WO2004102798A1

WO2004102798A1 - 弾性表面波分波器

Info

Publication number: WO2004102798A1
Application number: PCT/JP2004/004782
Authority: WO
Inventors: Norio Taniguchi; Yasunori Kishimoto; Mitsuyoshi Hira
Original assignee: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Priority date: 2003-05-14
Filing date: 2004-04-01
Publication date: 2004-11-25
Also published as: JP4270206B2; CN100472963C; CN1720659A; US20040227585A1; JPWO2004102798A1; JP2008245310A

Abstract

　送信側通過帯域及び受信側通過帯域よりも高周波側における減衰量を改善することができ、かつ小型化を図ることが可能な弾性表面波分波器を提供する。アンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタを有し、送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタがパッケージ材に搭載されている弾性表面波分波器であって、送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタに接続されており、かつ少なくとも送信側通過帯域及び受信側通過帯域よりも高周波側に２つのトラップ減衰極を有する高周波素子がさらに備えられている、弾性表面波分波器。

Description

弾性表面波分波器

技術分野

本発明は、例えば携帯電話機のような無線通信装置に用いられる弾性表面波分波器に関し、より詳細には、通過帯域よりも高域側において生明

じる高調波を抑圧する構成が備えられた弾性表面波分波器に関する。田

背景技術

書

携帯電話機では、送信側の信号と、受信側の信号とを分離するために弾性表面波分波器が用いられている。ここでは、送信側周波数の 2倍波及び 3倍波の抑圧が求められている。

特開平 9一 9 8 0 4 6号公報には、このような要求を満たすために、弾性表面波分波器において、ローパスフィルタが接続されている回路構成が開示されている。図 2 0は、特開平 9一 9 8 0 4 6号公報に記載の弾性表面波分波器の回路構成を示す図である。弾性表面波分波器 2 0 1 では、アンテナに接続される共通信号端子 2 0 2に、送信側弾性表面波フィルタ 2 0 3及び受信側弾性表面波フィルタ 2 0 4が接続されている。また、共通信号端子 2 0 2と、送信側弾性表面波分波器 2 0 3との間に第 1のローパスフィルタ 2 0 5が接続されており、共通信号端子 2 0 2 と受信側弾性表面波フィルタ 2 0 4との間に第 2のローパスフィルタ 2 0 6が接続されている。

ローパスフィルタ 2 0 5， 2 0 6は、並列コンデンサ C I , C 2と、直列に接続されたィンダクタ Lとを有する。

特開平 9— 9 8 0 4 6号公報に記載のローパスフィルタを用いる方法の他、従来、オープンスタブやショートスタブを用いてトラップを構成し、それによつて送信側周波数の 2倍波や 3倍波の減衰量を改善する技術が知られている。

他方、特開平 1 1— 6 8 5 1 2号公報には、弹性表面波装置を構成している圧電基板上に容量素子を構成する方法の一例が開示されている。図 2 1は、この弾性表面波装置 2 1 1を示す模式的平面図である。弾性表面波装置 2 1 1では、圧電基板上に弾性表面波フィルタ 2 1 3， 2 1 4が構成されている。そして、インピーダンス整合を図るための容量素子 2 1 5が同じく圧電基板 2 1 2上に形成されている。容量素子 2 1 5 は、図示のように、櫛形電極により構成されており、かつ該櫛形電極の電極指が並ぶ方向が、弾性表面波フィルタ 2 1 3， 2 1 4における表面波伝搬方向に対して 9 0度回転された方向とされている。

また、特開平 5— 1 6 7 3 8 8号公報には、弹性表面波分波器において、相対的に周波数が高い弾性表面波フィルタとアンテナ側共通端子との間に、ガラスエポキシ基板やセラミック基板上に金属ストリップラインを形成することにより構成されたィンダクタンス Lが接続されている。このインダクタンス Lは、位相回転用素子であり、インダクタンスの接続されている側の弾性表面波フィルタの低周波数側の減衰域高ィンピ一ダンス化を図るように作用するとされている構造が開示されている。特開平 9一 9 8 0 4 6号公報に記載の弾性表面波分波器 2 0 1では、並列コンデンサ C 1， C 2及ぴ直列に接続されたインダクタ Lからなる口一パスフィルタ 2 0 5， 2 0 6を送信側弾性表面波フィルタ 2 0 3及び受信側弾性表面波フィルタ 2 0 4の双方に接続することにより、通過帯域よりも高周波側の減衰量が全体的に改善されている。そのため、送信側周波数の 2倍波及び 3倍波だけでなく、高周波側の減衰量が全体的に改善されるため、挿入損失が大きくなるという問題があった。他方、上述したオープンスタブやショートスタブなどを用いたトラップ型のフィルタを弾性表面波分波器に構成した場合には、該トラップの位置を送信側周波数の 2倍波及び 3倍波の周波数位置とすることにより、揷入損失の悪化をさほど招くことなく、上記 2倍波及び 3倍波における減衰量を改善することはできる。しかしながら、オープンスタブゃショ一トスタブを用いたトラップフィルタを構成した場合、弾性表面波分波器のパッケージ内におけるトラップフィルタの占有面積が大きくなり、弾性表面波分波器の小型化が困難であった。

なお、特開平 1 1一 6 8 5 1 2号公報には、上記のように、圧電基板を用い構成された弾性表面波フィルタにおいて、弾性表面波フィルタの表面波伝搬方向に対して電極指が並ぶ方向が 9 0度回転された方向に櫛形電極を配置することにより、容量素子を構成した構造が開示されているが、容量素子 2 1 5はあくまでも弾性表面波フィルタ 2 1 3， 2 1 4の整合用素子として用いられているものにすぎない。

また、特開平 5— 1 6 7 3 8 8号公報に記載の先行技術では、弾性表面波分波器における位相回転用素子として、上記インダクタ Lが開示されているにすぎない。発明の開示

本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、送信側周波数の 2 倍波及び 3倍波における減衰量を改善することができ、しかも低損失であり、かつ小型化を図ることを可能とする弾性表面波分波器を提供することにある。

本願の第 1の発明は、アンテナ端子と、前記アンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弹性表面波フィルタが搭载されたパッケージ材と、前記送信側弾性表面波フィルタ及び前記受信側弾性表面波フィルタに接続されており、かつ送信側通過帯域よりも高周波側に 2つのトラップ減衰極を有する高周波素子とを備える、弾性表面波分波器である。

第 1の発明の弾性表面波フィルタのある特定の局面では、前記 2つのトラップ減衰極が、送信側通過帯域の 2倍波及び 3倍波もしくはその近傍に位置している。

第 1の発明に係る弾性表面波分波器のさらに他の特定の局面では、前記高周波素子が、第 1，第 2のインダクタと、第 1〜第 3の容量素子とを有し、第 1、第 2のインダクタと第 1〜第 3の容量素子とにより、 2 つの前記トラップ減衰極が構成されている。

第 1の発明に係る弾性表面波分波器のさらに他の特定の局面では、前記第 1〜第 3の容量素子が、第 1〜第 3の各共通端子に各々 2つずつの前記容量素子が共通接続された Δ型に接続されており、前記第 1の共通端子と、アース電位との間に第 1のインダクタが接続されており、前記第 2，第 3の共通端子間に、第 2のインダクタが接続されている。第 1の発明に係る弹性表面波分波器のさらに別の特定の局面では、前記第 2のィンダクタと、該第 2のィンダクタに並列に接続されている容量素子との反共振により、前記送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 2倍波もしくはその近傍に第 1のトラップの減衰極が発生され、第 1〜第 3の容量素子 Δ型接続と等価な T型接続において求められた容量と、前記第 1のィンダクタとの共振によって、前記送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 3倍波もしくはその近傍に第 2のトラップの減衰極が発生される。

本願の第 2の発明は、アンテナ端子と、前記アンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、少なくとも 1つのインダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有し、前記送信側弾性表面波フィルタ及ぴ受信側弾性表面波フィルタの一端が共振接続点で接続されており、該共振接続点と、前記アンテナ端子との間にだけ設けられた高周波素子とを備え、前記高周波素子を構成している前記インダクタが、前記パッケージ材内に形成されていることを特徴とする、弾性表面波分波器である。

第 2の発明に係る弾性表面波分波器のある特定の局面では、前記パッケージ材内に設けられた位相整合用ストリップヲインをさらに備え、前記高周波素子を構成している前記インダクタが、前記ストリップラインとパッケージ材の同一面内に形成ざれている。

第 2の発明に係る弹性表面波分波器の他の特定の局面では、前記ィンダクタが、パッケージ材内の少なくとも 2つ以上の層に渡って磁束を強め合うように配置されている。

第 2の発明に係る弾性表面波分波器のさらに他の特定の局面では、前記ストリップラインと前記インダクタの双方が、前記パッケージ材内において少なくとも 2つ以上の層に渡ってかつ同一の 2つ以上の層に渡つて形成されている。

本願の第 3の発明は、アンテナ端子と、前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、少なくとも 1つのィンダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有する高周波素子とを備え、前記容量素子が、前記送信側及びまたは受信側弾性表面波フィルタを構成している前記圧電基板上に形成された櫛形電極により構成されており、前記櫛形電極の電極指ピッチに沿う方向が、該櫛形電極が形成されている弾性表面波フィルタにおいて表面波が伝搬する方向に対して 90度回転された方向とされており、前記容量素子によって発生するリップルが、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域及び受信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 2倍波及び 3倍波並びにその近傍に位置しないことを特徴とする、弾性表面波分波器である。

第 3の発明に係る弾性表面波分波器のある特定の局面では、前記圧電基板が L i T a 0₃基板であり、前記容量素子を構成している櫛形電極における電極指の周期が下記の式（ 1 ) 〜（3) 〔但し、式（1) 〜（3) において、 f Hは、受信側弾性表面波フィルタの通過帯域の上限周波数を、 i Lは、送信側弾性表面波フィルタのフィルタの通過帯域の下限周波数を意味し、 Pは、櫛形電極の電極指ピッチ（電極指の幅と、電極指間のスペースの和）である〕のいずれかの範囲にあることを特徴とする。

