WO1993014885A1 - Washing system - Google Patents

Description

明細書

洗浄装置 技術分野

本発明は、 電子部品、 機械部品、 医療用具等の被洗浄物を、 その 洗浄目的に応じて、 多種類の異なった洗浄作業を簡易に行なうこと ができる洗浄装置に係るものである。 背景技術

従来、 洗浄装置は、 特公平 3 - 5 8 7 8 9号公報記載の発明また は特公平 3— 5 5 1 9 2 5号公報記載の発明のごと く、'一つの洗浄 槽内で、 浸漬洗浄、 蒸気洗浄等の異なった洗浄作業を行う ことが知 られている。

この、 従来装置は、 いずれも被洗浄物を移動しながら液洗浄、 蒸 気洗浄等を行う方法ではあるが、 被洗'净物が洗浄槽内に常に露出さ れて.おり、 洗浄槽内とは別個に、 被洗浄物を密閉状態として移動し たり、 この密閉状態で被洗浄物を洗浄したりすることができるもの ではない。

そのため、 従来は被洗浄物の蒸気洗浄を行う場合、 蒸気発生槽内 の溶剤全部を加熱して蒸気を発生させねばならず、 必要とする蒸気 を得るためのエネルギーより も遥かに多く のエネルギーを必要とし 、 不経済なものであった。

また、 従来の通常の装置で可燃性溶剤による被洗浄物の洗浄は極 めて危険なものである。 また、 この可燃性溶剤による洗浄を可能と した装置も存在するが、 装置を複雑で大型のものとし、 実用的では - ない欠点を有している。

また、 従来装置で被洗浄物を液洗浄した後、 これを乾燥しよう と する場合、 特に被洗浄物を真空乾燥するような場合には、 洗浄槽全 体を密封して、 洗浄液を抜き取った後に真空乾燥を行う。 そして真 空乾燥完了後は、 被洗浄物を取り出し、 洗浄液を洗浄槽に再度充填 して次の洗浄作業を行う。 そのため、 洗浄液の出入作業が複雑とな り、 作業性を悪いものとしている。

また、 上記の従来装置は、 液洗浄作業と真空乾燥作業とを 1つの 洗浄槽の中で連続的に行うことができない欠点を有している。

また、 連続的に真空乾燥作業のみを行う場合には、 洗浄槽と別に 真空乾燥室を設け、 液洗浄の終了した被洗浄物を、 真空乾燥室に収 納して真空乾燥を行うことが、 従来装置でも可能である。 しかしな がら、 洗浄作業に溶剤を使用する場合には、 真空乾燥室への移動過 程に於いて、 被洗浄物に付着した溶剤の拡散が生じる欠点を有して いる。 また、 真空乾燥装置が、 別個の装置を必要とするため、 機構 全体が大きくなるし、 高価なものとなる欠点を有している。

また、 従来装置のごとく、 洗浄槽内全体を真空状態とするには、 被洗浄物が占有する空間よりも、 はるかに大きな体積内を真空状態 としなければならず、 極めて効率の悪いものであった。

本発明は丄述のごとき課題を解決しょうとするものであって、 種 々の異なる洗浄作業を、 一つの洗浄槽内に於いて、 簡易に行うこと を可能にするものである。 発明の開示

本発明は、 外部槽を設け、 この外部槽に収納可能な被洗浄物の載 置台を、 外部槽内において移動可能に位置するとともに被洗浄物を 収納した状態に於いて、 載置台上の被洗浄物を被覆体により密閉可 能として成るものである。

このことにより、 洗浄液による洗浄完了後、 載置台を上昇させ、 - 洗浄液のない位置まで移動する。 その後、 被覆体で載置台の上面を 密閉被覆し、 外部槽内に設けた加熱装置により、 載置台および被覆 体を外周から加熱する。 この加熱により、 載置台および被洗浄物に 残留する少量の洗浄液を加熱蒸発させる。 この洗浄液の加熱蒸発に より、 被洗'净物を少ないエネルギーで蒸気洗浄する事ができる。

また、 被洗浄物の洗浄作業に可燃性溶剤を用いる場合には、 被洗 浄物を載置した載置台を被覆体で密閉被覆し、 この密閉状態で可燃 性溶剤による洗浄作業を行う。 同時に、 外部槽内には完全フ ッ素化 液体のガス、 窒素ガス等の不燃性ガスを充填しておき、 引火を防止 することができる。 また、 万一引火を生じた場合にも、 外部槽の不 燃性ガスによって自動的に消火することが可能となる。

