CN113167389A - 滑动部件 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种滑动部件，能够防止异物对动压产生槽的滞留，长期实现低泄漏、高寿命以及低转矩。滑动部件1具备用于在滑动面S1产生动压的动压产生槽4，动压产生槽4具备：导入口40a，由该动压产生槽4的周向一端侧向被密封流体H侧开口而成；节流部41，其与导入口40a导通，对流路进行节流；以及导出口40b，与节流部41导通，由动压产生槽4的周向另一端侧向被密封流体H侧开口而成。

Description

滑动部件
技术领域
本发明例如涉及机械密封、轴承或其它具有滑动面的滑动部件。
背景技术
对于滑动部件，其性能往往通过泄漏量、摩耗量以及转矩来评价。在现有技术中，使滑动面夹着流体来降低摩擦，同时防止液体从滑动面漏出，或在机械密封中通过优化滑动材质或滑动面粗糙度来提高性能，实现低泄漏、高寿命以及低转矩。但是，随着人们近年来对环境问题意识的提高，就要求机械密封性能进一步地提高。作为与机械密封有关的以往的发明，有的是在作为滑动部件的旋转环的滑动面设置动压产生槽而成的(例如参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平4-73号公报(第2页，图17)。
这样的机械密封在静止时不泄漏，包括旋转初期旋转时以流体润滑动作并且防止泄漏，低摩擦同时兼顾密封和润滑。作为该低摩擦化的方法是在滑动面形成动压产生槽，通过旋转使得浸入滑动面的动压产生槽的流体产生正压，由此在滑动面夹着液膜的状态下滑动来实现的。然而，在这种机械密封中，存在异物与高压侧的被密封流体一起侵入动压产生槽，附着以及滞留之虞，由于该异物，存在滑动面得不到充分动压，损伤滑动面，耐用性劣化之虞。
发明内容
本发明是着眼于这样的问题点而完成的，其目的在于提供一种滑动部件，能够防止异物对动压产生槽的滞留，长期实现低泄漏、高寿命以及低转矩。
为了解决所述课题，本发明的滑动部件具备用于在滑动面产生动压的动压产生槽件，
所述动压产生槽具备：导入口，其由该动压产生槽的周向一端侧向被密封流体侧开口而成；节流部，其与所述导入口导通，对流路进行节流；以及导出口，其与所述节流部导通，由所述动压产生槽的周向另一端侧向被密封流体侧开口而成。
由此，因为动压产生槽的导出口向被密封流体侧导通，所以能够通过导出口，使从导入口侵入动压产生槽的异物向被密封流体侧排出，能够防止异物对动压产生槽的滞留，实现长期低泄漏、高寿命以及低转矩。
也可以是，所述动压产生槽在所述滑动面的周向配设有多个，相邻的一个动压产生槽的所述导出口和另一个动压产生槽的所述导入口导通。
由此，能够使一个动压产生槽与另一个动压产生槽导通，提高被密封流体所含的异物的流动性。
也可以是，所述多个动压产生槽遍布所述滑动面的整周环状地导通。
由此，从导入口侵入环状形成的动压产生槽的异物一边在动压产生槽中环状循环一边从任意导出口排出，因此异物难以在动压产生槽内滞留。
也可以是，所述动压产生槽在所述滑动面的周向配设有多个，相邻的动压产生槽相互在周向分离。
由此，能够通过多个动压产生槽提高润滑性，通过这些动压产生槽彼此的分离部分来维持密封性。
也可以是，所述导入口形成于比所述节流部深的深槽。
由此，从形成于深槽的导入口朝向节流部导入大量的被密封流体。
也可以是，所述导出口形成于比所述节流部深的深槽。
由此，通过形成于深槽的导出口来发挥压力释放槽的效果，易于导出被密封流体以及被密封流体所含的异物。
也可以是，所述导入口、所述节流部以及所述导出口以相同深度形成。由此，能够使从导入口侵入的异物顺畅地排出到导出口。
也可以是，所述动压产生槽具有多个所述导出口。
由此，易于从导入口侵入的异物经过多个导出口排出。
也可以是，所述节流部朝向所述导出口从所述滑动面的内径侧向外径侧弯曲形成。
