DE10392225T5

DE10392225T5 - Prüfvorrichtung

Info

Publication number: DE10392225T5
Application number: DE10392225T
Authority: DE
Inventors: Hideyuki Oshima; Yasutaka Tsuruki
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2002-01-18
Filing date: 2003-01-17
Publication date: 2005-01-27
Also published as: WO2003062843A1; US6956395B2; JPWO2003062843A1; US20040239310A1; JP4567974B2

Abstract

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welche aufweist:
einen Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines Bezugstakts mit einer ersten Frequenz;
einen ersten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines ersten Prüfratentakts, dessen Frequenz ein im Wesentlichen integrales Vielfaches der ersten Frequenz ist, auf der Grundlage des Bezugstakts;
einen zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines zweiten Prüfratentakts, dessen Frequenz ein Wesentlichen integrales Vielfachen der ersten Frequenz und unterschiedlich gegenüber der Frequenz des ersten Prüfratentakts ist, auf der Grundlage des Bezugstakts;
einen ersten Treiberabschnitt zum Zuführen eines ersten Prüfmusters mit einer zweiten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung, um die elektronische Vorrichtung gemäß dem ersten Prüfratentakt zu prüfen; und
einen zweiten Treiberabschnitt zum Zuführen eines zweiten Prüfmusters mit einer dritten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung, um die elektronische Vorrichtung gemäß dem zweiten Prüfratentakt zu prüfen.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung mit mehreren Kernen, deren Betriebsfrequenzen unterschiedlich sind.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine nachfolgend genannte Japanische Patentanmeldung Der gesamte Inhalt hiervon wird für alle Zwecke einbezogen, wenn dies in dem/den besonderen bezeichneten Staat/Daten anwendbar ist.
Japanische Patentanmeldung Nr. 2002-10877
eingereicht am 18. Januar 2002.

Eine herkömmliche Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung wie einer Halbleitervorrichtung liefert ein Prüfmuster, dessen Frequenz der Betriebsfrequenz der elektronischen Vorrichtung entspricht, um die Prüfung der elektronischen Vorrichtung durchzuführen. Wenn die elektronische Vorrichtung mehrere Kerne hat, deren Betriebsfrequenzen unterschiedlich sind, prüft die Prüfvorrichtung aufeinander folgend jeden der Kerne. Wenn beispielsweise die elektronische Vorrichtung eine CPU und einen Decodierer hat, deren Betriebsfrequenzen unterschiedlich sind, liefert die Prüfvorrichtung aufeinander folgend Prüfmuster, deren Frequenzen den jeweiligen Betriebsfrequenzen entsprechen, zu der CPU und zu dem Decodierer.

Um die Prüfung der elektronischen Vorrichtung jedoch genau durchzuführen, ist es erforderlich, dass die mehreren Kerne während der Prüfung gleichzeitig arbeiten. Die herkömmliche Prüfvorrichtung erzeugt mehrere Takte entsprechend den Betriebsfrequenzen der jeweiligen mehreren Kerne und liefert die Prüfmuster, die den jeweiligen Kernen entsprechen, zu den Kernen der elektronischen Vorrichtung jeweils auf der Grundlage der mehreren erzeugten Takte. Bei der herkömmlichen Prüfvorrichtung ist es jedoch schwierig, die Prüfung reproduzierbar durchzuführen, da die mehreren Takte nicht synchronisiert sind. Wenn beispielsweise die Prüfung beginnt, besteht keine Reproduzierbarkeit in der Phasenbeziehung der mehreren Prüfmuster, und es ist schwierig, die Prüfung reproduzierbar durchzuführen.

Demgemäß ist es eine der Aufgaben der vorliegenden Erfindung, eine Prüfvorrichtung vorzusehen, die in der Lage ist, die vorgenannten, den Stand der Technik begleitenden Nachteile zu überwinden. Die obige und andere Aufgaben können gelöst werden durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.

BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Um die vorgenannten Probleme zu lösen, enthält gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung: einen Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines Bezugstaktes mit einer ersten Frequenz, einen ersten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines ersten Prüfratentaktes, dessen Frequenz ein im Wesentlichen integrales Vielfaches der ersten Frequenz ist, auf der Grundlage des Bezugstaktes, einen zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines zweiten Prüfratentaktes, dessen Frequenz ein im Wesentlichen integrales Vielfaches der ersten Frequenz ist und sich von der Frequenz des ersten Prüfratentaktes unterscheidet, auf der Grundlage des Bezugstaktes, einen ersten Treiberabschnitt zum Liefern eines ersten Prüfmusters mit einer zweiten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung, um die elektronische Vorrichtung gemäß dem ersten Prüfratentakt zu prüfen, und einen zweiten Treiberabschnitt zum Zuführen eines zweiten Prüfmusters mit einer dritten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung, um die elektronische Vorrichtung gemäß dem zweiten Prüfratentakt zu prüfen.
Der erste und der zweite Treiberabschnitt können be ginnen, das erste und das zweite Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung zu liefern, wobei das erste und das zweite Prüfmuster zu einer gewünschten Zeit synchronisiert werden. Der erste und der zweite Treiberabschnitt können jeweils das erste oder das zweite entsprechende Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung mit einer Frequenz, die im Wesentlichen dieselbe wie die Frequenz des ersten oder des zweiten Prüfratentakts ist, liefern.
Der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt kann den Bezugstakt erzeugen, dessen Periode im Wesentlichen dieselbe wie ein geringstes gemeinsames Vielfaches von Perioden des ersten und des zweiten Prüfratentakts ist, die von dem ersten und dem zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zu erzeugen sind. Die Prüfvorrichtung kann weiterhin einen Musterstartsignal-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines Musterstartsignals enthalten, das die gewünschte Zeit anzeigt, wobei der erste und der zweite Treiberabschnitt beginnen können, das erste und das zweite Prüfmuster auf der Grundlage des Musterstartsignals zu liefern.
Der erste und der zweite Prüfraten-Erzeugungsabschnitt können jeweils enthalten: einen Oszillatorabschnitt zum Empfangen des Bezugstaktes und zum Erzeugen eines Oszillationstaktes, dessen Frequenz im Wesentlichen ein integrales Vielfaches der Frequenz des Bezugstaktes ist, einen ersten Frequenzteiler zum Teilen der Frequenz des Oszillationstaktes und zum Erzeugen des ersten oder zweiten Prüfratentaktes, und einen zweiten Frequenzteiler zum Teilen der Frequenz des ersten oder zweiten Prüfratentaktes und zum Erzeugen eines Verifizierungstaktes, dessen Frequenz im Wesentlichen dieselbe wie die Frequenz des Bezugstaktes ist, wobei jeder der Oszil latorabschnitt eine Phase von jedem der Oszillationstakte synchronisieren kann auf der Grundlage einer Phase von jedem der Verifizierungstakte und einer Phase des Bezugstaktes.
