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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Jittermessgerät zum Messen
eines Jitters eines zu messenden Signals und auf ein Testgerät zum Testen
einer elektronischen Vorrichtung. Zusätzlich bezieht sich die vorliegende
Erfindung auf die folgende Japanische Patentanmeldung. Die vorliegende Erfindung
beansprucht den Vorteil und die Priorität der Japanischen Patentanmeldung
Nr. 2002-288799, die am 1. Oktober 2002 angemeldet wurde, wobei der
gesamte Inhalt derselben für
alle Zwecke durch Bezugnahme hier eingeschlossen ist.
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Stand der
Technik
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In
letzter Zeit ist die Notwendigkeit einer hohen Operationsgeschwindigkeit
und geringen Kosten einer Halbleitervorrichtung in den Vordergrund
getreten. Folglich wird es verlangt, das Jitter (Zittern) eines Ausgangssignals
der Halbleitervorrichtung genau zu messen. Beispielsweise wird im
Fall der Übertragung von
Daten zwischen Halbleitervorrichtungen verlangt, das Jitter eines
Taktes zum Übertragen
der Daten (DQS) genau zu messen. Im Falle der Erzeugung des Jitters
in dem DQS kann die Halbleitervorrichtung die Daten nicht sauber übertragen.
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Beispielsweise
wird im Falle des Speicherns der Daten in der Halbleitervorrichtung
entsprechend einer Flanke des Taktsignals verlangt, die der Halbleitervorrichtung
gegebenen Daten so zu stabilisieren, dass sie einen gewünschten
Wert vor der Taktflanke haben. In diesem Fall kann manchmal das
Speichern der Daten nicht korrekt durchgeführt werden, wenn Jitter (Zittern)
in dem Taktsignal erzeugt wird. Somit wird die Messung des Jitters
des Taktsignals und dergleichen als ein Test der Halbleitervorrichtung
durchgeführt.
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Üblicherweise
wird im Falle des Messens von Jitter eines zu messenden Signals
das zu messende Signal mehrfach ausgegeben, wobei Abtastsignale
für jedes
zu messende Signal erzeugt werden, deren Phasen nach und nach unterschiedlich
sind und das zu messende Signal wird von den Abtastsignalen unterschiedlicher
Phasen gescannt, um eine Flanke des zu messenden Signals zu erkennen
bzw. zu detektieren. Durch Wiederholen dieser Vorgänge und
Detektieren der Flanke des zu messenden Signals viele Male, wird
das Jitter des zu messenden Signals gemessen.
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Da
jedoch das bekannte Jittermessverfahren die Flanke des zu messenden
Signals einmal detektiert, wird das zu messende Signal viele Male
ausgegeben. Um das Jit ter des zu messenden Signals zu messen, ist
es notwendig, die Flanke des zu messenden Signals viele Male zu
detektieren. Somit benötigt das
bekannte Messverfahren viel Zeit für die Messung. Da darüber hinaus
eine Flanke vom zu messenden Signal detektiert wird, das viele Male
ausgegeben wird, ist es unmöglich,
das Jitter des zu messenden Signals genau zu messen.
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Somit
ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Jittermessgerät und ein
Testgerät
vorzusehen, die in der Lage sind, die obigen mit dem Stand der Technik
zusammengehenden Nachteile zu vermeiden. Die obige Aufgabe kann
durch in den unabhängigen
Ansprüchen
beschriebenen Kombinationen gelöst
werden. Die abhängigen
Ansprüche
definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen
der vorliegenden Erfindung.
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Offenbarung
der Erfindung
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Um
die obigen Probleme zu lösen
ist entsprechend dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ein
Jittermessgerät
zum Messen eines Jitters eines Ausgangssignals, das von einer elektronischen Vorrichtung
ausgegeben wird, vorgeschlagen, bei dem das Jittermessgerät einschließt: eine
Abtastsignalbündelerzeugungseinheit
zum Erzeugen eines Abtastsignalbündels
mit mehr als drei (3) Abtastsignalen eine Mehrzahl von Malen synchron
mit dem Ausgangssignal, das eine Mehrzahl von Malen von der elektronischen
Vorrichtung ausgegeben wird, eine Werterkennungseinheit zum Erkennen
eines Wertes des Ausgangssignals bei jedem Abtastsignal des Abtastsignalbündels, das
eine Mehrzahl von Malen von der Abtastbündelerzeugungseinheit erzeugt wird,
eine Änderungspunkterkennungseinheit
zum Erkennen der Position eines Änderungspunktes
des Wertes jedes Ausgangssignals auf der Grundlage des Wertes des
Ausgangssignals, das von der Werteerkennungseinheit erkannt wird
und eine Histogrammerzeugungseinheit zum Zählen, wie oft die Änderungspunkterkennungseinheit
den Änderungspunkt
an jeder Position des Änderungspunktes
des Wertes des Ausgangssignals detektiert.