また、 1つの洗浄装置で、 浸漬洗浄部と被覆体で密閉した洗浄室 とで、 異なる洗浄液を用いた洗浄が可能となり、 第 1次洗浄と濯ぎ 洗浄等の異なる洗浄作業を容易に行う ことができる。

また、 本発明は、 洗浄作業に必要とする外部機構との接続口を被 覆体に形成している。 このことにより、 接続口に接続管を介して真 空ポンプを接続し、 これを作動すれば、 被覆体で載置台を密閉状態 と した状態において、 載置台と被覆体とで形成する洗浄室内の被洗 浄物を、 真空乾燥することも可能となる。

また、 載置台の被洗浄物と洗浄液を接触した後、 この載置台を被 覆体で密閉し、 洗浄室を真空減圧すれば、 洗浄室内の洗浄液中に含 まれる気体が吸引除去される。 この、 洗浄液中からの気体除去によ り、 超音波振動が洗浄液中を極めて伝達し易いものとなる。 そのた め、 載置台に設けた超音波振動子による超音波洗浄効果が著しく上 昇し、 極めて効果の高い超音波洗浄を可能とすることができる。

また、 載置台を被覆体で密閉し、 洗浄室を減圧した状態で被洗浄 物の蒸気洗净を行えば種々の利点を有するものとなる。

即ち、 溶剤に炭化水素系溶剤、 テルペン系溶剤、 親水性溶剤、 シ リ コン系溶剤等の可燃性溶剤を用いても、 減圧雰囲気下においては -

、 空気が極めて希薄な状態での蒸気洗浄を行う ものであるから、 引 火の危険性が極めて少なく 、 安全な蒸気洗浄を可能とすることが出 未る。

また、 蒸気洗浄を、 減圧雰囲気内で行う ものとすれば、 常圧下で 溶剤を沸騰して蒸気を発生させるよりも、 低い温度で蒸気を発生さ せることが出来、 この低い蒸気温度で被洗浄物の蒸気洗浄を行うこ とが出来る。 そのため、 高温には耐えられない素材の被洗浄物であ つても、 沸点 1 0 0 °C以上の溶剤を用いて、 1 0 0 °c以下の低い温 度で蒸気洗浄を行うことが出来る。 従って、 被洗浄物の耐熱性材質 等に拘束されることがなく、 自由に被洗浄物の蒸気洗'净を行うこと が出来る。

また、 減圧して蒸気洗浄を行う場合には、 蒸気洗浄の完了後に、 洗浄蒸気の供給を停止すれば、 減圧雰囲気内は蒸気の存在しない減 圧状態のみとなるから、 この減圧により、 蒸気洗浄によって満遍な く加熱された被洗浄物の減圧真空乾燥がを行うことができ、 被洗浄 物の迅速な乾燥が可能となる。

また、 載置台を、 上下方向に洗浄液を流通させない板状に形成し ている。 そのため、 載置台の上下動時に、 外部槽内の洗浄液を強く 攪拌することができるから、 被洗浄物と洗浄液の接触を強く し、 良 好な洗浄効果を得る事ができる。

また、 載置台に、 超音波振動子を備えれば、 洗浄液内で載置台を 上下動し、 被洗浄物と洗浄液との接触を強く しながら超音波洗浄を 同時に行うことができ、 洗浄効果を高めることができる。

また、 載置台に、 被洗浄物の回転機構を備えれば、 被洗浄物を回 転しながら洗浄することができ、 凹部のある被洗浄物の洗浄におい ても、 凹部へ洗浄液の供給を確実に行うことができるものとなる。

また、 浸潰洗浄の完了後の液切りにも有効なものとなる。

また、 外部槽内に、 下端に浸漬洗浄部を設け、 この浸漬洗浄部の 上部に上部作業室を設け、 この上部作業室の上部に被洗浄物の出入 . 室を設けものとすれば、 1つの洗浄槽によって浸漬洗浄と蒸気洗浄 のごとく異なる洗浄作業を行うことが可能となる。

