eines Quotienten, der aus der Division des Absolutbetrags der Verzögerung durch eine Periode des ersten oder zweiten Taktsignals entsprechend dem Ergebnis des Vergleichs resultiert. Bei Verwendung eines geeigneten Ausdrucks zur Berechnung, der von der Größenbeziehung zwischen dem ersten und dem zweiten Phasendifferenzwert P1, P2 abhängt, kann der Absolutbetrag der Verzögerung aus den Phasendifferenzwerten P1, P2 korrekt und leicht berechnet werden.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
1 ist eine schematische Darstellung, die einen Teil einer Schaltungsanordnung einer Halbleiterprüfvorrichtung in einer Ausführungsform zeigt;
2 ist eine schematische Darstellung, die eine detaillierte Anordnung einer Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung zeigt, die eine Schaltung für eine variable Verzögerung basierend auf dem Absolutbetrag der Verzögerung einstellt;
3 ist ein Ablaufplan, der eine Prozedur zum Berechnen des Absolutbetrags der Verzögerung durch die Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung zeigt;
4 ist eine schematische Darstellung, die die Grundzüge der Berechnung des Absolutbetrags der Verzögerung zeigt; und
5 ist ein Ablaufplan, der eine Prozedur zum Einstellen des Betrags der Verzögerungseinstellung zeigt, wenn bei der Halbleiterprüfung die Frequenz des regenerativen Taktsignals geändert wird.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Die Halbleiterprüfvorrichtung einer Ausführungsform bei Anwendung der vorliegenden Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung ausführlich beschrieben. 1 ist eine schematische Darstellung, die einen Teil einer Schaltungsanordnung einer Halbleiterprüfvorrichtung einer Ausführungsform zeigt. Wie in 1 gezeigt ist, umfasst eine Halbleiterprüfvorrichtung 100 der Ausführungsform einen Bezugstaktgeber 110, eine Takterzeugungsschaltung 120, einen Pegelkomparator 150, eine Schaltung 152 für eine variable Verzögerung, einen Zeitsteuerungskomparator 154, eine logisch vergleichende Einrichtung 156, einen Gut/Fehlerhaft-Entscheidungs-Teilbereich 158 und eine Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung 160. Die Gut/Fehlerhaft-Entscheidungseinheit 158 kann mittels einer in der Halb leiterprüfvorrichtung 100 enthaltenen CPU verwirklicht sein, die ein Programm ausführt, oder kann unter Verwendung einer Analysatoreinrichtung, wie etwa einer Arbeitsplatzstation, die außerhalb der Halbleiterprüfvorrichtung 100 vorgesehen ist, verwirklicht sein.
Der Bezugstaktgeber 110 erzeugt ein Bezugstaktsignal zur Steuerung des Betriebs eines zu prüfenden Bauelements 200. Der Bezugstaktgeber 110 erzeugt beispielsweise ein Bezugstaktsignal von 250,25 MHz. Die Halbleiterprüfvorrichtung 100 umfasst eine Synchronisiereinheit, einen Mustergenerator, einen Signalformungsteilbereich und dergleichen (nicht gezeigt). Mit diesen Komponenten werden in das zu prüfende Bauelement 200 einzugebende Musterdaten erzeugt. Das zu prüfende Bauelement 200 gibt entsprechend den Musterdaten Daten aus. Der Pegelkomparator 150 vergleicht von dem zu prüfenden Bauelement 200 ausgegebene Daten mit einer festgelegten Schwellenspannung und gibt dann entsprechend dem Ergebnis des Vergleichs ein binäres Signal (Hochpegel/Tiefpegel) aus. Die Takterzeugungsschaltung 120 erzeugt ein regeneratives Taktsignal, das mit dem vom Bezugstaktgeber 110 ausgegebenen Bezugstakt zeitlich zusammenfällt.
Die Schaltung 152 für eine variable Verzögerung erzeugt ein Übernahmesignal durch Verzögern des von der Takterzeugungsschaltung 120 erzeugten regenerativen Taktsignals. Der Betrag der Verzögerung durch die Schaltung 152 für eine variable Verzögerung wird entsprechend der Spezifikation des zu prüfenden Bauelements 200 festgesetzt. Beispielsweise ist der Betrag der Verzögerung der Schaltung 152 für eine variable Verzögerung die halbe Periodenzeit der von dem zu prüfenden Bauelement 200 ausgegebenen Daten. Es wird davon ausgegangen, dass eine Veränderung einer Laufzeitlänge einer Signalleitung von dem zu prüfenden Bauelement 200 zu einem Zeitsteuerungskomparator 154 zuvor unter Verwendung der Schaltung 152 für eine variable Verzögerung ausgeglichen worden ist (der Ausgleich kann mittels einer herkömmlichen Zeitsteuerungskalibrierung durchgeführt werden).