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Das
Jittermessgerät
kann weiterhin umfassen: ein Jitterbeschaffungsmodul zum Beschaffen
eines Jitters des Ausgangssignals auf der Grundlage des Zählergebnisses
der Histogrammerzeugungseinheit. Weiterhin kann die Histogrammerzeugungseinheit
einen Zähler
zum Zählen,
bei welchem Abtastsignal des Abtastsignalbündels der Änderungspunkt des Wertes des
Ausgangssignals für
jedes Abtastsignal auf der Grundlage des Erkennungsergebnisses der Änderungspunkterkennungseinheit
erkannt wird, einschließen.
Die Histogrammerzeugungseinheit kann einen Änderungspunkt speichern zum
Speichern des Erkennungsergebnisses der Änderungspunkterkennungseinheit
einschließen.
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Die
Abtastsignalbündelerzeugungseinheit kann
eine Mehrzahl von kaskadiert verbundenen variablen Verzögerungskreisen
zum Empfang von Abtastzeitverlaufssignalen einschließen, zum
Verzögern
der empfangenen Abtastzeitverlaufsignale um eine vorbestimmte Zeit
und Ausgeben jedes derselben sequentiell als den Abtastimpuls umfasst,
die Werterkennungseinheit eine Mehrzahl von Zeitpunktvergleichsvorrichtungen
umfassen kann, von denen jede vorgesehen ist, um mit einem der variablen
Verzögerungskreise
zu korrespondieren und jede den Wert des Ausgangssignals durch das
Abtastsignal erkennt, das von dem korrespondierenden variablen Verzögerungskreis
ausgegeben wird und die Ände rungspunkterkennungseinheit
die Position des Änderungspunktes
des Wertes jedes Ausgangssignals auf der Grundlage des Erkennungsergebnisses
der Mehrzahl von Zeitpunktvergleichsvorrichtungen erkennen kann.
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Das
Jittermessgerät
kann weiterhin umfassen: einen ersten Komparator zum Vergleich des Wertes
des Ausgangssignals mit einem ersten Schwellenwert, der einen H-Pegel
zeigt, und Ausgeben des Vergleichsergebnisses als ein H-Pegelvergleichsergebnis
und einen zweiten Komparator zum Vergleich des Wertes des Ausgangssignals
mit einem zweiten Schwellenwert, der einen L-Pegel zeigt, und Ausgeben
des Vergleichsergebnisses als ein L-Pegelvergleichsergebnis, wobei
die Abtastsignalbündel-Erzeugungseinheit
ein erstes Abtastsignalbündel
auf der Grundlage eines Zeitpunktes einer ansteigenden Flanke des
Ausgangssignals und ein zweites Abtastsignalbündel auf der Grundlage eines Zeitpunktes
der fallenden Flanke des Ausgangssignals erzeugen kann, die Werterkennungseinheit
einen Wert des H-Pegelvergleichsergebnisses durch das erste Abtastsignalbündel und
einen Wert des L-Pegelvergleichsergebnisses durch das zweite Abtastsignalbündel detektieren
kann und die Änderungspunkterkennungseinheit
einen Änderungspunkt
des Wertes des H-Pegelvergleichsergebnisses als
einen Änderungspunkt
eines Wertes der ansteigenden Flanke des Ausgangssignals und einen Änderungspunkt
des Wertes des L-Pegelvergleichsergebnisses
als einen Änderungspunkt
eines Wertes der abfallenden Flanke des Ausgangssignals erkennen
kann.
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Die
Abtastsignalbündel-Erzeugungseinheit kann
eine Mehrzahl von kaskadiert verbundenen ersten variablen Verzögerungskreisen
zum Empfangen eines ersten Abtastzeitverlaufsignals und Ausgeben des
ersten Ab tastsignalbündels
und eine Mehrzahl von kaskadiert verbundenen zweiten variablen Verzögerungskreisen
zum Empfangen eines zweiten Abtastzeitverlaufsignals und Ausgeben
des zweiten Abtastsignalbündels
umfassen und die Werterzeugungseinheit kann eine Mehrzahl von ersten
Zeitpunktvergleichsvorrichtungen zum Detektieren des Wertes des
H-Pegelvergleichsergebnisses durch das erste Abtastsignalbündel und
eine Mehrzahl von zweiten Zeitpunktvergleichsvorrichtungen zum Detektieren
des Wertes des L-Pegelvergleichsergebnisses durch das zweite Abtastsignalbündel einschließen.
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Das
Jittermessgerät
kann weiterhin eine Auswahlvorrichtung zum Auswählen eines der Änderungspunkte
der Werte der ansteigenden Flanke und der abfallenden Flanke des
Ausgangssignals einschließen,
die von der Änderungspunkterkennungseinheit
detektiert werden und zum Versehen der Histogrammerzeugungseinheit
mit diesem.
