DE10297437T5

DE10297437T5 - Prüfvorrichtung

Info

Publication number: DE10297437T5
Application number: DE10297437T
Authority: DE
Inventors: Masaru Doi; Shinya Sato
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2001-11-08
Filing date: 2002-11-07
Publication date: 2004-12-02
Also published as: US20040251914A1; JP2003149304A; JP4251800B2; KR20040074982A; US6990613B2; KR100910669B1; WO2003040737A1

Abstract

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welche aufweist:
eine Bezugstakt-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Bezugstakts;
eine Mustererzeugungseinheit zum Erzeugen eines Prüfmusters synchron mit dem Bezugstakt, um die elektronische Vorrichtung zu prüfen;
eine Wellenform-Formatierungseinheit zum Empfangen des Prüfmusters und zum Eingeben eines formatierten Musters, das sich aus dem Formatieren des Prüfmusters ergibt, in die elektronischen Vorrichtung;
einen ersten Zeitgenerator zum Erzeugen eines Zeitsignals;
eine Ausgangssignal-Abtastschaltung zum Abtasten eines von der elektronischen Vorrichtung als Antwort auf das Prüfmuster ausgegebenen Ausgangssignals zu einer Zeit auf der Grundlage des von dem ersten Zeitgenerator erzeugten Zeitsignals; und
eine Beurteilungseinheit zum Beurteilen der Qualität der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines Abtastergebnisses der Ausgangssignal-Abtastschaltung,
worin der erste Zeitgenerator aufweist:
eine erste variable Verzögerungsschaltungseinheit zum Empfangen, Verzögern und Ausgeben des Bezugstaktes; und
eine erste Verzögerungssteuereinheit zum Steuern eines Verzögerungsbetrags der ersten variablen Verzögerungsschaltungseinheit, und
die erste Verzögerungssteuereinheit aufweist:...

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung zum Prüfen der Qualität einer elektronischen Vorrichtung. Genauer gesagt, die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung zum Prüfen der Qualität einer elektronischen Vorrichtung, in der der interne Takt der elektronischen Vorrichtung Zittern aufweist. Zusätzlich beansprucht die vorliegende Erfindung den Nutzen und die Priorität der am 8. November 2001 eingereichten Japanischen Patentanmeldung Nr. 2001-342954, deren gesamter Inhalt hier für alle Zwecke einbezogen wird.
Stand der Technik
In jüngster Zeit ist der Trend zu einer elektronischen Hochgeschwindigkeitsvorrichtung wie einer Halb leitervorrichtung beträchtlich. Wenn z.B. ein Zittern in dem internen Takt einer Hochgeschwindigkeits-Speichervorrichtung wie eines DDR-SDRAM auftritt, ist die Zitterkomponente unausweichlich sowohl in dem Ausgangssignal der Vorrichtung als auch in dem Datenabtastimpuls, der ein auf dem internen Takt basierenden Takt ist und für die Übertragung des Ausgangssignals zu der Prüfvorrichtung verwendet wird, enthalten.
Da jedoch die herkömmliche Prüfvorrichtung die Qualität der elektronischen Vorrichtung durch eine Messung beurteilt, ist es schwierig, aufgrund der Zitterkomponente sowohl in dem Ausgangssignal als auch in dem Datenabtastimpuls genau zu urteilen. Wenn die herkömmliche Prüfvorrichtung das von der elektronischen Vorrichtung ausgegebene Ausgangssignal zu unterschiedlichen Zeiten abtastet, ist es zusätzlich erforderlich, die Phasendaten für mehrere Abtastzeitsignale zu speichern, die in der Prüfvorrichtung zu erzeugen sind, um die Phasen der Abtastzeitsignale um sehr kleine Zeitintervalle zu verschieben. Begleitend den jüngsten Trend zu einer Hochgeschwindigkeits-Halbleitervorrichtung erfordert die Suchauflösung der Abtastzeit eine hohe Auflösung. Da die herkömmliche Prüfvorrichtung die Phasendaten für mehrere Abtastzeitsignale, die in der Prüfvorrichtung zu erzeugen sind, speichert, ist es erforderlich, beträchtliche Mengen von Phasendaten in der Prüfvorrichtung zu speichern, um eine hohe Auflösung zu erzielen. Da es jedoch unpraktisch ist, dass ein Speicher zum Speichern einer derart großen Menge von Phasendaten in der Prüfvorrichtung vorgesehen ist, und daneben die Speicherung aller zu erzeugender Phasendaten der Abtastzeitsignale nahezu unmöglich ist, ist es schwierig, die elektronischen Vorrichtung mit hoher Genau igkeit zu prüfen. Demgemäß ist es wünschenswert, dass mehrere Abtastzeitsignale, deren Phasen um sehr kleine Zeitintervalle verschoben sind, leicht erzeugt werden können. Demgemäß ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Prüfvorrichtung zu schaffen, die in der Lage ist, die vorstehenden, den Stand der Technik begleitenden Nachteile zu überwinden. Die obige und andere Aufgaben können gelöst werden durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
Offenbarung der Erfindung
Um die vorgenannten Probleme zu lösen, enthält gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung: eine Bezugstakt-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Bezugstakts, eine Mustererzeugungseinheit zum Erzeugen eines Prüfmusters synchron mit dem Bezugstakt, um die elektronische Vorrichtung zu prüfen, eine Wellenform-Formatierungseinheit zum Empfangen des Prüfmusters und zum Eingeben eines formatierten Musters, das sich aus der Formatierung des Prüfmusters ergibt, in die elektronische Vorrichtung, einen ersten Zeitgenerator zum Erzeugen eines Zeitsignals, eine Ausgangssignal-Abtastschaltung zum Abtasten eines von der elektronischen Vorrichtung als Antwort auf das Prüfmuster ausgegebenen Ausgangssignals zu Zeiten, die auf dem von dem ersten Zeitgenerator erzeugten Zeitsignal beruhen, und eine Beurteilungseinheit zum Beurteilen der Qualität der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines Abtastergebnisses der Ausgangssignal-Abtastschaltung, wobei der erste Zeitgenerator eine erste variable Verzöge rungsschaltungseinheit zum Empfangen, Verzögern und Ausgeben des Bezugstaktes und eine erste Verzögerungssteuereinheit zum Steuern des Verzögerungsbetrages der ersten variablen Verzögerungsschaltungseinheit enthält, und die erste Verzögerungssteuereinheit eine erste Grundzeitdaten-Einstelleinheit, bei der erste Grundzeitdaten vorher eingestellt werden, eine erste Multiabtast-Auflösungsdaten-Einstelleinheit, bei der erste Multiabtast-Auflösungsdaten vorher eingestellt sind, eine erste Multiabtast-Datenberechnungseinheit zum Berechnen erster Multiabtastdaten auf der Grundlage der ersten Multiabtast-Auflösungsdaten in Abhängigkeit von dem Bezugstakt, und eine erste variable Verzögerungsbetrags-Berechnungseinheit zum Berechnen des Verzögerungsbetrags, um den der Bezugstakt in der ersten variablen Verzögerungsschaltungseinheit zu verzögern ist, basierende auf den ersten Grundzeitdaten und den ersten Multiabtastdaten, enthält.