Der erste und der zweite Prüfraten-Erzeugungsabschnitt können weiterhin jeweils einen Frequenzteilungs-Steuerabschnitt enthalten für die Steuerung eines Verhältnisses der Frequenzteilung des ersten entsprechenden Frequenzteilers, und jeder der Frequenzteilungs-Steuerabschnitte kann das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten entsprechenden Frequenzteilers steuern auf der Grundlage der Frequenz des ersten oder zweiten Prüfratentaktes, die von dem ersten oder zweiten entsprechenden Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zu erzeugen sind, und der Frequenz des entsprechenden Oszillationstaktes. Die Prüfvorrichtung kann weiterhin einen Speicherabschnitt enthalten für die entsprechende Speicherung der Frequenz des ersten oder zweiten Prüfratentaktes, die von dem ersten oder zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zu erzeugen sind, der Frequenz des Oszillationstaktes und des Verhältnisses der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers, die von dem ersten Frequenzteilungs-Steuerabschnitt zu steuern ist.
Der erste und der zweite Prüfraten-Erzeugungsabschnitt können weiterhin jeweils einen Schalterabschnitt enthalten für das Schalten dahingehend, ob der erste oder der zweite entsprechende Prüfratentakt zu dem ersten oder zweiten entsprechenden Treiberabschnitt zu liefern ist, auf der Grundlage des Bezugstaktes und des Musterstartsignals. Der Schalterabschnitt kann den ersten oder den zweiten entsprechenden Prüfratentakt zu dem ersten oder zwei ten entsprechenden Treiberabschnitt liefern, wenn jeweils der Bezugstakt und das Musterstartsignal einen vorbestimmten Wert anzeigen.
Der erste und der zweite Treiberabschnitt können jeweils enthalten: einen Grobverzögerungsabschnitt zum Erzeugen eines Zeitsignals, das sich aus der Verzögerung der jeweiligen Impulse des ersten oder zweiten entsprechenden Prüfratentakts um ein gewünschtes integrales Vielfaches einer Periode eines entsprechenden Oszillationstakts ergibt, einen Mustergenerator zum Erzeugen des ersten oder zweiten entsprechenden Prüfmusters gemäß dem Zeitsignal, und einen Feinverzögerungsabschnitt zum Verzögern des entsprechenden ersten oder zweiten Prüfmusters um vorbestimmte Zeitintervalle und zum Zuführen des Prüfmusters zu der elektronischen Vorrichtung.
Der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt kann enthalten: einen variablen Oszillatorabschnitt zum Erzeugen eines variablen Frequenztaktes mit einem variablen Oktavfrequenzbereich und einen dritten Frequenzteiler zum Teilen einer Frequenz des variablen Frequenztaktes mit einem gewünschten Frequenzteilungsverhältnis und zum Erzeugen des Bezugstaktes mit einer gewünschten Frequenz.
Die Zusammenfindung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung einer Prüfvorrichtung 100 gemäß dieser Erfindung.
2 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung mehrerer Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30.
3 zeigt ein Zeitdiagramm eines Beispiels für mehrere Prüfratentakte, die von den mehreren Prüfraten-Erzeugungsabschnitten 30 erzeugt sind.
4 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung eines Treiberabschnitts 40.
5 zeigt ein Zeitdiagramm eines Beispiels für mehrere Prüfmuster, die von den mehreren Treiberabschnitten 40 erzeugt sind.
6 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung eines Bezugstakt-Erzeugungsabschnitts 10.
7 zeigt ein Beispiel für das Steuerverfahren eines Bezugstakt-Steuerabschnitts 22.
8 zeigt ein Beispiel für das Steuerverfahren eines Frequenzteilungs-Steuerabschnitts 36.
9 zeigt ein anderes Beispiel für das Steuerverfahren des Bezugstakt-Steuerabschnitts 22.
10 zeigt ein anderes Beispiel für das Steuerverfahren des Frequenzteilungs-Steuerabschnitts 36.
11 zeigt ein anderes weiteres Beispiel für das Steuerverfahren des Frequenzteilungs- Steuerabschnitts 36.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle in dem Ausführungsbeispiel beschriebenen Merkmale und deren Kombinationen sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
1 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung einer Prüfvorrichtung 100 gemäß dieser Erfindung. Die Prüfvorrichtung 100 prüft eine elektronische Vorrichtung 60. Die elektronische Vorrichtung 60 hat mehrere Kerne, deren Arbeitsfrequenzen unterschiedlich sind. Die Prüfvorrichtung 100 ist mit einem Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt 10, einem Musterstartsignal-Erzeugungsabschnitt 20, mehreren Prüfraten-Erzeugungsabschnitten 30, mehreren Treiberabschnitten 40 und mehreren Beurteilungsabschnitten 50 versehen.
Der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt 10 erzeugt einen Bezugstakt mit einer ersten Frequenz. Es ist bevorzugt, dass der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt 10 einen Bezugstakt erzeugt, dessen Periode angenähert dieselbe ist wie das geringste gemeinsame Vielfache der Perioden mehreren Prüfratentakte, die von den Prüfraten-Erzeugungsabschnitten 30 zu erzeugen sind. Ein erster Prüfraten-Erzeugungsabschnitt 30a aus den mehreren Prüfraten-Erzeugungsabschnitten 30 erzeugt einen ersten Prüfratentakt, dessen Frequenz ein angenähertes integrales Vielfaches der ersten Frequenz ist, auf der Grundlage des Bezugstaktes. Ein zweiter Prüfraten-Erzeugungsabschnitt 30b erzeugt auf der Grundlage des Bezugstaktes einen zweiten Prüfratentakt, dessen Frequenz ein angenähertes integrales Vielfaches der ersten Frequenz und unterschiedlich gegenüber der Frequenz des ersten Prüfratentaktes ist. Ein dritter Prüfraten-Erzeugungsabschnitt 30c erzeugt einen dritten Prüfratentakt, dessen Frequenz ein angenähertes integrales Vielfaches der ersten Frequenz und unterschiedlich gegenüber den Frequenzen des ersten und des zweiten Prüfratentakts ist, auf der Grundlage des Bezugstaktes.
Obgleich der erste, zweite und dritte Prüfraten-Erzeugungsabschnitt 30a, 30b und 30c ihre Prüfratentakte erzeugten, deren Frequenzen bei diesem Ausführungsbeispiel einander unterschiedlich sind, können alternativ ein oder mehrere Prüfraten-Erzeugungsabschnitt(e) 30 Prüfratentakte erzeugen, deren Frequenzen angenähert dieselben wie die Frequenzen der von den anderen Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30 erzeugten Prüfratentakte sind. Jeder der Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30 erzeugt seinen Prüfratentakt entsprechend der Arbeitsfrequenz des entsprechenden Kerns der elektronischen Vorrichtung.
Ein erster Treiberabschnitt 40a aus den mehreren Treiberabschnitten 40 liefert ein erstes Prüfmuster mit einer zweiten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung, um die elektronische Vorrichtung 60 zu prüfen, als Antwort auf den ersten Prüfratentakt. Ein zweiter Treiberabschnitt 40b aus den mehreren Treiberabschnitten 40 liefert ein zweites Prüfmuster mit einer dritten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung 60, um die elektronische Vorrichtung 60 zu prüfen, als Antwort auf den zweiten Prüfratentakt. Ein dritter Treiberabschnitt 40c aus den mehreren Trei berabschnitten 40 liefert ein drittes Prüfmusters mit einer vierten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung 60, um die elektronische Vorrichtung 60 zu prüfen, als Antwort auf den zweiten Prüfratentakt.