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Nach
einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Testgerät zum Testen
einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen, wobei das Testgerät eine Mustererzeugungsvorrichtung
zum Erzeugen eines Testmusters zum Testen der elektronischen Vorrichtung,
eine Signalformvorrichtung zum Formen des Testmusters und Versehen
der elektronischen Vorrichtung mit ihm, ein Jittermessgerät zum Analysieren
des Jitters eines Ausgangssignals, das von der elektronischen Vorrichtung
entsprechend dem Testmuster ausgegeben wird und eine Bestimmungsvorrichtung
zur Gut/Schlecht-Bestimmung
der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage des Analyseergebnisses
des Jittermessgeräts
umfasst und das Jittermessgerät
eine Abtastsignalbündel-Erzeugungseinheit
zum Erzeugen eines Abtastsignalbündels
mit mehr als drei (3) Abtastsignale eine Mehrzahl von Malen synchron
mit dem Ausgangssignal, das eine Mehrzahl von Malen von der elektronischen
Vorrichtung ausgegeben wird, eine Werterkennungseinheit zum Erkennen
eines Wertes des Ausgangssignals für jedes Abtastsignal des Abtastsignalbündels, das
eine Mehrzahl von Malen von der Abtastbündelerzeugungseinheit erzeugt
wird, eine Änderungspunkterkennungseinheit
zum Erkennen der Position eines Änderungspunktes
des Wertes jedes Ausgangssignals auf der Grundlage des Wertes des
Ausgangssignals, das von der Werterkennungseinheit detektiert wird,
und eine Histogrammerzeugungseinheit zum Zählen, wie oft die Änderungspunkterkennungseinheit
den Änderungspunkt
bei jeder Position des Änderungspunktes
des Wertes des Ausgangssignals detektiert.
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Die
Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise
alle notwendigen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende
Erfindung kann auch eine Unterkombination der oben beschriebenen
Merkmale sein.
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Kurze Beschreibung
der Zeichnung
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1 zeigt
ein Beispiel des Aufbaus eines Testgeräts 100 entsprechend
einem Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung.
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2 zeigt
ein Beispiel des Aufbaus eines Jittermessgeräts 40.
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3 zeigte
ein Beispiel des Aufbaus eines Jittermessgeräts 40-1 im Detail.
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4 zeigt
ein anderes Beispiel des Aufbaus eines Jittermessgerätes 40-1 im
Detail.
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5 zeigt
ein Beispiel eines Histogramms, das von einer Histogrammerzeugungseinheit 50 erzeugt
wird.
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6 ist
ein Flussdiagramm, das ein Beispiel der Funktionsweise des Jittermessgerätes 40 zeigt.
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Bevorzugtes Ausführungsbeispiel
zum Durchführen der
Erfindung
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Die
Erfindung wird nun auf der Grundlage von den bevorzugten Ausführungsbeispielen
beschrieben, von denen nicht beabsichtigt ist, dass den Schutzbereich
der vorliegenden Erfindung begrenzen, sondern die Erfindung beispielhaft
beschreiben. Alle die Merkmale und ihre Kombinationen, die in den Ausführungsbeispielen
beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
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1 zeigt
ein Beispiel des Aufbaus eines Testgerätes 100 nach einem
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung. Das Testgerät 100 misst das Jitter
(Zittern) einer elektronischen Vorrichtung 200, die die
Vorrichtung unter Test ist. Das Testgerät 100 schließt eine
Zeittakterzeugungsvorrichtung 10, eine Mustererzeugungsvorrichtung 20,
Signalformungsvorrichtung 30, ein Jittermessgerät 40 und
eine Bestimmungsvorrichtung 80 ein.
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Die
Zeittakterzeugungsvorrichtung 10 erzeugt ein Zeitverlaufsignal
für den
Betrieb des Testgerätes 100.
Beispielsweise liefert die Zeittakterzeugungsvorrichtung 10 ein
Signal an die Signalformungsvorrichtung 30, das einen Zeitverlauf
des Versehens der elektronischen Vorrichtung 200 mit einem Testmuster
zeigt. Weiterhin kann die Zeitverlaufserzeugungsvorrichtung 10 einen
Referenztakt zum Synchronisieren der Operation des Testgerätes 100 erzeugen
und jedes der Elemente des Testgerätes 100 mit dem Referenztakt
versehen.
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Die
Mustererzeugungsvorrichtung 20 erzeugt ein Testmuster zum
Testen der elektronischen Vorrichtung 200 und liefert an
die Signalformungsvorrichtung 30 das Testmuster. Die Signalformungsvorrichtung 30 formt
das Testmuster und liefert der elektronischen Vorrichtung 200 das
Testmuster entsprechend dem Signal, das von der Zeitverlaufserzeugungsvorrichtung 10 empfangen
wird.