また、 浸漬洗浄と蒸気洗浄のごとき洗浄手段のみならず、 被覆体 で密閉した洗浄室内に、 浸清洗浄部とは異なる洗浄液を導入して洗 浄作業を行う こともできる。 即ち、 浸漬洗浄部で被洗浄物の第 1次 洗浄を行い、 上部作業室では被覆体により密閉した洗浄室内に、 異 なる洗浄液を導入して仕上げ洗浄等を行う ことも可能である。 図面の簡単な説明

第 1図は本発明の好ま しい洗浄装置の断面図、 第 2図は被覆体部 分の拡大平面図。 第 3図は洗浄室部分の拡大断面図である。 発明を実施するための最良の形態

以下本発明の一実施例を図面に於いて説明すれば、 （1 )は外部槽 で、 洗浄液（2 )を充填した浸漬洗净部（3 )を下端に設けている。

この浸清洗浄部（3 )の上部に、 内周面に冷却コイル（4)を巻き回 した上部作業室（5 )を形成している。 この上部作業室（5 )の更に上 部には、 被洗浄物（6)を出入する出入室（7)を形成している。 なお 、 この出入室（7)の出入口は、 図 1において前後方向に形成し、 図 示していない。 また、 この出入室（7)の上端は、 天板（8)で密閉し ている。

また、 外部槽（1 )の内部には、 被洗浄物（6)を載置して洗浄作業 を行う載置台（1.0)を挿入している。 また、 この載置台（10)は、 上下方向に洗浄液（2)を流通させない板状に形成し、 載置台（10) の上下動時に、 外部槽（1 )内の洗浄液（2 )を強く攪拌することがで きるものとし、 被洗浄物（6)と洗浄液（2)の接触を強く し、 良好な 洗浄効果を得る事ができるものと している。

また、 載置台（1 0)は、 超音波振動子（1 1)を上面に形成し、 洗 浄液（2 )内で載置台（10)を上下動し、 被洗浄物（6)と洗浄液（2) . との接触を強く しながら、 超音波洗浄を同時に行うことができ、 洗 浄効果を高めることができる。

また、 載置台（10)は、 超音波振動子（1 1)を上面に形成し、 こ の載置台（1 0)の上面を被覆体（13)により被覆している。 この被覆体（13)は、 断面コ字型に形成し、 下端を載置台（10) の上面に密着可能に載置するとともにその内部空間に、 被洗浄物（ 6：)を収納して洗浄作業を行う洗浄室（14 )を形成している。

また、 被覆体（1 3)の外周両側には、 ガイ ド片（15)を突出し、 このガイ ド片（15)の係合孔（16)に、 ガイ ド扦（17)を摺動自在 に装着している。 このガイ ド扞（17)は、 載置台（10)に下端を固 定し、 上下異動時に被覆体（13)が横方向に揺動することなく上下 動し得るようにしている。

また、 この被覆体（13)は、 上端面に突出した取付金具（18)に 開閉チェーン（20)を連結し、 この開閉チェーン（20)を、 外部槽 (1 )の天扳（8 )に形成した伝動軸（21)に、 プーリー（22)を介し て接続している。 また伝動軸（21)は、 外部槽（1)の外に固定した モーター（23)によって回動し、 開閉チェーン（20)を介して被覆 体（13)の下端を、 載置台（10)と分離して上昇することができる ように形成している。

また、 載置台（10)は、 昇降チェーン（24)に連結し、 この昇降 チェーン（24)を、 外部槽（1)の天板（8)に形成した回転軸（25) に、 プーリー（26)を介して接続し、 外部槽（1 )内において上下移 動を可能にしている。

また、 上記の昇降チェーン（24)および開閉チェーン（20)は同 —のモーター（23)によって作動するが、 図示しない切り替え装置 を介して各々別個に作動することも出来るよう構成している。

また、 載置台（10)は外周の四隅にガイ ド金具（27)を突出し、 このカイ ド金具（27)に載置台ガイ ド扞（28)を摺動自在に揷通し ている。 この載置台ガイ ド扞（28)は、 外部槽（1)の下端に連結し - 、 上下方向垂直に位置することにより、 昇降チェーン（24)によつ て昇降する際に、 載置台（10)が横方向に揺動することのないよう 構成している。 - また、 被覆体（13)は、 天井板（29)に接続口（30)と排出口（ 3 1 )とを形成し、 それぞれに接続管（3 2 )および排出管（3 3 )を 接続している。 そして接続管（3 2 )には、 外部槽（1 )とは別個に形 成した、 被洗浄物（6 )の洗浄作業に必要とされる外部機構（図示せ ず）を接続している。