由此，滑动时易于通过离心力从导出口排出被密封流体以及被密封流体所含的异物。
附图说明
图1是表示适用本发明的实施例1的滑动部件的机械密封的截面图。
图2是表示具备实施例1的动压产生槽的滑动面的正视图。
图3是表示具备实施例1的动压产生槽的滑动部件的立体图。
图4是表示具备本发明的实施例2的滑动部件的动压产生槽的滑动面的正视图。
图5是图4的a-a截面图。
图6是表示具备本发明的实施例3的滑动部件的动压产生槽的滑动面的正视图。
图7是表示具备本发明的实施例4的滑动部件的动压产生槽的滑动面的正视图。
图8是表示具备本发明的实施例5的滑动部件的动压产生槽的滑动面的正视图。
图9是表示具备本发明的实施例6的滑动部件的动压产生槽的滑动面的正视图。
图10是表示具备本发明的实施例7的滑动部件的动压产生槽的滑动面的正视图。
图11是表示具备本发明的实施例8的滑动部件的动压产生槽的滑动面的正视图。
具体实施方式
基于实施例，在下面说明用于实施本发明所涉及的滑动部件的方式。
实施例1
针对实施例1所涉及的滑动部件，参照图1至图3，来进行说明。此外，在本实施例中，将图1的纸面右侧作为大气侧，将纸面左侧作为设备内侧，来进行说明。
如图1所示，本实施例的滑动部件1是机械密封10中的旋转密封环11和固定密封环12，设于未图示的泵、压缩机等旋转机械的旋转轴2与固定于该旋转机械壳体的密封罩3之间。机械密封10由静止侧元件和旋转侧元件构成，静止侧元件具有固定于密封罩3的圆环状的固定密封环12，旋转侧元件与旋转轴2一起旋转。使固定密封环12的滑动面S1和旋转密封环11的滑动面S2相互贴紧滑动，对设备内高压流体侧(以下，称为“高压流体H侧”)的被密封流体进行轴封，以便消除向大气A侧的泄漏。此外，机械密封10作为作用于固定密封环12以及旋转密封环11的被密封流体的压力平衡在轴向两侧固定的平衡型机械密封而构成。
固定密封环12以及旋转密封环11代表性地以以SiC(硬质材料)彼此或SiC(硬质材料)和碳(软质材料)的组合而形成，但是不限于此，滑动材料只要能够作为机械密封用滑动材料而使用即可。其中，作为SiC，以硼、铝、碳等为烧结助剂的烧结体为代表，存在成分、组分不同的2种类以上相所构成的材料，例如存在分散了石墨(graphite)颗粒的SiC、SiC和Si构成的反应烧结SiC、SiC-TiC、SiC-TiN等，作为碳，以碳和石墨混合而成的碳为代表，能够利用树脂成形碳、烧结碳等。另外，除了上述滑动材料以外，还能够适用金属材料、树脂材料、表面改性材料(涂覆材料)或复合材料等。
如图2所示，固定密封环12以包围旋转轴2的方式环状形成，在其滑动面S1通过表面微造型(surface texturing)等形成动压产生槽4。此外，与该固定密封环12的滑动面S1对向配置的旋转密封环11被设置成相对于固定密封环12，绕顺时针(图示箭头方向)旋转。
固定密封环12的滑动面S1具备：动压产生槽4，其沿着周向配设有多个；以及密封面M1，其在比这些动压产生槽4靠内径侧，平坦地形成。各个动压产生槽4主要具备：导通口40a，其作为导入口，向外径端开口，与流体H侧导通；导通槽46a，其从导通口40a向内径向延伸；流路部45，其与导通槽46a导通，沿着固定密封环12的周向延伸；导通槽46b，其与流路部45导通，向外径向延伸；以及导通口40b，其作为导出口，向导通槽46b的外径端开口，与流体H侧导通。另外，滑动面S1在被导通槽46a、流路部45以及导通槽46b包围而成的外径侧具备密封面L，以与前述的密封面M1相同高度形成。