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Das
Zittermessgerät 40 analysiert
ein Ausgangssignal, das von der elektronischen Vorrichtung 200 entsprechend
dem Testmuster ausgegeben wird. Die Bestimmungsvorrichtung 80 führt eine Gut/Schlecht-Bestimmung der elektronischen
Vorrichtung 200 auf der Grundlage des Analysesystems des
Jittermessgerätes 40 durch.
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2 zeigt
ein Beispiel des Aufbaus des Jittermessgeräts 40. Das Jittermessgerät 40 erkennt
einen Änderungspunkt
eines zu messenden Signals und misst das Jitter mittels eines Abtastsignalbündels (Multi-Strobe) mit mehr
als drei (3) Abtastsignalen. Beispielsweise misst das Jittermessgerät 40 das Jitter
des Ausgangssignals auf der Grundlage von Ausgangssignalen, die
viele Male von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegeben
werden.
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Weiterhin
umfasst das Testgerät 100 entsprechend
der vorliegenden Erfindung ein Jittermessgerät 40-1 zum Messen
des Jitters eines Datensignals (DQ) aus dem Ausgangssignal der elektronischen
Vorrichtung 200 und ein Jittermessgerät 40-1 zum Messen
des Jitters eines Taktsignals (DQS), das synchron mit dem Datensignal
ausgegeben wird. Jedes der Jittermessgeräte 40 schließt eine
Spannungsvergleichsvorrichtung 42, eine Abtastsignalbündel-Erzeugungseinheit 44,
eine Werterkennungseinheit 46, eine Änderungspunkterkennungseinheit 48,
eine Histogrammerzeugungseinheit 50 und eine Jitterbeschaffungseinheit 52 ein.
Obwohl das Jittermessgerät 40-1 zum
Messen des Jitters des Taktsignals im Vorliegenden erklärt wird,
hat das Jittermessgerät 40-2 die
gleiche Funktion und den gleichen Aufbau wie diejenigen des Jittermessgeräts 40-1.
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Die
Spannungsvergleichsvorrichtung 42 vergleicht das von der
elektronischen Vorrichtung 200 ausgegebene Taktsignal mit
einem vorbestimmten Schwellenwert und liefert das Vergleichsergebnis
an die Werterkennungseinheit 46. Beispielsweise bestimmt
die Spannungsvergleichsvorrichtung 42, ob das Taktsignal
einen Wert des H-Pegels oder L-Pegels zeigt, indem das Taktsignal
mit einem vorbestimmten Schwellenwert verglichen wird.
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Die
Abtastsignalbündelerzeugungseinheit 44 erzeugt
ein Abtastsignalbündel
mit mehr als drei (3) Abtastsignalen viele Male, die mit den Taktsignalen, die
viele Male von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegeben
werden, synchronisiert zu werden. Hier ist das Abtastsignalbündel ein
Satz einer Mehrzahl von Abtastsignalen, deren Phase jeweils nach
und nach unterschiedlich zueinander ist. Die Werterkennungseinheit 46 detektiert
einen Wert eines Taktsignals jedes der Abtastsignale jedes Abtastsignalbündels, das
von der Abtastsignalbündel-Erzeugungseinheit 44 erzeugt wird.
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Die Änderungspunkterkennungseinheit 48 erkennt
die Position eines Änderungspunktes
des Wertes jedes der Taktsignale, die viele Male von der elektronischen
Vorrichtung 200 ausgegeben werden, auf der Grundlage des
Wertes des Taktsignals, das von der Werterkennungseinheit 46 erkannt
wird. Die Histogrammerzeugungseinheit 50 zählt, wie
oft der Änderungspunkt
bei jeder Position des Änderungspunktes
des Wertes jedes Taktsignals detektiert wird, der von der Änderungspunkterkennungseinheit 48 erkannt
wird. Somit erzeugt die Histogrammerzeugungseinheit 50 ein
Histogramm des Änderungspunktes
des Wertes jedes Taktsignals, der von der Änderungspunkterkennungseinheit 48 erkannt
wird. Es ist möglich,
verschiedene Analysen des Taktsignals durch das Histogramm durchzuführen, das
von der Histogrammerzeugungseinheit 50 erzeugt wird.
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Die
Jitterbeschaffungseinheit 52 beschafft des Jitter des Taktsignals
auf der Grundlage des Zählergebnisses
der Histogrammerzeugungseinheit 50. Mit anderen Worten
gesagt beschafft die Jitterbeschaffungseinheit 52 das Jitter
des Taktsignals auf der Grundlage des Histogramms, das von der Histogrammerzeugungseinheit 50 erzeugt
wird. Weiterhin liefert die Jitterbeschaffungseinheit 52 das
erlangte Jitter des Taktsignals an die Bestimmungsvorrichtung 80.