5 300 / f H≥ 2 X P …式（ 1 )

6 800/f L≤ 2 XP≤ 1 6 500/ f H …式（2)

1 8 800/f L 2 XP …式（3)

第 3の発明に係る弾性表面波分波器のさらに別の特定の局面では、前記櫛形電極の電極指周期が、下記の式（4) 〜（1 2) 〔伹し、 i TL は、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の下限周波数、 ί ΤΗは、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の上限周波数、 Ρは、櫛形電極の電極指ピッチを示す。〕の範囲にある。

5 500/f H≥ 2 X P …式（4)

6 800/ f L≤ 2 X P≤ 1 6 500/ f H …式（5)

1 8800/f L≤ 2 X P …式（6)

5 500/ (2 X f TH) ≥ 2 X P …式 ( 7 ) 6 800/ ( 2 X f T L ) ≤ 2 X P≤ 1 6 500/ (2 X f TH)

…式（8)

1 8 800/ ( 2 X f T L) ≤ 2 X P …式 (9)

5 500/ ( 3 X f TH) ≥ 2 X P …式 (10) 68 00/ ( 3 X f T L) ≤ 2 X P≤ 1 6 500/ ( 3 X f TH)

…式（1 1)

1 8 800/ ( 3 X f T L) ≤ 2 X P …式 (1 2) 本願の第 4の発明は、アンテナ端子と、前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、少なくとも 1つのィンダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有する高周波素子とを備え、前記容量素子が、前記送信側及び Zまたは受信側弾性表面波フィルタを構成している圧電基板上において、第 1の電極膜と、第 2の電極膜と、第 1，第 2の電極膜間に挟持された絶縁膜とからなる積層構造を形成することにより構成されている、弾性表面波分波器である。

第 3の，第 4の発明のある特定の局面では、送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが、それぞれの独立の圧電基板を用いて構成されており、前記高周波素子を形成するための容量素子が、前記受信側弾性表面波フィルタの圧電基板に形成されている。

第 3，第 4の発明に係る弾性表面波分波器のさらに他の特定の局面では、前記高周波素子を構成している容量素子が、前記受信側弾性表面波フィルタのアンテナ端子側端部の近傍に形成されている。

第 3，第 4の発明のさらに別の特定の局面では、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが同一の圧電基板上に形成されており、前記高周波素子を構成するための前記容量素子が、受信側弾性表面波フィルタのアンテナ端子側端部の近傍に形成されている。本願の第 5の発明は、アンテナ端子と、前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、少なくとも 1つのインダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有する高周波素子とを備え、前記インダクタが、前記パッケージ t内に形成されており、前記容量素子は、前記送信側弾性表面波フィルタ及びノまたは受信側弾性表面波フィルタを構成している圧電基板に形成されていることを特徴とする、弾性表面波分波器である。

本願の第 6の発明は、アンテナ端子と、前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波ブイルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、少なくとも 1つのインダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有する高周波素子とを備え、前記パッケージ材内に設けられた位相調整用ストリップラインをさらに備え、前記ィンダクタが、前記位相調整用ストリップラインとパッケージ材内の同一の層に複数層に渡って形成されており、前記受信側弾性表面波フィルタ及ぴ送信側弾性表面波フィルタを構成している前記圧電基板が L i T a 0 ₃基板であり、前記容量素子が、圧電基板上に櫛形電極からなり、該櫛形電極の電極指を結ぶ方向が、弹性表面波フィルタにおいて表面波が伝搬する方向に対して直交する方向とされており、前記櫛形電極の電極指の周期が下記の式（1 3 ) 〜（1 5 ) 〔但し、式（1 3 ) 〜（1 5) において、 f Hは、受信側弾性表面波フィルタの通過帯域の上限周波数を、 f Lは、送信側弾性表面波フィルタのフィルタの通過帯域の下限周波数を意味し、 Pは.、櫛形電極の電極指ピッチ（電極指の幅と、電極指間のスペースの和）である〕の範囲にあることを特徴とする、弾性表面波分波器である。

5300/ f H≥ 2 X P …式 (1 3)

6800/f L≤ 2 X P≤ 1 6 500 / f Pi …式 (14)

1 8800/f L≤ 2 X P …式（1 5) 本願の第 7の発明は、アンテナ端子と、前記アンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続きれた受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、少なくとも 1つの位相整合用素子と、ローパスフィルタとを備える弾性表面波分波器であって、前記ローパスフィルタが前記ァンテナ端子と、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタとの間に接続されており、前記口一パスフィルタが、ローパスフィルタ機能とアンテナ整合機能とを併せ持つことを特徴とする、弾性表面波分波器である。

第 7の発明の弾性表面波分波器のある特定の局面では、前記位相整合用素子が、周波数が相対的に高い側の弾性表面波フィルタと、アンテナ端子との間に配置され、該位相整合用素子による位相遅延量が、周波数が相対的に低い側の弾性表面波フィルタの中心周波数において 90度未満である。

第 7の発明に係る弾性表面波分波器では、上記位相遅延量は、好ましくは 60〜8 0度の範囲とされる。

第 7の発明に係る弾性表面波分波器のさらに別の特定の局面では、前記ローパスフィルタを除いた前記弾性表面波分波器のアンテナ端子におけるインピーダンスが、少なくとも送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタの各通過帯域幅の 5 0 %以上の周波数範囲で誘導性であり、前記ローパスフィルタの通過域におけるインピーダンスが容量性とされており、それによつてアンテナ側から見て実軸に整合がとられている。

本願の第 8の発明に係る弾性表面波分波器は、アンテナ端子と、前記ァンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弹性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、少なくとも 1つのインダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有し、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタの一端が共振接続点で接続されており、該共振接続点と、前記アンテナ端子との間にだけ設けられた高周波素子とを備え、前記インダクタが、パッケ一ジ材内に形成されており、前記容量素子が、圧電基板上に形成された櫛形電極からなり、該櫛形電極の電極指ピッチの方向が、該圧電基板上において伝搬する表面波装置の伝搬方向に対して 9 0度回転された方向であり、該容量素子によって生じるリップルが送信側弾性表面波フィルタ及ぴ受信側弾性表面波フィルタの通過域の約 2倍波及び 3倍波並びにその近傍に位置せず、前記高周波素子がローパスフィルタ機能とアンテナ整合機能とを併せ持つことを特徴とする。

本願の第 9の発明に係る弾性表面波分波器は、アンテナ端子と、前記アンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、前記パッケージ材内に設けられた位相調整用ストリップラインと、高周波素子とを備える弾性表面波分波器であって、前記高周波素子が、送信側弾性表面波フィルタの 2倍波及び 3倍波もしくはその近傍に 2つのトラップ減衰極を有し、該高周波素子は、第 1，第 2のインダクタと、第 1〜第 3の容量素子とを少なくとも備え、前記第 1〜第 3の容量素子が、第 1〜第 3の各共通端子に各々 2つずつの容量素子が共通接続された Δ 型に接続されており、前記第 1の共通端子と、アース電位との間に第 1 のインダクタが接続されており、前記第 2，第 3の共通端子間に、第 2 のィンダクタが接続されている、前記第 2のィンダクタが、前記パッケージ材内に設けられた位相調整ストリップラインと同一の層にかつ複数層に渡って形成されており、前記ストリップラインの送信側信号端子と接続される端子と、前記第 2のインダクタの送信側信号端子と接続される端子とが、前記パッケージ材において短絡されていることを特徴とする。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の第 1の実施形態に係る弾性表面波分波器の回路構成を示す図である。

図 2は、本発明の第 1の実施形態の弹性表面波分波器の略図的正面断面図である。

図 3は、本発明の第 1の実施形態に用いられる受信側弾性表面波ブイルタ及び該受信側弾性表面波フィルタの圧電基板内に形成される第 1〜第 3の容量素子を説明するための模式的平面断面図である。

図 4は、第 1の実施形態の弾性表面波分波器で用いられている高周波素子の回路構成を示す図である。

図 5は、第 1の実施形態の弾性表面波分波器周波数特性、並びにこのために用意した高周波素子を有しない比較例の弾性表面波分波器の周波数特性を示す図である。図 6は、図 4に示した高周波素子の周波数特性を示す図である。

図 7は、高周波素子の変形例の回路構成を示す図である。

図 8は、図 7に示した変形例の高周波素子の周波数特性を示す図である。

図 9は、高周波素子のさらに他の変形例を示す回路図である。

図 1 0は、図 9に示した高周波素子の周波数特性を示す図である。図 1 1は、（a ) 及び（b ) は、 Δ型接続された第 1〜第 3の容量素子からなる部分の回路図と、該 Δ型接続を T字型回路に置き換えた場合の透過回路を示す図である。

図 1 2は、 3 6度 L i T a 0 ₃基板上に弾性表面波フィルタ及び櫛形電極を、弾性表面波伝搬方向に対して櫛形電極の電極指ピッチの方向が 9 0度回転された方向となるように櫛形電極が形成されている構造における位相一周波数特性を示す図である。

図 1 3は、櫛形電極の電極指ピッチが式（1 ) 〜（3 ) のいずれかを満たす場合、及び式（1 ) 〜（3 ) のいずれの範囲にも含まれない場合の弾性表面波分波器の周波数特性を示す図である。

図 1 4は、高周波素子が接続されている部分に寄生インダクタンス成分が寄生されている場合の弾性表面波分波器の回路構成を示す図である。図 1 5は、図 1 4に示した寄生ィンダクタンス成分が寄生されていない場合、寄生インダクタンス成分が挿入されている場合の高周波素子の周波数特性を示す図である。