この外部機構は、 洗浄目的に応じて任意のものを選択することが できる。 例えば、 外部機構を、 洗浄蒸気の発生槽とし、 洗浄室（1 4 )内に洗浄蒸気を供給することができる。

また、 他の一例においては、 外部機構を真空ポンプとし、 接続管 ( 3 2 )の他端を接続して洗浄室（1 4 )内を真空状態とすることによ り、 被洗浄物（6 )の真空乾燥を可能とすることができる。

また、 載置台（ 1 0 )を被覆体（ 1 3 )で密閉し、 洗浄室（1 4 )を減 圧した状態で被洗浄物（6 )の蒸気洗浄を行う こ とができる。 この場 合は、 洗浄液に炭化水素系溶剤、 テルペン系溶剤、 親水性溶剤、 シ リ コン系溶剤等の可燃性溶剤を用いても、 減圧雰囲気下においては 、 空気が極めて希薄な状態での蒸気洗浄を行う ものであるから、 引 火の危険性が極めて少なく、 安全な蒸気洗浄を可能とすることが出 来る。

また、 蒸気洗浄を、 減圧雰囲気内で行う ものとすれば、 常圧下で 溶剤を沸騰して蒸気を発生させるより も、 低い温度で蒸気を発生さ せることが出来、 この低い蒸気温度で被洗浄物（6 )の蒸気洗浄を行 う ことが出来る。 そのため、 高温には耐えられない素材の被洗浄物 ( 6 )であっても、 沸点 1 0 0 °C以上の溶剤を用いて、 1 0 0 °C以下 の低い温度で蒸気洗浄を行う ことが出来る。 従って、 被洗浄物（6 ) の耐熱性材質等に拘束されることがなく、 自由に被洗浄物の蒸気洗 浄を行う ことが出来る。 - また、 減圧して蒸気洗浄を行う場合には、 蒸気洗浄の完了後に、 洗浄蒸気の供給を停止すれば、 被覆体（1 3 )で密閉した減圧雰囲気 内は、 蒸気の存在しない減圧状態のみとなる。 この減圧により、 蒸 気洗浄によって満遍なく加熱された被洗浄物（6 )の減圧真空乾燥を 行うことができ、 被洗浄物（6 )の迅速な乾燥が可能となる。

また、 洗浄室（14)内に被洗浄物（6)および洗浄液（2)を導入し た後、 この洗浄室（14)を密閉し、 洗浄室（14)内を真空減圧すれ ば、 洗浄室（14)内の洗浄液（2)中に含まれる気体が吸引除去され. る。 この、 洗浄液（2)中からの気体除去により、 超音波振動が洗浄 液中を極めて伝達し易いものとなる。 そのため、 載置台（10)内に 設けた超音波振動子（11)による、 超音波洗浄効果が著しく上昇し 、 極めて効果の高い超音波洗浄を可能とすることができる。

また、 外部槽（1)には、 蒸気発生槽（34)を接続している。 この 蒸気発生槽（34 )は適宜の溶剤（35 )を内部に収納し、 ヒータ一（ 36)によってこの溶剤（35)を加熱することにより、 蒸気の発生 を可能としている。 そして、 この蒸気発生槽（34)と外部槽（1)と は、 浸漬洗浄部（3 )の上部に蒸気の導入口（37)を開口し、 上部作 業室（5)に蒸気を導入出来るように構成している。 尚、 この蒸気発 生槽（34)は、 外部機構から接続管（32)を介して洗浄蒸気を供給 出来る場合には必要がない。