In gleicher Weise versieht eine Jitterbeschaffungseinheit 52 der
Jittermessvorrichtung 40-2 die Bestimmungseinheit 80 mit
dem erworbenen Jitter des Datensignals. Die Bestimmungsvorrichtung 80 führt eine
Gut/Schlecht-Bestimmung
der elektronischen Vorrichtung 200 auf der Grundlage des
Jitters des Taktsignals und des Datensignals durch.
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3 zeigt
ein Beispiel des Aufbaus des Jittermessgeräts 40-1 im Detail.
Entsprechend dem vorliegenden Beispiel umfasst das Jittermessgerät 40-1 eine
erste Logikvergleichsvorrichtung 66-1 und eine zweite Logikvergleichsvorrichtung 66-2,
die jeweils die Abtastsignalerzeugungseinheit 44 und die Werterkennungseinheit 46 einschließen. Weiterhin umfasst
das Jittermessgerät 40-1 einen
temporären Speicher 68 und
eine Auswahlvorrichtung 74 zusätzlich zu dem Aufbau, der in
Bezug auf 2 beschrieben wurde.
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Die
Spannungsvergleichsvorrichtung 42 schließt einen
ersten Komparator 54 zum Vergleich des Wertes des Taktsignals,
das von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegeben wird,
mit einem ersten Schwellenwert VOH, das
einen H-Pegel zeigt, und zum Ausgeben des Vergleichsergebnisses
als ein H-Pegelvergleichsergebnis und einen zweiten Komparator 56 zum
Vergleich des Wertes des Taktsignals mit einem zweiten Schwellenwert
VOL, das einen L-Pegel aufweist, und zum
Ausgeben des Vergleichsergebnisses als ein L-Pegelvergleichsergebnis ein. Der erste
Komparator 54 liefert der ersten Logikvergleichsvorrichtung 66-1 das
H-Pegelvergleichsergebnis und der zweite Komparator 56 liefert
der zweiten Logikvergleichsvorrichtung 66-2 das L-Pegelvergleichsergebnis.
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Die
Abtastsignalbündel-Erzeugungseinheit 56 jeder
der ersten und zweiten Logikvergleichsvorrichtungen 66-1 und 66-2 erzeugt
ein erstes Abtastsignalbündel
basierend auf einem Zeitpunkt einer ansteigenden Flanke des Taktsignals
und ein zweites Abtastsignalbündel
basierend auf einem Zeitpunkt einer abfallenden Flanke des Taktsignals.
Die Werterkennungseinheit 46 jeder der ersten und zweiten
Logikvergleichsvorrichtungen 66-1 und 66-2 erkennt
einen Wert des H- Pegelvergleichsergebnisses
durch das erste Abtastsignalbündel
und des L-Pegelvergleichsergebnisses durch das zweite Abtastsignalbündel.
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Beispielsweise
schließt
die Abtastsignalbündel-Erzeugungseinheit 44 der
ersten Logikvergleichsvorrichtung 66-1 eine Mehrzahl von
kaskadiert verbundenen ersten variablen Verzögerungskreisen 64 zum
Empfangen eines ersten Abtasttaktsignals und Ausgeben des ersten
Abtastsignalbündels.
Die Abtastsignalbündel-Erzeugungseinheit 44 der
zweiten Logikvergleichsvorrichtung 66-2 umfasst eine Mehrzahl
von kaskadiert verbundenen zweiten variablen Verzögerungskreisen
(nicht gezeigt) zum Empfangen eines zweiten Abtasttaktsignals und
Ausgeben des zweiten Abtastsignalbündels. Jede der Abtastsignalerzeugungseinheiten 44 entsprechend dem
vorliegenden Beispiel schließt
n-1 variable Verzögerungskreise
ein (hier ist n eine ganze Zahl gleich oder größer als drei (3)) und erzeugt
Abtastsignalbündel
mit n Abtastsignalen aus dem gegebenen Abtasttaktsignal und dem
Abtastsignal, das von jedem der variablen Verzögerungskreise ausgegeben wird.
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Weiterhin
umfasst die Werterkennungseinheit 46 der ersten logischen
Vergleichseinheit 66-1 eine Mehrzahl von ersten Zeitpunktvergleichsvorrichtungen 58 zum
Erkennen eines Wertes des H-Pegelvergleichsergebnisses durch das
erste Abtastsignalbündel
und die Werterkennungseinheit 46 der zweiten logischen
Vergleichsvorrichtung 66-2 umfasst eine Mehrzahl von zweiten
Zeitpunktvergleichsvorrichtungen (nicht gezeigt) zum Erkennen eines
Wertes des L-Pegelvergleichsergebnisses durch das zweite Abtastsignalbündel. Obwohl
der Aufbau und die Funktionsweise der ersten Logikvergleichsvorrichtung 66-1 im
Folgenden beschrieben wird, hat die zweite logische Vergleichsvorrichtung 66-2 den
gleichen Aufbau und die gleiche Funktionsweise.