図 1 6は、位相整合用回路の位相遅延量が 7 5度の場合の受信側弾性表面波フィルタのインピーダンス特性を示すスミスチヤ一トである。図 1 7は、位相整合用素子における位相遅延量が 9 0度未満とした場合の弾性表面波分波器の送信側弾性表面波フィルタの整合状態の変化を説明するためのスミスチャートである。図 1 8は、位相整合用素子の位相遅延量が 6 0度程度になった場合の送信側弾性表面波フィルタの整合状態の変化を示すスミスチャートである。

図 1 9は、誘電性に回り過ぎたインピーダンスを高周波素子の容量成分によつて制御した場合の送信側弾性表面波フィルタの整合状態の変化を示すスミスチャートである。

図 2 0は、従来の弾性表面波分波器の一例を示す回路図である。図 2 1は、従来の弾性表面波フィルタにおいて、インピーダンス整合を図るために櫛形の容量電極が圧電基板上に形成されている構造を示す模式的平面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図 1は、本発明の一実施形態に係る弾性表面波分波器の回路構成を示す図であり、図 2は、該弹性表面波分波器の正面断面図である。

本実施形態の弾性表面波分波器 1は、送信側の通過帯域が 8 2 4〜 8 4 9 MH zであり、受信側の通過帯域が 8 6 9〜8 9 4 MH zの携帯電話用弹性表面波分波器である。もっとも、本発明に係る弾性表面波分波器における送信側の通過帯域及び受信側の通過帯域はこれらに限定されるものではない。

図 1に示すように、弾性表面波分波器 1は、アンテナ A N Tに接続されるァンテナ端子 2を有し、ァンテナ端子 3に送信側弾性表面波フィルタ 3及び受信側弾性表面波フィルタ 4が接続されている。

送信側弾性表面波フイノレタ 3と受信側弹性表面波フィルタ 4とは、共通接続点 5において各々のアンテナ端子側の端部が共通に接続されてい

3 る。そして、アンテナ端子 2と、共通接続点 5との間に高周波素子としてローパスフィルタ 6が接続されている。ローパスフィルタ 6の詳細は後程説明する。

また、受信側弾性表面波フィルタ 4と共通接続点 5との間には、位相整合用素子 7が接続されている。

図 2に示すように、本実施形態の弾性表面波分波器 1のパッケージ構造は、パッケージ材 1 1と、蓋材 1 2とからなる。パッケージ材 1 1は、上方に開いた開口 1 1 aを有し、該開口 1 1 aを閉成するように蓋材 1 2がパッケージ材 1 1に接合されている。パッケージ材 1 1は、圧電性セラミックスあるいは合成樹脂等の適宜の材料により構成される。また、蓋材 1 2は、金属もしくはセラミックスなどの適宜の材料により構成され得る。

パッケージ材 1 1の開口 1 1 a内には、送信側弾性表面波フイノレタ 3 及び受信側弾性表面波フィルタ 4が略図的に示すバンプ 1 3， 1 4を用いてフリップチップボンディング工法によりパッケージ材 1 1のチップ搭載面 1 1 bに実装されている。なお、チップ搭載面 l i bは、開口 1 1 aの底面であるが、平板状パッケージ基板を用いた場合には、チ、;プ搭載面は上面となる。

また、パッケージ材 1 1の受信側弾性表面波フィルタ 4が設けられている側においてアンテナ端子 2 (図 1参照）が設けられている。

送信側弾性表面波フィルタ 3及び受信側弾性表面波フィルタ 4は、それぞれ、独立の圧電基板上に複数の 1ポート型弹性表面波共振子を形成することにより構成されている。また、図 1から明らかなように、送信側弾性表面波フィルタ 3は、複数の直列腕共振子 S 1〜S 6と、複数の並列腕共振子 P 1 , P 2とからなるラダー型回路構成を有する。同様に、受信側弹性表面波フィルタ 4も、複数の直列腕共振子 S 7〜S 1 0及び

4 複数の並列腕共振子 P 3〜P 5からなるラダー型回路構成を備えている ₍ 上記直列腕共振子 S 1〜S 6， S 7〜S 1 0及び並列腕共振子 P 1 , P 2 , P 3〜 P 5は、それぞれ、前述したように 1ポート型の弾性表面波共振子により構成されている。

図 3に示すように、受信側弾性表面波フィルタ 4は、矩形の圧電基板 2 1を用いて構成されている。上記圧電基板 2 1上に、上述した直列腕共振子 S 7〜S 1 0及び並列腕共振子 P 3〜P 5が形成されている。なお、直列腕共振子 S 7， S 8は、図 3では 1つの共振子として略図的に示す。同様に、直列腕共振子 S 9， S 1 0も図 3では 1つの共振子として示す。各直列腕共振子 S 7〜S 1 0及び並列腕共振子 P 3〜P '5は、いずれも、櫛形電極からなる I D T (インターデジタルトランスデューサ）の表面波伝搬方向両側にグレーティング反射器を形成してなる 1ポ一ト型弾性表面波共振子により構成されている。

送信側弾性表面波フィルタ 3も同様に、矩形の圧電基板上に直列腕共振子 S 1〜S 6及び並列腕共振子 P 1， P 2を構成するように複数の 1 ポート型弾性表面波共振子が形成されている構造を有する。

本実施形態では、上記送信側弾性表面波フィルタ 3及び受信側弾性表面波フィルタ 4を構成している圧電基板として、 3 6度 L i T a 0 ₃基板が用いられている。もっとも、本発明においては、弾性表面波フィルタ 3， 4を構成するための圧電基板は、他の圧電単結晶あるいは圧電セラミックスにより構成されていてもよい。また、本実施形態では、圧電基板上に形成された各種電極の材料として A 1を主成分とする A 1合金が用いられている力 S、 A 1以外の A uや C uなどの材料を用いてもよい。また、複数の金属を積層することにより、各種電極を形成してもよい。図 1に戻り、受信側弾性表面波フィルタ 4と共通接続点 5 との間には、位相整合用素子 7が接続されている。この位相整合用素子 7は、より具

5 体的には、パッケージ材 1 1内に埋設されたストリップラインにより構成されている。すなわち、図 2に示すように、パッケージ材 1 1のチップ搭載面 1 1 bと下面 1 1 cとの間の中間高さ位置に、ストリップライン 1 5， 1 6が形成されている。ストリップライン 1 5の一端が、ビアホール電極 1 7により受信側弾性表面波フィルタ 4に接続されている。ストリップライン 1 5の他端は、ビアホール電極 1 8によりストリップライン 1 6に接続されている。ストリップライン 1 6は、ビアホール電極 1 9によりパッケージ材 1 1のチップ搭載面 1 1 bに形成された配線電極（図示せず）に接続されている。この配線電極が、図 1の共通接続点 5に接続されている。

すなわち、上記位相整合用素子 7は、弾性表面波分波器 1を構成するパッケージ材 1 1内に構成されている。上記ストリップライン 1 5， 1 6は 5 0 Ω付近の特性インピーダンスを有する。また、ストリップライン 1 5 , 1 6の長さは、これらによる位相シフト量が、送信側弾性表面波フィルタ 3の通過帯域中心周波数 8 3 6 . 5 MH zにおいて位相が 7 5度回転する長さとされている。

他方、図 1のローパスフィルタ 6は、少なくとも 1つの容量素子と、少なくとも 1つのィンダクタとを有する。より具体的には、図 3に示すように、受信側弾性表面波フィルタ 4を構成する圧電基板 2 1上に、第 1〜第 3の容量素子 2 2〜 2 4が形成されている。

第 1〜第 3の容量素子 2 2〜2 4は、いずれも櫛形電極により構成されている。そして、第 1〜第 3の容量素子 2 2〜 2 4は、第 1〜第 3の共通端子 2 5〜2 7にそれぞれ 2つの容量素子が共通接続されて、厶型に接続されている。

口一パスフィルタ 6は、前記第 1〜第 3の容量素子 2 2〜 2 4の厶型接続により得られる容量と、図 2に示されているパッケージ材 1 1内に埋設されたインダクタンス素子 2 9， 3 0との共振を利用するように構成されている。すなわち、インダクタンス素子 2 9 , 3 0は、パッケ一ジ材 1 1内において、複数の層において電極を形成することにより構成されている。ィンダクタンス素子 2 9， 3 0は、インダクタンス値に応じてらせん状またはミアンダ状などの形状に構成され得る。インダクタンス素子 2 9， 3 0はビアホール電極 3 1で接続されている。インダクタンス素子 2 9の一端は、ビアホール電極 3 2によりパッケージ材 1 1 の上面に設けられた配線電極（図示せず）に接続されている。また、ィンダクタンス素子 3 0は、ビアホール電極 3 3に接続されており、ビアホール電極 3 3は、ノッケージ材 1 1の下面 1 1 cに至っており、該下面 1 1 cに形成された配線電極（図示せず）に接続されている。上記ィンダクタンス素子 2 9， 3 0と同じようにして、もう一組のインダクタンス素子を構成する（図示せず）。

上記ィンダクタンス素子 2 9 , 3 0及びもう一組のィンダクタンス素子と、第 1〜第 3の容量素子 2 2〜 2 4により、図 4に示す回路構成のローパスフィルタ 6が構成されている。なお、図 4におけるインダクタンス L l， L 2は図 2のインダクタンス素子 2 9， 3 0と前述のもう一組のィンダクタンス素子とによりそれぞれ構成されている。すなわち、図 4に示す回路を構成するように、インダクタンス素子 2 9， 3 0が容量素子 2 2〜 2 4と接続されている。なお、インダクタンス Lは、 L 2 に比べて、インダクタンス値が小さいため、一層構造のビアホールのみでも構成することができる。

上記ローパスフィルタ 6は、上述したように、アンテナ端子 2と共通接続点 5との間に接続されている。ローパスフィルタ 6は、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の中心周波数の 2倍波及び 3倍波もしくはその近傍に減衰極を有する周波数特性を有し、かつ送信側及び受信側弾性