Der Zeitsteuerungskomparator 154 erhält den vom Pegelkomparator 150 ausgegebenen Wert basierend auf dem Übernahmesignal, das über die Schaltung 152 für eine variable Verzögerung zugeführt wird. Die logisch vergleichende Einrichtung 156, die beispielsweise unter Verwendung einer EXKLUSIV-ODER-Schaltung gebildet ist, vergleicht einen ausgegebenen Wert, der mittels des Zeitsteuerungskomparators 154 erhalten wurde, mit einem vorgegebenen, erwarteten Wert und gibt dann entsprechend dem Ergebnis des Vergleichs Daten mit der Bedeutung "bestanden" oder "durchgefallen" aus. Die Gut/Fehlerhaft-Entscheidungseinheit 158 entscheidet basierend auf dem Ergebnis des Vergleichs (Daten mit der Bedeutung "bestanden"/"durchgefallen") der logisch vergleichenden Einrichtung 156, ob das zu prüfende Bauelement gut oder fehlerhaft ist. Die Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung 160 setzt den Verzögerungsbetrag einer Schaltung 144 für eine variable Verzögerung fest, die in der Takterzeugungsschaltung 120 vorgesehen ist. Das Einstellen des Verzögerungsbetrags wird später ausführlich beschrieben.
Als Nächstes wird die Takterzeugungsschaltung 120 ausführlich beschrieben. Wie in 1 gezeigt ist, umfasst die Takterzeugungsschaltung 120 Phasenvergleichseinrichtungen 122, 134, Addierer 124, 140, ein Tiefpassfilter (TPF) 126, einen Oszillator vom spannungsgesteuerten Typ 128, Teiler 130, 132, einen Zähler 136, eine UND-Schaltung 138, einen Digital-Analog-Umsetzer (DAU) 142 und eine Schaltung 144 für eine variable Verzögerung.
Die Phasenkomparatoreinrichtung 122 vergleicht die Phase des vom Bezugstaktgeber 110 ausgegebenen Bezugstaktsignals und eines vom Teiler 132 ausgegebenen Signals und gibt ein Signal aus, das eine Einschaltdauer aufweist, die der Phasendifferenz entspricht. Der Addierer 124 addiert eine vom Digital-Analog-Umsetzer 142 ausgegebene Spannung zu einer Spannung eines von der Phasenkomparatoreinrichtung 122 ausgegebenen Signals. Beispielsweise wurde unter der Annahme, dass ein von dem Digital-Analog-Umsetzer 142 ausgegebener Wert in einem Bereich von –Vm bis +Vm variieren kann, ein Spannungswert, der dem Hochpegel/Tiefpegel des von der Phasenkomparatoreinrichtung 122 ausgegebenen Signals entspricht, zuvor in einem Bereich festgelegt, der enger als ein Bereich einer Leistungsquellenspannung unter Berücksichtigung eines Wertes von ± Vm ist. Demzufolge ist ein Spannungswert als Ergebnis der Addition durch den Addierer 124 so eingestellt, dass er den Bereich der Leistungsquellenspannung nicht überschreitet.
Das Tiefpassfilter 126 erzeugt eine Steuerspannung, die an den Oszillator 128 vom spannungsgesteuerten Typ anzulegen ist, durch Glätten einer vom Addierer 124 ausgegebenen Spannung. Der Oszillator 128 vom spannungsgesteuerten Typ schwingt mit einer Frequenz entsprechend der anliegenden Steuerspannung. Der Teiler 130, dem ein festes Teilungsverhältnis N1 zugewiesen ist, teilt ein von dem Oszillator 128 vom spannungsgesteuerten Typ ausgegebenes Schwingungssignal mit einem Teilungsverhältnis N1. Der Teiler 132, dem ein variables Teilungsverhältnis N2 zugewiesen ist, teilt ferner das vom Teiler 130 ausgegebene Signal mit dem Teilungsverhältnis N2 und gibt es aus. Wie oben erwähnt wurde, wird das vom Teiler 132 ausgegebene Signal in die Phasenkomparatoreinrichtung 122 eingegeben.
