JP4846057B1 - 被洗浄物の洗浄装置 - Google Patents

被洗浄物の洗浄装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4846057B1
JP4846057B1 JP2011059617A JP2011059617A JP4846057B1 JP 4846057 B1 JP4846057 B1 JP 4846057B1 JP 2011059617 A JP2011059617 A JP 2011059617A JP 2011059617 A JP2011059617 A JP 2011059617A JP 4846057 B1 JP4846057 B1 JP 4846057B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
cleaned
opening
tank
work chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011059617A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2012192372A (ja
Inventor
正英 内野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Field Co Ltd
Original Assignee
Japan Field Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Field Co Ltd filed Critical Japan Field Co Ltd
Priority to JP2011059617A priority Critical patent/JP4846057B1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4846057B1 publication Critical patent/JP4846057B1/ja
Priority to US14/004,590 priority patent/US20140102490A1/en
Priority to PCT/JP2012/000082 priority patent/WO2012124241A1/ja
Priority to CN201280013482.3A priority patent/CN103429361B/zh
Publication of JP2012192372A publication Critical patent/JP2012192372A/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)

Abstract

【課題】被洗浄物の洗浄作業を行う作業室を、洗浄槽内を上下移動可能とし洗浄槽とは別個に気密的に遮断して形成したものであるから、減圧乾燥等の被洗浄物の洗浄作業に必要な最小限の空間を形成する事が可能となるとともに洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気が存在する状態での減圧乾燥が、減圧機構に無駄な負荷をかけたりすることが無く効率的に行う事を可能とする。
【解決手段】洗浄槽1内を上下移動可能とするとともに上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部22を形成して被洗浄物12を収納するための耐圧性の作業室2を設ける。この作業室2の側面に設けた開口部22を被覆して作業室2内を密閉可能とするとともにこの作業室2内を減圧機構27に接続して減圧可能とする被覆体24を、洗浄槽1の内面に水平方向に進退可能に形成する。
【選択図】図1

Description

本発明は被洗浄物の洗浄装置に係るものであって、減圧を用いた被洗浄物の洗浄作業を
簡易かつ小型の装置により可能とすると共に、洗浄目的に応じた複数種の洗浄作業を簡易
かつ確実に行うことを可能にしようとするものである。
従来、被洗浄物の浸漬洗浄、蒸気洗浄、減圧乾燥等を行う場合に、これらの洗浄方法を
別個の洗浄槽で行う場合と、一個の洗浄槽で全ての洗浄を行うものとが存在した。浸漬洗
浄、蒸気洗浄、減圧乾燥等を別個の洗浄槽で行う場合は、個々の洗浄槽の機構を単機能と
することが出来るため、個々の装置は構成を簡略化できると共に個々の作業的には優れた
洗浄効果を得ることが可能となる。しかしながら、複数の洗浄槽を使用するため装置を大
型化し高価なものとなると共に、被洗浄物を、複数の洗浄槽間を移動させるため、溶剤蒸
気の拡散等を生じる欠点を有していた。
また、上記の欠点を除去する目的で浸漬洗浄、蒸気洗浄、減圧乾燥等の複数の洗浄作業
を一つの洗浄槽内で行おうとするものが存在する。一つの洗浄槽内で被洗浄物を浸漬洗浄
や蒸気洗浄をした後に減圧乾燥するためには、減圧乾燥を行う場所と洗浄液の収納部とを
遮断する必要がある。この遮断を行わないと減圧によって洗浄液が際限なく揮発して確実
な減圧乾燥が困難となるし、減圧機構に多くの負荷を生じさせるためである。
そこで特許文献1、2に示す如く、洗浄液収納部と被洗浄物の乾燥部とを、洗浄槽の側
面から挿入するゲートバルブによって仕切る事により、洗浄液収納部と被洗浄物の乾燥部
とを遮断して、乾燥部における被洗浄物の乾燥作業を行おうとするものが知られている。
また、特許文献3に示す如く、洗浄槽の洗浄液側に予め配置している被覆板を、洗浄槽の
液面よりも上方に配置した環状鍔のパッキンに押圧する事により洗浄液収納部と被洗浄物
の乾燥部とを遮断して、乾燥部における被洗浄物の乾燥作業を行おうとするものが知られ
ている。
特開平7−227581号公報 特開平6−15239号公報 特開平2000−160378号公報
しかしながら特許文献1、2に記載の発明は洗浄液収納部と被洗浄物の乾燥部とを、洗