Der erste, zweite und dritte Treiberabschnitt 40a, 40b und 40c können jeweils das erste, zweite oder dritte entsprechende Prüfmuster mit der Frequenz, die angenähert dieselbe wie die Frequenz des ersten, zweiten oder dritten entsprechenden Prüfratentakts ist, zu der elektronischen Vorrichtung 60 liefern. Mit anderen Worten, die mehreren Treiberabschnitte 40 können die Prüfmuster, deren Frequenzen angenähert dieselben wie die Frequenzen der empfangenen Prüfratentakte sind, zu den entsprechenden Kernen der elektronischen Vorrichtung 60 liefern. Beispielsweise können die mehreren Treiberabschnitte 40 in den Prüfmustern enthaltene Impulse entsprechend den Impulsen der empfangenen Prüfratentakte zu den entsprechenden Kernen der elektronischen Vorrichtung liefern.
Die mehreren Beurteilungsabschnitte 50 beurteilen die Qualität der entsprechenden Kerne der elektronischen Vorrichtung 60 auf der Grundlage der Ausgangssignale, die jeweils von den Kernen der elektronischen Vorrichtung 60 als Antwort auf die entsprechenden Prüfmuster ausgegeben wurden. Die mehreren Beurteilungsabschnitte 50 können die Qualität der entsprechenden Kerne der elektronischen Vorrichtung 60 beurteilen auf der Grundlage der erwarteten Signale, die jeweils von den Kernen der elektronischen Vorrichtung 60 auszugeben sind, und der Ausgangssignale, die jeweils von den Kernen der elektronischen Vorrichtung 60 ausgegeben werden. In diesem Fall kann jeder der mehreren Treiberabschnitte 40 das erwartete Signal erzeugen, das von dem entsprechenden Kern der elektroni schen Vorrichtung 60 auf der Grundlage des entsprechenden Prüfmusters auszugeben ist, und es zu dem entsprechenden Beurteilungsabschnitt 50 liefern.
Gemäß der auf dieses Ausführungsbeispiel bezogenen Prüfvorrichtung 100 ist es möglich, da die mehreren Prüfratentakte anhand des Bezugstaktes erzeugt sind und die Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung 60 auf der Grundlage der Prüfratentakte geliefert werden, die mehreren Kerne der elektronischen Vorrichtung 60 mit den synchronisierten Prüfmustern zu prüfen. Daher ist es möglich, die Prüfung der elektronischen Vorrichtung 60 mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
Die mehreren Treiberabschnitte 40 synchronisieren bevorzugt die Phasen der Prüfmuster mit gewünschten Zeiten und beginnen die Zuführung der mehreren Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung 60. Bei diesem Ausführungsbeispiel erzeugt der Musterstartsignal-Erzeugungsabschnitt 20 ein Musterstartsignal, das die gewünschten Zeiten anzeigt. Die mehreren Treiberabschnitte 40 beginnen mit der Zuführung der mehreren Prüfmuster auf der Grundlage des Musterstartsignals. Bei der Prüfvorrichtung 100 nach diesem Ausführungsbeispiel beginnen die mehreren Prüfmuster die Zuführung, wenn ihre Phasen mit der gewünschten Zeit synchronisiert sind, und es ist möglich die Prüfung mit Reproduzierbarkeit durchzuführen.
2 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung der mehreren Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30. Jeder der mehreren Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30 hat dieselbe Funktion und Ausbildung. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die Ausbildung des ersten und des zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitts 30a und 30b beschrieben. Der erste und der zweite Prüfraten-Erzeugungsabschnitt 30a und 30b enthalten jeweils einen Oszillatorabschnitt 70, einen ersten Frequenzteiler 38, einen zweiten Frequenzteiler 42, einen Schalterabschnitt 80, einen Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 und einen Speicherabschnitt 32.
Der Oszillatorabschnitt 70a empfängt den Bezugstakt von dem Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt 10 und erzeugt einen Oszillationstakt, dessen Frequenz ein angenähert integrales Vielfaches der Frequenz des Bezugstakts ist. Jeder der Oszillatorabschnitte 70 synchronisiert die Phasen der Oszillationstakte und der Prüfratentakte auf der Grundlage der Phasen eines Verifizierungstaktes und des Bezugstaktes. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist jeder der Oszillatorabschnitte 70 ein Phasenregelkreis (PLL).
Die ersten Frequenzteiler 38 teilen die Frequenz der Oszillationstakte mit gewünschten Verhältnissen der Frequenzteilung und erzeugen die Prüfratentakte. Mit anderen Worten, der erste Frequenzteiler 38a des ersten Prüfraten-Erzeugungsabschnitts 30a erzeugt den ersten Prüfratentakt, und der erste Frequenzteiler 38b des zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitts 30b erzeugt den zweiten Prüfratentakt.
Jeder der zweiten Frequenzteiler 42 teilt die Frequenz des entsprechenden Prüfratentakts und erzeugt einen Verifizierungstakt, dessen Frequenz angenähert dieselbe wie die Frequenz des Bezugstakts ist. Mit anderen Worten, der zweite Frequenzteiler 42a des ersten Prüfraten-Erzeugungsabschnitts 30a teilt die Frequenz des ersten Prüfratentakts und erzeugt seinen Verifizierungstakt, dessen Frequenz angenähert dieselbe wie die Frequenz des Bezugstakts ist, und der zweite Frequenzteiler 42b des zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitts 30b teilt die Frequenz des zweiten Prüfratentakts und erzeugten seinen Verifizierungstakt, dessen Frequenz angenähert dieselbe wie die Frequenz des Bezugstakts ist.
Jeder der Oszillatorabschnitte 70 enthält einen Phasendetektor 72, ein Schleifenfilter 74, einen DA 77 und einen spannungsgesteuerten Oszillator 76. Der spannungsgesteuerte Oszillator 76 erzeugt einen Oszillationstakt mit einer gewünschten Frequenz. Jeder Phasendetektoren 72 erfasst die Phasen des Bezugstaktes und des Verifizierungstaktes. Jedes der Schleifenfilter 74 steuert die Oszillationsfrequenz des von dem spannungsgesteuerten Oszillator 76 erzeugten Oszillationstaktes auf der Grundlage der Differenz zwischen den Phasen des Bezugstaktes und des von dem Phasendetektor 74 erfassten Verifizierungstaktes, derart, dass die Differenz abnimmt.
Zusätzlich liefern die DA 77 Versetzungen, um die Schräge der Prüfratentakte aufgrund der Abweichung von Produkten zu korrigieren. Beispielsweise verzögern die DA 77a und 77b die von den Phasendetektoren 72 ausgegebenen Signale um vorbestimmte Zeitintervalle und korrigieren die Schrägen zwischen dem ersten und dem zweiten Prüfratentakt.