Die Schaltung 144 für eine variable Verzögerung verzögert das vom Teiler 130 ausgegebene Signal um einen festgelegten Verzögerungsbetrag und gibt es aus. Die Phasenkomparatoreinrichtung 134 vergleicht die Phase eines Signals, das die Schaltung 144 für eine variable Verzögerung durchlaufen hat, und eines vom Pegelkomparator 150 ausgegebenen Signals und gibt dann ein Signal aus, das eine Einschaltdauer aufweist, die einer Phasendifferenz entspricht. Der Zähler 136 ist ein Vor-Rückwärts-Zähler, der entsprechend dem von der Phasenkomparatoreinrichtung 134 ausgegebenen Signal ein Vorwärtszählen oder ein Rückwärtszählen ausführt. Beispielsweise wird dann, wenn ein von der Phasenkomparatoreinrichtung 134 ausgegebenes Signal auf hohem Pegel ist, synchron mit einem Taktsignal CLK ein Vorwärtszählen ausgeführt. Wenn hingegen das von der Phasenkomparatoreinrichtung 134 ausgegebene Signal auf niedrigem Pegel ist, wird synchron mit einem Taktsignal CLK ein Rückwärtszählen ausgeführt. Folglich wird ein Zählwert, der beispielsweise im Bereich von –64 bis +64 enthalten ist, entsprechend der relativen Einschaltdauer des von der Phasenkomparatoreinrichtung 134 ausgegebenen Signals vom Zähler 136 ausgegeben. Was die UND-Schaltung 138 betrifft, so wird ein vom Zähler 136 ausgegebenes Signal (Zählwert) in einen Eingangsanschluss eingegeben, und ein Modussignal M wird in den anderen Eingangsanschluss eingegeben, und der vom Zähler 136 ausgegebene Wert wird maskiert, wenn das Modussignal M auf niedrigem Pegel ist, und der Ausgabewert vom Zähler 136 wird ausgegeben, wie er ist, wenn das Modussignal M auf hohem Pegel ist. Die UND-Schaltung 138 ist für jedes Bit eines parallelen Ausgangsanschlusses des Zählers 136 vorgesehen.
Der Addierer 140 addiert einen vom Zähler 138 ausgegebenen Zählwert und Versatzdaten. Der Digital-Analog-Umsetzer 142 gibt eine Analogspannung aus, die den vom Addierer 140 als Ergebnis der Addition ausgegeben Daten entspricht. Wie oben erwähnt wurde, wird die ausgegebene Spannung in den Addierer 124 eingegeben.
Der oben erwähnte Zeitsteuerungskomparator 154 entspricht einer Empfangseinheit, die Takterzeugungsschaltung 120 entspricht einer Takterzeugungseinheit, der einen Absolutbetrag der Verzögerung berechnende Teilbereich 166 entspricht einer Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit, der einen Betrag der Verzögerung einstellende Teilbereich 170 entspricht einer Verzögerungsbetrag-Einstelleinheit, ein Phasendifferenzdaten erlangender Teilbereich 164 entspricht einer Phasendifferenzdaten-Erlangungseinheit, der einen Absolutbetrag der Verzögerung speichernde Teilbereich 168 entspricht einer Verzögerungsabsolutbetrag-Speichereinheit, die Phasenkomparatoreinrichtung 134 entspricht einer Phasenkomparatoreinheit, der Zähler 136 entspricht einer Phasendifferenz-Ausgabeeinheit bzw. der Addierer 124 entspricht einer Addiereinheit. Der PLL-Synthesizer umfasst die Phasenkomparatoreinrichtung 122, das Tiefpassfilter 126, den Oszillator 128 vom spannungsgesteuerten Typ und die Teiler 130, 132.
Die Halbleiterprüfvorrichtung 100 der Ausführungsform hat eine solche Konfiguration. Als Nächstes wird ihre Funktionsweise beschrieben.
(1) Grundbetrieb der Takterzeugungseinheit 120
(I) Als Erstes wird der Grundbetrieb zur Erzeugung eines regenerativen Taktsignals unter Verwendung eines Regelkreises (Frequenzerzeuger), bestehend aus der Phasenkomparatoreinrichtung 122, dem Oszillator 128 vom spannungsgesteuerten Typ und Teilern 130, 132, beschrieben. Beispielsweise sei angenommen, dass ein Modussignal M auf niedrigem Pegel ist und ein vom Zähler 136 ausgegebener Wert durch die UND-Schaltung 138 maskiert wird. Außerdem sei angenommen, dass die Versatzdaten, die in den Addierer 140 einzugeben sind, ebenfalls 0 sind. Das heißt es wird angenommen, dass eine vom Digital-Analog-Umsetzer 142 ausgegebene Spannung 0 V ist und dass am Addierer 124 die von der Phasenkomparatoreinrichtung 122 ausgegebene Spannung, wie sie ist, in das Tiefpassfilter 126 eingegeben wird.
Ein Signal einer vom Oszillator 128 vom spannungsgesteuerten Typ ausgegebenen Spannung, geteilt durch die Teilungsverhältnisse N1 und N2, wird in einen Eingangsanschluss der Phasenkomparatoreinrichtung 122 eingegeben, und ein vom Bezugstaktgeber 110 ausgegebenes Bezugstaktsignal wird in den anderen Eingangsanschluss eingegeben. In dem Regelkreis werden die Frequenzen und die Phasen der zwei Eingangssignale der Phasenkomparatoreinrichtung 122 so gesteuert, dass sie übereinstimmen. Folglich ist der Oszillator 128 vom spannungsgesteuerten Typ in einer festgelegten Phasenbeziehung mit dem Bezugstaktsignal und schwingt mit der N1 × N2-fachen Frequenz des Bezugstaktsignals. Der Teiler 130 teilt das Schwingungssignal durch das Teilungsverhältnis N1, und das geteilte Signal wird von der Takterzeugungsschaltung 120 als regeneriertes Taktsignal ausgegeben.