Die Beurteilungseinheit kann eine Ausgangssignal-Zitterberechnungsvorrichtung zum Berechnen des Zitterns des Ausgangssignals auf der Grundlage des Abtastergebnisses der Ausgangssignal-Abtastschaltung enthalten und die Qualität der elektronischen Vorrichtung weiterhin auf der Grundlage des Zitterns des Ausgangssignals beurteilen.
Die erste variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit kann den Verzögerungsbetrag durch Addieren der ersten Multiabtastdaten zu den ersten Grundzeitdaten berechnen.
Die erste variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit kann den Verzögerungsbetrag durch Subtrahieren der ersten Multiabtastdaten von den ers ten Grundzeitdaten berechnen.
Die erste Verzögerungssteuereinheit kann weiterhin enthalten: eine erste Multiabtastdaten-Speichereinheit zum Speichern der ersten Multiabtastdaten, die von der ersten Multiabtastdaten-Berechnungseinheit berechnet wurden, und eine erste Multiabtast-Auflösungsdaten-Additionseinheit zum Addieren der ersten Multiabtast-Auflösungsdaten zu den ersten Multiabtastdaten, die in der ersten Multiabtastdaten-Speichereinheit gespeichert sind, in Abhängigkeit von dem Bezugstakt, wobei die erste Multiabtastdaten-Speichereinheit die ersten Multiabtastdaten, zu denen die ersten Multiabtast-Auflösungsdaten durch die erste Multiabtast-Auflösungsdaten-Additionseinheit addiert wurden, von neuem speichern, und die erste variable Verzögerungsbetrags-Berechnungseinheit kann den Verzögerungsbetrag berechnen, um den der Bezugstakt in der ersten variablen Verzögerungsschaltungseinheit zu verzögern ist, auf der Grundlage der ersten Grundzeitdaten und der ersten Multiabtastdaten, die in der ersten Multiabtastdaten-Speichereinheit gespeichert sind.
Die erste Verzögerungssteuereinheit kann weiterhin eine Vorrichtung zum Setzen der in der ersten Multiabtastdaten-Speichereinheit gespeicherten ersten Multiabtastdaten auf null, wann immer eine vorbestimmte Anzahl von Bezugstakten durch die Mustererzeugungseinheit erzeugt wurde, enthalten.
Die erste Verzögerungssteuereinheit kann weiterhin eine Vorrichtung zum Setzen neuer erster Grundzeitdaten in der ersten Grundzeitdaten-Setzeinheit, wann immer eine vorbestimmte Anzahl von Bezugstakten durch die Mustererzeugungseinheit erzeugt wurde, enthalten.
Die Prüfvorrichtung kann eine weiterhin eine Vorrichtung zum Setzen neuer erster Multiabtast-Auflösungsdaten in der ersten Multiabtast-Auflösungsdaten-Setzeinheit, wenn ein Prüfzyklus zum Prüfen der elektronischen Vorrichtung beendet ist, enthalten.
Die Prüfvorrichtung kann weiterhin einen zweiten Zeitgenerator zum Erzeugen eines Zeitsignals und eine Datenabtastimpuls-Abtastschaltung zum Abtasten eines internen Taktes der elektronischen Vorrichtung zu einer auf dem von den zweiten Zeitgenerator erzeugten Zeitsignal basierenden Zeit enthalten, wobei die elektronische Vorrichtung den Datenabtastimpuls und das Ausgangssignal in Abhängigkeit von dem internen Takt ausgeben kann, der zweite Zeitgenerator eine zweite variable Verzögerungsschaltungseinheit zum Empfangen, Verzögerung und Ausgeben des Bezugstakts enthalten kann, und eine zweite Verzögerungssteuereinheit zum Steuern eines Verzögerungsbetrags der zweiten variablen Verzögerungsschaltungseinheit, wobei die zweite Verzögerungssteuereinheit eine zweite Grundzeitdaten-Setzeinheit, bei der zweite Grundzeitdaten vorher gesetzt werden, eine zweite Multiabtast-Auflösungsdaten-Setzeinheit, bei der zweite Multiabtast-Auflösungsdaten vorher gesetzt werden, eine zweite Multiabtastdaten-Berechnungseinheit zum Berechnen zweiter Multiabtastdaten auf der Grundlage der zweiten Multiabtast-Auflösungsdaten in Abhängigkeit von dem Bezugstakt und eine zweite variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit zum Berechnen des Verzögerungsbetrag, um den der Bezugstakt in der zweiten variablen Verzögerungsschaltungseinheit zu verzögern ist, auf der Grundlage der zweiten Grundzeitdaten und der zweiten Multiabtastdaten enthalten, und die Beurteilungseinheit kann die Qualität der e lektronischen Vorrichtung weiterhin auf der Grundlage eines Abtastergebnisses der Datenabtastimpuls-Abtastschaltung beurteilen.
Die Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorstehend beschriebenen Merkmale sein.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Erfindung.
2 ist ein Blockschaltbild, das ein Beispiel der Konfiguration eines Zeitgenerators 30 nach diesem Ausführungsbeispiel zeigt.
3 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration des Zeitgenerators 30.
4 ist ein Zeitdiagramm, das ein Beispiel für die Arbeitsweise des Zeitgenerators 30 zeigt.
5 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Prüfvorrichtung 100 gemäß dieser Erfindung.
Beste Art der Ausführung der Erfindung
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben werden, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Prüfvorrichtung 100 enthält eine Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 zum Erzeugen eines Bezugstakts, eine Mustererzeugungseinheit 10 zum Erzeugen eines Prüfmusters synchron mit dem Bezugstakt, einen Zeitgenerator 30 zum Erzeugen eines Zeitsignals auf der Grundlage des Bezugstakts, eine Wellenform-Formatierungseinheit 12 zum Erzeugen eines formatierten Musters, das sich aus der Formatierung des Prüfmusters ergibt, und zum Eingeben des formatierten Musters in die elektronische Vorrichtung 20 zu einer auf dem von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeitsignal basierenden Zeit, einen Komparator 52 zum Erhalten eines Vergleichsmusters, das das Muster eines von der elektronischen Vorrichtung 20 zu der auf dem von dem Zeitgenerator erzeugten Zeitsignal basierenden Zeit ausgegebenen Ausgangssignals ist, und eine Beurteilungseinheit 22 zum Beurteilen der Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage des Vergleichsmusters und des erwarteten Wertmusters.
