JP3441706B2 - 真空蒸留洗浄方法 - Google Patents
真空蒸留洗浄方法Info
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Description
精密部品、光学ガラス部品、プラスチック部品、電子部
品等の真空蒸留洗浄方法に関するものである。
密備品、ガラスレンズや眼鏡レンズ等の光学ガラス部
品、キーボード、ギヤー等のプラスチック部品、磁気ヘ
ッド、スイッチリレー等の電子部品を超音波蒸気洗浄装
置で洗浄されている。
吊設具に洗浄品を収容した洗浄かごを搭載して洗浄液に
浸漬し、洗浄装置の底部で洗浄液に超音波を発生して、
超音波洗浄するものであった。
に、吊設具を旋回したりして洗浄品を回転したり、搖動
して、浸漬洗浄したり、蒸気洗浄したりしている。ま
た、洗浄品に付着した洗浄液を洗い落とすために、洗浄
品にリンス液をスプレーしてリンス処理しているもので
あった。
境の保全等から炭化水素系溶剤等の洗浄液が使用されて
いるが、洗浄乾燥装置を真空槽としたり、モーター等を
防爆型として装着しなければならず、装置が複雑なもの
となり、また部品が多くなって価格が高くなるものであ
った。
上部のシャワーリンス洗浄や仕上げ蒸気洗浄、乾燥部側
との間には何らかの物理的な遮断板の仕切りゲートを設
けており、特に洗浄品の乾燥にはこの仕切りゲートを介
して乾燥処理をするというのが常識的なことであった。
切りゲートで遮断して乾燥をしなければならないという
ことは、仕切りゲートの配設やそのためのシール構造等
に相当の配慮をしなければならなくて構造が複雑化し、
価格も高くなり、また洗浄〜乾燥のサイクルタイムが長
くなるものであった。
点に鑑みたもので、上記の課題を解決するために、洗浄
品を洗浄かごに収容し、洗浄乾燥装置内に投入して所定
の温度に加熱するとともに、洗浄乾燥装置内を接続配管
を介して真空ポンプで真空吸引して下部の洗浄液を装填
した洗浄部に洗浄品を浸漬して洗浄し、上記洗浄かごを
洗浄液から吊り上げて上部の乾燥部への途中で冷温のリ
ンス液を洗浄品に噴射してリンス処理し、ついで洗浄液
の蒸気で蒸気洗浄し、そして上記した洗浄部の上方に位
置する乾燥部に吊り上げて上記のように蒸気洗浄した洗
浄品を真空状態下で乾燥し、その後洗浄部と乾燥部との
間に配設したキャリアガス用ノズルから乾燥空気や窒素
等のキャリアガスを噴出して洗浄部と乾燥部とをガスカ
ーテンないしガス層で水平に仕切るとともに、上記洗浄
品を乾燥空気や窒素等のキャリアガスによって乾燥処理
することを特徴とする真空蒸留洗浄方法を提供するにあ
る。
浄品を洗浄かごに収容し、洗浄乾燥装置内に投入して所
定の温度に加熱するとともに、洗浄乾燥装置内を接続配
管を介して真空ポンプで真空吸引して下部の洗浄液を装
填した洗浄部に洗浄品を浸漬して洗浄し、上記洗浄かご
を洗浄液から吊り上げて上部の乾燥部への途中で冷温の
リンス液を洗浄品に噴射してリンス処理し、ついで洗浄
液の蒸気で蒸気洗浄し、そして上記した洗浄部の上方に
位置する乾燥部に吊り上げて上記のように蒸気洗浄した
洗浄品を真空状態下で乾燥し、その後洗浄部と乾燥部と
の間に配設したキャリアガス用ノズルから乾燥空気や窒
素等のキャリアガスを噴出して洗浄部と乾燥部とをガス
カーテンないしガス層で水平に仕切るとともに、上記洗
浄品を乾燥空気や窒素等のキャリアガスによって乾燥処
理することを特徴としている。
置本体2を竪型の箱状としているもので、その下部に洗
浄液3を装填する洗浄部4を設け、中程部と上部にリン
ス用ノズル5、6を取り付けて洗浄部4と乾燥部7の中