Wie oben erwähnt wurde, wird das regenerierte Taktsignal über die Schaltung 152 für eine variable Verzögerung als Übernahmesignal in den Zeitsteuerungskomparator 154 eingegeben. Die Abweichung bei der Laufzeitlänge einer Signalleitung des Übernahmesignals wird durch Ändern des Betrags der Verzögerung der Schaltung 152 für eine variable Verzögerung eingestellt. Bei einer tatsächlichen Prüfung eines zu prüfenden Bauelements 200 ist es erforderlich, den Zeitpunkt zu erfassen, zu dem sich der Pegel des vom Pegelkomparator 150 ausgegebenen Signals ändert, um einen Eingabezeitpunkt eines Übernahmesignals nach vorn oder nach hinten zu verschieben. In einem solchen Fall braucht nur ein Wert der Versatzdaten, die in den Addierer 140 einzugeben sind, geändert werden. Bei einer Änderung der Versatzdaten ändert sich der vom Digital-Analog-Umsetzer 142 ausgegebene Spannungswert entsprechend den Versatzdaten. Folglich ist es nur in einem Zustand, in dem eine Schwingungsfrequenz des Oszillators 128 vom spannungsgesteuerten Typ beibehalten wird, d. h. nur während eines Anstiegs (oder Abfalls) des regenerierten Taktsignals, möglich, eine Phase zu verschieben und eine Erzeugungszeitsteuerung eines Übernahmesignals zu verändern.
(2) Grundbetrieb der Takterzeugungsschaltung 120
(II) Als Nächstes wird ein Verfahren zum Erzeugen eines regenerativen Taktsignals, das mit von dem zu prüfenden Bauelement 200 ausgegebenen Daten synchron ist, beschrieben. Wenn ein solches regeneratives Taktsignal erzeugt wird, ist das Modussignal M auf hohem Pegel.
Das vom Pegelkomparator 150 ausgegebene Signal wird direkt in den Zeitsteuerungskomparator 154 eingegeben und außerdem abgezweigt und in die Phasenkomparatoreinrichtung 134 in der Takterzeugungsschaltung 120 eingegeben. Die Laufzeitlängen der zwei Signalleitungen (Laufzeiten der Signale) sind mit T1 bzw. T2 bezeichnet. Da die Laufzeitlängen T1, T2 gewöhnlich nicht übereinstimmen, ist die Schaltung 144 für eine variable Verzögerung vorgesehen, um die Zeitdifferenz Td (= T2 – T1) auszugleichen. Wenn die Zeitdifferenz Td größer als die Länge einer Periode des regenerativen Taktsignals ist, wird ein Wert, welcher der Laufzeitlänge entspricht, die ein ganzzahliges Vielfaches des regenerativen Taktsignals überschreitet, in der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung eingestellt.
Der Verzögerungsbetrag der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung wird gemäß der nachstehenden Prozedur festgesetzt. Zunächst wird der Betrag der Verzögerung der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung auf 0 gesetzt. In diesem Zustand wird, falls die Erzeugungszeitsteuerung eines regenerativen Taktsignals, das vom Teiler 130 ausgegeben wird, von der Zeitsteuerung des vom Pegelkomparator 150 ausgegebenen Signals abweicht (korrekt: Der Zeitpunkt, zu dem ein vom Teiler 130 ausgegebenes regeneratives Taktsignal in die Phasenkomparatoreinrichtung 134 eingegeben wird, und der Zeitpunkt, zu dem vom Pegelkomparator 150 ausgegebene Daten in die Phasenkomparatoreinrichtung 134 eingegeben werden, weichen voneinander ab.), eine relative Einschaltdauer eines von der Phasenkomparatoreinrichtung 134 ausgegebenen Signals einen Wert annehmen, welcher der Abweichung entspricht. Deshalb führt ein Vorwärtszählen oder Rückwärtszählen des Zählers 136 zu einem Betrag der relativen Einschaltdauer, der um mehr als 50 % abweicht, wobei der Zählwert, bezogen auf 0, positiv oder negativ wird. Der Zählwert wird durch den Digital-Analog-Umsetzer 142 in eine Analogspannung umgesetzt und in den Addierer 124 eingegeben, und die Erzeugung des regenerativen Taktsignals wird mit einer Phasendifferenz entsprechend der gehaltenen Analogspannung (einer Differenz zwischen dem Ausgabezeitpunkt von Daten und dem Erzeugungszeitpunkt des regenerativen Taktsignals entsprechend) fortgesetzt.