Die Mustererzeugungseinheit 10 erzeugt das Prüfmuster für die Prüfung der elektronischen Vorrichtung 20 und das erwartete Wertmuster, das von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegeben wird, wenn das Prüfmuster in die elektronischen Vorrichtung 20 eingegeben wird. Die Wellenform-Formatierungseinheit 12 erzeugt das formatierte Muster, das sich aus dem Formatieren des Prüfmusters ergibt, und gibt das formatierte Muster in die elektronische Vorrichtung 20 auf der Grundlage des von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeitsignals ein. Beispielsweise verzögert die Wellenform-Formatierungseinheit 12 das formatierte Muster auf der Grundlage des von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeitsignals und gibt es in die elektronische Vorrichtung 20 ein. Der Komparator 52 erhält den Wert des von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebenen Ausgangssignals auf der Grundlage des eingegebenen formatierten Musters auf der Grundlage des von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeitsignals. Der Zeitgenerator 30 erzeugt mehrere Zeitsignale und der Komparator erhält das Muster des Ausgangssignals auf der Grundlage der von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeitsignale und erzeugte das Vergleichsmusters. Die Beurteilungseinheit 22 beurteilt die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage des Vergleichsmusters und des erwarteten Wertmusters.
Bei diesem Ausführungsbeispiel erzeugt der Zeitgenerator 30 mehrere Zeitsignale. Beispielsweise werden mehrere Takte von der Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 in den Zeitgenerator 30 eingegeben und der Zeitgenerator 30 verzögert einen Takt mit unterschiedlichem Verzögerungsbetrag, wann immer der Takt eingegeben wird, und gibt ihn in die Wellenform-Formatierungseinheit 12 oder den Komparator 52 ein. Beispielsweise erzeugt der Zeitgenerator 30 einen Multiabtasttakt durch allmähliches Erhöhen oder Herabsetzen des Verzögerungsbetrags, der sich aus dem Verzögern des Takts ergibt, wann immer der Takt eingegeben wird. Der Zeitgenerator 30 zum Zuführen des Zeitsignals zu der Wellenform-Formatierungseinheit 12 und der Zeitgenerator 30 zum Zuführen des Zeitsignals zu dem Komparator 52 können dieselbe Funktion und Konfiguration haben. Der Zeitgenerator 30 kann eine Vorrichtung zum Einstellen der Auflösung des Multiab tastimpulses enthalten für die Berechnung des Verzögerungsbetrags auf der Grundlage der bestimmten Auflösung des Multiabtastimpulses, wann immer der Takt eingegeben wird. Beispielsweise kann der Zeitgenerator 30 den Verzögerungsbetrag, zu dem die Auflösung des Multiabtastimpulses addiert ist, berechnen, wann immer der Takt eingegeben wird, und verzögert und gibt den eingegebenen Takt auf der Grundlage des berechnete Verzögerungsbetrags aus. Bei der in diesem Ausführungsbeispiel beschriebenen Prüfvorrichtung 100 ist es nicht erforderlich, da der Verzögerungsbetrag auf der Grundlage der bestimmten Auflösung des Multiabtastimpulses berechnet wird, den Einstellwert für die Zeit jedes von dem Zeitgenerator 30 zu erzeugenden Multiabtastimpulses zu speichern, und der Mangel hinsichtlich der Speicherkapazität der Prüfvorrichtung 100 kann beseitigt werden. Nachfolgend werden die Konfiguration und die Arbeitsweise des Zeitgenerators 30 beschrieben.
2 ist ein Blockschaltbild, das ein Beispiel für die Konfiguration des Zeitgenerators 30 nach diesem Ausführungsbeispiel zeigt. Der Zeitgenerator 30 enthält eine variable Verzögerungsschaltungseinheit 44 und eine Verzögerungssteuereinheit 42. Die variable Verzögerungsschaltungseinheit 44 empfängt den Bezugstakt und verzögert ihn und gibt ihn zu der Wellenform-Formatierungseinheit 12 oder dem Komparator 52 aus. Die Verzögerungsschaltungseinheit 42 steuert den Verzögerungsbetrag der variablen Verzögerungsschaltungseinheit 44.
Die Verzögerungssteuereinheit 42 enthält eine Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32, bei der die Grundzeitdaten vorher eingestellt werden, eine Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34, bei der die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten vorher gesetzt werden, eine Multiabtastimpuls-Datenberechnungseinheit 46 zum Berechnen der Multiabtastimpulsdaten auf der Grundlage der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten in Abhängigkeit von dem Bezugstakt, und eine erste variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 zum Berechnen des Verzögerungsbetrags, um den der Bezugstakt von der variablen Verzögerungsschaltungseinheit 44 verzögert werden sollte, auf der Grundlage der Grundzeitdaten und der Multiabtastimpulsdaten.
Die Multiabtastimpuls-Datenberechnungseinheit 46 berechnet vorzugsweise die Multiabtastimpulsdaten synchron mit dem Bezugstakt. Zusätzlich kann die Multiabtastimpuls-Datenberechnungseinheit 46 die Multiabtastimpulsdaten berechnen, wann immer die Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 den Bezugstakt erzeugt. In diesem Fall ist es bevorzugt, dass das Ausgangssignal und der Bezugstakt synchronisiert sind. Die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 kann den Verzögerungsbetrag, um den der Bezugstakt durch die variable Verzögerungsschaltungseinheit 44 zu verzögern ist, auf der Grundlage der in Abhängigkeit von dem Bezugstakt und den Grundzeitdaten berechneten Multiabtastimpulsdaten steuern. Zusätzlich berechnet die Multiabtastimpuls-Datenberechnungseinheit 46 vorzugsweise die Multiabtastimpulsdaten, zu denen der angenähert gleiche Verzögerungsbetrag hinzugefügt ist, wann immer die Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 den Bezugstakt erzeugt. Beispielsweise berechnet die Multiabtastimpuls-Datenberechnungseinheit 46 vorzugsweise die Multiabtastimpulsdaten, zu denen die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten hinzugefügt sind, wann immer die Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 den Bezugstakt erzeugt.