浄槽の側面から挿入するゲートバルブによって仕切るものであるから、ゲートバルブが洗
浄槽の側面に大きく突出するものとなり装置を大型化し好ましくない。また、ゲートバル
ブの摺動面に、洗浄によって被洗浄物から分離した汚泥、切り粉等が付着し、気密性を損
なう欠点を有している。ゲートバルブの摺動によってシール部を破損する可能性が高いも
のである。
また、特許文献3に示す発明に於いては、上述のごとき欠点を生じる事はないが、洗浄
槽の液面よりも上方に配置した環状鍔のパッキンに被覆板を押圧する事により、被洗浄物
の減圧乾燥を行う気密室を形成しようとするものである。そして、この特許文献3に示す
発明に於いても、特許文献1、2に記載の発明に於いても、被洗浄物の減圧乾燥を行う気
密室は洗浄槽を仕切って形成するものであるから、洗浄槽そのものを大きく利用するもの
となる。その結果、浸漬洗浄、蒸気洗浄等で洗浄槽の内面に付着していた洗浄液や凝縮液
を、そのままの状態で減圧乾燥を行うものとなるため、減圧機構に過度の負荷を発生させ
るものとなるし効率の悪い減圧乾燥と成るものである。
また、特許文献1〜3に示す発明は、洗浄槽を横断して仕切るものであるから、前記の
遮断によって発生する減圧乾燥室の大きさを、洗浄槽の横断直径以下にする事は出来ない
。そのため、被洗浄物の減圧乾燥には不必要な大きさの乾燥室を形成するものとなり、装
置を大型化して好ましくないとともに減圧のための容積を不必要に大きなものとするから
、減圧機構に余分な負荷を与えるものとなるし、減圧効率を損なうものとなる。
そこで、本願発明は上述の如き課題を解決しようとするものであって、洗浄槽とは全く
別個に減圧乾燥部を形成し、被洗浄物の減圧乾燥を、必要とされる最小限の空間を減圧す
る事により可能とするとともにこの減圧可能空間を利用して、減圧乾燥以外の種々の洗浄
作業を可能とする。また、減圧乾燥時には確実な気密状態を形成し、気密漏れの発生が無
いようにするものである。
本願発明は上述の如き課題を解決するため、下底に被洗浄物の洗浄液を収納した洗浄槽内を上下移動可能とするとともに上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部を形成して被洗浄物を収納するための耐圧性の作業室を洗浄槽とは別個に設ける。この作業室は円筒状、角筒状等の筒状に形成し、この筒状の作業室の上下移動方向の側面に開口部を設けている。また、この開口部を被覆して作業室内を密閉可能とするとともにこの作業室内を減圧機構に接続して減圧可能とする被覆体を、洗浄槽の内面に水平方向に進退可能に形成している。
また、作業室を上下動可能に収納した洗浄槽は、耐圧可能に形成したものであっても良い
し、耐圧性を備えず常圧にて使用するものであっても良く、作業目的に応じて任意に選択
する事が可能となる。
作業室の開口部は、筒状の作業室の側面に垂直に形成する。このように開口部を作業室
の側面に垂直に形成することによって、洗浄作業により被洗浄物から離脱した切り粉、汚
泥等が開口部や開口部に設けたパッキンに、堆積したり、引っ掛かったりしにくくなり、
被覆体で密閉する場合に気密不良を生じる事を防止できるものとなる。
作業室の開口部は、作業室の両側に一対開口したものであっても良いし、作業室の片側
にのみ一個開口したものであっても良い。開口部を作業室の両側に一対開口すれば、作業
室への被洗浄物の出入が容易となり作業性を向上できる。また、開口部を作業室の片側に
のみ一個開口すれば、被覆体も一個形成するのみで良いから装置の構成を簡略とし廉価な
装置を得る事が出来るし、開口部と被覆体を一個とする事により気密漏れ防止効果を向上
する事が出来る。
また、被覆体には作業室と連通可能な減圧開口を設け、この減圧開口をバルブを介して
減圧機構に接続するものとしても良い。このように形成する事により、被覆体によって開
口部を被覆したときに作業室内を簡易に減圧可能となるとともに作業室を密閉しない場合
も、洗浄槽が耐圧性のものであれば洗浄槽内の減圧も可能となる。
被覆体には、作業室と連通可能な洗浄液の導入開口を設け、この導入開口にバルブ、濾
過器を介して洗浄槽の洗浄液に配管によって接続したものであっても良い。このように形成する事により、濾過器を介して作業室内に濾過した洗浄液を導入し、浸漬洗浄後に汚染された洗浄液を洗浄槽内に排出し、これを濾過器を介して再度洗浄室に導入する事を繰り返す事により、常に濾過した清浄な洗浄液での精密洗浄を可能とする。なお、洗浄槽から作業室への洗浄液の導入は、その経路中に液送ポンプを配置しても良いし、上記の減圧機構により作業室内を減圧し、この負圧により洗浄槽から作業室へ、濾過器を介して洗浄液を導入するものとしても良い。
被覆体には、作業室と連通可能な蒸気導入開口を設け、この蒸気導入開口をバルブを介
して蒸気発生槽に接続したものであっても良い。このように、構成することにより被覆体
で密閉した作業室内に洗浄蒸気を導入し、通常の蒸気洗浄や減圧蒸気洗浄を洗浄槽の影響
を受けることなく独立して行うことが可能となる。
また被覆体は、洗浄液の液面よりも上部に配置したものでも良く、このように形成する
事により、洗浄槽から洗浄液を抜き取ることなく、作業室を被覆体位置に移動して密閉す
る事により迅速に被洗浄物の減圧乾燥を行う事ができる。
また被覆体は、洗浄液中に配置し作業室を密閉して減圧乾燥作業を行う場合は、洗浄液
を洗浄槽から抜き取った後に行うものであっても良い。この場合は洗浄液を洗浄槽から抜
き取る手数を要するものの、被覆体と洗浄液とを接触させないための上部空間が洗浄槽に
必要なくなるため、洗浄槽の上下方向の寸法を小さくする事ができ、装置の小型化を可能
とする。また、作業室の位置を洗浄槽の下底よりも少しだけ高い位置に配置すれば、洗浄
槽内の洗浄液を完全に抜けきれない場合も、作業室内は被覆体によって密閉され洗浄槽内
とは遮断されるから減圧乾燥作業に支障を生じる事がない。また、作業室は被覆体で密閉