Da die Differenz zwischen dem Ausgabezeitpunkt der Daten und dem Erzeugungszeitpunkt eines regenerativen Taktsignals dem Zählwert des Zählers 136 entspricht, kann die Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung 160 anhand des Zählwertes vom Zähler 136 erkennen, wie weit momentan der Erzeugungszeitpunkt des regenerativen Taktsignals vom Ausgabezeitpunkt der Daten abweicht. Die Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung 160 stellt den Erzeugungszeitpunkt des regenerativen Taktsignals so ein, dass er mit dem Ausgabezeitpunkt der Daten übereinstimmt, indem sie den Betrag der Verzögerung für die Schaltung 144 für eine variable Verzögerung entsprechend dem Zählwert des Zählers 136 einstellt.
Auf diese Weise kann der Betrag der Verzögerung, welcher der Zeitdifferenz Td zwischen zwei Signalleitungen (einem Unterschied zwischen Laufzeitlängen zweier Signalleitungen) entspricht, in der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung eingestellt werden. Anschließend wird auch das regenerative Taktsignal mit der Zeitsteuerung der Daten erzeugt, die vom Pegelkomparator 150 ausgegeben werden. Folglich kann auch dann, wenn die Ausgabezeitsteuerung der Daten schwankt, die Erzeugungszeitsteuerung des regenerativen Taktsignals ebenfalls entsprechend der Schwankung geändert werden.
(3) Einstellvorgang basierend auf dem Ergebnis der Messung eines Absolutbetrags der Verzögerung
Das oben angegebene Einstellen des Verzögerungsbetrags der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung sollte jedes Mal, wenn sich die Frequenz des regenerativen Taktsignals ändert, erfolgen, weil das Einstellen des Betrags der Verzögerung, die der Zeitdifferenz Td zwischen zwei Signalleitungen entspricht, für einen Wert durchgeführt wird, der einer Laufzeitlänge entspricht, die den Wert eines ganzzahligen Vielfachen der Periode des regenerativen Taktsignals übersteigt. Das heißt wenn der dem regenerativen Taktsignal einer bestimmten Frequenz f1 entsprechende Betrag der Verzögerung ΔT der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung bekannt ist, aber die Frequenz von f1 zu f2 wechselt, kann der einem regenerativen Taktsignal der geänderten Frequenz f2 entsprechende Verzögerungsbetrag der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung nicht aus dem Betrag der Verzögerung ΔT erhalten werden. Folglich ist es erforderlich, den Einstellvorgang erneut von Anfang an auszuführen. Dabei ist, wenn ein häufiges Ändern der Frequenz des regenerativen Taktsignals gewünscht ist, der Vorgang zum Einstellen des Verzögerungsbetrags der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung (Kalibrierung) jedes Mal notwendig, und es sind Aufwand und Zeit zum Einstellen der Erzeugungszeitsteuerung eines regenerativen Taktsignals erforderlich.
Anschließend wird ein Verfahren, das den oben erwähnten Aufwand verringert oder die Zeit verkürzt, indem zuerst die oben erwähnte Zeitdifferenz Td erlangt wird (im Folgenden wird Td als ein Absolutbetrag der Verzögerung bezeichnet), und, wenn sich die Frequenz des regenerativen Taktsignals ändert, der Betrag der Verzögerung ΔT durch Berechnen basierend auf dem erhaltenen Absolutbetrag der Verzögerung Td erhalten und die Schaltung 144 für eine variable Verzögerung eingestellt wird, beschrieben.
2 ist eine schematische Darstellung, die eine detaillierte Anordnung der Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung 160 zeigt, die die Schaltung 144 für eine variable Verzögerung basierend auf dem Absolutbetrag der Verzögerung einstellt. Wie in 2 gezeigt ist, umfasst die Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung 160 einen Taktstellgrößen-Teilbereich 162, einen Phasendifferenzdaten erlangenden Teilbereich 164, einen den Absolutbetrag der Verzögerung berechnenden Teilbereich 166, einen den Absolutbetrag der Verzögerung speichernden Teilbereich 168 und einen den Absolutbetrag der Verzögerung einstellenden Teilbereich 170.
Der Taktstellgrößen-Teilbereich 162 legt die Frequenz des von der Takterzeugungsschaltung 120 erzeugten regenerativen Taktes, d. h. die Schwingungsfrequenz des Oszillators 18 spannungsgesteuerten Typs, als Stellgröße fest. Das Festsetzen der Frequenz als Stellgröße wird durch Ändern des Teilungsverhältnisses N2 des Teilers 132 ausgeführt. Der Phasendifferenzdaten erlangende Teilbereich 164 erlangt den Wert der Phasendifferenz der Ausgabezeitsteuerung der vom Pegelkomparator 150 ausgegebenen Daten und der Erzeugungszeitsteuerung des regenerativen Taktsignals. Der Phasendifferenzwert ist der Verzögerungsbetrag, der aus dem Zählwert des Zählers 136 erhalten wird, wenn der Betrag der Verzögerung der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung auf 0 gesetzt ist, und sollte bei der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung eingestellt werden. Ein Erlangen der Phasendifferenzdaten wird für jedes regenerative Taktsignal einer Vielzahl von Frequenzen ausgeführt. Der Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungsteilbereich 166 berechnet einen Absolutbetrag der Verzögerung Td anhand des Phasendifferenzwertes, der vom Phasendifferenzdaten erlangenden Teilbereich 164 erlangt wird. Der berechnete Absolutwert der Verzögerung Td wird in dem den Absolutbetrag der Verzögerung speichernden Teilbereich 168 gespeichert. Der den Absolutbetrag der Verzögerung speichernde Teilbereich 168 besteht aus nichtflüchtigem Speicher. Der den Betrag der Verzögerung einstellende Teilbereich 170 berechnet den Betrag der Verzögerung ΔT entsprechend dem regenerativen Taktsignal verschiedener Frequenzen und stellt den Verzögerungsbetrag der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung basierend auf dem Absolutbetrag der Verzögerung Td, der im den Absolutbetrag der Verzögerung speichernden Teilbereich 168 gespeichert ist, ein.