7 表面波フィルタの通過帯域におけるインピーダンス整合を図るように作用する。すなわち、本実施形態では、上記ローパスフィルタ 6により、送信側弾性表面波フィルタ 3の通過帯域の 2倍波及びその近傍に第 1の減衰極が 3倍波もしくはその近傍に第 2の減衰極が発生されるため、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 2倍波及び 3倍波を効果的に抑圧することができ、良好な周波数特性を得ることができる。

図 3に示すように、容量素子 2 2〜2 4を構成している櫛形電極の電極指の並んでいる方向、すなわち、電極指ピッチの方向は、受信側弾性表面波フィルタ 4における表面波伝搬方向と直交する方向に配置されている。なお、受信側弹性表面波フィルタにおいて表面波が伝搬する方向とは、直列腕共振子 S 7〜S 1 0及び並列腕共振子 P 3〜P 5における表面波伝搬方向をいう。言い換えれば、容量素子 2 2〜 2 4を構成している各櫛形電極の電極指ピッチの方向は、上記表面波伝搬方向に対して 9 0度回転された方向とされている。

また、容量素子 2 2〜2 4における電極指ピッチ、すなわち、電極指の幅と電極指間のスペースの幅の合計は本実施形態では 4 . 5 mとされている。

図 2から明らかなように、インダクタンス素子 2 9， 3 0は、位相整合用素子を構成するストリップライン 1 5， 1 6と同様に複数の層に渡つて形成されており、かつインダクタンス素子 2 9 , 3 0及ぴストリツプライン 1 5 , 1 6は、それぞれ同一平面内に形成されている。すなわち、本実施形態では、インダクタンス素子を構成する電極と；位相整合用素子 7を構成する電極とが、複数の層に渡り、かつ同一平面内に位置するように配置されている。なお、図示していない前述のもう一組のィンダクタンスは、インダクタンス 2 9 , 3 0と同様に構成されている。次に、弾性表面波分波器 1の作用効果につき説明する。上記実½形態の弾性表面波分波器と、上記実施形態から上記ローパスフィルタ 6が取り除かれた比較例の弾性表面波分波器を用意し、周波数特性を測定した。図 5は結果を示す。図 5の実線が本実施形態の弾性表面波分波器 1の周波数特性を、破線が比較例の弾性表面波分波器の周波数特性を示す。

図 5から明らかなように、本実施形態の弾性表面波分波器 1では、受信側弾性表面波フィルタ 4の中心周波数の 2倍及び 3倍の周波数位置に、矢印 A， Bで示す第 1 , 第 2の減衰極が生じていることがわかる。すなわち、ローパスフィルタ 6によれば、送信側弾性表面波フィルタ 3の通過帯域の 2倍波及び 3倍波における減衰量を改善し得ることがわかる。上記実施形態では、ローパスフィルタ 6は、図 4に示す回路構成を有するように構成されていたが、本発明においては、上記ローパスフィルタ 6の回路構成は種々変形することができる。

図 7及ぴ図 9は、ローパスフィルタ 6の変形例を示す各回路図である。図 7に示すローパスフィルタ 3 6では、 4個の容量素子 3 6 a〜 3 6 dと、 2個のインダクタンス素子 3 6 e， 3 6 f とが用いられている。すなわち、インダクタンス素子 3 6 eと容量素子 3 6 bとが並列に接続されており、同様にインダクタンス素子 3 6 f と容量素子 3 6 cとが並列に接続されている。そして、インダクタンス素子 3 6 e及び容量素子 3 6 bの並列接続構造と、インダクタンス素子 3 6 f 及び容量素子 3 6 cの並列構造が直列に接続されており、これらの並列接続構造が設けられている部分の外側においてアース電位との間に、それぞれ、容量素子 3 6 a , 3 6 dが接続されている。

また、図 9に示すローパスフィノレタ 3 7では、 3個の容量素子 3 7 a 〜 3 7 cと、 2個のィンダクタンス素子 3 7 d， 3 7 eとが用いられている。ここでは、ィンダクタンス素子 3 7 dと、容量素子 3 7 bとが並

9 列に接続されている。この並列接続構造の外側において、それぞれ、ァース電位との間に、容量素子 3 7 a , 3 7 cが接続されている。また、容量素子 3 7 cとアース電位との間に、上記ィンダクタンス素子 3 7 e が接続されている。

図 6，図 8及び図 1 0は、上記口一パスフィノレタ 6 ， 3 6 ' 3 7の周波数特性を示す図である。

なお、図 6，図 8，図 1 0に示したローパスフィルタ 6， 3 6 ， 3 7 の特性は、上記ローパスフィルタにおけるインダクタンス素子及び容量素子の仕様を下記の表 1に示す通りとした場合の特性である。表

パラメータ

図 8及び図 1 0から明らかなように、ローパスフィルタ 3 6， 3 7を用いた場合においても、ローパスフィルタ 6の場合と同様に、送信側弾性表面波フィルタ 3の通過帯域の 2倍波及び 3倍波においてそれぞれ、第 1，第 2の減衰極が発生され得ることがわかる。

しかしながら、ローパスフィルタ 3 6 ， 3 7では、減衰極の帯域における減衰量がローパスフィルタ 6を用いた場合に比べて低くなるため、通過帯域における損失を最小限に抑制するには、上記ローパスフィルタ 6を用いることが望ましい。

上記のように、図 4に示したローパスフィルタ 6を用いることにより、少なくとも 3つの容量素子と少なくとも 2つのインダクタス素子とを組み合わせることにより、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域である 800〜90 OMH z付近で整合が取れ、その 2倍波及び 3倍波に減衰極を有するフィルタ特性の得られることがわかる。

特に、ローパスフィルタ 6では、第 1〜第 3の容量素子 22〜24が上記のように Δ型に接続されており、第 1の共通端子 25とアース電位との間に第 1のィンダクタンス素子 L 1が接続されており、第 2，第 3 の共通端子 26， 2 7間に第 2のインダクタンス素子 L 2が接続されている。ここでは、第 2のインダクタンス L 2と第 2のインダクタンス L 2に並列に接続された容量素子 23との反共振により第 1の減衰極が生じ、後述の容量 C_zと、第 1のインダクタンス L 1 との共振により第 2 の減衰極が生じる。従ってローパスフィルタ 6を用いた場合、ローパスフィルタ 3 6， 3 7に比べて、素子数の低減を測り得るだけでなく、全体としての容量値及びィンダクタンス値を小さくすることができる。また、ローパスフィルタ 6は、ローパスフィルタ 36, 3 7に比べてより小型に構成することができる。

ローパスフィルタ 6の第 1〜第 3の容量素子 22〜 24の接続を、例えば、図 1 1 (a) に示す Δ型の接続から、図 1 1 (b) に示す T型の接続構造に変形することにより、ローパスフィルタ 6の減衰極の位置を計算することができる。 T型の接続構造では、全体の容量 C_zの値は以下の通りとなる。

C _z = (C a牛 C b + C a XC c/C b)

表 1に示した場合に準じて、 C a = l . 3 p F、 C b = 1. 3 p F及ぴ C c = 2. 3 5 p Fを代入すると、 C _z= 3. 3 p Fと大きな値となる。

また、第 2の減衰極の位置は、インダクタンス素子 L 2と容量 C_zの共振により決定される。従って、すなわち、 1 Z ( 2 X π X ( L 2 X C _z ) ^{1 / 2} ) により決定されるため、容量 C ₂の値が大きくなると、インダクタンス L ₂の値を小さくしても周波数が一致し、ローパスフィルタ 3 6 , 3 7に比べて、より一層小型化を図ることができる。

なお、口一パスフィルタを形成するィンダクタンス素子は、受信側弾性表面波フィルタ 4外に設けられてもよい。しかしながら、上記実施形態のように、パッケージ材 1 1内にインダクタンス素子 2 9 , 3 0等を内蔵させることにより、より一層の小型化を図ることができる。また、弾性表面波分波器 1の付加価値を高めることができる。

本実施形態においては、ローパスフィルタ 6は、送信側弾性表面波フィルタ 3の通過帯域 2倍波及び 3倍波を減衰させるように構成ざれることが必要である。このローパスフィルタ 6は、本実施形態では、受信側弾性表面波フィルタ 4とアンテナ端子 2との間に接続されていた。これに対して、ローパスフィルタ 6を、受信側弾性表面波フィルタ 4と出力端子 4 1 (図 1参照）との間に接続した場合にも、受信側弾性表面波フィルタ 4の周波数特性を改善することはできる。しかしながら、好ましくは、上記実施形態のように、受信側弾性表面波フィルタ 4のアンテナ側に口一パスフィルタ 6を接続することにより、受信側弾性表面波フィルタの高周波数特性の改善にも寄与することができる。

また、インダクタンス素子 2 9 , 3 0等は、パッケージ材 1 1内に形成されていたが、インダクタンス素子 2 9 , 3 0等が、送信側弾性表面波フィルタ 3側において構成されていると、位相整合用のストリップライン 1 5， 1 6との間で容量結合や誘導結合が生じ、減衰域の特性が極端に悪化する。これに対して、本実施形態のように、インダクタンス素子 2 9， 3 0等がストリップライン 1 5 , 1 6とはパッケージ材 1 1の主面方向において隔てられて、受信用弾性表面波フィノレタ 4側に位置された場合には、上記のような結合が生じ難いため、減衰域の特性の悪化を抑制することができる。しかも、インダクタンス素子 2 9 , 3 0等を構成する電極 1 9， 2 0を、ストリップライン 1 5， 1 6と複数の層に渡り、かつ同一面内に配置することができ、パッケージ材 1 1の小型化及び製造工程後の簡略化を果たすことができる。

.加えて、上記ィンダクタンス素子 2 9 , 3 0を、ストリップライン 1 5 , 1 6とそれぞれ同一面内に配置した構造では、上記のように製造ェ程の簡略化を果たすことができるので、コストの低減及び弾性表面波分波器 1の低背化を果たすことも可能となる。特に、インダクタンス素子 2 9， 3 0等が複数の層に渡り形成されているため、インダクタンス素子 2 9， 3 0·等では、自己誘導を高め合うことができ、それによつても、小型化を進めることができる。