流路部45具备从导通槽46a侧沿着周向朝向导通槽46b侧宽度慢慢变窄的节流部41。详细而言，由固定密封环12的外径侧的外壁部42、固定密封环12的内径侧的内壁部43以及平坦并且与密封面M1平行形成的底面部44构成，相对于以与固定密封环12同芯的圆弧状沿着周向延伸的外壁部42，内壁部43沿着周向逐渐与外径侧接近，由此来形成宽度狭窄的节流部41。流路部45的底面部44到到达节流部41为止，以比导通槽46a的底面浅的一定深度的平坦面形成。另外，导通槽46a是比流路部45的底面部44深的深槽，在导通槽46a与流路部45的底面部44的分界处形成台阶部47a。进一步地，导通槽46b成为比流路部45的底面部44深的深槽，在导通槽46b与流路部45的底面部44的分界处形成台阶部47b。
如图2所示，通过上述节流部41，流路部45的出口附近的径向宽度N2与流路部45的入口附近的径向宽度N1相比，宽度狭窄。由此，相对于旋转密封环11滑动时，从与高压流体H侧导通的导通口40a流入的被密封流体由于节流部41而压力慢慢变高，在固定密封环12的滑动面S1与旋转密封环11的滑动面S2之间，产生正压。
另外，在滑动面S1沿着周向配设的多个动压产生槽4全部是相同构成和形状，同时上述动压产生槽4中作为导入口的导通口40a作为在该动压产生槽4的上游侧相邻的动压产生槽4的导出口而构成。另外，上述动压产生槽4中作为导出口的导通口40b作为在该动压产生槽4的下游侧相邻的动压产生槽4的导入口而构成。
这样，相邻的动压产生槽4彼此的导入口和导出口在导通的状态下依次配设，由此多个动压产生槽4遍布滑动面S1的整周环状地导通。
动压产生槽4通过节流部41产生正压，在滑动面S1与滑动面S2的滑动面之间形成液膜，提高润滑性，但是密封面M1是平坦地形成的，因此即便动压产生槽4产生正压，也能够保持滑动面S1的液密性。
如图2、3所示，通过滑动面S1和滑动面S2的滑动而流入导通口40a的被密封流体从比流路部45的底面部44深槽的导通槽46a，越过台阶部47a，流入流路部45。在流路部45中，通过节流部41而慢慢提高了正压，但是是以使正压变高了的被密封流体导出到导通槽46b的方式，来形成台阶部47b，因此移动到导通槽46b的被密封流体成为其压力被释放了的状态，自导通口40b排出到高压流体H侧。另外，以流路部45的内壁部43朝向外壁部42接近的方式形成流路截面被逐渐压缩的节流部41，因此易于通过离心力从导通口40b排出。
此时，在导通槽46b内，产生通过动压产生槽4的流路部45正压被释放了的被密封流体想要向流体H侧(设备内侧)流出的流动、和作为在下游侧相邻的动压产生槽4的导入口从流体H侧(设备内侧)想要向导通槽46b流入的被密封流体的对流，流动性提高了。由此，导通槽46b使被密封流体所含的异物积极流动，易于导出到高压流体H侧。另外，不仅限于导通槽46b，构成在周向配设有多个的动压产生槽4的导通槽46a～46h也发挥同样的效果。即，在动压产生槽4排出被密封流体的导通槽46b还在与其相邻的动压产生槽4中兼任体H的导入口。这样，在固定密封环12的滑动面S1，能够使动压产生槽4遍布整周以环状形成。
另外，如图2、3所示，实施例1中的固定密封环12因为在周向配设有多个的动压产生槽4遍布整周以环状导通，所以即便异物从导通口40a侵入了，也能够在以环状形成的动压产生槽4内循环，从而不会在动压产生槽内滞留而是流动的，最终会从任意导通口40a～40h向高压流体H侧排出。
这样，因为动压产生槽4的导出口向高压流体H侧导通，所以能够通过导出口使从导入口侵入动压产生槽4的异物向高压流体H侧排出，因为防止了异物对动压产生槽4的滞留或堆积，所以能够长期实现低泄漏、高寿命以及低转矩。
另外，在本实施例中，在节流部41，以内壁部43沿着周向朝向导通口40b逐渐与外径侧的外壁部42接近的方式，从内径侧向外径侧弯曲形成，因此对被密封流体以及被密封流体所含的异物作用离心力，易于排出到外径侧的高压流体H侧。