また、 必ずしも必要とはしないが、 外部槽（1)の外周は、 一定間 隔を介して保護カバー（38)によって被覆し、 万一の溶剤蒸気の外 部への漏洩を防止している。

上述のごとく構成したものであるから、 被洗净物（6)の洗浄に於 いて種々の洗浄作業を行うことができる。 その一例としては、 外部 槽（1 )の出入室（7)に載置台（10)を位置して、 外部槽（1)の出入 口（図示せず）を開口する。 そして、 載置台（10)の上、 若しくは載 置台（10)に設けた出入ローラ一（39)上に被洗浄物（6)を載置す る o - 次に、 モーター（23)を作動し、 開閉チェーン（20)および昇降 チェーン（24)を同時に伸ばすことにより、 載置台（10)を外部槽 (1)の下端に設けた浸漬洗浄部（3)まで下降させ、 載置台（10)と 被洗浄物（6 )を洗浄液（2 )中に浸漬する。 そして、 この浸漬洗浄部（3)内において超音波振動子（11)を作 動する等の方法により、 被洗浄物（6)の浸漬洗浄を行う。 また、 こ の浸漬洗浄は、 昇降チェーン（24)を小さ く上下動することにより 、 載置台（10)を上下に揺動して行えば、 載置台（10)が、 上下方 向に洗浄液（2 )を流通させない板状に形成しているから、 載置台（ 10)の上下動時に、 外部槽（1)内の洗浄液（2)を強く攪拌するこ とができるものとなる。 そのため、 被洗浄物（6 )と洗浄液（2 )の接 触を強く し、 良好な洗浄効果を得る事ができる。

また、 載置台（10)は、 超音波振動子（11)を上面に形成してい るから、 洗浄液（2)内で載置台（10)を上下動し、 被洗浄物（6)と 洗浄液（2)との接触を強く しながら、 超音波洗浄を同時に行う こと ができ、 洗浄効果を高めることができる。

また、 被洗浄物（6)または被洗浄物（6)を収納した洗浄籠を、 回 転し得る回転機構を載置台（10)に組み込んで、 被洗浄物（6)を回 転しながら洗浄するものであっても良い。

次に、 こめ浸漬洗浄完了後にモーター（23)を作動し、 昇降チェ ーン（24)により載置台（10)を浸漬洗浄部（3)の上方に設けた上 部作業室（5)まで移動させる。 この上部作業室（5)において、 蒸気 発生槽（34 )で発生し導入口（37)から導入する洗浄蒸気により被 洗浄物（6)の蒸気洗浄を行う。 この場合、 載置台（1 0)と被覆体（ 1 )とは分離し、 開放状態を保っている。

そして、 蒸気洗浄の完了後は、 導入口（37)を密閉した後、 冷却 コイル（4 )に冷却水を通水して、 蒸気の凝縮を行う。 この蒸気の凝 縮により、 被洗浄物（6 )を冷却乾燥する。

また、 他の方法では、 上部作業室（5 )において被覆体（13)を載 - 置台（10)上に載置し、 洗浄室（14 )内を密閉状態とした後、 接続 管（32)の他端にバキュームポンプを接続し、 洗浄室（14)内を減 圧状態として被洗浄物（6)の減圧乾燥を行う ことが可能となる。

また、 更に異なる使用例においては、 上部作業室（5)内にヒータ 一（図示せず）をあらかじめ設置しておき、 このヒーターを作動する ことにより、 被覆体（1 3 )で密閉した洗浄室（1 4 )を加熱し、 洗浄 室（1 4 )内に位置する被洗浄物（6 )を、 加熱乾燥してもよい。

この場合において、 洗浄室（1 4 )内を減圧状態としすれば、 加熱 乾燥とともに減圧乾燥をすることができるから、 被洗浄物（6 )の乾 燥をより迅速確実にすることができる。

また、 上記の実施例では、 被洗浄物（6 )の蒸気洗浄を行うのに、 外部槽（1 )に隣接して設けた蒸気発生槽（3 4 )から蒸気を発生させ て行った。 しかしながら、 必ずしもその必要はなく、 浸漬洗浄部（ 3 )から上昇した載置台（1 0 )および被洗浄物（6 )に、 少量の洗浄 液（2 )を残留させるか別個の溶剤を充填して被覆体（1 3 )で密閉し 、 上部作業室（5 )の内面に設けたヒーター（図示せず）により加熱す る。 この加熱により、 洗浄室（1' 4 )内に蒸気を発生させ、 この蒸気 によって、 被洗浄物（6 )®蒸気洗浄を行ってもよい。

このように構成することにより、 蒸気発生槽（3 4 )において、 多 量の溶剤を一時に加熱して蒸気化しなければならない不経済性を除 去し、 洗浄室（1 4 )内に残留する少量の洗浄液（2 )のみを加熱して 蒸気化すれば、 経済的な蒸気洗浄作業が可能となる。