Die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 kann den Verzögerungsbetrag berechnen, der sich aus der Addition der Multiabtastimpulsdaten zu den Grundzeitdaten ergibt. Und die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 kann den Verzögerungsbetrag berechnen, der sich aus der Subtraktion der Multiabtastimpulsdaten von den Grundzeitdaten ergibt. Zusätzlich kann die Verzögerungssteuereinheit 42 weiterhin eine Vorrichtung zum Bestimmen, ob die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 den Verzögerungsbetrag berechnet, der sich aus der Addition der Multiabtastimpulsdaten zu den Grundzeitdaten oder der Subtraktion der Multiabtastimpulsdaten von den Grundzeitdaten ergibt, enthalten. Da das Berechnungsverfahren der variablen Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 ausgewählt, kann die Änderungsrichtung der Phase der von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeit gesteuert werden. Mit anderen Worten, es kann gewählt werden, ob die Phase der Zeit in der positiven oder negativen Richtung der Zeitachse mit Bezug auf das von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebene Ausgangssignal verschoben wird, um das Zeitsignal zu erzeugen.
3 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration des Zeitgenerators 30. In 3 können die Teile, denen dieselben Symbole wie denjenigen in 2 gegeben sind, dieselbe Funktion und Konfiguration wie diejenigen in 2 haben. Der Zeitgenerator 30 enthält eine variable Verzögerungsschaltungseinheit 44 und eine Verzögerungssteuereinheit 42 (siehe 2). Die variable Verzögerungsschaltungseinheit 44 enthält eine variable Verzögerungsschaltung 50 und einen Linearisierungsspeicher 48. Die variable Verzögerungsschaltung 50 kann mehrere Verzögerungselement erhalten, so dass sie den Verzögerungsbetrag durch jede Kombination der Verzögerungselemente erzeugt. Der Linearisierungsspeicher 48 wählt die Kombination der Verzögerungselemente der variablen Verzögerungsschaltung 50 auf der Grundlage des von der variablen Verzögerungsschaltung 50 zu verzögernden Verzögerungsbetrags aus. Der Linearisierungsspeicher 48 kann einen Speicher zum Speichern der Signalübertragungsroute der variablen Verzögerungsschaltung 50 auf der Grundlage des von der variablen Verzögerungsschaltung 50 verwendeten Verzögerungsbetrags enthalten. Der Linearisierungsspeicher 48 empfängt ein Triggersignal zum Steuern der Arbeitsweise des Linearisierungsspeichers 48. Der Triggerimpuls kann der Bezugstakt sein.
Die Verzögerungssteuereinheit 42 enthält eine Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32, eine Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34, eine variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40, eine Multiabtastimpuls-Datenberechnungseinheit 46, eine Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit 36 und eine Multiabtastimpuls-Datenspeichereinheit 38. Bei diesem Ausführungsbeispiel kann die Multiabtastimpuls-Datenberechnungseinheit 46 eine Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit 36 und eine Multiabtastimpuls-Datenspeichereinheit 38 enthalten. Bei diesem Ausführungsbeispiel kann die Verzögerungssteuereinheit 42 eine digitale Schaltung zum Steuern des Verzögerungsbetrags der variablen Verzögerungsschaltungseinheit 40 durch digitale Signale enthalten. Bei diesem Ausführungsbeispiel steuert die Verzögerungssteuereinheit 42 den Verzögerungsbetrag der variablen Verzögerungsschaltungseinheit 40 durch digitale 18-Bit-Signale.
Die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 stellt die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten ein.
Die variable Verzögerungsschaltung 50 enthält vorzugsweise Verzögerungselemente, die einen Verzögerungsbetrag haben, der angenähert derselbe wie die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten ist. Die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 kann ein Register zum Speichern eines digitalen Signals sein. Und die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 empfängt einen Triggerimpuls zum Steuern der Arbeitsweise der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34. Der Triggerimpuls kann der Bezugstakt sein.
Die Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 stellt die Grundzeitdaten ein. Die Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 gibt die Grundzeitdaten zu der variablen Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 in der Form von digitalen 18-Bit-Signalen aus. Die Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 kann ein Register zum Speichern eines digitalen Signals sein. Und die Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 empfängt einen Triggerimpuls zum Steuern der Arbeitsweise der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34. Der Auslöseimpuls kann der Bezugstakt sein.
Die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 liefert die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten zu der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit 36. Die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit 36 addiert die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten zu den in der Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 gespeicherten Multiabtastimpulsdaten in Abhängigkeit von dem Bezugstakt und speichert sie in der Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 als neue Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten. Die Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 speichert die von der Multiabtast impuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit 36 der Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 berechneten Multiabtastimpulsdaten. Die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit 36 kann eine Additionsschaltung sein, die eine logische Schaltung zum Addieren digitaler Signale enthält. In dem anfänglichen Zustand kann der Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 ein gewünschter Wert als der anfängliche Wert der Multiabtastimpulsdaten gegeben werden. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist der Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 der Wert 0 als der anfängliche Wert der Multiabtastimpulsdaten gegeben.
Die Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 gibt die in der Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 gespeicherten Multiabtastimpulsdaten zu der variablen Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 in der Form von digitalen 9-Bit-Signalen aus. Die Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 kann ein Register zum Speichern eines digitalen Signals sein. Und die Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 empfängt einen Triggerimpuls zum Steuern der Arbeitsweise der Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38. Der Triggerimpuls kann der Bezugstakt sein. Bei der vorbeschriebenen Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 ist es möglich, einen Verzögerungseinstellwert leicht zu erzeugen, der ebensoviel wie die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten zugenommen hat, wann immer die elektronische Vorrichtung ihr Ausgangssignal ausgibt.
Zusätzlich kann die Mustererzeugungseinheit 10 (siehe 1) eine Vorrichtung zum Ausgeben eines Rücksetzsignals (MUT COMMAND 2) enthalten, um die in dem Verzögerungsbetrag gespeicherten Multiabtastimpulsdaten auf null oder den anfänglichen Wert auf der Grundlage des Prüfmusters zum Prüfen der elektronischen Vorrichtung 20 zu setzen. Und die Mustererzeugungseinheit 10 (siehe 1) kann eine Vorrichtung zum Einstellen neuer Grundzeitdaten in der Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 zu einer vorbestimmten Zeit auf der Grundlage des Prüfmusters zum Prüfen der elektronischen Vorrichtung 20 enthalten. Zusätzlich kann die Prüfvorrichtung 100 eine Vorrichtung zum Einstellen neuer Grundzeitdaten in der Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 zu einer vorbestimmten Zeit auf der Grundlage des Prüfmusters zum Prüfen der elektronischen Vorrichtung 20 enthalten. Die Vorrichtung zum Einstellen der neuen Grundzeitdaten in der Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 stellt vorzugsweise die neuen Grundzeitdaten in der Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 ein, wenn der Prüfzyklus für die Prüfung der elektronischen Vorrichtung 20 beendet ist.