間部でリンスし、蒸気洗浄して仕上げ洗浄した後、上部
の乾燥部7で真空乾燥するとともに、キャリアガスをキ
ャリアガス用ノズル8を介して噴射して乾燥するように
構成している。
2のように搬入出扉9を気密的に開閉シリンダー10で
開閉自在に配設していて、この上面11の中央部に昇降
シリンダー12を配設して気密的に吊設具13を吊設
し、この吊設具13に洗浄かご14を搭載して、上記し
た洗浄部4と乾燥部7との間を昇降自在にかつ途中で適
宜に停止可能にして搬送するようにしている。
した吊りフレーム15の下端に格子状や網状の載置材1
6を取り付け、この載置材16に洗浄かご14を交換可
能に搭載して洗浄かご14に収容した洗浄品18を奇麗
に洗浄して乾燥するようにしている。
周部にスチーム加熱やヒートパイプ加熱等の加熱部19
を配設して、装填した脱フロン、脱エタン、脱塩素系の
100〜200°Cの高沸点の炭化水素系溶剤や親水性
溶剤等の洗浄液3を80〜100°Cの所定の温度に加
熱制御するようにしている。
のようにコンデンサー20を介して真空ポンプ21を配
管接続し、洗浄乾燥装置1内を所定の真空状態にするよ
うにして、上記した洗浄液3を真空下で蒸発して洗浄品
18を真空蒸気洗浄したり、真空乾燥できるようにして
いるものである。22は、洗浄乾燥装置1内を真空ポン
プ21で真空吸引する開閉制御用の蒸気洗浄用弁であ
る。
は、図3のようにその末端側に蒸留回路タンク24を配
設し、回収した洗浄液をリンス液として洗浄乾燥装置1
の上部、中部のリンス用ノズル5、6から洗浄品18に
シャワー状にリンス液を噴射してリンス処理できるよう
に配管している。25はリンス液の送給ポンプ、26は
リンスシャワー用弁、27は真空減圧ポンプである。
ズル8には、図3のように20〜100°Cに加熱した
乾燥空気や乾燥窒素ガス等のキャリアガスを噴出し、吸
引するようにして、真空乾燥した洗浄品18を完全に乾
燥するようにしている。
燥装置1内の圧力が上がって洗浄液3の蒸発量が極端に
減少し、また洗浄部4と乾燥部7とをガスカーテンない
しガス層で仕切れるようにできることによって、仕切り
ゲートなく洗浄品18を有効に乾燥することができる。
上記キャリアガス用ノズル8として、リンス用のノズル
5、6を併用したり、代替するようにもできる。
のように洗浄液の蒸発量を減少できる。また、必要によ
り、図1〜図3のように洗浄部4と乾燥部7との間の洗
浄乾燥装置1の側壁に排気孔28を開孔し、排気用開閉
弁29を開閉して真空吸引回路23側へ排気するように
もできる。
を清浄にする循環ポンプ、32はそのフィルター、33
は復圧弁、34は洗浄液3が減少したときに供給するた
めの洗浄液供給パイプである。
である。洗浄乾燥装置1は、図1のように装置本体2を
ほぼ1600mm幅×1600mm奥行×2000mm
高さのできるだけ小型にしていて、正面の開閉シリンダ
ー10で搬入出扉9を開けて投入台35を介して所要の
洗浄品18を収容した洗浄かご14を吊設具13の吊り
フレーム15に搬入して洗浄するようにしている。
を閉じて、装置本体2内を真空ポンプ21で所定の真空
状態に吸引し、昇降シリンダー12を下降して図1の一
点鎖線のように洗浄品18を加熱部19で100°Cの
設定温度に加熱した洗浄液3中に浸漬し、吊りフレーム
15の下部に配設した超音波発振器36を介して超音波
浸漬洗浄するものである。
系の沸点約200°Cの炭化水素系溶剤で、真空状態と
することで安全に、かつ洗浄液中の混在気体を脱気でき
て洗浄処理することができる。
シリンダー12で洗浄かご14を洗浄液3から引き上げ
て途中で停止し、リンスシャワー用弁26を開いて蒸留