Jeder der Oszillatorabschnitte 70 synchronisiert die Phasen des Bezugstaktes, seinen Oszillationstakt und den Prüfratentakt durch Synchronisieren der Phasen des Bezugstaktes und seines Verifizierungstaktes. Da der Bezugstakt und der Verifizierungstakt angenähert dieselbe Frequenz haben, ist es möglich, die Phasen des Bezugstaktes und des Verifizierungstaktes mit großer Genauigkeit zu synchronisieren. Demgemäß kann jeder der Oszillatorabschnitte 70 seinen Oszillationstakt und Prüfratentakt mit hoher Genauigkeit erzeugen, die mit dem Bezugstakt synchronisiert sind. Da jeder der Oszillationsabschnitte 70 seinen Prüfratentakt mit dem Bezugstakt synchronisiert, so dass die von den Oszillatorabschnitten 70 erzeugten Prüfratentakte miteinander synchronisiert werden können. Mit anderen Worten, die mehreren Oszillatorabschnitte 70 können die mehreren Prüfratentakte mit verschiedenen Frequenzen, deren Phasen zu vorbestimmten Zeiten synchronisiert sind, erzeugen. Obgleich der Bezugstakt und jeder der Prüfratentakte bei diesem Ausführungsbeispiel mittels der Schleifenfilter 74 synchronisiert sind, können sie alternativ durch andere Mittel synchronisiert sein.
Die Frequenzteilungs-Steuerabschnitte 36 steuern die Verhältnisse der Frequenzteilung des ersten und des zweiten entsprechenden Frequenzteilers 38 und 42. Jeder der Frequenzteilungs-Steuerabschnitte 36 steuert die Verhältnisse der Frequenzteilung des ersten und des zweiten entsprechenden Frequenzteilers 38 und 42 auf der Grundlage der Frequenz des von dem entsprechenden Prüfraten-Erzeugungsabschnitt 30 zu erzeugenden Prüfratentakts und der Frequenz des entsprechenden Oszillationstakts.
Da die Frequenzteilungs-Steuerabschnitte 36 die Verhältnisse der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 steuern, ist es möglich, die Prüfratentakte mit gewünschten Frequenzen aus den Oszillationstakten mit gewünschten Frequenzen zu erzeugen. Und da die Frequenzteilungs-Steuerabschnitte 36 die Verhältnisse der Frequenzteilung der zweiten Frequenzteiler 42 steuern, ist es möglich, den Verifizierungstakt, dessen Frequenz angenähert dieselbe wie die Frequenz des Bezugstaktes ist, und den Oszillationstakt mit einer gewünschten Frequenz zu erzeugen.
Wenn beispielsweise gewünscht ist, dass das Zittern der Oszillatorabschnitte 70 klein ist, kann die Frequenz des Oszillationstakts niedrig sein. Wenn gewünscht ist, dass der variable Fehler eines später beschriebenen Feinverzögerungsabschnitts 92 klein ist, kann die Frequenz der Oszillatorabschnitte 70 hoch sein. Die Frequenzteilungs-Steuerabschnitte 36 steuern die Verhältnisse der Frequenzteilung des ersten und des zweiten Frequenzteilers 38 und 42 auf der Grundlage der Frequenz des Oszillationstakts. Die Prüfvorrichtung 100 kann weiterhin mit einem Befehlsabschnitt versehen sein für den Empfang eines Befehls von einem Benutzer dahingehend, ob das Zittern der Oszillatorabschnitte oder der variable Fehler der Feinverzögerungsabschnitte 92 klein gemacht werden soll, und die Frequenzteilungs-Steuerabschnitte 36 können jeweils den ersten und/oder zweiten Frequenzteiler 38 und/oder 42 steuern.
Jeder der Speicherabschnitte 32 speichert entsprechend eine Tabelle der Frequenz der von dem entsprechenden Prüfraten-Erzeugungsabschnitt 30 zu erzeugenden Prüfrate, der Frequenz des entsprechenden Oszillationstaktes und der Verhältnisse der Frequenzteilung des ersten und des zweiten Frequenzteilers 38 und 42, die von dem entsprechenden Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 zu steuern sind. Die Prüfvorrichtung 100 kann beispielsweise weiterhin mit einem Befehlsabschnitt versehen sein für den Empfang der Informationen über die Frequenz der Prüfrate, die von jedem der Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30 zu erzeugen sind, und die Frequenz des Oszillationstakts von außerhalb. Jeder der Frequenzteilungs- Steuerabschnitte 36 bezieht sich auf die in dem Speicherabschnitt 32 gespeicherte Tabelle auf der Grundlage der von dem Befehlsabschnitt empfangenen Informationen und steuert die Verhältnisse der Frequenzteilung des ersten und des zweiten Frequenzteilers 38 und 42. Die Frequenz des Oszillationstakts kann vorbestimmt sein.
Jeder der Schalterabschnitte 80 schaltet auf der Grundlage des Bezugstaktes und des Musterstartsignals, ob der von dem entsprechenden Prüfraten-Erzeugungsabschnitt 30 erzeugte Prüfratentakt zu dem entsprechenden Treiberabschnitt 40 (siehe 1) geliefert wird. Jeder der Schalterabschnitte 80 liefert den entsprechenden Prüfratentakt zu dem entsprechenden Treiberabschnitt 40, wenn der Bezugstakt und das Musterstartsignal einen vorbestimmten Wert anzeigen. Bei diesem Ausführungsbeispiel enthält jeder der Schalterabschnitte 80 ein Flip-Flop 82 und eine UND-Schaltung 84. Das Flip-Flop 82 ist ein D-FF, das den Bezugstakt und das Musterstartsignal empfängt und das Musterstartsignal ausgibt, wenn der Bezugstakt einen vorbestimmten Wert anzeigt. Die UND-Schaltung 84 liefert den entsprechenden Prüfratentakt zu dem entsprechenden Treiberabschnitt 40, wenn das Ausgangssignal des Flip-Flops 82 den logischen H-Wert anzeigt.
Da jeder der Schalterabschnitte 80 auf der Grundlage des Musterstartsignals und des Bezugstakts schaltet, ob der entsprechende Prüfratentakt zu dem entsprechenden Treiberabschnitt 40 zu liefern ist, ist es möglich, die Zeit, zu der jeder der Treiberabschnitt 40 beginnt, das Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung 60 zu liefern, zu synchronisieren. Obgleich es die Ausbildung des ersten und des zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitts 30a und 30b ist, die vorste hend bei diesem Ausführungsbeispiel beschrieben wurde, haben andere Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30 ebenfalls dieselbe Funktion und Ausbildung. Mit anderen Worten, bei der auf dieses Ausführungsbeispiel bezogenen Prüfvorrichtung 100 ist es möglich, mehrere Prüfratentakte zu erzeugen, deren Phasen miteinander synchronisiert sind und deren Frequenzen einander unterschiedlich sind. Demgemäß ist es möglich, die Phasen mehrer Prüfmuster mit unterschiedlichen Frequenzen zu synchronisieren und sie zu der elektronischen Vorrichtung 60 zu liefern.
3 zeigt ein Zeitdiagramm eines Beispiels für die mehreren von den mehreren Prüfraten-Erzeugungsabschnitten 30 erzeugten Prüfratentakte. In 3 zeigt die horizontale Achse die Zeitachse. Der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt 10 (siehe 1) erzeugt den Bezugstakt, dessen Periode angenähert dieselbe wie das geringste gemeinsame Vielfache der Perioden der mehreren Prüfratentakte, die jeweils von den Prüfraten-Erzeugungsabschnitten 30 zu erzeugen sind, ist. Hier ist die Periode gleich dem geringsten gemeinsamen Vielfachen die minimale Periode, die gerade durch die Periode von jeder Prüfrate geteilt werden kann, und die Perioden des Bezugstakts und der Prüftakte können durch Dezimale dargestellt werden. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird angenommen, dass die Frequenzen des Bezugstakts und des ersten, zweiten und dritten Prüfratentakts gleich 1 MHz, 4 MHz, 3 MHz bzw. 2 MHz sind.