する事により洗浄槽とは遮断された乾燥室を形成できるから、洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気
か存在している状態での減圧乾燥が可能となるものである。
本発明は上述の如く、被洗浄物の洗浄作業を行う作業室を、下底に被洗浄物の洗浄液を収納した洗浄槽内を上下移動可能とし洗浄槽とは別個に気密的に遮断して形成したものであるから、減圧乾燥等の被洗浄物の洗浄作業に必要な最小限の空間を形成する事が可能となるとともに洗浄槽に洗浄液や洗浄蒸気が存在する状態での減圧乾燥が、減圧機構に無駄な負荷をかけたりすることが無く効率的に行う事を可能とする。
また、このように作業室を洗浄槽とは気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄
槽が常圧対応の耐圧性を備えない構成であっても、作業室内での減圧乾燥や、減圧超音波
洗浄、減圧蒸気洗浄等の減圧作業を可能とする。また、作業室は洗浄槽とは独立したもの
とする事ができるから、上記のごとき減圧関連作業のみならず洗浄槽の洗浄液を濾過し、
高度に清浄化した洗浄液を作業室に導入して洗浄槽とは別個に浸漬洗浄を行うとか、作業
室に洗浄蒸気を導入して減圧蒸気洗浄を行う等の種々の洗浄作業をも容易に可能とするも
のである。
また、被洗浄物を収納する作業室の上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部
を形成しているから、洗浄作業により被洗浄物から離脱した切り粉、汚泥等が開口部や開
口部に設けたパッキンに引っ掛かりにくくなり、被覆体で密閉する場合に気密不良を生じ
る事を防止できるものとなる。
本発明の実施例1を示す断面図で、洗浄作業開始前を示している。 本発明の実施例1を示す断面図で、作業室を浸漬洗浄部に挿入した状態を示している。 本発明の実施例1を示す断面図で、作業室を洗浄液の上面に移動し蒸気洗浄を行っている状態を示している。 本発明の実施例1を示す断面図で、作業室を被覆体で密閉し減圧乾燥を行っている状態を示している。 本発明の実施例1を示断面図で、作業室から洗浄の完了した被洗浄物を取り出す状態を示している。 図2の右側断面図である。 本発明の実施例2を示す断面図で、洗浄液を加熱した洗浄槽内に作業室を挿入した状態を示している。 本発明の実施例2を示す断面図で、洗浄液の上面に移動し被覆体で密閉した作業室内に濾過器で濾過した洗浄液を導入した状態を示している。 本発明の実施例2を示す断面図で、作業室内の洗浄液を洗浄槽内に排出している状態を示している。 本発明の実施例2を示す断面図で、蒸気洗浄状態を示している。 本発明の実施例3を示す断面図で、洗浄槽を小型化し洗浄液収納部に作業室を配置し被洗浄物を収納する状態を示している。 本発明の実施例3を示す断面図で、被洗浄物の浸漬洗浄状態を示している。 本発明の実施例3を示す断面図で、洗浄液を洗浄槽からリザーブタンクに抜き取った状態を示している。 本発明の実施例3を示す断面図で、蒸気洗浄状態を示している。 本発明の実施例3を示す断面図で、洗浄液をリザーブタンクに抜き取り、作業室を被覆体で密閉して減圧乾燥を行っている状態を示している。 本発明の実施例4を示す断面図で、作業室の片側にのみ開口部を形成した状態を示している。
以下本発明の実施例1を図1〜図6に於いて説明すると、(1)は洗浄槽で、耐圧性を
備えるか、または耐圧性を備えない常圧対応型に形成し、耐圧性または常圧対応型は洗浄
目的に応じて適宜選択的に使用するものである。この洗浄槽(1)内には、耐圧性の作業室
(2)を上下動機構(3)に接続して上下動可能に配置している。この上下動機構(3)は図6
に示す如く、洗浄槽(1)の外側に設置した上下動シリンダ(4)に接続して上下動する上下
動体(5)を、洗浄槽(1)の天板(6)を貫通して上下方向に配置するとともに上端に設置し
たモータ(7)により駆動する主動軸(8)に従動軸(10)を直角に接続し、この従動軸(1
0)に、作業室(2)内の回転軸(11)を接続している。この回転軸(11)に被洗浄物(12
)を載置し、この被洗浄物(12)を回転する事により、被洗浄物(12)と洗浄液(13)
との洗浄効率を高める事を可能としている。尚本件明細書中で被洗浄物(12)とは被洗浄物を収納した洗浄籠を含む概念で用いるものである。
また、洗浄槽(1)は上端に出入口(14)を開口し、この出入口(14)を蓋体(15)によ
り開閉可能としている。この蓋体(15)は、一端を軸支部(16)を介して本体の支柱(1
7)に回動可能に軸支するとともに他端をソレノイドコイル等の進退機構(18)により上
下動可能としたアングル(20)に進退可能に配置し、この配置状態で進退シリンダー(2
1)に接続している。そして出入口(14)を開放するには、進退機構(18)を伸張しアン
グル(20)を持ち上げた状態で進退シリンダー(21)を収縮し、図1に示す如く蓋体(1
5)を開放する。また、蓋体(15)で出入口(14)を密閉するには上記と逆の手順で作動
させれば良い。
また、上述の如く上下動機構(3)によって上下動する作業室(2)は、円筒、角筒等の筒
状に形成し、上下動方向の両側を垂直に切り欠いて開口部(22)を形成し、この開口部(
22)の外面に、オーリング等のパッキン(23)を上下方向に配置している。そして、作
業室(2)を洗浄槽(1)内の洗浄液(13)よりも上方に配置した状態で、開口部(22)に臨
ませてこの開口部(22)を密閉可能な被覆体(24)を配置している。この被覆体(24)は
洗浄槽(1)の内面に、開閉シリンダ(25)によって水平方向に進退可能に配置している。
また、上記では開口部(22)の外面に、オーリング等のパッキン(23)を上下方向に配置
しているが、パッキン(23)は必ずしも開口部(22)に形成する必要はなく、被覆体(2
4)の開口部(22)側に形成するものであっても良い。この場合は、パッキン(23)を確