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Die
Mehrzahl der variablen Verzögerungskreise 64 empfängt die
Abtasttaktsignale, verzögert die
empfangenen Abtasttaktsignale um eine vorbestimmte Zeit und gibt
sequentiell jedes von ihnen als Abtastsignal aus. Jeder der variablen
Verzögerungskreise 64 verzögert die
Abtasttaktsignale sequentiell um eine Verzögerungsgröße bzw. einen Verzögerungswert,
der einem Abtastintervall des zu erzeugenden Abtastsignalbündels entspricht
und gibt sie aus. Hier wird das Abtasttaktsignal zu einem gewünschten
Zeitpunkt der Erzeugung des Abtastsignalbündels synchron mit den Taktsignalen
gegeben, die viele Male von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegeben
werden. Das Abtasttaktsignal kann beispielsweise von der Zeitverlaufserzeugungsvorrichtung 10 erzeugt
werden.
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Jeder
der Mehrzahl von Zeitpunktvergleichsvorrichtungen 58 ist
vorgesehen, um einem der variablen Verzögerungskreise 64 zu
entsprechen und erkennt den Wert des H-Pegelvergleichsergebnisses des
Taktsignals mittels des Abtastsignals, das von dem entsprechenden
variablen Verzögerungskreis 64 ausgegeben
wird. Mit anderen Worten gesagt, detektiert jede der Zeitpunktvergleichsvorrichtungen 58 das
H-Pegelvergleichsergebnis zu dem Zeitpunkt des Empfangens des Abtastsignals,
das von dem entsprechenden variablen Verzögerungskreis 64 ausgegeben
wird. Entsprechend dem vorliegenden Beispiel detektiert die Zeitpunktvergleichsvorrichtung 58-0 einen
Wert des H-Pegelvergleichsergebnisses des
Taktsignals durch das Abtasttaktsignal.
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Der
von jeder der Zeitpunktvergleichsvorrichtungen 58 detektierte
Wert wird in dem Zwischenspeicher 68 als ein digitales
Signal mit n-Bits gespeichert. Entsprechend dem vorliegenden Beispiel
umfasst das Abtastsignalbündel-Erzeugungsgerät 40-1 n
Zwischenspeicher 68 und jeder der Zwischenspeicher 68 speichert
jedes Bit der detektierten Werte des H-Pegelvergleichsergebnisses
und des L-Pegelvergleichsergebnisses.
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Die Änderungspunkterkennungseinheit 48 erkennt
die Position des Änderungspunktes
des Wertes jedes Taktsignals auf der Grundlage der Erkennungsergebnisse
der Mehrzahl von Zeitpunktvergleichsvorrichtungen 58. Die Änderungspunkterkennungseinheit 48 entsprechend
dem vorliegenden Beispiel detektiert einen Änderungspunkt des Wertes des
H-Pegelvergleichsergebnisses als einen Änderungspunkt eines Wertes
der ansteigenden Flanke des Taktsignals und ein Änderungspunkt des Wertes des
L-Pegelvergleichsergebnisses als einen Änderungspunkt eines Wertes
der fallenden Flanke des Taktsignals.
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Die Änderungspunkterkennungseinheit 48 umfasst
n-1 Änderungspunkterkennungskreise 72 und
jeder der Änderungspunkterkennungskreise 72 detektiert
einen Änderungspunkt
des Wertes des H-Pegelvergleichsergebnisses durch Vergleich der Wert
von benachbarten Bits eines digitalen Signals des Wertes des H-Pegelvergleichsergebnisses,
das in dem Zwischenspeicher 68 gespeichert ist. Weiterhin
wird ein Änderungspunkt
des Wertes des L-Pegelvergleichsergebnisses in der gleichen Weise
detektiert.
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Die
Auswahlvorrichtung 74 wählt
einen der Änderungspunkte
der Werte der ansteigenden und fallenden Flanken des Taktsignals,
die von der Änderungspunkterken nungseinheit 48 erkannt
werden, liefert ihn an die Histogrammerzeugungseinheit 50. Die
Auswahlvorrichtung 74 wird mit einem Auswahlsignal beliefert
und wählt
den Änderungspunkt
des Wertes der steigenden oder fallenden Flanke des Taktsignals
auf der Grundlage des Auswahlsignals aus. Das Auswahlsignal kann
von der Mustererzeugungsvorrichtung 20 erzeugt werden.
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Die
Histogrammerzeugungseinheit 50 schließt eine Mehrzahl von Zählern 76 zum
Zählen, bei
welchem Abtastsignal des Abtastsignalbündels ein Änderungspunkt des Wertes des
Taktsignals detektiert wird für
jedes Abtastsignal auf der Grundlage des Erkennungsergebnisses der Änderungspunkterkennungseinheit 48 ein,
der von der Auswahlvorrichtung 74 ausgewählt wird.