加えて、位相整合用のストリップライン 1 5， 1 6も同様に複数層に渡って形成されており、かつ上記インダクタンス素子 2 9， 3 0等と同一面内に形成されているので、同一プロセスにより同時に形成することができるので、コストを低減することができる。

なお、上記ローパスフィルタを構成する容量は、パッケージ材 1 1内に内蔵されてもよい。しかしながら、上記実施形態のように弾性表面波フィルタ 4を構成する圧電基板 2 1上に容量素子を形成することにより、パッケージ材 1 1内に内蔵させた場合に比べて弾性表面波分波器 1の低背化を進めることができる。特に、上記のように、櫛形電極からなる容量素子 2 2〜 2 4を用いた場合には、小さな面積で大きな容量を得ることができるため、容量素子の小型化を図ることができる。また、上記櫛' 形電極を用いて容量素子 2 2〜2 4が構成されているので、容量素子を、弾性表面波共振子の電極形成と同時に形成することができ、それによつてもコストを低減することができる。上記実施形態では、上記容量素子 22〜 24を構成する櫛形電極の電極指ピッチの方向が、前述した表面波伝搬方向に対して 90度回転された方向とされているので、容量素子 2 2〜 24を構成している櫛形電極において所望でない応答が生じ難い。

好ましくは、圧電基板として L i T a 0₃基板を用いる場合には、容量素子 2 2〜24を構成する櫛形電極における電極指ピッチ Pの範囲は、下記の式（1) 〜（3) の範囲とするこ.とが望ましく、それによつてより一層低損失の弾性表面波分波器 1を提供することができる。

なお、 f Hは、受信側弾性表面波フィルタの通過帯域の上限周波数を、 f Lは、送信側弾性表面波フィルタのフィルタの通過帯域の下限周波数を意味する。

5 3 00/ f H≥ 2 X P …式（1)

6 800/f L≤ 2 XP≤ 1 6 500/ f H …式 (2)

1 88 O 0/f L≤ 2 XP …式 (3)

上記実施形態では、 f H= 8 94MH zであり f L= 824MH z であるため、

. 6. 1 5 X 10^_6≥ 2 X P

8. 25 X 10^_6≤ 2 X P≤ 1 8. 5 X 10^-6

2 2. 8 X 1 0~⁶≤ 2 X P

のいずれかを満たすように櫛形電極を構成すればよい。上記実施形態では、櫛形の電極指ピッチ Pは、前述したように 4. 5 μπιとされているため、上記条件を満たし、従って、良好なフィルタ特性を得ることができる。

次に、式（1) 〜（3) にっき、図 1 2を参照して説明する。 ' 弹性表面波フィルタが形成されている 3 6度 L i T a 0₃基板上に、表面波フィルタ表面波伝搬方向である X軸に対して 90度回転した方向に電極指が並ぶように櫛形電極を形成し、該櫛形電極のインピーダンスを測定した。結果を図 1 2に示す。この場合、櫛形電極の電極指ピッチは 1 Ο.μ in、電極指の対数は 2 5対とした。図 1 2から明らかなように、 3 0 ΟΜΗ ζ付近及び 90 ΟΜΗ ζ付近に大きなリップルが存在することがわかる。位相はリアクタンス分と抵抗分の比率により決定される。位相が一 90度に近ければ近い程、抵抗分が小さく、良好な容量が得られることを示し、位相が大きくなるに従って抵抗分が増えることを示す。従って、ローパスフィルタの容量素子では、上記リップルが現れる周波数帯を避ける必要のあることがわかる。位相がボトム付近である一 8 5 度よりも大きくなる領域に限定すると、避けるべき周波数帯は 27 5Μ Η ζ、 34 ΟΜΗ ζ、 8 25ΜΗ ζ、及び 94 ΟΜΗ ζとなる。

電極指ピッチが 10 zmであるため、上記周波数位置を音速に換算すると、 5 500、 6800、 1 6 500及ぴ 1 8800m/秒となる。従って、通過帯域の相対的に低いフィルタ、すなわち、送信側弾性表面波フィルタ 3の通過帯域の下限周波数から、通過帯域が相対的に高いフィルタ、すなわち、受信側弾性表面波フィルタ 4の通過帯域の上限周波数までを、上記範囲から外す必要がある。ここで、式（1) 〜（3) の範囲外、すなわち、電極指ピッチを 10 μιη選択した場合と、式（1) 〜（3) の範囲内である 7 μπιに選択した場合との特性の差を図 1 3に示す。図 1 3の実線が 7 x mの場合を示し、破線が 1 0 Ai mの場合を示す。図 1 3から明らかなように、ローパスフィルタ用の容量素子として、電極指の並ぶ方向が表面波伝搬方向に対して 90度回転された方向となるように櫛形電極を形成した場合、式（1) 〜（3) を満たすことにより、損失を低減し得ることがわかる。

また、ローパスフィルタ 6を用いて送信側の通過帯域の 2倍波及び 3 倍波付近に減衰極を得る場合、さらに 2倍波及び 3倍波の周波数においても上述したリップルが存在することがある。これらのリップルを回避することができれば、 2つの弾性表面波フィルタ 3， 4の帯域内特性と、減衰極における減衰量の悪化を防ぐことができ、より一般一層良好な弾性表面波分波器を提供することができる。

また、本発明においては、送信側弾性表面波フィルタ 3の通過帯域の下限周波数を f TL、通過帯域の上限周波数 f THとすると、電極指ピツチ Pは、下記の式（4) 〜（1 2) のいずれかの範囲內に設定することがより一層望ましい。

5 ,5 0 0/ f H≥ 2 X P "式 (4) ·

6 8 0 0ん f L≤ 2 X p≤ 1 6 5 00/ f H · "式 (5)

1 8 8 0 0/ f L≤ 2 X P ··式 (6)

5 5 0 0/ ( 2 X f TH) ≥ 2 X P · '·式（7)

6 8 0 0/ ( 2 X f T L) ≤ 2 X P≤ 1 6 500/ ( 2 X f TH)

…式（8)

1 8 8 0 O ( 2 X f T L) ≤ 2 X P ■ "式（9)

5 5 0 0/ (3 X f TH) ≥ 2 X P ■ -'式 (10)

6 8 0 0Z ( 3 X f T L) ≤ 2 X P≤ 1 6 500/ ( 3 X f TH)

…式 (1 1)

1 8 8 0 0/ ( 3 X f T L) ≤ 2 X P . "式（1 2) 例えば、上記実施形態のように、送信側の通過帯域が 8 24〜 849 MH z、受信側の通過帯域が 86 9〜 8 94MH zの場合、電極指ピッチは、下記のいずれかの範囲に限定することが望ましく、それによつてリップルを通過帯域及び送信帯域の 2倍波及び 3倍波の領域の双方から外すことができる。

① 1. 08 / m以下

② 1. 3 7〜： L . ③ 2 . 0 6〜 3 . 0 8 μ τα

④ 4 . 1 3〜4 . 8 6 μ τη

⑤ 5 . 7 0〜 9 . 2 2 μ m

また、上記実施形態では、櫛形電極により、ローパスフィルタの容量素子が構成されていたが、櫛形電極以外の構造を採用することにより容量素子を構成してもよい。例えば、圧電基板上に、第 1の電極、誘電体及び第 2の電極を積層した構造により容量素子を形成してもよい。この場合には、誘電体の t a η δで Q値が決定され、 t a η δの良好な誘電体膜を用いることにより、損失の低減を図ることができる。

本実施形態では、上記櫛形電極からなる容量素子 2 2〜2 4は、受信側弾性表面波フィルタ 4を構成する圧電基板 2 1上に配置されていたが、送信側弾性表面波フイノレタ 3に構成されてもよい。もっとも、弾性表面波分波器では、送信側弾性表面波フィルタ 3に大電力が投入されるため、耐電力を高めるために、送信側弾性表面波フィルタ 3は、より多段に構成されるのが普通である。従って、送信側弾性表面波フィルタ 3は、受信側弾性表面波フィルタ 4に比べてチップサイズが大きいのが普通である。よって、上記実施形態のように、受信側弾性表面波フィルタ 4に容量素子 2 2〜2 4を構成することにより、受信側弾性表面波フィルタ 4 と送信側弾性表面波フィルタ 3のチップサイズを近づけることができ、あるいは等しくすることができる。それによつて、弾性表面波分波器 1 の製造に際しての取扱い性を高めるこができるとともに、受信側弾性表面波フィルタ 4のパッケージ材料 1 1との接合部の信頼性を高めることができる。

さらに、ローパスフィルタを構成するための容量素子を、受信側弾性表面波フィルタ 4のアンテナ端近傍に配置することにより、送信側弾性表面波フィルタ 3の信号端子や受信側弾性表面波フィルタの出力端との間の容量結合や誘導結合を防ぐことができ、アイソレーション特性に優れた弾性表面波分波器を提供することができる。

上記実施形態の弾性表面波分波器 1では、位相整合用素子 7による位相遅延量は 7 5度とされていた。この場合には、送信側弾性表面波フィルタ 3にとつて、受信側弾性表面波フィルタ 4が誘導性の素子にみえることとなる。すなわち、送信側弾性表面波フィルタ 3に並列にィンダクタンスが付加されたこととなる。この場合の受信側弾性表面波フィルタ 4のみのインピーダンス特'["生を図 1 6にスミスチヤ一トで示す。