另外，动压产生槽4在滑动面S1的周向配设有多个，作为相邻的一个动压产生槽4的导出口的导通口40b和作为另一个动压产生槽4的导入口的导通口40b是相同的，因此能够使一个动压产生槽4与另一个动压产生槽4导通，提高被密封流体所含的异物的流动性。此外，相邻的一个动压产生槽4的导出口和另一个动压产生槽4的导入口也可以在导通状态下并列设置。
另外，多个动压产生槽4遍布滑动面S1的整周环状地配设，因此从作为导入口的导通口侵入环状地形成的动压产生槽4的异物一边在动压产生槽4中环状循环，一边从作为导出口的任意导通口排出，因此异物难以在动压产生槽4内滞留。
另外，作为导入口的导通口40a形成于比流路部45的节流部41中的底面部44的深度深的深槽，因此能够从在深槽形成的导通口40a朝向节流部41导入大量的流体。
另外，作为导出口的导通口40b形成于比流路部45的节流部41的底面部44的深度深的深槽，因此通过在深槽形成的导通口40b来发挥压力释放槽的效果，易于导出被密封流体以及该流体所含的异物。
实施例2
下面，针对本发明所涉及的滑动部件的实施例2，参照图4、5来进行说明。此外，针对与所述实施例1所示构成部分同一构成部分，标注同一符号而省略重复的说明。
如图4所示，在固定密封环12的滑动面S1形成的动压产生槽14，对于与作为导入口的导通口140a导通的流路部145，外壁部142和内壁部143分别与固定密封环12同芯圆弧状地形成，且在径向以等间隔分离形成。另外，本实施例2的底面部144，形成为从上游侧朝向下游侧从下表面向上表面以一定角度倾斜的底面部144，由此遍布流路部145的整体朝向周向形成流路断面被逐渐缩窄的节流部141。
图5是流路部145中的侧部截面图，相对于从作为导入口的导通槽146a侧的滑动面S1到底面部144的底面的深度T1，从作为导出口的导通槽146b侧的滑动面S1到底面部144的底面的深度T2变浅。即，随着从深度T1朝向深度T2，流路部145的流路截面积逐渐变小。这样，滑动时从导通槽146a流入的被密封流体越过台阶部147a，而移动到流路部145的下游侧即导通槽146b侧，随之，来提高正压。之后，越过台阶部147b，从导通槽146b的导通口140b向高压流体H侧排出。
这样，通过遍布流路部145的整体形成节流部141，由此能够提高正压产生效果。另外，节流部141通过向一定角度倾斜的底面部144而形成，由此能够得到均匀且稳定的正压产生效果。
实施例3
下面，针对本发明所涉及的滑动部件的实施例3，参照图6来进行说明。此外，针对与所述实施例1、2所示的构成部分同一构成部分，标注同一符号而省略重复的说明。
如图6示，在固定密封环12的滑动面S1形成的动压产生槽24，对于与作为导入口的导通口240a导通的流路部245，外壁部242和内壁部243沿着周向，从固定密封环12的内径侧朝向外径侧弯曲形成。另外，在流路部245的下游侧的外径端，作为导出口的导通口240b开口形成。外壁部242和内壁部243沿着周向随着朝向导通口240b而逐渐接近，由此作为节流部241形成。
另外，流路部245的底面部244到到达节流部241以及导通口240b为止，以比导通槽46a的底面浅的一定深度的平坦面形成。
另外，本实施例3的动压产生槽24在固定密封环12的滑动面S1沿着周向配设有多个，相邻的动压产生槽24的导入口和导出口相互在周向分离，该部分作为密封面M2形成。
从图6所示的导通口240a流入的被密封流体，越过台阶部247a，流入流路部245。流入流路部245的被密封流体，由于通过外壁部242和内壁部243而形成的节流部241，因此正压变高。之后，从导通口240b向高压流体H侧排出。
本实施例的相邻的动压产生槽24彼此相互在周向分离，由此能够通过多个动压产生槽24来提高润滑性，并且这些动压产生槽24彼此的分离部分能够作为密封面M2来维持密封性。