3 ist ein Ablaufplan, der eine Prozedur zum Berechnen des Absolutbetrags der Verzögerung durch die Verzögerungsbetrag-Einstellschaltung 160 zeigt. 4 ist eine schematische Darstellung, die die Grundzüge der Berechnung des Absolutbetrags der Verzögerung zeigt. In 4 bezeichnet "CLK1" ein regeneratives Taktsignal niedrigerer Frequenz (kurzer Bogen) und "CLK2" bezeichnet ein regeneratives Taktsignal höherer Frequenz (langer Bogen). "T_CL1", "T_CL2" bezeichnen Perioden entsprechender regenerativer Taktsignale. "x1", "x2" sind Werte eines Quotienten aus dem Absolutbetrag der Verzögerung Td, geteilt durch die Periode des entsprechenden regenerativen Taktsignals, und "P1", "P2" sind die Reste dieser Teilung. "DATEN" bezeichnet Daten, die vom Pegelkomparator 150 ausgegeben werden.
Wie 4 zeigt, lässt sich der Absolutbetrag der Verzögerung Td unter Verwendung der Perioden- und Phasendifferenzdaten zweier Arten regenerativer Taktsignale wie folgt darstellen: Td = TCL1·x1 + P1 (1) Td = TCL2·x2 + P2 (2)
Was die Grundvoraussetzungen betrifft, so ist

(a) die Frequenz des regenerativen Taktsignals CLK2 so festgelegt, dass x2 = x1 oder x2 = x1 – 1 ist,
(b) die Frequenz des regenerativen Taktsignals CLK2 so festgelegt, dass T_CL2 > T_CL1 und T_CL2·(x1 – 1) < T_CL1·x1 ist.

Da der Absolutbetrag der Verzögerung Td, die eine Differenz zwischen Leitungslängen zweier Signalleitungen ist, bei der Konstruktion bestimmt werden kann, ist es einfach, die regenerativen Taktsignale CLK1, CLK2 so festzulegen, dass sie die zwei Grundvoraussetzungen (a), (b) erfüllen.
Wenn die Relation P1 ≤ P2 zwischen den zwei erhaltenen Phasendifferenzwerten P1, P2 vorliegt, gilt: x2 = x1 – 1 (3).
Wenn x1 aus den Ausdrücken (1) bis (3) erhalten wird, ist das Ergebnis: x1 = (P2 – P1 – TCL2)/(TCL1 – TCL2) (4).
Wenn die Relation P1 > P2 zwischen den zwei erzielten Phasendifferenzwerten P1, P2 vorliegt, ist x2 = x1 (5).
Wenn x1 aus den Ausdrücken (1), (2), (5) erhalten wird, ist das Ergebnis: x1 = (P2 – P1)/(TCL1 – TCL2) (6).
Auf diese Weise wird x1 bestimmt, sodass der Absolutbetrag der Verzögerung Td unter Verwendung des Ausdrucks (1) berechnet werden kann.
Zur Ausführung der Berechnung setzt der den Betrag der Verzögerung einstellende Teilbereich 170 den Verzögerungsbetrag der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung zunächst auf 0 (Schritt 100). Der Taktstellgrößen-Teilbereich 162 setzt das Teilungsverhältnis N2 des Teilers 132 auf einen festgelegten Wert. Auf diese Weise wird ein regeneratives Taktsignal CLK1 erzeugt (Schritt 101). In diesem Zustand erfasst der Phasendifferenzdaten erlangende Teilbereich 164 den Zählwert des Zählers 136 und erlangt den Phasendifferenzwert P1, der dem Zählwert entspricht (Schritt 102).
Als Nächstes ändert der Taktstellgrößen-Teilbereich 162 das Teilungsverhältnis N2 des Teilers 132. Folglich wird ein weiteres regeneratives Taktsignal CLK2 erzeugt (Schritt 103). In diesem Zustand erfasst der Phasendifferenzdaten erlangende Teilbereich 164 den Zählwert des Zählers 136 und erlangt den Phasendifferenzwert P2, der dem Zählwert entspricht (Schritt 104).