Jeder der Zähler 76 wird
mit einem Betriebssignal (effektivem Signal) beliefert, das befiehlt,
das Zählen
durchzuführen.
Das Betriebssignal kann von der Mustererzeugungsvorrichtung 20 erzeugt
werden. In diesem Fall liefert die Mustererzeugungsvorrichtung 20 jedem
Zähler 76 ein
Betriebssignal, um den Zähler 76 zu
jedem Zeitpunkt zählen
zu lassen, bei dem das Abtastsignalbündel-Erzeugungsgerät 40 das
Abtastsignalbündel erzeugt.
Die Histogrammerzeugungseinheit 50 erzeugt ein Histogramm
des Änderungspunktes
des Wertes des Taktsignals entsprechend dem Zählergebnis jedes Zählers 76.
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Das
Jitterbeschaffungsmodul 52 misst das Jitter des Taktsignals
auf der Grundlage des Histogramms, das von der Histogrammerzeugungseinheit 50 erzeugt
wird. Beispielsweise misst das Jitterbeschaffungsmodul 52 das
Jitter des Taktsignals auf der Grundlage des Zeitpunktes des Abtastsignals, bei
dem das Zählergebnis
des entsprechenden Zählers 76 größer als
ein vor bestimmter Schwellenwert ist.
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Wie
oben beschrieben ist es entsprechend dem Jittermessgerät des vorliegenden
Beispiels nicht notwendig, das Taktsignal viele Male zu messen,
um einen Änderungspunkt
zu erkennen, da ein Änderungspunkt
des Wertes jedes Taktsignals von dem Abtastsignalbündel detektiert
wird. Somit ist es möglich,
dramatisch die Zeit zu reduzieren, um das Jitter zu messen. Da weiterhin
ein Änderungspunkt aus
einem Taktsignal detektiert wird, ist es möglich, den Änderungspunkt genau zu erkennen.
Somit ist es möglich,
das Jitter des zu messenden Signals genau zu messen. Außerdem kann
das Testgerät 100 die
Gut/Schlecht-Erkennung der elektronischen Vorrichtung 200 genau
bestimmen.
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4 zeigt
ein weiteres Beispiel des Aufbaus des Jittermessgeräts 40-1 im
Detail. Das Jittermessgerät 40-1 entsprechend
dem vorliegenden Beispiel ist unterschiedlich zu dem Messgerät 40-1,
das in Bezug auf 3 beschrieben wurde, in dem
Aufbau der Histogrammerzeugungseinheit 50. Andere Element
sind die gleichen, wie die des Messgeräts 40-1, die in Bezug
auf 3 hinsichtlich Funktionsweise und Aufbau beschrieben
wurden.
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Die
Histogrammerzeugungseinheit 50 entsprechend dem vorliegenden
Beispiel umfasst ein Änderungspunktspeicher 78 zum
Speichern des Erkennungsergebnisses der Änderungspunkterkennungseinheit 48,
die von der Auswahlvorrichtung 74 ausgewählt wird.
Der Änderungspunktspeicher 78 wird
mit einem Betriebssignal für
den Befehl zum Speichern des Erkennungsergebnisses beliefert. Die Histogrammerzeugungseinheit 50 kann
weiterhin Mittel zum Erzeugen eines Histogramms des Änderungspunktes
des Wertes des Taktsignals auf der Grundlage des Erkennungsergebnisses,
das in dem Änderungspunktspeicher 78 gespeichert
ist, umfassen. Das Jitterbeschaffungsmodul 52 beschafft
das Jitter des Taktsignals auf der Grundlage des Histogramms.
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5 zeigt
ein Beispiel eines von der Histogrammerzeugungseinheit 50 erzeugten
Histogramms. Wie in 5 gezeigt wird, erzeugt die
Histogrammerzeugungseinheit 50 ein Histogramm zum Zeigen
eines Ergebnisses des Zählens,
bei dessen Abtastsignal jedes Abtastsignalbündels ein Änderungspunkt des Taktsignals
detektiert wird.
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Das
Jitterbeschaffungsmodul 52 beschafft das Jitter des Taktsignals
auf der Grundlage des Histogramms, das von der Histogrammerzeugungseinheit 50 erzeugt
wird. Beispielsweise kann das Jitter des Taktsignals auf der Grundlage
des Zeitpunktes der Abtastsignale zum Detektieren des Änderungspunktes
beschafft werden. Außerdem
kann, wie in 5 gezeigt wird, das Jitter des
Taktsignals auf der Grundlage des Zeitpunktes des Abtastsignals
beschafft werden, wobei die Anzahl von Malen, bei der der Änderungspunkt
detektiert wird, größer als
ein Schwellenwert TH ist.