回収タンク23に蓄積したリンス液をリンス用ノズル
5、6からシャワー状に噴射して洗浄品18をリンスシ
ャワーして洗浄する。こうすることによってサイクルタ
イムの短縮化がはかれ、また低温のリンス液によって高
温状態で洗浄した洗浄品18をその温度変化によって有
効に洗浄することができる。
弁26を閉じ、洗浄液3の蒸気で洗浄品18を蒸気洗浄
するものである。
部7の所定位置に引き上げ、真空ポンプ21の吸引量を
減少したり、加熱部19での加熱温度を下げて蒸気発生
量を減少し、蒸気洗浄した洗浄品18を真空乾燥する。
真空ポンプ21や加熱部19の真空吸引量や加熱温度は
適宜連結的ないし、段階的に加減制御できる。
7を開き、キャリアガス用ノズル8から乾燥窒素のキャ
リアガスを噴射し、真空吸引回路23を介して吸引して
洗浄品18を迅速に乾燥していくものである。
内の圧力が上昇して洗浄液3の蒸気量を抑えることがで
き、洗浄品18を乾燥することができるとともに、特に
洗浄部3と乾燥部7との間のキャリアガス用ノズル8等
からキャリアガスを噴射することによって、洗浄部3と
乾燥部8との間に物理的な仕切りゲートの遮断がなくて
も、流体的に仕切りができる。そのため、洗浄部3と乾
燥部8との間に物理的な仕切りゲートで仕切る工程が必
要なく、サイクルタイムを短縮でき、洗浄品18を完全
に乾燥することができる。
気用開閉弁29を開いて排気を併用することが好まし
い。
3を開いて装置本体2の内部を大気圧に復圧し、開閉シ
リンダー10で搬入出扉9を開いて洗浄かご14を搬出
し、次の洗浄品18を上記のように搬入して繰り返して
洗浄乾燥処理していくことができる。
ーの代わりに昇降モータ手段等を利用したり、超音波発
振器を洗浄部の底部等に配設したり、洗浄品を搖動して
洗浄するなど、上記した本発明の趣旨にもとづいて適宜
の変形態様を実施することができる。
漬洗浄するので、脱フロン、脱エタン、脱塩素系の炭化
水素系溶剤や親水性溶剤等の洗浄液を利用して行うこと
ができ、かつその高温状態の洗浄品に低温のリンス液を
噴射するので、有効にリンス処理できる。
乾燥部への途中で冷温のリンス液を洗浄品に噴射してリ
ンス処理し、ついで洗浄液の蒸気で蒸気洗浄することに
よって、連続的に洗浄、リンス処理が行え、サイクルタ
イムを一層短縮化することができる。
燥部に吊り上げて上記のように蒸気洗浄した洗浄品を真
空状態下で乾燥し、その後洗浄部と乾燥部との間に配設
したキャリアガス用ノズルから乾燥空気や窒素等のキャ
リアガスを噴出して、洗浄部と乾燥部とをガスカーテン
ないしガス層で水平に仕切るとともに、上記洗浄品を乾
燥空気や窒素等のキャリアガスによって乾燥処理するの
で、洗浄液の真空蒸留を利用して洗浄、乾燥を有効に行
えるとともに、キャリアガスによって乾燥部内の圧力が
上昇して洗浄液の蒸気を抑えることができ、乾燥部で上
記蒸気洗浄、真空乾燥した洗浄品を完全に乾燥処理でき
る。特に、キャリアガスを利用して物理的な仕切りゲー
トを必要とすることなく行えるので、装置の簡素化がは
かれて価格を低下でき、しかもサイクルタイムの短縮化
もはかれる。
ス用ノズルを配設して、キャリアガスの噴出用にこれら
のリンス用ノズルを併用してキャリアガスを噴出して洗
浄品を乾燥処理することによって、上記キャリアガス用
ノズルとしてリンス用のノズルを併用でき、上記のよう
に乾燥部で蒸気洗浄、真空乾燥した洗浄品を完全に乾燥
処理できる。
吸引することによって真空状態にして加熱した洗浄液を
蒸発させ、この洗浄液の蒸気で蒸気洗浄することによっ
て、浸漬洗浄、リンス後の蒸発洗浄に至る時間を短縮で
きて洗浄処理でき、さらに乾燥に至る工程を連続状に行