実に開口部(22)に接触させるために板パッキン等で幅広に形成するのが好ましい。
また、被覆体(24)は減圧開口(26)を開口し、この減圧開口(26)は洗浄槽(1)の外
に設置した減圧機構(27)と第1開閉弁(28)、凝縮器(30)、第2開閉弁(31)を介し
て接続している。また、被覆体(24)は開口部(22)を密閉するために開口部(22)より
も大きな面積で形成する事は当然であるが、大きく形成する事により上下動機構(3)の作
動不良等により、作業室(2)の停止位置が異なる場合にも、開口部(22)の密閉に支障を
生じる事がない。尚、上記の如く被覆体(24)を大きめに形成する場合には、上記の減圧
開口(26)を上下方向の中心部に近い方向に形成し、被覆体(24)による開口部(22)の
密閉時に、開口部(22)と減圧開口(26)とが連通するように形成する。
また、洗浄槽(1)には第3開閉弁(32)を介して蒸気発生槽(33)を接続している。こ
の蒸気発生槽(33)は、ヒータ、スチーム等の加熱機構(34)により洗浄液(13)を加熱
し、洗浄槽(1)への洗浄蒸気の供給を可能としている。また、この蒸気発生槽(33)は、
被覆体(24)に設けた蒸気導入開口(47)に第7開閉弁(48)を介して接続し、被覆体(
24)で密閉した作業室(2)内に洗浄蒸気を導入し、常圧蒸気洗浄や減圧蒸気洗浄を洗浄
槽(1)の影響を受けることなく独立して行うことが可能となる。また、図面中(43)(4
4)(45)は減圧破壊弁である。
上述の如く構成したものに於いて、被洗浄物(12)の洗浄を行うには、図1に示す如く
、洗浄槽(1)から上方に突出した作業室(2)内に被洗浄物(12)を収納する。この収納状
態に於いて洗浄槽(1)の下部には洗浄液(13)が充填されている。この洗浄液(13)は、
作業目的に応じて任意に選択可能なものであって、石油系溶剤、シリコーン系溶剤、テル
ペン系溶剤、アルコール系溶剤等の溶剤を用いても良いし、水を用いても良い。また、第
1開閉弁(28)、第2開閉弁(31)、第3開閉弁(32)は閉止されており、減圧機構(27)は作動していない。
次に、図2に示す如く、蓋体(15)で出入口(14)を閉止した後、上下動機構(3)を作
動して作業室(2)を洗浄液(13)中に挿入して浸漬洗浄を行う。この浸漬洗浄は、上下動
機構(3)のモータ(7)を作動し回転軸(11)を回転する事により被洗浄物(12)を回転、
または上下動シリンダ(4)を上下動することにより揺動しても良く、洗浄目的に応じて被
洗浄物(12)と洗浄液(13)との接触を良好とするための任意の手段を選択する事ができ
る。また、作業室(2)には超音波振動子(図示せず)を配置する事により超音波洗浄も可能
となる。そして、作業室(2)の下面に超音波振動子を配置すれば、筒状に形成した作業室
(2)の天面に反射した超音波が上面からも被洗浄物(12)を超音波洗浄する事も可能とな
る。なお、この浸漬洗浄に於いては被覆体(24)による開口部(22)の密閉は行わない。
勿論、この浸漬洗浄に於いて被覆体(24)による開口部(22)の密閉を行う事も可能であ
る。
被洗浄物(12)の浸漬洗浄が完了したら、上下動機構(3)を作動して図3に示す如く、
作業室(2)を洗浄液(13)の上方に引き上げ、第3開閉弁(32)を開放するとともに洗浄
槽(1)が耐圧性のものである場合には、第1、第2開閉弁(28)(31)を開放し、減圧機
構(27)によって洗浄槽(1)内を減圧する事により、洗浄蒸気を洗浄槽(1)に導入して被
洗浄物(12)の減圧蒸気洗浄を行う事ができる。洗浄槽(1)に導入した洗浄蒸気は、被覆
体(24)で密閉していない開口部(22)から作業室(2)内に導入されて被洗浄物(12)に
凝縮されるが、前記の洗浄液(13)を可能な限り低温のものとしておけば、被洗浄物(1
2)と洗浄蒸気の凝縮効率を高める事が可能となる。
また、洗浄槽(1)が常圧対応で耐圧性を備えていない場合には、減圧機構(27)を作動
せずに第3開閉弁(32)のみを開放する事により、洗浄槽(1)内に洗浄蒸気を導入して常
圧蒸気洗浄を行う事が可能となるが、洗浄槽(1)が常圧対応で耐圧性を備えていない場合
にも減圧蒸気洗浄が可能となる。この場合は、被覆体(24)により作業室(2)を密閉した
後、第1開閉弁(28)を開放して減圧機構(27)で作業室(2)内を減圧し、第7開閉弁(
48)を開放して蒸気導入開口(47)を介して蒸気発生槽(33)から蒸気を導入する事に
より、減圧蒸気洗浄が可能となる。減圧状態で蒸気洗浄を行う事により、引火点の低い溶
剤を用いた場合にも、空気中の酸素量を低減し安全性の高い蒸気洗浄を可能とする事がで
きる。
被洗浄物(12)の蒸気洗浄が完了したら、開閉シリンダ(25)を伸張し被覆体(24)を
開口部(22)に押圧して開口部(22)を密閉し、第1,第2開閉弁(28)(31)を開放し
て減圧機構(27)を作動する事により作業室(2)内に於いて被洗浄物(12)の減圧乾燥を
可能とする。この減圧乾燥は、洗浄槽(1)を上下に仕切って行うものではなく、筒状の作
業室(2)とこの作業室(2)を密閉する被覆体(24)により形成した空間により行うもので
ある。そのため、この作業空間は洗浄槽(1)の直径等の影響を受けることなく必要最小限
のものとする事ができ、減圧機構(27)に余分な負荷をかける事が無く、効率的な減圧乾
燥を廉価に行う事が出来るものである。また、被洗浄物(12)の洗浄作業を行う作業室(
2)を、洗浄槽(1)とは別個に気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄槽(1)に
洗浄液(13)や洗浄蒸気が存在する状態での減圧乾燥が、減圧機構(27)に無駄な負荷を
かけたりすることが無く効率的に行う事を可能とする。また、このように作業室(2)を洗
浄槽(1)とは気密的に遮断して形成したものであるから、洗浄槽(1)が常圧対応の耐圧性
を備えない構成であっても、作業室(2)内での減圧乾燥や減圧関連作業を可能とする。こ