弾性表面波フィルタを設計する場合、弾性表面波フィルタ単体の特性で帯域を拡げようとした場合、容量性に落ち込むため、最適な値の並列ィンダクタを付加することにより、実軸的に整合をとることができる。従って、位相遅延量を 9 0度未満とすることにより、図 1 7に送信側弾性表面波フィルタの整合状態をスミスチャートで矢印で示すように、弾性表面波分波器 1のアンテナ端における整合状態を 5 0 Ω整合に近づけることができる。もっとも、位相遅延量がさらに小さくなり、 6 0度程度になると、図 1 8に送信側弾性表面波フィルタの整合状態をスミスチヤートで矢印で示すように、誘導性に回り過ぎ、逆に整合状態が悪化する。この場合には、図 1 9に送信側弾性表面波フィルタの整合状態をスミスチャートで矢印で示すように、誘電性に回り過ぎたインピーダンスを、ローパスフィルタの容量成分により制御し、それによつてインピーダンス整合を図ることができる。

但し、位相遅延量が小さくなり過ぎると、コンダクタ分が大きくなり過ぎ、送信側弾性表面波フィルタ 3の損失の劣化につながる。従って、位相回転量は、好ましくは、 6 0度以上とされる。また、小型化を図ることができ、単体では容量性に落ち込んだフィルタの実軸上で整合がとれるようにするには、位相回転量は 8 0度未満とすることが望ましい。すなわち 6 0度以上、 8 0度未満とすることにより、より小型であり、整合状態に優れた弾性表面波分波器 1を提供することができる。

なお、上記実施形態では、送信側弾性表面波フィルタ 3と受信側弾性表面波フィルタ 4とは、それぞれ独立の圧電基板に構成されていたが、送信側弾性表面波フィルタ 3及び受信側弾性表面波フィルタ 4は、同一の圧電基板に構成されていてもよい。

また、弾性表面波フィルタ 3， 4のパッケージ材 1 1への接合方法についても、バンプを用いたものに限定されず、ワイヤボンディングを用いた接合方法を採用してもよい。

なお、上記実施形態のように、バンプにより弹性表面^フィルタ 3， ₄をパッケージ材 1 1に接合した構造では、上記のように受信側弾性表面波フィルタ 4と送信側弾性表面波フィルタ 3とを独立の圧電基板に構成することが望ましく、それによつて弾性表面波フィルタ 3 , 4とパッケージ材 1 1との接合強度を高めることができる。また、前述したように、受信側弾性表面波フィルタ 4と送信側弾性表面波フィルタ 3とを独立の圧電基板上に構成した場合には、受信側弾性表面波フィルタ 4側に上記高周波素子を構成するための容量素子を搭載することが望ましい。また、上記実施形態では、位相整合用素子 7を構成するストリップライン 1 5， 1 6と、高周波素子を構成するインダクタ素子 2 9， 3 0が、複数の層に渡り、かつそれぞれが同一平面内に位置するように構成されていたが、ストリップライン 1 5 , 1 6と上記インダクタ素子 2 9， 3 0とは、パッケージ材 1 1の異なる平面内に形成されていてもよく、またストリップライン 1 5， 1 6及びィンダクタ秦子 2 9， 3 0は、複数の層に渡り形成される必要は必ずしもない。しかしながら、上記実施形態のように、同一平面内にかつ複数層に渡るように形成することにより、ィンダクタ素子及ぴストリップラインが内蔵されている構造の小型化及び低コスト化を図ることができる。

上記実施形態では、位相整合用素子 7による位相シフト量が、 7 5度とされていたが、位相シフト量は、これに限定されず、一般的に短絡から解放まで 9 0度位相回転される位相整合用素子を用いてもよい。もつとも、上記実施形態のように、 7 5度と位相遅延量を短めに設定することにより、パッケージ材 1 1の小型化を図ることができる。加えて、口ーパスフイノレタのインピーダンスを含めることにより、インピーダンス整合が良好な弾性表面波分波器 1を提供することができる。

本発明に係る弾性表面波分波器は、上記のように、種々の構成により様々な効果を果たし得るものである力本発明においては、好ましくは、上記実施形態のように、第 1〜第 3の容量素子 2 2〜 2 4と 2つの誘導素子であるインダクタンス素子 2 9 , 3 0とを用いて高周波素子 6が構成されているため、すなわちィンダクタンス素子 2 9， 3 0がパッケ一ジ材に内蔵され、容量素子 2 2〜 2 4が弾性表面波フィルタ 4を構成する圧電基板上に形成されているため、より一層小型であり、かつ低背化を進め得る弾性表面波分波器を提供することができるという利点を有する。

上記ィンダクタンス素子が弾性表面波フィルタを構成する圧電基板上に形成される場合には、薄膜プロセスなどによりインダクタンス素子を形成する必要がある。この場合には、 Q値の高いインダクタンス素子を得ることが困難である。これに対して、上記実施形態のようにインダクタンス素子 2 9 , 3 0がパッケージ材 1 1に内蔵されている場合、特にパッケージ材 1 1の複数の層に渡って形成されており、かつ位相調整用のストリップライン 1 5， 1 6を複数の層に渡ってかっさらに同一平面内に形成されている場合には、小型であり、 Q値が高いインダクタを容易に構成することができる。

さらに、弾性表面波分波器に付加される上記ィンダクタの Q値が悪いと、減衰極の減衰量が十分な大きさとならないだけでなく、通過帯域における損失の劣化が生じるおそれがある。また、容量素子をパッケージ材内に形成した場合には、特に本願発明のように複数のトラップを発生させる上記高周波素子では、 3つの容量素子が必要となる。従って、容量素子をパッケージ材を内臓した構造では、上記ィンダクタンス素子やストリップラインなどの他の素子との容量結合が避け難くなり、かつ小型化や低背化を進める上でも不利となる。よって、圧電基板上に容量素子を形成することにより、低背化を進め得るだけでなく、パッケージ材内の他の素子との所望でない結合を防ぐことができ、良好なローパス特性を得ることができる。

また、圧電基板上に容量電極を形成して容量素子を構成する場合、上記櫛形電極の電極素子の並ぶ方向を表面波伝搬方向に対して 9 0度回転させた構造では、前述したように、容量素子の容量に起因するリップルを弾性表面波フィルタ 3 , 4の通過帯域に表れないように抑制することができ、より一層低損失かつ減衰量の抑圧素子を構成することができる。従って、上記種々の構成を組み合わせた本発明の弾性表面波分波器では、より一層特性が良好であり、小型化及び低背化が可能な弾性表面波分波器を提供することができる。 '

特に、図 4に示した 2つの減衰極を有するローパスフィルタ 6では、弾性表面波分波器に複合される場合、特定の部分に寄生成分が入ると、急激に減衰極の悪化がみられる。すなわち、図 1 4に矢印 Cで示す位置に寄生ィンダクタ成分 L Xが入ると、トラップ減衰極の急激な悪化が生じる。これを、図 1 5を参照して説明する。図 1 5の実線は、上記寄生成分が存在しない場合の口一パスフィルタ 6の周波数特性を示し、一点

3 鎖線は、寄生成分の大きさが 0 . I n Hの場合、破線は寄生成分の大きさが 0 . 5 n Hの場合の周波数特性をそれぞれ示す。

図 1 5から明らかなように、通過帯域の 2倍波の減衰量が上記寄生ィンダクタ成分 L Xが揷入されることにより極端に悪化することがわかる, 上記のような寄生インダクタ成分 L Xの影響を回避するには、パッケージ材 1 1内にインダクタンス素子 2 9 , 3 0を内蔵させた構造において、ストリップライン 1 5， 1 6の送信信号端子と接続される端子と、インダクタンス素子 2 9 , 3 0の送信側信号端子と接続される端子が、パッケージ材内ではなく、パッケージ材 1 1のバンプにより接合される面に寄生されることが望ましく、それによつて上記寄生インダクタ成分 L Xを極力小さくすることができる。産業上の利用可能性

本願の第 1の発明に係る弾性表面波分波器では、送信側弹性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタがパッケージ材に搭載された弾性表面波分波器において、送信側弹性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタに接続されており、かつ送信側通過帯域よりも高周波側に 2 つのトラップ減衰極を有する高周波素子が備えられているため、 2つのトラップ減衰極により送信側通過帯域よりも高周波側の所望でない高調波やリップル等を抑圧することができ、それによつて良好な周波数特性の弾性表面波分波器を提供することができる。

2つのトラップ減衰極が、送信側通過帯域の 2倍波及び 3倍波もしくはその近傍に位置している場合には、送信側通過帯域の 2倍波及び 3倍波の減衰量を抑制することができる。

高周波素子が、第 1，第 2のインダクタと、第 1〜第 3の容量素子とを有し、第 1 , 第 2のインダクタと第 1〜第 3の容量素子とにより、 2 つのトラップ減衰極が構成されている場合には、 5個の素子のみで上記 2つのトラップ減衰極を有する高周波素子を構成することができる。第 1〜第 3の容量素子が、 Δ型に接続されており、第 1の共通端子とアース電位との間に第 1のインダクタが、第 2，第 3の共通端子間に第 2のィンダクタが接続されている構成を有する場合には、高周波素子を構成する容量素子の数を低減することができ、かつ全体の静電容量及びィンダクタンスの値を大きくすることができ、弾性表面波分波器の小型化を進めることができる。第 2のインダクタと、第 2のインダクタに並列に接続されている容量素子との反共振により送信側弾性表面波フィルタの通適帯域の 2倍波もしくはその近傍に第 1のトラップの減衰極が発生し、 Δ型に接続された第 1〜第 3の容量素子から等価的に求められた Y型接続の場合の容量と第 1のィンダクタとの共振により、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 3倍波もくしはその近傍に第 2のトラップ減衰極が生じるように構成されている場合には、弾性表面波分波器の小型化を計ることができる。

また、第 2の発明に係る弾性表面波分波器では、受信側弾性表面波フィルタ及び送信側弾性表面波フィルタの一端が共通接続点で接続されており、共通接続点とァンテナ共振端子との間にだけ高周波素子が設けられており、該高周波素子を構成しているインダクタがパッケージ内に形成されているため、受信側の高周波特性を改善することができるとともに、弾性表面波分波器の小型化を進めることができる。

