JP7232395B2 - 真空脱脂洗浄装置およびそれを用いた真空脱脂洗浄方法 - Google Patents
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Description
11,21,31,41 テーブル
12,22,32,42 ベローズ(蛇腹)
13,23,33,43 ストッパー部材
14,24,34,44 押し上げ部材
50 積載台
100 洗浄室
L,S 有機溶剤
P1,P2 配管
Claims (6)
- 被洗浄物を内部に収容できる洗浄室と、前記洗浄室内を減圧雰囲気にする真空ポンプと、前記洗浄室内へ有機溶媒を供給する洗浄タンクと、を備える真空脱脂洗浄装置において、前記洗浄室には、前記被洗浄物を設置する積荷台と、前記積荷台の下方に設置されてストッパー部品および押し上げ部材をそれぞれ各端部に備えたテーブルと、前記テーブルを下方から支持して前記洗浄室内との差圧で内部が膨張するベローズと、を有して、前記ベローズの膨張により前記テーブルが持ち上がり、前記押し上げ部材が前記積荷台の端部を押し上げると共に前記ストッパー部品が前記積荷台の端部と接触することで前記積荷台が傾動する傾動機器が設置されていることを特徴とする真空脱脂洗浄装置。
- 前記洗浄室の底部には、前記ベローズの内部に不活性ガスを導入する配管をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の真空脱脂洗浄装置。
- 請求項1または2に記載の真空脱脂洗浄装置を用いた真空脱脂洗浄方法であって、前記被洗浄物を前記洗浄室内へ搬入する第1工程と、前記第1工程後に前記洗浄室内を減圧することで前記ベローズが膨張して前記積荷台の傾動により前記被洗浄物が徐々に傾斜する第2工程と、前記第2工程後に前記被洗浄物に対して前記有機溶媒を用いて洗浄する第3工程と、前記第3工程後に前記洗浄室内から前記被洗浄物を搬出する第4工程と、を含み、前記第3工程にて前記被洗浄物を傾斜させた状態で前記有機溶媒を用いて洗浄することを特徴とする真空脱脂洗浄方法。
- 前記第3工程では、前記被洗浄物に対して前記有機溶媒を噴霧または散水することで洗浄することを特徴とする請求項3に記載の真空脱脂洗浄方法。
- 前記第3工程では、前記洗浄室内へ前記有機溶媒を導入して前記被洗浄物を浸漬することで洗浄することを特徴とする請求項3に記載の真空脱脂洗浄方法。
- 前記有機溶媒中に浸漬された前記被洗浄物を上下方向に揺動することを特徴とする請求項5に記載の真空脱脂洗浄方法。
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Patent Citations (2)
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