Darüber hinaus kann die Prüfvorrichtung 100 eine Vorrichtung zum Einstellen neuer Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten in der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 enthalten. Die Vorrichtung zum Einstellen der neuen Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten in der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 stellt vorzugsweise die neuen Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten in der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 ein, wenn der Prüfzyklus für die Prüfung der elektronischen Vorrichtung 20 beendet ist.
Zusätzlich kann die Mustererzeugungseinheit 10 (siehe 1) eine Vorrichtung zum Eingeben eines Signals (MUT COMMAND 1) in die Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 enthalten, das bewirkt, dass die Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 be ginnt, die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten zu addieren. Wenn die Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 das Signal für den Beginn der Addition der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten empfängt, beginnt sie mit der Rückführung der Multiabtastimpulsdaten von der Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 zu der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit 36.
Die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 berechnet den Verzögerungsbetrag, um den der Bezugstakt in der variablen Verzögerungsschaltungseinheit 44 zu verzögern ist, auf der Grundlage der Grundzeitdaten und der von der Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit 38 gespeicherten Multiabtastimpulsdaten. Bei diesem Ausführungsbeispiel empfängt die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 die 18-Bit-Grundzeitdaten und 9-Bit-Multiabtastimpulsdaten und addiert die 9 Bits der Multiabtastimpulsdaten zu den 9 Bits niedriger Ordnung der Grundzeitdaten. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel kann die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 die 9 Bits der Multiabtastimpulsdaten von den 9 Bits niedriger Ordnung der Grundzeitdaten subtrahieren. Und die Verzögerungssteuereinheit 42 kann weiterhin eine Auswahlvorrichtung zum Auswählen entweder der Addition oder der Subtraktion in der variablen Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 enthalten. Die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 kann eine logische Additionsschaltung zum Durchführen der Addition von digitalen Signalen und eine logische Subtraktionsschaltung zum Durchführen der Subtraktion von digitalen Signalen enthalten. Und die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 kann eine Auswahleinheit zum Auswählen entweder der logischen Additi onsschaltung oder der logischen Subtraktionsschaltung enthalten. Darüber hinaus können die in dem Zeitgenerator 30 enthaltenen Elemente auf der Grundlage des Bezugstakts arbeiten.
4 ist ein Zeitdiagramm, das ein Beispiel für die Arbeitsweise des Zeitgenerators 30 zeigt. In 4 stellt die horizontale Achse die Zeit dar, und ein Skalenstrich stellt 2 ns (Nanosekunden) dar. Die Bezugstaktreihe stellt den von der Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 erzeugten Bezugstakt dar, und die Zeitreihe (die Multiabtastimpulsreihe) stellt die Zeit (den Multiabtastimpuls) auf der Grundlage des von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeitsignals dar. Und die Grundzeitdatenreihe stellt die von der Grundzeitdaten-Einstelleinheit 32 eingestellten Grundzeitdaten dar, die Multiabtastimpuls-Auflösungsdatenreihe stellt die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten dar, die von der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 eingestellt wurden, die Multiabtastimpulsdaten-Reihe stellt die von der Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 berechneten Multiabtastimpulsdaten dar, und die variable Verzögerungsbetragreihe stellt den von der variablen Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 berechneten variablen Verzögerungsbetrag dar. Und die Zahlen wie 1000 ps (Pikosekunden), 1125 ps, ..., die unter der Zeitreihe gezeigt sind, stellen die Phasendifferenz zwischen der Zeit (dem Multiabtastimpuls) auf der Grundlage des von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeitsignals und dem Bezugstakt dar.
4(a) zeigt ein Beispiel, bei dem als Anfangszustand die Grundzeitdaten auf 1000 ps gesetzt, die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten auf 125 ps und die Multiabtastimpulsdaten auf 0 ps. Wenn der MUT COMMAND 1, der das Startsignal ist, "ein" wird, beginnt die Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 mit der Addition der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten zu den Multiabtastimpulsdaten. Nachdem der MUT COMMAND 1" ein" ist, beginnt die Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit 46 mit der Addition der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten zu den Multiabtastimpulsdaten in Abhängigkeit von dem Bezugstakt, und die Multiabtastimpulsdaten werden der in der Multiabtastimpulsdaten-Reihe in 4 gezeigte Wert. Der durch die variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit 40 in Abhängigkeit von dem Bezugstakt berechnete variable Verzögerungswert wird der in der variablen Verzögerungsbetragsreihe in 4 gezeigte Wert, bei dem die Multiabtastimpulsdaten zu den Grundzeitdaten addiert wurden. Die von dem Zeitgenerator 30 in Abhängigkeit von dem Bezugstakt erzeugte, in 4 gezeigte Zeit wird der Wert, der sich aus der Verzögerung des Anstiegs des Bezugstakts um den variablen Verzögerungsbetrag ergibt. Da bei diesem Ausführungsbeispiel der Verzögerungsbetrag, bei dem die Multiabtastimpulsdaten zu den Grundzeitdaten addiert wurden, als der variable Verzögerungsbetrag genommen wird, mit Bezug auf die von dem Zeitgenerator 30 in Abhängigkeit von dem Bezugstakt erzeugte Zeit zunimmt, nimmt der Verzögerungsbetrag zu dem Anstieg des Bezugstakts um 125 ps in 4(a) und 250 ps in 4(b) zu.
Die Multiabtastimpulsdaten nehmen um 125 ps, was die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten sind, in Abhängigkeit von dem Bezugstakt zu, bis der MUT COMMAND 2, der das Rücksetzsignal ist, "ein" wird. Wenn MUT COMMAND 2 "ein" wird, werden die Multiabtastimpulsdaten auf 0 ps gesetzt. MUT COMMAND 2 wird "ein", wenn der Bezugstakt vorbestimmte Male auftritt. Die Prüfgenau igkeit und Zeit für die Prüfung der Prüfvorrichtung 100 können formatiert werden durch die Anzahl der vorbestimmten Male und den Einstellwert der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten. Die Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten stellen die Auflösung der Phasenänderung der Zeit auf der Grundlage des von dem Zeitgenerator 30 erzeugten Zeitsignals dar. Mit anderen Worten, durch Änderung der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten kann die Zeit der vorbestimmten Auflösung der Phasenänderung erzeugt werden. Und die Prüfvorrichtung 100 kann eine Vorrichtung zum Einstellen neuer Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten in der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 34 enthalten. Die neuen Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten werden in der Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit 14 eingestellt, wenn der Prüfzyklus für die Prüfung der elektronischen Vorrichtung 20 beendet ist. Wenn z.B. der in 4(a) gezeigte Prüfzyklus beendet ist, kann die Vorrichtung die neuen Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten einstellen, wie in 4(b) gezeigt ist, und die Prüfvorrichtung 100 kann einen neuen Prüfzyklus starten.