えてサイクルタイムの短縮化がはかれる。
波を発生して超音波洗浄することによって、洗浄効果を
増大できて、精密な洗浄処理ができる。
3…洗浄液 4…洗浄部 5、6…リンス用ノズル
7…乾燥部 8…キャリアガス用ノズル 12…昇降シリンダー 13…吊設具 14…洗浄かご
18…洗浄品 19…加熱部 21…真空ポンプ
22…蒸気洗浄用弁 23…真空吸引回路 26…リンスシャワー用弁
Claims (4)
- 【請求項1】 洗浄品を洗浄かごに収容し、洗浄乾燥装
置内に投入して所定の温度に加熱するとともに、洗浄乾
燥装置内を接続配管を介して真空ポンプで真空吸引して
下部の洗浄液を装填した洗浄部に洗浄品を浸漬して洗浄
し、 上記洗浄かごを洗浄液から吊り上げて上部の乾燥部への
途中で冷温のリンス液を洗浄品に噴射してリンス処理
し、ついで洗浄液の蒸気で蒸気洗浄し、そして上記した洗浄部の上方に位置する乾燥部に吊り上
げて上記のように蒸気洗浄した洗浄品を真空状態下で乾
燥し、その後洗浄部と乾燥部との間に配設したキャリア
ガス用ノズルから乾燥空気や窒素等のキャリアガスを噴
出して洗浄部と乾燥部とをガスカーテンないしガス層で
水平に仕切るとともに、上記洗浄品を乾燥空気や窒素等
のキャリアガスによって 乾燥処理することを特徴とする
真空蒸留洗浄方法。 - 【請求項2】 洗浄部と乾燥部との間にキャリアガス用
ノズルを配設するとともに、洗浄乾燥装置の側壁に排気
孔を開孔して、キャリアガス用ノズルから噴出したキャ
リアガスを排気孔を介して吸入して排気する請求項1に
記載の真空蒸留洗浄方法。 - 【請求項3】 洗浄乾燥装置の上部や中部にリンス用ノ
ズルを配設して、キャリアガスの噴出用にこれらのリン
ス用ノズルを併用してキャリアガスを噴出して洗浄品を
乾燥処理する請求項1または2に記載の真空蒸留洗浄方
法。 - 【請求項4】 洗浄乾燥装置内を真空ポンプで吸引する
ことによって真空状態にして加熱した洗浄液を蒸発さ
せ、この洗浄液の蒸気で蒸気洗浄する請求項1ないし3
のいずれかに記載の真空蒸留洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000271071A JP3441706B2 (ja) | 2000-09-07 | 2000-09-07 | 真空蒸留洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000271071A JP3441706B2 (ja) | 2000-09-07 | 2000-09-07 | 真空蒸留洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002079196A JP2002079196A (ja) | 2002-03-19 |
JP3441706B2 true JP3441706B2 (ja) | 2003-09-02 |
Family
ID=18757407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000271071A Expired - Fee Related JP3441706B2 (ja) | 2000-09-07 | 2000-09-07 | 真空蒸留洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3441706B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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