Wie anhand von 2 beschrieben ist, sind der erste, zweite und dritte Prüfratentakt mit dem Bezugstakt synchronisiert, wie in 3 gezeigt ist. Obgleich die mehreren Prüfratentakte bei diesem Ausführungsbeispiel zu der Zeit (T1, T2 und T3) des Bezugs takts synchronisiert sind, können sie alternativ zu der Zeit synchronisiert sein, die um eine gewünschte Versetzungszeit später als die Zeit des Impulses des Bezugstakts ist. Beispielsweise kann jeder in Verbindung mit 2 beschriebenen Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30 mit einer Verzögerungsschaltung zum Verzögern der Prüfrate um die gewünschte Versetzungszeit versehen sein.
Die mehreren Prüfraten-Erzeugungsabschnitte 30 beginnen mit der Zuführung der Prüfratentakte zu den entsprechenden Treiberabschnitten 40 (siehe 1) zu der Zeit (T1), wenn das Musterstartsignal und der Bezugstakt den logischen H-Wert anzeigen. Die Treiberabschnitte 40 liefern die Prüfmuster als Antwort auf die Impulse der Prüfratentakte. Bei diesem Ausführungsbeispiel formatieren die Treiberabschnitte 40 die Signale, die sich aus der Verzögerung der Impulse der Prüfratentakte um ein gewünschtes Zeitintervall ergeben, und liefern sie als die Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung 60.
Der Musterstartsignal-Erzeugungsabschnitt 20 erzeugt das Musterstartsignal, dessen Wert sich in den logischen H-Wert ändert, auf der Grundlage der Zeit, wenn ein Zyklus der Prüfmuster beginnt oder des logischen L-Wertes auf der Grundlage der Zeit, wenn das Prüfmuster beendet ist. Da der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt 10 den Bezugstakt erzeugt, dessen Periode angenähert dieselbe wie das geringste gemeinsame Vielfache der Perioden der mehreren Prüfratentakte ist, ist es möglich, den nächsten Zyklus der Prüfmuster mit hohem Wirkungsgrad zu starten, selbst wenn die Zyklen der Prüfmuster kontinuierlich durchgeführt werden. Mit anderen Worten, es ist möglich, die Zuführung des nächsten Zyklus der Prüfmuster zu der Zeit zu beginnen, zu der die mehreren Prüfratentakte synchronisiert sind, direkt nach der Zeit, zu der der gegenwärtige Zyklus beendet ist.
4 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung eines der Treiberabschnitte 40. Die Ausbildung des ersten Treiberabschnitts 40a ist in 4 gezeigt. Andere Treiberabschnitte 40 haben dieselbe Funktion und Ausbildung wie diejenigen des ersten Treiberabschnitts 40a. Jeder der Treiberabschnitt 40 enthält einen Setzseiten-Erzeugungsabschnitt 90a, einen Rücksetzseiten-Erzeugungsabschnitt 90b, einen Setz/Rücksetz-Latch 116, einen Beurteilungsabschnitt 50 und einen Treiber 118.
Der Setzseiten-Erzeugungsabschnitt 90a erzeugt die Zeit der ansteigenden Kante der Wellenform des Prüfmusters, und der Rücksetzseiten-Erzeugungsabschnitt 90b erzeugt die Zeit der abfallenden Kante der Wellenform des Prüfmusters. Der Setzseiten- und der Rücksetzseiten-Erzeugungsabschnitt 90a und 90b haben dieselbe Funktion und Ausbildung. Der Setz/Rücksetz-Latch 116 erzeugt das Prüfmuster, dessen Wert sich in den logischen H-Wert zu den von dem Setzseiten-Erzeugungsabschnitt 90a erzeugten Zeiten und in den logischen L-Wert zu den von dem Rücksetzseiten-Erzeugungsabschnitt 90b erzeugten Zeiten ändert. Der Treiber 118 liefert das durch den Setz/Rücksetz-Latch 116 erzeugte Prüfmuster zu der elektronischen Vorrichtung 60.
Der Setzseiten-Erzeugungsabschnitt 90a enthält einen Grobverzögerungsabschnitt 110, einen Mustergenerator 94, UND-Schaltungen 96 und 98 und einen Feinverzögerungsabschnitt 92. Der Grobverzögerungsabschnitt 110 erzeugt ein Zeitsignal, das sich aus der Verzögerung jedes der Impulse des entsprechenden Prüfratentakts um ein gewünschtes integrales Vielfaches der Periode des entsprechenden Oszillationstakts ergibt. Der Mustergenerator 94 erzeugt einen Impuls, der die ansteigende Kante des entsprechenden Prüfmusters anzeigt, als Antwort auf den Prüfratentakt. Die UND-Schaltungen 96 und 98 formatieren den Impuls in ein Stoßsignal. Der Feinverzögerungsabschnitt 92 verzögert einen Impuls, der die abfallende Kante des Prüfmusters anzeigt, um ein gewünschtes Zeitintervall und liefert zu dem Setz/Rücksetz-Latch 116.
Der Grobverzögerungsabschnitt 110 enthält einen Zähler 112 und einen Zählersteuerabschnitt 114. Der Zähler 112 zählt die Anzahl der Impulse der Oszillationstakte, wobei die Prüfratentakte als Auslöser verwendet werden, und gibt einen vorbestimmten Impuls aus, wenn eine gewünschte Anzahl von Impulsen gezählt wird. Der Zählersteuerabschnitt 114 steuert die Anzahl von Impulsen, die von dem Zähler 112 zu zählen sind. Da der Zählersteuerabschnitt 114 die Anzahl der von dem Zähler 112 zu zählenden Impulse steuert, ist es möglich, die Impulse des Prüfratentakts um ein gewünschtes integrales Vielfaches der Periode des Oszillationstakts zu verzögern und Impulse zu erzeugen.
Der Feinverzögerungsabschnitt 92 verzögert die durch die UND-Schaltung 98 erzeugten Impulse um ein gewünschtes Zeitintervall, das kleiner als die Periode des Oszillationstaktes ist. Der Feinverzögerungsabschnitt 92 enthält eine variable Verzögerungsschaltung und einen Linearisierungsspeicher zum Speichern einer Tabelle für die Steuerung des Verzögerungsbetrags der variablen Verzögerungsschaltung. Da der Feinverzögerungsabschnitt 92 die Verzögerung einer gewünschten Zeit, die kleiner als die Periode des Os zillationstakts ist, erzeugt, ist es möglich, die Kapazität des Linearisierungsspeichers klein zu machen, indem die Frequenz des Oszillationstakts vorher hoch eingestellt wird. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel ist es möglich, ein Prüfmuster mit einer gewünschten Phase zu erzeugen.
Der Beurteilungsabschnitt 50 beurteilt die Qualität der elektronischen Vorrichtung 60 auf der Grundlage des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung 60 als Antwort auf das Prüfmuster. Der Beurteilungsabschnitt 50 enthält einen Komparator 56, einen Komparator 52 und einen Fehlerspeicher 54.