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Weiterhin
kann das Jitterbeschaffungsmodul 52 eine Verteilung des
Jitters des Taktsignals auf der Grundlage des Histogramms analysieren.
Außerdem können das
Jitter der Richtung der positiven Phase und das Jitter der Richtung
der negativen Phase auf der Grundlage einer idealen Position der
Flanke des Taktsignals gemessen werden.
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6 ist
ein Flussdiagramm, das ein Beispiel für die Funktionsweise des Jittermessgeräts 40 zeigt.
Im Falle des Messens eines Jitters eines Ausgangssig nals, das von
der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegeben wird, liefert
zuerst das Testgerät
ein Testmuster an die elektronische Vorrichtung 200 (S300).
Dann wird ein von der elektronischen Vorrichtung 200 entsprechend
dem Testmuster ausgegebenes Ausgangssignal an das Jittermessgerät 40 geliefert
(S302).
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Dann
detektiert die Werterkennungseinheit 46 einen Wert des
Ausgangssignals durch das Abtastsignalbündel (S304). Dann detektiert
die Änderungspunkterkennungseinheit 48 einen Änderungspunkt
des Wertes des Ausgangssignals auf der Grundlage des Wertes des
Ausgangssignals, das von der Werterkennungseinheit 46 detektiert
wurde (S306). Dann zählt
der Zähler 76 der
Histogrammerzeugungseinheit 50, wie oft der Änderungspunkt
für jeden Änderungspunkt
des Wertes des Ausgangssignals detektiert wurde. Hier wird der Prozess
von S302 bis S308 eine vorbestimmte Anzahl von Malen wiederholt
und der Änderungspunkt
des Wertes des Ausgangssignals eine Mehrzahl von Malen.
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Dann
wird das Liefern des Testmusters (S310) an die elektronische Vorrichtung 200 gestoppt und
die Anzahl von Malen, bei der der Änderungspunkt von jedem Zähler 76 gezählt wird,
wird wiedergewonnen (S312). Hier wird S312 wiederholt, bis alle die
Zähler 76 die
Anzahl von Malen wiedergewinnen, bei der der Änderungspunkt gezählt wird.
Dann wird auf der Grundlage der wiedergewonnenen Anzahl von Malen
der Änderungspunkt
gezählt,
ein Histogramm der Position des Änderungspunktes
des Wertes des Ausgangssignals wird erzeugt (S314). Das Testgerät 100 analysiert
das Jitter des Ausgangssignals auf der Grundlage des in Schritt
S314 erzeugten Histogramms.
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Obwohl
das vorliegende Beispiel ein Beispiel der Be triebsweise des Jittermessgeräts 40 beschreibt,
das in Bezug auf 3 beschrieben wurde, führt das
Jittermessgerät 40,
das in Bezug auf 4 beschrieben wurde, die gleichen
Operationen durch.
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Obwohl
die vorliegende Erfindung mittels beispielhafter Ausführungsbeispiele
beschrieben wurde, sei es verstanden, dass die Fachleute viele Änderungen
und Ersetzungen durchführen
können, ohne
den Geist und den Schutzbereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen,
der nur durch die beigefügten
Ansprüche
definiert ist.
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Gewerbliche
Anwendbarkeit
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Wie
aus der obigen Beschreibung offensichtlich ist, ist es entsprechend
dem Jittermessgerät
der vorliegenden Erfindung möglich,
das Jitter eines zu messenden Signals bei hoher Geschwindigkeit
und genau zu detektieren. Außerdem
ist es entsprechend dem Testgerät
möglich,
eine elektronische Vorrichtung genau zu testen.
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Zusammenfassung
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Es
wird ein Jittermessgerät
zum Messen des Jitters eines Ausgangssignals, das von einer elektronischen
Vorrichtung ausgegeben wird, vorgeschlagen, bei dem das Jittermessgerät umfasst:
einen Abtastsignalbündel-Erzeugungskreis
zum Erzeugen eines Abtastsignalbündels
mit mehr als drei (3) Abtastsignalen ein Mehrzahl von Malen synchron
mit dem Ausgangssignal, das eine Mehrzahl von Malen von der elektronischen
Vorrichtung ausgegeben wird, eine Werterkennungseinheit zum Erkennen
eines Wertes des Ausgangssignals bei jedem Abtastsignal des Abtastsignalbündels, das
eine Mehrzahl von Malen von dem Abtastbündel-Erzeugungskreis erzeugt wird, eine Änderungspunkterkennungseinheit
zum Erkennen der Position eines Änderungspunktes
des Wertes jedes Ausgangssignals auf der Grundlage des Wertes des
Ausgangssignals, das von der Werterkennungseinheit erkannt wurde
und eine Histogrammerzeugungseinheit zum Zählen, wie oft die Änderungspunkterkennungseinheit
den Änderungspunkt
an jeder Position des Änderungspunktes
des Wertes des Ausgangssignals detektiert.
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