のように、作業室(2)は減圧乾燥のみに使用するものではなく、減圧乾燥以外の種々の洗
浄作業を可能とする事は勿論である。
また、被覆体(24)は開口部(22)よりも大きめに形成する事により、上下動機構(3)
による作業室(2)の固定位置が設計値よりも多少ズレたとしても、確実な密閉を可能とす
る事が出来る。この場合には、減圧開口(26)は被覆体(24)の中心部方向に形成する事
により、位置ズレが生じても減圧開口(26)は常に作業室(2)の開口部(22)と連通可能
なものとすることが出来る。
また、作業室(2)の開口部(22)は、作業室(2)の上下方向の側面に形成したものであ
るから、洗浄作業によって被洗浄物(12)から分離する切り粉や汚泥が、開口部(22)に
堆積したり引っ掛かる事が少なく、その殆どが洗浄槽(1)内に落下し気密不良を生じる事
がない。そして、減圧乾燥か終了した後は、図5に示す如く、蓋体(15)を開放した後、
上下動機構(3)により作業室(2)を出入口(14)から取り出す事が可能となる。
上記の実施例1では、被洗浄物(12)を洗浄槽(1)の下底に充填した洗浄液(13)中に
挿入して被洗浄物(12)の浸漬洗浄を行う実施例について説明したが、実施例2では作業
室(2)を洗浄液(13)の上面に移動し、濾過器(35)で濾過し清浄化した洗浄液(13)に
より被洗浄物(12)の精密洗浄を行うものである。以下実施例2を図7〜10において詳
細に説明すれば、被覆体(24)を洗浄液(13)の液面よりも上部に配置する点は実施例1
と同一であるが、被覆体(24)に作業室(2)と連通可能な洗浄液(13)の導入開口(36)
を設け、この導入開口(36)を第4開閉弁(37)、濾過器(35)を介して洗浄槽(1)の洗
浄液(13)に、図7に示す如く配管によって接続している。
そして、実施例2に於いて洗浄作業を行うには、図7に示す如く、被洗浄物(12)を収
納した作業室(2)を洗浄液(13)の上面に配置する。次に、被覆体(24)により作業室(
2)の開口部(22)を密閉し、第4開閉弁(37)を閉止した状態で第1、第2開閉弁(28
)(31)を開放し、減圧機構(27)を作動する事により作業室(2)を一定の減圧度まで
減圧する。この減圧状態で第4開閉弁(37)を開放する事により、図8に示す如く、洗浄槽(1)内の洗浄液(13)は濾過器(35)を介して一気に作業室(2)内に導入される。次に、モータ(7)を作動する事により、実施例1の場合と同様に被洗浄物(12)を回転したり、上下動シリンダ(4)を上下等したりする任意手段を選択して浸漬洗浄、超音波洗浄等を行う事が出来る。この浸漬洗浄時は第1、第2開閉弁(28)(31)及び第4開閉弁(37)を閉止する。また、この浸漬洗浄を減圧超音波洗浄とする場合には、第1、第2開閉弁(28)(31)を開放し、減圧機構(27)を作動させながら超音波振動を発生させるものである。また、上記の作業室(2)への洗浄液(13)の導入に於いて、第4開閉弁(37)を開放した状態で第1、第2開閉弁(28)(31)を開放し、減圧機構(27)を作動する事により、減圧度に応じて作業室(2)に順次洗浄液(13)を導入する事も勿論可能である。尚、実施例2に於いては減圧能力を高めるために減圧機構(27)を2個配置している。
次に、一定時間の浸漬洗浄後、図9に示す如く被覆体(24)による作業室(2)の密閉を
解除し、作業室(2)内の洗浄液(13)を洗浄槽(1)内に排出する。この排出後に被覆体(
24)で作業室(2)の密閉を再度行い、上記と同様の手順により洗浄槽(1)内の洗浄液(1
3)を濾過器(35)を介して作業室(2)に導入する。この手順を複数回繰り返す事により
、被洗浄物(12)は常に濾過器(35)で清浄化した洗浄液(13)により洗浄する事ができ
るから、電子部品等の高精度の洗浄を可能とする事ができる。この浸漬洗浄の完了後は、
図10に示す如く、洗浄液(13)をヒータ(38)により加熱し被覆体(24)を開放した状
態で蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄は、常圧の状態で行っても良いが、洗浄槽(1)を耐圧
性の構成とすれば減圧蒸気洗浄を行う事もできる。蒸気洗浄を、常圧で行う場合は洗浄槽
(1)を耐圧性とする必要がないから廉価な装置を提供する事が可能となる。また、洗浄槽
(1)を耐圧性の構成とすれば、洗浄槽(1)内を減圧した状態で減圧蒸気洗浄を行う事がで
きるから、可燃性の洗浄液(13)を用いる場合も、引火の危険を減少する事が可能となる
そして、この蒸気洗浄完了後は、被覆体(24)で作業室(2)を密閉し、減圧機構(27)
を作動して減圧乾燥を行うものである。また、作業室(2)内での減圧蒸気洗浄を行おうと
する場合は、前記の実施例1と同様に、蒸気発生槽(33)を被覆体(24)に接続する事に
より可能となる。
上記の実施例1、2に於いては、洗浄槽(1)の上下方向の寸法を高くし、作業室(2)を
洗浄液(13)の液面よりも上部に配置する事が出来るようにしたものである。このように
構成する事により、蒸気洗浄、減圧乾燥等を行う場合に洗浄槽(1)から洗浄液(13)を抜
き取る必要が無く、浸漬洗浄作業から蒸気洗浄作業や減圧乾燥作業への切り替えを迅速に
行う事が可能となる。しかしながら、洗浄槽(1)の上下方向の寸法を大きなものとし、設
置場所によっては装置の設置が困難となる場合が生じる。そこで、実施例3では洗浄槽(
1)の上下方向の寸法を小さくし、洗浄装置の設置を容易に行う事が出来るようにしよう
とするものである。
以下、実施例3を図11〜図15に於いて詳細に説明する。洗浄槽(1)は上述の如く、
洗浄液(13)を充填した状態で、液面の上部に作業室(2)を配置する空間は形成されてお
らず、洗浄槽(1)に洗浄液(13)を充填した状態では、図12に示す如く、作業室(2)は
洗浄液(13)中に配置されるものとなる。また、洗浄槽(1)には第5開閉弁(40)を介し