Der Komparator 56 liefert ein Signal, das anzeigt, ob das Ausgangssignal größer als ein vorbestimmter Wert ist oder nicht, in der Form eines digitalen Signal zu dem Komparator 52. Der Komparator 52 vergleicht das von dem Komparator 56 empfangene digitale Signal mit einem erwarteten Signal, das von dem Mustergenerator 94 empfangen wurde, und beurteilt die Qualität des entsprechenden Kerns der elektronischen Vorrichtung 60. Der Fehlerspeicher 54 speichert das Beurteilungsergebnis des Komparators 52.
5 zeigt ein Zeitdiagramm eines Beispiels für die mehreren Prüfmuster, die von den mehreren Treiberabschnitten 40 erzeugt wurden. die horizontale Achse stellt die Zeitachse in 5 dar. Die in 5 gezeigten Prüfratentakte haben dieselben Phasen wie die Prüfratentakte in 3.
Jeder der Treiberabschnitt 40 erzeugt das Prüfmuster mit den Impulsen, die sich aus der Verzögerung der Impulse des entsprechenden Prüfratentakts um gewünschte Zeitintervalle ergeben. Beispielsweise er zeugt, wie in 5 gezeigt, der erste Treiberabschnitt 40a sein Prüfmuster mit den Impulsen, die sich aus der Verzögerung der Impulse des ersten Prüfratentakts um ΔT1 bzw. ΔT2 ergeben. Da die mehreren Prüfratentakte zu vorbestimmten Zeit synchronisiert sind, sind die mehreren Prüfmuster zu vorbestimmten Zeiten synchronisiert.
Da der Prüfzyklus zu der Zeit beginnt, zu der die mehreren Prüfratentakte, wie durch T1, T2, ... in 5 gezeigt ist, synchronisiert sind, ist es möglich, die mehreren Prüfmuster in jedem der Prüfzyklen zu synchronisieren und sie zu der elektronischen Vorrichtung 60 zu liefern. Das beispielsweise das Prüfmuster von einem Zyklus zu der durch T1 dargestellten Zeit in jedem der Treiberabschnitte 40 beginnt und das Prüfmuster von +1 Zyklus zu der durch T2 dargestellten Zeit (die Frequenz des Prüfratentakts [Hz/die Frequenz des Bezugstakts [Hz) beginnt, ist es möglich, das Prüfmuster in jedem der Prüfzyklen zu synchronisieren. Die Prüfvorrichtung 100 steuert die Zeiten, zu denen jeder der Testzyklen startet, anhand des von dem Musterstartsignal-Erzeugungsabschnitt 20 (siehe 1) erzeugten Musterstartsignals.
Die Phasenbeziehung der mehreren Prüfmuster, wenn die Zuführung der Prüfmuster zu der Zeit T1 beginnt, und die Phasenbeziehung der mehreren Prüfmuster, wenn die Zuführung der Prüfmuster zu der Zeit T2 beginnt, sind angenähert dieselben wie in 5 gezeigt. Demgemäß ist es möglich, selbst wenn die Zuführung der Prüfmuster zu einer bestimmten Zeit beginnt, die Prüfung reproduzierbar durchzuführen.
6 zeigt ein Beispiel für die Ausbildung des Bezugstakt-Erzeugungsabschnitts 10. Der Bezugstakt- Erzeugungsabschnitt 10 enthält einen variablen Oszillatorabschnitt 12, einen dritten Frequenzteiler 18 und einen Bezugstakt-Steuerabschnitt 22.
Der variable Oszillatorabschnitt 12 erzeugt einen variablen Frequenztakt mit variablem Oktavfrequenzbereich. Beispielsweise erzeugt der variable Oszillatorabschnitt 12 den variablen Frequenztakt mit dem variablen Frequenzbereich von 10 MHz bis 20 MHz.
Der dritte Frequenzteiler 18 teilt die Frequenz des variablen Frequenztakts mit dem Verhältnis der Frequenzteilung und erzeugt den Bezugstakt mit einer gewünschten Frequenz. Der dritte Frequenzteiler 18 erzeugt den Bezugstakt, dessen Periode das geringste gemeinsame Vielfache der Perioden der vorstehend beschriebenen Prüfratentakte ist.
Wenn beispielsweise der dritte Frequenzteiler 18 die Frequenzteilung mit dem Verhältnis 1, 2, ..., 6 durchführen kann und der variable Oszillatorabschnitt 12 den variablen Frequenztakt mit dem variablen Frequenzbereich von 10 MHz bis 20 MHz erzeugt, kann der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt 10 den Bezugstakt mit einer willkürlichen Frequenz zwischen 1,66 MHz bis 20 MHz erzeugen. Der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 steuert den Oszillationstakt des variablen Oszillatorabschnitts 12 und das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 auf der Grundlage der Frequenz des zu erzeugenden Bezugstakts.
Der variable Oszillatorabschnitt 12 enthält einen Oszillator 14 und eine variable Oktavvorrichtung 16. Der Oszillator 14 erzeugt einen Takt mit einer vorbestimmten Frequenz. Die variable Oktavvorrichtung 16 erzeugt den variablen Frequenztakt mit der Oktavfre quenz auf der Grundlage des von dem Oszillator 14 erzeugten Takts.
7 zeigt ein Beispiel für das Steuerverfahren des Bezugstakt-Steuerabschnitts 22. Die vertikale Achse auf der linken Seite in 7 stellt die Frequenz des variablen Frequenztakts dar, die horizontale Achse stellt die Frequenz des Bezugstakts dar, und die vertikale Achse auf der rechten Seite stellt das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel hat der variable Frequenztakt einen variablen Frequenzbereich von 10 MHz bis 20 MHz, und das Verhältnis der Frequenzteilung von 1, 2, 3, ... kann in dem dritten Frequenzteiler 18 eingestellt werden.
Der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 setzt das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 auf der Grundlage der Frequenz des Bezugstakts. Wenn beispielsweise der Bezugstakt von 8 MHz erzeugt wird, wie in 7 gezeigt ist, setzt der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 auf 2. Der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 kann das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 auf der Grundlage der folgenden Gleichung setzen:
Hierin stellt M das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 dar, f0_min stellt den unteren Grenzwert des variablen Frequenztakts dar (10 MHz bei diesem Ausführungsbeispiel), und f_ref stellt die Frequenz des zu erzeugenden Bezugstakts dar.
Als Nächstes steuert der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 die Frequenz des von dem variablen Oszillatorabschnitt 12 zu erzeugenden Frequenztakts auf der Grundlage des eingestellten Verhältnisses der Frequenzteilung und der Frequenz des Bezugstakts. Wenn beispielsweise der Bezugstakt von 8 MHz erzeugt ist, wie in 7 gezeigt ist, steuert die Bezugstakt-Steuereinheit 22 die Frequenz des von dem variablen Oszillatorabschnitt 12 zu erzeugenden variablen Frequenztakts auf 16 MHz. Der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 kann die Frequenz des von dem variablen Oszillatorabschnitt 12 zu erzeugenden variablen Frequenztakts auf der Grundlage der folgenden Gleichung steuern: f0 = fref × M.
Worin f₀ die Frequenz des variablen Frequenztakts darstellt.
8 zeigt ein Beispiel für das Steuerverfahren des Frequenzteilungs-Steuerabschnitts 36. Die vertikale Achse auf der linken Seite in 8 stellt die Frequenz des Oszillationstakts dar, die horizontale Achse stellt die Frequenz des Prüfratentakts dar, und die vertikale Achse auf der rechten Seite stellt das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel hat der Oszillationstakt einen variablen Frequenzbereich von 10 MHz bis 20 MHz, und das Verhältnis der Frequenzteilung von 1, 2, 3, ... kann in dem ersten Frequenzteiler 38 eingestellt werden.