5 zeigt ein anderes Beispiel der Konfiguration der Prüfvorrichtung 100 gemäß dieser Erfindung. Die Teile in 5, denen dieselben Symbole wie denjenigen in 1 gegeben sind, können dieselbe oder eine ähnliche Funktion und Konfiguration haben. Die Prüfvorrichtung 100 empfängt das Ausgangssignal von der elektronischen Vorrichtung 20 in Abhängigkeit von dem Datenabtastimpuls, der ein Takt auf der Grundlage des internen Takts der elektronischen Vorrichtung 20 ist. Hier ist der Datenabtastimpuls ein Signal, der für eine externe Vorrichtung verwendet wird, um das Ausgangssignal zu empfangen. Beispielsweise ist der Da tenabtastimpuls das Signal, das die Zeit für die Übertragung des Ausgangssignals bestimmt.
Die Prüfvorrichtung 100 enthält eine Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 zum Erzeugen des Bezugstakts, eine Mustererzeugungseinheit 10 zum Erzeugen des Prüfmusters synchron mit dem Bezugstakt, eine Wellenform-Formatierungseinheit 12 zum Formatieren des Prüfmusters, eine Signaleingabe-/-ausgabeeinheit 14 zum Senden und/oder Empfangen von Signalen mit der elektronischen Vorrichtung 20. Einen ersten Zeitgenerator 30a zum Erzeugen des Zeitsignals, einen zweiten Zeitgenerator 30b zum Erzeugen des Zeitsignals, eine Ausgangssignal-Abtastschaltung 24 zum Abtasten des von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebenen Ausgangssignals, eine Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26 zum Abtasten des Datenabtastimpuls der elektronischen Vorrichtung 20 und eine Beurteilungseinheit 22 zum Beurteilen der Qualität der elektronischen Vorrichtung 20.
Die Mustererzeugungseinheit 10 erzeugt das Prüfmuster für die Prüfung der elektronischen Vorrichtung 20 mit dem Bezugstakt und gibt es über die Wellenform-Formatierungseinheit 12 und die Signaleingabe-/-ausgabeeinheit 14 in die elektronischen Vorrichtung 20 ein. Die Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 erzeugt den Bezugstakt und liefert ihn zu dem ersten und dem zweiten Zeitgenerator 30a und 30b. Die Bezugstakt-Erzeugungseinheit 54 erzeugt vorzugsweise den Bezugstakt synchron mit dem von der elektronischen Vorrichtung 20 in Abhängigkeit von dem Prüfmuster ausgegebenen Ausgangssignal. Die Wellenform-Formatierungseinheit 12 formatiert das von der Mustererzeugungseinheit 10 erzeugte Prüfmuster. Beispielsweise gibt die Wellenform-Formatierungseinheit 12 das formatierte Muster, das sich aus der Verzögerung des von der Mustererzeugungseinheit 10 erzeugten Musters um eine gewünschte Zeit ergibt, in die Signaleingabe-/-ausgabeeinheit 14 ein. Die Signaleingabe-/-ausgabeeinheit 14 ist elektrisch mit der elektronischen Vorrichtung 20 gekoppelt und gibt das von der Wellenform-Formatierungseinheit 12 empfangene formatierte Muster in die elektronische Vorrichtung 20 ein. Und die Signaleingabe-/-ausgabeeinheit 14 empfängt das von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebene Ausgangssignal als Antwort auf das formatierte Muster und gibt es zu der Ausgangssignal-Abtastschaltung 24 aus. Zusätzlich empfängt die Signaleingabe-/-ausgabeeinheit 14 den Datenabtastimpuls und gibt ihn zu der Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26 aus, so dass ein Flipflop in der Prüfvorrichtung 100 das Ausgangssignal der elektronischen Vorrichtung 20 empfängt.
Der erste Zeitgenerator 30a lieferte mehrere Zeitsignale, deren Phasen um sehr kleine Zeitintervalle verschoben wurden, zu der Ausgangssignal-Abtastschaltung 24 als Antwort auf das Ausgangssignal der elektronischen Vorrichtung 20. Die Ausgangssignal-Abtastschaltung 24 tastet die von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebenen Ausgangssignale ab als Antwort auf das Prüfmuster zu der auf den von dem ersten Zeitgenerator 30a erzeugten Zeitsignalen basierenden Zeit. Die Beurteilungseinheit 22 kann eine Ausgangssignal-Zitterberechnungsvorrichtung zum Berechnen des Zitterns des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung 20 enthalten. Die Ausgangssignal-Zitterberechnungsvorrichtung berechnet das Zittern des von der elektronischen Vorrichtung 20 ausgegebenen Ausgangssignals auf der Grundlage des Abtastergebnisses der Ausgangssignal-Abtastschaltung 24.
Der zweite Zeitgenerator 30b liefert Zeitsignale, deren Phasen um sehr kleine Zeitintervalle verschoben wurden, zu der Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26 als Antwort auf den Datenabtastimpuls auf der Grundlage des internen Takts der elektronischen Vorrichtung 20. Die Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26 empfängt den Datenabtastimpuls der elektronischen Vorrichtung 20 und führt eine Abtastung zu der auf den von dem zweiten Zeitgenerator 30b erzeugten Zeitsignalen basierenden Zeit. Die Beurteilungseinheit 22 kann eine Datenabtastimpuls-Zitterberechnungsvorrichtung zum Berechnen des Zitterns des Datenabtastimpulses auf der Grundlage des internen Takts der elektronischen Vorrichtung 20 enthalten. Die Datenabtastimpuls-Zitterberechnungsvorrichtung berechnet das Zittern des Datenabtastimpulses auf der Grundlage des Abtastergebnisses der Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26. Der erste und der zweite Zeitgenerator 30a und 30b haben dieselbe Funktion und Konfiguration wie der in Verbindung mit den 1 bis 4 beschriebene Zeitgenerator 30.