てリザーブタンク(41)を接続し、このリザーブタンク(41)に第6開閉弁(42)、凝縮
器(30)を介して減圧機構(27)を接続している。また、洗浄槽(1)には実施例1と同様
に蒸気発生槽(33)を接続している。そして、作業室(2)に被洗浄物(12)を収納するに
は、図11に示す如く洗浄液(13)をリザーブタンク(41)に抜き取り、洗浄槽(1)の上
方に移動した作業室(2)に被洗浄物(12)を収納する。
この、洗浄液(13)の抜き取りは、第5開閉弁(40)を閉止し、第2、第6開閉弁(3
1)(42)を開放して減圧機構(27)を作動し、リザーブタンク(41)内を一定の減圧度
まで減圧した後に第5開閉弁(40)を開放して一気に洗浄液(13)をリザーブタンク(4
1)に移送するものである。次に、作業室(2)を下降し洗浄槽(1)内に配置した後、リザ
ーブタンク(41)の洗浄液(13)を洗浄槽(1)内に移送する。この移送は、洗浄槽(1)を
蓋体(15)で密閉した後に行うものである。尚、上記の洗浄液(13)の抜き取りは、第5
開閉弁(40)を開放したままとして減圧機構(27)を作動し、リザーブタンク(41)内を
順次減圧しながら洗浄液(13)をリザーブタンク(41)に順次移送するものであっても良
い。
次にモータ(7)を作動したり上下動シリンダ(4)を上下動したりする任意の手段を選択
して被洗浄物(12)を洗浄目的に応じて、回転、揺動、超音波等の任意の方法を用いて浸
漬洗浄を行う。この浸漬洗浄完了後は、図13に示す如く洗浄液(13)をリザーブタンク
(41)に抜き取った後に、図14に示す如く蒸気発生槽(33)から洗浄蒸気を洗浄槽(1)
を介して作業室(2)に導入し蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄は、実施例1、2と同様に洗
浄槽(1)が耐圧性のものである場合には、第1、第2開閉弁(28)(31)を開放し、減圧
機構(27)によって減圧開口(26)を介して洗浄槽(1)内を減圧する事により、洗浄蒸気
を洗浄槽(1)に導入して被洗浄物(12)の減圧蒸気洗浄を行う事ができる。
そして、洗浄槽(1)に導入した洗浄蒸気は、被覆体(24)で密閉していない開口部(2
2)から作業室(2)内に導入されて被洗浄物(12)に凝縮されるが、前記の洗浄液(13)
を可能な限り低温のものとしておけば、被洗浄物(12)と洗浄蒸気の凝縮効率を高める事
が可能となる。また、この洗浄槽(1)での減圧蒸気洗浄は、図11〜図14に示す如く、
第8開閉弁(49)を介して洗浄槽(1)を減圧機構(27)に直接接続して行っても良い。こ
の洗浄槽(1)の減圧機構(27)への直接の接続は、洗浄槽(1)が耐圧性を備えたものであ
れば、第1、第2実施例に於いても同様に行う事ができる。
また、洗浄槽(1)が常圧対応で耐圧性を備えていない場合には、減圧機構(27)を作動
せずに第3開閉弁(32)のみを開放する事により、洗浄槽(1)内に洗浄蒸気を導入して常
圧蒸気洗浄を行う事が可能となるが、洗浄槽(1)が常圧対応で耐圧性を備えていない場合
にも減圧蒸気洗浄が可能となる。この場合は、被覆体(24)により作業室(2)を密閉した
後、第1開閉弁(28)を開放して減圧機構(27)で作業室(2)内を減圧し、第7開閉弁(
48)を開放して蒸気導入開口(47)を介して蒸気発生槽(33)から蒸気を導入する事に
より、減圧蒸気洗浄が可能となる。減圧状態で蒸気洗浄を行う事により、引火点の低い溶
剤を用いた場合にも、空気中の酸素量を低減し安全性の高い蒸気洗浄を可能とする事がで
きる。
この蒸気洗浄が完了したら、図15に示す如く被覆体(24)により作業室(2)の開口部
(22)を密閉して、減圧機構(27)により減圧開口(26)から作業室(2)を減圧する事に
より、洗浄液(13)の沸点を低下し乾燥を行う事が可能となる。また、洗浄液(13)の洗
浄槽(1)からの抜き取りは、完全に行う必要はなく、作業室(2)内に洗浄液(13)が残留
しない程度に行えばよく、洗浄槽(1)に多少の洗浄液(13)が残留しても、独立している
作業室(2)内の減圧乾燥には何ら問題のないものである。従来より、洗浄槽(1)から洗浄
液(13)を完全に抜き取る事は困難で、残留液が生じてしまうため洗浄槽(1)を用いた減
圧乾燥は減圧機構(27)に大きな負荷を発生させるものとなっていた。しかし、実施例3
に於いては、作業室(2)は洗浄槽(1)とは独立して形成されるため、作業室(2)内に洗浄
液(13)が残留しないように抜き取りを行えば、洗浄槽(1)に多少の洗浄液(13)が残留
しても何ら支障のないものである。
上記の実施例1〜実施例3に於いては、作業室(2)の開口部(22)を上下方向の両側に
形成している。このように形成する事により、被洗浄物(12)の収納、取り出しが左右い
ずれからでも可能となるため、作業性が良くなる利点を有している。しかし、作業室(2)
の密閉に2つの被覆体(24)が必要となるため装置を高価なものとするとともに蓋体(1
5)と作業室(2)の開口部(22)との接触不良による気密漏れ防止についても多くの注意
と保守が必要となる。これに対し、実施例4では図16に示す如く、作業室(2)の開口部
(22)を上下動方向の一側に1個のみ設け断面コ字型に形成している。このように形成す
る事により、被洗浄物(12)の出入に多少の手数を要するものとなるが、作業室(2)の密
閉が1つの被覆体(24)で可能となるため装置を廉価なものとするとともに蓋体(15)と
作業室(2)の開口部(22)との接触不良による気密漏れの確率や保守の手数が実施例1〜
3に比較し大幅に減少する事ができる。
1 洗浄槽
2 作業室
12 被洗浄物
13 洗浄液
22 開口部
24 被覆体
26 減圧開口
27 減圧機構
33 蒸気発生槽
35 濾過器
36 導入開口
47 蒸気導入開口

Claims (11)