另外，在本实施例中，对于节流部241、外壁部242以及内壁部243沿着周向朝向导通口240b从内径侧向外径侧弯曲形成，因此对被密封流体以及被密封流体所含的异物发挥离心力，易于排出到外径侧的高压流体H侧。此外，在节流部241中，外壁部242以及内壁部243从滑动面的外径侧朝向内径侧分别以凸状地弯曲形成节流部241，由此离心力易于发挥作用。
实施例4
下面，针对本发明所涉及的滑动部件的实施例4，参照图7来进行说明。此外，针对与所述实施例1～3所示的构成部分同一构成部分，标注同一符号而省略重复的说明。
如图7所示，在固定密封环12的滑动面S1形成的动压产生槽34，对于与作为导入口的导通口340a导通的流路部345，外壁部342和内壁部343沿着周向以与固定密封环12同心的圆弧状沿着周向延伸。另外，流路部345的下游侧朝向作为向外径端开口的导出口的导通口340b弯折而向外径向延伸，在周向作为狭隘的节流部341形成。即，节流部341以及导通口340b的周向宽度比具备导通口340a的导通槽346a宽度狭窄地形成。另外，流路部345的底面部344到到达节流部341以及导通口340b为止，以比导通槽346a的底面浅的一定深度的平坦面形成。
另外，本实施例4的动压产生槽34在固定密封环12的滑动面S1沿着周向配设有多个，相邻的动压产生槽34的导入口和导出口相互在周向分离，该部分作为密封面M2形成。
从图7所示的导通口340a流入的被密封流体越过台阶部347a，流入流路部345。流入流路部345的被密封流体由于从流路部345沿着径向弯折的狭隘节流部341而正压变高。之后，从导通口340b向高压流体H侧排出。
本实施例的相邻的动压产生槽34彼此相互在周向分离，由此能够通过多个动压产生槽34来提高润滑性，这些动压产生槽34彼此的分离部分能够作为密封面M2来维持密封性。
实施例5
下面，针对本发明所涉及的滑动部件的实施例5，参照图8来进行说明。此外，针对与所述实施例1～4所示的构成部分同一构成部分，标注同一符号而省略的重复说明。
如图8所示，在固定密封环12的滑动面S1形成的动压产生槽94中，对于与作为导入口的导通口440a导通的流路部445，外壁部442和内壁部443沿着周向，从固定密封环12的内径侧朝向外径侧弯曲形成，在流路部445的下游侧外径端，开口形成作为导出口的导通口440b。外壁部442和内壁部443沿着周向随和朝向导通口440b而逐渐接近，由此作为节流部441形成。动压产生槽94的作为导入口的导通口440a与作为导出口的导通口440b，在周向宽度变宽相当程度地形成。
另外，流路部445的底面部444到到达导通口440a、节流部441以及导通口440b为止，以一定深度的平坦面形成。
另外，本实施例5的动压产生槽94在固定密封环12的滑动面S1沿着周向配设有多个，相邻的动压产生槽94的导入口和导出口相互在周向分离，该部分作为密封面M2形成。
从图8所示的导通口440a流入流路部445的被密封流体由于通过外壁部442和内壁部443而形成的节流部441而正压变高。之后，从导通口440b向高压流体H侧排出。
本实施例的相邻的动压产生槽94彼此相互在周向分离，由此能够通过多个动压产生槽94来提高润滑性，并且这些动压产生槽94彼此的分离部分能够作为密封面M2来维持密封性。
另外，在本实施例中，在节流部441，外壁部442以及内壁部443沿着周向朝向导通口440b从内径侧向外径侧弯曲形成，因此对被密封流体以及被密封流体所含的异物作用离心力，易于向外径侧的高压流体H侧排出。此外，在节流部441、外壁部442以及内壁部443从滑动面的外径侧朝向内径侧分别凸状地弯曲来形成节流部441，由此易于作用离心力。
实施例6
下面，针对本发明所涉及的滑动部件的实施例6，参照图9来进行说明。此外，针对与所述实施例1～5所示的构成部分同一构成部分，标注同一符号而省略重复的说明。