Die Beurteilungseinheit 22 beurteilt die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage von zumindest einem der Abtastergebnisse der Ausgangssignal-Abtastschaltung 24 und der Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26. Die Beurteilungseinheit 22 kann die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage von zumindest einem der Abtastergebnisse der Ausgangssignal-Abtastschaltung 24 und der Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26 und des Zitterns des Ausgangssignals und des Datenabtastimpulses beurteilen. Beispielsweise kann die Beurteilungseinheit 22 die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage des von der Ausgangssignal-Zitterberechnungsvorrichtung berechneten Zitterns des Ausgangssignals und des von der Datenabtastimpuls-Zitterberechnungsvorrichtung berechneten Zitterns des Datenabtastimpulses beurteilen. Mit anderen Worten, die Beurteilungseinheit 22 kann einen Zitterbezugswert, der vorher gegeben wird, mit dem Zittern des Ausgangssignals und des Datenabtastimpulses vergleichen und die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 beurteilen. In diesem Fall tastet die Ausgangssignal-Abtastschaltung 24 vorzugsweise die Ausgangssignale der elektronischen Vorrichtung 20 mehrere Male zu der Zeit ab, die auf jedem der Zeitsignale, deren empfangene Phasen unterschiedlich sind, beruht. Die Ausgangssignal-Zitterberechnungsvorrichtung kann die mehreren Abtastergebnisse zu der Zeit auf der Grundlage jedes der Zeitsignale, deren Phasen unterschiedlich sind, mit dem vorher gegebenen Bezugswert vergleichen und das Zittern des Ausgangssignals der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage des Umstandes, wie viele Male die Abtastergebnisse zu der Zeit auf der Grundlage jedes der Zeitsignale, deren Phasen unterschiedlich sind, größer als der Bezugswert sind, berechnen. Die Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26 tastet vorzugsweise den Datenabtastimpuls mehrere Male zu der Zeit auf der Grundlage der Zeitsignale, deren empfangene Phasen unterschiedlich sind, ab. Die Datenabtastimpuls-Zitterberechnungsvorrichtung kann die mehreren Abtastergebnisse zu der Zeit auf der Grundlage von jedem der Zeitsignale, deren Phasen unterschiedlich sind, mit dem vorher gegebenen Bezugswert vergleichen und das Zittern des Datenabtastimpulses auf der Grundlage des Umstandes, wie viele Male die Abtastergebnisse zu der Zeit auf der Grundlage von jedem der Zeitsignale, deren Phasen unterschiedlich sind, grö ßer als der Bezugswert sind, berechnen. Die Beurteilungseinheit 22 erhält mehrere unterschiedliche Zitterbezugswerte, so dass sie die Zitterbezugswerte mit dem berechneten Zittern vergleichen und die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 in Abhängigkeit von jedem der Zitterbezugswerte beurteilen kann. Mit anderen Worten, die Beurteilungseinheit 22 kann die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage des berechneten Zitterns beurteilen.
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel kann die Beurteilungseinheit 22 die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage der Abtastergebnisse der Ausgangssignal-Abtastschaltung 24 und der Datenabtastimpuls-Abtastschaltung 26 beurteilen. Beispielsweise kann die Beurteilungseinheit 22 die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage der Zeit, zu der das Ausgangssignal der elektronischen Vorrichtung 20 gleich dem vorher gegebenen Bezugswert des Ausgangssignals wird, und der Zeit, zu der der Datenabtastimpuls gleich dem vorher gegebenen Bezugswert des Datenabtastimpulses wird, beurteilen. Die Beurteilungseinheit 22 kann die Qualität der elektronischen Vorrichtung 20 auf der Grundlage der Beziehung zwischen der Zeit, zu der das Ausgangssignal der elektronischen Vorrichtung 20 gleich dem vorher gegebenen Bezugswert des Ausgangssignals wird, und der Zeit, zu der der Datenabtastimpuls gleich dem vorher gegebenen Bezugswert des Datenabtastimpulses wird, beurteilen.
Der erste Zeitgenerator 30a enthält eine erste variable Verzögerungsschaltungseinheit 44a und eine erste Verzögerungssteuereinheit 42a, und der zweite Zeitgenerator 30b enthält eine zweite variable Verzögerungsschaltungseinheit 44b und eine zweite Verzöge rungssteuereinheit 42b. Die erste und die zweite variable Verzögerungsschaltungseinheit 44a und 44b können dieselbe Funktion und Konfiguration wie in Verbindung mit den 2 bis 4 beschriebene variable Verzögerungsschaltungseinheit 44 haben. Darüber hinaus können die erste und die zweite Verzögerungssteuereinheit 42a und 42b dieselbe Funktion und Konfiguration wie die in Verbindung mit den 2 bis 4 beschriebene Verzögerungssteuereinheit 42 haben.
Bei der vorstehenden Prüfvorrichtung 100 ist es möglich, auf einfache Weise mehrere Zeitsignale zu erzeugen, deren Phasen um sehr kleine Zeitintervalle verschoben sind, als Antwort auf das Ausgangssignal oder den Datenabtastimpuls auf der Grundlage des internen Takts der elektronischen Vorrichtung 20. Daher ist es möglich, auf einfache Weise das Ausgangssignal oder den Datenabtastimpuls der elektronischen Vorrichtung 20 zu der Zeit auf der Grundlage der mehreren Zeitsignale, deren Phasen unterschiedlich sind, abzutasten. Da es nicht erforderlich ist, die Phasendaten der Abtastzeitsignale, deren Phasen unterschiedlich sind, für jedes der Abtastzeitsignale zu haben, kann zusätzlich die Last der Speicherkapazität der Prüfvorrichtung 100 herabgesetzt werden.
Obgleich die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann, ohne den Geist und den Umfang der vorliegenden Erfindung zu verlassen, die nur durch die angefügten Ansprüche definiert ist.
Gewerbliche Anwendbarkeit
Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich ist, ist es mit der Prüfvorrichtung 100 nach der vorliegenden Erfindung möglich, auf einfache Weise mehrere Zeitsignale zu erzeugen, deren Phasen um sehr kleine Zeitintervalle verschoben sind, und auf einfache Weise das Ausgangssignal oder den Datenabtastimpuls der elektronischen Vorrichtung 20 zu der Zeit auf der Grundlage mehrerer Zeitsignale, deren Phasen unterschiedlich sind, abzutasten.
Zusammenfassung
Eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung enthält eine Mustererzeugungseinheit zum Erzeugen eines Prüfmusters zum Prüfen der elektronischen Vorrichtung, eine Bezugstakt-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Bezugstakts, einen Zeitgenerator zum Erzeugen eines Zeitsignals, eine Ausgangssignal-Abtastschaltung zum Abtasten des von der elektronischen Vorrichtung als Antwort auf das Prüfmuster ausgegebenen Ausgangssignals zu der Zeit auf der Grundlage des von dem Zeitgenerator erzeugten Zeitsignals, worin der Zeitgenerator eine variable Verzögerungsschaltungseinheit für den Empfang, die Verzögerung und die Ausgabe des Bezugstaktes und eine Verzögerungssteuereinheit zum Steuern des Verzögerungsbetrags der variablen Verzögerungsschaltungseinheit enthält, und die Verzögerungssteuereinheit den Verzögerungsbetrag auf der Grundlage der Grundzeitdaten und des variablen Verzögerungsbetrags, der kleiner als die Grundzeitdaten ist, steuert.