  1. 下底に被洗浄物の洗浄液を収納した洗浄槽内を上下移動可能とするとともに上下移動方向の側面に開放および密閉可能な開口部を形成して被洗浄物を収納するための耐圧性の作業室を設け、この作業室の側面に設けた開口部を被覆して作業室内を密閉可能とするとともにこの作業室内を減圧機構に接続して減圧可能とする被覆体を、洗浄槽の内面に水平方向に進退可能に形成した事を特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
  2. 洗浄槽は、耐圧可能に形成したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄
    装置。
  3. 洗浄槽は、常圧にて使用することを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  4. 作業室の開口部は、作業室の側面に垂直に形成したことを特徴とする請求項1に記載の
    被洗浄物の洗浄装置。
  5. 作業室の開口部は、作業室の両側に一対開口したことを特徴とする請求項1に記載の被
    洗浄物の洗浄装置。
  6. 作業室の開口部は、作業室の片側にのみ一個開口したことを特徴とする請求項1に記載
    の被洗浄物の洗浄装置。
  7. 被覆体には、作業室と連通可能な減圧開口を設け、この減圧開口をバルブを介して減圧
    機構に接続したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  8. 被覆体には、作業室と連通可能な蒸気導入開口を設け、この蒸気導入開口をバルブを介
    して蒸気発生槽に接続したことを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  9. 被覆体には、作業室と連通可能な洗浄液の導入開口を設け、この導入開口をバルブ、濾
    過器を介して洗浄槽の洗浄液に配管により接続したことを特徴とする請求項に記載の被洗浄物の洗浄装置。
  10. 被覆体は、洗浄液の液面よりも上部に配置したことを特徴とする請求項に記載の被洗
    浄物の洗浄装置。
  11. 被覆体は、洗浄液中に配置し作業室を密閉して減圧乾燥作業を行う場合は、洗浄液を洗
    浄槽から抜き取った後に行うものである事を特徴とする請求項に記載の被洗浄物の洗浄
    装置。
JP2011059617A 2011-03-17 2011-03-17 被洗浄物の洗浄装置 Active JP4846057B1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011059617A JP4846057B1 (ja) 2011-03-17 2011-03-17 被洗浄物の洗浄装置
US14/004,590 US20140102490A1 (en) 2011-03-17 2012-01-10 Apparatus for washing object to be washed
PCT/JP2012/000082 WO2012124241A1 (ja) 2011-03-17 2012-01-10 被洗浄物の洗浄装置
CN201280013482.3A CN103429361B (zh) 2011-03-17 2012-01-10 被清洗物的清洗装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011059617A JP4846057B1 (ja) 2011-03-17 2011-03-17 被洗浄物の洗浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP4846057B1 true JP4846057B1 (ja) 2011-12-28
JP2012192372A JP2012192372A (ja) 2012-10-11

Family

ID=45475286

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011059617A Active JP4846057B1 (ja) 2011-03-17 2011-03-17 被洗浄物の洗浄装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20140102490A1 (ja)
JP (1) JP4846057B1 (ja)
CN (1) CN103429361B (ja)
WO (1) WO2012124241A1 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108787618A (zh) * 2018-06-28 2018-11-13 苏州元江工业清洗设备有限公司 一种环保型超声波清洗机
JP7037206B2 (ja) * 2020-01-27 2022-03-16 アクトファイブ株式会社 蒸気洗浄減圧乾燥装置
CN111167783A (zh) * 2020-03-09 2020-05-19 安徽海佩电子科技有限公司 一种电子科技产品配件清洗装置
CN112058764A (zh) * 2020-09-09 2020-12-11 李玉玲 一种儿科护理清洗消毒装置
KR200496836Y1 (ko) * 2020-11-17 2023-05-10 (주)인성엔지니어링 세척 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06306658A (ja) * 1993-04-22 1994-11-01 Koyo Rindobaagu Kk 脱脂洗浄方法および装置
JPH06326073A (ja) * 1993-05-17 1994-11-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板の洗浄・乾燥処理方法並びにその処理装置