如图9所示，在固定密封环12的滑动面S1形成的动压产生槽54，与作为导入口的导通口540a导通的流路部545具备从导通槽546a侧沿着周向朝向导通槽546b侧，宽度慢慢地狭窄的节流部541，进一步地，与作为导出口的导通口540b导通。节流部541相对于与固定密封环12同芯的圆弧状沿着周向延伸的外壁部542，内壁部543沿着周向逐渐向外径侧接近，由此形成宽度狭窄的节流部541。
另外，上述动压产生槽54中作为导入口的导通口540a作为在该动压产生槽54的上游侧相邻的动压产生槽54的导出口而构成。另外，上述动压产生槽54中作为导出口的导通口540b作为在该动压产生槽54的下游侧相邻的动压产生槽54的导入口而构成。
这样，相邻的动压产生槽4彼此的导入口和导出口在导通状态下依次配设，由此多个动压产生槽4遍布动面S1的整周环状地导通。
下面，在周向配设有多个的导通槽546a、导通槽546b等全部的内径端彼此通过深度与这些导通槽相同的环状槽547，环状地连续形成。
另外，导通口540c比环状槽547进一步向内径侧延伸设置，并且与比该导通口540c浅的负压产生槽55导通。负压产生槽55从导通口540c朝向上游侧沿着周向延伸设置，在绕回的跟前侧，周向的端面55a作为与滑动面S1的台阶部而形成。
这样，多个动压产生槽54遍布滑动面S1的整周环状地配设，由此从作为导入口的导通口540a、540b等侵入环状地形成的动压产生槽54的异物一边在动压产生槽54中环状地循环，一边自作为导出口的任意导通口540b、540c等排出，由此异物难以滞留在动压产生槽54内。
另外，通过形成与在周向配设有多个的导通槽全部导通的环状槽547，不仅易于导入流体H侧的被密封流体以及导出到流体H侧，还能够提高该被密封流体所含的异物的流动性。
动压产生槽54通过节流部541在滑动面S1的外径侧产生正压，稍微扩大与滑动面S2的间隔，在这些滑动面之间形成液膜，从而来提高润滑性。另外，负压产生槽55在滑动面S1的内径侧产生负压，此时会缩窄与滑动面S2的间隔，从而来提高这些滑动面之间的液密性。
另外，在本实施例中，在节流部541，以内壁部543沿着周向朝向导通口540b逐渐与外壁部542接近的方式，来从内径侧向外径侧弯曲形成，由此对被密封流体以及被密封流体所含的异物作用离心力，以便易于排出到外径侧的高压流体H侧。
实施例7
下面，针对本发明所涉及的滑动部件的实施例7，参照图10来进行说明。此外，针对与所述实施例1～6所示的构成部分同一构成部分，标注同一符号来省略重复的说明。
如图10示，在固定密封环12的滑动面S1形成的动压产生槽64中，与作为导入口的导通口640a导通的流路部645具备从导通槽646a侧沿着周向朝向导通槽646b侧，宽度慢慢地狭窄的节流部641，与还作为导出口的导通口640b导通。节流部641相对于与固定密封环12同芯的圆弧状沿着周向延伸的内壁部643，外壁部644沿着周向逐渐与内径侧接近，由此来形成宽度狭窄的节流部641。
另外，流路部645具备在比节流部641靠上游侧向外径侧分叉，向外径端开口并作为其它导出口的导通口65。导通口65的截面积小于沿着周向延伸的流路部645，更优选形成得小于节流部641。
这样，动压产生槽64作为导出口具有导通口640b以及导通口65，由此易于通过这些多个导通口640b、导通口65从排出从导入口侵入的异物。
实施例8
下面，针对本发明所涉及的滑动部件的实施例8，参照图11来进行说明。此外，针对与所述实施例1～7所示的构成部分同一构成部分，标注同一符号而省略重复的说明。
如图11所示，在形成于固定密封环12的滑动面S1的动压产生槽74，与作为导入口的导通口640a导通的流路部745还具备从导通槽646a侧沿着周向朝向导通槽646b侧，宽度慢慢地狭窄的节流部641，与还作为导出口的导通口640b导通。