Claims

Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welche aufweist: eine Bezugstakt-Erzeugungseinheit zum Erzeugen eines Bezugstakts; eine Mustererzeugungseinheit zum Erzeugen eines Prüfmusters synchron mit dem Bezugstakt, um die elektronische Vorrichtung zu prüfen; eine Wellenform-Formatierungseinheit zum Empfangen des Prüfmusters und zum Eingeben eines formatierten Musters, das sich aus dem Formatieren des Prüfmusters ergibt, in die elektronischen Vorrichtung; einen ersten Zeitgenerator zum Erzeugen eines Zeitsignals; eine Ausgangssignal-Abtastschaltung zum Abtasten eines von der elektronischen Vorrichtung als Antwort auf das Prüfmuster ausgegebenen Ausgangssignals zu einer Zeit auf der Grundlage des von dem ersten Zeitgenerator erzeugten Zeitsignals; und eine Beurteilungseinheit zum Beurteilen der Qualität der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines Abtastergebnisses der Ausgangssignal-Abtastschaltung, worin der erste Zeitgenerator aufweist: eine erste variable Verzögerungsschaltungseinheit zum Empfangen, Verzögern und Ausgeben des Bezugstaktes; und eine erste Verzögerungssteuereinheit zum Steuern eines Verzögerungsbetrags der ersten variablen Verzögerungsschaltungseinheit, und die erste Verzögerungssteuereinheit aufweist: eine erste Grundzeitdaten-Einstelleinheit, bei der erste Grundzeitdaten vorher gesetzt sind; eine erste Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit, bei der erste Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten vorher gesetzt sind; eine erste Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit zum Berechnen erster Multiabtastimpulsdaten auf der Grundlage der ersten Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten in Abhängigkeit von dem Bezugstakt; und eine erste variable Verzögerungsbetrags-Berechnungseinheit zum Berechnen des Verzögerungsbetrags, um den der Bezugstakt in der ersten variablen Verzögerungsschaltungseinheit zu verzögern ist, auf der Grundlage der ersten Grundzeitdaten und der ersten Multiabtastimpulsdaten.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Beurteilungseinheit eine Ausgangssignal-Zitterberechnungsvorrichtung zum Berechnen des Zitterns des Ausgangssignals auf der Grundlage des Abtastergebnisses der Ausgangssignal-Abtastschaltung aufweist und die Qualität der elektronischen Vorrichtung weiterhin auf der Grundlage des Zitterns des Ausgangssignals beurteilt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der die erste variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit den Verzögerungsbetrag durch Addieren der ersten Multiabtastimpulsdaten zu den ersten Grundzeitdaten berechnet.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der die erste variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit den Verzögerungsbetrag durch Subtrahieren der ersten Mehrfachabtastimpulsdaten von den ersten Grundzeitdaten berechnet.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, bei der die erste Verzögerungssteuereinheit weiterhin aufweist. eine erste Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit zum Speichern der von der ersten Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit berechneten ersten Multiabtastimpulsdaten; und eine erste Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit zum Addieren der ersten Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten zu den ersten Multiabtastimpulsdaten, die in der ersten Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit gespeichert sind, in Abhängigkeit von dem Bezugstakt, wobei die erste Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit von neuem die ersten Multiabtastimpulsdaten, zu denen von der ersten Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Additionseinheit addierten ersten Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten addiert wurden, speichert, und die erste variable Verzögerungsbetrag-Berechnungseinheit den Verzögerungsbetrag berechnet, um den der Bezugstakt in der ersten variablen Verzögerungsschaltungseinheit zu verzögern ist, auf der Grundlage der ersten Grundzeitdaten und der ersten Multiabtastimpulsdaten, die in der ersten Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit gespeichert sind.
Prüfvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der Mustererzeugungseinheit weiterhin eine Vorrichtung zum Einstellen der ersten Multi abtastimpulsdaten, die in der ersten Multiabtastimpulsdaten-Speichereinheit gespeichert sind, auf null auf der Grundlage des von der Mustererzeugungseinheit erzeugten Prüfmusters.
Prüfvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, weiterhin aufweisend eine Vorrichtung zum Einstellen neuer erster Grundzeitdaten in der ersten Grundzeitdaten-Einstelleinheit, wenn ein Prüfzyklus zum Prüfen der elektronischen Vorrichtung beendet ist.
Prüfvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der die Mustererzeugungseinheit weiterhin eine Vorrichtung zum Einstellen neuer erster Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten in der ersten Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit auf der Grundlage des von der ersten Mustererzeugungseinheit erzeugten Prüfmusters.
Prüfvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, weiterhin aufweisend: einen zweiten Zeitgenerator zum Erzeugen eines Zeitsignals; und eine Datenabtastimpuls-Abtastschaltung zum Abtasten eines Datenabtastimpulses zu einer Zeit auf der Grundlage des von dem zweiten Zeitgenerator erzeugten Zeitsignals, worin die elektronische Vorrichtung das Ausgangssignal und den Datenabtastimpuls ausgibt, der für eine externe Vorrichtung ist, um das Ausgangssignal in Abhängigkeit von einem internen Takt zu erhalten, wobei der zweite Zeitgenerator aufweist: eine zweite variable Verzögerungsschaltungseinheit zum Empfangen, Verzögern und Ausgeben des Bezugstakts; und eine zweite Verzögerungssteuereinheit zum Steuern eines Verzögerungsbetrags der zweiten variablen Verzögerungsschaltungseinheit, welche zweite Verzögerungssteuereinheit aufweist: eine zweite Grundzeitdaten-Einstelleinheit, bei der zweite Grundzeitdaten vorher gesetzt sind; eine zweite Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten-Einstelleinheit, bei der zweite Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten vorher gesetzt sind; eine zweite Multiabtastimpulsdaten-Berechnungseinheit zum Berechnen zweiter Multiabtastimpulsdaten auf der Grundlage der zweiten Multiabtastimpuls-Auflösungsdaten in Abhängigkeit von dem Bezugstakt; und eine zweit variable Verzögerungsbetrags-Berechnungseinheit zum Berechnen des Verzögerungsbetrags, um den der Bezugstakt in der zweiten variablen Verzögerungsschaltungseinheit zu verzögern ist, auf der Grundlage der zweiten Grundzeitdaten und der zweiten Multiabtastimpulsdaten, und die Beurteilungseinheit die Qualität der elektronischen Vorrichtung weiterhin auf der Grundlage eines Abtastergebnisses der Datenabtastimpuls-Abtastungsschaltung beurteilt.