パッケージ材内に設けられた位相整合用ストリップラインがさらに備えられ、上記高周波素子を構成しているインダクタがストリップラインとパッケージ内の同一の面内に形成されている場合には、弾性表面波分波器の小型化をさらに進めることができるとともに、ストリップラインとインダクタとの間の容量結合や誘導結合が生じ難く、従って減衰域の悪化を招かない、弾性表面波分波器を提供することができる。インダクタが誘導を強め合うようにパッケージ材内の少なくとも 2つの層以上に配置されている場合には、ィンダクタにおいて自己誘導を高めることができ、より一層弾性表面波分波器の小型化を図ることができる。

ストリップラインとインダクタの双方がパッケージ材内において 2つの層以上に渡ってかつ同一の 2つ以上の層に渡って形成されている場合には、弾性表面波分波器の小型化、減衰域の悪化を抑制することができるとともに、製造工程において、インダクタ及びストリップラインを同一プロセスで形成することができ、製造コストの低減を図ることができる。

第 3の発明に係る弾性表面波分波器では、受信側弾性表面波フィルタ及び送信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、少なくとも 1つのィンダクタ少なくとも 1つの容量素子とを有する高周波素子とを備え、容量素子が、弾性表面波フィルタを構成している圧電基板上に形成された櫛形電極により形成されており、櫛形電極の電極指ピッチに沿う方向が、櫛形電極が形成されている弹性表面波フィルタにおいて表面波が伝搬する方向に対して 9 0度回転された方向とされている。従つて、櫛形電極による容量素子では、同一面積で相対的に大きな静電容量を得ることができる。また、上記容量素子が表面波に応答し難いため、所望でないリップルが生じ難く、また容量素によって発生するリップルが送信側弾性表面波フィルタの通過帯域及び受信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 2倍波、 3倍波及びその近傍に位置しないため、良好な周波数特性を有する弾性表面波分波器を提供することができる。

第 3の発明において、圧電基板が L i T a 0 ₃基板からなり、容量素子を構成している櫛形電極の電極指の周期 Pが上述した式（1 ) 〜（3 ) のいずれかの範囲にある場合には、低損失の弾性表面波分波器を提供することができ、特に、上述した式 ( 4 ) 〜（1 2 ) を満たす場合には、容量素子によるリップルが受信側弾性表面波フィルタの通過帯域及び送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 2倍波、 3倍波及びその近傍の領域から確実に外れることになる。

第 4の発明に係る弾性表面波分波器では、容量素子は、送信側及び Z または受信側弾性表面波フィルタを構成している圧電基板上において、第 1の電極膜と第 2の電極膜と、第 1，第 2の電極膜間に挟持された絶縁膜とからなる積層構造により構成されているので、圧電基板上にパッケージ製法によりこれらの膜を形成することにより、容易に容量素子を構成することができる。

第 3，第 4の発明に係る弾性表面波分波器において、送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが、それぞれ独立の圧電基板を用いて構成されており、高周波素子を形成するための容量素子が、受信側弾性表面波フィルタの圧電基板に形成されている場合には、各弹性表面波フィルタとパッケージ材との接合強度を容易に高めることができるとともに、送信側弾性表面波フィルタと受信側弾性表面波フィルタのサイズを近づけることができ、生産に際しての取扱い性を高めることが可能となる。

高周波素子を構成している容量素子が、受信側弾性表面波フィルタのアンテナ端子側部の近傍に配置されている場合には、送信側弾性表面波フィルタの信号端子や、受信側弾性表面波フィルタの出力端子との間の容量結合や誘導結合を抑制することができ、アイソレーションゃ遅延特性を改善することができる。

送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが同一の圧電基板上に形成されており、高周波素子を構成するための容量素子が、受信側弾性表面波フィルタのアンテナ端子側の端部の近傍に形成されている場合には、 1つの圧電基板で送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタを構成することができるため、組み立て作業を容易とすることができる。

また、容量素子が、受信側弾性表面波フィルタのアンテナ端子側の端部近傍に配置されている場合には、送信側弾性表面波フィルタの送信信号端子や受信側弾性表面波フィルタの出力端との間の誘導結合や容量結合を抑制することができ、アイソレーションを改善することができる。第 5の発明に係る弾性表面波分波器では、インダクタがパッケージ材内に形成されており、容量素子が送信側弾性表面波フィルタ及び/または受信側弾性表面波フィルタを構成している圧電基板に形成されているために、弾性表面波分波器の小型化を図ることかできるとともに、容量素子が圧電基板に形成されているため、送信側弾性表面波フィルタまたは受信側弾性表面波フィルタの多機能化を図ることができる。

第 6の発明に係る弾性表面波分波器では、送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタを構成している圧電基板が L i T a 0 ₃ 基板であり、高周波素子を構成する容量素子が、該圧電基板上に設けられた櫛形電極からなり、該櫛形電極が、弾性表面波フィルタにおいて表面波を伝搬する方向に対して 9 0度回転された方向に配置されているため、櫛形電極による所望でないリップルを発生し難い。また、櫛形電極の電極指の周期が、上述した式（1 ) 〜（3 ) の範囲にあるため、低損失の弾性表面波分波器を提供するこができる。 .

第 7の発明に係る弾性表面波分波器では、少なくとも 1つの位相整合用素子と、ローパスフィルタとが備えられており、ローパスフィルタがァンテナ端子と、送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波ブイルタとの間に接続されており、ローパスフィルタは、ローパスフィルタ機能とアンテナ整合機能とを併せ持つため、本発明に従って、通過帯域における減衰量を改善することができ、良好な周波数特性を有するとともに、アンテナとのインピーダンス整合を容易に図り得る弾性表面波分波器を提供することができる。

位相整合用素子が、周波数が相対的に高い側の弾性表面波フィルタと、アンテナ端子との間に配置され、位相整合用素子における位相遅延量が、周波数が相対的に低い側の弾性表面波フィルタが中心周波数において 9 0度未満である場合には、弾性表面波分波器のアンテナ端における整合状態を 5 0 Ω整合に近づけることができる。特に、位相遅延量が 6 0〜 8 0度の範囲にある場合には、より一層良好な整合状態を実現することができる。

ローパスフィルタを除いた弾性表面波分波器のアンテナ端子におけるインピーダンスが、少なくとも送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタの各通過帯域の 5 0 %以上の周波数配置で誘電性であり、ローパスフィルタの通過域におけるィンピーダンスが容量性とされている場合には、それによつてアン,テナ側から実軸上に整合が図られる。第 8，第 9の発明に係る弾性表面波分波器は、本願の第 1〜第 4の発明に係る弾性表面波分波器の構成を備えるため、図示した第 1〜第 4の発明に従って、良好な周波数特性を有し、小型化を図ることができ、さらに高周波における減衰量を改善することができ、所望でないリップルが生じ難い、弾性表面波分波器を提供することができ、特に、高周波素子が、送信側弾性表面波フィルタの 2倍波及び 3倍波もしくはその近傍に 2つのトラップ減衰極を有し、高周波素子が、 Δ型に接続された第 1 〜第 3の容量素子と、上記第 1，第 2のインダクタとを有し、第 2のィンダクタがパッケージ内に設けられた位相調整用ストリップラインと同一の層にかつ複数層に渡って形成されており、ストリップラインの送信側信号端子と接続される端子と、第 2のインダクタの送信側信号端子と接続される端子とがパッケージ材において短絡されている構成を有する場合には、本発明に従って、送信側弾性表面波フィルタの高調波の減衰域における減衰量を十分に改善することができ、従って受信側弾性表面波フィルタの損失特性を効果的に改善することができるとともに、弾性表面波分波器の小型化及び低背化を図ることができ、さらにインピーダンス整合が容易であり、かつ製造容易な弾性表面波分波器を提供することが可能となる。

Claims

1 . アンテナ端子と、

前記ァンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記アンテナ端子に接続された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、請 ·

前記送信側弾性表面波フィルタ及び前記受信側弾性表面波フィルタに接続されており、かつ送信側通過帯の域よりも高周波側に 2つのトラップ減衰極を有する高周波素子とを備える、弾性表面波分波器。

2 . 前記 2つのトラップ減衰極が、 .送信囲側通過帯域の 2倍波及び 3 倍波もしくはその近傍に位置していることを特徴とする、請求項 1に記載の弾性表面波分波器。

3 . 前記高周波素子が、第 1，第 2のインダクタと、第 1〜第 3の容量素子とを有し、第 1、第 2のインダクタと第 1〜第 3の容量素子とにより、 2つの前記トラップ減衰極が構成されている、請求項 1または 2に記載の弾性表面波分波器。

4 . 前記第 1〜第 3の容量素子が、第 1〜第 3の各共通端子に各々 2つずつの前記容量素子が共通接続された Δ型に接続されており、前記第 1の共通端子と、アース電位との間に第 1のイシダクタが接続されており、前記第 2 , 第 3の共通端子間に、第 2のインダクタが接続されている、請求項 3に記載の弾性表面波分波器。

5 . 前記第 2のインダクタと、該第 2のインダクタに並列に接続されている容量素子との反共振により、前記送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 2倍波もしくはその近傍に第 1のトラップの減衰極が発生され、第 1〜第 3の容量素子 Δ型接続と等価な T型接続において求められた容量と、前記第 1のインダクタとの共振によって、前記送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 3倍波もしくはその近傍に第 2のトラップの減衰極が発生される、請求項 4に記載の弾性表面波分波器。

6 . アンテナ端子と、

前記ァンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記ァンテナ端子に接続された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波ブイルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、

少なくとも 1つのィンダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有し、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタの一端が共振接続点で接続されており、該共振接続点と、前記アンテナ端子との間にだけ設けられた高周波素子とを備え、

前記高周波素子を構成している前記ィンダクタが、前記パッケージ材内に形成されていることを特徴とする、弾性表面波分波器。

7 . 前記パッケージ材内に設けられた位相整合用ストリップラインをさらに備え、前記高周波素子を構成している前記インダクタが、前記ストリップラインとパッケージ材の同一面内に形成されている、請求項 6に記載の弾性表面波分波器。