另外，流路部745具备多个在比节流部641靠上游侧在周向多个部位向外径侧分叉，向外径端开口并作为其它导出口的导通口75。导通口75的截面积小于沿着周向延伸的流路部745，更优选形成得小于节流部641。
这样，动压产生槽74作为导出口，具有导通口640b以及多个导通口75，由此易于经由这些多个导通口640b、导通口75排出从导入口侵入的异物。
以上，基于附图对本发明的实施例进行了说明，但是具体构成不限于这些实施例。
例如，所述实施例的动压产生槽被配备在固定密封环12的滑动面S1中，但是不限于此，例如动压产生槽也可以配备在旋转密封环11的滑动面S2中。
另外，针对密封环的外径侧为高压流体H的情况进行了说明，但是密封环的内径侧也可以是作为被密封流体的流体H，该情况下，作为具备导通口40a～40h与内径侧的流体H导通的动压产生槽4的滑动部件1而构成。
另外，在所述实施例中，针对使动压产生槽导入以及导出的被密封流体为高压侧的流体H的情况进行了说明，但是不限于此，被密封流体也可以是低压侧的流体。
符号说明
1、滑动部件；2、旋转轴；3、密封罩；4、动压产生槽；10、机械密封；11、旋转密封环；12、固定密封环；40a～40h、导通口(导入口，导出口)；41、节流部；45、流路部；46a～46h、导通槽；14、动压产生槽；140a，140b、导通口(导入口，导出口)；141、节流部；24、动压产生槽；240a，240b、导通口(导入口，导出口)；241、节流部；34、动压产生槽；340a，340b、导通口(导入口，导出口)；341、节流部；44、动压产生槽；440a，440b、导通口(导入口，导出口)；441、节流部；54、动压产生槽；540a～540c、导通口(导入口，导出口)；541、节流部；64、动压产生槽；640a，640b、导通口(导入口，导出口)；641、节流部；65、导通口(导出口)；74、动压产生槽；75、导通口(导出口)。

Claims (9)

1.一种滑动部件，具备用于在滑动面产生动压的动压产生槽，其中，
所述动压产生槽具备：导入口，其由该动压产生槽的周向一端侧向被密封流体侧开口而成；节流部，其与所述导入口导通，对流路进行节流；以及导出口，其与所述节流部导通，由所述动压产生槽的周向另一端侧向被密封流体侧开口而成。
2.根据权利要求1所述的滑动部件，其中，
所述动压产生槽在所述滑动面的周向配设有多个，相邻的一个动压产生槽的所述导出口和另一个动压产生槽的所述导入口导通。
3.根据权利要求2所述的滑动部件，其中，
所述多个动压产生槽遍布所述滑动面的整周环状地导通。
4.根据权利要求1所述的滑动部件，其中，
所述动压产生槽在所述滑动面的周向配设有多个，相邻的动压产生槽相互在周向分离。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的滑动部件，其中，
所述导入口形成于比所述节流部深的深槽。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的滑动部件，其中，
所述导出口形成于比所述节流部深的深槽。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的滑动部件，其中，
所述导入口、所述节流部以及所述导出口以相同深度形成。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的滑动部件，其中，
所述动压产生槽具有多个所述导出口。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的滑动部件，其中，
所述节流部朝向所述导出口从所述滑动面的内径侧向外径侧弯曲形成。
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