Der Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 setzt das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 auf der Grundlage der Frequenz des zu er zeugenden Prüfratentakts. Wenn beispielsweise der Prüfratentakt von 3 MHz erzeugt wird, wie in 8 gezeigt ist, setzt der Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 auf 4. Der Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 kann das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 auf der Grundlage der folgenden Gleichung setzen:
Hierin stellt La das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 dar, f1_min stellt die untere Grenze des Oszillationstakts dar (10 MHz bei diesem Ausführungsbeispiel), und f_rate stellt die Frequenz des zu erzeugenden Prüfratentakts dar.
Der Oszillatorabschnitt 70 erzeugt den Oszillationstakt einer Frequenz auf der Grundlage des Verhältnisses der durch den Frequenzsteuerabschnitt 36 gesetzten Frequenzteilung und der Frequenz des Prüfratentakts. Wenn beispielsweise der Prüfratentakt von 3 MHz erzeugt wird, wie in 8 gezeigt ist, erzeugt der Oszillatorabschnitt 70 den Oszillationstakt, dessen Frequenz gleich 12 MHz ist. Der Oszillatorabschnitt 70 kann den Oszillationstakt mit einer Frequenz auf der Grundlage der folgenden Gleichung erzeugen: f1 = frate × La.
Hierin stellt f1 die Frequenz des Oszillationstakts dar.
9 zeigt ein anderes Beispiel für das Steuerver fahren des Bezugstakt-Steuerabschnitts 22. Die vertikale Achse auf der linken Seite in 9 stellt die Frequenz des variablen Frequenztakts dar, die horizontale Achse stellt die Frequenz des Bezugstakts dar, und die vertikale Achse auf der rechten Seite stellt das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel hat der variable Frequenztakt einen variablen Frequenzbereich von 10 MHz bis 20 MHz, und das Verhältnis der Frequenzteilung von 1, 2, 4, ..., 8, ..., 2m kann in dem dritten Frequenzteiler 18 gesetzt werden.
Auch bei diesem Ausführungsbeispiel führt der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 dieselbe Steuerung wie der in Verbindung mit 7 beschriebene Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 durch. Bei diesem Ausführungsbeispiel setzt der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 auf der Grundlage der folgenden Gleichungen:
M = 2m,
Hierin stellt M das Verhältnis der Frequenzteilung des dritten Frequenzteilers 18 dar, f0_min stellt die untere Grenze des variablen Frequenztakts dar (bei diesem Ausführungsbeispiel 10 MHz), und f_ref stellt die Frequenz des zu erzeugenden Bezugstakts dar.
Der Bezugstakt-Steuerabschnitt 22 kann die Frequenz des von dem variablen Oszillatorabschnitt 12 zu erzeugenden variablen Frequenztakts auf der Grundlage der folgenden Gleichung steuern: f0 = fref × 2m.
Hierin stellt f₀ die Frequenz des variablen Frequenztakts dar. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel ist es möglich, die Vereinfachung einer Schaltung zu realisieren.
10 zeigt ein anderes Beispiel für das Steuerverfahren des Frequenzteilungs-Steuerabschnitts 36. Die vertikale Achse auf der linken Seite in 10 stellt die Frequenz des Oszillationstakts dar, die horizontale Achse stellt die Frequenz des Prüfratentakts dar, und die vertikale Achse auf der rechten Seite stellt das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel hat der Oszillationstakt einen variablen Frequenzbereich von 10 MHz bis 20 MHz und das Verhältnis der Frequenzteilung von 1, 2, 3, ... kann in dem ersten Frequenzteiler 38 eingestellt werden.
Auch bei diesem Ausführungsbeispiel führt der Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 dieselbe Steuerung wie der in Verbindung mit 8 beschriebene Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 durch. Bei diesem Ausführungsbeispiel setzt der Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 das Verhältnis der Frequenzteilung La des ersten Frequenzteilers 38 auf der Grundlage der folgenden Gleichung:
La = 2L.
Hierin wird L durch die folgende Gleichung darge stellt:
Hierin stellt f1_min die untere Grenze des Oszillationstakts dar (10 MHz in diesem Ausführungsbeispiel), und f_rate stellt die Frequenz des zu erzeugenden Prüfratentakts dar.
Auch bei diesem Ausführungsbeispiel führt der Oszillatorabschnitt 70 dieselbe Steuerung wie der in Verbindung mit 8 beschriebene Oszillatorabschnitt 70 durch. Bei diesem Ausführungsbeispiel erzeugt der Oszillatorabschnitt 70 den Oszillationstakt mit einer Frequenz auf der Grundlage der folgenden Gleichung: f1 = frate × 2L.
Hierin stellt f1 die Frequenz des Oszillationstakts dar. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel ist es möglich, die Vereinfachung einer Schaltung zu realisieren.
11 zeigt ein anderes weiteres Beispiel des Steuerverfahrens des Frequenzteilungs-Steuerabschnitts 36. Die vertikale Achse auf der linken Seite in 11 stellt die Frequenz des Oszillationstakts dar, die horizontale Achse stellt die Frequenz des Prüfratentakts dar, und die vertikale Achse auf der rechten Seite stellt das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel hat der Oszillationstakt einen variablen Frequenzbereich von 10 MHz bis 20 MHz, und das Verhältnis der Frequenzteilung von 1, 2, 3, ... kann in dem ersten Frequenzteiler 38 eingestellt werden.
Auch bei diesem Ausführungsbeispiel führt der Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 dieselbe Steuerung wie der in Verbindung mit 8 beschriebene Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 durch. Bei diesem Ausführungsbeispiel setzt der Frequenzteilungs-Steuerabschnitt 36 das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 auf der Grundlage der folgenden Gleichung:
Hierin stellt La das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten Frequenzteilers 38 dar, f1_max stellt die obere Grenze des Oszillationstakts dar (20 MHz bei diesem Ausführungsbeispiel), und f_rate stellt die Frequenz des zu erzeugenden Prüfratentakts dar.
Auch bei diesem Ausführungsbeispiel führt der Oszillatorabschnitt 70 dieselbe Steuerung wie der in Verbindung mit 8 beschriebene Oszillatorabschnitt 70 durch. Bei diesem Ausführungsbeispiel erzeugt der Oszillatorabschnitt 70 den Oszillationstakt mit einer Frequenz auf der Grundlage der folgenden Gleichung: f1 = frate × La.
Hierin stellt f1 die Frequenz des Oszillationstakts dar.
Bei dem in Verbindung mit 8 beschriebenen Ausführungsbeispiel ist es möglich, da das Verhältnis des ersten Frequenzteilers 38 und die Frequenz des Oszillationstakts niedrig eingestellt werden, das Zittern des vorbeschriebenen Oszillatorabschnitts 70 klein zu machen. Bei dem in Verbindung mit 11 beschriebenen Ausführungsbeispiel ist es möglich, da das Verhältnis des ersten Frequenzteilers 38 und die Frequenz des Oszillationstakts hoch eingestellt werden, den variablen Verzögerungsfehler des vorbeschriebenen Feinverzögerungsabschnitts 92 klein zu machen.