Als Nächstes bestimmt der den Absolutbetrag der Verzögerung berechnende Teilbereich 166, ob die zwei Phasendifferenzwerte P1, P2 die Relation P1 ≤ P2 erfüllen oder nicht (Schritt 105). Wenn sie erfüllt ist, wird eine bejahende Entscheidung getroffen, und der den Absolutbetrag der Verzögerung berechnende Teilbereich 166 berechnet x1 unter Verwendung des Ausdrucks (4) (Schritt 106). Wenn sie nicht erfüllt ist, wird bei der Bestimmung im Schritt 105 eine negative Entscheidung getroffen, und der den Absolutbetrag der Verzögerung berechnende Teilbereich 166 berechnet x1 unter Verwendung des Ausdrucks (6) (Schritt 107). Als Nächstes berechnet der den Absolutbetrag der Verzögerung berechnende Teilbereich 166 den Absolutbetrag der Verzögerung Td unter Verwendung des Ausdrucks (1) (Schritt 108) und speichert ihn im den Absolutbetrag der Verzögerung speichernden Teilbereich 168 (Schritt 109). Auf diese Weise endet der Ablauf des Verfahrens zur Berechnung des Absolutbetrags der Verzögerung Td. Das Verfahren zur Berechnung des Absolutbetrags der Verzögerung Td wird einmal zu einem Zeitpunkt, wie etwa vor einer tatsächlichen Prüfung oder unmittelbar nachdem eine Änderung an der Signalleitung vorgenommen worden ist, ausgeführt.
5 ist ein Ablaufplan, der eine Prozedur zum Einstellen des Betrags der Verzögerung zeigt, wenn sich während der Halbleiterprüfung die Frequenz des regenerativen Taktsignals ändert. Der den Betrag der Verzögerung einstellende Teilbereich 170 bestimmt, ob die Frequenz des regenerativen Taktsignals verändert ist oder nicht (Schritt 200). Wenn sie unverändert ist, wird negativ entschieden, und die Bestimmung wird wiederholt. Wenn die Frequenz des regenerativen Taktsignals verändert ist, wird bei der Bestimmung im Schritt 200 positiv entschieden, und als Nächstes liest der Verzögerungsbetrag-Einstellteilbereich 170 den Absolutbetrag der Verzögerung Td, der im den Absolutbetrag der Verzögerung speichernden Teilbereich 168 gespeichert ist, (Schritt 201) und stellt einen Restwert der Teilung des Absolutbetrags der Verzögerung Td durch eine Periode T_CL eines veränderten regenerativen Taktsignal als Verzögerungsbetrag der Schaltung 144 für eine variable Verzögerung ein (Schritt 202). Dann geht der Ablauf zum Schritt 200 zurück, und die Verarbeitung wird wiederholt.
Wie oben beschrieben wurde, wird sich bei der Halbleiterprüfvorrichtung der Ausführungsform, wenn nur der Absolutbetrag der Verzögerung Td bekannt ist, der Betrag der Verzögerung ΔT, der zum Einstellen der Zeitsteuerung der Erzeugung des regenerativen Taktsignals erforderlich ist, durch Berechnen verschafft, wenn sich eine Frequenz oder eine Periode des regenerativen Taktsignals ändert. Folglich kann der Aufwand zum Einstellen der Erzeugungszeitsteuerung des regenerativen Taktsignals, das aus Daten zu extrahieren ist, deutlich verringert oder die Zeit, die zum Einstellen erforderlich ist, deutlich verkürzt werden. Insbesondere kann der Absolutbetrag der Verzögerung Td berechnet werden, indem tatsächlich nur zwei Arten von regenerativen Taktsignalen erzeugt werden und ein Wert der Phasendifferenz zwischen den erzeugten Taktsignalen erlangt wird, und der Aufwand und die Zeit zum Einstellen des Verzögerungsbetrags können reduziert werden, indem das regenerative Taktsignal nur jedes Mal dann erzeugt wird, wenn danach die Frequenz oder die Periode des regenerativen Taktsignals verändert wird. Ferner können der Aufwand und die Zeit zum Einstellen des Betrags der Verzögerung reduziert werden, da einmal berechnete Werte für den Absolutbetrag der Verzögerung gehalten werden können, indem sie im Verzögerungsabsolutwert-Speicherbereich 168 gespeichert werden, der aus nichtflüchtigem Speicher besteht, und bei jedem Einstellen des Betrags der Verzögerung verwendet werden.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben dargestellte Ausführungsform be schränkt, und innerhalb des Schutzumfangs des Erfindungsgedankens der Erfindung sind verschiedenste Abwandlungen möglich. Obwohl in den oben dargestellten Ausführungsformen die Schaltung 144 für eine variable Verzögerung zwischen der Phasenkomparatoreinrichtung 134 und dem Teiler 130 vorgesehen ist, kann sie, je nach Länge oder dergleichen der Signalleitung, zwischen der Phasenkomparatoreinrichtung 134 und dem Pegelkomparator 150 vorgesehen sein.