また、 この蒸気洗浄は、 被覆体（1 3 )で密閉した洗浄室（1 4 )を 減圧状態として行へば、 洗浄液に炭化水素系溶剤、 テルペン系溶剤 、 親水性溶剤、 シリ コン系溶剤等の可撚性溶剤を用いても、 引火の 危険性が極めて少なく、 安全な蒸気洗浄を可能とすることが出来る また、 蒸気洗浄を、 減圧雰囲気内で行へば、 低い温度で蒸気を発 生させることが出来、 高温には耐えられない素材の被洗浄物（6 )で - あっても、 高沸点溶剤を用いて被洗浄物（6 )の耐熱性材質等に拘束 されることがなく、 自由に被洗浄物の蒸気洗浄を行うことが出来る また、 減圧して蒸気洗浄を行う場合は、 洗浄蒸気の供袷を停止す るのみで、 減圧雰囲気内は、 蒸気の存在しない減圧状態のみとなる から、 この減圧により、 蒸気洗浄によって満遍なく加熱された被洗 浄物（6 )の減圧真空乾燥がを行う ことができ、 被洗浄物（6 )の迅速 な乾燥が可能となる。

また、 上記実施例では被覆体（1 3 )を開閉チェーン（2 0 )により 上下動し得るものとしているが、 必ずしもその必要はない。 即ち被 覆体（1 3 )を出入室（7 )の上端等の適宜の位置に固定し、 載置台（ 1 0 )が移動して被覆体（1 3 )と密接したときに載置台（1 0 )を被 覆し、 洗浄室（1 4 )を密閉して形成するものとしてもよい。 この場 合は、 被覆体（1 3 )の上下動機構が不要となる利点がある。 しかし 、 外部槽（1 )の上下方向の任意の位置で密閉した洗浄室（1 4 )を形 成できる利点はなく なる。

また、 上記の各実施例では、 載置台（1 0 )、 被覆体（1 3 )等を上 下方向に移動するものとしているが、 外部槽（1 )内の横方向に複数 の浸漬洗浄部（3 )を設け、 載置台（ 1 0 )、 被覆体（1 3 )等も横方向 に移動し得るものと してもよい。 また、 上記の各実施例では洗浄液と して溶剤を用いたが、 水溶性 洗剤を用いるものであっても良く、 任意の洗浄液を、 洗浄目的に応 じて選択することができるものである。

産業上の利用可能性

本発明は、 電子部品、 機械部品、 医療用具等の被洗浄物を洗浄す るのに適している。 また、 被洗浄物の洗浄目的に応じて、 多種類の 異なつた洗浄作業を 1 つの装置により簡易に行なう場合に適してい る ο ,

Claims

請求の範囲' 外部槽を設け、 この外部槽に収納可能な被洗浄物の載置台を

、 外部槽内において移動可能に位置するとともに被洗浄物を収 . 納した状態に於いて、 載置台上の被洗浄物を被覆体により密閉 可能としたことを特徴とする洗浄装置。

被覆体には、 洗浄作業に必要とする外部機構との接続口を形 成したことを特徵とする請求の範囲第 1項記載の洗浄装置。

被覆体は、 外部槽内において移動可能としたものであること を特徵とする請求の範囲第 1項、 第 2項記載の洗浄装置。

被覆体は、 外部槽内において定位置に固定したものであるこ とを特徴とする請求の範囲第 1項、 第 2項記載の洗浄装置。

載置台は、 上下方向に洗浄液を流通させない板状に形成し、 上下動時に外部槽内の洗浄液を強く攪拌し得るようにしたもの である事を特徵とする請求の範囲第 1項記載の洗浄装置。

載置台'は、 超音波振動子を備えたものである事を特徴とする 請求の範囲第 1項第 5項記載の洗浄装置。

載置台は、 被洗浄物の回転機構を備えたものである事を特徴 とする請求の範囲第 1項記載の洗浄装置。

被覆体には、 接続管を介して減圧機構に接続したものである 事を特徴とする請求の範囲第 1項記載の洗浄装置。

外部槽内には、 下端に浸漬洗浄部を設け、 この浸漬洗浄部の 上部に上部作業室を設け、 この上部作業室の上部に被洗浄物の 出入室を設けものである事を特徴とする請求の範囲第 1項記載 の洗浄装置。 -