Obgleich die vorliegende Erfindung im Wege beispielhafter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann ohne den Geist und Bereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen, die nur durch die angefügten Ansprüche definiert ist.
GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, eine elektronische Vorrichtung mit mehreren Kernen, deren Arbeitsfrequenzen unterschiedlich sind, mit hoher Genauigkeit zu prüfen.
Zusammenfassung
Eine Prüfvorrichtung weist auf: einen Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines Bezugstakts mit einer ersten Frequenz, einem ersten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines ersten Prüfratentakts mit einer Frequenz, die etwa ein integrales Vielfaches der ersten Frequenz ist, einen zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitts zum Erzeugen eines zweiten Prüfratentakts mit einer Frequenz, die etwa ein integrales Vielfaches der ersten Frequenz ist und sich von der Frequenz des ersten Prüfratentakts unterscheidet, einen ersten Treiberabschnitt zum Zuführen eines Prüfmusters zu einer elektronischen Vorrichtung gemäß dem ersten Prüfratentakt, und einem zweiten Treiberabschnitt zum Zuführen des Prüfmusters zu der elektronischen Vorrichtung gemäß dem zweiten Prüfratentakt.

Claims

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welche aufweist: einen Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines Bezugstakts mit einer ersten Frequenz; einen ersten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines ersten Prüfratentakts, dessen Frequenz ein im Wesentlichen integrales Vielfaches der ersten Frequenz ist, auf der Grundlage des Bezugstakts; einen zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines zweiten Prüfratentakts, dessen Frequenz ein Wesentlichen integrales Vielfachen der ersten Frequenz und unterschiedlich gegenüber der Frequenz des ersten Prüfratentakts ist, auf der Grundlage des Bezugstakts; einen ersten Treiberabschnitt zum Zuführen eines ersten Prüfmusters mit einer zweiten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung, um die elektronische Vorrichtung gemäß dem ersten Prüfratentakt zu prüfen; und einen zweiten Treiberabschnitt zum Zuführen eines zweiten Prüfmusters mit einer dritten Frequenz zu der elektronischen Vorrichtung, um die elektronische Vorrichtung gemäß dem zweiten Prüfratentakt zu prüfen.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der der erste und der zweite Treiberabschnitt mit der Zuführung des ersten und des zweiten Prüfmusters zu der elektronischen Vorrichtung beginnen, wo bei das erste und das zweite Prüfmuster zu gewünschten Zeiten synchronisiert sind.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 2, bei der der erste und der zweite Treiberabschnitt jeweils das erste oder das zweite entsprechende Prüfmuster mit einer Frequenz, die im Wesentlichen dieselbe wie die Frequenz des ersten oder zweiten Prüfratentakts ist, zu der elektronischen Vorrichtung liefern.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 3, bei der der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt den Bezugstakt erzeugt, dessen Periode im Wesentlichen dieselbe wie ein geringstes gemeinsames Vielfaches von Perioden des ersten und des zweiten Prüfratentakts, der von dem ersten und dem zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zu erzeugen ist, ist.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 4, weiterhin aufweisend: einen Musterstartsignal-Erzeugungsabschnitt zum Erzeugen eines Musterstartsignals, das die gewünschten Zeiten anzeigt, wobei der erste und der zweite Treiberabschnitt die Zuführung des ersten und des zweiten Prüfmusters auf der Grundlage des Musterstartsignals beginnen.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 5, bei der der erste und der zweite Prüfraten-Erzeugungsabschnitt jeweils aufweisen: einen Oszillatorabschnitt zum Empfangen des Bezugstakts und zum Erzeugen eines Oszillationstakts, dessen Frequenz ein im Wesentlichen integrales Vielfaches der Frequenz des Bezugstakts ist; einen ersten Frequenzteiler zum Teilen der Frequenz des Oszillationstakts und zum Erzeugen des ersten oder des zweiten Prüfratentakts; und einen zweiten Frequenzteiler zum Teilen der Frequenz des ersten oder zweiten Prüfratentakts und zum Erzeugen eines Verifizierungstakts, dessen Frequenz im Wesentlichen dieselbe wie die Frequenz des ersten Bezugstakts ist, wobei die Oszillatorabschnitt jeweils eine Phase von jedem der Oszillationstakte auf der Grundlage einer Phase von jedem der Verifizierungstakte und einer Phase des Bezugstakts synchronisiert.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 6, bei der der erste und der zweite Prüfraten-Erzeugungsabschnitt jeweils weiterhin einen Frequenzteilungs-Steuerabschnitt zum Steuern eines Verhältnisses der Frequenzteilung des ersten entsprechenden Frequenzteilers aufweisen, und jeder der Frequenzteilungs-Steuerabschnitte das Verhältnis der Frequenzteilung des ersten entsprechenden Frequenzteilers steuern auf der Grundlage der Frequenz des von dem ersten oder zweiten entsprechenden Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zu erzeugenden ersten oder zweiten Prüfratentakts und der Frequenz des entsprechenden Oszillationstakts.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 7, welche weiterhin aufweist: einen Speicherabschnitt zum entsprechenden Speichern der Frequenz des von dem ersten oder zweiten Prüfraten-Erzeugungsabschnitt zu erzeugenden ersten oder zweiten Prüfratentakts, der Frequenz des Oszillationstakts und des Verhältnisses der Frequenzteilung des von dem ersten Frequenztei lungs-Steuerabschnitt zu steuernden ersten Frequenzteilers.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 8, bei der der erste und der zweite Prüfraten-Erzeugungsabschnitt jeweils einen Schalterabschnitt aufweisen zum Schalten, ob der erste oder der zweite entsprechende Prüfratentakt zu dem ersten oder dem zweiten entsprechenden Treiberabschnitt zu liefern ist, auf der Grundlage des Bezugssignals und des Musterstartsignals.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, bei der der Schalterabschnitt den ersten oder den zweiten entsprechenden Prüfratentakt zu dem ersten oder dem zweiten entsprechenden Treiberabschnitt liefert, wenn der Bezugstakt und das Musterstartsignal jeweils einen vorbestimmten Wert anzeigen.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 10, bei der der erste und der zweite Treiberabschnitt jeweils aufweisen: einen Grobverzögerungsabschnitt zum Erzeugen eines Zeitsignals, das sich aus der Verzögerung jedes von Impulsen des ersten oder des zweiten entsprechenden Prüfratentakts um ein gewünschten integrales Vielfaches einer Periode eines entsprechenden Oszillationstakts ergibt; einen Mustergenerator zum Erzeugen des ersten oder zweiten entsprechenden Prüfmusters gemäß dem Zeitsignal; und einen Feinverzögerungsabschnitt zum Verzögern des entsprechenden ersten oder zweiten Prüfmusters um vorbestimmte Zeitintervalle und zum Zuführen des Prüfmusters zu der elektronischen Vorrichtung.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 11, bei der der Bezugstakt-Erzeugungsabschnitt aufweist: einen variablen Oszillatorabschnitt zum Erzeugen eines variablen Frequenztakts mit einem variablen Oktavfrequenzbereich; und einen dritten Frequenzteiler zum Teilen einer Frequenz des variablen Frequenztakts mit einem gewünschten Verhältnis der Frequenzteilung und zum Erzeugen des Bezugstakts mit einer gewünschten Frequenz.