Claims

Halbleiterprüfvorrichtung mit: einer Empfangseinheit zum Empfangen von Daten, die von einem zu prüfenden Bauelement ausgegeben werden; einer Takterzeugungseinheit zum Erzeugen eines Taktsignals, das mit von dem zu prüfenden Bauelement ausgegebenen Daten synchronisiert ist; einer Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit zum Berechnen einer Signallaufzeit, die einem Unterschied zwischen einer ersten Signalleitung von dem zu prüfenden Bauelement zu der Empfangseinheit und einer zweiten Signalleitung von dem zu prüfenden Bauelement zu der Takterzeugungseinheit entspricht, als Absolutbetrag der Verzögerung; und einer Verzögerungsbetrag-Einstelleinheit zum Festsetzen des Betrags der Verzögerung unter einer Periode des Taktsignals entsprechend einer Frequenz oder einer Periode des Taktsignals, das von der Takterzeugungseinheit erzeugt wird, und Anweisen des Einstellens der Zeitsteuerung der Taktsignalerzeugung durch die Takterzeugungseinheit.
Halbleiterprüfvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, ferner mit: einer Phasendifferenzdaten-Erlangungseinheit zum Erlangen eines ersten Phasendifferenzwertes P1, der eine Phasendifferenz zwischen der Ausgabezeitsteuerung der Daten, die erzeugt wird, wenn ein erstes Taktsignal mit einer ersten Frequenz oder einer ersten Periode von der Takterzeugungseinheit erzeugt wird, und der ersten Taktsignalerzeugungszeitsteuerung angibt, und eines zweiten Phasendifferenzwertes P2, der eine Phasendifferenz zwischen der Ausgabezeitsteuerung der Daten, die erzeugt wird, wenn ein zweites Taktsignal mit einer zweiten Frequenz oder einer zweiten Periode, die von der ersten Frequenz oder der ersten Periode verschieden ist, von der Takterzeugungseinheit erzeugt wird, und der zweiten Taktsignalerzeugungszeitsteuerung angibt, wobei die Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit den Absolutbetrag der Verzögerung basierend auf dem ersten und zweiten Phasendifferenzwert P1, P2, die von der Phasendifferenzdaten-Erlangungseinheit erlangt wurden, und der ersten und zweiten Frequenz oder der ersten und zweiten Periode berechnet.
Halbleiterprüfvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der von der Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit berechnete Absolutbetrag der Verzögerung in einer Verzögerungsabsolutbetrag-Spei chereinheit, die aus nichtflüchtigem Speicher besteht, gespeichert wird.
Halbleiterprüfvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, ferner mit: einer Phasenkomparatoreinheit zum Erfassen einer Phasendifferenz von Signalen, die in zwei Eingangsanschlüsse eingegeben werden, wobei Daten, die von dem zu prüfenden Bauelement ausgegeben werden, in einen Eingangsanschluss eingegeben werden, und das erste und zweite Taktsignal, die von der Takterzeugungseinheit erzeugt werden, in den anderen Eingangsanschluss eingegeben werden; und einer Phasendifferenz-Ausgabeeinheit zum Ausgeben eines Wertes, welcher der von der Phasenkomparatoreinheit erfassten Phasendifferenz entspricht; wobei die Phasendifferenzdaten-Erlangungseinheit den ersten und zweiten Phasendifferenzwert basierend auf dem von der Phasendifferenz-Ausgabeeinheit ausgegebenen Wert erlangt.
Halbleiterprüfvorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Phasendifferenz-Ausgabeeinheit aus einem Zähler gebildet ist, der entsprechend der von der Phasenkomparatoreinheit erfassten Phasendifferenz ein Vorwärtszählen oder ein Rückwärtszählen ausführt und einen Zählwert ausgibt, der von der Phasendifferenz abhängt.
Halbleiterprüfvorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Takterzeugungseinheit einen PLL-Synthesizer zum Erzeugen des Taktsignals und eine Addiereinheit, um eine Spannung, die von dem von der Phasendifferenz-Ausgabeeinheit ausgegebenen Wert abhängt, einer Steuerspannung, die an einen Oszillator vom spannungsgesteuerten Typ in dem PLL-Synthesizer anzulegen ist, zu überlagern, umfasst.
Halbleiterprüfvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit die Größe des ersten und des zweiten Phasendifferenzwertes P1, P2 vergleicht und den Absolutbetrag der Verzögerung entsprechend dem Ergebnis des Vergleichs berechnet.
Halbleiterprüfvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit den Absolutbetrag der Verzögerung durch Vergleichen der Größe des ersten und zweiten Pha sendifferenzwertes P1 und P2 und Erlangen eines Quotienten, der aus der Division des Absolutbetrags der Verzögerung durch eine Periode des ersten oder zweiten Taktsignals entsprechend dem Ergebnis des Vergleichs resultiert, berechnet.