JPH10235300A (ja) * 1997-02-25 1998-09-08 Maruyama Mfg Co Ltd 洗浄装置
WO2006129402A1 (ja) * 2005-06-01 2006-12-07 Japan Field Co., Ltd. 被洗浄物の洗浄方法及びその装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2804210B2 (ja) * 1992-01-22 1998-09-24 ジャパン・フィールド株式会社 洗浄装置
WO1997029860A1 (fr) * 1996-02-15 1997-08-21 Japan Field Co., Ltd. Appareil de nettoyage
KR100454241B1 (ko) * 2001-12-28 2004-10-26 한국디엔에스 주식회사 웨이퍼 건조 장비
KR101133394B1 (ko) * 2005-06-22 2012-04-09 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법과 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
JP4086889B1 (ja) * 2007-06-28 2008-05-14 ジャパン・フィールド株式会社 表面処理装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06306658A (ja) * 1993-04-22 1994-11-01 Koyo Rindobaagu Kk 脱脂洗浄方法および装置
JPH06326073A (ja) * 1993-05-17 1994-11-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板の洗浄・乾燥処理方法並びにその処理装置
JPH10235300A (ja) * 1997-02-25 1998-09-08 Maruyama Mfg Co Ltd 洗浄装置
WO2006129402A1 (ja) * 2005-06-01 2006-12-07 Japan Field Co., Ltd. 被洗浄物の洗浄方法及びその装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20140102490A1 (en) 2014-04-17
WO2012124241A1 (ja) 2012-09-20
JP2012192372A (ja) 2012-10-11
CN103429361B (zh) 2015-04-08
CN103429361A (zh) 2013-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4846057B1 (ja) 被洗浄物の洗浄装置
JP4225985B2 (ja) 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
US20120115255A1 (en) Method and apparatus for dynamic thin-layer chemical processing of semiconductor wafers
US9903651B2 (en) Sealing member and substrate processing apparatus including the same
KR20120057504A (ko) 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체
WO2016133013A1 (ja) ストレーナ
JP6770406B2 (ja) 弁装置
JP6277358B2 (ja) ベーパ回収装置、ベーパ回収方法、及び、タンクの洗浄方法
JP2006038121A (ja) ゲート弁及び真空ゲート弁
JP2009544336A (ja) 圧縮空気作動式の複合型の真空掃除機
JP6161194B2 (ja) 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
JP3539680B2 (ja) 汚液の濾過方法及びその装置
TWI664030B (zh) 沖洗槽及使用該沖洗槽之基板洗淨方法
CN111225751B (zh) 被清洗物的清洗装置
KR20110082304A (ko) 포러스 척 세정 장치
KR102203160B1 (ko) 웨이퍼로부터 포토레지스트를 제거할 때의 액체 필터링
KR102653612B1 (ko) 공기 압축기용 수분 분리 및 배출장치
KR200475559Y1 (ko) 반도체 제조 챔버용 퓸 제거 장치
WO2014132299A1 (ja) 被洗浄物の洗浄方法及びその装置
KR200449594Y1 (ko) 다량의 배관스케일을 필터링하여 응축수를 원활하게배출토록 하는 드레인배출장치
KR101297923B1 (ko) 응축수 자동 배출장치
KR100684879B1 (ko) 기판 처리 장치
KR20140144031A (ko) 공정가스 배기 장치
RU165304U1 (ru) Установка для получения масла лаванды
CN113983345A (zh) 一种汽轮机用主蒸汽疏水的电动阀门

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111006

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111011

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4846057

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250