8 . 前記インダクタが、パッケージ材内の少なくとも 2つ以上の層に渡って磁束を強め合うように配置されていることを特徴とする、請求項 6または 7に記載の弾性表面波分波器。

9 . 前記ストリップラインと前記インダクタの双方が、前記パッケージ材内において少なくとも 2つ以上の層に渡ってかつ同一の 2つ以上の層に渡って形成されていることを特徴とする、請求項 7または 8に記載の弾性表面波分波器。

1 0 . アンテナ端子と、

前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された送信側弾性表面波フィルタと、

前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された受信側弾性表面波フィノレタと、

前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、

少なくとも 1つのィンダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有する高周波素子とを備え、

前記容量素子が、前記送信側及びまたは受信側弾性表面波フィルタを構成している前記圧電基板上に形成された櫛形電極により構成されており、

前記櫛形電極の電極指ピッチに沿う方向が、該櫛形電極が形成されている弾性表面波フィルタにおいて表面波が伝搬する方向に対して 9 0度回転された方向とされており、

. 前記容量秦子によって発生するリップルが、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域及び受信側弾性表面波フィルタの通過帯域の 2倍波及び 3 倍波並びにその近傍に位置しないことを特徴とする、弾性表面波分波器。

1 1 . 前記圧電基板が L i T a 0 ₃基板であり、前記容量素子を構成している櫛形電極における電極指の周期が下記の式（1 ) 〜（3 ) 〔伹し、式（1 ) 〜（ 3 ) において、 f Hは、受信側弾性表面波フィルタの通過帯域の上限周波数を、 f Lは、送信側弾性表面波フィルタのフィルタの通過帯域の下限周波数を意味し、 Pは、櫛形電極の電極指ピッチ（電極指の幅と、電極指間のスペースの和）である〕のいずれかの範囲にあることを特徴とする、請求項 1 0に記載の弾性表面波分波器。

5 3 0 0 / f H≥ 2 X P …式（ 1 )

4 6 800/^/f L≤ 2 X P≤ 1 6 500/ f H …式（2)

1 8 800/ f L≤ 2 X P …式（3)

1 2. 前記櫛形電極の電極指周期が、下記の式（4) 〜（1 2) 〔伹し、 f TLは、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の下限周波数、 f THは、送信側弾性表面波フィルタの通過帯域の上限周波数、 Pは、櫛形電極の電極指ピッチを示す。〕の範囲にあることを特徴とする、請求項 1 1に記載の弾性表面波分波器。

5 5 0 0/ f H≥ 2 X P 式（4)

6 8 0 0/ f L≤ 2 X P≤ 1 6 5 00/ f H · ··式 (5)

8 8 0 0/ f L≤ 2 X P ··式 (6)

5 5 0 OX ( 2 X f TH) > 2 X P - 式 (7)

6 8 0 0/ ( 2 X f T L) < 2 X P≤ 1 6 500/ ( 2 X f TH)

…式（8)

8 8 0 0/ ( 2 X f T L) < 2 X P - 式（9)

5 5 0 0/ ( 3 X f TH) > 2 X P - ··式 (10)

6 8 0 0/ ( 3 X f T L) < 2 X P≤ 1 6 500/ ( 3 X f TH)

…式（1 1)

8 8 0 0/ ( 3 X f T L) < 2 X P · ··式（1 2)

1 3. アンテナ端子と、

前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された受 ■信側弾性表面波フイノレタと、

少なくとも 1つのインダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有する高周波素子とを備え、

前記容量素子が、前記送信側及びノまたは受信側弾性表面波フィルタを構成している圧電基板上において、第 1の電極膜と、第 2の電極膜と、第 1，第 2の電極膜間に挟持された絶縁膜とカゝらなる積層構造を形成することにより構成されている、弾性表面波分波器。

1 4 . 送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが、それぞれの独立の圧電基板を用いて構成されており、前記高周波素子を形成するための容量素子が、前記受信側弾性表面波フィルタの圧電基板に形成されている、請求項 1 0〜 1 3のいずれかに記載の弾性表面波分波器。

1 5 . 前記高周波素子を構成している容量素子が、前記受信側弾性表面波フィルタのアンテナ端子側端部の近傍に形成されている、請求項 1 4に記載の弾性表面波分波器。

1 6 . 前記送信側弾性表面波フィルタ及ぴ受信側弾性表面波フィルタが同一の圧電基板上に形成されており、前記高周波素子を構成するための前記容量素子が、受信側弾性表面波フィルタのアンテナ端子側端部の近傍に形成されていることを特徴とする請求項 1 0〜 1 3のいずれかに記載の弹性表面波分波器。

1 7 . アンテナ端子と、

前記アンテナ端子に接続されており、圧電基板を用いて構成された受信側弾性表面波フィルタと、

前記送信側弹性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、

前記インダクタが、前記パッケージ材内に形成されており、前記容量素子は、前記送信側弾性表面波フィルタ及び Zまたは受信側弾性表面波フィルタを構成している圧電基板に形成されていることを特徵とする、' 弾性表面波分波器。

1 8 . アンテナ端子と、

前記送信側弾性表面波フィルタ及ぴ受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、

前記パッケージ材内に設けられた位相調整用ストリップラインをさらに備え、

.前記インダクタが、前記位相調整用ストリップラインとパッケージ材内の同一の層に複数層に渡って形成されており、

前記受信側弾性表面波フィルタ及び送信側弾性表面波フィルタを構成している前記圧電基板が L i T a 0 ₃基板であり、'

前記容量素子が、圧電基板上に櫛形電極からなり、該櫛形電極の電極指を結ぶ方向が、弾性表面波フィルタにおいて表面波が伝搬する方向に対して直交する方向とされており、

前記櫛形電極の電極指の周期が下記の式（1 3 ) 〜（1 5 ) 〔但し、式（1 3 ) ~ ( 1 5 ) において、 ί Ηは、受信側弾性表面波フィルタの通過帯域の上限周波数を、 i Lは、送信側弹性表面波フィルタのフィルタの通過帯域の下限周波数を意味し、 Pは、櫛形電極の電極指ピッチ（電極指の幅と、電極指間のスペースの和）である] の範囲にあることを特徴とする、弾性表面波分波器。

5 300/ f H≥ 2 X P …式 (1 3) 6 800/^/ f L≤ 2 X P≤ 1 6 500 / f H …式 (14)

1 8 800/ f L≤ 2 X P …式（1 5)

1 9. アンテナ端子と、

前記ァンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記ァンテナ端子に接続された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタが搭載されたパッケージ材と、

少なくとも 1つの位相整合用素子と、

ローパスフィルタとを備える弾性表面波分波器であって、

前記ローパスフィルタが前記ァンテナ端子と、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタとの間に接続されており、前記ローパスフィルタが、ローパスフィルタ機能とァンテナ整合機能とを併せ持つことを特徴とする、弾性表面波分波器。

2 0. 前記位相整合用素子が、周波数が相対的に高い側の弾性表面波フィルタと、アンテナ端子との間に配置され、該位相整合用素子による位相遅延量が、周波数が相対的に低い側の弾性表面波フィルタの中心周波数において 90度未満であることを特徴とする、請求項 1 9に記載の弾性表面波分波器。

2 1. 前記位相遅延量が 60〜80度の範囲にある、請求項 20に記載の弾性表面波分波器。

22. 前記ローパスフィルタを除いた前記弾性表面波分波器のアンテナ端子におけるインピーダンスが、少なくとも送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタの各通過帯域幅の 5 0 %以上の周波数範囲で誘導性であり、前記ローパスフィルタの通過域におけるインピーダンスが容量性とされており、それによつてアンテナ側から見て実軸に整合がとられていることを特徴とする、請求項 1 9〜2 1のいずれかに記載の弾性表面波分波器。

2 3 . アンテナ端子と、

少なくとも 1つのインダクタと、少なくとも 1つの容量素子とを有し、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタの一端が共振接続点で接続されており、該共振接続点と、前記アンテナ端子との間にだけ設けられた高周波素子とを備え、 .

前記インダクタが、パッケージ材内に形成されており、前記容量素子力圧電基板上に形成された櫛形電極からなり、該櫛形電極の電極指ピツチの方向が、該圧電基板上において伝搬する表面波装置の伝搬方向に対して 9 0度回転された方向であり、該容量素子によって生じるリップルが送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波フィルタの通過域の約 2倍波及び 3倍波並びにその近傍に位置せず、

前記高周波素子が口一パスフィルタ機能とァンテナ整合機能とを併せ持つことを特徴とする、弾性表面波分波器。

2 4 . アンテナ端子と、

前記ァンテナ端子に接続された送信側弾性表面波フィルタと、前記ァンテナ端子に接続された受信側弾性表面波フィルタと、前記送信側弾性表面波フィルタ及び受信側弾性表面波ブイルタが搭載されたパッケージ材と、

前記パッケージ材内に設けられた位相調整用ストリップラインと、高周波素子とを備える弾性表面波分波器であって、

前記高周波素子が、送信側弾性表面波フィルタの 2倍波及び 3倍波もしくはその近傍に 2つのトラップ減衰極を有し、

該高周波素子は、第 1，第 2のインダクタと、第 1〜第 3の容量素子とを少なくとも備え、前記第 1〜第 3の容量素子が、第 1〜第 3の各共通端子に各々 2つずつの容量素子が共通接続された Δ型に接続されており、前記第 1の共通端子と、アース電位との間に第 1のインダクタが接続されており、前記第 2，第 3の共通端子間に、第 2のインダクタが接続されている、

前記第 2のインダクタが、前記パッケージ材内に設けられた位相調整用ストリップラインと同一の層にかつ複数層に渡って形成されており、前記ストリップラインの送信側信号端子と接続される端子と、前記第 2のインダクタの送信側信号端子と接続される端子とが、前記パッケ一ジ材において短絡されていることを特徴とする、弾性表面波分波器。